JP2000011692A - Memory testing apparatus - Google Patents

Memory testing apparatus

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JP2000011692A
JP2000011692A JP10168197A JP16819798A JP2000011692A JP 2000011692 A JP2000011692 A JP 2000011692A JP 10168197 A JP10168197 A JP 10168197A JP 16819798 A JP16819798 A JP 16819798A JP 2000011692 A JP2000011692 A JP 2000011692A
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JP
Japan
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address
memory
generator
test
fail
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JP10168197A
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Japanese (ja)
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Shinya Satou
新哉 佐藤
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Advantest Corp
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Advantest Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a memory testing apparatus which reduces the number of a plurality of pattern generators required to give a start address (a fundamental address) and a burst address to a fail memory when double-data-rate(DDR) memory is tested. SOLUTION: When a memory 6 to be tested is operated in a burst mode, an address generation part 3d which computes all burst addresses by using a start address to be input from a pattern generator 2 is installed inside a fail analysis memory 3. For example, the address generation part 3d is installed at every memory block 3-i in the fail analysis part 3. When the memory 6 to be tested is operated in the DDR mode, even-numbered addresses A0, A2, A4,... which are changed by every test cycle by the pattern generator 2 are input to the address generation part 3d. The address generation part 3d in every memory block computes odd-numbered addresses A1, A3, A5,... as required from an input address.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明はメモリ試験装置に
関する。
The present invention relates to a memory test device.

【0002】[0002]

【従来の技術】図8に従来のメモリ試験装置全体の基本
構成を示す。メモリ試験装置はタイミング発生器1,パ
ターン発生器2,不良解析メモリ(フェイルメモリ)
3,波形整形器4,論理比較器5により構成され、被試
験メモリ(MUT)6の試験を行う。
2. Description of the Related Art FIG. 8 shows a basic configuration of an entire conventional memory test apparatus. The memory test device is a timing generator 1, a pattern generator 2, a failure analysis memory (fail memory)
3, a waveform shaper 4 and a logic comparator 5 for testing a memory under test (MUT) 6.

【0003】タイミング発生器1で発生する基準クロッ
クCLKに従ってパターン発生器2は被試験メモリ6に
与えるアドレス信号A,試験データ信号D,制御信号C
TLを出力する。これらの信号は波形整形器4に与えら
れ、ここで試験に必要な波形に整形されて被試験メモリ
6に印加される。被試験メモリ6では、制御信号CTL
によって試験データDの書込み、読み出しの制御が行わ
れる。被試験メモリ6から読み出された試験データDは
論理比較器5に与えられ、ここでパターン発生器2から
出力される期待値データEXPと比較され、その一致、
不一致により被試験メモリ6の良否判定を行う。不一致
のときは、不良解析メモリ3にフェイル情報Fが格納さ
れる。
In accordance with a reference clock CLK generated by a timing generator 1, a pattern generator 2 supplies an address signal A, a test data signal D, and a control signal C to a memory under test 6.
Output TL. These signals are applied to a waveform shaper 4, where they are shaped into a waveform required for a test and applied to a memory under test 6. In the memory under test 6, the control signal CTL
Thus, writing and reading of the test data D are controlled. The test data D read from the memory under test 6 is given to the logical comparator 5, where it is compared with the expected value data EXP output from the pattern generator 2, and its coincidence is determined.
The quality of the memory under test 6 is determined based on the mismatch. If they do not match, the failure information F is stored in the failure analysis memory 3.

【0004】図9に示す従来の不良解析メモリ3はパタ
ーン発生器2からアドレス信号Aによってアクセスさ
れ、アドレス選択部3aはアドレス信号Aを任意に選択
できるようになっており、上位アドレスAaはメモリコ
ントロール部3bへ、下位アドレスAbはメモリ部3c
へ供給される。メモリコントロール部3bは、アドレス
選択部3aから上位アドレスAaが、また論理比較器5
からフェイル信号Fが与えられると、書込み信号Wをメ
モリ部3cに与える。メモリ部3cは下位アドレスAb
のセルにフェイル情報Fを格納する。
A conventional failure analysis memory 3 shown in FIG. 9 is accessed from a pattern generator 2 by an address signal A, and an address selection section 3a can arbitrarily select an address signal A. The lower address Ab is sent to the memory 3c.
Supplied to The memory control unit 3b receives the upper address Aa from the address selection unit 3a,
, A write signal W is supplied to the memory unit 3c. The memory unit 3c stores the lower address Ab
Fail information F is stored in the cell No.

【0005】不良解析メモリ3は上記のアドレス選択部
3a,メモリコントロール部3b及びメモリ部3cで構
成されメモリブロック3−1〜3−nが、メモリ試験装
置の同時測定個数とほぼ同じだけ用意される。試験終了
後、この不良解析メモリ3に格納されたフェイルデータ
Fのアドレスを調べることにより被試験メモリ6の不良
セルのアドレスを検出できる。
The failure analysis memory 3 is composed of the above-mentioned address selection section 3a, memory control section 3b and memory section 3c. The number of memory blocks 3-1 to 3-n is substantially equal to the number of simultaneously measured memory test devices. You. After the test, the address of the fail cell in the memory under test 6 can be detected by checking the address of the fail data F stored in the failure analysis memory 3.

【0006】従来までのFPM(Fast Page Mode) ,E
DO(Extend Data Out)に代表されるDRAMは図10
に示すような2種類のクロックRAS(Row Address St
robe; 行アドレスを取り込むタイミングを与える)及び
CAS(Column Address Strobe ;列アドレスを取り込
むタイミングを与える)によってリード・ライトのタイ
ミング制御が行われていた。これらのDRAMはコンピ
ュータシステムのメインメモリに使用され、CPUへの
データ転送速度向上のためにページモード(EDOでは
ハイパーページモードと呼ぶ)という機能を持ってお
り、クロックCASを変化させカラム(列)アドレスを
入力することによって1ロウ(行)分のデータを高速に
出力することができる。
Conventional FPM (Fast Page Mode), E
DRAM represented by DO (Extend Data Out) is shown in FIG.
The two types of clocks RAS (Row Address St
The read / write timing is controlled by a robe (giving a timing to fetch a row address) and a CAS (Column Address Strobe; giving a timing to fetch a column address). These DRAMs are used as a main memory of a computer system, and have a function called a page mode (called a hyper page mode in EDO) in order to improve a data transfer speed to a CPU. By inputting an address, data for one row (row) can be output at high speed.

【0007】しかし、SDRAM(シンクロナスDRA
M)に代表されるDRAMでは図11に示すように1種
類のクロックCLKでタイミング制御が行われる。従来
のSDRAMでは、このクロックCLKの立ち上がりエ
ッジに同期してリード・ライトの制御が行われており、
上記のページモードと同様な機能でバーストモードと呼
ばれるものがある。バーストモードではロウ(行)アド
レス、カラム(列)アドレスをSDRAMに一度入力す
るだけで、後はカラム(列)アドレスを入力しなくても
内部でアドレスを発生し(これをバーストアドレスと呼
ぶ)、クロックの立ち上がりエッジに同期してデータを
連続出力することができる。これによりSDRAMはF
PM,EDOのDRAMよりも高速にデータを出力する
ことができる。なお、図11はクロックCASに対する
レイテンシ(出力の遅延サイクル数)が3の場合を示し
ている。
However, SDRAM (synchronous DRA)
In a DRAM represented by M), timing control is performed by one type of clock CLK as shown in FIG. In the conventional SDRAM, read / write control is performed in synchronization with the rising edge of the clock CLK.
There is a function similar to the page mode described above called a burst mode. In the burst mode, a row (row) address and a column (column) address are input only once to the SDRAM, and thereafter, an address is generated internally without inputting a column (column) address (this is called a burst address). , Data can be continuously output in synchronization with the rising edge of the clock. As a result, the SDRAM becomes F
Data can be output at a higher speed than the PM and EDO DRAMs. FIG. 11 shows a case where the latency (the number of output delay cycles) with respect to the clock CAS is 3.

【0008】また、上記のバーストモードではクロック
の立ち上がりエッジに同期してデータを出力している
が、最近では図12に示すようにクロックの立ち上がり
エッジ、立ち下がりエッジの両方に同期してデータを出
力するDDR(Double Data Rate) メモリがある。この
代表的なメモリとしてDDR−SDRAM,Rumbus D
RAM,SLDRAM等があり、同期するクロックの周
波数を上げることなく、データ転送速度が上記の立ち上
がりエッジのみに同期するメモリよりも2倍になる。
In the burst mode, data is output in synchronization with the rising edge of the clock. Recently, as shown in FIG. 12, data is output in synchronization with both the rising edge and the falling edge of the clock. There is a DDR (Double Data Rate) memory to output. DDR-SDRAM and Rumbus D are typical memories.
There are RAM, SLDRAM, etc., and the data transfer speed is twice as high as that of the memory synchronized only with the rising edge without increasing the frequency of the synchronized clock.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】DDR(Double Data
Rate) メモリの高速バースト読み出し試験をするには、
DDRと同じ周期で試験装置を動作させればよいが、試
験装置全体が高速で動作しない場合、図13,図14に
示すような方法をとる。簡単な例として、DDRの2倍
の周期で試験装置を動作させた場合を示している。
SUMMARY OF THE INVENTION A DDR (Double Data)
Rate) To perform a high-speed burst read test of the memory,
The test apparatus may be operated at the same cycle as the DDR, but if the entire test apparatus does not operate at high speed, a method as shown in FIGS. 13 and 14 is employed. As a simple example, a case where the test apparatus is operated at twice the period of DDR is shown.

【0010】この場合、試験装置の動作周期内に2本の
ストローブ(strb1,strb2)を用意し、試験装置の動
作周期内で被試験メモリ6からの2つの出力データQ
0,Q1を2本のストローブポイント(strb1,strb
2)で取り込みそれぞれ比較を行う。これによって発生
したstrb1フェイル,strb2フェイルを格納するには2
つの不良解析メモリブロック3−1,3−2が必要とな
る。また、この場合2つの不良解析メモリブロック3−
1,3−2に取り込まれるstrb1フェイル,strb2フェ
イルのアドレス値は違うため2つのパターン発生器2−
1,2−2を用意して各々のアドレスA−1,A−2を
不良解析メモリブロック3−1,3−2に与えなければ
ならない。
In this case, two strobes (strb1, strb2) are prepared in the operation cycle of the test apparatus, and two output data Q from the memory 6 under test are prepared in the operation cycle of the test apparatus.
0 and Q1 are two strobe points (strb1, strb
In step 2), the comparison is made. To store the strb1 fail and strb2 fail generated by this, 2
Two failure analysis memory blocks 3-1 and 3-2 are required. In this case, two failure analysis memory blocks 3-
Since the address values of strb1 fail and strb2 fail taken into 1, 3-2 are different, two pattern generators 2-
The addresses A-1 and A-2 must be provided to the failure analysis memory blocks 3-1 and 3-2.

【0011】このため、試験装置の動作周波数の何倍も
高速のDDRメモリデバイスを試験する場合、不良解析
メモリ3のメモリブロックに与えるアドレス(上記のバ
ーストアドレスに相当)のためだけにメモリブロックの
数と同じだけパターン発生器2が必要となる。しかし、
被試験メモリ6に与えるアドレスA,データDは1台の
パターン発生器から発生できるようになっている。その
ため試験装置のコストが高くなり、また、複数のパター
ン発生器でアドレス発生を行うので、パターン発生器の
制御も難しくなる。
Therefore, when testing a DDR memory device that is many times faster than the operating frequency of the test apparatus, the memory block of the memory block of the failure analysis memory 3 is used only for the address (corresponding to the burst address described above). The same number of pattern generators 2 are required. But,
The address A and the data D given to the memory under test 6 can be generated from one pattern generator. Therefore, the cost of the test apparatus increases, and the address generation is performed by a plurality of pattern generators, so that the control of the pattern generators becomes difficult.

【0012】また、複数台のパターン発生器を持つメモ
リ試験装置であれば、DDRメモリ試験でのフェイルデ
ータの格納は可能だが、1台もしくは試験装置の最小動
作周期をDDRで割った値よりもパターン発生器の台数
が少ない場合は格納不可能となる。この発明はDDR
(Double Data Rate) メモリに代表されるDDR−SD
RAMやRumbus DRAMの高速バースト読み出し試験
において、従来必要とした複数のパターン発生器の台数
を減らすことを目的としている。
A memory test apparatus having a plurality of pattern generators can store fail data in a DDR memory test. However, a memory test apparatus having a plurality of pattern generators can store a fail data in a DDR memory test. If the number of pattern generators is small, storage is not possible. This invention is a DDR
(Double Data Rate) DDR-SD represented by memory
It is an object of the present invention to reduce the number of a plurality of pattern generators conventionally required in a high-speed burst read test of a RAM or a Rumbus DRAM.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】(1)請求項1の発明
は、タイミング発生器のクロックに同期して、パターン
発生器から被試験メモリに試験パターン信号を与え、被
試験メモリの応答出力とパターン発生器から出力される
期待値パターンとを、タイミング発生器のストローブ信
号のタイミングにおいて、論理比較器で比較し、不一致
を検出するとフェイルメモリの不一致の発生した被試験
メモリのアドレスと同じアドレスにフェイルデータを書
き込むメモリ試験装置に関する。
According to a first aspect of the present invention, a test pattern signal is supplied from a pattern generator to a memory under test in synchronization with a clock of a timing generator, and a response output of the memory under test and The expected value pattern output from the pattern generator is compared with the logic comparator at the timing of the strobe signal of the timing generator, and when a mismatch is detected, the fail memory is replaced with the same address as the address of the memory under test where the mismatch occurred. The present invention relates to a memory test device for writing fail data.

【0014】請求項1では特に、被試験メモリがバース
ト・モードで動作する場合、パターン発生器より入力さ
れるスタートアドレス(基本アドレスとも言う)を用い
て全てのバーストアドレスを演算するアドレス発生部を
フェイルメモリ内に設けたものである。 (2)請求項2の発明では、前記(1)において、アド
レス発生部をフェイルメモリの各メモリブロックごとに
設けたものである。
In the present invention, when the memory under test operates in the burst mode, an address generator for calculating all burst addresses using a start address (also referred to as a basic address) input from a pattern generator is provided. This is provided in the fail memory. (2) In the second aspect of the present invention, in the above (1), the address generator is provided for each memory block of the fail memory.

【0015】(3)請求項3の発明は、前記(1)にお
いて、被試験メモリがダブルデータレート(DDR)モ
ードで動作する場合、パターン発生器より1テスト周期
ごとに変化する偶数番のアドレスA0,A2,A4,…
をアドレス発生部に入力し、そのアドレス発生部が入力
アドレスより奇数番のアドレスA1,A2,A3…を演
算するものである。
(3) In the invention according to claim 3, in the above (1), when the memory under test operates in the double data rate (DDR) mode, an even-numbered address that changes every test cycle from the pattern generator. A0, A2, A4, ...
Is input to the address generation unit, and the address generation unit calculates odd-numbered addresses A1, A2, A3,... From the input address.

【0016】(4)請求項4の発明は、前記(1)にお
いて、アドレス発生部がロウ(行)アドレス発生部とカ
ラム(列)アドレス発生部とより成り、それらロウアド
レス発生部及びカラムアドレス発生部がそれぞれオフセ
ット値を格納するオフセットレジスタと、そのオフセッ
トレジスタの出力と、パターン発生器より入力されるス
タートアドレスとを加算する加算器とを具備するもので
ある。
(4) In the invention according to claim 4, in (1), the address generator comprises a row (row) address generator and a column (column) address generator, and the row address generator and the column address are generated. The generator includes an offset register that stores an offset value, and an adder that adds an output of the offset register and a start address input from the pattern generator.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】従来技術の欠点を解決するには不
良解析メモリに与えるバーストアドレスをパターン発生
器で発生せず、1台のパターン発生器からのスタートア
ドレスから不良解析メモリ内で発生することで解決す
る。この例を図1に示す。被試験メモリ6内部のバース
トアドレスの発生は基本的には図2のようになってお
り、被試験メモリ6に印加したスタートアドレスA0を
基本アドレスとしてアドレスが試験周期DDRごとに加
算(減算)されていく。図2の例では試験装置の動作周
期TがDDRの2倍の場合を示している。フェイルメモ
リ3内でのバーストアドレスの発生はパターン発生器2
からのスタートアドレス(基本アドレス)に対して任意
のオフセット値を加算(減算)することで行う。まず、
DDRの1番目のサイクルにあるアドレス(これを基本
アドレスとする)であるA0,A2,A4,A6はパタ
ーン発生器2で発生する。ここでA0,A2,A4,A
6は不良解析メモリ3に入力されるが、strb1のフェイ
ルを取り込むメモリブロック3−1は、このアドレスを
そのまま使用するので加算値は“#0”となる。なお#
は16進を意味する。strb2のフェイルを取り込むメモ
リブロック3−2は、このアドレス値A0,A2,A
4,A6にアドレス発生部3dで“#1”を加算してバ
ーストアドレスA1,A3,A5,A7を発生し、この
バーストアドレスを使用してフェイルデータを取り込
む。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In order to solve the drawbacks of the prior art, a burst address given to a failure analysis memory is not generated by a pattern generator but is generated in a failure analysis memory from a start address from one pattern generator. To solve it. This example is shown in FIG. The generation of the burst address in the memory under test 6 is basically as shown in FIG. 2, and the address is added (subtracted) every test cycle DDR using the start address A0 applied to the memory under test 6 as a basic address. To go. The example of FIG. 2 shows a case where the operation cycle T of the test apparatus is twice as long as DDR. The generation of the burst address in the fail memory 3 is performed by the pattern generator 2.
This is performed by adding (subtracting) an arbitrary offset value to the start address (base address) from. First,
A0, A2, A4, and A6, which are addresses in the first cycle of DDR (this is a basic address), are generated by the pattern generator 2. Where A0, A2, A4, A
6 is input to the failure analysis memory 3, but since the memory block 3-1 that takes in the failure of strb1 uses this address as it is, the added value is "# 0". #
Means hexadecimal. The memory block 3-2 that takes in the failure of strb2 stores the address values A0, A2, A
The address generator 3d adds "# 1" to the addresses 4, A6 to generate burst addresses A1, A3, A5, A7, and fetches fail data using the burst addresses.

【0018】次に図3にアドレス発生部3dの詳細を示
す。アドレス発生部3dは加算器11,パターン発生器
2からのアドレス加算時のオフセット値を格納している
オフセットレジスタ12,オフセット加算の実行(デー
タ#1を格納時)、非実行(データ#0を格納時)の値
を格納している加算実行レジスタ13,R/W Mode
信号と加算実行レジスタ13からの出力の論理和をとる
オアゲート14,オアゲート14からの出力によって加
算値をオフセットレジスタ12内のデータにする(オア
ゲート14の出力が“#0”の場合)かデータ“#0”
にする(オアゲート14の出力が“#1”の場合)か切
り替えるマルチプレクサ15によって構成される。
FIG. 3 shows details of the address generator 3d. The address generator 3d includes an adder 11, an offset register 12 storing an offset value at the time of address addition from the pattern generator 2, execution of offset addition (when data # 1 is stored), and non-execution (when data # 0 is stored). Addition register 13, which stores the value of “when stored”, R / W Mode
The OR gate 14 which takes the logical sum of the signal and the output from the addition execution register 13 makes the addition value the data in the offset register 12 according to the output from the OR gate 14 (when the output of the OR gate 14 is “# 0”) or the data “ # 0 "
(When the output of the OR gate 14 is “# 1”).

【0019】オフセットレジスタ12は不良解析メモリ
3内の各メモリブロック3−iで別々に設定できるよう
になっており、各メモリブロック3−iで取り込むフェ
イル(strb1フェイル、strb2フェイル等)に対応して
この値を各々設定する。例えば上記の例でブロック3−
1には#0を設定し、ブロック3−2では#1を設定す
る。R/W Mode 信号はメモリ試験装置を制御するシ
ステムコントローラ7から不良解析メモリ3をリード・
ライトするときに“H”になり、アドレスオフセット加
算を行わないようになっている。また、パターン発生器
2からのアドレスはMUT(DRAM)6に印加するロ
ウアドレス(パターン発生器2ではXアドレスと呼ぶ)
及びカラムアドレス(パターン発生器2ではYアドレス
と呼ぶ)の2アドレスが不良解析メモリ3に入力されて
くるため、上記の回路3d1,3d2はX,Yアドレス
分用意する。
The offset register 12 can be set separately for each memory block 3-i in the failure analysis memory 3 and corresponds to a fail (strb1 fail, strb2 fail, etc.) taken in each memory block 3-i. Set each lever value. For example, in the above example, block 3-
In step 3, # 0 is set, and in block 3-2, # 1 is set. The R / W Mode signal reads the failure analysis memory 3 from the system controller 7 which controls the memory test apparatus.
It becomes "H" when writing, so that address offset addition is not performed. The address from the pattern generator 2 is a row address applied to the MUT (DRAM) 6 (referred to as an X address in the pattern generator 2).
And two addresses of column addresses (referred to as Y addresses in the pattern generator 2) are input to the failure analysis memory 3, so that the circuits 3d1 and 3d2 prepare X and Y addresses.

【0020】加算器11の内部を図4に示す。図4は加
算ビットが4ビットの場合を示している。加算器11は
1ビットフルアダーFAが加算するビット数分と加算す
るビットを制御する(つまり、各フルアダーのキャリィ
出力を制御する)キャリィ制御レジスタCR,各フルア
ダーのキャリィ出力とキャリィ制御レジスタの出力の論
理積をとるAND(加算するビット数分−1個)で構成
され、ANDの出力は上位ビットの加算を行う各フルア
ダーのキャリィ入力に接続されている。このキャリィ制
御レジスタによってアドレス加算を行うビットの制御を
行っており、この使用方法を以下の例に従って説明す
る。
FIG. 4 shows the inside of the adder 11. FIG. 4 shows a case where the addition bit is 4 bits. The adder 11 controls the number of bits to be added by the 1-bit full adder FA and the bits to be added (that is, controls the carry output of each full adder), the carry output of each full adder, and the output of the carry control register. (The number of bits to be added minus one), and the output of the AND is connected to the carry input of each full adder for adding the upper bits. The bit for performing the address addition is controlled by the carry control register. A method of using the bit will be described with reference to the following example.

【0021】オフセットレジスタ12の値によりバース
トアドレスを発生するが、本発明では+1のバーストア
ドレスしか示していないため、他の発生方法を示す。M
DRAM等に代表されるインターリーブ構成のマルチバ
ンクDRAMでは各バンク間でバースト読み出しを行う
場合、バーストアドレスはバンクアドレスとなり、上位
アドレスが切り替わるバーストアドレスとなる。図5で
はアドレス21〜23ビット目がバンクアドレスとな
る。この場合、上記+1のオフッセト値をバンクアドレ
スと同じアドレス値(#10000,“#”は16進表
示であることを表す)にすることによって対応できる。
またSDRAMのインターリーブモードの様なバースト
転送(図6では連続読出するデータ数(バースト長と呼
ぶ)が8の場合で下位3ビットのアドレス値のみ示す)
では、アドレス値が−1する場合がある。この場合、バ
ーストアドレス値の補数表現した(図6でいうと“#
1”の反転データに“#7”の論理積を取った値)値
(#7)を設定する。そして、キャリィ制御レジスタC
Rにデータ#3を設定する。これにより上位ビットには
キャリィが上がらないため、下位3ビットのみの加算と
なりデータ#7に#7加算すると加算結果は#6とな
り、図6のようなバーストアドレスを発生できる。
A burst address is generated based on the value of the offset register 12. In the present invention, since only the burst address of +1 is indicated, another generation method will be described. M
In a multi-bank DRAM of an interleaved configuration represented by a DRAM or the like, when performing a burst read between banks, the burst address becomes a bank address and a burst address at which an upper address is switched. In FIG. 5, the 21st to 23rd bits of the address are the bank address. In this case, the offset value of +1 can be dealt with by making the address value the same as the bank address (# 10000, "#" indicates hexadecimal notation).
Also, burst transfer like the interleave mode of the SDRAM (in FIG. 6, when the number of data to be read continuously (called the burst length) is 8, only the lower 3 bits of the address value are shown).
In some cases, the address value may be -1. In this case, the burst address value is represented by a complement (in FIG. 6, "#
The value (# 7) of the logical product of "# 7" is set to the inverted data of "1", and the carry control register C
Data # 3 is set in R. As a result, since the carry does not increase in the upper bits, only the lower 3 bits are added, and when # 7 is added to data # 7, the addition result becomes # 6, and a burst address as shown in FIG. 6 can be generated.

【0022】本発明を実施したときのフェイルの格納例
を図7に示す。上記例からフェイル(図7では“#0”
がパスであるアドレスを示し、“#1”がフェイルであ
るアドレスを示す)は、各々アドレスをとびとびで格納
される。図7ではメモリブロック3−1が偶数アドレス
に格納され、ブロック3−2が奇数アドレスに格納され
ている。これをアドレスにアンダーラインを引いて示
す。試験終了時にフェイルデータをテスタコントローラ
に読み出す際には、この2つのブロックのデータを論理
和で読み出すことにより、正しいフェイルデータを読み
出すことができる。
FIG. 7 shows an example of fail storage when the present invention is implemented. Fail from the above example (“# 0” in FIG. 7)
Indicates an address that is a pass, and “# 1” indicates an address that is a fail). In FIG. 7, the memory block 3-1 is stored at an even address, and the block 3-2 is stored at an odd address. This is indicated by underlining the address. When fail data is read to the tester controller at the end of the test, correct fail data can be read by reading the data of these two blocks by OR.

【0023】以上説明したように不良解析メモリ3内で
バーストアドレスを発生することよって複数台のパター
ン発生器2が必要なくなり、従来の欠点を解決できる。
なお、図1、図2の説明では、パターン発生器2からス
タートアドレス(基本アドレス)としてA0,A2,…
A6をフェイルメモリ3に与え、フェイルメモリ3内で
バーストアドレスA1,A3,…A7を演算するものと
したが、バーストモードのDDR−CDRAM(MUT
6)に与えるアドレスと同様に、パターン発生器2から
スタートアドレスA0のみをフェイルメモリ3に与え、
フェイルメモリ3がバーストアドレスA1,A2,A
3,…A7を順次演算するようにすることもできる。
As described above, generating a burst address in the failure analysis memory 3 eliminates the need for a plurality of pattern generators 2 and can solve the conventional disadvantage.
1 and 2, A0, A2,... Are used as start addresses (basic addresses) from the pattern generator 2.
A6 is given to the fail memory 3 and the burst addresses A1, A3,... A7 are calculated in the fail memory 3, but the DDR-CDRAM (MUT
Similarly to the address given to 6), only the start address A0 is given from the pattern generator 2 to the fail memory 3,
If the fail memory 3 has burst addresses A1, A2, A
3,... A7 may be sequentially calculated.

【0024】[0024]

【発明の効果】この発明では、フェイルメモリ3内にパ
ターン発生器2のスタートアドレスをもとに、バースト
アドレスを発生するアドレス発生部3dを設けたので、
従来のようにパターン発生器2を複数設ける必要がなく
なり、装置の経済化が図られる。
According to the present invention, the address generator 3d for generating a burst address based on the start address of the pattern generator 2 is provided in the fail memory 3.
It is not necessary to provide a plurality of pattern generators 2 as in the prior art, and the apparatus can be made more economical.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施例を示すブロック図。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1の要部のタイミングチャート。FIG. 2 is a timing chart of a main part of FIG. 1;

【図3】図1のアドレス発生部3dの回路図。FIG. 3 is a circuit diagram of an address generator 3d of FIG. 1;

【図4】図3の加算器11の回路図。FIG. 4 is a circuit diagram of an adder 11 shown in FIG. 3;

【図5】MDRAMのバースト読み出し例を示す図。FIG. 5 is a diagram showing an example of burst reading of an MDRAM.

【図6】SDRAMのインターリーブモードのバースト
読み出し例を示す図。
FIG. 6 is a diagram showing an example of burst reading in the interleave mode of the SDRAM.

【図7】図1のフェイルメモリのフェイル格納例を示す
図。
FIG. 7 is a diagram showing an example of fail storage in the fail memory of FIG. 1;

【図8】従来のメモリ試験装置のブロック図。FIG. 8 is a block diagram of a conventional memory test device.

【図9】図8の不良解析メモリ3の構成を示すブロック
図。
FIG. 9 is a block diagram showing a configuration of the failure analysis memory 3 of FIG. 8;

【図10】EDO・DRAMのハイパーページモードに
おけるリードタイミングを示す図。
FIG. 10 is a view showing read timing in a hyper page mode of the EDO DRAM.

【図11】SDRAMのバーストモードにおけるリード
タイミングを示す図。
FIG. 11 is a diagram showing a read timing in a burst mode of the SDRAM.

【図12】DDR−SDRAMのバーストモードにおけ
るリードタイミングを示す図。
FIG. 12 is a diagram showing a read timing in a burst mode of the DDR-SDRAM.

【図13】従来のDDRメモリを試験する装置のブロッ
ク図。
FIG. 13 is a block diagram of a conventional apparatus for testing a DDR memory.

【図14】図13の要部のタイミングチャート。FIG. 14 is a timing chart of a main part of FIG. 13;

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 タイミング発生器のクロックに同期し
て、パターン発生器から被試験メモリに試験パターン信
号を与え、被試験メモリの応答出力と前記パターン発生
器から出力される期待値パターンとを、前記タイミング
発生器のストローブ信号のタイミングにおいて、論理比
較器で比較し、不一致を検出するとフェイルメモリの前
記不一致の発生した被試験メモリのアドレスと同じアド
レスにフェイルデータを書き込むメモリ試験装置におい
て、 被試験メモリがバースト・モードで動作する場合、前記
パターン発生器より入力されるスタートアドレス(基本
アドレスとも言う)を用いて全てのバーストアドレスを
演算するアドレス発生部を前記フェイルメモリ内に設け
たことを特徴とするメモリ試験装置。
1. A test pattern signal is supplied from a pattern generator to a memory under test in synchronization with a clock of a timing generator, and a response output of the memory under test and an expected value pattern output from the pattern generator are calculated. At the timing of the strobe signal of the timing generator, when a comparison is made by a logical comparator and a mismatch is detected, a fail test is performed in a memory test apparatus that writes fail data at the same address as the address of the memory under test where the mismatch occurred. When the memory operates in the burst mode, an address generator for calculating all burst addresses using a start address (also referred to as a basic address) input from the pattern generator is provided in the fail memory. Memory test equipment.
【請求項2】 請求項1において、前記アドレス発生部
を前記フェイルメモリの各メモリブロックごとに設けた
ことを特徴とするメモリ試験装置。
2. The memory test apparatus according to claim 1, wherein the address generator is provided for each memory block of the fail memory.
【請求項3】 請求項1において、前記被試験メモリが
ダブルデータレート(DDR)モードで動作する場合、
前記パターン発生器より1テスト周期ごとに変化する偶
数番のアドレスA0,A2,A4,…を前記アドレス発
生部に入力し、そのアドレス発生部が入力アドレスより
奇数番のアドレスA1,A2,A3…を演算することを
特徴とするメモリ試験装置。
3. The method of claim 1, wherein the memory under test operates in a double data rate (DDR) mode.
The even numbered addresses A0, A2, A4,... Which change every test cycle from the pattern generator are input to the address generation section, and the address generation section has odd numbered addresses A1, A2, A3. A memory test apparatus, wherein:
【請求項4】 請求項1において、前記アドレス発生部
がロウ(行)アドレス発生部とカラム(列)アドレス発
生部とより成り、 それらロウアドレス発生部及びカラムアドレス発生部が
それぞれオフセット値を格納するオフセットレジスタ
と、 そのオフセットレジスタの出力と、前記パターン発生器
より入力されるスタートアドレスとを加算する加算器と
を具備することを特徴とするメモリ試験装置。
4. The apparatus according to claim 1, wherein said address generator comprises a row (row) address generator and a column (column) address generator, and said row address generator and said column address generator respectively store offset values. A memory test apparatus, comprising: an offset register for performing the operation; and an adder for adding an output of the offset register and a start address input from the pattern generator.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002076855A (en) * 2000-08-29 2002-03-15 Advantest Corp Delay circuit, test device, capacitor
JP2006226732A (en) * 2005-02-15 2006-08-31 Fujitsu Ltd Integrated circuit device having built-in dll circuit, and its testing process
JP2008052770A (en) * 2006-08-22 2008-03-06 Yokogawa Electric Corp Semiconductor test device
CN100399473C (en) * 2003-05-12 2008-07-02 因芬尼昂技术股份公司 Built-in self test system and method
JP2008243323A (en) * 2007-03-28 2008-10-09 Yokogawa Electric Corp Semiconductor test device
JP2009053032A (en) * 2007-08-27 2009-03-12 Tektronix Japan Ltd Waveform display method
US8769363B2 (en) 2011-03-04 2014-07-01 Advantest Corporation Test apparatus

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002076855A (en) * 2000-08-29 2002-03-15 Advantest Corp Delay circuit, test device, capacitor
CN100399473C (en) * 2003-05-12 2008-07-02 因芬尼昂技术股份公司 Built-in self test system and method
JP2006226732A (en) * 2005-02-15 2006-08-31 Fujitsu Ltd Integrated circuit device having built-in dll circuit, and its testing process
JP2008052770A (en) * 2006-08-22 2008-03-06 Yokogawa Electric Corp Semiconductor test device
JP2008243323A (en) * 2007-03-28 2008-10-09 Yokogawa Electric Corp Semiconductor test device
JP2009053032A (en) * 2007-08-27 2009-03-12 Tektronix Japan Ltd Waveform display method
US8769363B2 (en) 2011-03-04 2014-07-01 Advantest Corporation Test apparatus

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