JPH10303680A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
- Publication number
- JPH10303680A JPH10303680A JP12155497A JP12155497A JPH10303680A JP H10303680 A JPH10303680 A JP H10303680A JP 12155497 A JP12155497 A JP 12155497A JP 12155497 A JP12155497 A JP 12155497A JP H10303680 A JPH10303680 A JP H10303680A
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- Japan
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- acoustic wave
- wave filter
- frequency
- wave filters
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 同一基板上に形成した複数の弾性表面波フィ
ルタの各々の周波数温度特性を同一にする。また、製品
の良品率を向上させる。 【解決手段】 ＳＴカットの水晶基板上に形成した中心
周波数の異なる２つの弾性表面波フィルタＦＩＬ１、Ｆ
ＩＬ２において、各々の中心周波数ｆ１、ｆ２と膜厚ｔ
１、ｔ２との関係をｆ１・ｔ１≒ｆ２・ｔ２に設定して
各々の周波数温度特性を一致させる。
ルタの各々の周波数温度特性を同一にする。また、製品
の良品率を向上させる。 【解決手段】 ＳＴカットの水晶基板上に形成した中心
周波数の異なる２つの弾性表面波フィルタＦＩＬ１、Ｆ
ＩＬ２において、各々の中心周波数ｆ１、ｆ２と膜厚ｔ
１、ｔ２との関係をｆ１・ｔ１≒ｆ２・ｔ２に設定して
各々の周波数温度特性を一致させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波フィル
タに関し、特に、ＳＴカットの１つの水晶基板上に異な
る中心周波数の特性を有する複数のフィルタを構成した
弾性表面波フィルタに関する。
タに関し、特に、ＳＴカットの１つの水晶基板上に異な
る中心周波数の特性を有する複数のフィルタを構成した
弾性表面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の弾性表面波フィルタは、
例えば、特開平８−３０７４０１号公報に示されている
ように、受信信号からクロック成分を抽出するタイミン
グ抽出フィルタにおいて、送信信号の伝送速度が異なっ
てもそのままクロック成分抽出用のフィルタを取り替え
ずに使用するような場合に用いられることがある。
例えば、特開平８−３０７４０１号公報に示されている
ように、受信信号からクロック成分を抽出するタイミン
グ抽出フィルタにおいて、送信信号の伝送速度が異なっ
てもそのままクロック成分抽出用のフィルタを取り替え
ずに使用するような場合に用いられることがある。
【０００３】図４は、従来の弾性表面波フィルタの一例
を示す図である。本フィルタは、中心周波数の異なる２
つの弾性表面波フィルタＦＩＬ１、ＦＩＬ２から構成さ
れており、各々は第１の交差指状電極ＩＤＴ１−ＩＮ、
ＩＤＴ１−ＯＵＴと第２の交差指状電極ＩＤＴ２−Ｉ
Ｎ、ＩＤＴ２−ＯＵＴからなる。ＦＩＬ１のＩＤＴ１−
ＩＮとＦＩＬ２のＩＤＴ２−ＩＮとが入力端子部におい
て共通接続され、また、ＦＩＬ１のＩＤＴ１−ＯＵＴと
ＦＩＬ２のＩＤＴ２−ＯＵＴとが出力端子部において共
通接続されており、弾性表面波フィルタの並列接続構成
をとっている。
を示す図である。本フィルタは、中心周波数の異なる２
つの弾性表面波フィルタＦＩＬ１、ＦＩＬ２から構成さ
れており、各々は第１の交差指状電極ＩＤＴ１−ＩＮ、
ＩＤＴ１−ＯＵＴと第２の交差指状電極ＩＤＴ２−Ｉ
Ｎ、ＩＤＴ２−ＯＵＴからなる。ＦＩＬ１のＩＤＴ１−
ＩＮとＦＩＬ２のＩＤＴ２−ＩＮとが入力端子部におい
て共通接続され、また、ＦＩＬ１のＩＤＴ１−ＯＵＴと
ＦＩＬ２のＩＤＴ２−ＯＵＴとが出力端子部において共
通接続されており、弾性表面波フィルタの並列接続構成
をとっている。
【０００４】図５は、図４に示す２つの弾性表面波フィ
ルタにおけるＡ−Ａ’部及びＢ−Ｂ’部の断面の一部を
示す図であり、同図から分かるように交差指状電極の電
極間間隔は中心周波数に応じて異なる間隔λ１、λ２に
設定しているものの、電極の膜厚ｔ１、ｔ２は何れの交
差指状電極も同一の厚みに設定されている。
ルタにおけるＡ−Ａ’部及びＢ−Ｂ’部の断面の一部を
示す図であり、同図から分かるように交差指状電極の電
極間間隔は中心周波数に応じて異なる間隔λ１、λ２に
設定しているものの、電極の膜厚ｔ１、ｔ２は何れの交
差指状電極も同一の厚みに設定されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来、複数の弾性表面
波フィルタを同一の水晶材の圧電基板上に構成した弾性
表面波装置においては、フィルタの周波数温度特性が上
に凸の二次曲線特性を有し、その頂点温度は電極の膜厚
と周波数（電極間の距離）に影響されるので、中心周波
数の異なる複数の弾性表面波フィルタは交差指状電極の
膜厚が同じ場合は、図６に示すように互いに周波数温度
特性が異なったものとなり、差し替え不要の同一回路の
フィルタとして用いる場合等に不都合があるという難点
がある。
波フィルタを同一の水晶材の圧電基板上に構成した弾性
表面波装置においては、フィルタの周波数温度特性が上
に凸の二次曲線特性を有し、その頂点温度は電極の膜厚
と周波数（電極間の距離）に影響されるので、中心周波
数の異なる複数の弾性表面波フィルタは交差指状電極の
膜厚が同じ場合は、図６に示すように互いに周波数温度
特性が異なったものとなり、差し替え不要の同一回路の
フィルタとして用いる場合等に不都合があるという難点
がある。
【０００６】また、このような従来の弾性表面波装置に
おいては、各々の交差指状電極の間隔が異なるため交差
指状電極の膜厚が同じ場合は、交差指状電極を形成する
エッチング工程おいて、間隔が狭い方の交差指状電極の
エッチング処理が不充分となり交差指状電極以外の部分
が除去できずショート不良が多発するという難点があ
る。
おいては、各々の交差指状電極の間隔が異なるため交差
指状電極の膜厚が同じ場合は、交差指状電極を形成する
エッチング工程おいて、間隔が狭い方の交差指状電極の
エッチング処理が不充分となり交差指状電極以外の部分
が除去できずショート不良が多発するという難点があ
る。
【０００７】本発明の目的は、一枚の圧電基板上、特に
ＳＴカットの水晶基板上に構成された複数個の弾性表面
波フィルタの各々の周波数温度特性を同一にして温度に
対する周波数変動量を小さくすることにある。
ＳＴカットの水晶基板上に構成された複数個の弾性表面
波フィルタの各々の周波数温度特性を同一にして温度に
対する周波数変動量を小さくすることにある。
【０００８】本発明の他の目的は、各々の弾性表面波フ
ィルタの交差指状電極の膜厚を適切な厚みにすることに
より製品の良品率を向上させることにある。
ィルタの交差指状電極の膜厚を適切な厚みにすることに
より製品の良品率を向上させることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波フィ
ルタは、圧電基板上に交差指状電極を設けた弾性表面波
フィルタにおいて、同一圧電基板上に中心周波数の異な
る複数の弾性表面波フィルタを形成し、各々の交差指状
電極の膜厚を相対的にかえることにより周波数温度特性
を略一致するように補正することを特徴とする。
ルタは、圧電基板上に交差指状電極を設けた弾性表面波
フィルタにおいて、同一圧電基板上に中心周波数の異な
る複数の弾性表面波フィルタを形成し、各々の交差指状
電極の膜厚を相対的にかえることにより周波数温度特性
を略一致するように補正することを特徴とする。
【００１０】また、本発明の弾性表面波フィルタは、圧
電基板上に交差指状電極を設けた弾性表面波フィルタに
おいて、同一圧電基板上に複数の弾性表面波フィルタを
形成し、各々の中心周波数とその交差指状電極の膜厚の
積を略同一に構成したことを特徴とする。
電基板上に交差指状電極を設けた弾性表面波フィルタに
おいて、同一圧電基板上に複数の弾性表面波フィルタを
形成し、各々の中心周波数とその交差指状電極の膜厚の
積を略同一に構成したことを特徴とする。
【００１１】そして、前記圧電基板としては、ＳＴカッ
トでなる水晶を使用すると好適である。
トでなる水晶を使用すると好適である。
【００１２】交差指状電極の膜厚を互いに異ならせるこ
とにより、複数の弾性表面波フィルタの中心周波数の周
波数温度特性を一致させ、温度特性が揃った弾性表面波
フィルタを実現する。また、中心周波数の高い弾性表面
波フィルタは交差指状電極の電極間隔が狭く製作が困難
であるが、本発明においては膜厚を薄くすることができ
るので製作が容易である。
とにより、複数の弾性表面波フィルタの中心周波数の周
波数温度特性を一致させ、温度特性が揃った弾性表面波
フィルタを実現する。また、中心周波数の高い弾性表面
波フィルタは交差指状電極の電極間隔が狭く製作が困難
であるが、本発明においては膜厚を薄くすることができ
るので製作が容易である。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１４】図１は、本発明の弾性表面波フィルタの一
実施の形態を示す図である。本実施の形態では、１つの
ＳＴカットの水晶基板上に中心周波数の異なる２つの弾
性表面波フィルタＦＩＬ１、ＦＩＬ２を構成した例を示
すものである。
実施の形態を示す図である。本実施の形態では、１つの
ＳＴカットの水晶基板上に中心周波数の異なる２つの弾
性表面波フィルタＦＩＬ１、ＦＩＬ２を構成した例を示
すものである。
【００１５】同図において、圧電基板１として水晶のＹ
カットのなかのＳＴカットを用い、その表面に弾性表面
波フィルタを構成するための交差指状電極をアルミニウ
ム又はアルミニウム合金を用いて形成する。
カットのなかのＳＴカットを用い、その表面に弾性表面
波フィルタを構成するための交差指状電極をアルミニウ
ム又はアルミニウム合金を用いて形成する。
【００１６】第１の弾性表面波フィルタＦＩＬ１は、弾
性表面波（ＳＡＷ）の伝搬方法に送信側の交差指状電極
ＩＤＴ１−ＩＮ及び受信側の交差指状電極ＩＤＴ１−Ｏ
ＵＴを有し、第２の弾性表面波フィルタＦＩＬ２は、同
様に送信側の交差指状電極ＩＤＴ２−ＩＮ及び受信側の
ＩＤＴ２−ＯＵＴを有する。
性表面波（ＳＡＷ）の伝搬方法に送信側の交差指状電極
ＩＤＴ１−ＩＮ及び受信側の交差指状電極ＩＤＴ１−Ｏ
ＵＴを有し、第２の弾性表面波フィルタＦＩＬ２は、同
様に送信側の交差指状電極ＩＤＴ２−ＩＮ及び受信側の
ＩＤＴ２−ＯＵＴを有する。
【００１７】本実施の形態の２つの弾性表面波フィルタ
は並列接続して使用するように構成しており、アルミワ
イヤにより第１及び第２の送信側の一方の交差指状電極
ＩＤＴ１−ＩＮ及びＩＤＴ２−ＩＮは入力端子ＩＮに接
続し、受信側の一方の交差指状電極ＩＤＴ１−ＯＵＴ及
びＩＤＴ２−ＯＵＴは出力端子ＯＵＴに接続しており、
また、送信側及び受信側の他方の交差指状電極は何れも
接地端子Ｇに接続している。
は並列接続して使用するように構成しており、アルミワ
イヤにより第１及び第２の送信側の一方の交差指状電極
ＩＤＴ１−ＩＮ及びＩＤＴ２−ＩＮは入力端子ＩＮに接
続し、受信側の一方の交差指状電極ＩＤＴ１−ＯＵＴ及
びＩＤＴ２−ＯＵＴは出力端子ＯＵＴに接続しており、
また、送信側及び受信側の他方の交差指状電極は何れも
接地端子Ｇに接続している。
【００１８】更に、本実施の形態の弾性表面波フィルタ
は、第１及び第２の弾性表面波フィルタを構成する交差
指状電極は互いにその膜厚を異ならせるようにしてい
る。
は、第１及び第２の弾性表面波フィルタを構成する交差
指状電極は互いにその膜厚を異ならせるようにしてい
る。
【００１９】図２は、図１の第１及び第２の弾性表面波
フィルタＦＩＬ１、ＦＩＬ２の指状電極部分のＡ−Ａ’
部及びＢ−Ｂ’部の断面の一部を示す図である。
フィルタＦＩＬ１、ＦＩＬ２の指状電極部分のＡ−Ａ’
部及びＢ−Ｂ’部の断面の一部を示す図である。
【００２０】交差指状電極の電極間距離λの弾性表面波
フィルタの中心周波数ｆは、概略値として圧電基板の弾
性表面波の伝搬速度をＶ0とするとＶ0／λで表されるの
で、第１の弾性表面波フィルタＦＩＬ１の中心周波数ｆ
１は交差指状電極の電極間の距離λ１で決定され、第２
の弾性表面波フィルタＦＩＬ２の中心周波数ｆ２は交差
指状電極の同距離λ２で決定される。２つの弾性表面波
フィルタは各々の指状の電極間隔をλ１＞λ２のように
設定し、第２の弾性表面波フィルタの中心周波数は第１
の弾性表面波フィルタの中心周波数より高くなるように
設定している。
フィルタの中心周波数ｆは、概略値として圧電基板の弾
性表面波の伝搬速度をＶ0とするとＶ0／λで表されるの
で、第１の弾性表面波フィルタＦＩＬ１の中心周波数ｆ
１は交差指状電極の電極間の距離λ１で決定され、第２
の弾性表面波フィルタＦＩＬ２の中心周波数ｆ２は交差
指状電極の同距離λ２で決定される。２つの弾性表面波
フィルタは各々の指状の電極間隔をλ１＞λ２のように
設定し、第２の弾性表面波フィルタの中心周波数は第１
の弾性表面波フィルタの中心周波数より高くなるように
設定している。
【００２１】また、第１の弾性表面波フィルタＦＩＬ１
の交差指状電極の膜厚ｔ１及び第２の弾性表面波フィル
タＦＩＬ２の交差指状電極の膜厚ｔ２とし、膜厚ｔ１、
ｔ２の関係を両者の周波数温度特性を揃えるために、ｔ
１＞ｔ２に設定している。特に、第１及び第２の弾性表
面波フィルタを構成する交差指状電極の膜厚ｔ１、ｔ２
の設定を、それぞれの中心周波数ｆ１、ｆ２との関係に
おいて、ｆ１・ｔ１≒ｆ２・ｔ２の関係を満たすように
設定するのが好適である。
の交差指状電極の膜厚ｔ１及び第２の弾性表面波フィル
タＦＩＬ２の交差指状電極の膜厚ｔ２とし、膜厚ｔ１、
ｔ２の関係を両者の周波数温度特性を揃えるために、ｔ
１＞ｔ２に設定している。特に、第１及び第２の弾性表
面波フィルタを構成する交差指状電極の膜厚ｔ１、ｔ２
の設定を、それぞれの中心周波数ｆ１、ｆ２との関係に
おいて、ｆ１・ｔ１≒ｆ２・ｔ２の関係を満たすように
設定するのが好適である。
【００２２】以上のように弾性表面波フィルタを構成す
ることにより２つの弾性表面波フィルタの温度に対する
周波数変化量である周波数温度特性を互いに一致するよ
うに調整することができる。
ることにより２つの弾性表面波フィルタの温度に対する
周波数変化量である周波数温度特性を互いに一致するよ
うに調整することができる。
【００２３】弾性表面波フィルタは、送信側の交差指状
電極に信号を印加することにより水晶表面に弾性表面波
を励振し、伝搬する弾性表面波を受信側の交差指状電極
により電気信号に変換して出力する。ここで、交差指状
電極の指状電極の電極間隔により伝搬周波数が決り、弾
性表面波フィルタの中心周波数が決定される。また、周
波数温度特性は、上に凸の略二次曲線特性を呈し、その
頂点温度は電極の膜厚と周波数（電極間の距離）により
影響される。そして、前記二次曲線を示す周波数温度特
性の頂点温度は、図６に示すように弾性表面波フィルタ
の中心周波数が高くなるにしたがい低くなる傾向を有す
る。一方、前記頂点温度は、交差指状電極の膜厚が薄く
なるにしたがい高くなる傾向を有する。
電極に信号を印加することにより水晶表面に弾性表面波
を励振し、伝搬する弾性表面波を受信側の交差指状電極
により電気信号に変換して出力する。ここで、交差指状
電極の指状電極の電極間隔により伝搬周波数が決り、弾
性表面波フィルタの中心周波数が決定される。また、周
波数温度特性は、上に凸の略二次曲線特性を呈し、その
頂点温度は電極の膜厚と周波数（電極間の距離）により
影響される。そして、前記二次曲線を示す周波数温度特
性の頂点温度は、図６に示すように弾性表面波フィルタ
の中心周波数が高くなるにしたがい低くなる傾向を有す
る。一方、前記頂点温度は、交差指状電極の膜厚が薄く
なるにしたがい高くなる傾向を有する。
【００２４】そして、ＳＴカットの同一基板上に形成し
た２つの弾性表面波フィルタの周波数温度特性は、概
略、中心周波数ｆと膜厚ｔとの積ｆ・ｔにより決定され
るので、本実施の形態においてはｆ１・ｔ１≒ｆ２・ｔ
２ように設定することにより、図３に示すように周波数
温度特性をほぼ一致させることが可能である。
た２つの弾性表面波フィルタの周波数温度特性は、概
略、中心周波数ｆと膜厚ｔとの積ｆ・ｔにより決定され
るので、本実施の形態においてはｆ１・ｔ１≒ｆ２・ｔ
２ように設定することにより、図３に示すように周波数
温度特性をほぼ一致させることが可能である。
【００２５】以上説明した実施の形態においては、同一
基板上に２つの弾性表面波フィルタを構成する例により
本発明を説明したが、弾性表面波フィルタは３つ以上で
もその中心周波数に応じて交差指状電極の膜厚を上述の
関係に調整することにより周波数温度特性をほぼ一致さ
せることができる。また、本実施の形態では異なる膜厚
の交差指状電極を形成するために複数の弾性表面波フィ
ルタを互いに独立して構成しアルミワイヤを用いて互い
に接続しているが、図４の従来例のように複数の弾性表
面波フィルタを圧電基板上で配線接続し一体的に構成し
てもよいことは明らかである。
基板上に２つの弾性表面波フィルタを構成する例により
本発明を説明したが、弾性表面波フィルタは３つ以上で
もその中心周波数に応じて交差指状電極の膜厚を上述の
関係に調整することにより周波数温度特性をほぼ一致さ
せることができる。また、本実施の形態では異なる膜厚
の交差指状電極を形成するために複数の弾性表面波フィ
ルタを互いに独立して構成しアルミワイヤを用いて互い
に接続しているが、図４の従来例のように複数の弾性表
面波フィルタを圧電基板上で配線接続し一体的に構成し
てもよいことは明らかである。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、交差指状電極の膜厚を
異ならせることにより、同一圧電基板上の複数の弾性表
面波フィルタの中心周波数の周波数温度特性を一致させ
ることができる。したがって、温度特性が揃った高性能
で安定度の高い弾性表面波フィルタを構成することがで
き、また、複数の弾性表面波フィルタを並列接続して使
用する場合等において、温度変動による回路の誤動作等
を防止することができる。
異ならせることにより、同一圧電基板上の複数の弾性表
面波フィルタの中心周波数の周波数温度特性を一致させ
ることができる。したがって、温度特性が揃った高性能
で安定度の高い弾性表面波フィルタを構成することがで
き、また、複数の弾性表面波フィルタを並列接続して使
用する場合等において、温度変動による回路の誤動作等
を防止することができる。
【００２７】更に、中心周波数の高い弾性表面波フィル
タを同一圧電基板上に形成しても当該弾性表面波フィル
タの交差指状電極は膜厚が薄く、エッチング工程での指
状電極の製作が容易であり指状電極相互間のショート等
を低減でき、製品の良品率を向上させることができる。
タを同一圧電基板上に形成しても当該弾性表面波フィル
タの交差指状電極は膜厚が薄く、エッチング工程での指
状電極の製作が容易であり指状電極相互間のショート等
を低減でき、製品の良品率を向上させることができる。
【００２８】
【図１】本発明の弾性表面波フィルタの一実施の形態を
示す図である。
示す図である。
【図２】本実施の形態の弾性表面波フィルタの断面を示
す図である。
す図である。
【図３】本発明の弾性表面波フィルタの周波数温度特性
を示す図である。
を示す図である。
【図４】従来例の弾性表面波フィルタを示す図である。
【図５】従来例の弾性表面波フィルタの断面を示す図で
ある。
ある。
【図６】従来例の弾性表面波フィルタの周波数温度特性
を示す図である。
を示す図である。
１ 圧電基板ＦＩＬ１、ＦＩＬ２ 弾性表面波フィル
タ ＩＤＴ１−ＩＮ、ＩＤＴ１−ＯＵＴ 交差指状電極 ＩＤＴ２−ＩＮ、ＩＤＴ２−ＯＵＴ 交差指状電極 ＩＮ 入力端子 ＯＵＴ 出力端子 Ｇ 接地端子
タ ＩＤＴ１−ＩＮ、ＩＤＴ１−ＯＵＴ 交差指状電極 ＩＤＴ２−ＩＮ、ＩＤＴ２−ＯＵＴ 交差指状電極 ＩＮ 入力端子 ＯＵＴ 出力端子 Ｇ 接地端子
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電基板上に交差指状電極を設けた弾性
表面波フィルタにおいて、 同一圧電基板上に中心周波数の異なる複数の弾性表面波
フィルタを形成し、各々の交差指状電極の膜厚を相対的
にかえることにより周波数温度特性を略一致するように
補正することを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項２】 圧電基板上に交差指状電極を設けた弾性
表面波フィルタにおいて、 同一圧電基板上に複数の弾性表面波フィルタを形成し、
各々の中心周波数とその交差指状電極の膜厚の積を略同
一に構成したことを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項３】 前記圧電基板にはＳＴカットの水晶を用
いることを特徴とする請求項１又は２記載の弾性表面波
フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12155497A JPH10303680A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12155497A JPH10303680A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10303680A true JPH10303680A (ja) | 1998-11-13 |
Family
ID=14814126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12155497A Pending JPH10303680A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10303680A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1056202A2 (en) * | 1999-05-26 | 2000-11-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and method of producing the same |
| JP2006148372A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Japan Radio Co Ltd | マルチバンド型弾性波フィルタ |
-
1997
- 1997-04-25 JP JP12155497A patent/JPH10303680A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1056202A2 (en) * | 1999-05-26 | 2000-11-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and method of producing the same |
| EP1056202A3 (en) * | 1999-05-26 | 2003-03-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and method of producing the same |
| JP2006148372A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Japan Radio Co Ltd | マルチバンド型弾性波フィルタ |
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