JPH1028974A - オゾン水製造装置 - Google Patents
オゾン水製造装置Info
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- JPH1028974A JPH1028974A JP20661196A JP20661196A JPH1028974A JP H1028974 A JPH1028974 A JP H1028974A JP 20661196 A JP20661196 A JP 20661196A JP 20661196 A JP20661196 A JP 20661196A JP H1028974 A JPH1028974 A JP H1028974A
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- Japan
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- ozone
- water
- tank
- producing apparatus
- bubbler
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、オゾン水製造装置に関し、特にオゾ
ンガス発生器から導かれたオゾンガスを効率よく水中に
溶解させるようにした。 【解決手段】オゾンガス発生器１で生じたオゾンガスは
バブラー13によって水中における多数の微小気泡とさ
れ、さらにオゾン溶解部14を構成するタンクＴ内に導か
れて、同タンク内の微小粒体５に付着し、このようにし
てオゾンガスと水との接触面を極力増加させた状態を維
持することにより、オゾンガスの水中への溶解が促進さ
れて、オゾン水の製造が能率よく行なわれるようにな
る。
ンガス発生器から導かれたオゾンガスを効率よく水中に
溶解させるようにした。 【解決手段】オゾンガス発生器１で生じたオゾンガスは
バブラー13によって水中における多数の微小気泡とさ
れ、さらにオゾン溶解部14を構成するタンクＴ内に導か
れて、同タンク内の微小粒体５に付着し、このようにし
てオゾンガスと水との接触面を極力増加させた状態を維
持することにより、オゾンガスの水中への溶解が促進さ
れて、オゾン水の製造が能率よく行なわれるようにな
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、オゾンガスを水中
に導き溶解させるようにしてオゾン水を製造するための
装置に関する。
に導き溶解させるようにしてオゾン水を製造するための
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、オゾン水は、先端技術分野でシリ
ンコンウェハーの洗浄などに用いられており、その製造
に際しては、超純水の電解手段が採用されている。
ンコンウェハーの洗浄などに用いられており、その製造
に際しては、超純水の電解手段が採用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】オゾン水は、有機物の
分解作用を行なう機能を有するほか、高い酸化力を有し
て、脱臭，脱色，殺菌のためにも使用可能であり、医療
器具の消毒や汚物処理，水槽の洗浄殺菌のほか、超高真
空を必要とする加速器等の内壁面の処理等に役立つとさ
れている。
分解作用を行なう機能を有するほか、高い酸化力を有し
て、脱臭，脱色，殺菌のためにも使用可能であり、医療
器具の消毒や汚物処理，水槽の洗浄殺菌のほか、超高真
空を必要とする加速器等の内壁面の処理等に役立つとさ
れている。
【０００４】ところで、先端技術分野に用いられるオゾ
ン水の製造に際し、超純水の電解手段で発生したオゾン
ガスを、ガス透過膜に通すようにしてオゾン水を得てい
るが、このようなガス透過膜方式では、吸収効率が一定
になるのに時間がかかるほか、オゾンガスの吸収効率も
かなり低くなるという問題点があり、高価な超純水の使
用と相まってコスト高を招き、汎用性に乏しいという問
題点もある。
ン水の製造に際し、超純水の電解手段で発生したオゾン
ガスを、ガス透過膜に通すようにしてオゾン水を得てい
るが、このようなガス透過膜方式では、吸収効率が一定
になるのに時間がかかるほか、オゾンガスの吸収効率も
かなり低くなるという問題点があり、高価な超純水の使
用と相まってコスト高を招き、汎用性に乏しいという問
題点もある。
【０００５】そこで、本発明は、純水のみならず水道水
でもオゾンガスを効率よく吸収できるようにして、汎用
性の向上をはかったオゾン水製造装置を提供することを
課題とする。
でもオゾンガスを効率よく吸収できるようにして、汎用
性の向上をはかったオゾン水製造装置を提供することを
課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め、本発明のオゾン水製造装置は、オゾンガスを水中に
導いて微小の気泡とするバブラーと、同バブラーにより
得られたオゾンの微小気泡と水との混合物の滞留により
オゾンを溶解させるオゾン溶解部とをそなえて構成され
たことを特徴としている。
め、本発明のオゾン水製造装置は、オゾンガスを水中に
導いて微小の気泡とするバブラーと、同バブラーにより
得られたオゾンの微小気泡と水との混合物の滞留により
オゾンを溶解させるオゾン溶解部とをそなえて構成され
たことを特徴としている。
【０００７】上述の本発明のオゾン水製造装置では、オ
ゾンガス発生器で発生したオゾンガスが、まずバブラー
に導かれて水中に散在する多数の微小気泡とされ、同バ
ブラーで生成されたオゾンガスの微小気泡はオゾン溶解
部に導かれて滞留しながら水中に溶解し、オゾン水を生
じるようになる。
ゾンガス発生器で発生したオゾンガスが、まずバブラー
に導かれて水中に散在する多数の微小気泡とされ、同バ
ブラーで生成されたオゾンガスの微小気泡はオゾン溶解
部に導かれて滞留しながら水中に溶解し、オゾン水を生
じるようになる。
【０００８】上述のように、本装置では、オゾンガスの
微小気泡を作るバブラーと、オゾンガスの微小気泡を滞
留させてオゾン水を生成するオゾン溶解部とが機能的に
分離されているので、オゾン水の生成が効率よく行なわ
れるようになる。
微小気泡を作るバブラーと、オゾンガスの微小気泡を滞
留させてオゾン水を生成するオゾン溶解部とが機能的に
分離されているので、オゾン水の生成が効率よく行なわ
れるようになる。
【０００９】そして、上記のバブラーとオゾン溶解部と
を構造的にも互いに独立したものとする場合は、共通の
バブラーに対しオゾン溶解部を多数設けて、オゾンの溶
解度が基準に達したものからオゾン水の出荷を行なうよ
うにして、大量のオゾン水の製造が順次効率よく行なわ
れるようになる。
を構造的にも互いに独立したものとする場合は、共通の
バブラーに対しオゾン溶解部を多数設けて、オゾンの溶
解度が基準に達したものからオゾン水の出荷を行なうよ
うにして、大量のオゾン水の製造が順次効率よく行なわ
れるようになる。
【００１０】また、本発明のオゾン水製造装置は、上記
オゾン溶解部が、上記オゾンの微小気泡と水との混合物
を受入れるタンクと、同タンク内に存在して上記オゾン
の微小気泡を付着させる多数の微小粒体とで構成され、
同オゾン溶解部からオゾン水を取り出すべく上記タンク
に形成された取出し口を、内方から覆うように、上記微
小粒体の流出を阻止するフィルターが設けられたことを
特徴としている。
オゾン溶解部が、上記オゾンの微小気泡と水との混合物
を受入れるタンクと、同タンク内に存在して上記オゾン
の微小気泡を付着させる多数の微小粒体とで構成され、
同オゾン溶解部からオゾン水を取り出すべく上記タンク
に形成された取出し口を、内方から覆うように、上記微
小粒体の流出を阻止するフィルターが設けられたことを
特徴としている。
【００１１】上述のように、オゾン溶解部のタンク内の
水中にオゾンの微小気泡を付着させる多数の微小粒体が
存在すると、同微小粒体によりオゾンの微小気泡を維持
して水中に滞留させる機能が向上し、オゾンガスと水と
の接触面を極力多くして、オゾンガスが水に溶解しやす
くなる状態を維持できるので、オゾン水の生成が効率よ
く行なわれるようになる。そして、生成されたオゾン水
のオゾン濃度が所要の基準に達すると、上記タンクから
オゾン水が取り出されるが、その際、上記タンクからの
オゾン水取出し口にフィルターが装着されていると、上
記微小粒体の流出が阻止されるので、同微小粒体を含ん
だ上記タンクのオゾン溶解部としての継続的な使用が可
能になる。
水中にオゾンの微小気泡を付着させる多数の微小粒体が
存在すると、同微小粒体によりオゾンの微小気泡を維持
して水中に滞留させる機能が向上し、オゾンガスと水と
の接触面を極力多くして、オゾンガスが水に溶解しやす
くなる状態を維持できるので、オゾン水の生成が効率よ
く行なわれるようになる。そして、生成されたオゾン水
のオゾン濃度が所要の基準に達すると、上記タンクから
オゾン水が取り出されるが、その際、上記タンクからの
オゾン水取出し口にフィルターが装着されていると、上
記微小粒体の流出が阻止されるので、同微小粒体を含ん
だ上記タンクのオゾン溶解部としての継続的な使用が可
能になる。
【００１２】さらに、本発明のオゾン水製造装置は、上
記オゾン溶解部が密閉タンクとして構成されて、同タン
ク内の水面上方の気層を負圧になしうる真空ポンプが、
同タンクの上部に接続されていることを特徴としてい
る。
記オゾン溶解部が密閉タンクとして構成されて、同タン
ク内の水面上方の気層を負圧になしうる真空ポンプが、
同タンクの上部に接続されていることを特徴としてい
る。
【００１３】上述のように、オゾン溶解部を構成する密
閉タンクの内部の水面上方における気層が、真空ポンプ
により吸引されて負圧とされるようになっていると、同
タンクの水中に溶存していた空気等の気体も気化し吸引
されるので、このような状態の水中にバブラーからオゾ
ンガスの微小気泡が導かれ、オゾンガスが水中に溶解し
やすくなり、オゾン水の生成が促進されるようになる。
閉タンクの内部の水面上方における気層が、真空ポンプ
により吸引されて負圧とされるようになっていると、同
タンクの水中に溶存していた空気等の気体も気化し吸引
されるので、このような状態の水中にバブラーからオゾ
ンガスの微小気泡が導かれ、オゾンガスが水中に溶解し
やすくなり、オゾン水の生成が促進されるようになる。
【００１４】ところで、オゾンガスやオゾン水は酸化性
が著しく強いが、本発明のオゾン水製造装置は、上記オ
ゾン溶解部を構成するタンクの内面に内張り層をそなえ
て、同内張り層や上記微小粒体のほか、上記オゾン水取
出し口のフィルターまでも、オゾンに対する安定性の高
い四フッ化エチレン重合体系の材料で形成されることを
特徴としており、これにより上記オゾン溶解部の反復使
用が可能になって、生産性の大幅な向上が期待される。
が著しく強いが、本発明のオゾン水製造装置は、上記オ
ゾン溶解部を構成するタンクの内面に内張り層をそなえ
て、同内張り層や上記微小粒体のほか、上記オゾン水取
出し口のフィルターまでも、オゾンに対する安定性の高
い四フッ化エチレン重合体系の材料で形成されることを
特徴としており、これにより上記オゾン溶解部の反復使
用が可能になって、生産性の大幅な向上が期待される。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面により本発明の実施形
態について説明すると、図１は本発明の第１実施形態と
してのオゾン水製造装置を模式的に示す説明図、図２は
図１の装置の作用状態を示す説明図であり、図３は本発
明の第２実施形態としてのオゾン水製造装置を模式的に
示す説明図である。
態について説明すると、図１は本発明の第１実施形態と
してのオゾン水製造装置を模式的に示す説明図、図２は
図１の装置の作用状態を示す説明図であり、図３は本発
明の第２実施形態としてのオゾン水製造装置を模式的に
示す説明図である。
【００１６】まず本発明の第１実施形態について説明す
ると、図１に示すように、市販の無声放電式オゾナイザ
ーのごときオゾンガス発生器１で発生したオゾンガス
が、ポンプ２により、多孔質板としてのバブラー３を介
し微小気泡としてオゾン溶解部４の水中に導かれるよう
になっている。
ると、図１に示すように、市販の無声放電式オゾナイザ
ーのごときオゾンガス発生器１で発生したオゾンガス
が、ポンプ２により、多孔質板としてのバブラー３を介
し微小気泡としてオゾン溶解部４の水中に導かれるよう
になっている。
【００１７】オゾン溶解部４を構成するタンクＴの内部
には多数の微小粒体５が収容されており、図２に示すよ
うに、バブラー３を通過して生じたオゾンガスの微小気
泡が噴入されると、同微小気泡の付着した各微小粒体５
は舞い上がって分散するようになるが、これらの微小粒
体５はタンＴ内に多段状に配置された微小メッシュの網
上に予め分散して配置しておいてもよい。
には多数の微小粒体５が収容されており、図２に示すよ
うに、バブラー３を通過して生じたオゾンガスの微小気
泡が噴入されると、同微小気泡の付着した各微小粒体５
は舞い上がって分散するようになるが、これらの微小粒
体５はタンＴ内に多段状に配置された微小メッシュの網
上に予め分散して配置しておいてもよい。
【００１８】またタンクＴの上部には真空ポンプ６がバ
ルブ７を介し接続されていて、タンクＴ内の水面の上方
における気層８を吸引し同気層８を負圧になしうるよう
に構成されている。
ルブ７を介し接続されていて、タンクＴ内の水面の上方
における気層８を吸引し同気層８を負圧になしうるよう
に構成されている。
【００１９】さらに、オゾン溶解部４からオゾン水を取
り出すべくタンクＴに形成された取出し口９を、内方か
ら覆うように、微小粒体５の流出を阻止する微小メッシ
ュのフィルター10が設けられている。
り出すべくタンクＴに形成された取出し口９を、内方か
ら覆うように、微小粒体５の流出を阻止する微小メッシ
ュのフィルター10が設けられている。
【００２０】また酸化性の強いオゾンガスやオゾン水に
対処するため、タンクＴの内面には四フッ化エチレン重
合体系の材料（以下、商品名「テフロン」という。）で
作られた内張り層が設けられるほか、バブラー３や微小
粒体５，フィルター10などもテフロンで表面処理された
りテフロンで作られたりしている。
対処するため、タンクＴの内面には四フッ化エチレン重
合体系の材料（以下、商品名「テフロン」という。）で
作られた内張り層が設けられるほか、バブラー３や微小
粒体５，フィルター10などもテフロンで表面処理された
りテフロンで作られたりしている。
【００２１】上述のように構成された本実施形態のオゾ
ン水製造装置では、オゾンガス発生器１で発生したオゾ
ンガスが、多孔質板としてのバブラー３により水中に散
在する多数の微小気泡としてオゾン溶解部４に導かれて
滞留しながら水中に溶解し、オゾン水を生じるようにな
る。すなわち、オゾンガスの微小気泡５を作るバブラー
３とオゾンガスの微小気泡５を滞留させてオゾン水を生
成するオゾン溶解部４とが機能的に分離されているの
で、オゾン水の生成が効率よく行なわれるのである。
ン水製造装置では、オゾンガス発生器１で発生したオゾ
ンガスが、多孔質板としてのバブラー３により水中に散
在する多数の微小気泡としてオゾン溶解部４に導かれて
滞留しながら水中に溶解し、オゾン水を生じるようにな
る。すなわち、オゾンガスの微小気泡５を作るバブラー
３とオゾンガスの微小気泡５を滞留させてオゾン水を生
成するオゾン溶解部４とが機能的に分離されているの
で、オゾン水の生成が効率よく行なわれるのである。
【００２２】またオゾン溶解部４にはオゾンの微小気泡
を付着させる多数の微小粒体５が存在するので、同微小
粒体５によりオゾンの微小気泡を維持して水中に滞留さ
せる機能が向上し、オゾンガスと水との接触面を極力多
くして、オゾンガスを水に溶解しやすくする状態が維持
される。このようにして、微小粒体５の存在によりオゾ
ン水の生成が促進されるが、微小粒体５の粒径としては
数μｍから10μｍ程度とすることが望ましい。
を付着させる多数の微小粒体５が存在するので、同微小
粒体５によりオゾンの微小気泡を維持して水中に滞留さ
せる機能が向上し、オゾンガスと水との接触面を極力多
くして、オゾンガスを水に溶解しやすくする状態が維持
される。このようにして、微小粒体５の存在によりオゾ
ン水の生成が促進されるが、微小粒体５の粒径としては
数μｍから10μｍ程度とすることが望ましい。
【００２３】さらに本実施形態では、オゾン溶解部４を
構成する密閉タンクＴの内部の水面上方における気層８
が、真空ポンプ６により吸引されて負圧とされるように
なっているので、同タンクＴの水中に溶存していた空気
等の気体も気化し吸引されるようになり、このような状
態の水中にバブラー３の多孔質板からオゾンガスの微小
気泡が導かれと、オゾンガスが水中に溶解しやすくな
り、オゾン水の生成が促進されるようになる。
構成する密閉タンクＴの内部の水面上方における気層８
が、真空ポンプ６により吸引されて負圧とされるように
なっているので、同タンクＴの水中に溶存していた空気
等の気体も気化し吸引されるようになり、このような状
態の水中にバブラー３の多孔質板からオゾンガスの微小
気泡が導かれと、オゾンガスが水中に溶解しやすくな
り、オゾン水の生成が促進されるようになる。
【００２４】このようにして、オゾン溶解部４のタンク
Ｔに生成されたオゾン水のオゾン濃度が所要の基準に達
すると、タンクＴからオゾン水が取り出されるが、その
際、タンクＴのオゾン水取出し口９にフィルター10が装
着されているので、微小粒体５の流出が阻止されるよう
になり、同微小粒体５を含んだタンクＴのオゾン溶解部
４としての継続的な使用が可能になる。
Ｔに生成されたオゾン水のオゾン濃度が所要の基準に達
すると、タンクＴからオゾン水が取り出されるが、その
際、タンクＴのオゾン水取出し口９にフィルター10が装
着されているので、微小粒体５の流出が阻止されるよう
になり、同微小粒体５を含んだタンクＴのオゾン溶解部
４としての継続的な使用が可能になる。
【００２５】オゾンガスやオゾン水は酸化性が著しく強
いが、本実施形態のオゾン水製造装置は、オゾン溶解部
４を構成するタンクＴの内面に内張り層をそなえて、同
内張り層や微小粒体５のほか、オゾン水取出し口９のフ
ィルター10までも、オゾンに対する安定性の高いテフロ
ンで形成されるので、オゾン溶解部４の反復使用が可能
になって、生産性の大幅な向上が期待される。
いが、本実施形態のオゾン水製造装置は、オゾン溶解部
４を構成するタンクＴの内面に内張り層をそなえて、同
内張り層や微小粒体５のほか、オゾン水取出し口９のフ
ィルター10までも、オゾンに対する安定性の高いテフロ
ンで形成されるので、オゾン溶解部４の反復使用が可能
になって、生産性の大幅な向上が期待される。
【００２６】次に本発明の第２実施形態について説明す
ると、図３に示すように、オゾンガス発生器１からバブ
ラー13の容器内の水中に導かれたオゾンガスがブレード
の回転により撹拌されて微小気泡を生じるようになって
おり、同バブラー13には、オゾンガス溶解部14を有する
多数のタンクＴがそれぞれバルブ11を介して接続されて
いる。
ると、図３に示すように、オゾンガス発生器１からバブ
ラー13の容器内の水中に導かれたオゾンガスがブレード
の回転により撹拌されて微小気泡を生じるようになって
おり、同バブラー13には、オゾンガス溶解部14を有する
多数のタンクＴがそれぞれバルブ11を介して接続されて
いる。
【００２７】そして、各タンクＴの内部の水中には、前
述の第１実施形態と同様に、テフロン製の微小粒体５が
多数存在している。また、各タンクＴにはオゾン水取出
し口９が設けられて、内方から微小メッシュのフィルタ
ー10で覆われている。
述の第１実施形態と同様に、テフロン製の微小粒体５が
多数存在している。また、各タンクＴにはオゾン水取出
し口９が設けられて、内方から微小メッシュのフィルタ
ー10で覆われている。
【００２８】この第２実施形態の場合も、オゾンガス発
生器１で生じたオゾンガスがバブラー13で微小気泡とさ
れて、オゾン溶解部14内の微小粒体５に付着し、このよ
うにしてオゾンガスと水との接触面積を極力増加させる
ようにしてオゾンガスの水中への溶解が促進されるよう
になっている。
生器１で生じたオゾンガスがバブラー13で微小気泡とさ
れて、オゾン溶解部14内の微小粒体５に付着し、このよ
うにしてオゾンガスと水との接触面積を極力増加させる
ようにしてオゾンガスの水中への溶解が促進されるよう
になっている。
【００２９】そして、バブラー13内の撹拌用ブレード
や、微小粒体５およびフィルター10はテフロン製とさ
れ、バブラー13の容器内面および各タンクＴの内面には
テフロン製の内張りが施されている。
や、微小粒体５およびフィルター10はテフロン製とさ
れ、バブラー13の容器内面および各タンクＴの内面には
テフロン製の内張りが施されている。
【００３０】上述の第２実施形態では、オゾン溶解部14
を内蔵する各タンクＴがバブラー13から独立した構造に
なっているので、オゾンの溶解度が基準に達したタンク
Ｔを分離させるようにしてオゾン水の出荷を行うことが
可能となり、大量のオゾン水の製造が順次効率よく行な
われるようになる。
を内蔵する各タンクＴがバブラー13から独立した構造に
なっているので、オゾンの溶解度が基準に達したタンク
Ｔを分離させるようにしてオゾン水の出荷を行うことが
可能となり、大量のオゾン水の製造が順次効率よく行な
われるようになる。
【００３１】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明のオゾン水
製造装置によれば、次のような効果が得られる。 (1) オゾンガスの微小気泡を作るバブラーと、オゾンガ
スの微小気泡を滞留させてオゾン水を生成するオゾン溶
解部とが機能的に分離されているので、オゾン水の生成
が効率よく行なわれるようになる。 (2) 上記のバブラーとオゾン溶解部とを構造的にも互い
に独立したものとする場合は、共通のバブラーに対しオ
ゾン溶解部を多数設けて、オゾンの溶解度が基準に達し
たものからオゾン水の出荷を行なうようにして、大量の
オゾン水の製造が順次効率よく行なわれるようになる。 (3) オゾン溶解部のタンク内の水中にオゾンの微小気泡
を付着させる多数の微小粒体が存在すると、同微小粒体
によりオゾンの微小気泡を維持して水中に滞留させる機
能が向上し、オゾンガスと水との接触面を極力多くし
て、オゾンガスが水に溶解しやすくなる状態を維持でき
るので、オゾン水の生成が効率よく行なわれるようにな
る。 (4) 生成されたオゾン水のオゾン濃度が所要の基準に達
すると、上記タンクからオゾン水が取り出されるが、そ
の際、上記タンクからのオゾン水取出し口にフィルター
が装着されていると、上記微小粒体の流出が阻止される
ので、同微小粒体を含んだ上記タンクのオゾン溶解部と
しての継続的な使用が可能になる。 (5) オゾン溶解部を構成する密閉タンクの内部の水面上
方における気層が、真空ポンプにより吸引されて負圧と
されるようになっていると、同タンクの水中に溶存して
いた空気等の気体も気化し吸引されるので、このような
状態の水中にバブラーからオゾンガスの微小気泡が導か
れと、オゾンガスが水中に溶解しやすくなり、オゾン水
の生成が促進されるようになる。 (6) オゾンガスやオゾン水に接触する各部材がテフロン
で作られたり表面をテフロンで覆われたりしていると、
腐食が防止され、耐久性が向上する。
製造装置によれば、次のような効果が得られる。 (1) オゾンガスの微小気泡を作るバブラーと、オゾンガ
スの微小気泡を滞留させてオゾン水を生成するオゾン溶
解部とが機能的に分離されているので、オゾン水の生成
が効率よく行なわれるようになる。 (2) 上記のバブラーとオゾン溶解部とを構造的にも互い
に独立したものとする場合は、共通のバブラーに対しオ
ゾン溶解部を多数設けて、オゾンの溶解度が基準に達し
たものからオゾン水の出荷を行なうようにして、大量の
オゾン水の製造が順次効率よく行なわれるようになる。 (3) オゾン溶解部のタンク内の水中にオゾンの微小気泡
を付着させる多数の微小粒体が存在すると、同微小粒体
によりオゾンの微小気泡を維持して水中に滞留させる機
能が向上し、オゾンガスと水との接触面を極力多くし
て、オゾンガスが水に溶解しやすくなる状態を維持でき
るので、オゾン水の生成が効率よく行なわれるようにな
る。 (4) 生成されたオゾン水のオゾン濃度が所要の基準に達
すると、上記タンクからオゾン水が取り出されるが、そ
の際、上記タンクからのオゾン水取出し口にフィルター
が装着されていると、上記微小粒体の流出が阻止される
ので、同微小粒体を含んだ上記タンクのオゾン溶解部と
しての継続的な使用が可能になる。 (5) オゾン溶解部を構成する密閉タンクの内部の水面上
方における気層が、真空ポンプにより吸引されて負圧と
されるようになっていると、同タンクの水中に溶存して
いた空気等の気体も気化し吸引されるので、このような
状態の水中にバブラーからオゾンガスの微小気泡が導か
れと、オゾンガスが水中に溶解しやすくなり、オゾン水
の生成が促進されるようになる。 (6) オゾンガスやオゾン水に接触する各部材がテフロン
で作られたり表面をテフロンで覆われたりしていると、
腐食が防止され、耐久性が向上する。
【図１】本発明の第１実施形態としてのオゾン水製造装
置を模式的に示す説明図である。
置を模式的に示す説明図である。
【図２】図１の装置の作用状態を示す説明図である。
【図３】本発明の第２実施形態としてのオゾン水製造装
置を模式的に示す説明図である。
置を模式的に示す説明図である。
１ オゾンガス発生器 ２ ポンプ ３ バブラー（多孔質板） ４ オゾン溶解部 ５ 微小粒体 ６ 真空ポンプ ７ バルブ ８ 気層 ９ オゾン水取出し口 10 フィルター 11 バルブ 13 バブラー 14 オゾン溶解部 Ｔ タンク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ０１Ｊ 7/02 Ｂ０１Ｊ 7/02 Ａ Ｃ０１Ｂ 13/10 Ｃ０１Ｂ 13/10 Ｄ Ｃ０２Ｆ 1/78 Ｃ０２Ｆ 1/78
Claims (4)
- 【請求項１】 オゾンガスを水中に導いて微小の気泡と
するバブラーと、同バブラーにより得られたオゾンの微
小気泡と水との混合物の滞留によりオゾンを溶解させる
オゾン溶解部とをそなえて構成されたことを特徴とす
る、オゾン水製造装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のオゾン水製造装置にお
いて、上記オゾン溶解部が、上記オゾンの微小気泡と水
との混合物を受入れるタンクと、同タンク内に存在して
上記オゾンの微小気泡を付着させる多数の微小粒体とで
構成され、同オゾン溶解部からオゾン水を取り出すべく
上記タンクに形成された取出し口を、内方から覆うよう
に、上記微小粒体の流出を阻止するフィルターが設けら
れたことを特徴とする、オゾン水製造装置。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載のオゾン水製造
装置において、上記オゾン溶解部が密閉タンクとして構
成されて、同タンク内の水面上方の気層を負圧になしう
る真空ポンプが、同タンクの上部に接続されていること
を特徴とする、オゾン水製造装置。 - 【請求項４】 請求項２に記載のオゾン水製造装置にお
いて、上記タンクの内面に腐食防止のための内張り層を
そなえ、同内張り層と、上記の微小粒体およびフィルタ
ーとが、いずれも四フッ化エチレン重合体系の材料で形
成されていることを特徴とする、オゾン水製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20661196A JPH1028974A (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | オゾン水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20661196A JPH1028974A (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | オゾン水製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1028974A true JPH1028974A (ja) | 1998-02-03 |
Family
ID=16526253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20661196A Pending JPH1028974A (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | オゾン水製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1028974A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002062711A1 (fr) * | 2001-02-02 | 2002-08-15 | Mikasavets Inc. | Dispositif de production de solution aqueuse a atome libre, procede de production de solution aqueuse a atome libre, et solution aqueuse a atome libre |
-
1996
- 1996-07-17 JP JP20661196A patent/JPH1028974A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002062711A1 (fr) * | 2001-02-02 | 2002-08-15 | Mikasavets Inc. | Dispositif de production de solution aqueuse a atome libre, procede de production de solution aqueuse a atome libre, et solution aqueuse a atome libre |
| US7048862B2 (en) | 2001-02-02 | 2006-05-23 | Waterware Inc. | Free atom aqueous solution producing apparatus, free-atom aqueous solution producing method, and free-atom aqueous solution |
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