JPH1027497A - Memory test device - Google Patents

Memory test device

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JPH1027497A
JPH1027497A JP8182356A JP18235696A JPH1027497A JP H1027497 A JPH1027497 A JP H1027497A JP 8182356 A JP8182356 A JP 8182356A JP 18235696 A JP18235696 A JP 18235696A JP H1027497 A JPH1027497 A JP H1027497A
Authority
JP
Japan
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address
memory
counter
burst length
state
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP8182356A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Saito
隆 斉藤
Hiromi Oshima
広美 大島
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Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable making simply a program for testing a memory which can read and write data at high speed by providing an address generation function in a memory and generating addresses of the number decided by set burst length. SOLUTION: In a memory test device in which a test pattern is given from a pattern generator 1 to a memory to be tested which is provided with an address generating function inside, its response output is compared with an expected value pattern in a logic comparator 2, a signal indicating defect is stored in the same address as a defect occurrence address of a defect analyzing memory 3 whenever discord is detected and it is used for defect analysis, an address generation section 30 generating the same address as an address generated in the memory is provided in the defect analyzing memory 3, the defect analyzing memory 3 and a memory 4 to be tested can be accessed with the same address without depending on a program for generating a test pattern.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は半導体メモリを試
験するメモリ試験装置に関し、特に被試験メモリが内部
にアドレス発生機能を具備し、外部から飛々に与えられ
る初期アドレスの相互間を内部に設けたアドレス発生機
能によって内挿し、メモリ空間を連続的にアクセスする
ことができる型式のメモリを試験するメモリ試験装置に
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a memory test apparatus for testing a semiconductor memory, and more particularly, to a memory under test having an address generating function inside, and internally providing initial addresses provided from the outside. The present invention relates to a memory test apparatus for testing a memory of a type capable of continuously accessing a memory space by interpolating using an address generation function.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5に一般的なメモリ試験装置の概略の
構成を示す。一般的なメモリ試験装置はパターン発生器
1と、論理比較器2と、論理比較器2の比較結果を記憶
する不良解析メモリ3とによって構成される。パターン
発生器1は被試験メモリ4に試験パターン信号を与え、
その試験パターン信号を被試験メモリ4に書き込む。
2. Description of the Related Art FIG. 5 shows a schematic configuration of a general memory test apparatus. A general memory test apparatus includes a pattern generator 1, a logical comparator 2, and a failure analysis memory 3 that stores a comparison result of the logical comparator 2. The pattern generator 1 supplies a test pattern signal to the memory under test 4,
The test pattern signal is written into the memory under test 4.

【0003】論理比較器2は被試験メモリ4の読出出力
と、パターン発生器1から出力される期待値パターンと
を比較し、その不一致の発生を検出して不良の記憶セル
の存在を検出し、不良セルの存在を不良解析メモリ3に
記憶させる。不良解析メモリ3は被試験メモリ4のアド
レス領域と同一のアドレス領域を具備し、被試験メモリ
4と同一のアドレスがアクセスされて不一致が発生する
毎に、その不一致が発生したアドレスに例えば「1」論
理の不良を表わす信号を記憶させる。従って不良解析メ
モリ3の記憶を読み出すことにより、被試験メモリの不
良セルが存在するアドレスを知ることができ、不良解析
に利用される。
The logical comparator 2 compares the read output of the memory under test 4 with the expected value pattern output from the pattern generator 1, detects the occurrence of the mismatch, and detects the presence of a defective memory cell. Then, the presence of the defective cell is stored in the failure analysis memory 3. The failure analysis memory 3 has the same address area as the address area of the memory under test 4, and every time the same address as the memory under test 4 is accessed and a mismatch occurs, for example, “1” is assigned to the address where the mismatch occurs. "A signal indicating a logic failure is stored. Therefore, by reading out the data stored in the failure analysis memory 3, the address of the memory under test where the failure cell exists can be known and used for failure analysis.

【0004】ところでメモリには高速動作を可能にする
ために、メモリの内部にアドレス発生機能を内蔵し、飛
々に与えたアドレス(以下初期アドレスと称す)の相互
間を内部で発生するアドレス(以下内挿アドレスと称
す)によって補間し、連続したアドレス空間を読み出
し、書き込みできるメモリ(以下シンクロナスDRAM
と称す)がある。
By the way, in order to enable high-speed operation, the memory has a built-in address generation function in the memory, and an address (hereinafter referred to as an initial address) which is generated between addresses given one after another (hereinafter referred to as an initial address). A memory (hereinafter referred to as a synchronous DRAM) capable of interpolating by means of an interpolation address and reading and writing a continuous address space.
There is).

【0005】このシンクロナスDRAMを試験する場
合、従来はパターン発生器1から出力される不良解析メ
モリ用アドレス信号に被試験メモリに与える初期アドレ
スと、メモリの内部で発生している内挿アドレスと同じ
アドレスを付加して発生させ、このアドレス信号によっ
て不良解析メモリをアクセスし、不良検出データを記憶
させている。
In testing this synchronous DRAM, conventionally, an initial address given to a memory under test in a failure analysis memory address signal output from the pattern generator 1, an interpolation address generated inside the memory, and The same address is added and generated, the failure analysis memory is accessed by this address signal, and failure detection data is stored.

【0006】ここで、シンクロナスDRAMについて簡
単に説明する。シンクロナスDRAMは、クロックに同
期してアドレス、データ、制御信号を入力する同期式の
DRAMのことで、従来の非同期式DRAMに較べて、
高速にデータを入出力することができる。図6及び図7
に動作のタイミングを示す。図6は書込動作時のタイミ
ングを示す。書込動作時はクロックでローアドレスR
0 をメモリ内に取り込み、クロックでカラム・アドレ
スC0aと、書き込みデータDa を取り込むとともにクロ
ックに続くクロックによりデータDa+1 ,Da+2 ,D
a+3 をメモリ内に取り込む。書込データDa ,Da+1 ,
Da+2 ,Da+3 は、バースト長で示される数(図6では
4)だけ連続して書き込まれる。この時、データDa+1
,Da+2 ,Da+3 に対するカラム・アドレスは入力す
る必要がない。これらに対するアドレスは、メモリ内部
で自動生成される。バースト長はメモリ内のレジスタに
書き込まれる値により決定し、2,4,8が選択でき
る。
Here, the synchronous DRAM will be briefly described. A synchronous DRAM is a synchronous DRAM that inputs an address, data, and a control signal in synchronization with a clock. Compared with a conventional asynchronous DRAM, a synchronous DRAM is used.
Data can be input and output at high speed. 6 and 7
Shows the operation timing. FIG. 6 shows the timing during the write operation. During the write operation, the row address R
0 is fetched into the memory, the column address C0a and the write data Da are fetched by the clock, and the data Da + 1, Da + 2, D
Load a + 3 into memory. Write data Da, Da + 1,
Da + 2 and Da + 3 are continuously written by the number indicated by the burst length (4 in FIG. 6). At this time, the data Da + 1
, Da + 2, Da + 3 need not be input. The addresses for these are automatically generated inside the memory. The burst length is determined by a value written to a register in the memory, and 2, 4, and 8 can be selected.

【0007】図7は読出動作時のタイミングを示す。読
出動作時はクロックでローアドレスR0 をメモリ内に
取り込み、クロックでカラム・アドレスC0aを取り込
む。読出データQa は、クロックからCASレイテン
シ(図7では3)で指定されたクロック数遅れて、クロ
ックに同期して出力される。読出データQa+1 ,Qa+
2 ,Qa+3 も読出データQa と同様にクロックに続く
クロックに同期して順次バースト長で示される数(図で
は4)だけ連続して読み出される。この時もまた、デー
タQa+1 ,Qa+2 ,Qa+3 に対するカラム・アドレスは
入力する必要がない。これらに対するアドレスは、デバ
イス内部で自動生成される。
FIG. 7 shows the timing of the read operation. During a read operation, the row address R0 is fetched into the memory by a clock, and the column address C0a is fetched by a clock. The read data Qa is output in synchronization with the clock with a delay of the number of clocks specified by the CAS latency (3 in FIG. 7) from the clock. Read data Qa + 1, Qa +
2 and Qa + 3 are also successively read out by the number indicated by the burst length (four in the figure) in synchronization with the clock following the clock, similarly to the read data Qa. Also at this time, it is not necessary to input the column addresses for the data Qa + 1, Qa + 2, and Qa + 3. The addresses for these are automatically generated inside the device.

【0008】アドレスの動きは、シンクロナスDRAM
の種類によって異なる。つまり、バーストタイプにより
異なる。バーストタイプには、シーケンシャルモードと
インタリーブモードとがある。各々のモードでのアドレ
スの動きを図8及び図9に示す。図8はシーケンシャル
シモードで動作するシンクロナスDRAMのアドレスの
動き、図9はインタリーブモードで動作するシンクロナ
スDRAMの動きを示す。これらのアドレスの動きはI
C製造会社によって予め決められている。
[0008] The address movement is synchronous DRAM
Depends on the type. That is, it differs depending on the burst type. The burst type includes a sequential mode and an interleave mode. The address movement in each mode is shown in FIGS. FIG. 8 shows the address movement of the synchronous DRAM operating in the sequential mode, and FIG. 9 shows the movement of the synchronous DRAM operating in the interleave mode. The movement of these addresses is I
C is predetermined by the manufacturer.

【0009】図10に従来のこの種のシンクロナスDR
AMを試験する試験装置を不良解析メモリのアドレスに
注目した構成で示す。この回路構成で、どのようにアド
レスを発生しフェイルを格納するかを以下に説明する。
試験対象のシンクロナスDRAMの仕様を次のように仮
定する。ローアドレスは図11に示すようにX0〜X1
1の12ビット、カラム・アドレスはZ0,Z1,Y0
〜Y9の12ビット、バースト長4、CASレイテンシ
3。
FIG. 10 shows a conventional synchronous DR of this kind.
A test apparatus for testing AM is shown in a configuration focusing on the address of a failure analysis memory. How the address is generated and the fail is stored in this circuit configuration will be described below.
It is assumed that the specifications of the synchronous DRAM to be tested are as follows. Row addresses are X0 to X1 as shown in FIG.
1, 12 bits, column address is Z0, Z1, Y0
12 bits of Y9, burst length 4, CAS latency 3.

【0010】マルチプレクサ3Aは、パターン発生器1
から与えられるX,Y,Zアドレスから任意のアドレス
を選択し、被試験メモリ4と同じアドレス空間を設定す
る機能を有する。この例では、図11のようにアドレス
信号を選択する。ZアドレスZ0,Z1を割り付けた部
分が、被試験メモリ4の内部で自動生成されるアドレス
である。
The multiplexer 3A includes a pattern generator 1
Has the function of selecting an arbitrary address from the X, Y, and Z addresses given from the memory and setting the same address space as the memory under test 4. In this example, an address signal is selected as shown in FIG. The portion to which the Z addresses Z0 and Z1 are assigned is an address automatically generated inside the memory under test 4.

【0011】サイクル遅延回路3Bは、アドレスを任意
のサイクル遅らせる機能を有する。いまCASレイテン
シを3と仮定しているので、図7に示したように被試験
メモリ4にカラム・アドレスC0aを与えてから、3サイ
クル後に読み出しデータQaが出力される。そして、読
み出しデータQa に対するフェイル・データも、パター
ン発生器1でカラム・アドレスC0aを出力してから3サ
イクル遅れてメモリ部3Cに入力されるので、サイクル
遅延回路3Bでもアドレスを3サイクル遅らせ、被試験
メモリ4のアドレスとのサイクルを合わせる。CASレ
イテンシが変われば、ここでの遅延サイクル数を変えて
対応する。メモリ部3Cでは、入力されたアドレスに対
してフェイル・データを書き込む。
The cycle delay circuit 3B has a function of delaying an address by an arbitrary cycle. Since the CAS latency is assumed to be 3, the read data Qa is output three cycles after the column address C0a is given to the memory under test 4 as shown in FIG. The fail data corresponding to the read data Qa is also input to the memory section 3C three cycles after the output of the column address C0a by the pattern generator 1, so that the cycle delay circuit 3B delays the address by three cycles, and The cycle with the address of the test memory 4 is matched. If the CAS latency changes, the number of delay cycles here is changed to cope with the change. The memory unit 3C writes fail data to the input address.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】パターン発生器1では
図8及び図9の様な内挿アドレスを発生しなければなら
ない。図8及び図9を比較すると明らかなように、シー
ケンシャルモードとインタリーブモードとでは発生する
アドレスが異なる。試験パターンを発生させるためのプ
ログラムを作成する作成者は、不良解析メモリ用のアド
レス発生用のプログラムをプログラミングするほかに、
シーケンシャルモード用とインタリーブモード用の2種
類の試験パターンを作成しなければならず、試験パター
ン作成者に大きな負担が掛けられ、この負担がこの種の
メモリを試験する上で大きな障害になっている。
The pattern generator 1 must generate an interpolation address as shown in FIGS. As is apparent from a comparison between FIG. 8 and FIG. 9, the addresses generated differ between the sequential mode and the interleave mode. The creator who creates the program for generating the test pattern, in addition to programming the address generation program for the failure analysis memory,
Two types of test patterns, one for the sequential mode and one for the interleave mode, must be created, which places a heavy burden on the test pattern creator, and this burden is a major obstacle in testing this type of memory. .

【0013】この発明の目的は、被試験メモリの内部で
発生している内挿アドレスをハードウェアによって発生
させ、試験パターン及び期待値パターン発生のためのプ
ログラムの作成を簡素化しようとするものである。
An object of the present invention is to generate an interpolation address generated in a memory under test by hardware to simplify the creation of a program for generating a test pattern and an expected value pattern. is there.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】この発明ではメモリの内
部にアドレス発生機能を具備し、このアドレス発生機能
により、外部から与えられる初期アドレスの相互の間を
内挿アドレスによって連続してアクセスできるように構
成されたメモリを試験するメモリ試験装置において、メ
モリ試験装置の不良解析メモリに被試験メモリの内部で
発生する内挿アドレスと同じアドレスを発生するアドレ
ス発生部を設け、このアドレス発生部で発生するアドレ
スを不良解析メモリに与え、不良解析メモリを被試験メ
モリと同一アドレスでアクセスするように構成したもの
である。
According to the present invention, an address generation function is provided in a memory, and this address generation function enables continuous access between externally applied initial addresses by an interpolation address. In the memory test apparatus configured to test the memory configured as described above, an address generation unit that generates the same address as the interpolation address generated inside the memory under test is provided in the failure analysis memory of the memory test apparatus. In this case, an address to be performed is given to the failure analysis memory, and the failure analysis memory is accessed at the same address as the memory under test.

【0015】更に詳しくは、この発明では被試験メモリ
においてアドレスの発生モードがシーケンシャルモード
とインタリーブモードとによってアドレスを発生する場
合、シーケンシャルモードでは全てのビットの出力が0
又は1の何れか一方の論理を出力する状態に固定される
第1カウンタと、与えられた初期アドレスからクロック
の供給毎に出力する値を+1ずつ変化させる第2カウン
タと、これら第1カウンタと第2カウンタの出力の各ビ
ット対応毎に排他的論理和を求めるゲート群と、設定さ
れたバースト長に従ってゲート群で求めた結果の信号を
取り出すマルチプレクサとによってアドレス発生部を構
成したものである。
More specifically, according to the present invention, when an address is generated in the memory under test in a sequential mode or an interleave mode, in the sequential mode, the output of all bits is 0.
Or a first counter which is fixed to a state of outputting one of the logics of 1, a second counter which changes a value to be output by +1 each time a clock is supplied from a given initial address, and The address generator is constituted by a gate group for obtaining an exclusive OR for each bit of the output of the second counter and a multiplexer for extracting a signal obtained by the gate group in accordance with a set burst length.

【0016】一方、インタリーブモードでは、第1カウ
ンタは所定値からクロックの供給毎に1ずつ増加する値
を出力し、第2カウンタは与えられた初期値を記憶して
出力する状態に固定され、これら第1カウンタと第2カ
ウンタの出力を各ビット対応で排他的論理和を求め、設
定されたバースト長に従って排他的論理和で求めた結果
の信号を取出してアドレスとして出力するように動作す
る。
On the other hand, in the interleave mode, the first counter outputs a value which increases by one every time a clock is supplied from a predetermined value, and the second counter is fixed at a state of storing and outputting a given initial value, An exclusive OR operation is performed on the outputs of the first counter and the second counter for each bit, and a signal obtained as a result of the exclusive OR operation according to the set burst length is extracted and output as an address.

【0017】従ってこの発明によれば、シーケンシャル
モードとインタリーブモードの何れでも、被試験メモリ
内のアクセス動作と同一のアドレスを自動的に発生させ
ることができる。この結果試験パターン発生のためのプ
ログラムの作成は不良解析メモリをアクセスするアドレ
スを考慮しなくて済むから簡素化され、この種のメモリ
を簡単に試験することができる利点が得られる。
Therefore, according to the present invention, the same address as the access operation in the memory under test can be automatically generated in both the sequential mode and the interleave mode. As a result, the creation of a program for generating a test pattern is simplified because it is not necessary to consider the address for accessing the failure analysis memory, and the advantage that this type of memory can be easily tested is obtained.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】図1にこの発明によるメモリ試験
装置の概略の構成を示す。図10と対応する部分には同
一符号を付して示す。この発明の特徴とする構成は不良
解析メモリ3にアドレス発生部3Dを設けた構成とした
点である。アドレス発生部3Dにはこの例では図11に
示したカラムアドレス(Yアドレス)を与え、Yアドレ
スの下位の2ビット乃至3ビットの部分を初期アドレス
として取り込んで、その初期アドレスから被試験メモリ
4の内部で発生する内挿アドレスと同じアドレスを発生
させる。
FIG. 1 shows a schematic configuration of a memory test apparatus according to the present invention. Parts corresponding to those in FIG. 10 are denoted by the same reference numerals. A feature of the present invention is that the failure analysis memory 3 is provided with an address generation unit 3D. In this example, the column address (Y address) shown in FIG. 11 is given to the address generator 3D, and the lower 2 to 3 bits of the Y address are fetched as an initial address. Generates the same address as the interpolation address generated inside the.

【0019】アドレス発生部3Dで発生したアドレスは
マルチプレクサ3Aとサイクル遅延回路3Bを通じてX
アドレスと共にメモリ部3Cに供給され、メモリ部3C
を被試験メモリ4のアドレスと同じアドレスをアクセス
する。図2にアドレス発生部3Dの具体的な実施例を示
す。この例ではバースト長を最大で8とした場合を示
す。従って12ビットのYアドレスの下位3ビットをア
ドレス発生部3Dに取り込み、この3ビットのYアドレ
スをバースト長の設定に応じて例えばバースト長が1の
場合は最下位の1ビットを被試験メモリ4で発生する内
挿アドレスと同様に変化させて出力させ、4の場合は下
位2ビットを内挿アドレスと同様に変化させて出力さ
せ、8の場合は全3ビットを内挿アドレスと同様に変化
させて出力させるように構成した場合を示す。
The address generated by the address generator 3D is transmitted through a multiplexer 3A and a cycle delay circuit 3B.
The address is supplied to the memory unit 3C together with the address.
To the same address as the address of the memory under test 4. FIG. 2 shows a specific embodiment of the address generator 3D. This example shows a case where the burst length is set to a maximum of 8. Therefore, the lower 3 bits of the 12-bit Y address are fetched into the address generator 3D, and the 3-bit Y address is set in accordance with the burst length setting. In the case of 4, the lower 2 bits are changed and output in the same way as the interpolation address, and in the case of 8, all 3 bits are changed in the same way as the interpolation address. An example is shown in which the output is performed after the output.

【0020】図2において、11は初期値として3ビッ
トのオールゼロを取り込む第1カウンタ、12はYアド
レスの下位3ビットを初期値として取り込む第2カウン
タ、13はバーストタイプ設定器、14は第1カウンタ
11と第2カウンタ12の各ビットの出力を排他的論理
和して取り出すゲート群、15はバースト長設定器、1
6はゲート群14から取り出される出力と、Yアドレス
の下位3ビットの信号を設定されたバースト長に従って
ビット数を振り分けて取り出すマルチプレクサをそれぞ
れ示す。
In FIG. 2, reference numeral 11 denotes a first counter which takes in all three zeros as an initial value, 12 denotes a second counter which takes in the lower 3 bits of a Y address as an initial value, 13 denotes a burst type setting device, and 14 denotes a first type. A group of gates for taking out the outputs of the respective bits of the counter 11 and the second counter 12 by performing an exclusive OR operation.
Numeral 6 denotes an output taken out from the gate group 14 and a multiplexer which takes out the signal of the lower 3 bits of the Y address by dividing the number of bits according to the set burst length.

【0021】第1カウンタ11及び第2カウンタ12は
それぞれデータ入力端子Di を持ち初期値をプリセット
することができるカウンタを用いる。つまり、第1カウ
ンタ11のデータ入力端子Di にはオールゼロの初期値
を与える。従ってこの第1カウンタ11にはロード端子
LOADにロード指令パルスPL が与えられる毎に3ビ
ットのオールゼロがプリセットされる。
[0021] The first counter 11 and second counter 12 is used a counter can each presetting the initial value has a data input terminal D i. That is, the data input terminal D i of the first counter 11 gives the initial value of all zeros. Thus all zeros of 3 bits per given load instruction pulse P L to the load terminal LOAD to the first counter 11 is preset.

【0022】第2カウンタ12のデータ入力端子Di
はYアドレスの下位3ビットの信号ADY を与える。従
ってこの第2カウンタ12にはロード指令パルスPL
与えられる毎にYアドレスの下位3ビットがプリセット
される。第1カウンタ11と第2カウンタ12の各クロ
ック入力端子ENには図6及び図7に示したクロックC
LKを与える。
[0022] The data input terminal D i of the second counter 12 supplies a signal AD Y of the lower 3 bits of the Y address. Thus the lower 3 bits of the Y address per this the second counter 12 applied load command pulse P L is preset. Each of the clock input terminals EN of the first counter 11 and the second counter 12 has the clock C shown in FIGS.
Give LK.

【0023】第1カウンタ11と第2カウンタ12の各
イネーブル端子ENにはバーストタイプ設定器13から
バーストタイプの設定信号WCMDを入力する。このバ
ーストタイプ設定器13は例えばフリップフロップによ
って構成することができ、フリップフロップのセット側
の出力端子Q1 を第1カウンタ11のイネーブル端子E
Nに接続し、リセット側の出力端子Q2 を第2カウンタ
12のイネーブル端子ENに接続する。従ってバースト
タイプ設定器13を構成するフリップフロップをリセッ
ト状態に設定すると、第1カウンタ11のイネーブル端
子ENに「0」論理が与えられ、第2カウンタ12のイ
ネーブル端子ENに「1」論理が与えられる。
A burst type setting signal WCMD from a burst type setting device 13 is input to each enable terminal EN of the first counter 11 and the second counter 12. The burst type setting unit 13 can be constituted by, for example, a flip-flop. The output terminal Q 1 on the set side of the flip-flop is connected to the enable terminal E of the first counter 11.
N, and the reset-side output terminal Q 2 is connected to the enable terminal EN of the second counter 12. Therefore, when the flip-flop constituting the burst type setting unit 13 is set to the reset state, “0” logic is given to the enable terminal EN of the first counter 11 and “1” logic is given to the enable terminal EN of the second counter 12. Can be

【0024】第1カウンタ11及び第2カウンタ12は
イネーブル端子ENに「0」論理が与えられるとカウン
ト動作せずにロードした状態に固定され、「1」論理が
与えられるとクロックCLKの供給毎にロードした値か
らカウント値を1ずつ増加する方向に変化する。この結
果、上述の例では第1カウンタ11はオールゼロの状態
に固定され、第2カウンタ12はYアドレスの値からク
ロックCLKの供給毎にその値が1ずつ増加する。図3
にその様子を示す。図3の例ではバースト長を8に設定
し、Yアドレスの初期値として5番地を指定した場合を
示す。この場合には第1カウンタ11の下位3ビットの
出力「0,0,0」と、第2カウンタ12の下位3ビッ
トの出力をゲート群14で排他的論理和して取出すか
ら、ゲート群14の出力は図3に示すように第2カウン
タ12の内容がそのまま出力され、Yアドレスとしては
初期番地5から5,6,7,0,1,2,3,4の値に
出力される。よって図8に示したシーケンシャルモード
時のバースト長が8の場合のアドレスの動きと同じ動き
をするアドレスを発生させることができる。図3では初
期アドレスとして「5」を設定した場合を示すが、その
他の場合も同様に動作する。またバースト長を8とした
場合を示したが、バースト長が2と4の場合も、第1カ
ウンタ11と第2カウンタ12にロードするビット数が
バースト長が2の場合は1ビット、バースト長が4の場
合は2ビットに変わるだけで、図8に示したと同様に動
作する。
The first counter 11 and the second counter 12 are fixed to the loaded state without counting when the enable terminal EN is supplied with "0" logic, and are supplied with the "1" logic when the clock CLK is supplied. The count value changes in a direction of increasing the count value by one from the value loaded in the. As a result, in the above-described example, the first counter 11 is fixed to an all-zero state, and the value of the second counter 12 increases by one from the value of the Y address every time the clock CLK is supplied. FIG.
Shows the situation. The example of FIG. 3 shows a case where the burst length is set to 8 and address 5 is specified as the initial value of the Y address. In this case, the output of the lower three bits “0, 0, 0” of the first counter 11 and the output of the lower three bits of the second counter 12 are exclusive-ORed by the gate group 14 and taken out. As shown in FIG. 3, the contents of the second counter 12 are outputted as they are, and the Y address is outputted from the initial address 5 to the values of 5, 6, 7, 0, 1, 2, 3, and 4. Therefore, it is possible to generate an address that moves in the same manner as the address when the burst length is 8 in the sequential mode shown in FIG. FIG. 3 shows a case where "5" is set as the initial address, but the same operation is performed in other cases. Although the case where the burst length is set to 8 is shown, when the burst length is 2 and 4, the number of bits loaded to the first counter 11 and the second counter 12 is 1 bit when the burst length is 2, and the burst length is 1 bit. Is 4, the operation is the same as that shown in FIG.

【0025】図4にバースト長を8としたインタリーブ
モード時のアドレス発生部3Dの動作状況を示す。イン
タリーブモードでは第1カウンタ11のイネーブル端子
ENに1論理が入力され、第2カウンタ12のイネーブ
ル端子ENに0論理が入力される。従って第1カウンタ
11は計数動作が可能な状態となり、第2カウンタ12
はロードした状態に固定される。図4に示した例では第
2カウンタ12に初期アドレスとして5を初期設定した
場合を示す。
FIG. 4 shows an operation state of the address generator 3D in the interleave mode in which the burst length is set to 8. In the interleave mode, 1 logic is input to the enable terminal EN of the first counter 11 and 0 logic is input to the enable terminal EN of the second counter 12. Therefore, the first counter 11 is in a state capable of performing a counting operation, and the second counter 12
Is fixed in the loaded state. The example shown in FIG. 4 shows a case where 5 is initially set in the second counter 12 as an initial address.

【0026】第1カウンタ11は初期値としてオールゼ
ロが設定され、オールゼロの状態からクロックCLKの
入力毎に計数値が1ずつ増加する。第1カウンタ11と
第2カウンタ12の各ビット対応の排他的論理和を取る
と、ゲート群14の出力欄及びYアドレスの欄に示すよ
うに初期値5から5,4,7,6,1,0,3,2の順
にYアドレスが発生し、図9で説明したと同様のインタ
リーブモード時のアドレスを発生させることができる。
図4ではバースト長を8、初期アドレスを5とした場合
を示したが、その他の条件の場合も、図9で説明したと
同様にインタリーブモードのアドレスを発生させること
ができる。
The first counter 11 is set to an all-zero value as an initial value, and the count value increases by one each time the clock CLK is input from the all-zero state. When the exclusive OR corresponding to each bit of the first counter 11 and the second counter 12 is calculated, the initial values 5 to 5, 4, 7, 6, 1 are obtained as shown in the output column and the Y address column of the gate group 14. , 0, 3, 2 in this order, and an address in the interleave mode similar to that described with reference to FIG. 9 can be generated.
FIG. 4 shows a case where the burst length is 8 and the initial address is 5, but in other conditions, an interleave mode address can be generated in the same manner as described with reference to FIG.

【0027】ゲート群14の出力はマルチプレクサ16
A〜16Cの各入力端子Aに入力される。マルチプレク
サ16A〜16Cの各入力端子BにはYアドレス信号の
下位3ビットのアドレス信号を与える。マルチプレクサ
16A〜16Cの各制御端子にはバースト長設定器15
からバースト長設定信号を与える。バースト長設定信号
はバースト長が8のとき「1,1,1」が出力される。
マルチプレクサ16A〜16Cは制御端子に「1」論理
が与えられると入力端子Aを出力端子Cに接続し、ゲー
ト群14の出力をマルチプレクサ3Aに与える。バース
ト長が4のときはバースト設定器は「0,1,1」を出
力し、ゲート群14の出力を下位2ビット分選択し、マ
ルチプレクサ3Aに入力する。バースト長が2のときは
バースト設定器15は「0,0,1」を出力し、ゲート
群14の出力を下位1ビットだけ選択してマルチプレク
サ3Aに入力する。その他のビットはYアドレス信号が
選択されてマルチプレクサ3Aに入力する。
The output of the gate group 14 is the multiplexer 16
A is input to each input terminal A of A to 16C. Each of the input terminals B of the multiplexers 16A to 16C is supplied with an address signal of the lower 3 bits of the Y address signal. A burst length setting unit 15 is connected to each control terminal of the multiplexers 16A to 16C.
To give a burst length setting signal. When the burst length is 8, "1, 1, 1" is output as the burst length setting signal.
When the logic "1" is applied to the control terminals, the multiplexers 16A to 16C connect the input terminal A to the output terminal C and supply the output of the gate group 14 to the multiplexer 3A. When the burst length is 4, the burst setting unit outputs "0, 1, 1", selects the output of the gate group 14 for the lower 2 bits, and inputs it to the multiplexer 3A. When the burst length is 2, the burst setting unit 15 outputs "0, 0, 1", selects only the lower one bit of the output of the gate group 14, and inputs it to the multiplexer 3A. For the other bits, the Y address signal is selected and input to the multiplexer 3A.

【0028】マルチプレクサ3AではYアドレスの上位
ビットと合成され、更にXアドレスとも合成されてサイ
クル遅延回路3Bに供給される。サイクル遅延回路3B
ではXアドレス信号及びYアドレス信号に被試験メモリ
4の遅延時間に相当する遅延時間を与え、その遅延され
たアドレス信号をメモリ部3Cに与えて被試験メモリ4
と同一アドレスをアクセスする。
In the multiplexer 3A, the signal is synthesized with the upper bits of the Y address, further synthesized with the X address, and supplied to the cycle delay circuit 3B. Cycle delay circuit 3B
In the example, a delay time corresponding to the delay time of the memory under test 4 is given to the X address signal and the Y address signal, and the delayed address signal is given to the memory section 3C to provide the memory 4 under test.
And access the same address.

【0029】尚、第1カウンタ11と第2カウンタ12
にロードするビット数を上述の実施例では3ビットとし
た場合を説明したが、このビット数はバースト長の最大
値によって適宜選択すればよいことであってそのビット
数に制限はない。つまり、汎用性を持たせるのであれ
ば、Yアドレス(又はXアドレスでもよい)の全ビット
数分を全て第1カウンタ11及び第2カウンタ12にロ
ードさせ、その計数出力をゲート群14とマルチプレク
サ16で取り出す構成にすることも考えられる。
The first counter 11 and the second counter 12
In the above-described embodiment, the case where the number of bits to be loaded into the memory is 3 bits has been described. However, the number of bits may be appropriately selected according to the maximum value of the burst length, and the number of bits is not limited. That is, in order to provide versatility, all the bits of the Y address (or the X address) may be loaded into the first counter 11 and the second counter 12, and the count output may be output to the gate group 14 and the multiplexer 16. It is also conceivable to adopt a configuration for taking out by using

【0030】[0030]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
メモリの内部で発生すると同じアドレスを、不良解析メ
モリ3に設けたアドレス発生部3Dで発生させる構成と
したから、シンクロナスDRAMの試験を行なうための
パターン発生用プログラムの作成作業を大幅に簡素化す
ることができる。よってその効果は実用に供して頗る大
である。
As described above, according to the present invention, the same address as that generated in the memory is generated by the address generator 3D provided in the failure analysis memory 3, so that the synchronous DRAM test is performed. Can greatly simplify the operation of creating a pattern generation program for performing the above. Therefore, the effect is extremely large for practical use.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の概要を説明するためのブロック図。FIG. 1 is a block diagram for explaining an outline of the present invention.

【図2】この発明の要部の具体的な実施例を説明するた
めのブロック図。
FIG. 2 is a block diagram for explaining a specific embodiment of a main part of the present invention.

【図3】この発明の要部の動作を説明するための図。FIG. 3 is a diagram for explaining the operation of the main part of the present invention.

【図4】この発明の要部の動作を説明するための図。FIG. 4 is a diagram for explaining the operation of the main part of the present invention.

【図5】一般的なメモリ試験装置の概要を説明するため
のブロック図。
FIG. 5 is a block diagram for explaining an outline of a general memory test apparatus.

【図6】シンクロナスDRAMの動作を説明するための
波形図。
FIG. 6 is a waveform chart for explaining the operation of the synchronous DRAM.

【図7】図6と同様の波形図。FIG. 7 is a waveform chart similar to FIG. 6;

【図8】内部にアドレス発生機能を持つメモリのアドレ
ス発生機能を説明するための図。
FIG. 8 is a diagram for explaining an address generation function of a memory having an address generation function therein;

【図9】図6と同様の図。FIG. 9 is a view similar to FIG. 6;

【図10】図6及び図7で説明したアドレス発生機能を
持つメモリを試験する従来の試験装置を説明するための
ブロック図。
FIG. 10 is a block diagram for explaining a conventional test apparatus for testing the memory having the address generation function described in FIGS. 6 and 7;

【図11】図10で説明した従来の試験装置で扱われる
アドレス信号の一例を説明するための図。
FIG. 11 is a diagram for explaining an example of an address signal handled by the conventional test device described in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 パターン発生器 2 論理比較器 3 不良解析メモリ 3A マルチプレクサ 3B サイクル遅延回路 3C メモリ部 3D アドレス発生部 4 被試験メモリ 11 第1カウンタ 12 第2カウンタ 13 バーストタイプ設定器 14 ゲート群 15 バースト長設定器 16 マルチプレクサ Reference Signs List 1 pattern generator 2 logic comparator 3 failure analysis memory 3A multiplexer 3B cycle delay circuit 3C memory unit 3D address generation unit 4 memory under test 11 first counter 12 second counter 13 burst type setting device 14 gate group 15 burst length setting device 16 multiplexer

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 与えられたアドレスに続くアドレスを設
定されたバースト長によって決められる個数だけ集積回
路の内部で発生することができるメモリを試験するメモ
リ試験装置において、 被試験メモリの不良個所を記憶する不良解析メモリにア
ドレス発生部を設け、このアドレス発生部によって上記
被試験メモリの内部で発生する内挿アドレスと同じアド
レスを発生させ、このアドレスにより上記不良解析メモ
リと上記被試験メモリとを同一アドレスでアクセスでき
るように構成したことを特徴とするメモリ試験装置。
1. A memory test apparatus for testing a memory capable of generating the number of addresses following a given address within an integrated circuit by a number determined by a set burst length, wherein a defective portion of a memory under test is stored. An address generator is provided in the failure analysis memory to be generated, and the same address as the interpolation address generated inside the memory under test is generated by the address generation unit, and the failure analysis memory and the memory under test are made identical by this address. A memory test apparatus characterized in that it can be accessed by an address.
【請求項2】 請求項1記載のメモリ試験において、ア
ドレス発生部は不良解析メモリに与えられるYアドレス
又はXアドレスの下位から何ビットを上記被試験メモリ
の内挿アドレスに対応させるかを設定するバースト長設
定器と、アドレス発生モードを設定するバーストタイプ
設定器と、このバーストタイプ設定器の設定状態によっ
てオールゼロの初期設定値に固定された状態とクロック
に同期してカウント値を1ずつ増加する状態に切替られ
る第1カウンタと、上記Yアドレス又はXアドレスの上
記バースト長設定器に設定されたビット数に対応した下
位からのビットの信号が初期設定され、上記バーストタ
イプ設定器の設定状態によってその初期設定値に固定さ
れた状態とクロックに同期して1ずつ増加する状態に切
替られる第2カウンタと、これら第1カウンタと第2カ
ウンタの出力をビット対応で排他的論理和をとるゲート
群と、このゲート群で取り出される出力を上記バースト
長設定器で設定したビット数分取り出すマルチプレクサ
とによって構成したことを特徴とするメモリ試験装置。
2. The memory test according to claim 1, wherein the address generator sets how many lower bits of the Y address or the X address given to the failure analysis memory correspond to the interpolation address of the memory under test. A burst length setting unit, a burst type setting unit for setting an address generation mode, and a state in which the count value is incremented by one in synchronization with a clock and a state fixed to an all-zero initial setting value by the setting state of the burst type setting unit A first counter which is switched to a state, and a signal of lower-order bits corresponding to the number of bits set in the burst length setting device of the Y address or the X address are initialized, and depending on the setting state of the burst type setting device. The second counter is switched between a state fixed to the initial set value and a state increased by one in synchronization with the clock. , A gate group that takes the exclusive OR of the outputs of the first and second counters in a bit-by-bit manner, and a multiplexer that takes out the output taken out by this gate group by the number of bits set by the burst length setting device. A memory test device, comprising:
JP8182356A 1996-07-11 1996-07-11 Memory test device Withdrawn JPH1027497A (en)

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