JP2001274271A - Manufacturing method of electronic part device - Google Patents

Manufacturing method of electronic part device

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JP2001274271A
JP2001274271A JP2000087162A JP2000087162A JP2001274271A JP 2001274271 A JP2001274271 A JP 2001274271A JP 2000087162 A JP2000087162 A JP 2000087162A JP 2000087162 A JP2000087162 A JP 2000087162A JP 2001274271 A JP2001274271 A JP 2001274271A
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electronic component
sealing material
housing
case
metal lid
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JP2000087162A
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Japanese (ja)
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Takanori Maeno
隆則 前野
Masato Murahashi
昌人 村橋
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Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an electronic component device, which enables airtight sealing completely without affecting an electronic component inserted in a housing 6. SOLUTION: A sealing material 3 is applied in advance to a surface at the side of a case 4 of a metallic housing 6 and a sealing material storage part (fillet part) 3a in contact with an inner wall surface of a side wall 4a at the housing side is formed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線基板
に表面実装可能な電子部品装置の製造方法に関わり、筐
体に電子部品を収容すると共に、金属製蓋体で封止して
なる電子部品装置の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an electronic component device that can be surface-mounted on a printed wiring board, and includes an electronic component housed in a housing and sealed with a metal lid. The present invention relates to a method for manufacturing a device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、通信機器、電子機器にはマイ
クロコンピュータなどが多用されており、このようなマ
イクロコンピュータにはクロック発振回路などの電子部
品装置が接続されていた。このような電子部品装置はプ
リント配線基板に表面実装ができるような構成になって
おり、例えば、図4に示されるような表面実装型の電子
部品装置が知られている。ここでは容量内蔵型の圧電共
振子で説明する。
2. Description of the Related Art Conventionally, microcomputers and the like have been frequently used for communication equipment and electronic equipment, and electronic parts such as a clock oscillation circuit have been connected to such microcomputers. Such an electronic component device is configured to be surface-mounted on a printed wiring board. For example, a surface-mounted electronic component device as shown in FIG. 4 is known. Here, a description will be given of a piezoelectric resonator with a built-in capacitor.

【0003】図4は電子部品装置100の断面図であ
り、上面が開口し、かつ底面からリード線を埋め込み部
500aに埋め込んだリード端子50が形成された筐体
40を有している、また、筐体40内には、短冊状の誘
電体基板21の下面に3つ(図の断面図では1つであ
る)の接続用電極231〜251を設けて2つの容量成
分を形成したコンデンサ素子20と、コンデンサ素子2
0の上面に、短冊状の圧電基板110の両主面に振動電
極111,112を形成した圧電共振子113とを導電
性接続剤(図の断面図では不図示)を介して電気的に接
合してなる積層体が収納されている。そして、筐体40
の側壁42と金属製蓋体60の周縁部内側とを封止材3
0で封止して構成されている。
FIG. 4 is a cross-sectional view of the electronic component device 100. The electronic component device 100 has a housing 40 having an opening at the top surface and a lead terminal 50 formed by embedding a lead wire into the embedding portion 500a from the bottom surface. In the housing 40, a capacitor element in which three (one in the cross-sectional view in the drawing) connection electrodes 231 to 251 are provided on the lower surface of the strip-shaped dielectric substrate 21 to form two capacitance components 20 and the capacitor element 2
A piezoelectric resonator 113 having vibration electrodes 111 and 112 formed on both main surfaces of a strip-shaped piezoelectric substrate 110 is electrically connected to the upper surface of the piezoelectric substrate 113 via a conductive connecting agent (not shown in the sectional view of the drawing). The stacked body is stored. Then, the housing 40
Sealant 3 between side wall 42 of inner side and the inner periphery of metal lid 60.
0 is sealed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図4に
示す構造では、筐体40の封止は、筐体40の開口部上
面に塗布した封止材(例えば、樹脂接着剤)30と金属
製蓋体60とにより筐体40内の気密封止をおこなって
いるが、封止材30と金属製蓋体60とは材質が異なる
ため、互いの接合強度は十分に得ることができず、特に
外的要因、即ち、落下衝撃の時や電子部品装置の熱サイ
クル試験において金属製蓋体60と封止材30の熱膨
張、収縮率が異なるために剥れが生じる問題点があっ
た。
However, in the structure shown in FIG. 4, the housing 40 is sealed with a sealing material (for example, a resin adhesive) 30 applied to the upper surface of the opening of the housing 40 and a metal material. Although the inside of the housing 40 is hermetically sealed by the lid 60, the sealing material 30 and the metal lid 60 are made of different materials, so that sufficient bonding strength between them cannot be obtained. There has been a problem that peeling occurs due to an external factor, that is, a drop impact or a thermal cycle test of an electronic component device, because the thermal expansion and contraction rates of the metal lid 60 and the sealing material 30 are different.

【0005】また、気密封止された状態の電子部品装置
100を加熱させて封止材30を硬化させると筐体40
内の空気膨張により圧力が高められ、筐体40の側壁部
42上面と金属製蓋体60とに介在した封止材30が溶
融し、ブロースルーと呼ばれる穴が多く空き、封止不良
を発生することが知られていた。
Further, when the electronic component device 100 in a hermetically sealed state is heated to cure the sealing material 30,
The pressure is increased by the air expansion in the inside, the sealing material 30 interposed between the upper surface of the side wall portion 42 of the housing 40 and the metal lid 60 is melted, and many holes called blow-through are vacant, resulting in poor sealing. Was known to do.

【0006】特に、筐体40に塗布される封止材30が
少ない場合には、金属製蓋体60を筐体40に封止する
場合に、封止材30の溜りが少なくなるので、ブロース
ルーにより穴が空きやすくなるという問題点を有してい
た。
In particular, when the amount of the sealing material 30 applied to the housing 40 is small, when the metal lid 60 is sealed in the housing 40, the pool of the sealing material 30 is reduced. There was a problem that the through-hole easily made a hole.

【0007】従って、封止不良により、収納部に対する
気密性が失われ、耐湿性の低下、圧電共振子の電極腐
蝕、更には、圧電共振子の特性の変動もしくは特性不良
を引き起こすことがあった。
[0007] Therefore, due to poor sealing, the hermeticity of the accommodating portion is lost, and the moisture resistance may be reduced, the electrode of the piezoelectric resonator may be corroded, and the characteristics of the piezoelectric resonator may be fluctuated or defective. .

【0008】一方、封止材30の塗布量が多い場合には
ケース40の開口部からケース40内部に封止材30が
流れ込み、内部に挿入された積層体に封止材30が付着
し、特性が悪くなってしまうという問題点も有してい
る。その結果、ケース40内部に挿入された圧電素子1
10へ封止材30の付着を防ぎながら安定した気密封止
性を確保することが非常に困難であった。
On the other hand, when the applied amount of the sealing material 30 is large, the sealing material 30 flows into the case 40 from the opening of the case 40 and adheres to the laminated body inserted therein, There is also a problem that characteristics are deteriorated. As a result, the piezoelectric element 1 inserted into the case 40
It was very difficult to secure stable hermetic sealing while preventing the sealing material 30 from adhering to the substrate 10.

【0009】本発明は、上述の問題点に鑑みて案出され
たものであり、その目的は、筐体の開口を封止する金属
製蓋体を封止剤を介して取着させる工程においても、封
止材を加熱硬化する際のブロースルーの発生を防止する
とともに、筐体内部に挿入された圧電素子等の電子部品
に対して影響を与えずに気密封止をおこなえる電子部品
装置の製造方法を提供することにある。
The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems, and has as its object to provide a process for attaching a metal lid for sealing an opening of a housing via a sealing agent. Also, an electronic component device that can prevent the occurrence of blow-through when the sealing material is heated and cured and can perform hermetic sealing without affecting electronic components such as piezoelectric elements inserted into the housing. It is to provide a manufacturing method.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに本発明は、上面に開口部を有する樹脂製の筐体内に
電子部品を収容すると共に、前記筐体の上面に金属製蓋
体を前記開口部を塞ぐように載置させ、しかる後、前記
筐体の上面と金属製蓋体の下面とを封止材を介して接合
する電子部品装置の製造方法であって、前記封止材は、
前記金属製蓋体の下面に予め被着されており、かつ筐体
上面に載置させたとき、筐体の内壁面に対して接触もし
くは近接する位置に封止材蓄積部を有することを特徴と
する電子部品装置の製造方法を提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention is to accommodate electronic components in a resin housing having an opening on the upper surface and to have a metal lid on the upper surface of the housing. Is mounted so as to cover the opening, and thereafter, the upper surface of the housing and the lower surface of the metal lid are joined via a sealing material. The materials are
It is characterized in that it has a sealing material accumulating part at a position which is previously attached to the lower surface of the metal lid and which is in contact with or close to the inner wall surface of the housing when placed on the upper surface of the housing. And a method for manufacturing an electronic component device.

【0011】本発明の構成によれば、前記封止材蓄積部
が前記筐体の内壁面に対して接触もしくは近接する位置
に封止材蓄積部を有しているので、封止材の加熱・硬化
の際、筐体内の空気膨張でブロースルーが生じたとして
も、封止材蓄積部が溶融して直ちに穴に流れ込んで塞
ぎ、封止不良を防止することができるものである。
According to the structure of the present invention, since the sealing material accumulating portion has the sealing material accumulating portion at a position in contact with or close to the inner wall surface of the housing, the sealing material is heated. -Even when blow-through occurs due to air expansion in the housing during curing, the sealing material accumulation portion is melted and immediately flows into the hole to close it, thereby preventing poor sealing.

【0012】特に筐体の内壁面に対して封止材蓄積部を
接触させた場合、その封止材蓄積部は金属製蓋体の下面
と筐体上面とが接合されるだけでなく、筐体の内壁面も
金属製蓋体と接合するために、接合強度を高めることが
できると共に、気密性もさらに向上させることができ
る。
In particular, when the sealing material accumulating portion is brought into contact with the inner wall surface of the housing, the sealing material accumulating portion not only joins the lower surface of the metal lid and the upper surface of the housing but also forms the housing. Since the inner wall surface of the body is also bonded to the metal lid, the bonding strength can be increased and the airtightness can be further improved.

【0013】また、予め前記金属製蓋体の下面に塗布す
る封止材蓄積部が、金属製蓋体の下面を筐体の上面に接
合させたとき、筐体の内壁面に接触又は近づいているの
で、封止材蓄積部で金属製蓋体の位置合わせも兼ねるこ
とができるものである。
In addition, when the lower surface of the metal lid is joined to the upper surface of the housing, the sealing material accumulating portion to be applied to the lower surface of the metal lid in advance contacts or approaches the inner wall surface of the housing. Therefore, the sealing material accumulating portion can also serve to position the metal lid.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下に本発明の電子部品装置を図
面に基づいて説明する。図1は、本発明の電子部品装置
の一例である容量内蔵型圧電共振子Aの外観斜視図を示
し、図2は図1のX−X線断面図、図3は図1のY−Y線
断面図を示す。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An electronic component device according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of an external appearance of a built-in capacitive piezoelectric resonator A which is an example of an electronic component device of the present invention. FIG. 2 is a sectional view taken along line XX of FIG. 1, and FIG. FIG.

【0015】図1において、容量内蔵型圧電共振子A
は、その内側に電子部品Bと、上部が開口し、電子部品
Bを収納する筐体4と、筐体(以下、単に「ケース」と
いう)4の底面に配するリード端子5(5a,5b,5
c)と、ケース4の上部を封止する金属製蓋体6とから
成る。また、電子部品Bは、図2に示すように圧電共振
子1、及びコンデンサ素子2から成る。
In FIG. 1, a piezoelectric resonator A with a built-in capacitance is used.
Are an electronic component B inside, a housing 4 having an upper opening and housing the electronic component B, and lead terminals 5 (5a, 5b) arranged on the bottom surface of the housing (hereinafter simply referred to as "case") 4. , 5
c) and a metal lid 6 for sealing the upper part of the case 4. The electronic component B includes a piezoelectric resonator 1 and a capacitor element 2 as shown in FIG.

【0016】圧電共振素子1は、PT(チタン酸鉛)、
PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)などの圧電セラミック
ス材料、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム
などの単結晶材料からなる短冊状の圧電基板10と振動
電極11,12から構成されている。この圧電基板10
に形成された振動電極11および12は圧電基板10の
両主面の中央部付近で互いに対向するように形成されて
いる。また、この振動電極11,12は圧電基板10の
両主面に形成され、互いに異なる端部にまで延出されて
いる。さらに、振動電極12は圧電基板の下面に形成さ
れ一方端部にまで延出されている。振動電極11,12
はたとえばAg系材料を主成分とする薄膜導体膜によっ
て形成されている。
The piezoelectric resonance element 1 includes PT (lead titanate),
It is composed of a strip-shaped piezoelectric substrate 10 made of a piezoelectric ceramic material such as PZT (lead zirconate titanate), a single crystal material such as quartz, lithium tantalate, and lithium niobate, and vibrating electrodes 11 and 12. This piezoelectric substrate 10
The vibrating electrodes 11 and 12 are formed so as to face each other near the center of both main surfaces of the piezoelectric substrate 10. The vibrating electrodes 11 and 12 are formed on both main surfaces of the piezoelectric substrate 10 and extend to different ends. Further, the vibrating electrode 12 is formed on the lower surface of the piezoelectric substrate and extends to one end. Vibrating electrodes 11 and 12
Is formed of, for example, a thin film conductor film mainly composed of an Ag-based material.

【0017】コンデンサ素子2は、PT(チタン酸
鉛)、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)、BaTiO3
(チタン酸バリウム)などの誘電体セラミック材料から
成る短冊状の誘電体基板20と、該誘電体基板20の上
下両主面に2つの容量成分を形成するための複数の容量
電極21,22から構成されている。なお、誘電体基板
20の平面形状は、上述の圧電基板10の平面形状と同
一形状となっている。
The capacitor element 2 is made of PT (lead titanate), PZT (lead zirconate titanate), BaTiO 3
A strip-shaped dielectric substrate 20 made of a dielectric ceramic material such as (barium titanate) and a plurality of capacitance electrodes 21 and 22 for forming two capacitance components on both upper and lower main surfaces of the dielectric substrate 20 It is configured. Note that the planar shape of the dielectric substrate 20 is the same as the planar shape of the piezoelectric substrate 10 described above.

【0018】また、誘電体基板20の上面主面に形成さ
れた2つの容量電極21,22が3つのリード端子5
(5a,5b,5c)との接続を達成するための接続電
極(単に電極という)23,24、25とにより容量成
分が形成されている。
The two capacitor electrodes 21 and 22 formed on the main surface of the upper surface of the dielectric substrate 20 are connected to three lead terminals 5.
(5a, 5b, 5c) and a connection electrode (simply referred to as an electrode) 23, 24, 25 for achieving the connection form a capacitance component.

【0019】また、上面側の電極21と下面側の電極2
3とは、誘電体基板20の一方端面または側面に形成さ
れた導体膜を介して接続されており、上面側の電極22
と下面側の電極24とは、誘電体基板20の他方端面ま
たは側面に形成された導体膜を介して接続されている。
The upper electrode 21 and the lower electrode 2
3 is connected via a conductor film formed on one end face or side face of the dielectric substrate 20, and the upper electrode 22
The lower electrode 24 is connected to the lower electrode 24 via a conductor film formed on the other end surface or side surface of the dielectric substrate 20.

【0020】さらに、誘電体基板20の上面の電極2
1,22は、その一部が誘電体基板20の下面側の電極
25に対向している。即ち、誘電体基板20の下面側の
電極25を中心にみた場合、誘電体基板20の厚みを介
して上面側の電極21との間で所定容量成分が形成さ
れ、上面の22との間で所定容量成分が形成される。
Further, the electrode 2 on the upper surface of the dielectric substrate 20
Some of the electrodes 1 and 22 face the electrode 25 on the lower surface side of the dielectric substrate 20. That is, when the electrode 25 on the lower surface of the dielectric substrate 20 is viewed as a center, a predetermined capacitance component is formed between the electrode 21 on the upper surface and the electrode 21 on the upper surface through the thickness of the dielectric substrate 20. A predetermined capacitance component is formed.

【0021】このような電極21〜25は、誘電体基板
20の上下主面にAgなどを主成分とする導電性ペース
トの選択的な印刷、焼きつけによって形成される。
The electrodes 21 to 25 are formed on the upper and lower main surfaces of the dielectric substrate 20 by selective printing and baking of a conductive paste mainly containing Ag or the like.

【0022】上述の圧電共振素子1とコンデンサ素子2
とは、両基板の当接面側の両端部付近に介在された導電
性接合部材15、16によって、両者の間に所定間隔を
もって機械的に接合され、且つ電気的に接続される。
The above-described piezoelectric resonance element 1 and capacitor element 2
Are mechanically joined and electrically connected to each other at predetermined intervals by conductive joining members 15 and 16 interposed in the vicinity of both ends on the contact surface side of both substrates.

【0023】この導電性接合部材15,16は、所定厚
みの導電性接着シートや導電性樹脂ペーストから構成さ
れる。この導電性接着シートの厚み、積層するシートの
枚数、又は導電性ペーストの印刷量、重ね印刷回数によ
って、圧電共振素子1とコンデンサ素子2との間隔を制
御することができ、同時に、積層体全体の厚みを制御す
ることができる。
The conductive joining members 15 and 16 are made of a conductive adhesive sheet or a conductive resin paste having a predetermined thickness. The distance between the piezoelectric resonance element 1 and the capacitor element 2 can be controlled by the thickness of the conductive adhesive sheet, the number of sheets to be laminated, the amount of conductive paste printed, and the number of times of overprinting. Can be controlled.

【0024】この導電性接合部材15は、例えば、圧電
基板の一方側の端部を介して導出された圧電素子1の振
動電極11とコンデンサ素子2である誘電体基板20の
上面側21(さらに誘電体基板20の一方端部を介して
電極23)に電気的に接続し、また、この導電性接合部
材16は、圧電共振素子1の振動電極12とコンデンサ
素子2である誘電体基板20の上面側電極22(さらに
誘電体基板20の他方端部を介して接続24)に電気的
に接続している。
The conductive bonding member 15 is formed, for example, by vibrating electrodes 11 of the piezoelectric element 1 led out through one end of the piezoelectric substrate and the upper surface 21 of the dielectric substrate 20 which is the capacitor element 2 (further, The conductive bonding member 16 is electrically connected to the electrode 23) via one end of the dielectric substrate 20, and is connected to the vibration electrode 12 of the piezoelectric resonance element 1 and the dielectric substrate 20 which is the capacitor element 2. It is electrically connected to the upper electrode 22 (and the connection 24 via the other end of the dielectric substrate 20).

【0025】なお、上述の電気的な接続を確実にして、
圧電共振素子1とコンデンサ素子2の機械的な接合を確
実にするために、圧電素子1,コンデンサ素子2が積層し
た状態で、圧電共振素子1とコンデンサ素子2の端面に
連続的に導電性接着部材などを配置して接合を行ことが
望ましい。
It should be noted that the above-mentioned electrical connection is ensured,
In order to ensure mechanical joining between the piezoelectric resonance element 1 and the capacitor element 2, the piezoelectric element 1 and the capacitor element 2 are continuously laminated on the end faces of the piezoelectric resonance element 1 and the capacitor element 2 while the piezoelectric element 1 and the capacitor element 2 are stacked. It is desirable to arrange the members and the like for joining.

【0026】ケース4は、ポリエーテルエーテルケトン
(PEEK)等の耐熱性に優れた樹脂材料,エポキシ樹
脂、PPS(ポリフェニレンスルフィド)などから成
り、その上面に開口部41を形成し、開口部41を形成
する側壁41aで覆われる内部空間により電子部品収納
領域40が形成されている。ケース4の形状としては開
口部41の上部からみて長方形状や正方形にになるよう
な直方体形状、開口部41が上部からみて円形になるよ
うな円筒形状等どのような形状にしてもよい。
The case 4 is made of a resin material having excellent heat resistance such as polyetheretherketone (PEEK), epoxy resin, PPS (polyphenylene sulfide), or the like. The electronic component storage area 40 is formed by the internal space covered by the side wall 41a to be formed. The shape of the case 4 may be any shape such as a rectangular parallelepiped shape that is rectangular or square when viewed from above the opening 41, or a cylindrical shape such that the opening 41 is circular when viewed from above.

【0027】ケース4の電子部品収納領域40は、実質
的に圧電素子1及びコンデンサ素子2を積層した積層体
を収納するに充分な形状となっており、開口部41の面
積は、電子部品収納領域40の底面の面積から若干広が
るような形状となっており、これにより、電子部品収納
領域40内に容易に圧電共振素子1とコンデンサ素子2
との積層体が収容配置できるようになっている。
The electronic component storage area 40 of the case 4 has a shape substantially sufficient to store a laminated body in which the piezoelectric element 1 and the capacitor element 2 are stacked. The shape of the piezoelectric element 1 and the capacitor element 2 can be easily set in the electronic component housing area 40 by slightly expanding from the area of the bottom surface of the area 40.
Can be accommodated and arranged.

【0028】また、ケース4の側壁41aにおける内側
面は、収納した圧電素子1とコンデンサ素子2との積層
体がケース中央部に位置決めしやすいように開口部41
側に開く斜面状に形成している。
The inner surface of the side wall 41a of the case 4 has an opening 41 so that the stacked body of the housed piezoelectric element 1 and capacitor element 2 can be easily positioned at the center of the case.
It is formed in a slope that opens to the side.

【0029】さらに、ケース4の側壁41a外周面に
は、側壁41の上面41bよりも下方側であって、金属
製蓋体6の周縁部6aが覆いながら係合する段差部41
cが形成されており、ケース4に金属製蓋体6を装着し
たときにケース4の側壁と金属製蓋体6の周縁部6a側
壁とが一致して平坦状に構成する。これにより実装密度
を高めることができる。なお、ケース4の上面41bか
ら段差部41cまでの上部外周面は山状の凸傾斜面に形
成されている。
Further, on the outer peripheral surface of the side wall 41 a of the case 4, a step portion 41 which is located below the upper surface 41 b of the side wall 41 and is engaged with the peripheral portion 6 a of the metal lid 6 while covering the same.
When the metal cover 6 is mounted on the case 4, the side wall of the case 4 and the side wall of the peripheral portion 6a of the metal cover 6 coincide with each other to form a flat shape. Thereby, the mounting density can be increased. The upper outer peripheral surface from the upper surface 41b of the case 4 to the step portion 41c is formed as a mountain-shaped convex inclined surface.

【0030】さらに、ケース4の底面には、リン青銅、
洋白などから成る金属性部材からなるリード端子5の一
端が一体的に成型されており、これら金属の線膨張係数
がケース4の線膨張係数に近くなるように設定されてい
る。
Further, phosphor bronze,
One end of a lead terminal 5 made of a metallic member made of nickel-white or the like is integrally molded, and the coefficient of linear expansion of these metals is set to be close to the coefficient of linear expansion of the case 4.

【0031】なお、一体成型されたリード端子5は、ケ
ース4の底面から両側面方向に広がるように2つに分か
れており、ケース4の底面と側面との成す角部で、屈曲
加工が施され、その2つの他端が各々ケース4の側面に
まで延びている。
The integrally formed lead terminal 5 is divided into two parts so as to extend from the bottom surface of the case 4 to both sides, and is bent at a corner formed between the bottom surface and the side surface of the case 4. The two other ends extend to the side surfaces of the case 4, respectively.

【0032】具体的には、リード端子5となる金属フー
プ材(切断及び屈曲加工前の開いた状態)が、ケース4
の成型時に樹脂モールドにより、ケース4の底面に固着
されて、所定長さに切断されて、ケース4の側面に添う
ように屈曲加工されて溝成されている。固着されたリー
ド端子5の一部はケース内側50a〜50cにて露出さ
れている。
Specifically, the metal hoop material (open state before cutting and bending) serving as the lead terminal 5 is
Is fixed to the bottom surface of the case 4 by a resin mold at the time of molding, is cut to a predetermined length, and is bent to form a groove along the side surface of the case 4. A part of the fixed lead terminal 5 is exposed at the inside of the case 50a to 50c.

【0033】このケース4内側に露出したリード端子5
上に、導電性接続部材7となるAgなどの導電性樹脂ペ
ーストを塗布・供給され硬化されて接合される。この導
電性接続部材7は、ケース4内の圧電共振素子1とコン
デンサ素子2とから成る積層体においてコンデンサ素子
2の下面の接続電極23,24,25とリ一ド端子5と
の機械的および電気的な接続を行う。
The lead terminal 5 exposed inside the case 4
A conductive resin paste such as Ag serving as the conductive connection member 7 is applied and supplied thereon, cured, and joined. The conductive connection member 7 is formed by a mechanically and electrically connected connection electrode 23, 24, 25 on the lower surface of the capacitor element 2 and the lead terminal 5 in a laminate comprising the piezoelectric resonance element 1 and the capacitor element 2 in the case 4. Make electrical connections.

【0034】これにより、接続電極23に接続する導電
位接続部材7によって、圧電共振素子1の振動電極11
とコンデンサ素子2の21を外部に導出し、また、コン
デンサ素子2の接続24と接続する導電性接続部材7に
よって、圧電共振素子1の振動電極12とコンデンサ素
子2の電極22を外部に導出し、さらに、コンデンサ素
子2の接続電極25と接続する導電性接続部材7によっ
て、コンデンサ素子2の2つの容量成分の一方がアース
電位となるように共通的に外部に導出することができ
る。
Thus, the conductive electrode connection member 7 connected to the connection electrode 23 allows the vibration electrode 11 of the piezoelectric resonance element 1 to be connected.
Of the piezoelectric element 1 and the electrode 22 of the capacitor element 2 to the outside by the conductive connecting member 7 connected to the connection 24 of the capacitor element 2. Further, the conductive connection member 7 connected to the connection electrode 25 of the capacitor element 2 allows one of the two capacitance components of the capacitor element 2 to be commonly led to the outside so as to have the ground potential.

【0035】金属製蓋体6は、平面部及び周縁部6aか
らなる。本発明では平面部のみでも適応される。その平
面部はケース4の開口部41に合わした形状であり、そ
の材質としてはステンレス、42アロイ、洋白等からな
り、その周縁部6aはケース4の側壁41aの上部外周
面に沿って係合できるように周縁部6aの開口角度が決
定されている。ここで、金属製蓋体6が金属で用いる理
由を説明する。即ち、以下に説明する封止材3と蓋体6
との接着強度の面では樹脂製の蓋体6の方が接合強度を
得られるものの、樹脂製の蓋体6を使用した場合には全
体の強度が低くなるからである。樹脂製の蓋体6で強度
を高めるには樹脂製の蓋体6の厚みを厚く形成する必要
があるが、装置全体の低背化という問題が解決できな
い。従って、装置全体の強度が得られ、かつ、薄く形成
できるためにも金属製蓋体6が用いられている。
The metal cover 6 has a flat portion and a peripheral portion 6a. In the present invention, the present invention is also applicable to only the flat portion. The flat portion has a shape conforming to the opening 41 of the case 4 and is made of stainless steel, 42 alloy, nickel silver, or the like, and its peripheral portion 6a is engaged along the upper outer peripheral surface of the side wall 41a of the case 4. The opening angle of the peripheral portion 6a is determined so as to be compatible. Here, the reason why the metal lid 6 is made of metal will be described. That is, the sealing material 3 and the lid 6 described below
This is because, in terms of adhesive strength, the resin lid 6 can provide a higher bonding strength, but the overall strength is lower when the resin lid 6 is used. In order to increase the strength with the resin lid 6, it is necessary to form the resin lid 6 thicker, but the problem of reducing the overall height of the apparatus cannot be solved. Therefore, the metal lid 6 is used because the strength of the entire apparatus can be obtained and the apparatus can be formed thin.

【0036】金属製蓋体6のケース4側全面(下面)に
は、予め、封止材3が被着形成されている。封止材3の
厚さuは、通常、2〜3μmのものが塗布されている。
封止材3の材料としては、接着剤,ガラス,半田等が考
えられるが金属製蓋体6とケース4の両方に対して、接
着性に優れかつ耐熱性にも優れている理由からエポキシ
系の接着剤が好ましい。なお、本発明では金属製蓋体6
に封止材3と塗布した後に仮硬化を行ってもよいが、こ
れに限定されるものでもない。
A sealing material 3 is previously formed on the entire surface (lower surface) of the metal lid 6 on the case 4 side. The thickness u of the sealing material 3 is usually 2 to 3 μm.
As a material of the sealing material 3, an adhesive, glass, solder, or the like can be considered, but an epoxy-based material is excellent in both adhesiveness and heat resistance to both the metal lid 6 and the case 4. Are preferred. In the present invention, the metal cover 6 is used.
Temporary curing may be performed after applying the sealing material 3 to the sealing material 3, but the present invention is not limited to this.

【0037】また、図2に示すように、金属製蓋体6の
ケース4側に塗布した封止材3の厚さuだけでは接合作
業時の熱硬化したときに生じるブロースルーが発生して
しまうので、封止材3の厚み以上の厚さのフィレット部
3a(封止材蓄積部)を形成している。このフィレット
部3aは、その全周に亘って形成され、かつ、均一な厚
さ及び幅を有している。また、図3に示すようにフィレ
ット部3aは金属製蓋体6をケース4に被せて接合させ
た際、ケース4の側壁41a内面に接触する。フィレッ
ト部3aの形成により金属製蓋体6とケース4との位置
決めが可能となる。
Further, as shown in FIG. 2, if the thickness u of the sealing material 3 applied to the case 4 side of the metal lid 6 alone is used, blow-through occurs at the time of thermosetting during the joining operation. Therefore, a fillet portion 3a (sealing material accumulation portion) having a thickness equal to or greater than the thickness of the sealing material 3 is formed. This fillet portion 3a is formed over the entire circumference and has a uniform thickness and width. Further, as shown in FIG. 3, when the metal cover 6 is put on and joined to the case 4, the fillet portion 3 a contacts the inner surface of the side wall 41 a of the case 4. By forming the fillet portion 3a, the positioning of the metal lid 6 and the case 4 becomes possible.

【0038】なお、フィレット部3aが必ずしもケース
4の側壁41a内面に接触しなくても良く近くに形成し
てもよい。この距離としては、金属製蓋体6を閉鎖して
加熱・硬化した時に、その気圧によりブロースルーによ
る穴を溶融したフィレット部3aが塞ぐことができる距
離とする。
Note that the fillet portion 3a does not necessarily have to contact the inner surface of the side wall 41a of the case 4 and may be formed near. The distance is such that when the metal lid 6 is closed and heated and cured, the fillet portion 3a that has melted the hole formed by blow-through due to the air pressure can be closed.

【0039】なお、フィレット部3aの厚みをt、その
幅をWとするとき、フィレット部3aの概略断面積Wt
が0.02〜0.1mm2の範囲を満足するようにフィ
レット部3aが形成されていると確実にブロースルーの
発生を防止することができる。このフィレット部3の幅
Wはケース4の側壁41aから内周側に向かって塗布さ
れた距離でありWが0.5mmを超えると封止材3が多
すぎてブロースルーの防止に寄与しない材料が多くなる
ため、コストの面からみると幅Wを0.5mm以下にす
るのが好ましい。また、フィレット部3aの厚みtはフ
ィレット部3aの幅方向で測定される平均厚みで測定さ
れる。
When the thickness of the fillet portion 3a is t and its width is W, the approximate sectional area Wt of the fillet portion 3a is
When the fillet portion 3a is formed so as to satisfy the range of 0.02 to 0.1 mm 2 , the occurrence of blow-through can be reliably prevented. The width W of the fillet portion 3 is a distance applied from the side wall 41a of the case 4 toward the inner peripheral side. If W exceeds 0.5 mm, a material that does not contribute to the prevention of blow-through due to too much sealing material 3 Therefore, the width W is preferably set to 0.5 mm or less from the viewpoint of cost. The thickness t of the fillet portion 3a is measured by an average thickness measured in the width direction of the fillet portion 3a.

【0040】また、金属製蓋体6の周縁部6aが屈曲す
るコーナー部は十分大きなフィレット部3aを形成する
ために形状をR0.1〜R0.3mmとして封止剤3の
蓄積空間を形成する。
The corner of the metal lid 6 where the peripheral edge 6a is bent has a shape of R0.1 to R0.3 mm to form a sufficiently large fillet 3a to form an accumulation space for the sealant 3. .

【0041】なお、電子部品Bが収容され、かつ、所定
の温度で予備加熱した状態のケース4に、予め、封止材
3が塗布された金属製蓋体6で封止・接合させても良
い。これにより、ケース4内の空気膨張の変化を抑える
ことができ、通常、ケース4の大きさによってブロース
ルーの発生状況が変化するものが、ケース4の大きさに
かかわらずフィレット部3aを形成するだけで一定の封
止性能を得ることができるものである。従って、概略断
面積Wtが0.02〜0.1mm2の範囲のフィレット
部3aを形成することは確実な封止を可能とするもので
ある。
The case 4 in which the electronic component B is housed and which has been preheated at a predetermined temperature may be sealed and joined with the metal cover 6 coated with the sealing material 3 in advance. good. Thereby, the change of the air expansion in the case 4 can be suppressed, and the one in which the occurrence of blow-through changes depending on the size of the case 4 usually forms the fillet portion 3a regardless of the size of the case 4. It is possible to obtain a certain sealing performance only by the above. Therefore, forming the fillet portion 3a having the approximate sectional area Wt in the range of 0.02 to 0.1 mm 2 enables reliable sealing.

【0042】次に本発明の電子部品装置の製造方法につ
いて説明する。まず、封止材3をディスペンサにより金
属製蓋体6の裏面を上向きした状態で金属製蓋体6の全
面にエポキシ系の接着剤(封止材3)を塗布する。その
とき、所定のフィレット部3aが金属製蓋体6の周縁部
に均一に形成される。このようにフィレット部3aが所
定の大きさに形成することで金属製蓋体6とケース4の
側壁41aの境界に入り込んだ封止材3が十分に満たさ
れて所定の接着強度を得ることになる。
Next, a method for manufacturing an electronic component device according to the present invention will be described. First, an epoxy-based adhesive (sealant 3) is applied to the entire surface of the metal cover 6 with the back surface of the metal cover 6 facing upward by a dispenser. At this time, the predetermined fillet portion 3 a is formed uniformly on the peripheral edge of the metal lid 6. By forming the fillet portion 3a in a predetermined size in this way, the sealing material 3 that has entered the boundary between the metal lid 6 and the side wall 41a of the case 4 is sufficiently filled to obtain a predetermined adhesive strength. Become.

【0043】次に80℃で乾燥して取り扱い時に付着し
ないように仮硬化させる。このように予め金属製蓋体6
の裏面に封止材を塗布・仮硬化しているので、ケース4
の開口部41内に封止材3が流れ込むのを防いでいる。
Next, it is dried at 80 ° C. and temporarily cured so as not to adhere during handling. Thus, the metal cover 6 is
Since the sealing material is applied and temporarily cured on the back of
The sealing material 3 is prevented from flowing into the opening portion 41 of the first embodiment.

【0044】次に、ケース4内に電子部品を挿入して配
置した後、ケース4を150℃に加熱させる。この加熱
されたケース4の状態で、上述の封止材3が塗布された
金属製蓋体6をケース4の開口部41にかぶせて封止す
る。この時にケース4と金属製蓋体6との間にフィレッ
ト部3aが形成されているので、内部の圧力が増加して
ブロースルーが発生したとしても金属製蓋体6の内側に
向けて塗布した封止材が溶融して直ちに穴に流れ込んで
塞ぐことになり、気密封止された電子部品装置が完成す
る。
Next, after the electronic components are inserted and arranged in the case 4, the case 4 is heated to 150.degree. In the state of the heated case 4, the metal lid 6 coated with the above-mentioned sealing material 3 is put over the opening 41 of the case 4 and sealed. At this time, since the fillet portion 3a is formed between the case 4 and the metal lid 6, even if the internal pressure is increased and blow-through occurs, it is applied toward the inside of the metal lid 6. The sealing material is melted and immediately flows into the hole to close the hole, thereby completing the hermetically sealed electronic component device.

【0045】なお、本発明は上記実施例のような共振子
ほか、フィルタ等の他のあらゆる圧電部品にも適用でき
ることは勿論である。
The present invention can of course be applied to all other piezoelectric components such as filters, in addition to the resonator as in the above embodiment.

【0046】[0046]

【実施例】本発明の作用効果を確認するために、以下の
実験を行った。 (実験例1)上述の図2,図3に示す構成に基づいて電
子部品装置を作製した。具体的には開口部が長方形の直
方体状のケース(3×1mm)を用意し、この筐体の内
部にコンデンサ素子及び圧電共振子からなる電子部品を
収容させた。次に、ディスペンサにより金属製蓋体の裏
面を上向きにした状態で、その全面にエポキシ系の接着
剤を塗布し、かつ、その周縁部には所定のフィレット部
を形成した。この時、フィレット部の幅W、厚さtとし
たとき、概算断面積Wtは0.08mm2であった。次
に電子部品を収容させたケースを150℃で仮焼成し、
この温度を維持した状態で上述の接着剤が塗布された金
属製蓋体を封止・接合させて電子部品装置を作製した。
なお、このような方法で製造する電子部品装置を50個
作製した。得られた電子部品装置について樹脂剥離液を
用いて金属製蓋体をケースから剥がし、金属製蓋体とケ
ースとの境界に空洞やブロースルーによる外部の貫通穴
が発生しているかを調べた。
EXAMPLES The following experiments were conducted to confirm the effects of the present invention. (Experimental Example 1) An electronic component device was manufactured based on the configuration shown in FIGS. Specifically, a rectangular parallelepiped case (3 × 1 mm) having an opening was prepared, and an electronic component including a capacitor element and a piezoelectric resonator was housed inside the case. Next, an epoxy-based adhesive was applied to the entire surface of the metal cover with the back surface facing upward by a dispenser, and a predetermined fillet portion was formed on the periphery thereof. At this time, assuming the width W and the thickness t of the fillet portion, the approximate sectional area Wt was 0.08 mm 2 . Next, the case containing the electronic components is pre-baked at 150 ° C.
While maintaining this temperature, the metal lid to which the above-mentioned adhesive was applied was sealed and joined to produce an electronic component device.
In addition, 50 electronic component devices manufactured by such a method were manufactured. The metal cover of the obtained electronic component device was peeled off from the case using a resin peeling liquid, and it was examined whether a cavity or an external through-hole due to blow-through occurred at the boundary between the metal cover and the case.

【0047】その結果、50個の電子部品装置中で、5
0個とも接着剤の層中に複数の空気層が見られたが、何
れも内部から外部にブロースルーによる貫通穴が形成さ
れるものでは無かった。 (実験例2)開口部が円形の円筒状ケース(直径6m
m)で実験した以外は実施例1と同様の条件で実験を行
った。その結果、50個の電子部品装置中で、50個と
も接着剤の層中に複数の空気層が見られたが、何れも内
部から外部にブロースルーによる貫通穴が形成されるも
のでは無かった。従って、ケースの大きさが変化したと
しても本発明の製造方法を用いることでブロースルーの
発生を防止することができるものである。 (実験例3)概略断面積Wtを0.01mm2と0.2
0mm2とする以外は実験例1と同様の2種類の電子部
品装置を作製した。何れの電子部品装置も50個作製し
て実験例1と同様の手順でブロースルーの状況を調べ
た。
As a result, out of 50 electronic component devices, 5
In each of the zero adhesive layers, a plurality of air layers were observed in the adhesive layer, but none of them had a through hole formed from inside to outside by blow-through. (Experimental example 2) A cylindrical case with a circular opening (diameter 6 m)
The experiment was performed under the same conditions as in Example 1 except that the experiment was performed in m). As a result, among the 50 electronic component devices, a plurality of air layers were found in the adhesive layer in all of the 50 electronic component devices, but none of them had a through-hole formed by blow-through from inside to outside. . Therefore, even if the size of the case changes, blow-through can be prevented by using the manufacturing method of the present invention. (Experimental example 3) The approximate sectional area Wt was set to 0.01 mm 2 and 0.2 mm
Two types of electronic component devices similar to those of Experimental Example 1 were prepared except that the thickness was set to 0 mm 2 . Fifty electronic devices were manufactured, and the state of blow-through was examined in the same procedure as in Experimental Example 1.

【0048】その結果、概略断面積Wtが0.01mm
2の電子部品装置においては作製した電子部品装置50
個中、3個にブロースルーによる貫通穴が発見された。
しかし、それ以外の47個については使用可能な範囲で
あった。
As a result, the approximate sectional area Wt is 0.01 mm
In the electronic component device 2 , the manufactured electronic component device 50 is used.
Through holes were found in three of them.
However, the other 47 were within the usable range.

【0049】また、断面積0.20mm2の電子部品装
置においては作製した電子部品装置50個中5個に電子
部品(圧電素子)上に接着剤が付着していた。それ以外
の45個については使用可能な範囲であった。
In the electronic component device having a cross-sectional area of 0.20 mm 2 , the adhesive was adhered on the electronic component (piezoelectric element) in five of the 50 electronic component devices manufactured. The other 45 were within the usable range.

【0050】この電子部品に接着剤が付着することにつ
いては、接着剤を塗布した金属製蓋体を80℃で乾燥し
て接着剤を仮硬化させてから所定温度に加熱したケース
に封止する再度の実験を行ったところ、この問題は改善
された。
Regarding the adhesion of the adhesive to the electronic component, the metal lid coated with the adhesive is dried at 80 ° C. to temporarily cure the adhesive, and then sealed in a case heated to a predetermined temperature. A second experiment improved the problem.

【0051】従って、ブロースルーによる貫通穴や電子
部品に接着剤付着する悪影響を確実に防止するためには
フィレット部の概略断面積Wtが0.02〜0.1mm
2の範囲に形成することが好ましいことが理解される。
Therefore, in order to reliably prevent the adhesive from adhering to the through-holes and electronic components due to the blow-through, the approximate cross-sectional area Wt of the fillet portion should be 0.02 to 0.1 mm.
It is understood that the formation in the range of 2 is preferable.

【0052】[0052]

【発明の効果】以上のように本発明の製造方法によれ
ば、金属製蓋体の下面に形成した封止材蓄積部が前記筐
体の内壁面に対して接触もしくは近接する位置に封止材
蓄積部を有しているので、封止材の加熱・硬化の際、筐
体内の空気膨張でブロースルーが生じたとしても、封止
材蓄積部が溶融して直ちに穴に流れ込んで塞ぎ、封止不
良を防止することができるものである。
As described above, according to the manufacturing method of the present invention, the sealing material accumulation portion formed on the lower surface of the metal lid is sealed at a position in contact with or close to the inner wall surface of the housing. Since it has a material accumulating part, even when blow-through occurs due to air expansion in the housing during heating and curing of the sealing material, the sealing material accumulating part melts and immediately flows into the hole and closes, The sealing failure can be prevented.

【0053】特に筐体の内壁面に対して封止材蓄積部を
接触させた場合、その封止材蓄積部は金属製蓋体の下面
と筐体上面とが接合されるだけでなく、筐体の内壁面も
金属製蓋体と接合するために、接合強度を高めることが
できると共に、気密性もさらに向上させることができ
る。
In particular, when the sealing material accumulating portion is brought into contact with the inner wall surface of the housing, the sealing material accumulating portion not only joins the lower surface of the metal lid and the upper surface of the housing but also forms the housing. Since the inner wall surface of the body is also bonded to the metal lid, the bonding strength can be increased and the airtightness can be further improved.

【0054】また、予め前記金属製蓋体の下面に塗布す
る封止材蓄積部が、金属製蓋体の下面を筐体の上面に接
合させたとき、筐体の内壁面に接触又は近づいているの
で、封止材蓄積部で金属製蓋体の位置合わせも兼ねるこ
とができ、量産性に富んだ電子部品装置を製造すること
ができる。
When the lower surface of the metal lid is joined to the upper surface of the housing, the sealing material accumulating portion applied to the lower surface of the metal lid in advance contacts or approaches the inner wall surface of the housing. Therefore, it is possible to double the positioning of the metal lid in the sealing material accumulation section, and it is possible to manufacture an electronic component device with high mass productivity.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の電子部品装置を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an electronic component device of the present invention.

【図2】本発明の電子部品装置の一例である容量内蔵型
圧電共振子のX−X線断面図である。
FIG. 2 is a sectional view taken along the line XX of a piezoelectric resonator with a built-in capacitor, which is an example of the electronic component device of the present invention.

【図3】本発明の電子部品装置の一例である容量内蔵型
圧電共振子のY−Y線断面図である。
FIG. 3 is a sectional view taken along line YY of a piezoelectric resonator with a built-in capacitor, which is an example of the electronic component device of the present invention.

【図4】従来の電子部品装置の封止構造を説明する図で
ある。
FIG. 4 is a diagram illustrating a sealing structure of a conventional electronic component device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A:容量内蔵型圧電共振子(電子部品装置) B:電子部品 1:圧電共振子 2:コンデンサ素子 3:封止材 4:ケース(筐体) 40:電子部品収納領域 41:開口部 41a:側壁 41b:側壁上面 5:リード端子 5a:リード端子埋め込み部 6:金属製蓋体 6a:周縁部 A: Built-in capacitance type piezoelectric resonator (electronic component device) B: Electronic component 1: Piezoelectric resonator 2: Capacitor element 3: Sealing material 4: Case (housing) 40: Electronic component storage area 41: Opening 41a: Side wall 41b: Side wall upper surface 5: Lead terminal 5a: Lead terminal embedded portion 6: Metal lid 6a: Peripheral portion

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 5/06 H05K 5/06 D Fターム(参考) 4E360 AB13 AB33 BA08 BC20 CA01 EA18 EA27 ED03 ED07 ED22 ED27 EE02 FA09 GA06 GA11 GA23 GB99 GC02 GC08 5J108 BB02 BB04 CC04 EE03 EE18 GG03 GG08 GG15 GG18 JJ02 KK04 Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI Theme coat II (reference) H05K 5/06 H05K 5/06 DF term (reference) 4E360 AB13 AB33 BA08 BC20 CA01 EA18 EA27 ED03 ED07 ED22 ED27 EE02 FA09 GA06 GA11 GA23 GB99 GC02 GC08 5J108 BB02 BB04 CC04 EE03 EE18 GG03 GG08 GG15 GG18 JJ02 KK04

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 上面に開口部を有する樹脂製の筐体内に
電子部品を収容すると共に、前記筐体の上面に金属製蓋
体を前記開口部を塞ぐように載置させ、しかる後、前記
筐体の上面と金属製蓋体の下面とを封止材を介して接合
する電子部品装置の製造方法であって、 前記封止材は、前記金属製蓋体の下面に予め被着されて
おり、かつ筐体上面に載置させたとき、筐体の内壁面に
対して接触もしくは近接する位置に封止材蓄積部を有す
ることを特徴とする電子部品装置の製造方法。
An electronic component is accommodated in a resin housing having an opening on an upper surface, and a metal lid is placed on the upper surface of the housing so as to cover the opening. A method for manufacturing an electronic component device in which an upper surface of a housing and a lower surface of a metal lid are joined via a sealing material, wherein the sealing material is previously attached to the lower surface of the metal lid. A method for manufacturing an electronic component device, comprising a sealing material accumulating portion at a position in contact with or close to an inner wall surface of a housing when placed on an upper surface of the housing.
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