JPH10282071A - 電磁超音波トランスジューサ - Google Patents

電磁超音波トランスジューサ

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JPH10282071A
JPH10282071A JP9092580A JP9258097A JPH10282071A JP H10282071 A JPH10282071 A JP H10282071A JP 9092580 A JP9092580 A JP 9092580A JP 9258097 A JP9258097 A JP 9258097A JP H10282071 A JPH10282071 A JP H10282071A
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JP
Japan
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signal
inspected
copper wire
magnet assembly
ultrasonic transducer
Prior art date
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Pending
Application number
JP9092580A
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English (en)
Inventor
Michio Sato
道雄 佐藤
Kazumi Watabe
和美 渡部
Makoto Ochiai
誠 落合
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】送信信号の混入による受信信号のSN比低下を
抑制しつつ、小型化可能な構造を構築し且つ超音波受信
感度を高める。 【解決手段】電磁超音波トランスジューサは、ローレン
ツ力生成用の磁気信号を被検査材に与える複数枚の板状
の磁石4…4を有し且つこの各磁石4…4を一体に積層
化したマグネットアセンブリ2と、ローレンツ力生成用
の電気信号を被検査材に与える送信用銅線(第1の電
線)5と、反射超音波信号に対応する電気信号を受ける
受信用銅線(第2の電線)6とを備える。マグネットア
センブリ2の磁化方向の被検査材側の側面に送信用銅線
5及び受信用銅線6を個別に配置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、超音波探傷試験
等で用いる電磁超音波トランスジューサに係り、特に超
音波送受信に関する信号線配置構造の工夫に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、超音波探傷装置には磁歪素子や電
歪素子等で代表される各種の超音波トランスジューサが
使用されている。例えばこのトランスジューサには、被
検査材に対して非接触で配置され、その状態でローレン
ツ力を利用して被検査材内に超音波信号を生起させるも
の(以下「電磁超音波トランスジューサ」と呼ぶ)も提
案されている。この電磁超音波トランスジューサによれ
ば、例えば被検査材表面に凹凸、塗装、錆などが存在す
る場合でも格別な処理を施すことなく探傷試験を実施で
きるといった利点がある。この一例を図11〜図17に
示す。
【0003】図11及び図12に示す電磁超音波トラン
スジューサ100は、複数枚の平板状の永久磁石101
…101をその隣接する2枚の永久磁石101、101
が互いに反対向きの着磁方向(図中のZ軸方向)となる
状態で一体に2列で積層化したマグネットアセンブリ1
02と、このアセンブリ102の磁化方向に直交する2
つの側面の内の被検査材側の側面に固着される高周波電
流路としての銅線103とを備えている(例えば、Jour
nal of Applied Phisics, 53(5), May, 1982,pp.3450-3
458参照)。
【0004】この内、銅線103は例えば市販品と同じ
材質で、その表面に隣接する銅線同士間やマグネットア
センブリ102との間の絶縁を担う絶縁塗料が塗布され
たものであり、例えば図12に示すようにパンケーキ状
に形成されている。この銅線103の両端部には図示し
ない高周波電源および信号受信器がそれぞれ接続されて
いる。
【0005】このトランスジューサ100を用いて超音
波探傷試験を行う際には、図13に示すように被検査材
OBの表面に対して非接触に対向する位置に銅線103
を介してマグネットアセンブリ102を臨ませる状態で
トランスジューサ100をセットする。このとき、被検
査材OBの表面には、その垂直方向に永久磁石101か
らの磁束を受けてバイアス磁界H1…H1が生成され
る。この磁界の方向は互いに隣接する2つの永久磁石1
01、101で見れば、その着磁方向に沿って反対向き
となる。
【0006】そこで、図14に示すように銅線103に
高周波電流I1を流せば、被検査材OBの表面部に渦電
流I2が誘電され、この誘電渦電流I2と永久磁石10
1により与えられるバイアス磁界H1との相互作用によ
り被検査材OBの内部にその奥行き方向に逆位相のロー
レンツ力F1が発生する。
【0007】このようなローレンツ力F1により、図1
4に示すように被検査材OBの内部には、被検査材OB
の表面と平行な偏波面を有するSH波(Shear Horizont
alWave )と呼ばれる横波の超音波信号S1が生成され
る。この超音波信号S1は、図15に示すように被検査
材OBの内部に伝搬していく。
【0008】ここで、SH波の超音波信号S1は、通常
の超音波探傷で使用されるトランスジューサ(圧電型探
触子)100aによるSV波(Shear Vertical Wave
)、即ち図16に示すように超音波振幅の振動方向が
被検査材表面に垂直となる横波の超音波信号S2と比
べ、その反射超音波信号中に縦波等を発生させるモード
変換と呼ばれる現象が殆ど生じないといった特徴がある
(例えば「超音波技術便覧(新訂版)」 日刊工業新聞
社 昭和53年7月20日発行 pp.776参照)。
【0009】従って、電磁超音波トランスジューサを用
いて超音波探傷試験を行えば、SH波を用いて縦波成分
が殆ど含まれない反射エコー信号を受信できることか
ら、SV波の場合と比べると被検査材の欠陥等の超音波
エコー解析も比較的容易になるといった利点もある。例
えば、結晶粒界が粗いオーステナイト系材料で構成した
被検査材を例に挙げれば、モード変換で生成する縦波に
より粒界からの反射エコー信号が減少するといった傾向
は、SH波の場合では殆ど見られない。
【0010】ところで一方、このような電磁超音波トラ
ンスジューサ100では、送信信号が受信側に混入して
SN比が低下するといった問題があった。そこで、この
ような混信対策として、例えば図17に示すように上記
と同様の2つの電磁超音波トランスジューサ100、1
00を送信用と受信用とにそれぞれ専用に割り当てて互
いに近接配置したものも提案されている(例えば特開昭
60−40950号公報)。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来例の電磁超音波トランスジューサにあって、送信
用と受信用とで別体のマグネットアセンブリが必要であ
るため、全体寸法が大きくなり、必ずしも使い勝手がよ
いものではなかった。また、図17に示すように被検査
材OB内の欠陥部TGに対する送信側及び受信側の超音
波ビームの入射角θ1、θ2が互いに異なるため、欠陥
部の形状によっては超音波受信感度が低下する等の問題
もあった。
【0012】この発明は、このような従来の問題を考慮
してなされたもので、送信信号の混入による受信信号の
SN比低下を抑制しつつ、小型化可能な構造を構築し且
つ超音波受信感度を高めることを、目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1記載の発明に係る電磁超音波トランスジュ
ーサは、被検査材にローレンツ力に基づく超音波信号を
送信し、この反射超音波信号を電気信号に変換して受信
する構成とし、上記ローレンツ力生成用の磁気信号を上
記被検査材に与える複数枚の板状の磁石を有し且つこの
各磁石を一体に積層化したマグネットアセンブリと、上
記ローレンツ力生成用の電気信号を上記被検査材に与え
る第1の信号線と、上記反射超音波信号に対応する電気
信号を受ける第2の信号線とを備え、上記マグネットア
センブリの磁化方向の上記被検査材側の側面に上記第1
及び第2の信号線を個別に配置したことを特徴とする。
【0014】請求項2記載の発明では、前記マグネット
アセンブリの前記側面に前記第1及び第2の信号線を互
いに同じパターンで交互に隣接させて配置している。
【0015】請求項3記載の発明では、前記マグネット
アセンブリの前記側面の中央部に前記第1及び第2の信
号線の一方を配置し、上記側面の中央部を囲う周辺部に
上記第1及び第2の信号線の他方を配置している。
【0016】請求項4記載の発明では、前記複数枚の磁
石の内の隣接する2枚の磁石間にスペーサを配置してい
る。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、この発明に係る電磁超音波
トランスジューサの具体的な実施形態を図面を参照して
説明する。
【0018】(第1実施形態)図1に示す電磁超音波ト
ランスジューサは、被検査材に対して非接触状態で配置
され、その被検査材にローレンツ力に基づく超音波信号
を送信し、その反射超音波信号を電気信号に変換して受
信するものであり、ケース1内に超音波送受信に関する
マグネットアセンブリ2及び銅線部3を収納した構造を
有する。
【0019】マグネットアセンブリ2は、図2に示すよ
うにローレンツ力生成用のバイアス磁界を被検査材に与
える複数枚の板状の永久磁石4…4で構成されている。
この各磁石4…4は、図2に示すように2列に積層さ
れ、その積層方向(図中のX軸方向)および列方向(図
中のY軸方向)に隣接する2枚の磁石4、4が互いに反
対向きの磁化(着磁)方向(図中のZ軸方向)となる状
態で一体化されている。
【0020】銅線部3は、アセンブリ2の磁化方向に直
交する2つの側面の内の被検査材側の側面に配置される
もので、図3に示すように被検査材上でローレンツ力生
成用の誘電渦電流を発生させる高周波電流用の送信用銅
線(本発明の第1の信号線を成す)5と、反射超音波信
号に対応する電気信号を受ける受信用銅線(本発明の第
2の信号線を成す)6とでパンケーキ状に形成されてい
る。
【0021】この2種の銅線5、6は、図3に示すよう
に、アセンブリ2の被検査材側の側面をカバーする中央
部a2からアセンブリ2の積層方向の側面側に屈曲して
延びる両端部a1及びa3に亘って互いに隣接する状態
でほぼ同一形状の渦巻状パターンを構成している。ここ
で、送信用銅線5は送信用コネクタ7を介して高周波電
源(図示しない)に、また受信用銅線6は受信用コネク
タ8を介して受信器(図示しない)にそれぞれ接続され
る。
【0022】ここで、この実施形態の全体の作用を説明
すれば、まず電磁超音波トランスジューサを被検査材に
対して非接触でセットし、起動させたとする。この起動
に際し、高周波電源からの高周波電流を送信用銅線5に
送ることにより、マグネットアセンブリ2からのバイア
ス磁界を受けている被検査材表面に誘導渦電流が発生
し、これとバイアス磁界との間の相互作用によりローレ
ンツ力が発生し、その結果、SH波の超音波信号が被検
査材内に送信される。そこで、この反射超音波信号に対
応する電気信号が受信用銅線6で受信され、これが受信
器に送られる。
【0023】従って、この電磁超音波トランスジューサ
によれば、銅線のみを送信側と受信側とで分離させた構
造を構築したため、送信信号の混入による受信信号のS
N比低下を大幅に抑制できるだけでなく、マグネットア
センブリを送信時と受信時とで兼用しているために全体
寸法を大幅に小さくできる。
【0024】なお、その他の銅線の配置構造として、例
えば図4及び図5に示すように送信用銅線5を中央部、
受信用銅線6を周辺部にそれぞれ配置してもよく、これ
とは逆に送信用銅線を周辺部、受信用銅線を中央部に配
置してもよい。
【0025】(第2実施形態)図6及び図7に示す電磁
超音波トランスジューサは、上記と同様の構成に加え、
マグネットアセンブリ2を成す各永久磁石4…4間に例
えばその磁石4よりも透磁率が小さいスペーサ10…1
0を配置したものである。
【0026】ここで、スペーサ10を配置しない場合で
は、図8(a)に示すように隣接する2枚の磁石4、4
が直接接触する形状であるため、その磁石4、4の一方
から他方に伝わる磁束Φ2…Φ2の分、磁極から外部に
漏洩する磁束Φ1…Φ1が減少してマグネットアセンブ
リ2から被検査材表面への磁束密度も少なくなり、その
結果、相互作用として発生するローレンツ力があまり大
きくならず、感度が低下するといった事態が想到され
る。
【0027】一方、各磁石4…4間にスペーサ10を配
置した場合では、スペーサ10は磁石4よりも透磁率が
小さいためにスペーサ10内での磁気抵抗が増加する。
従って、上述のスペーサ10を配置しない場合と比べ、
図8(b)に示すように隣接する2枚の磁石4、4の一
方から他方に伝わる磁束Φ2…Φ2が減少し、その分、
磁極から外部に漏洩する磁束Φ1…Φ1が増加してロー
レンツ力発生に関する被検査材表面上の磁束密度も増加
する。
【0028】従って、この実施形態によれば、1枚の磁
石4から漏洩する磁束がすぐに隣接する磁石4に戻らず
に被検査材側に広がり、マグネットアセンブリから被検
査材表面への漏洩磁束密度が大きくなるため、誘電渦電
流との相互作用によって発生するローレンツ力をより一
層大きくでき、電磁超音波トランスジューサの感度を大
幅に高める利点がある。
【0029】なお、銅線部の配置構造については、例え
ば図9及び図10に示すように送信用銅線5を中央部、
受信用銅線6を周辺部にそれぞれ配置してもよく、これ
とは逆に送信用銅線を周辺部、受信用銅線を中央部に配
置してもよい。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、銅線のみを送信側と受信側とで個別に配置する構成
としたため、送信信号の受信側への混入が殆ど回避さ
れ、受信信号のSN比が向上すると共に、マグネットア
センブリは送信用と受信用とで兼用するために全体寸法
を小さくでき、このような小型化により例えば取扱いが
容易となって使い勝手も各段によくなる。また、従来例
のように送信側と受信側とでビーム角度が異なる点も殆
ど解消されるために超音波受信感度も向上し、欠陥の検
出や同定効率も大幅に向上するようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係る電磁超音波トランスジューサの
全体構成を示す概略斜視図。
【図2】マグネットアセンブリの要部構造を示す概略斜
視図。
【図3】銅線の要部構造を示す概略平面図。
【図4】銅線の配置パターンを変えた場合の概略斜視
図。
【図5】銅線の配置パターンを変えた場合の概略平面
図。
【図6】スペーサを配置した場合の概略斜視図。
【図7】スペーサを配置しない場合の概略平面図。
【図8】磁束状況を説明する図で、(a)はスペーサを
配置しない場合の概念図、(b)はスペーサを配置した
場合の概念図。
【図9】銅線の配置パターンを変えた場合の概略斜視
図。
【図10】銅線の配置パターンを変えた場合の概略平面
図。
【図11】従来の電磁超音波トランスジューサの全体構
成を示す概略側面図。
【図12】図11中のA−A線に沿って銅線側を見た概
略図。
【図13】ローレンツ力の発生原理を説明する概念図。
【図14】ローレンツ力に基づくSH波の超音波信号の
発生状況を説明する概念図。
【図15】SH波の超音波信号の伝搬状況を説明する概
念図。
【図16】SV波の超音波信号の伝搬状況を説明する概
念図。
【図17】従来例の送信側と受信側とにマグネットアセ
ンブリを配置した場合を説明する概略図。
【符号の説明】
1 ケース 2 マグネットアセンブリ 3 銅線部 4 永久磁石 5 送信用銅線 6 受信用銅線 7 送信用コネクタ 8 受信用コネクタ 10 スペーサ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検査材にローレンツ力に基づく超音波
    信号を送信し、この反射超音波信号を電気信号に変換し
    て受信する電磁超音波トランスジューサにおいて、上記
    ローレンツ力生成用の磁気信号を上記被検査材に与える
    複数枚の板状の磁石を有し且つこの各磁石を一体に積層
    化したマグネットアセンブリと、上記ローレンツ力生成
    用の電気信号を上記被検査材に与える第1の信号線と、
    上記反射超音波信号に対応する電気信号を受ける第2の
    信号線とを備え、上記マグネットアセンブリの磁化方向
    の上記被検査材側の側面に上記第1及び第2の信号線を
    個別に配置したことを特徴とする電磁超音波トランスジ
    ューサ。
  2. 【請求項2】 前記マグネットアセンブリの前記側面に
    前記第1及び第2の信号線を互いに同じパターンで交互
    に隣接させて配置した請求項1記載の電磁超音波トラン
    スジューサ。
  3. 【請求項3】 前記マグネットアセンブリの前記側面の
    中央部に前記第1及び第2の信号線の一方を配置し、上
    記側面の中央部を囲う周辺部に上記第1及び第2の信号
    線の他方を配置した請求項1記載の電磁超音波トランス
    ジューサ。
  4. 【請求項4】 前記複数枚の磁石の内の隣接する2枚の
    磁石間にスペーサを配置した請求項1から3までのいず
    れか1項記載の電磁超音波トランスジューサ。
JP9092580A 1997-04-10 1997-04-10 電磁超音波トランスジューサ Pending JPH10282071A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102967658A (zh) * 2012-12-07 2013-03-13 钢铁研究总院 一种用于钢棒表面自动化检测的电磁超声换能器
FR3113947A1 (fr) * 2020-09-09 2022-03-11 SteeLEMAT S.à r.l Système EMAT pour la détection de discontinuités de surface et internes dans des structures conductrices à haute température
EP4166246A1 (fr) * 2021-10-14 2023-04-19 SteeLEMAT S.à r.l Système emat pour la détection de discontinuités de surface et internes dans des structures conductrices à haute température

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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FR3113947A1 (fr) * 2020-09-09 2022-03-11 SteeLEMAT S.à r.l Système EMAT pour la détection de discontinuités de surface et internes dans des structures conductrices à haute température
WO2022054036A3 (fr) * 2020-09-09 2022-05-05 SteeLEMAT S.à r.l Système emat pour la détection de discontinuités de surface et internes dans des structures conductrices à haute température
EP4166246A1 (fr) * 2021-10-14 2023-04-19 SteeLEMAT S.à r.l Système emat pour la détection de discontinuités de surface et internes dans des structures conductrices à haute température

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