JPH10267875A - 気相媒質を検査するための測定装置の構造 - Google Patents

気相媒質を検査するための測定装置の構造

Info

Publication number
JPH10267875A
JPH10267875A JP10059136A JP5913698A JPH10267875A JP H10267875 A JPH10267875 A JP H10267875A JP 10059136 A JP10059136 A JP 10059136A JP 5913698 A JP5913698 A JP 5913698A JP H10267875 A JPH10267875 A JP H10267875A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measuring device
sensor element
gas
expansion chamber
casing cover
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10059136A
Other languages
English (en)
Inventor
Ulrich Demisch
デミッシュ ウルリッヒ
Peter Ziegler
ジーグラー ペーター
John Finbow
フィンボウ ジョン
Peter Sullivan
サリバン ピーター
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Testo SE and Co KGaA
Original Assignee
Testo SE and Co KGaA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Testo SE and Co KGaA filed Critical Testo SE and Co KGaA
Publication of JPH10267875A publication Critical patent/JPH10267875A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0011Sample conditioning
    • G01N33/0016Sample conditioning by regulating a physical variable, e.g. pressure or temperature

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 衝撃圧の影響を少なくしてた気相媒質検査の
ための測定総理の構造を得ること。 【解決手段】 気相媒質を検査するための測定装置の構
造であって、気体の濃度および/または組成に従って電
気的信号を発生するセンサ素子(4)と、気体をセンサ
素子に供給するための気体供給部(1)と、気体をセン
サ素子から導き出すための気体排出部(2)と、気体の
送り側の圧力変動を減衰する減衰部(3)とを有し、減
衰部(3)が、センサ素子(4)と気体供給部(1)と
気体排出部(2)とを収容しているケーシングカバー
(15)により構成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、請求項1の前提部
に記載された気相媒質を検査するための測定装置の構造
に関する。
【0002】
【従来の技術】酸素または有毒気体、たとえばCO、N
O、NO2、SO2などの検出および濃度の測定に適し
ている電気化学気体センサが、市販されている構成部材
として以前から知られており、たとえばドイツ連邦共和
国特許公開公報第4417665号では測定装置の構成
部材として記載されている。本発明はこの測定装置の構
造をさらに改善したものである。この既知の測定装置
は、気体の濃度および/または組成に従って電気的信号
を発生するセンサ素子を有する。気体は気体供給素子を
通してセンサ素子に供給され、気体排出素子を通してセ
ンサ素子から導き出される。
【0003】検出したい気体がセンサの縁および内部に
到達する方法に関して、2つの搬送機構が区別されてい
る。1つは、分析したい気体または気体混合物がポンプ
によってセンサまで引き寄せられるもので、他方は、こ
の引き寄せられた気体が拡散工程を通してセンサ素子の
内部に達し、信号発生に用いられるものである。拡散は
作用電極に向かう気体濃度勾配に基づいて行われる。作
用電極は気体を化学反応で変換して、シンクのように作
用する。
【0004】燃焼設備または暖房設備の煙道ガスの分析
などの一連の用途において、支配的な周囲条件、たとえ
ば高温または腐食的な付随物質によって、センサを直接
測定場所に投入することができない。このような場合に
は、分析したい物質を上記の拡散機構を通してセンサ素
子に供給され得る前に、搬送装置、たとえば冒頭に記載
したポンプによってセンサに搬送されなければならな
い。
【0005】ここで問題となるのは、分析したい気体を
搬送するために、搬送される気体流内に衝撃圧を生み出
すポンプ、たとえばダイヤフラムポンプが使用されるこ
とである。この衝撃圧によって、拡散機構は敏感に影響
される。なぜならば、衝撃圧に基づく濃度または密度の
変動が気体の対流性の質量流を生み出し、これが拡散プ
ロセスに重なるからである。その結果として、過度に高
められた、または制御されずに変動するセンサ信号によ
って測定結果に誤差が生じる。センサ素子の構造に応じ
て、様々な程度で現れる衝撃圧感度を確認しなければな
らない。
【0006】それゆえ、この問題を解決するためには、
衝撃圧や脈動がなく、できるだけ均一な気体流を供給搬
送するポンプを用いることが合理的である。しかしなが
ら、このようなポンプは経済的な理由から多くの用途で
使用できない。また、これらのポンプは原則として構造
容積も大きいので、特に可動式の気体分析装置ではその
ような解決は実現できない。
【0007】さらに、極めて安価で構造の小さいダイヤ
フラムポンプを使用できるようにするためには、これら
のポンプに典型的な衝撃圧を最小化するための特殊な方
策が設けられていなければならない。それゆえ、実用的
には減衰素子が設けられて、ポンプとセンサとの間の気
体経路内に取り付けられる。出願人の企業刊行物である
「実務者のための煙道ガス分析」には、そのような減衰
素子が毛細管室の形で示されている。この場合、毛細管
は流動抵抗体として作用し、衝撃圧をほぼ減衰する。毛
細管室の後ろには別の室が設けられていて、その容積に
基づいて緩衝室として作用し、気体流をさらに均一化す
るのに寄与している。
【0008】この種類の衝撃圧の減衰は、衝撃圧による
誤信号をほぼ排除するのに最も適している。しかしなが
ら、この構成の応用は、特に大きい構造容積と大きい重
量が決定的な意味を持っていない定置設備に限られてい
る。この構成は、可動使用、特に、例えば暖房設備を点
検する煙突工が使用するような小型の携帯気体分析装置
に対しては、高いコストと大きい所要スペースのもとで
しか実現できない。
【0009】それゆえ、ポンプとセンサ素子との間の気
体経路を長くすることによって減衰効果を達成する実験
を行った。この場合、衝撃圧は内部摩擦に基づいて、許
容範囲を超える誤信号が生じなくなる程度に解消される
ことが望ましい。しかしながら、これに伴うコストおよ
びスペース上の欠点のほかに、系応答時間が過度に長く
なり、実用的に許容できないことが分かった。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、上記
の欠点が生じないように、冒頭に記載した種類の測定装
置の構造を改良することである。特に小型の気体分析装
置に電気化学気体センサを使用することを可能にして、
少ない所要スペースで安価に十分な減衰効果を達成しう
る測定装置の構造を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、請求項1
の特徴部に記載した構成を有する測定装置の構造によっ
て解決される。この構造の有利な変形例が、従属請求項
に記載の特徴によって規定されている。
【0012】本発明は、減衰素子をセンサケーシングに
組み入れ、それによって極めてコンパクトな構造を実現
するという思想に基づいている。ケーシングは本来のセ
ンサ素子のほかに、さらにガス供給素子およびガス排出
素子を有しており、構造が単純で直接ガス供給チューブ
に接続できるアセンブリが提供されている。これによ
り、減衰素子はこのアセンブリと統合された構成部材で
あり、別の独立の減衰素子はもはや必要ない。
【0013】減衰素子が膨張室として形成されているこ
とが好都合であり、これによって別の方策なしに衝撃圧
が解消される。
【0014】特に簡単な構成において、膨張室がケーシ
ングカバー内に設けられており、このケーシングカバー
がセンサ素子を収容しているケーシング下側部の上に載
せられている。さらに、ケーシングカバーは、たとえば
チューブニップルとして形成された気体供給素子と気体
排出素子とを担持している。ケーシングカバーは射出成
型品として安価に製造でき、そのうえセンサ素子に容易
に到達できるようにしている。
【0015】膨張室が円筒形中空部として形成されてお
り、気体供給素子と気体排出素子とが半径方向に互いに
対向して膨張室に開口していると、特に少ない誤信号が
確認される。膨張室を円筒形に形成すると、小さい空間
で比較的大きい容積を実現できる。センサの構造容積の
約3分の1の容積を有する膨張室で、十分な減衰が生じ
ることが分かった。ケーシングカバーが弾性的にたわむ
補償膜として形成された壁部片を有していると特に好都
合である。供給された測定気体流における脈動または衝
撃圧が、補償膜の対応する弾性変形によって追加的に補
償されるので、衝撃圧のほぼ完全な解消が達成される。
補償膜が減衰機能の一部を引き受けるので、膨張室の容
積も減少できる。補償膜はケーシングカバーと一体的に
射出成形されているので、比較的少ないコストで実現で
きる。
【0016】その他の変形例は、拡散機構の最適化に向
けられているので、場合によって存在するまだ完全に解
消されていない衝撃圧がセンサ電極に衝撃作用を及ぼす
ことはあり得ない。このために、ディスクとして形成さ
れた通過障壁(拡散障壁)を有しており、このディスク
がケーシングカバーで膨張室からセンサ素子への移行部
に取り付けられている。このディスクは、毛細孔として
作用する直径の小さい軸方向貫通孔を有している。これ
らの孔は、膨張室内ですでに減衰された衝撃圧に対する
追加の減衰素子として働く。毛細孔が膨張室に対して覆
われていると追加の改良が得られる。すなわち、膜は通
過障壁の上側に固定されていて、直接毛細孔に流入する
のを妨げている。
【0017】さらに、通過障壁の向かい側に拡散膜が取
り付けられているとよい。この拡散膜は、本来のセンサ
素子と減衰部との間の交点をなしている。
【0018】上記の構成により、衝撃圧に対する減衰手
段を統合している極めてコンパクトに構成されたセンサ
が実現できることが、上述したことから明らかである。
このセンサは、携帯気体分析装置でも問題なく使用でき
る。それゆえ、特にこの用途のために、ケーシングに電
子アセンブリを組み込んだ、別の好ましい変形例が設け
られている。この電子アセンブリはたとえば、当該セン
サ素子の動作に必要なすべてのデータを含んだ電子記憶
装置モジュール(EEPROM)を有していてよい。セ
ンサを交換すると強制的に記憶装置モジュールの交換も
行われるので、この分析装置でさらにアクチュアル化を
行う必要はない。これにより、誤測定や誤操作はほぼ排
除される。特に分析装置との電気的接続を作るために、
プラグコネクタが設けられている場合はなおのことであ
る。
【0019】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明の基本的な
構造を示すもので、(a)が縦断面、(b)が(a)の
A−A方から見た図である。公知の市販されているセン
サ素子4が、ケーシング下側部16に収容されている。
ケーシング下側部16の上にはケーシングカバー15が
載っている。ケーシングカバー15は、入口ニップル1
として形成された気体供給部と、出口ニップル2として
形成された気体排出部とを有している。入口ニップル1
と出口ニップル2とは互いに対向して配置されていて、
円筒形開口部3にそれぞれ半径方向に開口している。円
筒形開口部3はケーシングカバー15の内部に設けられ
ていて、入口ニップル1を通って供給された衝撃圧を伴
う気体のための膨張室として働く。
【0020】ケーシングカバー15内には、下方、つま
りセンサ素子4に対向して、ディスクとして形成された
通過障壁6が挿入されている。この通過障壁6は、毛細
孔7として作用する直径の小さい3つの軸方向貫通孔を
有している。通過障壁6は膨張室3に対向して膜5を備
えている。この膜5は、少なくとも毛細孔7の領域を覆
い、それにより毛細孔7に直接流入するのを妨げてい
る。反対側、つまりセンサ素子4に対向する側には、拡
散膜8が取り付けられている。
【0021】これにより、ケーシングカバー15内には
衝撃圧を減衰させる実用的にすべての構成部材が包含さ
れる。こうして膨張室3はまず、供給された気体流の脈
動を非常に強く減少させ、気体流は大部分が出口ニップ
ル2を通して再び排出される。比較的わずかな気体量の
みが冒頭に記載した拡散機構を通ってセンサ素子4の内
部に達する。通過障壁6は、まだ残っている圧力および
密度の変動を減少させる。膜5と拡散膜8とは、これに
追加的に寄与する。センサ素子4に衝突する(部分)気
体流は、場合によってはまだ存在している圧力または密
度の変動が測定信号に追加的な誤差を与えない程度に安
定化されている。測定信号は、いわゆる粗信号の形で接
続ピン9を通して提供される。通常これらの粗信号は、
ここから導管を通して評価ユニットに送られ、記憶され
ているセンサ固有のデータを考慮して評価される。
【0022】しかしながら、この例では粗信号が接続ピ
ン9を通して回路基板10に伝達される。回路基板10
はそれ自体公知の成型品11を利用して、センサ素子4
もしくはケーシング下側部16に取り付けられている。
電子回路基板10は、特にセンサタイプの識別とセンサ
信号の二次加工を可能にする電気的構成要素および電子
的構成要素を備えている。この関連において、センサの
動作に必要なデータ、たとえばセンサの感度を含んだ電
子記憶装置モジュール(EEPROM)12が重要であ
る。このように構成すると、センサ一式を交換した後
に、通常必要な評価装置内のセンサデータのアクチュア
ル化を必要としなくなる。これにより、センサの試験と
調製を、測定装置と切り離して独立に、たとえば工場で
行うことができる。事前に加工されたセンサ信号と記憶
装置モジュール12の電気的接触が、共通のプラグコネ
クタ13を介して行われる。
【0023】図2は、図1に示したものの変形例であっ
て、(a)が縦断面図、(b)は上面図である。ケーシ
ングカバー15が補償膜14を有している点で図1と相
異している。補償膜14は、実用的に完全にケーシング
カバー15の全端面にわたって延びており、射出成型法
によって一体的に成形されている。これにより補償膜1
4は、供給された気体流の衝撃圧のリズムで偏向し、そ
れにより膨張室3内部の圧力変動をほぼ補償する。
【0024】この変形例は、膨張室3の容積が小さ過ぎ
て前置されたポンプの圧力変動を十分減衰できない場合
に特に有利である。この変形例によれば、膨張室3の容
積の減少も可能になるので、測定装置全体をより小さく
設計することができる。これにより、強い衝撃圧を生じ
るポンプも使用できる。ポンプと気体センサとの間のチ
ューブ経路が短いので、許容範囲を越えた誤信号も生じ
ない。
【0025】
【発明の効果】具体的な応用例において、本発明の構成
を首尾一貫して使用することにより、(4mmの内径
で)チューブ長さ0.2mを節約でき、しかも測定精度
は損なわれない。このことは、本発明が、扱いやすく簡
単に搬送でき、しかも確実な動作を許容する測定装置を
得るという方向において著しい進歩を意味している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の測定装置の構造を示す図である。
【図2】図1の変形である測定装置の構造を示す図であ
る。
【符号の説明】
1 入口ニップル 2 出口ニップル 3 円筒形開口部(膨張室) 4 センサ素子 5 膜 6 通過障壁 7 毛細孔 8 拡散膜 9 接続ピン 10 電子回路基板 11 成型品 12 記憶装置モジュール 13 プラグコネクタ 14 補償膜 15 ケーシングカバー 16 ケーシング下側部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G01N 27/409 G01N 27/58 B (72)発明者 ジョン フィンボウ イギリス、ハンツ 5051 6 ジービー イースト ウェロー、ロムセイ ロード、 ウエル ハウス (72)発明者 ピーター サリバン イギリス、ウエスト サセックス ピー 020 6 ジービー、チチェスター、タン グミア、チャーチウッド ドライブ 104

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 気相媒質を検査するための測定装置の構
    造であって、 気体の濃度および/または組成に従って電気的信号を発
    生するセンサ素子(4)と、 気体を前記センサ素子に供給するための気体供給部
    (1)と、 気体を前記センサ素子から導き出すための気体排出部
    (2)と、 気体の送り側の圧力変動を減衰する減衰部(3)とを有
    し、 前記減衰部(3)が、センサ素子(4)と気体供給部
    (1)と気体排出部(2)とを収容しているケーシング
    カバー(15)により構成されることを特徴とする、気
    相媒質を検査するための測定装置の構造。
  2. 【請求項2】 前記減衰部(3)が膨張室として形成さ
    れていることを特徴とする、請求項1記載の測定装置の
    構造。
  3. 【請求項3】 前記膨張室(3)がケーシングカバー
    (15)内に設けられており、該ケーシングカバー(1
    5)が前記センサ素子(4)を収容しているケーシング
    下側部(16)の上に載せられていて、気体供給部
    (1)と気体排出部(2)とを担持していることを特徴
    とする、請求項2記載の測定装置の構造。
  4. 【請求項4】 前記膨張室(3)が円筒形中空部として
    形成されており、これに気体供給部(1)と気体排出部
    (2)とが半径方向で互いに対向して開口していること
    を特徴とする、請求項3記載の測定装置の構造。
  5. 【請求項5】 前記ケーシングカバー(15)が弾性的
    にたわむ補償膜(14)として形成された壁部片を有し
    ていることを特徴とする、請求項3または4記載の測定
    装置の構造。
  6. 【請求項6】 前記補償膜(14)がケーシングカバー
    (15)と一体的に射出成形されていることを特徴とす
    る、請求項5記載の測定装置の構造。
  7. 【請求項7】 毛細孔(7)を備えたディスクとして形
    成された通過障壁(6)を有しており、該通過障壁
    (6)がケーシングカバー(15)で膨張室(3)から
    センサ素子(4)への移行部に取り付けられていること
    を特徴とする、請求項3から6のいずれか1項記載の測
    定装置の構造。
  8. 【請求項8】 膜(5)が、膨張室(3)に対向して、
    通過障壁(6)に取り付けられていることを特徴とす
    る、請求項7記載の測定装置の構造。
  9. 【請求項9】 拡散膜(8)が、前記通過障壁(6)と
    前記センサ素子(4)との間に配置されていることを特
    徴とする、請求項7または8記載の測定装置の構造。
  10. 【請求項10】 ケーシング下側部(16)に、好まし
    くはセンサ素子(4)の動作に必要なデータを含んだ電
    子記憶装置モジュール(EEPROM)(12)を有す
    る電子回路(10)が組み込まれていることを特徴とす
    る、請求項1から9のいずれか1項記載の測定装置の構
    造。
JP10059136A 1997-03-14 1998-03-11 気相媒質を検査するための測定装置の構造 Pending JPH10267875A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19710527.0 1997-03-14
DE19710527A DE19710527C2 (de) 1997-03-14 1997-03-14 Meßanordnung zur Untersuchung gasförmiger Medien

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10267875A true JPH10267875A (ja) 1998-10-09

Family

ID=7823323

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10059136A Pending JPH10267875A (ja) 1997-03-14 1998-03-11 気相媒質を検査するための測定装置の構造

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP0864861B1 (ja)
JP (1) JPH10267875A (ja)
AT (1) ATE282203T1 (ja)
DE (2) DE19710527C2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003098139A (ja) * 2001-09-27 2003-04-03 New Cosmos Electric Corp ガス検知器

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19925841C1 (de) * 1999-06-01 2000-11-30 Ufz Leipzighalle Gmbh Durchflussmesszelle
DE10134140C1 (de) * 2001-07-13 2003-01-30 Draegerwerk Ag Strömungsspalt-Begasungsadapter für einen elektrochemischen Gassensor
DE102016003452B4 (de) * 2016-03-23 2023-05-11 Dräger Safety AG & Co. KGaA Elektrochemischer Gassensor

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8319414D0 (en) * 1983-07-19 1983-08-17 Bl Tech Ltd Detecting combustion-supporting constituents in exhaust gas
JPS61127450U (ja) * 1985-01-28 1986-08-09
US4827778A (en) * 1987-11-13 1989-05-09 Mine Safety Appliances Company Liquid separator
JPH0298660A (ja) * 1988-10-05 1990-04-11 Fujikura Ltd ガス濃度センサ
CA2068662C (en) * 1991-07-08 2002-10-29 Peter Goulding Method and apparatus for measuring a parameter of a gas in isolation from gas pressure fluctuations
DE4417665A1 (de) * 1994-05-20 1995-11-30 Testo Gmbh & Co Meßanordnung zur Untersuchung gasförmiger Medien
DE4439285A1 (de) * 1994-11-07 1996-05-15 Gerhard Dr Reis Meßzelle
DE19512062A1 (de) * 1995-03-31 1996-10-02 Gerhard Dr Reis Anschlußarmatur für einen elektrochemischen Sensor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003098139A (ja) * 2001-09-27 2003-04-03 New Cosmos Electric Corp ガス検知器

Also Published As

Publication number Publication date
DE19710527A1 (de) 1998-09-24
EP0864861A1 (de) 1998-09-16
DE59812230D1 (de) 2004-12-16
DE19710527C2 (de) 1999-01-21
ATE282203T1 (de) 2004-11-15
EP0864861B1 (de) 2004-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7395692B2 (en) Portable gas meter
CN100422716C (zh) 气体传感器
US5502308A (en) Diffusion-type gas sample chamber
US8163149B2 (en) Gas-monitoring assembly comprising one or more gas sensors and one or more getters, and method of using same
CN100567975C (zh) 用于检测危险材料的方法和测量系统
US7249490B2 (en) Isolated gas sensor configuration
JP2009544020A (ja) 侵食性外気の中にある湿度センサのための防護装置
US4462872A (en) Method of operating a gas analyzer and solid electrolyte gas sensing apparatus
JPH10267875A (ja) 気相媒質を検査するための測定装置の構造
ATE252726T1 (de) Leckdetektoranordnung und -system
EP0189314A3 (en) Apparatus and method for pulsation damping and flow measurement in liquid fuel system
EP1027592B1 (en) Diffusion-type ndir gas analyzer with convection flow
US7106445B2 (en) Photoacoustic gas sensor utilizing diffusion
JP7065207B2 (ja) 物理量測定装置
US4760739A (en) Ultrasonic transmit-receive probe
US8438933B2 (en) Flowmeter and manifold therefor
US7488449B2 (en) Probe device for measuring ethanol concentrations in an aqueous solution
JP3081338B2 (ja) 酸素分析装置
FR2808884A3 (fr) Analyseur hyperfrequence-acoustique de gaz
JP2003014591A (ja) ガス分析計
JP3068363B2 (ja) 酸素分析装置
SU800860A1 (ru) Электрохимический газоанализатор
KR20230014367A (ko) 자동차 배출가스 측정장치 및 이를 이용한 자동차 배출가스의 측정 방법
JPH0421096Y2 (ja)
JP5288461B2 (ja) ガスセンサ