JPH10275665A - Ic socket - Google Patents

Ic socket

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JPH10275665A
JPH10275665A JP7771897A JP7771897A JPH10275665A JP H10275665 A JPH10275665 A JP H10275665A JP 7771897 A JP7771897 A JP 7771897A JP 7771897 A JP7771897 A JP 7771897A JP H10275665 A JPH10275665 A JP H10275665A
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contact
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socket body
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Hiroyuki Onodera
浩行 小野寺
Noriaki Kato
典昭 加藤
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NEC Engineering Ltd
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NEC Corp
NEC Engineering Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the self inductance of a contact pin and make correspondence to high frequency possible by pressing one end against an electrode pad of a test board for fixing, supporting the other end so as to be capable of sliding, arranging a plurality of contact pins so that the peak part is projected to a positioning groove, and shorten the line length between the lead and the electrode pad of an IC package. SOLUTION: In a contact pin 8, a contact peak part 17 is projected from a positioning groove 5, and a pin fixing part 16 is pressed against an electrode pad 15 of a test board 14 with an elastic body 9 made of hard rubber. When the contact pin 8 is pressed with a lead 13 of an IC package 12, the contact peak part 17 is deformed at an angle within an elastic region, a pin sliding part 18 slides and moves on a pin slide plate 10. The contact peak part 17 comes down, rubs the contact surface of the lead 13, and moves to the outside of the lead 13. The line length of the contact pin 8 is shortened.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は電気信号を与えて半
導体装置の電子回路をテストするシステムなどに用いる
ICソケットに関し、特に高周波デバイスの電子回路を
テストするためのICソケットに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC socket used in a system for testing an electronic circuit of a semiconductor device by applying an electric signal, and more particularly to an IC socket for testing an electronic circuit of a high-frequency device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、このような高周波対応のICソケ
ットとしては、例えば、米国特許第5069629号,
第5207584号あるいは特開昭8−236237号
公報でも知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as an IC socket compatible with such a high frequency, for example, US Pat. No. 5,069,629,
No. 5,207,584 or JP-A-8-236237.

【0003】図5はかかる従来の一例を示すICソケッ
トの斜視図である。図5に示すように、従来のICソケ
ットは、リード2を形成したICパッケージ1を載置す
るソケット本体5aを有し、電極パッド4を備えたテス
トボード3にこのソケット本体5aを搭載する構造を有
している。特に、ソケット本体5aは、S字形コンタク
ト31と、このS字形コンタクト31を保持するため
に、上下にそれぞれ2本固定されるエラストマ32とを
有し、S字形コンタクト31はソケット本体5aに加工
されたスロット溝30に挿入されている。なお、33は
ボード3側に実装されているチップ抵抗やコンデンサ等
の表面実装用電気部品である。
FIG. 5 is a perspective view of an IC socket showing such a conventional example. As shown in FIG. 5, the conventional IC socket has a socket body 5a on which an IC package 1 having leads 2 formed is mounted, and the socket body 5a is mounted on a test board 3 having electrode pads 4. have. In particular, the socket body 5a has an S-shaped contact 31 and two elastomers 32, which are fixed up and down, respectively, to hold the S-shaped contact 31, and the S-shaped contact 31 is processed into the socket body 5a. Into the slot groove 30. Reference numeral 33 denotes surface mounting electrical components such as chip resistors and capacitors mounted on the board 3 side.

【0004】まず、ICソケットとしては、表面実装型
であり、ソケット本体5aをテストボード3にネジ等で
固定する。その際、S字形コンタクト31はソケット本
体5aの底面より0.2mmほど飛び出しており、テス
トボード3への固定時には、下部のエラストマ32を変
形させ、この変形で与えられた負荷により、S字形コン
タクト31をテストボード3の電極パッド4に接触保持
させる。
First, an IC socket is a surface mount type, and a socket body 5a is fixed to a test board 3 with screws or the like. At this time, the S-shaped contact 31 protrudes from the bottom surface of the socket body 5a by about 0.2 mm. When the S-shaped contact 31 is fixed to the test board 3, the lower elastomer 32 is deformed. 31 is held in contact with the electrode pad 4 of the test board 3.

【0005】ついで、ICパッケージ1のリード2をS
字形コンタクト31の上面に載せて適正な接触圧力をか
けると、S字形コンタクト31はエラストマ32を変形
させながら回転を行う。これにより、S字形コンタクト
31はICパッケージ1のリード2の接触面とテストボ
ード3の電極パッド4の双方の接触面を擦りながら相互
接続が行われる。
Next, the lead 2 of the IC package 1 is
When an appropriate contact pressure is applied on the upper surface of the letter-shaped contact 31, the S-shaped contact 31 rotates while deforming the elastomer 32. Thus, the S-shaped contacts 31 are interconnected while rubbing the contact surfaces of the leads 2 of the IC package 1 and the electrode pads 4 of the test board 3.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のICソ
ケットは、S字形のコンタクトを用いているため、IC
パッケージのリードと電極パッド間の距離が長くなり、
コンタクト自体が持つ自己インダクタンスを高くするた
め、高周波信号を扱うものには適さないという欠点があ
る。
The above-mentioned conventional IC socket uses an S-shaped contact, so that the IC
The distance between the package lead and the electrode pad becomes longer,
Since the self-inductance of the contact itself is increased, it has a disadvantage that it is not suitable for a device that handles high-frequency signals.

【0007】しかも、従来のICソケットは、S字形の
コンタクトと、エラストマと称する回転・固定機構とを
備えているため、テストボードの電極パッドに接触する
荷重が高くなるという問題がある。すなわち、このIC
ソケットは、電極パッド上でコンタクトピンが摺動した
り、回転動作を行うため、コンタクトピンと電極パッド
接触部との間には、パターン削れが発生する。
In addition, the conventional IC socket has an S-shaped contact and a rotating / fixing mechanism called an elastomer, so that there is a problem that the load contacting the electrode pad of the test board increases. That is, this IC
In the socket, the contact pins slide or rotate on the electrode pads, so that pattern shaving occurs between the contact pins and the electrode pad contact portions.

【0008】通常、S字形のコンタクトは板材をプレス
抜きにより製作しており、このため切断面の一部は破断
面となり、接触面が滑らかとはならない。しかも、S字
形のコンタクトは板幅方向で電極パッドと接触している
ため、接触面積が小さく且つ集中荷重がかかり、電極パ
ッドの接触面の削れが一層促進されてしまう。
Normally, an S-shaped contact is manufactured by stamping a plate material, so that a part of the cut surface has a broken surface, and the contact surface is not smooth. Moreover, since the S-shaped contact is in contact with the electrode pad in the width direction of the plate, the contact area is small, a concentrated load is applied, and the contact surface of the electrode pad is further reduced.

【0009】このように、従来のICソケットは、S字
形コンタクトの摺動(回転運動と前後へのすべり)と形
状により、電極パッドの接触部の削れが発生するという
問題があり、このために電極パッドとコンタクトピンの
接触圧力が低下し、安定した相互接続を確保できないと
いう欠点がある。
As described above, the conventional IC socket has a problem that the contact portion of the electrode pad is scraped due to the sliding (rotational movement and sliding back and forth) and the shape of the S-shaped contact. There is a disadvantage that the contact pressure between the electrode pad and the contact pin is reduced, and stable interconnection cannot be ensured.

【0010】本発明の目的は、ICの電子回路をテスト
するにあたり、ICパッケージのリードと、電子回路テ
スタなどに接続するテストボードの電極パッドとの線路
長を短かくして、コンタクトピンの有する自己インダク
タンスを低くし、高周波対応を可能にするICソケット
を提供することにある。
An object of the present invention is to reduce the line length between a lead of an IC package and an electrode pad of a test board connected to an electronic circuit tester or the like in a test of an electronic circuit of an IC to reduce a self-inductance of a contact pin. It is an object of the present invention to provide an IC socket which is capable of supporting a high frequency.

【0011】また、本発明の他の目的は、コンタクトピ
ンと電極パッドの接触圧力を安定させ、コンタクトピン
による電極パッドの表面の削れを防止するICソケット
を提供することにある。
It is another object of the present invention to provide an IC socket which stabilizes the contact pressure between a contact pin and an electrode pad and prevents the contact pin from shaving the surface of the electrode pad.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明のICソケット
は、周囲にリードを備えたICパッケージを搭載するた
めのパッケージ位置決め部を中央に形成するとともに、
前記パッケージ位置決め部の周囲にピン位置決め溝を形
成し、電極パッドを備えたテストボードに実装するため
のソケット本体と、前記ソケット本体の前記ピン位置決
め溝に頂点部が突出するように配置され、一端を固定し
且つ他端を摺動できるようにするとともに、前記頂点部
および前記一端間を直線状とした複数のコンタクトピン
と、前記複数のコンタクトピンの前記一端を固定するた
めに、前記ソケット本体の周辺部に対応して配置される
ピン固定プレートと、前記ソケット本体の周辺部,前記
ピン固定プレート間に配置され、前記複数のコンタクト
ピンを前記テストボードの前記電極パッドに押圧する弾
性体と、前記複数のコンタクトピンの摺動できるように
した前記他端を支えるために、前記ソケット本体の前記
パッケージ位置決め部の下部に配置されるピンスライド
プレートとを有して構成される。
According to the IC socket of the present invention, a package positioning portion for mounting an IC package having leads around it is formed at the center,
A pin positioning groove is formed around the package positioning portion, a socket body for mounting on a test board having an electrode pad, and a vertex portion is arranged to protrude from the pin positioning groove of the socket body, and one end is provided. And a plurality of contact pins having a straight line between the apex and the one end, and the one end of the plurality of contact pins for fixing the one end of the socket body. A pin fixing plate disposed corresponding to a peripheral portion, an elastic member disposed between the pin fixing plate and the peripheral portion of the socket body, and pressing the plurality of contact pins against the electrode pads of the test board; Positioning the package of the socket body to support the other end of the plurality of contact pins so as to be slidable; Constructed and a pin sliding plate disposed under the parts.

【0013】このICソケットにおける弾性体は、硬質
ゴムを用いて形成し、前記複数のコンタクトピンの固定
される一端をテストボードの電極パッドに押圧固定する
ように形成される。
The elastic body in this IC socket is formed using hard rubber, and is formed so that one ends of the plurality of contact pins to be fixed are pressed and fixed to the electrode pads of the test board.

【0014】このICソケットにおける複数のコンタク
トピンは、中間に形成される頂点部と、両端に形成され
る固定部および摺動部とからなり、前記頂点部が前記ソ
ケット本体の前記ピン位置決め溝より突出するととも
に、前記固定部および前記摺動部は前記ソケット本体の
内部に収容されるように形成される。
The plurality of contact pins in the IC socket include an apex formed in the middle, a fixed portion and a sliding portion formed at both ends, and the apex is located between the pin positioning groove of the socket body. The fixing portion and the sliding portion are formed so as to be housed inside the socket main body.

【0015】このICソケットにおける複数のコンタク
トピンは、前記ICパッケージの前記リードによって押
圧されたとき、前記頂点部が弾性域内で角度変形するよ
うに形成される。
The plurality of contact pins in the IC socket are formed such that the apexes are angularly deformed within the elastic range when pressed by the leads of the IC package.

【0016】このICソケットにおけるソケット本体
は、前記パッケージ位置決め部の底面と、前記ピンスラ
イドプレートとにより、前記複数のコンタクトピンの前
記他端を摺動できるように溝を形成するように構成され
る。
The socket body of the IC socket is configured such that a groove is formed by the bottom surface of the package positioning portion and the pin slide plate so that the other ends of the plurality of contact pins can slide. .

【0017】また、本発明のICソケットは、周囲にリ
ードを備えたICパッケージを搭載するためのパッケー
ジ位置決め部を中央に形成するとともに、前記パッケー
ジ位置決め部の周囲にピン位置決め溝を形成し、電極パ
ッドを備えたテストボードに実装するためのソケット本
体と、前記ソケット本体の前記ピン位置決め溝に頂点部
が突出するように配置され、一端を固定し且つ他端を摺
動できるようにするとともに、前記頂点部および前記一
端間を直線状とした複数のコンタクトピンと、前記複数
のコンタクトピンの前記一端を固定するために、前記ソ
ケット本体の前記位置決め部の直下に配置される矩形状
のピン固定プレートとを有し、前記コンタクトピンの摺
動できるようにした前記他端は前記ソケット本体の周辺
部で支えるように構成される。
In the IC socket of the present invention, a package positioning portion for mounting an IC package having leads around the center is formed at the center, and a pin positioning groove is formed around the package positioning portion to form an electrode. A socket body for mounting on a test board having a pad, and a vertex portion is arranged to protrude into the pin positioning groove of the socket body, so that one end is fixed and the other end is slidable, A plurality of contact pins having a straight line between the apex and the one end, and a rectangular pin fixing plate disposed immediately below the positioning portion of the socket body to fix the one end of the plurality of contact pins. And the other end of the contact pin, which is slidable, is supported at a peripheral portion of the socket body. It is made.

【0018】このICソケットにおける複数のコンタク
トピンは、中間に形成される前記頂点部と、両端に形成
される固定部および摺動部とからなり、前記頂点部が前
記ソケット本体の前記ピン位置決め溝より突出するとと
もに、前記固定部および前記摺動部は前記ソケット本体
の内部に収容されるように形成される。
The plurality of contact pins in the IC socket include the apex formed in the middle, fixed portions and sliding portions formed at both ends, and the apex is the pin positioning groove of the socket body. Further, the fixing portion and the sliding portion are formed so as to be housed inside the socket body.

【0019】このICソケットにおける複数のコンタク
トピンは、前記ICパッケージの前記リードによって押
圧されたとき、前記頂点部が弾性域内で角度変形するよ
うに形成される。
The plurality of contact pins in the IC socket are formed such that the top portions are angularly deformed within the elastic region when pressed by the leads of the IC package.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0021】図1は本発明の一実施の形態を説明するた
めのICソケットの左半分を切り欠いた平面図である。
図1に示すように、本実施の形態におけるICソケット
1は、外部テスタなどに接続されたテストボードに実装
され、ICパッケージなどの電子回路の特性を測定する
ために用いられるものである。特に、このソケット1
は、ICパッケージを搭載するために、凹部6およびテ
ーパ部4からなるパッケージ位置決め部3を中央に形成
したソケット本体2を備えており、そのソケット本体2
はパッケージ位置決め部3の周囲にコンタクトピン8の
頂点部が突出するようにしたピン位置決め溝5を形成し
ている。また、ソケット本体2の下部および内部には、
パッケージ位置決め部3の外周に沿って設けられたコン
タクトピン8と、コンタクトピン8の一端を固定するた
めの外枠形状をしたピン固定プレート7と、コンタクト
ピン8を保持するための弾性体9と、コンタクトピン8
の他端を摺動させるための矩形形状をしたピンスライド
プレート10とを備えている。なお、空間部11は、コ
ンタクトピン8の立ち上がる直線状部分を位置させると
ともに、前述したピン位置決め溝5に続いている。
FIG. 1 is a plan view of an IC socket for explaining an embodiment of the present invention, in which a left half of the IC socket is cut away.
As shown in FIG. 1, an IC socket 1 according to the present embodiment is mounted on a test board connected to an external tester or the like, and is used for measuring characteristics of an electronic circuit such as an IC package. In particular, this socket 1
Is provided with a socket body 2 having a package positioning portion 3 formed of a concave portion 6 and a tapered portion 4 formed at the center for mounting an IC package.
A pin positioning groove 5 is formed around the package positioning portion 3 so that the top of the contact pin 8 protrudes. Also, at the lower part and inside of the socket body 2,
A contact pin 8 provided along the outer periphery of the package positioning portion 3, a pin fixing plate 7 having an outer frame shape for fixing one end of the contact pin 8, and an elastic body 9 for holding the contact pin 8. , Contact pin 8
And a rectangular pin slide plate 10 for sliding the other end of the pin slide plate. In addition, the space portion 11 is located at a linear portion where the contact pin 8 rises, and continues to the pin positioning groove 5 described above.

【0022】図2(a),(b)はそれぞれ図1のIC
ソケットにICパッケージを搭載し、測定する前後のA
−A’線部分断面図である。図2(a)に示すように、
このICソケットは、前述したとおり、ソケット本体2
と、複数のコンタクトピン8と、ピン固定プレート7
と、弾性体9と、ピンスライドプレート10とを有して
いる。このうち、ソケット本体2は、周囲にリード13
を備えたICパッケージ12を搭載するためのパッケー
ジ位置決め部3を中央に形成するとともに、パッケージ
位置決め部3の周囲にピン位置決め溝5を形成し、電極
パッド15を備えたテストボード14に実装するための
ものである。しかも、このソケット本体2は、パッケー
ジ位置決め部3の底面と、ピンスライドプレート10と
により、コンタクトピン8のピン摺動部18を摺動でき
るように溝を形成する。
FIGS. 2 (a) and 2 (b) show the IC of FIG.
A before and after measurement with IC package mounted on socket
FIG. 4 is a partial cross-sectional view taken along line -A ′. As shown in FIG.
This IC socket is, as described above, a socket body 2
And a plurality of contact pins 8 and a pin fixing plate 7
, An elastic body 9 and a pin slide plate 10. The socket body 2 has a lead 13 around it.
A package positioning portion 3 for mounting an IC package 12 having a center is formed at the center, and a pin positioning groove 5 is formed around the package positioning portion 3 to be mounted on a test board 14 having an electrode pad 15. belongs to. Moreover, the socket body 2 has a groove formed by the bottom surface of the package positioning portion 3 and the pin slide plate 10 so that the pin slide portion 18 of the contact pin 8 can slide.

【0023】また、複数のコンタクトピン8は、ソケッ
ト本体2のピン位置決め溝5にコンタクト頂点部17が
突出するように位置決め部3の外周に沿って配置され、
一端のピン固定部16を固定し且つ他端のピン摺動部1
8を摺動できるようにするとともに、コンタクト頂点部
17およびピン固定部16間を直線状として形成され
る。すなわち、コンタクトピン8は、中間に形成される
頂点部17と、両端に形成される固定部16および摺動
部18とからなり、頂点部17がソケット本体2のピン
位置決め溝5より突出するとともに、固定部16および
摺動部18はソケット本体2の内部に収容されている。
さらに、コンタクトピン8はICパッケージ12のリー
ド13によって押圧されたとき、頂点部17が弾性域内
で角度変形する。
The plurality of contact pins 8 are arranged along the outer periphery of the positioning portion 3 so that the contact apex portion 17 projects into the pin positioning groove 5 of the socket body 2.
The pin fixing portion 16 at one end is fixed and the pin sliding portion 1 at the other end is fixed.
8 is slidable, and a linear portion is formed between the contact apex portion 17 and the pin fixing portion 16. That is, the contact pin 8 includes an apex portion 17 formed in the middle, a fixed portion 16 and a sliding portion 18 formed at both ends, and the apex portion 17 protrudes from the pin positioning groove 5 of the socket body 2. The fixed portion 16 and the sliding portion 18 are housed inside the socket body 2.
Further, when the contact pin 8 is pressed by the lead 13 of the IC package 12, the vertex 17 is angularly deformed within the elastic region.

【0024】かかる片側を固定し、もう片側を摺動する
構造を備えたコンタクトピン8は、ICパッケージ12
のリード13とテストボード14の電極パッド15を約
3mmの線路長からなる直線部分で相互接続し、ピン固
定部16は電極パッド15上に直接固定され、ピン摺動
部18のみがスライドする。
The contact pin 8 having a structure in which one side is fixed and the other side is slid, is provided on the IC package 12.
The lead 13 and the electrode pad 15 of the test board 14 are interconnected by a linear portion having a line length of about 3 mm, the pin fixing portion 16 is directly fixed on the electrode pad 15, and only the pin sliding portion 18 slides.

【0025】また、ピン固定プレート7は、前述したよ
うに、枠状に形成され、コンタクトピン8の一端部であ
る固定部16を固定するために、ソケット本体2の周辺
部19に対応して配置される。このピン固定プレート7
は、ソケット本体2と螺合固定される。
As described above, the pin fixing plate 7 is formed in a frame shape, and corresponds to the peripheral portion 19 of the socket body 2 for fixing the fixing portion 16 which is one end of the contact pin 8. Be placed. This pin fixing plate 7
Is screwed and fixed to the socket body 2.

【0026】また、弾性体9は、ソケット本体2の周辺
部19,ピン固定プレート7間に配置され、コンタクト
ピン8をテストボード14の電極パッド15に押圧する
機能を果している。この弾性体9は、例えば絶縁性の高
い硬質ゴムを用い、コンタクトピン8の固定部16をテ
ストボード14の電極パッド15に押圧固定する。
The elastic body 9 is arranged between the peripheral portion 19 of the socket body 2 and the pin fixing plate 7 and has a function of pressing the contact pins 8 against the electrode pads 15 of the test board 14. The elastic body 9 presses and fixes the fixing portion 16 of the contact pin 8 to the electrode pad 15 of the test board 14 using, for example, hard rubber having high insulating properties.

【0027】さらに、ピンスライドプレート10は、コ
ンタクトピン8のピン摺動部18を支えるために、ソケ
ット本体2のパッケージ位置決め部3の下部に配置さ
れ、ソケット本体2と螺合固定されるとともに、前述し
たように、矩形形状に形成されている。
Further, the pin slide plate 10 is disposed below the package positioning portion 3 of the socket body 2 to support the pin slide portion 18 of the contact pin 8 and is screwed and fixed to the socket body 2. As described above, it is formed in a rectangular shape.

【0028】このように、本実施の形態におけるICソ
ケットは、コンタクトピン8がソケット本体2に加工さ
れた溝5に複数本挿入され、弾性体9を介しピン固定プ
レート7によりソケット本体2に固定される。さらに、
コンタクトピン8のピン摺動部18の下には、ピンスラ
イドプレート10を配置しソケット本体2に固定するこ
とにより、コンタクトピン8のピン摺動部18の動作を
水平方向のみに規制する。このように構成されたICソ
ケットは、テストボード14の所定位置に位置決めし、
ネジで固定するが、このICソケットの固定時には、弾
性体9を撓ませながら、テストボード14に固定される
ため、電極パッド15とコンタクトピン8間に接触圧力
を確保して接続される。
As described above, in the IC socket according to the present embodiment, a plurality of contact pins 8 are inserted into the grooves 5 formed in the socket body 2 and fixed to the socket body 2 by the pin fixing plate 7 via the elastic body 9. Is done. further,
The pin slide plate 10 is arranged below the pin slide portion 18 of the contact pin 8 and fixed to the socket body 2 to restrict the operation of the pin slide portion 18 of the contact pin 8 only in the horizontal direction. The IC socket thus configured is positioned at a predetermined position on the test board 14,
When the IC socket is fixed, the IC socket is fixed to the test board 14 while bending the elastic body 9, so that the contact is secured between the electrode pad 15 and the contact pin 8 while securing the contact pressure.

【0029】また、図2(b)に示すように、テストす
るICパッケージ12は、自動供給装置によりICソケ
ット上に自動供給され、ICパッケージ12のリード1
3とコンタクトピン8に適正な荷重を与える。すなわ
ち、ICパッケージ12をパッケージ吸着部21で吸着
保持しながらソケット本体2の所定位置まで搬送し、し
かる後ICパッケージ12の吸着を解除してソケット本
体2の位置決め部3に落し込む。この落されたICパッ
ケージ12は、位置決め部3により自動的に位置補正さ
れる。ついで、リード加圧部20が下降し、定められた
下降位置で停止する。
As shown in FIG. 2B, the IC package 12 to be tested is automatically supplied to the IC socket by the automatic supply device, and the lead 1 of the IC package 12 is supplied.
Appropriate load is applied to 3 and contact pins 8. That is, the IC package 12 is conveyed to a predetermined position of the socket body 2 while being suction-held by the package suction section 21, and then the IC package 12 is released and dropped into the positioning section 3 of the socket body 2. The position of the dropped IC package 12 is automatically corrected by the positioning unit 3. Next, the lead pressing unit 20 descends and stops at a predetermined descending position.

【0030】なお、ここではICパッケージ12の供
給、およびリード2の適正接触圧力を与える装置を用い
ているが、手動操作により、これらの供給や接触圧力を
与えることも可能である。その場合には、周知技術であ
るICソケットの蓋式構造を用いることもできる。
Although a device for supplying the IC package 12 and providing an appropriate contact pressure for the leads 2 is used here, it is also possible to supply these and supply the contact pressure by manual operation. In that case, a lid-type structure of an IC socket, which is a well-known technique, can be used.

【0031】しかるに、コンタクトピン8のピン固定部
16は、ピン固定プレート7により固定されているた
め、リード加圧部20によりリード13に与えられた圧
力は、コンタクトピン8のコンタクト頂点部17のの角
度を弾性域内で変形させる。それに伴い、ピン摺動部1
8はピンスライドプレート10上を滑りながら移動する
ことができる。これらの動作により、コンタクト頂点部
17は下がりつつ、リード13の接触面を擦りながらリ
ード13の外側に移動する。
However, since the pin fixing portion 16 of the contact pin 8 is fixed by the pin fixing plate 7, the pressure applied to the lead 13 by the lead pressing portion 20 is reduced by the contact apex portion 17 of the contact pin 8. Is deformed within the elastic range. Accordingly, the pin sliding part 1
8 can move while sliding on the pin slide plate 10. By these operations, the contact apex portion 17 moves to the outside of the lead 13 while rubbing the contact surface of the lead 13 while descending.

【0032】上述した本実施の形態によれば、コンタク
トピン8の線路長を短かく抑えて低インダクタンスを確
保することにより、高周波デバイスの測定を可能にする
ことができる。具体的に、コンタクトピン8の線路長
は、3mm程度であり、インダクタンスにすると、3n
H以下にすることができる。また、ソケットのコンタク
トピン8は、板材をプレス曲げ成形で製作することによ
り、ピン幅を確保することができ、一層コンタクト接触
面も滑らかなものとすることができる上、テストボード
14の電極パッド15にコンタクトピン8を固定する構
造とすることにより、電極パッド部の擦れによる削れを
解決することができる。
According to the above-described embodiment, it is possible to measure a high-frequency device by keeping the line length of the contact pin 8 short and ensuring a low inductance. Specifically, the line length of the contact pin 8 is about 3 mm.
H or less. The contact pins 8 of the socket can be made of a plate material by press bending to secure a pin width, to further smooth the contact contact surface, and to form electrode pads of the test board 14. By employing a structure in which the contact pins 8 are fixed to the contact pins 15, the scraping of the electrode pad portions due to friction can be solved.

【0033】図3(a),(b)はそれぞれ本発明の他
の実施の形態を説明するためのICソケットの測定前後
のA−A’線部分断面図である。図3(a)に示すよう
に、本実施の形態におけるICソケットは、周囲にリー
ド13を備えたICパッケージ12を搭載するためのパ
ッケージ位置決め部3を中央に形成するとともに、パッ
ケージ位置決め部3の周囲にピン位置決め溝5を形成
し、電極パッド15を備えたテストボード14に実装す
るためのソケット本体2と、ソケット本体2のピン位置
決め溝5に頂点部17が突出するように配置され、一端
をピン固定部16とし且つ他端をピン摺動部18にする
とともに、頂点部17およびピン固定部16間を直線状
とした複数のコンタクトピン8と、複数のコンタクトピ
ン8のピン固定部16を固定するために、ソケット本体
2の位置決め部3の直下に配置される矩形状のピン固定
プレート7とを有する。しかも、このコンタクトピン8
は摺動できるようにしたピン摺動部18をソケット本体
2の周辺部19で支えるように形成される。
FIGS. 3A and 3B are partial cross-sectional views taken along the line AA 'of the IC socket before and after measurement, respectively, for explaining another embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3A, in the IC socket according to the present embodiment, a package positioning portion 3 for mounting an IC package 12 having leads 13 around the center is formed at the center, and the package positioning portion 3 A pin positioning groove 5 is formed around the socket body 2 for mounting on a test board 14 having an electrode pad 15, and an apex 17 is disposed so as to project into the pin positioning groove 5 of the socket body 2, Are pin fixing portions 16, the other end is a pin sliding portion 18, a plurality of contact pins 8 having a straight line between the apex portion 17 and the pin fixing portion 16, and a pin fixing portion 16 of the plurality of contact pins 8. And a rectangular pin fixing plate 7 disposed immediately below the positioning portion 3 of the socket body 2 in order to fix the pin. Moreover, this contact pin 8
Is formed so as to support a pin sliding portion 18 slidable by a peripheral portion 19 of the socket body 2.

【0034】この場合のコンタクトピン8も、中間に形
成される頂点部17と、両端に形成される固定部16お
よび摺動部18とからなり、頂点部17がソケット本体
2のピン位置決め溝5より突出するとともに、固定部1
6および摺動部18はソケット本体2の内部に収容され
るとともに、かかるコンタクトピン8は、ICパッケー
ジ12のリード13によって押圧されたとき、頂点部1
7が弾性域内で角度変形するように形成される。
In this case, the contact pin 8 also includes an apex portion 17 formed in the middle, a fixed portion 16 and a sliding portion 18 formed at both ends, and the apex portion 17 is provided in the pin positioning groove 5 of the socket body 2. More protruding and fixed part 1
6 and the sliding portion 18 are housed inside the socket body 2, and when the contact pin 8 is pressed by the lead 13 of the IC package 12,
7 is formed so as to be angularly deformed in the elastic range.

【0035】このように、本実施の形態におけるICソ
ケットは、コンタクトピン8がソケット本体2に加工さ
れた溝5に複数本挿入され、ピン固定プレート7により
ソケット本体2に固定される。このように構成されたI
Cソケットは、テストボード14の所定位置に位置決め
し、ネジで固定する。
As described above, in the IC socket according to the present embodiment, a plurality of contact pins 8 are inserted into the grooves 5 formed in the socket body 2 and fixed to the socket body 2 by the pin fixing plates 7. The I thus constructed
The C socket is positioned at a predetermined position on the test board 14 and fixed with screws.

【0036】また、図3(b)に示すように、ICパッ
ケージ12の供給からテストするまでの工程は、前述し
た一実施の形態と同様であるため、説明を省略する。本
実施の形態でのコンタクトピン8は、そのピン固定部1
6がピン固定プレート7によって固定されているため、
リード加圧部20でリード13に与えられた圧力は、コ
ンタクト頂点部17の角度を弾性域内で変形させる。そ
れに伴い、ピン摺動部18は電極パッド15の上面に圧
力を与えながらスライドしていく。これらの動作によっ
て、コンタクト頂点部17も下がりつつ、リード13の
接触面を擦りながらリード13の内側に移動する。
Further, as shown in FIG. 3B, the steps from the supply of the IC package 12 to the test are the same as those in the above-described embodiment, and the description is omitted. In the present embodiment, the contact pin 8 is
6 is fixed by the pin fixing plate 7,
The pressure applied to the lead 13 by the lead pressing unit 20 changes the angle of the contact apex 17 within the elastic range. Accordingly, the pin sliding portion 18 slides while applying pressure to the upper surface of the electrode pad 15. By these operations, the contact apex portion 17 moves down to the inside of the lead 13 while rubbing the contact surface of the lead 13.

【0037】要するに、本実施の形態では、頂点部17
の動きが、前述した一実施の形態とは逆になるのと、ピ
ン修道部18が直接パッド15上を移動することにあ
る。これらの相違は、部材構成で見ると、弾性体を使用
しないため、組立が簡単になる半面、電極パッド15の
を多少傷付け易いという面を有している。
In short, in the present embodiment, the vertex 17
Is different from that of the above-described embodiment, in that the pin-removing portion 18 moves directly on the pad 15. These differences are that, when viewed in terms of the member configuration, the elastic body is not used, so that the assembly is simple, but the electrode pad 15 is slightly damaged.

【0038】図4(a),(b)はそれぞれ図3におけ
るコンタクトピンを製造する際の工程順に示した概念図
である。図4(a)に示すように、図3におけるコンタ
クトピン8を製造するにあたっては、ベリリウム銅など
の電気特性が良く且つバネ性を備えた板状部材を用い、
打抜き加工によりリードフレーム22を作製する。ここ
で、板厚やコンタクトピン8の幅は、テストする半導体
装置のリード幅とピンッチによって決定される。その
後、このリードフレーム22に対しては、金メッキを施
す。
FIGS. 4A and 4B are conceptual views showing the order of steps in manufacturing the contact pin shown in FIG. As shown in FIG. 4A, in manufacturing the contact pin 8 in FIG. 3, a plate-like member having good electrical characteristics and having spring properties, such as beryllium copper, is used.
The lead frame 22 is manufactured by punching. Here, the plate thickness and the width of the contact pin 8 are determined by the lead width and pinch of the semiconductor device to be tested. Thereafter, the lead frame 22 is plated with gold.

【0039】ついで、図4(b)に示すように、金メッ
キを施したリードフレーム22は成型器にセットされ、
その成型下型23および成型上型24によりプレス加工
される。しかる後、個片に切り離され、アニール処理や
洗浄工程を経てコンタクトピン8が完成する。
Next, as shown in FIG. 4 (b), the lead frame 22 plated with gold is set in a molding machine.
Pressing is performed by the lower mold 23 and the upper mold 24. Thereafter, the contact pins 8 are cut into individual pieces and subjected to an annealing process and a cleaning process to complete the contact pins 8.

【0040】なお、前述した一実施の形態においても、
コンタクトピン8は、同様のステップで形成することが
できる。
In the above-described embodiment,
The contact pin 8 can be formed in a similar step.

【0041】上述した本実施の形態によれば、コンタク
トピン8の線路長を短かく抑えて低インダクタンスを確
保することにより、高周波デバイスの測定を可能にする
ことができる。また、電極パッド15上でコンタクトピ
ン8の一端が摺動しても、電極パッド15にかかる応力
をるため、コンタクトピン8の接触部によるあっど15
の削れを抑制することができる。
According to the above-described embodiment, the measurement of the high-frequency device can be made possible by keeping the line length of the contact pin 8 short and ensuring low inductance. In addition, even if one end of the contact pin 8 slides on the electrode pad 15, a stress is applied to the electrode pad 15, so that the contact portion of the contact pin 8 may cause the stress to fall.
Can be suppressed.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のICソケ
ットは、パッケージ位置決め部を中央に形成し且つその
周囲にピン位置決め溝を形成したソケット本体と、前記
ピン位置決め溝にコンタクト頂点部が突出するように配
置され、両端にピン固定部とピン摺動部を形成された直
線状部分を有するコンタクトピンと、前記ピン固定部に
対応するピン固定プレートと、前記ピン摺動部に対応す
る摺動機構手段とを有することにより、ICの電子回路
をテストする際、ICリードと電極パッド間の線路長を
短かくし、自己インダクタンスを低くして高周波対応を
可能にすると共に、ピンによる電極パッドの表面の削れ
を防止できるという効果がある。
As described above, the IC socket according to the present invention has a socket body in which a package positioning portion is formed in the center and a pin positioning groove is formed around the package body, and a contact apex protrudes from the pin positioning groove. A contact pin having a linear portion having a pin fixing portion and a pin sliding portion formed at both ends, a pin fixing plate corresponding to the pin fixing portion, and a sliding contact corresponding to the pin sliding portion. When testing an electronic circuit of an IC by having a mechanism, the line length between the IC lead and the electrode pad is shortened, the self-inductance is reduced, and high-frequency operation is enabled. This has the effect of preventing scraping of the steel.

【0043】具体的には、ソケットにおけるコンタクト
ピンの電気接続する線路長が3mm程度であるため、イ
ンダクタンスを3nH程度にすることができ、高周波デ
バイの電子回路をテストすることができる。
More specifically, since the length of the line for electrically connecting the contact pins of the socket is about 3 mm, the inductance can be made about 3 nH, and an electronic circuit of a high-frequency device can be tested.

【0044】また、電極パッドの表面の削れに対して
は、板材をプレス曲げで製作したコンタクトピンを用い
ることができるので、ピンの接触面が滑らかとなり、従
来よりもピンの幅を広くとれるため、接触面積の拡大に
伴う応力分散が可能であり、電極パッドの削れを抑制す
ることができる。しかも、電極パッド上にコンタクトピ
ンを固定する構造とすれば、根本的に電極パッドの表面
の削れを解消することができる。
Further, for the shaving of the surface of the electrode pad, a contact pin made by press-bending a plate material can be used, so that the contact surface of the pin becomes smooth and the width of the pin can be made wider than before. In addition, it is possible to disperse the stress with the increase in the contact area, and it is possible to suppress the chipping of the electrode pad. In addition, if the contact pins are fixed on the electrode pads, the surface of the electrode pads can be basically prevented from being scraped.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態を説明するためのICソ
ケットの左半分を切り欠いた平面図である。
FIG. 1 is a plan view in which a left half of an IC socket is cut out for explaining an embodiment of the present invention.

【図2】図1のICソケットにICパッケージを搭載
し、測定する前後のA−A’線部分断面図である。
FIG. 2 is a partial cross-sectional view taken along line AA ′ before and after mounting an IC package on the IC socket of FIG.

【図3】本発明の他の実施の形態を説明するためのIC
ソケットの測定前後のA−A’線部分断面図である。
FIG. 3 is an IC for explaining another embodiment of the present invention.
It is an AA 'line partial sectional view before and after measurement of a socket.

【図4】図3におけるコンタクトピンを製造する際の工
程順に示した概念図である。
FIG. 4 is a conceptual diagram showing the order of steps when manufacturing the contact pin in FIG. 3;

【図5】従来の一例を説明するためのICソケットの斜
視図である。
FIG. 5 is a perspective view of an IC socket for explaining an example of the related art.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ICソケット 2 ソケット本体 3 位置決め部 5 溝 7 ピン固定プレート 8 コンタクトピン 9 弾性体 10 ピンスライドプレート 12 ICパッケージ 13 リード 14 テストボード 15 電極パッド 16 ピン固定部 17 コンタクト頂点部 18 ピン摺動部 19 本体周辺部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 IC socket 2 Socket main body 3 Positioning part 5 Groove 7 Pin fixing plate 8 Contact pin 9 Elastic body 10 Pin slide plate 12 IC package 13 Lead 14 Test board 15 Electrode pad 16 Pin fixing part 17 Contact apex part 18 Pin sliding part 19 Around the body

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 周囲にリードを備えたICパッケージを
搭載するためのパッケージ位置決め部を中央に形成する
とともに、前記パッケージ位置決め部の周囲にピン位置
決め溝を形成し、電極パッドを備えたテストボードに実
装するためのソケット本体と、前記ソケット本体の前記
ピン位置決め溝に頂点部が突出するように配置され、一
端を固定し且つ他端を摺動できるようにするとともに、
前記頂点部および前記一端間を直線状とした複数のコン
タクトピンと、前記複数のコンタクトピンの前記一端を
固定するために、前記ソケット本体の周辺部に対応して
配置されるピン固定プレートと、前記ソケット本体の周
辺部,前記ピン固定プレート間に配置され、前記複数の
コンタクトピンを前記テストボードの前記電極パッドに
押圧する弾性体と、前記複数のコンタクトピンの摺動で
きるようにした前記他端を支えるために、前記ソケット
本体の前記パッケージ位置決め部の下部に配置されるピ
ンスライドプレートとを有することを特徴とするICソ
ケット。
1. A test board provided with an electrode pad, wherein a package positioning portion for mounting an IC package having leads around the center is formed at the center, and a pin positioning groove is formed around the package positioning portion. A socket body for mounting, arranged so that a vertex protrudes from the pin positioning groove of the socket body, so that one end is fixed and the other end is slidable,
A plurality of contact pins having a straight portion between the apex and the one end, and a pin fixing plate arranged to correspond to a peripheral portion of the socket body for fixing the one end of the plurality of contact pins; An elastic member disposed at a peripheral portion of a socket body and between the pin fixing plates and pressing the plurality of contact pins against the electrode pads of the test board; and the other end slidable by the plurality of contact pins. And a pin slide plate disposed below the package positioning section of the socket body to support the IC socket.
【請求項2】 前記弾性体は、硬質ゴムを用いて形成
し、前記複数のコンタクトピンの固定される前記一端を
前記テストボードの前記電極パッドに押圧固定する請求
項1記載のICソケット。
2. The IC socket according to claim 1, wherein said elastic body is formed using hard rubber, and said one end to which said plurality of contact pins are fixed is pressed and fixed to said electrode pad of said test board.
【請求項3】 前記複数のコンタクトピンは、中間に形
成される前記頂点部と、両端に形成される固定部および
摺動部とからなり、前記頂点部が前記ソケット本体の前
記ピン位置決め溝より突出するとともに、前記固定部お
よび前記摺動部は前記ソケット本体の内部に収容される
請求項1記載のICソケット。
3. The plurality of contact pins include the apex portion formed in the middle, a fixed portion and a sliding portion formed at both ends, and the apex portion is located between the pin positioning groove of the socket body. 2. The IC socket according to claim 1, wherein said fixing portion and said sliding portion protrude and are accommodated inside said socket body.
【請求項4】 前記複数のコンタクトピンは、前記IC
パッケージの前記リードによって押圧されたとき、前記
頂点部が弾性域内で角度変形する請求項1記載のICソ
ケット。
4. The method according to claim 1, wherein the plurality of contact pins are connected to the IC.
The IC socket according to claim 1, wherein when pressed by the lead of the package, the vertex is angularly deformed within an elastic region.
【請求項5】 前記ソケット本体は、前記パッケージ位
置決め部の底面と、前記ピンスライドプレートとによ
り、前記複数のコンタクトピンの前記他端を摺動できる
ように溝を形成する請求項1記載のICソケット。
5. The IC according to claim 1, wherein the socket body has a groove formed by the bottom surface of the package positioning portion and the pin slide plate so that the other ends of the plurality of contact pins can slide. socket.
【請求項6】 周囲にリードを備えたICパッケージを
搭載するためのパッケージ位置決め部を中央に形成する
とともに、前記パッケージ位置決め部の周囲にピン位置
決め溝を形成し、電極パッドを備えたテストボードに実
装するためのソケット本体と、前記ソケット本体の前記
ピン位置決め溝に頂点部が突出するように配置され、一
端を固定し且つ他端を摺動できるようにするとともに、
前記頂点部および前記一端間を直線状とした複数のコン
タクトピンと、前記複数のコンタクトピンの前記一端を
固定するために、前記ソケット本体の前記位置決め部の
直下に配置される矩形状のピン固定プレートとを有し、
前記コンタクトピンの摺動できるようにした前記他端は
前記ソケット本体の周辺部で支えることを特徴とするI
Cソケット。
6. A test board having an electrode pad, wherein a package positioning portion for mounting an IC package having leads around the center is formed at the center, and a pin positioning groove is formed around the package positioning portion. A socket body for mounting, arranged so that a vertex protrudes from the pin positioning groove of the socket body, so that one end is fixed and the other end is slidable,
A plurality of contact pins having a straight line between the apex and the one end, and a rectangular pin fixing plate disposed immediately below the positioning portion of the socket body to fix the one end of the plurality of contact pins. And
The other end of the contact pin, which is slidable, is supported by a peripheral portion of the socket body.
C socket.
【請求項7】 前記複数のコンタクトピンは、中間に形
成される前記頂点部と、両端に形成される固定部および
摺動部とからなり、前記頂点部が前記ソケット本体の前
記ピン位置決め溝より突出するとともに、前記固定部お
よび前記摺動部は前記ソケット本体の内部に収容される
請求項6記載のICソケット。
7. The plurality of contact pins include the apex portion formed in the middle, a fixed portion and a sliding portion formed at both ends, and the apex portion is located between the pin positioning groove of the socket body. 7. The IC socket according to claim 6, wherein the fixing portion and the sliding portion protrude and are accommodated inside the socket body.
【請求項8】 前記複数のコンタクトピンは、前記IC
パッケージの前記リードによって押圧されたとき、前記
頂点部が弾性域内で角度変形する請求項6記載のICソ
ケット。
8. The method according to claim 1, wherein the plurality of contact pins are connected to the IC.
7. The IC socket according to claim 6, wherein when pressed by the lead of the package, the vertex is angularly deformed within an elastic range.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004047336A (en) * 2002-07-12 2004-02-12 Advantest Corp Contact sheet, and socket for semiconductor device equipped with the sheet
WO2009045169A1 (en) * 2007-10-05 2009-04-09 Maxcomtech Pte Ltd Electrical interconnect pin
JP2011228335A (en) * 2010-04-15 2011-11-10 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor device

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4176895A (en) 1978-09-27 1979-12-04 Burroughs Corporation High density double contacting connector assembly for leadless integrated circuit packages

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004047336A (en) * 2002-07-12 2004-02-12 Advantest Corp Contact sheet, and socket for semiconductor device equipped with the sheet
WO2009045169A1 (en) * 2007-10-05 2009-04-09 Maxcomtech Pte Ltd Electrical interconnect pin
JP2011228335A (en) * 2010-04-15 2011-11-10 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor device
US9006879B2 (en) 2010-04-15 2015-04-14 Mitsubishi Electric Corporation Semicondutor device package placed within fitting portion of wiring member and attached to heat sink

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