JPH10287415A - Production of highly pure spherical silica - Google Patents

Production of highly pure spherical silica

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JPH10287415A
JPH10287415A JP9105410A JP10541097A JPH10287415A JP H10287415 A JPH10287415 A JP H10287415A JP 9105410 A JP9105410 A JP 9105410A JP 10541097 A JP10541097 A JP 10541097A JP H10287415 A JPH10287415 A JP H10287415A
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silica
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an industrially excellent method for readily and cheaply producing highly pure spherical silica particles within a particle diameter range which makes the silica particles have little generality because of a high price. SOLUTION: This method for producing spherical silica by hydrolyzing an alkyl silicate in a mixed solvent of water with an organic solvent comprises using methyl silicate as the alkyl silicate, using methanol alone as the organic solvent, and adding dropwise the methyl silicate diluted by the methanol to a medium comprising the water, the methanol and an acidic or basic catalyst without containing an ammonium salt at 0-20 deg.C while stirring to carry out a hydrolysis and condensation reaction thereof to provide the objective spherical silica having 0.5-5 μm. The volume ratio (at a room temperature) of the methanol to methyl silicate in the dropping liquid is preferably >=2.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、球状シリカの製造
法に関し、更に詳しくは、ゾルゲル法により超高純度球
状シリカ微粒子を製造する方法に関する。
The present invention relates to a method for producing spherical silica, and more particularly to a method for producing ultra-high-purity spherical silica fine particles by a sol-gel method.

【0002】[0002]

【従来の技術】超高純度のシリカは最先端分野において
開発要求が強く、例えば、塗料、顔料又は樹脂等の添加
剤、光学部品用原料、触媒担体、カラム充填剤、ウエハ
ー用研磨剤、半導体用封止材料、ポリシリコン引上げ用
ルツボ、半導体用治具、フォトマスク用ガラス基板等の
製造原料として有望視されて来ている。特に球状シリカ
は充填性や分散性等に優れ様々な用途に使用でき、その
有用性が高い。しかしながら、とりわけ、平均粒径が
0.5〜5μmの球状シリカの製造においては、現状の
技術では、生成するシリカ粒子の粒径及び粒度分布のコ
ントロールが容易でない。一方、コントロール可能な方
法もあるが、比較的高価な原料を使用し、かつ複雑な工
程を必要とするため、得られた球状シリカが著しく高価
格となり経済性がなく、工業的に適していない。従っ
て、画期的で効率的な新規技術の開発が望まれている。
2. Description of the Related Art Ultra-high-purity silica is strongly required to be developed in the most advanced fields. For example, additives such as paints, pigments or resins, raw materials for optical components, catalyst carriers, column fillers, abrasives for wafers, and semiconductors It is promising as a raw material for producing sealing materials for use, crucibles for pulling up polysilicon, jigs for semiconductors, glass substrates for photomasks, and the like. In particular, spherical silica has excellent filling properties and dispersibility, can be used for various applications, and has high utility. However, in particular, in the production of spherical silica having an average particle size of 0.5 to 5 μm, it is not easy to control the particle size and particle size distribution of the generated silica particles with the current technology. On the other hand, there is a controllable method, but using relatively expensive raw materials and requiring complicated steps, the resulting spherical silica is extremely expensive and economically unsuitable, and is not industrially suitable. . Therefore, the development of a revolutionary and efficient new technology is desired.

【0003】均一な粒径の球状シリカ微粒子を製造する
方法として、現在までに種々の方法が提案されている。
例えば、特公平4‐15169号公報には、アルコール
と炭化水素を含む溶媒中で、アルキルシリケート、アン
モニア及び水を混合接触させる方法が開示されている。
該方法は、アルコールと炭化水素を混合した溶媒を使用
することにより反応を制御して、均一なシリカ粒子径を
得るものである。しかし、上記のように混合溶媒を使用
するため、溶媒を回収して再利用するためには複雑な精
製工程を必要とする。また、再利用せず、そのまま廃棄
しては製造コストが高くなるばかりか、廃液処理等も複
雑になる。また、該方法は、反応を制御し易くするため
に、エチルシリケート、プロピルシリケートのような高
価な原料を用いるものである。該方法を使用すれば、平
均粒径0.3〜1μm程度のシリカ粒子を製造し得る
が、上記の理由から極めて高価格となり、工業的でな
い。
Various methods have been proposed to produce spherical silica fine particles having a uniform particle size.
For example, Japanese Patent Publication No. 4-15169 discloses a method in which an alkyl silicate, ammonia and water are mixed and contacted in a solvent containing an alcohol and a hydrocarbon.
In this method, the reaction is controlled by using a solvent in which an alcohol and a hydrocarbon are mixed to obtain a uniform silica particle diameter. However, since a mixed solvent is used as described above, a complicated purification step is required to recover and reuse the solvent. Further, discarding as it is without reuse not only increases the manufacturing cost but also complicates waste liquid treatment. Further, this method uses an expensive raw material such as ethyl silicate or propyl silicate in order to easily control the reaction. If this method is used, silica particles having an average particle size of about 0.3 to 1 μm can be produced, but for the above reasons, the price becomes extremely high and it is not industrial.

【0004】特公平4‐13293号公報には、水を溶
解し得る炭素数3又は4の有機溶剤にアンモニア水を溶
解させた後、テトラアルコキシシランの溶液を加えて、
加水分解するシリカの製法が開示されている。しかし、
該方法も反応を制御し易くするために、高価なエチルシ
リケートを使用する。また、有機溶剤としてプロパノー
ル、ブタノール、アセトン等を使用するため、上記と同
様に、反応後の廃液の処理等が複雑となるという欠点を
有している。該方法を使用すれば、約0.5μm程度の
粒径のシリカ粒子を製造し得るが、上記と同様に極めて
高価格であり、やはり工業的でない。
In Japanese Patent Publication No. 4-13293, after dissolving aqueous ammonia in an organic solvent having 3 or 4 carbon atoms capable of dissolving water, a solution of tetraalkoxysilane is added.
A process for producing hydrolyzable silica is disclosed. But,
The method also uses expensive ethyl silicate to help control the reaction. In addition, since propanol, butanol, acetone, and the like are used as the organic solvent, there is a disadvantage that the treatment of the waste liquid after the reaction becomes complicated as described above. If this method is used, silica particles having a particle size of about 0.5 μm can be produced. However, as described above, it is extremely expensive and is not industrial.

【0005】特開昭62‐52119号公報には、加水
分解可能な有機ケイ素化合物を、反応中において水及び
アンモニアの濃度を実質的に変化させることなく加水分
解してシリカ粒子を製造する方法が開示されている。し
かし、該方法においては、反応中に水及びアンモニアの
濃度を一定に保持する必要があり、反応の工程が複雑と
なる。従って、得られたシリカはやはりコスト高とな
り、工業的でない。また、該公報の方法においても、反
応をコントロールし易い高価なエチルシリケートを使用
している。該方法を使用すれば、約0.05〜50μm
の粒径のシリカ粒子を製造し得るが、上記と同様に極め
て高価格であり工業的でなく汎用性が低い。
JP-A-62-52119 discloses a method for producing silica particles by hydrolyzing a hydrolyzable organosilicon compound without substantially changing the concentrations of water and ammonia during the reaction. It has been disclosed. However, in this method, it is necessary to keep the concentrations of water and ammonia constant during the reaction, which complicates the reaction process. Therefore, the obtained silica is still expensive and not industrial. Further, also in the method of this publication, expensive ethyl silicate which is easy to control the reaction is used. If the method is used, it is about 0.05 to 50 μm
Can be produced, but as in the above case, it is extremely expensive, not industrial, and has low versatility.

【0006】均一な粒径の球状シリカ微粒子を製造する
他の方法として、予めシード粒子を形成した後、次い
で、そのシード粒子を核としてシリカ粒子を成長せしめ
て、粒径を制御する方法が知られている(特公平4‐4
2324号公報、特公平4‐61810号公報及び特開
平3‐218915号公報)。しかし、これらの方法
は、シード粒子の生成とシリカ粒子の成長という二段階
反応を採るため、製造工程が複雑となり必然的にコスト
高を招いていた。
As another method for producing spherical silica fine particles having a uniform particle size, there is known a method in which seed particles are formed in advance, and then the silica particles are grown with the seed particles as nuclei to control the particle size. (4-4)
No. 2324, Japanese Patent Publication No. 4-61810 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-218915). However, these methods employ a two-step reaction of generating seed particles and growing silica particles, which complicates the manufacturing process and inevitably increases costs.

【0007】また、ケイ素質原料をガス焔と共に炉内に
噴射して球状の溶融シリカを製造する方法(特開昭62
‐241541号公報及び特開昭58‐145613号
公報)も知られているが、該方法で製造された球状シリ
カは20〜70μm程度と比較的大きな粒径を有するも
のである。
Also, a method of producing spherical fused silica by injecting a silicon-containing raw material into a furnace together with a gas flame (Japanese Patent Laid-Open No. Sho 62
Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 241541 and 58-145613) are also known, but the spherical silica produced by this method has a relatively large particle size of about 20 to 70 μm.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、高価ゆえに
現在汎用性が低い粒径範囲の超高純度球状シリカ粒子
を、簡便かつ安価に製造するところの工業的に優れた方
法を提供するものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention provides an industrially superior method for producing ultra-high-purity spherical silica particles having a particle size range which is low in versatility at present due to high cost, easily and inexpensively. It is.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者は、従来、反応
の制御が困難であって、均一かつ微細なシリカ粒子を製
造するためには適していないとして、実際に工業的には
使用されていなかったメチルシリケートをどのようにし
て用いれば、均一かつ微細な球状シリカ粒子を簡易かつ
安価に製造し得るかという課題に取り組み、種々検討を
重ねた。その結果、遂に、下記所定の条件で反応を行え
ば、驚くべきことにメチルシリケートの加水分解及び縮
合反応を適切に制御することができて、所定の微細な粒
子径を持つ高純度球状シリカを簡易かつ安価に製造し得
ることを見出し、本発明を完成するに至ったのである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present inventor has argued that it has been difficult to control the reaction and is not suitable for producing uniform and fine silica particles. The inventors addressed the problem of how to use methyl silicate, which had not been used, to produce uniform and fine spherical silica particles easily and inexpensively, and made various studies. As a result, finally, when the reaction is performed under the following predetermined conditions, surprisingly, the hydrolysis and condensation reaction of methyl silicate can be appropriately controlled, and high-purity spherical silica having a predetermined fine particle diameter can be obtained. They have found that they can be manufactured easily and inexpensively, and have completed the present invention.

【0010】即ち、本発明は、(1)アルキルケイ酸エ
ステルを水及び有機溶媒の混合媒体中で加水分解及び縮
合して球状シリカを製造する方法において、アルキルケ
イ酸エステルとしてメチルシリケートを使用し、有機溶
媒としてメタノールのみを使用し、水、メタノール及び
酸又は塩基性触媒を含み、しかしアンモニウム塩を含ま
ない0〜20℃の媒体に攪拌下にメタノールで希釈した
メチルシリケートを滴下して加水分解及び縮合反応せし
めることにより、平均粒径が0.5〜5μmの球状シリ
カを製造することを特徴とする方法である。
That is, the present invention provides (1) a method for producing spherical silica by hydrolyzing and condensing an alkyl silicate in a mixed medium of water and an organic solvent, wherein methyl silicate is used as the alkyl silicate. Hydrolysis of methanol-diluted methyl silicate with stirring in a 0-20 ° C medium containing water, methanol and an acid or basic catalyst, but containing no ammonium salt, using only methanol as an organic solvent. And a condensation reaction to produce spherical silica having an average particle size of 0.5 to 5 μm.

【0011】本発明はメチルシリケートを使用する。従
って、エチルシリケート、プロピルシリケート等の高価
な原料を用いる必要がない。従って、本発明の球状シリ
カを安価に製造し得る。有機溶媒としてメタノールを使
用するので、加水分解反応において副生するメタノール
を別途分離する必要がない。また、該メタノールは他の
有機溶媒と比較して水との分離が容易である。従って、
廃液処理が容易であり、更なるコストダウンを図ること
ができ、シリカの工業的価値を著しく高め得る。触媒と
してアンモニアを使用すれば、上記効果をより一層効果
的に発揮することができる。
The present invention uses methyl silicate. Therefore, there is no need to use expensive raw materials such as ethyl silicate and propyl silicate. Therefore, the spherical silica of the present invention can be produced at low cost. Since methanol is used as the organic solvent, there is no need to separately separate methanol by-produced in the hydrolysis reaction. Further, the methanol is easier to separate from water than other organic solvents. Therefore,
Waste liquid treatment is easy, cost can be further reduced, and the industrial value of silica can be significantly increased. If ammonia is used as a catalyst, the above effects can be more effectively exerted.

【0012】特公平1‐59975号公報には、テトラ
アルコキシシランをアンモニウム塩の存在下に塩基性条
件下で加水分解することを特徴とする合成シリカの製造
方法が開示されており、テトラアルコキシシランとして
テトラメトキシシランを使用し、メタノール中で反応温
度を上昇せしめて(例えば、20℃から55℃、あるい
は12℃から29℃まで変化させている。)球状シリカ
を製造することが記載されている。従来からテトラメト
キシシランをメタノール中で加水分解すると反応が急激
に進行してシリカの粒径制御が困難となることが知られ
ている。該方法においては、このような急激な反応を防
止すべく、加水分解においてアンモニアと共にアンモニ
ウム塩を使用するものである。これによりアンモニアの
単独使用に比べてより低いpHで加水分解を行わせて、
反応を制御しようとするものである。反応は穏やかにな
り安定するが、その一方で生成したシリカ粒子の凝集が
生じ、製造されたシリカはその大部分が20μm以上と
大きな粒子径を持つのである。これに対して、本発明に
おいては、このようなシリカ粒子の凝集を生ずるアンモ
ニウム塩を必要とせずに、反応の制御を可能にするもの
である。即ち、メチルシリケートを使用すると反応が急
激に進行してシリカの粒径制御が困難になるという従来
からの欠点を、メチルシリケートをメタノールにより予
め適切に希釈して滴下することにより、反応中のメチル
シリケート液滴の粒径を制御し、更に、攪拌によりメチ
ルシリケートの凝集を防止しつつ、最適な反応条件にお
いて滴下後直ちに加水分解及び縮合せしめてシリカ粒子
を製造することにより解決したのである。これにより、
平均粒径0.5〜5μmと比較的小さな粒子径の球状シ
リカの製造に成功したものである。
Japanese Patent Publication No. 59975/1992 discloses a method for producing synthetic silica, characterized in that tetraalkoxysilane is hydrolyzed under basic conditions in the presence of an ammonium salt. To produce spherical silica by using tetramethoxysilane as a catalyst and increasing the reaction temperature in methanol (for example, changing from 20 ° C. to 55 ° C. or from 12 ° C. to 29 ° C.). . Conventionally, it has been known that when tetramethoxysilane is hydrolyzed in methanol, the reaction proceeds rapidly and it becomes difficult to control the particle size of silica. In this method, in order to prevent such a sudden reaction, an ammonium salt is used together with ammonia in the hydrolysis. This allows hydrolysis to occur at a lower pH compared to using ammonia alone,
To control the reaction. The reaction becomes mild and stable, but on the other hand, agglomeration of the produced silica particles occurs, and most of the produced silica has a large particle diameter of 20 μm or more. On the other hand, in the present invention, it is possible to control the reaction without requiring an ammonium salt which causes such agglomeration of silica particles. That is, the conventional drawback that the use of methyl silicate causes a rapid progress of the reaction and makes it difficult to control the particle size of silica is reduced by appropriately diluting methyl silicate in advance with methanol and dropping it. The problem was solved by controlling the particle size of the silicate droplets and, furthermore, hydrolyzing and condensing immediately after the dropwise addition under the optimum reaction conditions while preventing the aggregation of methyl silicate by stirring to produce silica particles. This allows
It has succeeded in producing spherical silica having a relatively small average particle diameter of 0.5 to 5 μm.

【0013】好ましい態様として、(2)滴下液中のメ
タノールとメチルシリケートの体積比(室温)が、2以
上である上記(1)記載の方法、(3)滴下液中のメタ
ノールとメチルシリケートの体積比(室温)が、2〜5
である上記(1)記載の方法、(4)媒体中のメタノー
ルと水の体積比(室温)が、2以上である上記(1)〜
(3)のいずれか一つに記載の方法、(5)媒体中のメ
タノールと水の体積比(室温)が、2〜8である上記
(1)〜(3)のいずれか一つに記載の方法、(6)
(滴下液としてのメタノール及びメチルシリケートの総
量)と(媒体としてのメタノール及び水の総量)の体積
比(室温)が、0.1〜2である上記(1)〜(5)の
いずれか一つに記載の方法、(7)(滴下液としてのメ
タノール及びメチルシリケートの総量)と(媒体として
のメタノール及び水の総量)の体積比(室温)が、0.
2〜1である上記(1)〜(5)のいずれか一つに記載
の方法、(8)使用する触媒がアンモニアである上記
(1)〜(7)のいずれか一つに記載の方法、(9)反
応温度が10〜20℃である上記(1)〜(8)のいず
れか一つに記載の方法を挙げることができる。
As a preferred embodiment, (2) the method according to the above (1), wherein the volume ratio of methanol to methyl silicate (room temperature) in the dripping liquid is 2 or more, and (3) the methanol / methyl silicate in the dripping liquid. Volume ratio (room temperature) is 2-5
(4) The method according to (1), wherein the volume ratio (room temperature) of methanol and water in the medium is 2 or more.
(5) The method according to any one of (1) to (3), wherein (5) the volume ratio of methanol to water in the medium (room temperature) is 2 to 8. Method (6)
Any one of the above (1) to (5), wherein a volume ratio (room temperature) of (total amount of methanol and methyl silicate as a dropping liquid) to (total amount of methanol and water as a medium) is 0.1 to 2. (7) The volume ratio (room temperature) of (total amount of methanol and methyl silicate as a dropping solution) to (total amount of methanol and water as a medium) is 0.
(1) The method according to any one of (1) to (5), wherein the catalyst is ammonia. And (9) the method according to any one of (1) to (8) above, wherein the reaction temperature is from 10 to 20 ° C.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】本発明においては、アルキルケイ
酸エステルとしてメチルシリケートを使用する。従来、
メチルシリケートは、エチルシリケート、プロピルシリ
ケート等に比べて安価ではあるが、加水分解の反応速度
を制御し難く、単分散性が良好でかつ微粒子状のシリカ
粒子を製造することが困難であったために、比較的微粒
子のシリカの製造においては工業的には使用されていな
かった。特に本発明の範囲の平均粒径を持つ球状シリカ
の製造には適していないものであった。該メチルシリケ
ートは、例えば、四塩化ケイ素にメタノールを作用させ
る方法、二硫化ケイ素又はケイ化マグネシウムにメタノ
ールを作用させる方法、金属ケイ素、ケイ化鉄、ケイ素
鉄又はこれらの混合物とメタノールとを金属メチラート
の存在下に反応させる方法(特公昭45‐8217号公
報)等により製造することができる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION In the present invention, methyl silicate is used as an alkyl silicate ester. Conventionally,
Methyl silicate is inexpensive compared to ethyl silicate, propyl silicate, etc., but it is difficult to control the reaction rate of hydrolysis, it has good monodispersibility, and it is difficult to produce fine silica particles. It has not been used industrially in the production of relatively fine silica. In particular, it was not suitable for producing spherical silica having an average particle size within the range of the present invention. The methyl silicate is, for example, a method of reacting methanol on silicon tetrachloride, a method of reacting methanol on silicon disulphide or magnesium silicide, metal silicon, iron silicide, iron silicon silicide or a mixture thereof with methanol and metal methylate (Japanese Patent Publication No. 45-8217) and the like.

【0015】本発明において、加水分解を促進するため
に酸又は塩基性触媒を使用する。ここで、塩基性触媒と
しては、例えば、アルカリ金属(ナトリウム、カリウム
等)の水酸化物、有機アミン類(トリエチルアミン
等)、アンモニア及びその誘導体等を挙げることができ
る。酸としては、鉱酸(塩酸、硫酸等)、有機酸(蟻
酸、酢酸、蓚酸等)を挙げることができる。シリカの超
高純度化、及び本発明の範囲の平均粒径を達成するため
には、例えば蟻酸、酢酸、アンモニア又はその誘導体
(アンモニウム塩を除く)が好ましく、このなかでもア
ンモニアが特に好ましい。触媒の量としては、好ましく
は反応を効率的に起す最小量が使用される。
In the present invention, an acid or basic catalyst is used to promote hydrolysis. Here, examples of the basic catalyst include hydroxides of alkali metals (such as sodium and potassium), organic amines (such as triethylamine), ammonia, and derivatives thereof. Examples of the acid include mineral acids (such as hydrochloric acid and sulfuric acid) and organic acids (such as formic acid, acetic acid, and oxalic acid). For example, formic acid, acetic acid, ammonia or a derivative thereof (excluding an ammonium salt) is preferable in order to achieve ultra-high purification of silica and an average particle diameter in the range of the present invention, and among them, ammonia is particularly preferable. As the amount of the catalyst, preferably, the minimum amount that efficiently causes the reaction is used.

【0016】本発明において使用する有機溶媒はメタノ
ールである。メタノールは、加水分解されるメチルシリ
ケートを溶解することができ、しかも、水と一定の割合
で均一に混合できるばかりではなく、本発明において
は、加水分解反応において副生するメタノールと同一で
あることから、反応後の廃液処理が著しく容易になる。
従って、シリカの製造コストの低減におおいに貢献する
ことができる。更に、メタノールはメチルシリケートを
適切に分散し得るためにシリカの粒径制御を適切に行う
ことができる。
The organic solvent used in the present invention is methanol. Methanol is capable of dissolving the methyl silicate to be hydrolyzed, and not only can be uniformly mixed with water at a fixed ratio, but also in the present invention, it must be the same as methanol by-produced in the hydrolysis reaction. Therefore, waste liquid treatment after the reaction is remarkably facilitated.
Therefore, it can greatly contribute to the reduction in the production cost of silica. Further, since methanol can disperse methyl silicate appropriately, the particle size of silica can be appropriately controlled.

【0017】本発明においては、水、メタノール及び酸
又は塩基性触媒を含み、しかしアンモニウム塩を含まな
い0〜20℃の媒体に攪拌下にメタノールで希釈したメ
チルシリケートを滴下して加水分解及び縮合反応を行
う。
In the present invention, methyl silicate diluted with methanol is added dropwise to a medium containing water, methanol and an acid or basic catalyst at 0 to 20 ° C., which does not contain an ammonium salt, with stirring to effect hydrolysis and condensation. Perform the reaction.

【0018】本発明において、滴下液であるメタノール
で希釈したメチルシリケート中のメタノールとメチルシ
リケートの体積比(室温)は、下限が好ましくは2.0
であり、上限が好ましくは5.0である。上記下限未満
では、加水分解反応が比較的急激に進行し反応制御が容
易ではなく生成したシリカの粒子径が大きくなる。上記
上限を超えては、加水分解反応が著しく遅くなり経済的
でない。
In the present invention, the lower limit of the volume ratio (room temperature) of methanol to methyl silicate in methyl silicate diluted with methanol as a dropping liquid is preferably 2.0 or less.
And the upper limit is preferably 5.0. Below the lower limit, the hydrolysis reaction proceeds relatively rapidly, and the control of the reaction is not easy, and the particle size of the generated silica increases. If it exceeds the above upper limit, the hydrolysis reaction is remarkably slowed down, which is not economical.

【0019】媒体中のメタノールと水の体積比(室温)
は、下限が好ましくは2.0であり、上限が好ましくは
8.0である。上記下限未満では、上記と同じく加水分
解反応が比較的急激に進行して反応制御が容易でなく生
成したシリカの粒子径が大きくなるばかりでなく、水の
分散状態が不適切となり生成したシリカの単分散性も悪
くなる。上記上限を超えては、加水分解反応が著しく遅
くなり経済的でない。ここで、加水分解反応に使用する
水の量は、より良好な加水分解反応を行わせるという観
点から下限が好ましくは4.0モル、特に好ましくは
6.0モルである。また、水の量が余りに多すぎると反
応後の廃液の処理に経済性がなくなるため、その上限は
好ましくは20.0モル、特に好ましくは10.0モル
である。更に本発明においては、(滴下液としてのメタ
ノール及びメチルシリケートの総量)と(媒体としての
メタノール及び水の総量)の体積比(室温)は、その上
限が好ましくは2.0、特に好ましくは1.0であり、
下限が好ましくは0.1、特に好ましくは0.2であ
る。上記上限を超えては、加水分解反応が著しく遅くな
り経済的でなく、上記下限未満では、加水分解反応が比
較的急激に進行し反応制御が容易ではなく生成したシリ
カの粒子径が大きくなる。
Volume ratio of methanol to water in the medium (room temperature)
Has a lower limit of preferably 2.0 and an upper limit of preferably 8.0. Below the lower limit, not only is the hydrolysis reaction relatively rapid progressing as described above, the reaction control is not easy, and not only the particle size of the generated silica becomes large, but also the dispersion state of water becomes inappropriate and the generated silica Monodispersity also worsens. If it exceeds the above upper limit, the hydrolysis reaction is remarkably slowed down, which is not economical. Here, the lower limit of the amount of water used for the hydrolysis reaction is preferably 4.0 mol, particularly preferably 6.0 mol, from the viewpoint of performing a better hydrolysis reaction. On the other hand, if the amount of water is too large, the treatment of the waste liquid after the reaction becomes inefficient, so the upper limit is preferably 20.0 mol, particularly preferably 10.0 mol. Furthermore, in the present invention, the upper limit of the volume ratio (room temperature) of (total amount of methanol and methyl silicate as a dropping solution) and (total amount of methanol and water as a medium) is preferably 2.0, particularly preferably 1%. .0,
The lower limit is preferably 0.1, particularly preferably 0.2. If it exceeds the above upper limit, the hydrolysis reaction is remarkably slowed down, and it is not economical. If it is less than the above lower limit, the hydrolysis reaction proceeds relatively rapidly, the reaction control is not easy, and the particle size of the generated silica increases.

【0020】本発明において、所定の平均粒径を有する
球状シリカ粒子を製造するためには、加水分解反応の温
度が重要である。該温度は、上限が20℃であり、下限
が0℃、好ましくは10℃である。上記上限を超えて
は、反応が急速に進み過ぎ、単分散性が良好でかつ本発
明の範囲の平均粒径を持つ微粒子状のシリカを製造する
ことが困難である。上記下限未満では、加水分解が殆ど
進行しないため好ましくない。
In the present invention, in order to produce spherical silica particles having a predetermined average particle size, the temperature of the hydrolysis reaction is important. The temperature has an upper limit of 20 ° C and a lower limit of 0 ° C, preferably 10 ° C. If the upper limit is exceeded, the reaction proceeds too rapidly, and it is difficult to produce finely divided silica having good monodispersibility and an average particle diameter within the range of the present invention. If it is less than the above lower limit, the hydrolysis hardly proceeds, which is not preferable.

【0021】加水分解反応の時間は、反応温度、触媒の
種類等により変動するが、上限が好ましくは3時間、特
に好ましくは2時間であり、下限が好ましくは15分
間、特に好ましくは30分間である。上記上限を超えて
は、本発明の範囲の平均粒径を持つ微粒子状のシリカが
既に形成されており、それ以上の反応はかえってシリカ
粒子同志の凝集を招く。上記下限未満では、十分に加水
分解を達成することができず好ましくない。
The time of the hydrolysis reaction varies depending on the reaction temperature, the type of the catalyst, etc., but the upper limit is preferably 3 hours, particularly preferably 2 hours, and the lower limit is preferably 15 minutes, particularly preferably 30 minutes. is there. Above the upper limit, silica in the form of fine particles having an average particle size within the range of the present invention has already been formed, and any further reaction causes aggregation of the silica particles. Below the lower limit, hydrolysis cannot be sufficiently achieved, which is not preferable.

【0022】また、本発明の方法においては、メチルシ
リケートは、攪拌しつつある水、有機溶媒及び触媒との
混合媒体中に滴下して分散せしめることが好ましい。こ
れによりメチルシリケートの凝集を防止することができ
る。滴下速度及び攪拌速度はメチルシリケートの凝集が
生じない程度であれば特に制限はなく、反応装置の規
模、形状等に依存して決定される。
In the method of the present invention, it is preferable that the methyl silicate is dropped and dispersed in a mixed medium of stirring water, an organic solvent and a catalyst. Thereby, aggregation of methyl silicate can be prevented. The dropping speed and the stirring speed are not particularly limited as long as aggregation of methyl silicate does not occur, and is determined depending on the scale and shape of the reactor.

【0023】上記の加水分解反応において硬質で球状の
シリカ微粒子のスラリーが得られるが、必要により分離
精製、更に乾燥焼成してより超高純度で高密度の球状シ
リカ微粒子の粉末を製造することができる。例えば、ス
ラリーを濾過した後、純水による洗浄を繰り返し、11
0〜250℃で乾燥した後、400〜800℃で数時間
加熱し、更に1000〜2000℃の温度で数時間加熱
することにより製造し得る。このように加熱することに
より、シリカ粒子に空洞の発生を防止でき、かつシリカ
粒子の硬度向上を図ることができる。
In the above-mentioned hydrolysis reaction, a slurry of hard and spherical silica fine particles can be obtained. However, if necessary, separation and purification, and further drying and firing can be performed to produce a powder of ultra-high-purity and high-density spherical silica fine particles. it can. For example, after filtering the slurry, washing with pure water is repeated,
After drying at 0 to 250 ° C, it can be manufactured by heating at 400 to 800 ° C for several hours, and further heating at 1000 to 2000 ° C for several hours. By heating in this manner, the generation of cavities in the silica particles can be prevented, and the hardness of the silica particles can be improved.

【0024】本発明の方法により得られた球状シリカ
は、その平均粒径の上限が5μm、好ましくは3μmで
あり、下限が0.5μm、好ましくは1.0μmであ
る。上記範囲外の平均粒径を持つ球状シリカは、現在汎
用されている方法で安価に製造することができるため本
発明の目的とするところではない。ここで、平均粒径と
は、積算分布の50重量%に対応する粒子径(D50)を
示し、1μm以上の粒子についてはレーザー回折により
測定し、また1μm以下の粒子については、レーザー散
乱により測定した値である。また、本発明の球状シリカ
は、単分散性に優れている。粒子径(1±0.5)×D
50の範囲に存在する粒子が、好ましくは70%以上であ
り、特に好ましくは85%以上である。
The upper limit of the average particle diameter of the spherical silica obtained by the method of the present invention is 5 μm, preferably 3 μm, and the lower limit is 0.5 μm, preferably 1.0 μm. Spherical silica having an average particle diameter outside the above range is not the object of the present invention since it can be produced at low cost by a method widely used at present. Here, the average particle diameter indicates a particle diameter (D 50 ) corresponding to 50% by weight of the cumulative distribution, and particles of 1 μm or more are measured by laser diffraction, and particles of 1 μm or less are measured by laser scattering. It is a measured value. Further, the spherical silica of the present invention is excellent in monodispersibility. Particle size (1 ± 0.5) × D
The particles present in the range of 50 are preferably at least 70%, particularly preferably at least 85%.

【0025】本発明の該球状シリカは、とりわけ、光学
部品原料、触媒担体、例えば塗料、顔料、樹脂等の添加
剤、カラム充填剤、研磨材、半導体封止材原料等に適し
ている。
The spherical silica of the present invention is particularly suitable as a raw material for optical parts, a catalyst carrier, for example, an additive such as a paint, a pigment, a resin, a column filler, an abrasive, and a raw material for a semiconductor sealing material.

【0026】以下、実施例、比較例により本発明を更に
詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例に限定され
るものではない。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

【0027】[0027]

【実施例】下記の実施例及び比較例における各特性値は
以下のようにして測定した。 <真比重>JIS K 0061に準拠し、ワードン比
重瓶を使用して測定した。 <平均粒径>1μm以上の粒子については、レーザー回
折式粒度分布測定装置を使用して測定した。使用した装
置は、島津製作所製SALD‐2000J(商標)であ
る。1μm以下の粒子については、レーザー散乱式粒度
分布測定法を使用して測定した。使用した装置は、Co
ulter社製コールターカウンター モデルN4(商
標)である。 <シリカ粒子の形状>シリカ粒子100個を任意に抽出
し電子顕微鏡により観察して評価した。
EXAMPLES Each characteristic value in the following examples and comparative examples was measured as follows. <True specific gravity> The true specific gravity was measured using a Wordon specific gravity bottle according to JIS K0061. <Average particle size> Particles having a particle size of 1 μm or more were measured using a laser diffraction particle size distribution analyzer. The used apparatus is SALD-2000J (trademark) manufactured by Shimadzu Corporation. The particle size of 1 μm or less was measured using a laser scattering particle size distribution measuring method. The equipment used was Co
Ulter Coulter Counter Model N4 (trademark). <Shape of Silica Particles> 100 silica particles were arbitrarily extracted and observed and evaluated with an electron microscope.

【0028】[0028]

【実施例1】攪拌機、滴下口、及び温度計が備え付けら
れている300ミリリットルのガラス製フラスコにメタ
ノール120ミリリットル及び25%アンモニア水40
ミリリットルを入れ[メタノールと水の体積比(室
温):約4.0]、250rpmで攪拌しながらテトラ
メチルシリケート40ミリリットルとメタノール100
ミリリットルとの混合溶液[メタノールとテトラメチル
シリケートの体積比(室温):2.5]をフラスコの滴
下口より、媒体及び滴下液をいずれも15℃に保持して
60分間かけて滴下添加した[滴下液と媒体の体積比
(室温):0.93]。添加終了後、フラスコの温度を
15℃に保持しつつ、更に30分間攪拌を継続して反応
を完了した。次に、生成した固形物を濾別し、純水で数
回洗浄した後、200℃、400℃、700℃、そして
1000℃で順次1時間づつ空気中で加熱して焼成し
た。その後、自然放冷して室温まで冷却し、白色の粉末
(シリカ)を収率98%で得た。
Example 1 A 300 ml glass flask equipped with a stirrer, a dropping port, and a thermometer was charged with 120 ml of methanol and 40% aqueous 25% ammonia.
Add milliliters (volume ratio of methanol and water (room temperature): about 4.0), and stir at 250 rpm with 40 ml of tetramethyl silicate and 100 ml of methanol.
A mixed solution (volume ratio of methanol and tetramethyl silicate (room temperature): 2.5) with milliliter was added dropwise from the dropping port of the flask over 60 minutes while maintaining both the medium and the dropping solution at 15 ° C. [ Volume ratio of dropping liquid to medium (room temperature): 0.93]. After the addition was completed, stirring was continued for 30 minutes while maintaining the temperature of the flask at 15 ° C. to complete the reaction. Next, the produced solid matter was separated by filtration, washed several times with pure water, and then fired in air at 200 ° C., 400 ° C., 700 ° C., and 1000 ° C. for 1 hour in order. Thereafter, the mixture was allowed to cool to room temperature, and white powder (silica) was obtained at a yield of 98%.

【0029】得られた白色粉末は真比重2.2、平均粒
径(D50)1.1μm、(1±0.5)×D50の範囲に
存在する粒子97%の真球状のシリカ微粒子であった。
本品5gを純水45gを用いて121℃で2時間抽出し
た後、抽出液中のイオン性不純物量を測定(イオンクロ
マトグラフ、DX‐AQ2211(商標)、日本ダイオ
ネクス株式会社製)したところ0.1ppm以下であっ
た。また、抽出液の電気伝導度(電気伝導度計AB‐7
(商標)、オルガノ株式会社製)は1μS/cm以下で
あり、該シリカが超高純度品であることが確認された。
The white powder thus obtained is a true spherical silica fine particle having a true specific gravity of 2.2, an average particle diameter (D 50 ) of 1.1 μm, and 97% of particles existing in the range of (1 ± 0.5) × D 50. Met.
After extracting 5 g of this product with 45 g of pure water at 121 ° C. for 2 hours, the amount of ionic impurities in the extract was measured (ion chromatograph, DX-AQ2211 (trademark), manufactured by Nippon Dionex Co., Ltd.). 0.1 ppm or less. In addition, the electric conductivity of the extract (electrical conductivity meter AB-7)
(Trademark, manufactured by Organo Corporation) was 1 μS / cm or less, and it was confirmed that the silica was an ultra-high purity product.

【0030】[0030]

【比較例1】テトラメチルシリケートに代えてテトラエ
チルシリケートを使用した以外は、実施例1と同一にし
て実施して、白色の粉末(シリカ)を収率74%で得
た。得られた白色粉末は真比重2.1、平均粒径
(D50)12μm、(1±0.5)×D50の範囲に存在
する粒子48%の球状シリカ粒子であった。
Comparative Example 1 A white powder (silica) was obtained in a yield of 74% in the same manner as in Example 1, except that tetraethyl silicate was used instead of tetramethyl silicate. The obtained white powder was spherical silica particles having a true specific gravity of 2.1, an average particle size (D 50 ) of 12 μm, and 48% of particles existing in the range of (1 ± 0.5) × D 50 .

【0031】このようにテトラエチルシリケートを使用
すれば、収率が著しく低くなるばかりでなく、生成した
シリカの粒径も本発明の範囲を超えて大きなり、かつ単
分散性も著しく悪くなる。更には、テトラエチルシリケ
ート自体が比較的高価であり、かつ廃液はメタノール、
エタノール、水及び未反応のテトラエチルシリケートの
混合物であり、分離精製がコスト高となる故、工業的で
ない。また、収率を高めようとして反応温度を上げれ
ば、得られるシリカの粒径が更に大きくなってしまう。
従って、本発明の範囲の平均粒径を持つ球状シリカをテ
トラエチルシリケートから製造しようとすれば、上記の
従来技術の記載で挙げたような各種の複雑な製造法を採
用せざるを得なくなり、コスト高を招くのである。
When tetraethyl silicate is used as described above, not only the yield is remarkably lowered, but also the particle size of the formed silica is larger than the range of the present invention, and the monodispersity is significantly deteriorated. Furthermore, tetraethyl silicate itself is relatively expensive, and the waste liquid is methanol,
It is a mixture of ethanol, water and unreacted tetraethyl silicate, and is not industrial because separation and purification are costly. Further, if the reaction temperature is increased in order to increase the yield, the particle size of the obtained silica is further increased.
Therefore, if spherical silica having an average particle diameter in the range of the present invention is to be produced from tetraethylsilicate, various complicated production methods such as those described in the above-mentioned prior art must be employed, and cost is reduced. Invite high.

【0032】[0032]

【比較例2】加水分解の温度を40℃とした以外は、実
施例1と同一にして実施して、白色の粉末(シリカ)を
収率89%で得た。
Comparative Example 2 A white powder (silica) was obtained in a yield of 89% in the same manner as in Example 1 except that the hydrolysis temperature was changed to 40 ° C.

【0033】得られた白色粉末は真比重2.2、平均粒
径(D50)27μm、(1±0.5)×D50の範囲に存
在する粒子63%の球状シリカ粒子であった。
The resulting white powder was spherical silica particles having a true specific gravity of 2.2, an average particle diameter (D 50 ) of 27 μm, and 63% of particles existing in the range of (1 ± 0.5) × D 50 .

【0034】反応温度が本発明の範囲を超えれば、反応
が急激に進行して生成するシリカの粒径が著しく大きく
なると共に、収率及び単分散性の低下を生ずる。また、
急激な反応が生ずるために工業的な装置規模において反
応の制御が困難となり実用的でない。
When the reaction temperature exceeds the range of the present invention, the particle diameter of silica produced by the rapid progress of the reaction is remarkably increased, and the yield and the monodispersity are lowered. Also,
Since a sudden reaction occurs, it is difficult to control the reaction on an industrial scale, which is not practical.

【0035】[0035]

【比較例3】溶媒としてメタノールに代えてエタノール
を使用したことを除き、実施例1と同一にして実施し
て、白色の粉末(シリカ)を収率68%で得た。
Comparative Example 3 A white powder (silica) was obtained in a yield of 68% in the same manner as in Example 1 except that ethanol was used instead of methanol as a solvent.

【0036】得られた白色粉末は真比重2.1、平均粒
径(D50)16μm、(1±0.5)×D50の範囲に存
在する粒子38%の真球状のシリカ粒子であった。
The obtained white powder was a true spherical silica particle having a true specific gravity of 2.1, an average particle diameter (D 50 ) of 16 μm, and 38% of particles present in the range of (1 ± 0.5) × D 50. Was.

【0037】溶媒としてエタノールを使用すると、収率
が著しく低くなるばかりでなく、生成したシリカの粒径
も本発明の範囲を超えて大きくなってしまう。また、単
分散性も著しく低下する。更に、製造後の廃液はメタノ
ール、エタノール及び水の混合物であり、分離精製がコ
スト高となる故、工業的でない。
When ethanol is used as a solvent, not only the yield is remarkably reduced, but also the particle size of the produced silica becomes larger than the scope of the present invention. In addition, the monodispersity is significantly reduced. Furthermore, the waste liquid after the production is a mixture of methanol, ethanol and water, which is not industrial because separation and purification are costly.

【0038】[0038]

【比較例4】特公平4‐15169号公報に記載の実施
例2を追試した。エタノールとn‐ヘキサンの混合溶媒
80グラム(重量比で1:1)にテトラエチルシリケー
ト10グラムを添加し、300rpmで攪拌しつつ50
℃に加熱した。次いで、アンモニア水(アンモニア濃度
25%)20グラムを加え、更に20分間攪拌を行いシ
リカ微粒子を調製した。ここで、アンモニア/テトラエ
チルシリケートのモル比は6であり、また、水/テトラ
エチルシリケートのモル比は17であった。
Comparative Example 4 Example 2 described in JP-B-4-15169 was additionally tested. 10 g of tetraethyl silicate was added to 80 g of a mixed solvent of ethanol and n-hexane (1: 1 by weight), and 50 g of the mixture was stirred at 300 rpm.
Heated to ° C. Next, 20 g of aqueous ammonia (25% ammonia concentration) was added, and the mixture was further stirred for 20 minutes to prepare silica fine particles. Here, the molar ratio of ammonia / tetraethyl silicate was 6, and the molar ratio of water / tetraethyl silicate was 17.

【0039】得られた白色粉末は真比重2.2、平均粒
径(D50)0.6μm、(1±0.5)×D50の範囲に
存在する粒子72%の球状シリカ微粒子であった。
The obtained white powder was spherical silica fine particles having a true specific gravity of 2.2, an average particle diameter (D 50 ) of 0.6 μm, and particles having a particle size of (1 ± 0.5) × D 50 of 72%. Was.

【0040】該方法によれば、本発明と同程度の平均粒
径を持つ球状シリカ粒子を製造することができる。しか
し、原料が高価であり、かつ混合溶媒を使用しているこ
とから、廃液はエタノール、n‐ヘキサン及び水の混合
物となり、その処理がコスト高となる。従って、得られ
たシリカ粒子は非常に高価であり、工業的でない。
According to this method, spherical silica particles having an average particle size comparable to that of the present invention can be produced. However, since the raw material is expensive and a mixed solvent is used, the waste liquid becomes a mixture of ethanol, n-hexane and water, and the treatment becomes expensive. Therefore, the obtained silica particles are very expensive and not industrial.

【0041】[0041]

【比較例5】25%アンモニア水に対して1重量%量の
炭酸アンモニウムをガラス製フラスコにメタノール及び
アンモニア水と共に加えたことを除き、実施例1と同一
にして実施して、白色の粉末(シリカ)を収率83%で
得た。
Comparative Example 5 The same procedure as in Example 1 was repeated except that 1% by weight of ammonium carbonate based on 25% aqueous ammonia was added to a glass flask together with methanol and aqueous ammonia. Silica) was obtained with a yield of 83%.

【0042】得られた白色粉末は真比重2.1、平均粒
径(D50)32μm、(1±0.5)×D50の範囲に存
在する粒子76%の球状シリカ粒子であった。
The resulting white powder was spherical silica particles having a true specific gravity of 2.1, an average particle diameter (D 50 ) of 32 μm, and 76% of particles existing in the range of (1 ± 0.5) × D 50 .

【0043】このように炭酸アンモニウムを使用する
と、シリカ粒子の凝集を招き、生成するシリカの粒径が
著しく大きくなると共に、収率及び単分散性の低下を生
ずる。
The use of ammonium carbonate in this way causes aggregation of silica particles, resulting in a remarkable increase in the particle size of the produced silica and a decrease in yield and monodispersity.

【0044】[0044]

【発明の効果】本発明は、高価ゆえに現在汎用性が低い
粒径範囲の超高純度球状シリカ粒子を、簡便かつ安価に
製造する工業的に優れた方法を提供する。
According to the present invention, there is provided an industrially superior method for producing ultra-high-purity spherical silica particles having a particle size range which is currently expensive and thus not widely used, simply and inexpensively.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 アルキルケイ酸エステルを水及び有機溶
媒の混合媒体中で加水分解及び縮合して球状シリカを製
造する方法において、アルキルケイ酸エステルとしてメ
チルシリケートを使用し、有機溶媒としてメタノールの
みを使用し、水、メタノール及び酸又は塩基性触媒を含
み、しかしアンモニウム塩を含まない0〜20℃の媒体
に攪拌下にメタノールで希釈したメチルシリケートを滴
下して加水分解及び縮合反応せしめることにより、平均
粒径が0.5〜5μmの球状シリカを製造することを特
徴とする方法。
1. A method for producing spherical silica by hydrolyzing and condensing an alkyl silicate in a mixed medium of water and an organic solvent, wherein methyl silicate is used as the alkyl silicate and methanol alone is used as the organic solvent. By using water, methanol and an acid or basic catalyst, but containing 0 to 20 ° C. containing no ammonium salt, a methyl silicate diluted with methanol is added dropwise under stirring to a hydrolysis and condensation reaction. A method comprising producing spherical silica having an average particle size of 0.5 to 5 µm.
【請求項2】 滴下液中のメタノールとメチルシリケー
トの体積比(室温)が、2以上である請求項1記載の方
法。
2. The method according to claim 1, wherein the volume ratio (room temperature) of methanol to methyl silicate in the dropping solution is 2 or more.
【請求項3】 媒体中のメタノールと水の体積比(室
温)が、2以上である請求項1又は2記載の方法。
3. The method according to claim 1, wherein the volume ratio (room temperature) of methanol and water in the medium is 2 or more.
【請求項4】 (滴下液としてのメタノール及びメチル
シリケートの総量)と(媒体としてのメタノール及び水
の総量)の体積比(室温)が、0.1〜2である請求項
1〜3のいずれか一つに記載の方法。
4. The volume ratio (room temperature) of (total amount of methanol and methyl silicate as a dropping liquid) to (total amount of methanol and water as a medium) is 0.1 to 2. The method according to any one of the above.
【請求項5】 使用する触媒がアンモニアである請求項
1〜4のいずれか一つに記載の方法。
5. The process according to claim 1, wherein the catalyst used is ammonia.
【請求項6】 反応温度が10〜20℃である請求項1
〜5のいずれか一つに記載の方法。
6. The method according to claim 1, wherein the reaction temperature is 10 to 20 ° C.
The method according to any one of claims 1 to 5.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002338230A (en) * 2001-05-22 2002-11-27 Toagosei Co Ltd Silica particles and resin composition
WO2011093142A1 (en) * 2010-01-26 2011-08-04 堺化学工業株式会社 Silica particles, process for production of same, and resin composition containing same
US10173902B2 (en) 2009-10-20 2019-01-08 Nippon Shokubai Co., Ltd. Amorphous silica and process for producing same
CN111717922A (en) * 2020-07-01 2020-09-29 石河子大学 Preparation method of spherical silicon dioxide
CN114105150A (en) * 2021-12-21 2022-03-01 安徽中创电子信息材料有限公司 Method for synthesizing silicon dioxide powder by utilizing organosilane
CN114275786A (en) * 2021-12-17 2022-04-05 上海交通大学 White carbon black preparation method and system
CN115504479A (en) * 2022-09-29 2022-12-23 苏州锦艺新材料科技股份有限公司 SiO (silicon dioxide) 2 Preparation method of micron ball and precursor

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002338230A (en) * 2001-05-22 2002-11-27 Toagosei Co Ltd Silica particles and resin composition
US10173902B2 (en) 2009-10-20 2019-01-08 Nippon Shokubai Co., Ltd. Amorphous silica and process for producing same
WO2011093142A1 (en) * 2010-01-26 2011-08-04 堺化学工業株式会社 Silica particles, process for production of same, and resin composition containing same
JP2011173779A (en) * 2010-01-26 2011-09-08 Sakai Chem Ind Co Ltd Silica particles, process for production of same, and resin composition containing same
CN102725230A (en) * 2010-01-26 2012-10-10 堺化学工业株式会社 Silica particles, process for production of same, and resin composition containing same
CN111717922A (en) * 2020-07-01 2020-09-29 石河子大学 Preparation method of spherical silicon dioxide
CN114275786A (en) * 2021-12-17 2022-04-05 上海交通大学 White carbon black preparation method and system
CN114105150A (en) * 2021-12-21 2022-03-01 安徽中创电子信息材料有限公司 Method for synthesizing silicon dioxide powder by utilizing organosilane
CN115504479A (en) * 2022-09-29 2022-12-23 苏州锦艺新材料科技股份有限公司 SiO (silicon dioxide) 2 Preparation method of micron ball and precursor
CN115504479B (en) * 2022-09-29 2024-02-13 苏州锦艺新材料科技股份有限公司 SiO (silicon dioxide) 2 Preparation method of microspheres and precursor

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