JP3735696B2 - Test circuit and test method for semiconductor memory device - Google Patents

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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Dram (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体メモリ装置の信頼性試験のためのテスト回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
図1に、一般的な同期式メモリのテスト回路をブロック図で示す。即ち、メモリの動作モードを制御するモードレジスタ10と、外部クロックCLK及びモードレジスタ10の出力に従い動作してレイトンシー(Latency) CLを発生するレイトンシー制御器20と、外部クロックCLK及びモードレジスタ10の出力に従い動作し、アドレスAi からカラムアドレスCAiを発生する内部カラムアドレス発生器30と、外部クロックCLKに従い動作し、カラムアドレスCAi をデコーディングしてカラム選択信号CSLをメモリアレイ50へ提供するカラムアドレスデコーダ40と、外部クロックCLK及びレイトンシーCLに従い動作してメモリアレイ50のデータ入出力を制御する入出力制御ユニット60と、レイトンシーCLに従い動作し、入出力制御ユニット60からの出力データをデータ入出力端子DQへ伝送するデータ出力バッファ70及びデータ入出力端子DQから入力される入力データを入出力制御ユニット60へ伝送するデータ入力バッファ80と、が備えられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
現在、固体メモリ(Solid State Memory)は二つの方向に発展している。その一つはメモリ密度の増加、もう一つは帯域幅の増加つまり動作速度の高速化である。この二つは、テスト時間の長期化と適切なテスト設備を要するので、テスト費用の増加を招き、生産性の低下につながる。
【0004】
図1に示す構成の従来のテスト回路では、メモリの高密度化に対しては効果的な対処方が各種提案されている。このため、若干の変更で既存テスト設備をそのまま用いて高密度メモリに対応したテストが可能である。しかしながら、高速メモリの場合は、効果的な対応策が未だほとんど提案されていなのが実情で、既存設備がもつ帯域幅の問題を解決できず、高周波対応の設備を新たに設けなければならないという課題がある。
【0005】
そこで本発明の目的は、低帯域幅のテスト設備で高帯域幅のメモリをテストすることも可能にするようなテスト回路を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この目的のために本発明は、動作モードを制御するモードレジスタと、このモードレジスタに従い動作してクロック周波数のレイトンシーを制御するレイトンシー制御器と、前記モードレジスタに従い動作してカラムアドレスを発生する内部カラムアドレス発生器と、前記カラムアドレスをデコーディングしてメモリアレイのカラム選択を行うカラムアドレスデコーダと、前記レイトンシー制御器に従い動作してメモリアレイのデータ入出力を制御する入出力制御ユニットと、このデータ入出力制御ユニットと外部とのデータ入出力のためのデータ出力バッファ及びデータ入力バッファと、を有する半導体メモリ装置のテスト回路において、外部から提供される外部クロックを整数倍して制御クロックを発生し、前記レイトンシー制御器、前記カラムアドレス発生器、前記カラムアドレスデコーダ、及び前記入出力制御ユニットを同期させる周波数逓倍器と、前記モードレジスタに従い前記周波数逓倍器の倍数(逓倍ファクタ)を決定するテスト制御ユニットと、を備え、前記外部クロックよりも高い周波数で動作することが可能となっていることを特徴とするテスト回路を提供する。
【0007】
またこれに伴い本発明では、マルチデータ入出力が可能な半導体メモリ装置のテスト方法において、外部クロックに従い並列入力されるデータをメモリチップ内で前記外部クロック周波数を増加させたクロック周波数に同期させて多数の直列データにして書込むことを特徴とするテスト方法を提供する。
【0008】
本発明は、高周波(High frequency)動作のメモリを低周波(Low frequency) でもテストできるようにする技術である。即ち、高速動作を行うメモリを既存の低帯域幅のテスト設備でテスト可能にし、テスト費用を減少させ、高帯域幅メモリの生産性を向上させるものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に従う好適な実施例を添付図面を参照して詳細に説明する。
【0010】
ここでは、高帯域幅動作の同期式DRAM(Synchronous Dynamic Random Access Memory:SDRAM)を低帯域幅のテスト設備にてテストする方法を例にあげる。この同期式DRAMの特徴は次のようなものである。
【0011】
〔1〕:外部クロック(システムクロック)に同期してコマンドとデータ入出力が制御される。〔2〕:読出動作に際して、読出コマンドが入力された後にそのコマンド入力のあったクロックから何番目のクロックでデータの読出を行うかがカラムアドレスストローブ(CAS)レイトンシー=CLとされ、そのCL値に従ってメモリ周波数が定められる。例えば、CL1=33MHz,CL2=66MHz,CL3=100MHz 。〔3〕:バースト読出(Burst read)、バースト書込(Burst write) 機能と決められたバースト長に従って、その分の連続データを入出力できる。可能なバースト長は、1,2,4,8のプルページ(pull page) である。連続(シーケンシャル)データは、クロックに同期してチェンジする。〔4〕:CASレイトンシー及びバースト長は、特定のタイミングでアドレス端子から入力したキー信号を内部レジスタ(モードレジスタ)に貯蔵し、これを組合せて決定する。この値は、プログラマブルタイミングによりアップデート(update)される、或いはパワーオフにならない限り保持される。即ち、1つのメモリが多様なモードで動作できる。これら特徴の外にも、他のダイナミック製品に比べて多くの特徴がある。
【0012】
本実施形態のテスト回路では、低帯域幅のテスト装備の低周波クロックを受け入れて回路内で高周波クロック(入力クロック周波数の整数倍)を発生し、これに従って高帯域幅動作を遂行する。図2に、そのテスト回路のブロック図を示す。即ち、図1に示した従来構成に、位相同期ループPLLや遅延同期ループDLLを利用して実施した周波数逓倍器100とその倍数を制御するテスト制御ユニット200が加えられてなっている。
【0013】
図3A〜図3Cは、テスト時のクロックの組合を示した波形図である。
【0014】
図3Aに示すのはCASレイトンシーがCL1である場合で、このときの最大周波数は33MHzである。従って、33MHzまでのテストが実行されるのであればよいが、CL3になると100MHzが最大周波数になるので、テストのためには、このような周波数帯を検証できる帯域幅を有するテスト設備が必要となる。そこで、周波数逓倍器100を使用して外部クロックCLKを整数倍することで制御クロックφCLKを発生して対応する。即ち、図3B及び図3Cに示すように、周波数逓倍器100により制御クロックφCLKの周波数を、CL2である場合のテストでは2倍、CL3である場合のテストでは3倍にあげる。
【0015】
これにより、チップ内部の動作はそれぞれ66MHz、100MHzの場合と同一にし、33MHzのテスト設備のクロックCLKをもってその上昇エッジ(Rising Edge) でデータ出力を検査すれば、低帯域幅の既存設備でもテストが可能である。但しこの場合、出力データDQが66MHz、100MHzで出力されるので、図3B及び図3C中に斜線で示すように検査せず無視されるデータが出てくる。これに対しては、適切なアドレススクランブル(Address Scramble)により全セルの出力データDQを検査することができる。その一例を次に示す。
【0016】
図4は、テストモードでのカラム選択ラインCSLの制御タイミングを示している。同図において、外部クロックCLKの33MHzの毎クロックごとに読出や書込命令を行って1アドレスずつ入力すれば、チップ内部は100MHzで動作して33MHzの1サイクルT1(30ns)の間に内部的に更に2つのカラムアドレスが発生する。しかし、そこで図示のように、外部クロックCLKのクロック▲1▼,▲2▼,▲3▼ごとに〔0〕→〔1〕→〔2〕の順にアドレスを順次入力していけば、カラムアドレスは〔0−1−2〕→〔1−2−3〕→〔2−3−4〕…のようにして増加することになる。
【0017】
読出動作の場合、チップからは、100MHzの動作条件のため1サイクルT1の間に前記3ずつのカラムアドレスのそれぞれに該当するデータ出力DQが図3Cのように出力されることになり、図3C中斜線の2つの出力データDQは検査されないことになる。しかしながら、例えばアドレス〔0〕に応答して出力される3出力データDQのうち検査されない出力データDQはアドレス〔1〕,〔2〕に該当するデータであり、これは、後続のサイクルのクロック▲2▼,▲3▼で入力されるアドレスであるから、このときに検査することができる。従って、外部クロックCLKに対し制御クロックφCLKが高周波数であってもテスト可能である。これは、図3Bの場合でも同様である。
【0018】
このように読出の場合は通常通りテスト設備のクロックCLKに従ってアドレスを順次入力していけば問題なくテスト可能であるが、一方、書込動作の場合は、1サイクルT1の間に入力データDIN(DQ)の有効データa,b,c以外に斜線部分のような無効データがあり、これが内部的追加カラムアドレスに従って書込まれるとやっかいである。そこで、WriteCSLの波形に示すA部分のように、各サイクルで最初にエネーブルされるカラム選択ラインCSLに続く2本のカラム選択ラインCSL(66MHzのテストでは後続の1本)はディスエーブルさせる。これにより、有効データのみを書込むことができる。
【0019】
図5及び図6は、マルチデータ出力型のメモリでのデータスクランブルの方法を示すタイミングチャートと回路のブロック図である。即ち、データ幅の多いマルチデータタイプである場合、内部的に増加させた周波数に合わせて書込動作が行われるようにするために、データを並列に受け取って直列に書込む方法が可能である。図6に示すように、並列入力されるデータDQ0〜1を受けるデータ入力バッファ801〜803のうち、データ入力バッファ802,803に対して遅延回路804,805を設け、遅延回路804は1サイクルT1中の制御クロックφCLKの2番目クロック、遅延回路805は1サイクルT1中の制御クロックφCLKの3番目クロックでデータを遅延出力するように構成し、そして、データ入力マルチプレクサを介してDATA0,DATA1,DATA2を発生する。これにより、外部クロックCLKに従ってDQ0にはデータA0、DQ1にはデータB0、DQ2にはデータC0を与えたとすると、1サイクルT1中にチップ内部では、DATA0,DATA1,DATA2が制御クロックφCLKに従ってそれぞれA0→B0→C0の直列データとなる。
【0020】
図7及び図8は、DLLを利用した周波数逓倍器100の回路図である。図示のように6分周のクロックCCLK1〜5を発生することにより、外部クロックCLKの周波数を整数倍することができる。図7の回路で発生されたクロックCCLK1〜5は図8の構成の逓倍ファクタ(Multiplication factor) 制御器300へ入力され、テスト制御ユニット200から入力される逓倍ファクタm(この場合m1〜m3)に従い組み合わせられることで、パルス発生器400から制御クロックφCLKが発生される。通常動作時は、逓倍ファクタm1に従いCCLK5を利用して制御クロックφCLKを発生させ、2倍にするときは逓倍ファクタm2に従いCCLK2,CCLK5を利用し、そして3倍にするときは逓倍ファクタm3に従いCCLK1,CCLK3,CCLK5を利用して制御クロックφCLKを発生させる。逓倍ファクタmはモードレジスタ10に従いテスト制御ユニット200で決定され、また、これに応じてレイトンシー制御器20及び内部カラムアドレス発生器30が制御される。
【0021】
テストモードに進入する場合には、従来からあるWCBRテストモードのアドレスA7の論理“ハイ”を利用し、このときに、外部制御信号としてアドレスA1,A2,A3を使ってテスト制御ユニット200の逓倍ファクタの値を定める。テストモードでなければm1を常に設定するようにしておく。このような方法にて、チップに加えられる周波数が低くてもチップ内部で高周波のクロックを発生させ(2倍及び3倍)、高周波特性テストすることができる。
【0022】
【発明の効果】
本発明によれば、低帯域幅を有するテスト設備をもって高帯域幅のメモリをテストすることが可能になる。従って、周波数が上がる度にテスト設備を更新せずともすむこととなり、生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のテスト回路を示すブロック図。
【図2】本発明によるテスト回路を示すブロック図。
【図3】外部クロックとテスト回路で発生した制御クロック及び出力データとの関係を示した信号波形図。
【図4】テストモードでのカラム選択ラインの制御タイミングを示す信号波形図。
【図5】マルチデータタイプでのデータスクランブル方法を説明する信号波形図。
【図6】図5のタイミング用のデータ入力回路のブロック図。
【図7】DLLを利用した周波数逓倍器の回路図。
【図8】図7中の逓倍ファクタ制御器の回路図。
【符号の説明】
10 モードレジスタ
20 レイトンシー制御器
30 内部カラムアドレス発生器
40 カラムアドレスデコーダ
50 メモリアレイ
60 入出力制御ユニット
70 データ出力バッファ
80 データ入力バッファ
100 周波数逓倍器
200 テスト制御ユニット
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a test circuit for a reliability test of a semiconductor memory device.
[0002]
[Prior art]
FIG. 1 is a block diagram showing a general synchronous memory test circuit. That is, a mode register 10 that controls the operation mode of the memory, a latency controller 20 that operates according to the output of the external clock CLK and the mode register 10 and generates a latency CL, the external clock CLK and the mode register 10 The internal column address generator 30 that generates the column address CAi from the address Ai, and the column that operates in accordance with the external clock CLK, decodes the column address CAi, and provides the column selection signal CSL to the memory array 50. An address decoder 40, an input / output control unit 60 that controls data input / output of the memory array 50 by operating according to the external clock CLK and the latency CL, and an output data from the input / output control unit 60 that operates according to the latency CL Data input / output terminal A data input buffer 80 for transmitting input data that is input from the data output buffer 70 and data input terminal DQ transmitted to Q to output control unit 60, are provided.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
Currently, solid state memory is developing in two directions. One is an increase in memory density, and the other is an increase in bandwidth, that is, an increase in operation speed. These two methods require a longer test time and appropriate test facilities, leading to an increase in test costs and a decrease in productivity.
[0004]
In the conventional test circuit having the configuration shown in FIG. 1, various effective methods for increasing the memory density have been proposed. For this reason, the test corresponding to a high-density memory is possible by using the existing test equipment as it is with a slight change. However, in the case of high-speed memory, the effective situation is that most effective countermeasures have not been proposed yet, and the problem of the bandwidth of existing equipment cannot be solved, and there is a problem that high-frequency equipment must be newly provided. There is.
[0005]
SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a test circuit that makes it possible to test a high bandwidth memory with a low bandwidth test facility.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
For this purpose, the present invention provides a mode register for controlling the operation mode, a Layton Sea controller for operating in accordance with the mode register to control the latencies of the clock frequency, and generating a column address by operating in accordance with the mode registers. An internal column address generator, a column address decoder for selecting a column of the memory array by decoding the column address, and an input / output control unit for controlling data input / output of the memory array by operating according to the Layton Sea controller And a data output buffer and a data input buffer for data input / output between the data input / output control unit and the outside, and control by multiplying the external clock provided from the outside by an integer Generating a clock, said Layton Sea controller, A frequency multiplier that synchronizes the column address generator, the column address decoder, and the input / output control unit; and a test control unit that determines a multiple (multiplication factor) of the frequency multiplier according to the mode register, Provided is a test circuit characterized in that it can operate at a frequency higher than that of an external clock.
[0007]
Accordingly, in the present invention, in a test method of a semiconductor memory device capable of multi-data input / output, data input in parallel according to an external clock is synchronized with a clock frequency obtained by increasing the external clock frequency in the memory chip. A test method characterized by writing as a large number of serial data is provided.
[0008]
The present invention is a technique that enables a memory having a high frequency operation to be tested even at a low frequency. That is, a memory that performs high-speed operation can be tested with an existing low-bandwidth test facility, test costs are reduced, and productivity of a high-bandwidth memory is improved.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[0010]
Here, a method of testing a synchronous DRAM (Synchronous Dynamic Random Access Memory: SDRAM) operating at a high bandwidth with a low bandwidth test facility is taken as an example. The features of this synchronous DRAM are as follows.
[0011]
[1]: Command and data input / output are controlled in synchronization with an external clock (system clock). [2]: In the read operation, the column address strobe (CAS) latency is set to CL, which clock number is used to read data after the read command is input, and the CL The memory frequency is determined according to the value. For example, CL1 = 33 MHz, CL2 = 66 MHz, CL3 = 100 MHz. [3]: Burst read, burst write (Burst write) According to the determined burst length, continuous data can be input / output. Possible burst lengths are 1, 2, 4 and 8 pull pages. Continuous (sequential) data changes in synchronization with the clock. [4]: CAS latency and burst length are determined by storing the key signal input from the address terminal at a specific timing in an internal register (mode register) and combining them. This value is maintained unless it is updated (updated) by programmable timing or powered off. That is, one memory can operate in various modes. In addition to these features, there are many features compared to other dynamic products.
[0012]
In the test circuit of this embodiment, a low-frequency clock equipped with a low-bandwidth test equipment is received and a high-frequency clock (an integer multiple of the input clock frequency) is generated in the circuit, and a high-bandwidth operation is performed accordingly. FIG. 2 shows a block diagram of the test circuit. That is, the frequency multiplier 100 implemented using the phase locked loop PLL and the delay locked loop DLL and the test control unit 200 for controlling the multiple are added to the conventional configuration shown in FIG.
[0013]
3A to 3C are waveform diagrams showing clock combinations at the time of testing.
[0014]
FIG. 3A shows the case where the CAS latency is CL1, and the maximum frequency at this time is 33 MHz. Therefore, it is only necessary to perform a test up to 33 MHz. However, when CL3 is reached, 100 MHz becomes the maximum frequency. Therefore, a test facility having a bandwidth capable of verifying such a frequency band is necessary for the test. Become. Therefore, the control clock φCLK is generated by using the frequency multiplier 100 and the external clock CLK is multiplied by an integer to cope with it. That is, as shown in FIG. 3B and FIG. 3C, the frequency multiplier 100 increases the frequency of the control clock φCLK by 2 times in the test in the case of CL2, and 3 times in the test in the case of CL3.
[0015]
As a result, the internal operation of the chip is the same as in the case of 66 MHz and 100 MHz, respectively, and if the data output is inspected at the rising edge (Rising Edge) with the clock CLK of the test equipment of 33 MHz, the test can be performed even on the existing equipment with low bandwidth. Is possible. However, in this case, since the output data DQ is output at 66 MHz and 100 MHz, data which is ignored without being inspected as shown by hatching in FIGS. 3B and 3C appears. In response to this, the output data DQ of all cells can be inspected by appropriate address scramble. An example is shown below.
[0016]
FIG. 4 shows the control timing of the column selection line CSL in the test mode. In the same figure, if a read or write command is performed every 33 MHz of the external clock CLK and one address is input, the chip operates internally at 100 MHz and is internally used during one cycle T1 (30 ns) of 33 MHz. Two more column addresses are generated. However, as shown in the figure, if the addresses are sequentially input in the order of [0] → [1] → [2] for each of the clocks (1), (2), and (3) of the external clock CLK, the column address [0-1-2] → [1-2-3] → [2-3-4]...
[0017]
In the case of the read operation, the chip outputs data output DQ corresponding to each of the three column addresses during one cycle T1 due to the operating condition of 100 MHz as shown in FIG. 3C. The two hatched output data DQ are not inspected. However, for example, the output data DQ that is not checked among the three output data DQ output in response to the address [0] is data corresponding to the addresses [1] and [2]. Since the addresses are input in 2 ▼ and 3), it can be inspected at this time. Therefore, the test can be performed even when the control clock φCLK has a higher frequency than the external clock CLK. The same applies to the case of FIG. 3B.
[0018]
As described above, in the case of reading, it is possible to test without problems if the addresses are sequentially input according to the clock CLK of the test equipment as usual. On the other hand, in the case of the writing operation, the input data DIN ( In addition to the valid data a, b, and c of DQ), there is invalid data such as a shaded portion, which is troublesome if it is written according to the internal additional column address. Therefore, the two column selection lines CSL (the one following in the 66 MHz test) following the column selection line CSL that is first enabled in each cycle are disabled, as in the portion A shown in the write CSL waveform. As a result, only valid data can be written.
[0019]
5 and 6 are a timing chart and a circuit block diagram showing a method of data scrambling in a multi-data output type memory. That is, in the case of a multi-data type having a large data width, a method of receiving data in parallel and writing it in series is possible in order to perform a write operation in accordance with an internally increased frequency. . As shown in FIG. 6, among data input buffers 801 to 803 that receive data DQ0 to 1 input in parallel, delay circuits 804 and 805 are provided for data input buffers 802 and 803, and delay circuit 804 has one cycle T1. The second clock of the control clock φCLK in the delay circuit 805 is configured to delay and output data with the third clock of the control clock φCLK in one cycle T1, and then DATA0, DATA1, DATA2 through the data input multiplexer. Is generated. Thus, assuming that data A0 is supplied to DQ0, data B0 is supplied to DQ1, and data C0 is supplied to DQ2 in accordance with the external clock CLK, DATA0, DATA1, and DATA2 are A0 in accordance with the control clock φCLK in the chip during one cycle T1, respectively. → B0 → C0 serial data.
[0020]
7 and 8 are circuit diagrams of the frequency multiplier 100 using DLL. As shown in the figure, the frequency of the external clock CLK can be multiplied by an integer by generating the divided clocks CCLK1 to CCLK5. Clocks CCLK1 to CCLK1 generated by the circuit of FIG. 7 are input to a multiplication factor controller 300 having the configuration of FIG. 8 and according to a multiplication factor m (in this case, m1 to m3) input from the test control unit 200. By combining them, the control clock φCLK is generated from the pulse generator 400. During normal operation, control clock φCLK is generated using CCLK5 according to multiplication factor m1, CCLK2 and CCLK5 are used according to multiplication factor m2 when doubled, and CCLK1 according to multiplication factor m3 when tripled. , CCLK3, CCLK5 are used to generate the control clock φCLK. The multiplication factor m is determined by the test control unit 200 according to the mode register 10, and the Layton Sea controller 20 and the internal column address generator 30 are controlled accordingly.
[0021]
When entering the test mode, the logic “high” of the address A7 in the conventional WCBR test mode is used. At this time, the addresses A1, A2, and A3 are used as external control signals, and the test control unit 200 is multiplied. Determine the value of the factor. If it is not the test mode, m1 is always set. By such a method, even if the frequency applied to the chip is low, a high frequency clock can be generated inside the chip (2 times and 3 times), and a high frequency characteristic test can be performed.
[0022]
【The invention's effect】
The present invention makes it possible to test a high bandwidth memory with a test facility having a low bandwidth. Therefore, it is not necessary to update the test equipment every time the frequency increases, and the productivity is improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing a conventional test circuit.
FIG. 2 is a block diagram showing a test circuit according to the present invention.
FIG. 3 is a signal waveform diagram showing the relationship between an external clock, a control clock generated by a test circuit, and output data.
FIG. 4 is a signal waveform diagram showing control timing of a column selection line in a test mode.
FIG. 5 is a signal waveform diagram illustrating a data scramble method in a multi data type.
6 is a block diagram of a data input circuit for timing in FIG. 5;
FIG. 7 is a circuit diagram of a frequency multiplier using DLL.
FIG. 8 is a circuit diagram of a multiplication factor controller in FIG. 7;
[Explanation of symbols]
10 Mode Register 20 Layton Sea Controller 30 Internal Column Address Generator 40 Column Address Decoder 50 Memory Array 60 Input / Output Control Unit 70 Data Output Buffer 80 Data Input Buffer 100 Frequency Multiplier 200 Test Control Unit

Claims (2)

動作モードを制御するモードレジスタと、
前記モードレジスタに従い動作してクロック周波数のレイトンシーを制御するレイトンシー制御器と、
前記モードレジスタに従い動作してカラムアドレスを発生する内部カラムアドレス発生器と、
前記カラムアドレスをデコーディングしてメモリアレイのカラム選択を行うカラムアドレスデコーダと、
前記レイトンシー制御器に従い動作してメモリアレイのデータ入出力を制御する入出力制御ユニットと、
前記データ入出力制御ユニットと外部とのデータ入出力のためのデータ出力バッファ及びデータ入力バッファと、を有する半導体メモリ装置のテスト回路において、
外部から提供される外部クロックを整数倍して制御クロックを発生し、前記レイトンシー制御器、前記カラムアドレス発生器、前記カラムアドレスデコーダ、及び前記入出力制御ユニットを同期させる逓倍数が可変の周波数逓倍器と、
前記モードレジスタに従い前記周波数逓倍器の倍数を決定するテスト制御ユニットと、
を備え、
前記内部カラムアドレス発生器は前記制御クロックにしたがってカラムアドレスを発生し、前記外部クロックの1周期の期間において、前記内部カラムアドレス発生器が発生する複数のカラムアドレスの内の1つのカラムアドレスエネーブルされ他のカラムアドレスディスエーブルされ、
前記外部クロックよりも高い周波数で動作することが可能となっていることを特徴とするテスト回路。
A mode register that controls the operating mode; and
A Layton Sea controller that operates according to the mode register to control the latencies of the clock frequency;
An internal column address generator that operates according to the mode register to generate a column address;
A column address decoder for decoding the column address to select a column of the memory array;
An input / output control unit that operates according to the Layton Sea controller to control data input / output of the memory array;
In a test circuit of a semiconductor memory device having a data output buffer and a data input buffer for data input / output between the data input / output control unit and the outside,
An externally provided external clock is multiplied by an integer to generate a control clock, and a frequency with a variable multiplication factor for synchronizing the latency controller, the column address generator, the column address decoder, and the input / output control unit is variable. A multiplier,
A test control unit for determining a multiple of the frequency multiplier according to the mode register;
With
The internal column address generator generates a column address according to the control clock, and one column address among the plurality of column addresses generated by the internal column address generator is enabled during a period of one cycle of the external clock. are other column address is disabled,
A test circuit characterized in that it can operate at a frequency higher than that of the external clock.
データを並列に入出力が可能な半導体メモリ装置のテスト方法において、
前記半導体メモリ装置に対して外部から入力される外部クロックを前記半導体メモリ装置内で逓倍して制御クロックを発生し、
前記外部クロックに従って前記半導体メモリ装置に外部から入力される並列データを前記半導体メモリ装置内で前記制御クロックに同期した書き込み用の直列データに変換し、書き込みを行う、
ことを特徴とするテスト方法。
In a test method of a semiconductor memory device capable of inputting / outputting data in parallel,
An external clock input from the outside to the semiconductor memory device is multiplied in the semiconductor memory device to generate a control clock,
The parallel data input from the outside to the semiconductor memory device according to the external clock is converted into serial data for writing synchronized with the control clock in the semiconductor memory device, and writing is performed.
A test method characterized by that.
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