JP3081338B2 - 酸素分析装置 - Google Patents
酸素分析装置Info
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- JP3081338B2 JP3081338B2 JP04012202A JP1220292A JP3081338B2 JP 3081338 B2 JP3081338 B2 JP 3081338B2 JP 04012202 A JP04012202 A JP 04012202A JP 1220292 A JP1220292 A JP 1220292A JP 3081338 B2 JP3081338 B2 JP 3081338B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は酸素濃度等を測定する酸
素分析装置に関し、特に高ダスト濃度を有する被測定ガ
ス中の酸素濃度を測定するのに好適な酸素分析装置に関
するものである。
素分析装置に関し、特に高ダスト濃度を有する被測定ガ
ス中の酸素濃度を測定するのに好適な酸素分析装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、高温において酸素イオン伝導
性のあるジルコニア等の固体電解質を用い、電気化学反
応を利用した酸素濃淡電池の原理により、製鋼における
各種の炉、その他の工業炉、ボイラー等から排出される
燃焼排ガス中の酸素濃度（または酸素分圧）を検知し、
それらの炉やボイラーの燃焼状態を制御することが知ら
れている。このような工業炉の燃焼排ガス等の被測定ガ
スは、煙道などの通路の中では層状に流れており、この
ため測定点の深さによって酸素濃度の値が大きく異なる
ことが認められている。
性のあるジルコニア等の固体電解質を用い、電気化学反
応を利用した酸素濃淡電池の原理により、製鋼における
各種の炉、その他の工業炉、ボイラー等から排出される
燃焼排ガス中の酸素濃度（または酸素分圧）を検知し、
それらの炉やボイラーの燃焼状態を制御することが知ら
れている。このような工業炉の燃焼排ガス等の被測定ガ
スは、煙道などの通路の中では層状に流れており、この
ため測定点の深さによって酸素濃度の値が大きく異なる
ことが認められている。
【０００３】上述した燃焼状態の制御に使用する酸素分
析装置の一例として、特開昭６０ー８５３６０号公報に
おいて、被測定ガスが供給されるフィルタ以外は機密に
構成した酸素センサ測定部を、測定ガスの流れに対して
その深さ方向に所定の距離を隔てて複数個配置し、測定
深さ方向がそれぞれ異なる箇所における酸素分圧または
酸素濃度を効果的に求めることのできる酸素分析装置を
開示している。しかしながら、上述した酸素分析装置で
は、被測定ガスの流入から流出にいたるガス流路がない
ため、フィルタ内部の空間でのガス置換が遅く、そのた
めガス測定の応答性（時間）が悪くなる問題があった。
析装置の一例として、特開昭６０ー８５３６０号公報に
おいて、被測定ガスが供給されるフィルタ以外は機密に
構成した酸素センサ測定部を、測定ガスの流れに対して
その深さ方向に所定の距離を隔てて複数個配置し、測定
深さ方向がそれぞれ異なる箇所における酸素分圧または
酸素濃度を効果的に求めることのできる酸素分析装置を
開示している。しかしながら、上述した酸素分析装置で
は、被測定ガスの流入から流出にいたるガス流路がない
ため、フィルタ内部の空間でのガス置換が遅く、そのた
めガス測定の応答性（時間）が悪くなる問題があった。
【０００４】この問題を解決するため、本出願人は、特
開平１ー２５０７５３号公報において、酸素センサ測定
部にガス排出口を設け、被測定ガスの置換が速く、その
ためガス測定の応答性が良好な酸素分析装置を開示して
いる。その一例の酸素センサ測定部の縦断面を図６に示
すように、主管４１に装着したセンサ保持具５２に、セ
ンサ留金具４３により酸素センサ４４を装着するととも
に、フィルタ保持具４５によりフィルタ４６を装着す
る。また、このフィルタ４６をフィルタカバー４７で保
護し、酸素センサ４４とフィルタ４６との間に内部空間
４８を構成するとともに、酸素センサ４４を囲んでヒー
タ４９をヒータ保持具５０により設けている。
開平１ー２５０７５３号公報において、酸素センサ測定
部にガス排出口を設け、被測定ガスの置換が速く、その
ためガス測定の応答性が良好な酸素分析装置を開示して
いる。その一例の酸素センサ測定部の縦断面を図６に示
すように、主管４１に装着したセンサ保持具５２に、セ
ンサ留金具４３により酸素センサ４４を装着するととも
に、フィルタ保持具４５によりフィルタ４６を装着す
る。また、このフィルタ４６をフィルタカバー４７で保
護し、酸素センサ４４とフィルタ４６との間に内部空間
４８を構成するとともに、酸素センサ４４を囲んでヒー
タ４９をヒータ保持具５０により設けている。
【０００５】そして、内部空間４８と外部空間とを連通
するガス排出口５１を設け、フィルタ４６からガス排出
口５１に通じる流路および校正ガス導管４２からガス排
出口５１に通じる流路を形成している。また、フィルタ
カバー４７には、側面に例えば４個の被測定ガス流入孔
５３を９０度の角度で等分して設け、被測定ガスをフィ
ルタ４６を経て酸素センサ４４へ供給できるよう構成し
ている。
するガス排出口５１を設け、フィルタ４６からガス排出
口５１に通じる流路および校正ガス導管４２からガス排
出口５１に通じる流路を形成している。また、フィルタ
カバー４７には、側面に例えば４個の被測定ガス流入孔
５３を９０度の角度で等分して設け、被測定ガスをフィ
ルタ４６を経て酸素センサ４４へ供給できるよう構成し
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の酸素分析装置では、重油、ＬＮＧ焚きボイラ等
燃焼排ガス中のダスト濃度が低い条件下では好適に作動
するものの、微粉炭焚きボイラ等燃焼排ガス中のダスト
濃度が高い条件下では、ガス排出口５１を介して内部空
間４８内にまたは酸素センサ４４を保護するためのフィ
ルタカバー４７内にダストが流入、堆積し、その応答性
が経時的に劣化し、酸素分析装置としての機能を喪失し
てしまう問題があった。その結果、酸素分析装置の応答
性を確保するためには、短時間で保守点検を繰り返さな
ければならない問題があった。
た従来の酸素分析装置では、重油、ＬＮＧ焚きボイラ等
燃焼排ガス中のダスト濃度が低い条件下では好適に作動
するものの、微粉炭焚きボイラ等燃焼排ガス中のダスト
濃度が高い条件下では、ガス排出口５１を介して内部空
間４８内にまたは酸素センサ４４を保護するためのフィ
ルタカバー４７内にダストが流入、堆積し、その応答性
が経時的に劣化し、酸素分析装置としての機能を喪失し
てしまう問題があった。その結果、酸素分析装置の応答
性を確保するためには、短時間で保守点検を繰り返さな
ければならない問題があった。
【０００７】本発明の目的は上述した課題を解消して、
被測定ガス中のダスト濃度が高い条件下でも好適に酸素
濃度等を測定することができる酸素分析装置を提供しよ
うとするものである。
被測定ガス中のダスト濃度が高い条件下でも好適に酸素
濃度等を測定することができる酸素分析装置を提供しよ
うとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の酸素分析装置
は、主管と、この主管に装着したセンサ保持具に、セン
サ留金具により酸素センサを装着するとともに、フィル
タ保持具によりフィルタを装着し、このフィルタをフィ
ルタカバーで被測定ガスから保護し、酸素センサとフィ
ルタとの間に内部空間を設けた構造の酸素センサ測定部
と、前記酸素センサ測定部に校正ガス及びエアーを供給
するための校正ガス導管とからなる酸素分析装置におい
て、前記酸素センサ測定部の内部空間を、校正ガス導管
から供給されるエアーがフィルタを介してのみ外部へ放
出される構造とするとともに、前記校正ガス導管と連通
するパージ孔を前記フィルタ保持具に設け、校正ガス導
管から供給されるエアーがパージ孔を介して直接フィル
タに当たるようにしたことを特徴とするものである。
は、主管と、この主管に装着したセンサ保持具に、セン
サ留金具により酸素センサを装着するとともに、フィル
タ保持具によりフィルタを装着し、このフィルタをフィ
ルタカバーで被測定ガスから保護し、酸素センサとフィ
ルタとの間に内部空間を設けた構造の酸素センサ測定部
と、前記酸素センサ測定部に校正ガス及びエアーを供給
するための校正ガス導管とからなる酸素分析装置におい
て、前記酸素センサ測定部の内部空間を、校正ガス導管
から供給されるエアーがフィルタを介してのみ外部へ放
出される構造とするとともに、前記校正ガス導管と連通
するパージ孔を前記フィルタ保持具に設け、校正ガス導
管から供給されるエアーがパージ孔を介して直接フィル
タに当たるようにしたことを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】上述した構成において、酸素センサ測定部から
ガス排出口を取り除き、校正ガス導管からパージ孔を介
して供給されるエアーがフィルタを介してのみ外部へ放
出できるよう構成したため、高ダスト濃度の被測定ガス
の測定に使用しても、従来の例のようにガス排出口を介
して内部空間中に入り込むダストを完全になくすことが
できるとともに、フィルタのパージ作業を簡単に実施す
ることができる。そのため、ガス排出口を有する従来例
よりも多少応答性が低下するが、高ダスト濃度の被測定
ガスの酸素濃度の測定も可能となる。
ガス排出口を取り除き、校正ガス導管からパージ孔を介
して供給されるエアーがフィルタを介してのみ外部へ放
出できるよう構成したため、高ダスト濃度の被測定ガス
の測定に使用しても、従来の例のようにガス排出口を介
して内部空間中に入り込むダストを完全になくすことが
できるとともに、フィルタのパージ作業を簡単に実施す
ることができる。そのため、ガス排出口を有する従来例
よりも多少応答性が低下するが、高ダスト濃度の被測定
ガスの酸素濃度の測定も可能となる。
【００１０】また、フィルタカバー上面にガス流入孔を
設け、フィルタをフィルタ保持具とフィルタカバーでは
さみ込んで固定した場合は、フィルタカバーの側面にガ
ス流入孔を設けた例と比較して、高ダスト濃度の被測定
ガスがフィルタカバーとフィルタの間を通過しないた
め、ダストが堆積することなく好ましい。また、フィル
タを機械的に強固に固定できるため、フィルタの振動、
熱等による欠落を防止することができる。ただしこの例
では、フィルタが被測定ガスに対して露出した状態とな
るため、フィルタを下流側へ向けて煙道内設置すると好
ましい。
設け、フィルタをフィルタ保持具とフィルタカバーでは
さみ込んで固定した場合は、フィルタカバーの側面にガ
ス流入孔を設けた例と比較して、高ダスト濃度の被測定
ガスがフィルタカバーとフィルタの間を通過しないた
め、ダストが堆積することなく好ましい。また、フィル
タを機械的に強固に固定できるため、フィルタの振動、
熱等による欠落を防止することができる。ただしこの例
では、フィルタが被測定ガスに対して露出した状態とな
るため、フィルタを下流側へ向けて煙道内設置すると好
ましい。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の酸素分析装置の一例の構成を
示す図である。図１において、１は被測定ガスである燃
焼排ガスの流れの中へ挿入、設置される主管である。こ
の主管１には、所定間隔で複数個の酸素センサ測定部２
がフィルタカバー３の内側に取り付けられている。ま
た、酸素センサ測定部２を主管１に脱着可能とするた
め、フィルタカバー３に対向する主管部分に開口を形成
し、この開口にセンサ裏蓋４を設けている。酸素センサ
測定部２の脱着の際には、センサ裏蓋４が取り外され、
その開口を通じて酸素センサの脱着が行われる。酸素セ
ンサ測定部２は、主管１に対して、その管軸方向に所定
距離隔てて配置され、この所定間隔としては一般に５０
ｃｍ以上が採用される。
示す図である。図１において、１は被測定ガスである燃
焼排ガスの流れの中へ挿入、設置される主管である。こ
の主管１には、所定間隔で複数個の酸素センサ測定部２
がフィルタカバー３の内側に取り付けられている。ま
た、酸素センサ測定部２を主管１に脱着可能とするた
め、フィルタカバー３に対向する主管部分に開口を形成
し、この開口にセンサ裏蓋４を設けている。酸素センサ
測定部２の脱着の際には、センサ裏蓋４が取り外され、
その開口を通じて酸素センサの脱着が行われる。酸素セ
ンサ測定部２は、主管１に対して、その管軸方向に所定
距離隔てて配置され、この所定間隔としては一般に５０
ｃｍ以上が採用される。
【００１２】主管１の基部には、取付フランジ５及び端
子箱８が設けられ、取付フランジ５によって炉壁７に設
けられた炉壁フランジ６に取り付けられて固定される。
端子箱８には配線、配線孔９が設けられている。なお、
主管１の先端部には空気放出口１０を設けて、図示しな
い空気弁を介して主管１内に連続的に導入された標準ガ
スとしての例えば空気（大気）がこの空気放出口１０か
ら連続的に放出されるように構成している。
子箱８が設けられ、取付フランジ５によって炉壁７に設
けられた炉壁フランジ６に取り付けられて固定される。
端子箱８には配線、配線孔９が設けられている。なお、
主管１の先端部には空気放出口１０を設けて、図示しな
い空気弁を介して主管１内に連続的に導入された標準ガ
スとしての例えば空気（大気）がこの空気放出口１０か
ら連続的に放出されるように構成している。
【００１３】図２は本発明の酸素分析装置における酸素
センサ測定部の取付構造の一例を示す断面図である。図
２において、主管２１に装着したセンサ保持具２２に、
センサ留金具２３により酸素センサ２４を装着するとと
もに、フィルタ保持具２５によりフィルタ２６を装着す
る。また、このフィルタ２６をフィルタカバー２７で保
護し、酸素センサ２４とフィルタ２６との間に内部空間
２８を構成するとともに、酸素センサ２４を囲んでヒー
タ２９をヒータ保持具３０により設けている。そして、
フィルタカバー２７には、側面に例えば４個の被測定ガ
ス流入孔３３を９０度の角度に等分して設け、被測定ガ
スをフィルタ２６を経て酸素センサ２４へ供給できるよ
う構成している。
センサ測定部の取付構造の一例を示す断面図である。図
２において、主管２１に装着したセンサ保持具２２に、
センサ留金具２３により酸素センサ２４を装着するとと
もに、フィルタ保持具２５によりフィルタ２６を装着す
る。また、このフィルタ２６をフィルタカバー２７で保
護し、酸素センサ２４とフィルタ２６との間に内部空間
２８を構成するとともに、酸素センサ２４を囲んでヒー
タ２９をヒータ保持具３０により設けている。そして、
フィルタカバー２７には、側面に例えば４個の被測定ガ
ス流入孔３３を９０度の角度に等分して設け、被測定ガ
スをフィルタ２６を経て酸素センサ２４へ供給できるよ
う構成している。
【００１４】上述した実施例において重要な点は、内部
空間２８を、校正ガス導管３２から供給されるエアーが
フィルタ２６を介してのみ外部へ放出されるよう気密な
構成とするとともに、校正ガス導管３２と連通する８個
のパージ孔３５をフィルタ保持具２５に設け、エアーが
８個のパージ孔３５を介して直接フィルタ２６に当たる
ようにした点である。このように構成することにより、
校正ガス導管３２からパージ孔３５を介してエアーを供
給することによるパージ作業により、フィルタカバー２
７内に堆積したダストの除去を行うことができる。
空間２８を、校正ガス導管３２から供給されるエアーが
フィルタ２６を介してのみ外部へ放出されるよう気密な
構成とするとともに、校正ガス導管３２と連通する８個
のパージ孔３５をフィルタ保持具２５に設け、エアーが
８個のパージ孔３５を介して直接フィルタ２６に当たる
ようにした点である。このように構成することにより、
校正ガス導管３２からパージ孔３５を介してエアーを供
給することによるパージ作業により、フィルタカバー２
７内に堆積したダストの除去を行うことができる。
【００１５】図３は本発明の酸素分析装置における酸素
センサ測定部の取付構造の他の例を示す断面図である。
図３において、図２に示す部材と同一の部材には同一の
符号を付し、その説明を省略する。図３において、主管
２１に装着したセンサ保持具２２に、センサ留金具２３
により酸素センサ２４を装着するとともに、フィルタ保
持具２５およびフィルタカバー２７によりフィルタ２６
を装着する。また、酸素センサ２４とフィルタ２６との
間に内部空間２８を構成するとともに、酸素センサ２４
を囲んでヒータ２９をヒータ保持具３０により設けてい
る。本実施例においても、上述した実施例と同様、内部
空間２８を、校正ガス導管３２から供給されるエアーが
フィルタ２６を介してのみ外部へ放出されるよう気密な
構成とするとともに、校正ガス導管３２と連通する８個
のパージ孔３５をフィルタ保持具２５に設け、エアーが
８個のパージ孔３５を介して直接フィルタ２６に当たる
ようにしている。
センサ測定部の取付構造の他の例を示す断面図である。
図３において、図２に示す部材と同一の部材には同一の
符号を付し、その説明を省略する。図３において、主管
２１に装着したセンサ保持具２２に、センサ留金具２３
により酸素センサ２４を装着するとともに、フィルタ保
持具２５およびフィルタカバー２７によりフィルタ２６
を装着する。また、酸素センサ２４とフィルタ２６との
間に内部空間２８を構成するとともに、酸素センサ２４
を囲んでヒータ２９をヒータ保持具３０により設けてい
る。本実施例においても、上述した実施例と同様、内部
空間２８を、校正ガス導管３２から供給されるエアーが
フィルタ２６を介してのみ外部へ放出されるよう気密な
構成とするとともに、校正ガス導管３２と連通する８個
のパージ孔３５をフィルタ保持具２５に設け、エアーが
８個のパージ孔３５を介して直接フィルタ２６に当たる
ようにしている。
【００１６】本実施例において、上述した実施例と異な
るのは、フィルタ２６をフィルタ保持具２５とフィルタ
カバー２７とではさみ込んでセンサ保持具２２に固定し
て、ガス流入孔３３をフィルタカバー２７の上面とした
点である。このように構成することにより、フィルタカ
バー２７の側面にガス流入孔を設けた例と比較して、高
ダスト濃度の被測定ガスがフィルタカバー２７とフィル
タ２６の間を通過しないため、この間にダストが堆積す
ることはない。また、フィルタ２６の固定を強固にする
ことができ、フィルタ２６の振動、熱等による欠落を防
止できる。その結果、ダストのパージ効果と相まって、
高ダスト濃度を有する被測定ガスの酸素濃度測定を好適
に行うことができる。ただし、本実施例では、フィルタ
２６が被測定ガスに対して露出した状態となり、大きな
ダストが当たると破損する恐れがあるため、煙道に設置
するに際し、フィルタ２６を下流側へ向けると好まし
い。
るのは、フィルタ２６をフィルタ保持具２５とフィルタ
カバー２７とではさみ込んでセンサ保持具２２に固定し
て、ガス流入孔３３をフィルタカバー２７の上面とした
点である。このように構成することにより、フィルタカ
バー２７の側面にガス流入孔を設けた例と比較して、高
ダスト濃度の被測定ガスがフィルタカバー２７とフィル
タ２６の間を通過しないため、この間にダストが堆積す
ることはない。また、フィルタ２６の固定を強固にする
ことができ、フィルタ２６の振動、熱等による欠落を防
止できる。その結果、ダストのパージ効果と相まって、
高ダスト濃度を有する被測定ガスの酸素濃度測定を好適
に行うことができる。ただし、本実施例では、フィルタ
２６が被測定ガスに対して露出した状態となり、大きな
ダストが当たると破損する恐れがあるため、煙道に設置
するに際し、フィルタ２６を下流側へ向けると好まし
い。
【００１７】図３に示した構造の酸素分析装置におい
て、主管２１の長手方向に所定間隔で取り付けられた例
えば４個の酸素センサ２４は、煙道内等の被測定ガスの
流れの中に設置され、深さのそれぞれ異なる箇所におけ
る被測定ガスと接触する。被測定ガスは、図４（Ａ）お
よび（Ｂ）のフィルタカバーを取り付けた状態の平面図
およびその断面図に示されるように、まずフィルタカバ
ー２７の上面に設けられた被測定ガス流入孔３３から入
り、フィルタ２６を通過して、酸素センサ２４の上部の
内部空間２８に流入する。この内部空間２８から有底円
筒状の酸素センサ２４の内側深部に設けられた測定電極
までは、測定ガスの濃度差によるガス拡散および熱対流
によってガス置換が行われる。この際、図６に示す従来
例と比べて、ガス排出口５３がない分だけ応答性が悪く
なるが、実使用上問題はない。
て、主管２１の長手方向に所定間隔で取り付けられた例
えば４個の酸素センサ２４は、煙道内等の被測定ガスの
流れの中に設置され、深さのそれぞれ異なる箇所におけ
る被測定ガスと接触する。被測定ガスは、図４（Ａ）お
よび（Ｂ）のフィルタカバーを取り付けた状態の平面図
およびその断面図に示されるように、まずフィルタカバ
ー２７の上面に設けられた被測定ガス流入孔３３から入
り、フィルタ２６を通過して、酸素センサ２４の上部の
内部空間２８に流入する。この内部空間２８から有底円
筒状の酸素センサ２４の内側深部に設けられた測定電極
までは、測定ガスの濃度差によるガス拡散および熱対流
によってガス置換が行われる。この際、図６に示す従来
例と比べて、ガス排出口５３がない分だけ応答性が悪く
なるが、実使用上問題はない。
【００１８】次に、酸素センサの出力を校正するため、
校正ガスを導入する場合について図５（Ａ）および
（Ｂ）に基づいて説明する。ただし、図面における理解
を明瞭にするため、図５においてはフィルタカバーを省
略して図示している。まず、校正ガスは、ガス導入口３
６およびパージ孔３５を経て、内部空間２８に充満され
る。このとき、内部空間２８は正圧状態となるため、被
測定ガスの流入は阻止される。内部空間２８に充満した
校正ガスの一部は、加圧導入により徐々に酸素センサ４
０の深部へ達し、測定電極と接触させて校正作業を行っ
ている。
校正ガスを導入する場合について図５（Ａ）および
（Ｂ）に基づいて説明する。ただし、図面における理解
を明瞭にするため、図５においてはフィルタカバーを省
略して図示している。まず、校正ガスは、ガス導入口３
６およびパージ孔３５を経て、内部空間２８に充満され
る。このとき、内部空間２８は正圧状態となるため、被
測定ガスの流入は阻止される。内部空間２８に充満した
校正ガスの一部は、加圧導入により徐々に酸素センサ４
０の深部へ達し、測定電極と接触させて校正作業を行っ
ている。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、校正ガス導管からパージ孔を介して供給され
るエアーがフィルタを介してのみ外部へ放出できるよう
構成することにより、高ダスト濃度の被測定ガスの測定
に使用しても、従来の例のようにガス排出口を介して内
部空間に入り込むダストを完全になくすことができると
ともに、フィルタのパージ作業を簡単に実施することが
できる。
によれば、校正ガス導管からパージ孔を介して供給され
るエアーがフィルタを介してのみ外部へ放出できるよう
構成することにより、高ダスト濃度の被測定ガスの測定
に使用しても、従来の例のようにガス排出口を介して内
部空間に入り込むダストを完全になくすことができると
ともに、フィルタのパージ作業を簡単に実施することが
できる。
【図１】本発明の酸素分析装置の一例の構成を示す図で
ある。
ある。
【図２】本発明の酸素分析装置における酸素センサ測定
部の取付構造の一例を示す断面図である。
部の取付構造の一例を示す断面図である。
【図３】本発明の酸素分析装置における酸素センサ測定
部の取付構造の他の例を示す断面図である。
部の取付構造の他の例を示す断面図である。
【図４】本発明の酸素センサに被測定ガスが流入する状
態を説明するための図である。
態を説明するための図である。
【図５】本発明の酸素センサに校正ガスが流入する状態
を説明するための図である。
を説明するための図である。
【図６】従来の酸素分析装置の一例の構成を示す図であ
る。
る。
１、２１ 主管 ２ 酸素センサ測定部 ３、２７ フィルタカバー ２２ センサ保持具 ２３ センサ留金具 ２４ 酸素センサ ２５ フィルタ保持具 ２６ フィルタ ２８ 内部空間 ３２ 校正ガス導管 ３５ ガス流入孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 27/409 G01N 27/26 381
Claims (3)
- 【請求項１】 主管と、この主管に装着したセンサ保持
具に、センサ留金具により酸素センサを装着するととも
に、フィルタ保持具によりフィルタを装着し、このフィ
ルタをフィルタカバーで被測定ガスから保護し、酸素セ
ンサとフィルタとの間に内部空間を設けた構造の酸素セ
ンサ測定部と、前記酸素センサ測定部に校正ガス及びエ
アーを供給するための校正ガス導管とからなる酸素分析
装置において、前記酸素センサ測定部の内部空間を、校
正ガス導管から供給されるエアーがフィルタを介しての
み外部へ放出される構造とするとともに、前記校正ガス
導管と連通するパージ孔を前記フィルタ保持具に設け、
校正ガス導管から供給されるエアーがパージ孔を介して
直接フィルタに当たるようにしたことを特徴とする酸素
分析装置。 - 【請求項２】 前記フィルタカバーの側面にガス流入孔
を設けた請求項１記載の酸素分析装置。 - 【請求項３】 前記フィルタカバー上面にガス流入孔を
設け、前記フィルタをフィルタ保持具とフィルタカバー
ではさみ込んで固定した請求項１記載の酸素分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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