JPH10288600A - 微分型電気移動度測定器 - Google Patents
微分型電気移動度測定器Info
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- JPH10288600A JPH10288600A JP9905897A JP9905897A JPH10288600A JP H10288600 A JPH10288600 A JP H10288600A JP 9905897 A JP9905897 A JP 9905897A JP 9905897 A JP9905897 A JP 9905897A JP H10288600 A JPH10288600 A JP H10288600A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 広範囲に分布した微粒子の粒径を安価かつ容
易に測定することができる微分型電気移動度測定器を提
供する。 【解決手段】 微分型電気移動度測定器１は、基部４
と、基部４に対して伸縮体５を介して移動自在に連結さ
れた囲み体６と、基部４に連結されるとともに囲み体６
の内部に向かって延びる中心ロッド７とを備えている。
囲み体６は帯電した微粒子を内部に引き込むための一方
のスリット８を有し、中心ロッド７は一方のスリット８
から引き込まれた帯電した微粒子を外部に取り出すため
の他方のスリット９を有している。また、囲み体６およ
び中心ロッド７はともに導体からなり、中心ロッド７に
は可変電圧源１２が接続され、囲み体６は接地されてい
る。なお、基部４と囲み体６とは移動自在に連結され、
伸縮体５により囲み体６の内部を密封状態に維持しつつ
一方のスリット８および他方のスリット９間の距離を変
化させることができる。
易に測定することができる微分型電気移動度測定器を提
供する。 【解決手段】 微分型電気移動度測定器１は、基部４
と、基部４に対して伸縮体５を介して移動自在に連結さ
れた囲み体６と、基部４に連結されるとともに囲み体６
の内部に向かって延びる中心ロッド７とを備えている。
囲み体６は帯電した微粒子を内部に引き込むための一方
のスリット８を有し、中心ロッド７は一方のスリット８
から引き込まれた帯電した微粒子を外部に取り出すため
の他方のスリット９を有している。また、囲み体６およ
び中心ロッド７はともに導体からなり、中心ロッド７に
は可変電圧源１２が接続され、囲み体６は接地されてい
る。なお、基部４と囲み体６とは移動自在に連結され、
伸縮体５により囲み体６の内部を密封状態に維持しつつ
一方のスリット８および他方のスリット９間の距離を変
化させることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はエアロゾルやナノ
（nano）粒子等の微粒子を測定する微分型電気移動度測
定器（ＤＭＡ：differential mobility analyzer）に係
り、とりわけ広範囲に分布した微粒子の粒径を安価かつ
容易に測定することができる微分型電気移動度測定器に
関する。
（nano）粒子等の微粒子を測定する微分型電気移動度測
定器（ＤＭＡ：differential mobility analyzer）に係
り、とりわけ広範囲に分布した微粒子の粒径を安価かつ
容易に測定することができる微分型電気移動度測定器に
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体製造プロセスにおける粒子
汚染の抑制、大気中における酸性雨やスモッグ等の発生
機構の解明、および量子ナノ材料の開発等に関連して、
大気等の雰囲気中に浮遊するエアロゾルやナノ粒子等の
微粒子が注目を集めている。
汚染の抑制、大気中における酸性雨やスモッグ等の発生
機構の解明、および量子ナノ材料の開発等に関連して、
大気等の雰囲気中に浮遊するエアロゾルやナノ粒子等の
微粒子が注目を集めている。
【０００３】このような微粒子の測定装置としては従来
から微分型電気移動度測定器が知られている。ここで微
分型電気移動度測定器は、帯電した微粒子の電場中での
移動速度（電気移動度）の違いを利用して約１ナノメー
タ（ｎｍ）〜約１０ミクロン（μｍ）の範囲にある微粒
子の粒径を測定するものである（詳細については例えば
文献１（T.Seto,T.nakamoto,K.Okuyama,M.Adachi,Y.Kug
a and K.Takeuchi: “Size distribution measurement
of nanometer-sized aerosol particles usingDMA unde
r low-pressure conditions”,J.Aerosol Sci.,28,pp.1
93-206(1997)）および文献２（E.O.Knutson and K.T.Wh
itby: “Aerosol Classification byElectric Mobilit
y: Apparatus, Theory, and Applications”, J.Aeroso
l Sci.,Vol.6,pp.443-451(1975) ）参照）。
から微分型電気移動度測定器が知られている。ここで微
分型電気移動度測定器は、帯電した微粒子の電場中での
移動速度（電気移動度）の違いを利用して約１ナノメー
タ（ｎｍ）〜約１０ミクロン（μｍ）の範囲にある微粒
子の粒径を測定するものである（詳細については例えば
文献１（T.Seto,T.nakamoto,K.Okuyama,M.Adachi,Y.Kug
a and K.Takeuchi: “Size distribution measurement
of nanometer-sized aerosol particles usingDMA unde
r low-pressure conditions”,J.Aerosol Sci.,28,pp.1
93-206(1997)）および文献２（E.O.Knutson and K.T.Wh
itby: “Aerosol Classification byElectric Mobilit
y: Apparatus, Theory, and Applications”, J.Aeroso
l Sci.,Vol.6,pp.443-451(1975) ）参照）。
【０００４】ここで、このような微分型電気移動度測定
器の原理について図３により説明する。図３に示すよう
に、微分型電気移動度測定器は、中心ロッド（内筒）２
１と囲み体（外筒）２２とからなる二重円筒構造を有
し、囲み体２２の内周面と中心ロッド２１の外周面との
間には可変電圧源２８により所定電圧が印加されてい
る。また囲み体２２の上部には、囲み体２２の内周面と
中心ロッド２１の外周面との間の空間にシースエアを供
給するための吐出口２３が設けられている。さらに、囲
み体２２の上部には帯電した微粒子を内部に引き込むた
めのスリット２４が設けられ、また中心ロッド２１の下
部にはスリット２４から引き込まれた帯電した微粒子を
外部に取り出すためのスリット２５が設けられている。
なお、囲み体２２の吐出口２３から供給されたシースエ
アは囲み体２２の下部から排出され、ポンプ２６および
フィルタ２７，２７を介して吐出口２３に戻されるよう
になっている。
器の原理について図３により説明する。図３に示すよう
に、微分型電気移動度測定器は、中心ロッド（内筒）２
１と囲み体（外筒）２２とからなる二重円筒構造を有
し、囲み体２２の内周面と中心ロッド２１の外周面との
間には可変電圧源２８により所定電圧が印加されてい
る。また囲み体２２の上部には、囲み体２２の内周面と
中心ロッド２１の外周面との間の空間にシースエアを供
給するための吐出口２３が設けられている。さらに、囲
み体２２の上部には帯電した微粒子を内部に引き込むた
めのスリット２４が設けられ、また中心ロッド２１の下
部にはスリット２４から引き込まれた帯電した微粒子を
外部に取り出すためのスリット２５が設けられている。
なお、囲み体２２の吐出口２３から供給されたシースエ
アは囲み体２２の下部から排出され、ポンプ２６および
フィルタ２７，２７を介して吐出口２３に戻されるよう
になっている。
【０００５】図３において、帯電した微粒子が囲み体２
２に設けられたスリット２４から引き込まれると、この
引き込まれた微粒子は、囲み体２２の吐出口２３から供
給されるシースエアとともに中心軸方向下方に移動する
とともに、囲み体２２の内周面と中心ロッド２１の外周
面との間に形成される電場の影響を受けて個々の微粒子
の電気移動度に応じた速度で中心軸方向に引き寄せられ
る。そして、所定の軌跡を描いて中心ロッド２１のスリ
ット２５に到達した微粒子のみが外部に取り出される。
２に設けられたスリット２４から引き込まれると、この
引き込まれた微粒子は、囲み体２２の吐出口２３から供
給されるシースエアとともに中心軸方向下方に移動する
とともに、囲み体２２の内周面と中心ロッド２１の外周
面との間に形成される電場の影響を受けて個々の微粒子
の電気移動度に応じた速度で中心軸方向に引き寄せられ
る。そして、所定の軌跡を描いて中心ロッド２１のスリ
ット２５に到達した微粒子のみが外部に取り出される。
【０００６】ここで、中心ロッド２１に設けられたスリ
ット２５に到達する微粒子の電気移動度Ｚp は、次式
（１）により算出される。 Ｚp ＝ｑ・ln（ｒ2 ／ｒ1 ）／（２・π・Ｖ・Ｌ） … （１） 上式（１）において、ｑはシースエアの流量、ｒ1 ，ｒ
2 はそれぞれ中心ロッド２１の外周面の半径，囲み体２
２の内周面の半径である。また、Ｖは囲み体２２の内周
面と中心ロッド２１の外周面との間に印加される電圧、
Ｌはスリット２４およびスリット２５間の距離である。
ット２５に到達する微粒子の電気移動度Ｚp は、次式
（１）により算出される。 Ｚp ＝ｑ・ln（ｒ2 ／ｒ1 ）／（２・π・Ｖ・Ｌ） … （１） 上式（１）において、ｑはシースエアの流量、ｒ1 ，ｒ
2 はそれぞれ中心ロッド２１の外周面の半径，囲み体２
２の内周面の半径である。また、Ｖは囲み体２２の内周
面と中心ロッド２１の外周面との間に印加される電圧、
Ｌはスリット２４およびスリット２５間の距離である。
【０００７】また、微粒子の電気移動度Ｚp と粒径Ｄp
との間には次式（２）により表される関係がある。 Ｚp ＝ｎ・ｅ・Ｃm ／（３・π・μ・Ｄp ） … （２） 上式（２）において、ｎは微粒子の電荷量、ｅは電気素
量（１．６×１０-19クーロン）、Ｃm はカニンガムの
補正係数、μは供給されるシースエアの粘性係数であ
る。
との間には次式（２）により表される関係がある。 Ｚp ＝ｎ・ｅ・Ｃm ／（３・π・μ・Ｄp ） … （２） 上式（２）において、ｎは微粒子の電荷量、ｅは電気素
量（１．６×１０-19クーロン）、Ｃm はカニンガムの
補正係数、μは供給されるシースエアの粘性係数であ
る。
【０００８】ここで、微分型電気移動度測定器から外部
に取り出される微粒子の粒径Ｄp は上式（１）（２）に
基づいて決定される。なお、このような微分型電気移動
度測定器において、各種の粒径を有する微粒子の測定を
行う場合には、可変電圧源２８により囲み体２２の内周
面と中心ロッド２１の外周面との間に印加される電圧Ｖ
を所定範囲内で変化させ、これにより印加電圧Ｖに対応
する所定粒径Ｄp の微粒子のみを外部に取り出すように
している。
に取り出される微粒子の粒径Ｄp は上式（１）（２）に
基づいて決定される。なお、このような微分型電気移動
度測定器において、各種の粒径を有する微粒子の測定を
行う場合には、可変電圧源２８により囲み体２２の内周
面と中心ロッド２１の外周面との間に印加される電圧Ｖ
を所定範囲内で変化させ、これにより印加電圧Ｖに対応
する所定粒径Ｄp の微粒子のみを外部に取り出すように
している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の微分型電気移動度測定器においては、各種の粒径を有
する微粒子の測定を行うために、印加電圧Ｖを所定範囲
内で変化させ、これにより印加電圧Ｖに対応する所定粒
径Ｄp の微粒子のみを外部に取り出すようにしている。
しかしながら、このような微分型電気移動度測定器では
一般に、印加電圧Ｖのダイナミックレンジが一定の狭い
範囲に制限されているので、測定できる微粒子の粒径Ｄ
p の範囲が限定されているという問題がある。
の微分型電気移動度測定器においては、各種の粒径を有
する微粒子の測定を行うために、印加電圧Ｖを所定範囲
内で変化させ、これにより印加電圧Ｖに対応する所定粒
径Ｄp の微粒子のみを外部に取り出すようにしている。
しかしながら、このような微分型電気移動度測定器では
一般に、印加電圧Ｖのダイナミックレンジが一定の狭い
範囲に制限されているので、測定できる微粒子の粒径Ｄ
p の範囲が限定されているという問題がある。
【００１０】なお、このような欠点を解消するための従
来の方法としては、（１）スリット２４，２５間の距離
Ｌの異なる複数の微分型電気移動度測定器を適宜使い分
ける方法か、（２）微分型電気移動度測定器内の所定箇
所にスリット２４，２５間の距離Ｌを調整するためのス
ペーサを挿入する方法がある。
来の方法としては、（１）スリット２４，２５間の距離
Ｌの異なる複数の微分型電気移動度測定器を適宜使い分
ける方法か、（２）微分型電気移動度測定器内の所定箇
所にスリット２４，２５間の距離Ｌを調整するためのス
ペーサを挿入する方法がある。
【００１１】しかしながら、上述した従来の方法のう
ち、スリット２４，２５間の距離Ｌの異なる複数の微分
型電気移動度測定器を適宜使い分ける方法では、測定の
ために複数の微分型電気移動度測定器を用意しなければ
ならず、コストがかさむという問題がある。
ち、スリット２４，２５間の距離Ｌの異なる複数の微分
型電気移動度測定器を適宜使い分ける方法では、測定の
ために複数の微分型電気移動度測定器を用意しなければ
ならず、コストがかさむという問題がある。
【００１２】また、微分型電気移動度測定器内の所定箇
所にスペーサを挿入する方法では、スリット２４，２５
間の距離Ｌを変更するために微分型電気移動度測定器を
分解した上でスペーサを交換しなければならず、作業が
複雑であるとともに作業時間もかかるという問題があ
る。なお、このような方法では、分解によって微分型電
気移動度測定器の内部を一旦大気中に暴露してしまうの
で、微分型電気移動度測定器内に付着した水分を除去す
るための焼出し等の処理がさらに必要になるという問題
もある。
所にスペーサを挿入する方法では、スリット２４，２５
間の距離Ｌを変更するために微分型電気移動度測定器を
分解した上でスペーサを交換しなければならず、作業が
複雑であるとともに作業時間もかかるという問題があ
る。なお、このような方法では、分解によって微分型電
気移動度測定器の内部を一旦大気中に暴露してしまうの
で、微分型電気移動度測定器内に付着した水分を除去す
るための焼出し等の処理がさらに必要になるという問題
もある。
【００１３】なお、上式（１）（２）によれば、理論的
にはシースエアの流量ｑを所定範囲内で適宜変化させる
ことによっても微分型電気移動度測定器から取り出され
る微粒子の粒径Ｄp を変化させることができるが、シー
スエアの流量ｑの変化は微分型電気移動度測定器の測定
条件に大きな影響を与えるので、このような方法では微
粒子の粒径Ｄp を正確に測定することができない。
にはシースエアの流量ｑを所定範囲内で適宜変化させる
ことによっても微分型電気移動度測定器から取り出され
る微粒子の粒径Ｄp を変化させることができるが、シー
スエアの流量ｑの変化は微分型電気移動度測定器の測定
条件に大きな影響を与えるので、このような方法では微
粒子の粒径Ｄp を正確に測定することができない。
【００１４】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、広範囲に分布した微粒子の粒径を安価かつ
容易に測定することができる微分型電気移動度測定器を
提供することを目的とする。
ものであり、広範囲に分布した微粒子の粒径を安価かつ
容易に測定することができる微分型電気移動度測定器を
提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は、基部と、一方
のスリットを有するとともに前記基部に対して移動自在
に連結された囲み体と、前記基部に連結されるとともに
前記囲み体の内部に向かって延びる他方のスリットを有
するロッドとを備え、前記囲み体と前記ロッドとの間に
は所定電圧が印加され、前記囲み体に対して前記基部を
移動させることで前記一方のスリットおよび前記他方の
スリット間の距離を可変としたことを特徴とする微分型
電気移動度測定器を提供する。
のスリットを有するとともに前記基部に対して移動自在
に連結された囲み体と、前記基部に連結されるとともに
前記囲み体の内部に向かって延びる他方のスリットを有
するロッドとを備え、前記囲み体と前記ロッドとの間に
は所定電圧が印加され、前記囲み体に対して前記基部を
移動させることで前記一方のスリットおよび前記他方の
スリット間の距離を可変としたことを特徴とする微分型
電気移動度測定器を提供する。
【００１６】また本発明は、上述した微分型電気移動度
測定器において、前記基部と前記囲み体とに連結され前
記囲み体の内部を密封する可動部をさらに備えたことを
特徴とする微分型電気移動度測定器を提供する。
測定器において、前記基部と前記囲み体とに連結され前
記囲み体の内部を密封する可動部をさらに備えたことを
特徴とする微分型電気移動度測定器を提供する。
【００１７】本発明によれば、基部に対して囲み体を移
動自在に連結して一方のスリットおよび他方のスリット
間の距離を可変としているので、一方または他方のスリ
ットから引き込まれた帯電した微粒子が囲み体とロッド
との間に形成された電場内を他方または一方のスリット
まで移動する距離を可変とすることができ、このため広
範囲に分布した微粒子の粒径を安価かつ容易に測定する
ことができる。
動自在に連結して一方のスリットおよび他方のスリット
間の距離を可変としているので、一方または他方のスリ
ットから引き込まれた帯電した微粒子が囲み体とロッド
との間に形成された電場内を他方または一方のスリット
まで移動する距離を可変とすることができ、このため広
範囲に分布した微粒子の粒径を安価かつ容易に測定する
ことができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１および図２は本発明に
よる微分型電気移動度測定器の一実施の形態を示す図で
ある。ここで、図１は微分型電気移動度測定器において
スリット間の距離を最大にした場合を示し、図２は微分
型電気移動度測定器においてスリット間の距離を最小に
した場合を示す。
施の形態について説明する。図１および図２は本発明に
よる微分型電気移動度測定器の一実施の形態を示す図で
ある。ここで、図１は微分型電気移動度測定器において
スリット間の距離を最大にした場合を示し、図２は微分
型電気移動度測定器においてスリット間の距離を最小に
した場合を示す。
【００１９】図１および図２に示すように、微分型電気
移動度測定器１は、テフロン材等の絶縁体２と台座３と
からなる基部４と、基部４に対して伸縮体（可動部）５
を介して移動自在に連結された囲み体６と、基部４に連
結されるとともに囲み体６の内部に向かって延びる中心
ロッド７とを備えている。
移動度測定器１は、テフロン材等の絶縁体２と台座３と
からなる基部４と、基部４に対して伸縮体（可動部）５
を介して移動自在に連結された囲み体６と、基部４に連
結されるとともに囲み体６の内部に向かって延びる中心
ロッド７とを備えている。
【００２０】ここで、囲み体６は帯電した微粒子を内部
に引き込むための一方のスリット８を有し、中心ロッド
７は一方のスリット８から引き込まれた帯電した微粒子
を外部に取り出すための他方のスリット９を有してい
る。なお、一方のスリット８は囲み体６の内周面に沿っ
て環状に設けられ、また他方のスリット９は中心ロッド
７の下部にその外周面に沿って環状に設けられている。
に引き込むための一方のスリット８を有し、中心ロッド
７は一方のスリット８から引き込まれた帯電した微粒子
を外部に取り出すための他方のスリット９を有してい
る。なお、一方のスリット８は囲み体６の内周面に沿っ
て環状に設けられ、また他方のスリット９は中心ロッド
７の下部にその外周面に沿って環状に設けられている。
【００２１】また、囲み体６および中心ロッド７はとも
に導体からなり、中心ロッド７には可変電圧源１２が接
続され、囲み体６は接地されている。
に導体からなり、中心ロッド７には可変電圧源１２が接
続され、囲み体６は接地されている。
【００２２】さらに、囲み体６の上部には、囲み体６の
内周面と中心ロッド７の外周面との間の空間にシースエ
アを供給するための吐出口１０が設けられるとともに、
シースエアに含まれる不純物を除去するためのフィルタ
１１が取り付けられている。なお、囲み体６の吐出口１
０から供給されたシースエアは囲み体６の下部から排出
され、ポンプ（図示せず）およびフィルタ（図示せず）
を介して吐出口１０に戻されるようになっている。
内周面と中心ロッド７の外周面との間の空間にシースエ
アを供給するための吐出口１０が設けられるとともに、
シースエアに含まれる不純物を除去するためのフィルタ
１１が取り付けられている。なお、囲み体６の吐出口１
０から供給されたシースエアは囲み体６の下部から排出
され、ポンプ（図示せず）およびフィルタ（図示せず）
を介して吐出口１０に戻されるようになっている。
【００２３】なお、基部４の台座３と囲み体６とは移動
自在に連結され、図１および図２に示すように、伸縮体
５により囲み体６の内部を密封状態に維持しつつ一方の
スリット８および他方のスリット９間の距離を変化させ
ることができるようになっている。ここで、伸縮体５と
しては例えばベローズ等を用いることができる。
自在に連結され、図１および図２に示すように、伸縮体
５により囲み体６の内部を密封状態に維持しつつ一方の
スリット８および他方のスリット９間の距離を変化させ
ることができるようになっている。ここで、伸縮体５と
しては例えばベローズ等を用いることができる。
【００２４】次に、このような構成からなる本実施の形
態の作用について説明する。
態の作用について説明する。
【００２５】図１および図２に示すように、帯電した微
粒子が囲み体６に設けられた一方のスリット８から引き
込まれると、この引き込まれた微粒子は、囲み体６の吐
出口１０から供給される流量ｑのシースエアとともに中
心軸方向下方に移動するとともに、囲み体６の内周面と
中心ロッド７の外周面との間で印加電圧Ｖにより形成さ
れる電場の影響を受けて個々の微粒子の電気移動度Ｚp
に応じた速度で中心軸方向に引き寄せられる。そして、
所定の軌跡を描いて距離Ｌだけ進み、中心ロッド７の他
方のスリット９に到達した所定粒径Ｄp の微粒子のみが
外部に取り出される。
粒子が囲み体６に設けられた一方のスリット８から引き
込まれると、この引き込まれた微粒子は、囲み体６の吐
出口１０から供給される流量ｑのシースエアとともに中
心軸方向下方に移動するとともに、囲み体６の内周面と
中心ロッド７の外周面との間で印加電圧Ｖにより形成さ
れる電場の影響を受けて個々の微粒子の電気移動度Ｚp
に応じた速度で中心軸方向に引き寄せられる。そして、
所定の軌跡を描いて距離Ｌだけ進み、中心ロッド７の他
方のスリット９に到達した所定粒径Ｄp の微粒子のみが
外部に取り出される。
【００２６】このような微分型電気移動度測定器１にお
いて、広範囲に分布した微粒子の粒径Ｄp を測定する場
合には、まず、囲み体５に対して基部４を移動させて一
方のスリット８および他方のスリット９間の距離Ｌを所
定値に設定する。
いて、広範囲に分布した微粒子の粒径Ｄp を測定する場
合には、まず、囲み体５に対して基部４を移動させて一
方のスリット８および他方のスリット９間の距離Ｌを所
定値に設定する。
【００２７】その後、このようにして設定した一方のス
リット８および他方のスリット９間の距離Ｌを一定に保
った状態で、可変電圧源１２により囲み体６の内周面と
中心ロッド７の外周面との間に印加される電圧Ｖを所定
範囲内で変化させる。
リット８および他方のスリット９間の距離Ｌを一定に保
った状態で、可変電圧源１２により囲み体６の内周面と
中心ロッド７の外周面との間に印加される電圧Ｖを所定
範囲内で変化させる。
【００２８】そして、このようにして印加電圧Ｖを所定
範囲内で変化させて行う測定を、一方のスリット８およ
び他方のスリット９間の距離Ｌを順次変化させながら行
うことにより、一方のスリット８および他方のスリット
９間の距離Ｌおよび印加電圧Ｖに対応して上式（１）
（２）から決定される各種の所定粒径Ｄp を有する微粒
子を外部に取り出す。
範囲内で変化させて行う測定を、一方のスリット８およ
び他方のスリット９間の距離Ｌを順次変化させながら行
うことにより、一方のスリット８および他方のスリット
９間の距離Ｌおよび印加電圧Ｖに対応して上式（１）
（２）から決定される各種の所定粒径Ｄp を有する微粒
子を外部に取り出す。
【００２９】なお、図１および図２に示す微分型電気移
動度測定器１において、囲み体６の内周面と中心ロッド
７の外周面との間に印加される電圧Ｖを１〜６０００Ｖ
の範囲で変化させ、また一方のスリット８および他方の
スリット９間の距離Ｌを１〜３０ｃｍの範囲（具体的に
は１，４，７，１０，２０および３０ｃｍ）で変化させ
た場合には、以下の表１および表２に示す範囲に分布し
た微粒子の粒径Ｄp を測定することができる。なお、こ
こでは、中心ロッド７の外周面の半径ｒ1 ，囲み体６の
内周面の半径ｒ2 をそれぞれ２０ｍｍ，２６ｍｍとして
いる。また、表１および表２はそれぞれ、シースエアの
流量ｑを１０，２０（ｌ／ｍｉｎ）とした場合を示して
いる。
動度測定器１において、囲み体６の内周面と中心ロッド
７の外周面との間に印加される電圧Ｖを１〜６０００Ｖ
の範囲で変化させ、また一方のスリット８および他方の
スリット９間の距離Ｌを１〜３０ｃｍの範囲（具体的に
は１，４，７，１０，２０および３０ｃｍ）で変化させ
た場合には、以下の表１および表２に示す範囲に分布し
た微粒子の粒径Ｄp を測定することができる。なお、こ
こでは、中心ロッド７の外周面の半径ｒ1 ，囲み体６の
内周面の半径ｒ2 をそれぞれ２０ｍｍ，２６ｍｍとして
いる。また、表１および表２はそれぞれ、シースエアの
流量ｑを１０，２０（ｌ／ｍｉｎ）とした場合を示して
いる。
【００３０】
【表１】
【００３１】
【表２】
【００３２】このように本実施の形態によれば、基部４
に対して囲み体６を移動自在に連結して一方のスリット
８および他方のスリット９間の距離を可変としているの
で、一方のスリット８から引き込まれた帯電した微粒子
が囲み体６の内周面と中心ロッド７の外周面との間に形
成された電場内を他方のスリット９まで移動する距離Ｌ
を可変とすることができ、このため広範囲に分布した微
粒子の粒径Ｄp を安価かつ容易に測定することができ
る。
に対して囲み体６を移動自在に連結して一方のスリット
８および他方のスリット９間の距離を可変としているの
で、一方のスリット８から引き込まれた帯電した微粒子
が囲み体６の内周面と中心ロッド７の外周面との間に形
成された電場内を他方のスリット９まで移動する距離Ｌ
を可変とすることができ、このため広範囲に分布した微
粒子の粒径Ｄp を安価かつ容易に測定することができ
る。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、帯
電した微粒子が囲み体とロッドとの間に形成された電場
内を移動する距離を可変とすることができ、このため広
範囲に分布した微粒子の粒径を安価かつ容易に測定する
ことができる。
電した微粒子が囲み体とロッドとの間に形成された電場
内を移動する距離を可変とすることができ、このため広
範囲に分布した微粒子の粒径を安価かつ容易に測定する
ことができる。
【図１】本発明による微分型電気移動度測定器の一実施
の形態を示す図。
の形態を示す図。
【図２】図１に示す微分型電気移動度測定器においてス
リット間の距離を最小にした場合を示す図。
リット間の距離を最小にした場合を示す図。
【図３】微分型電気移動度測定器の原理を説明するため
の図。
の図。
１ 微分型電気移動度測定器 ４ 基部 ５ 伸縮体（可動部） ６ 囲み体 ７ 中心ロッド ８，９ スリット １２ 可変電圧源
Claims (2)
- 【請求項１】基部と、 一方のスリットを有するとともに前記基部に対して移動
自在に連結された囲み体と、 前記基部に連結されるとともに前記囲み体の内部に向か
って延びる他方のスリットを有するロッドとを備え、 前記囲み体と前記ロッドとの間には所定電圧が印加さ
れ、前記囲み体に対して前記基部を移動させることで前
記一方のスリットおよび前記他方のスリット間の距離を
可変としたことを特徴とする微分型電気移動度測定器。 - 【請求項２】前記基部および前記囲み体に連結され前記
囲み体の内部を密封する可動部をさらに備えたことを特
徴とする請求項１記載の微分型電気移動度測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09905897A JP3466416B2 (ja) | 1997-04-16 | 1997-04-16 | 微分型電気移動度測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09905897A JP3466416B2 (ja) | 1997-04-16 | 1997-04-16 | 微分型電気移動度測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10288600A true JPH10288600A (ja) | 1998-10-27 |
| JP3466416B2 JP3466416B2 (ja) | 2003-11-10 |
Family
ID=14237105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09905897A Expired - Fee Related JP3466416B2 (ja) | 1997-04-16 | 1997-04-16 | 微分型電気移動度測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3466416B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1446820A2 (en) * | 2001-11-02 | 2004-08-18 | Yale University | Method and apparatus to increase the resolution and widen the range of differential mobility analyzers (dmas) |
| JP2007127457A (ja) * | 2005-11-01 | 2007-05-24 | Shimadzu Corp | イオン測定器 |
| JP2007525666A (ja) * | 2004-02-13 | 2007-09-06 | ヒュンダイ カリブレーション アンド サーティフィケーション テクノロジーズ カンパニー リミテッド | 粒子測定器及び粒子測定方法 |
| EP2352008A2 (en) | 2010-02-02 | 2011-08-03 | Riken | Differential mobility analyzer, particle measuring system, and particle sorting system |
-
1997
- 1997-04-16 JP JP09905897A patent/JP3466416B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1446820A2 (en) * | 2001-11-02 | 2004-08-18 | Yale University | Method and apparatus to increase the resolution and widen the range of differential mobility analyzers (dmas) |
| EP1446820A4 (en) * | 2001-11-02 | 2008-09-24 | Univ Yale | METHOD AND DEVICE FOR MAGNIFYING THE RESOLUTION AND THE AREA OF DIFFERENTIAL MOBILITY ANALYZERS (DMAS) |
| JP2007525666A (ja) * | 2004-02-13 | 2007-09-06 | ヒュンダイ カリブレーション アンド サーティフィケーション テクノロジーズ カンパニー リミテッド | 粒子測定器及び粒子測定方法 |
| JP2007127457A (ja) * | 2005-11-01 | 2007-05-24 | Shimadzu Corp | イオン測定器 |
| JP4604965B2 (ja) * | 2005-11-01 | 2011-01-05 | 株式会社島津製作所 | イオン測定器 |
| EP2352008A2 (en) | 2010-02-02 | 2011-08-03 | Riken | Differential mobility analyzer, particle measuring system, and particle sorting system |
| CN102192949A (zh) * | 2010-02-02 | 2011-09-21 | 独立行政法人理化学研究所 | 微分型电迁移率分级装置、粒子测量系统以及粒子筛选系统 |
| US8698076B2 (en) | 2010-02-02 | 2014-04-15 | Riken | Differential mobility analyzer, particle measuring system, and particle sorting system |
| EP2352008A3 (en) * | 2010-02-02 | 2014-10-08 | Riken | Differential mobility analyzer, particle measuring system, and particle sorting system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3466416B2 (ja) | 2003-11-10 |
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