JPH10266957A - トラップ装置 - Google Patents

トラップ装置

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JPH10266957A
JPH10266957A JP8874997A JP8874997A JPH10266957A JP H10266957 A JPH10266957 A JP H10266957A JP 8874997 A JP8874997 A JP 8874997A JP 8874997 A JP8874997 A JP 8874997A JP H10266957 A JPH10266957 A JP H10266957A
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典彦 野村
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哲郎 杉浦
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 トラップと再生・洗浄処理を能率良くかつ迅
速に行い、トラップ効率を上げることで、真空ポンプの
長寿命化、除害装置の保護、ロスタイム削減等により運
転の信頼性の向上を図り、さらに設備や運転コストの低
減を図る。 【解決手段】 気密チャンバから真空ポンプにより排気
する排気経路に配置され、排ガス中の成分を付着させて
除去するトラップ部18を有し、排気経路に隣接してト
ラップ部18に付着した付着物を再生または洗浄する再
生・洗浄経路が設けられ、またトラップ部18を排気経
路と再生・洗浄経路に切替える切替手段30が設けら
れ、トラップ部18は、排ガスの流れ方向に直交する方
向に延びる軸体28に複数の平板状のバッフル板42を
所定のピッチで並設して構成され、排気経路及び再生・
洗浄経路にそれぞれ連通するトラップ室32a及び再生
・洗浄室34aを有するケーシング26内に収納されて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置等の真空チャンバを真空にするために用いる真空排
気システムにおいて用いられるトラップ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の真空排気システムを、図10を参
照して説明する。ここにおいて、真空チャンバ101
は、例えばエッチング装置や化学気相成長装置(CV
D)等の半導体製造工程に用いるプロセスチャンバであ
り、この真空チャンバ101は、配管102を通じて真
空ポンプ103に接続されている。真空ポンプ103
は、真空チャンバ101からのプロセスの排ガスを大気
圧まで昇圧するためのもので、従来は油回転式ポンプ
が、現在はドライポンプが主に使用されている。
【0003】真空チャンバ101が必要とする真空度が
ドライポンプ103の到達真空度よりも高い場合には、
ドライポンプの上流側にさらにターボ分子ポンプ等の超
高真空ポンプが配置されることもある。プロセスの排ガ
スは、プロセスの種類により毒性や爆発性があるので、
そのまま大気に放出できない。そのため、真空ポンプ1
03の下流には排ガス処理装置104が配備されてい
る。大気圧まで昇圧されたプロセスの排ガスのうち、上
記のような大気に放出できないものは、ここで吸着、分
解、吸収等の処理が行われて無害なガスのみが大気に放
出される。なお、配管102には必要に応じて適所にバ
ルブが設けられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】以上のような従来の真
空排気システムにおいては、反応副生成物の中に昇華温
度の高い物質がある場合、そのガスを真空ポンプが排気
するので、昇圧途中でガスが固形化し、真空ポンプ内に
析出して真空ポンプの故障の原因になる欠点がある。
【0005】例えば、アルミのエッチングを行うため
に、代表的なプロセスガスであるBCl3,Cl2 を使
用すると、プロセスチャンバからは、BCl3,Cl2
のプロセスガスの残ガスとAlCl3 の反応副生成物が
真空ポンプにより排気される。
【0006】このAlCl3 は、真空ポンプの吸気側で
は分圧が低いので析出しないが、加圧排気する途中で分
圧が上昇し、真空ポンプ内で析出して固形化し、ポンプ
内壁に付着して真空ポンプの故障の原因となる。これ
は、SiNの成膜を行うCVD装置から生じる(N
42SiF6 やNH4Cl等の反応副生成物の場合も
同様である。
【0007】従来、この問題に対して、 (1)真空ポンプ全体を加熱して真空ポンプ内部で固形
化物質が析出しないようにし、ガスの状態で真空ポンプ
を通過させる。 (2)真空ポンプの上流(吸気側)に水冷クーラを設け
て、析出物をトラップする。 等の対策が施されてきた。
【0008】しかし、(1)の対策では、真空ポンプ内
での析出に対しては効果があるが、その結果として、そ
の真空ポンプの下流に配置される排ガス処理装置で固形
化物が析出し、充填層の目詰まりを生じさせる問題があ
った。また、(2)の対策は、水冷クーラが真空ポンプ
の吸気側に設けられているので、有効なトラップとして
働かないばかりでなく、トラップ後の洗浄等のためにシ
ステムを停止させなければならないので、大きなロスタ
イムができてしまう。
【0009】本発明は上述の事情に鑑みなされたもので
あり、トラップと再生・洗浄処理を能率良くかつ迅速に
行い、トラップ効率を上げることで、真空ポンプの長寿
命化、除害装置の保護、ロスタイム削減等により運転の
信頼性の向上を図り、さらに設備や運転コストの低減を
図ることができるトラップ装置を提供することを目的と
している。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経
路に配置され、排ガス中の成分を付着させて除去するト
ラップ部を有するトラップ装置において、前記排気経路
に隣接して前記トラップ部に付着した付着物を再生また
は洗浄する再生・洗浄経路が設けられ、また前記トラッ
プ部を前記排気経路と前記再生・洗浄経路に切替える切
替手段が設けられ、前記トラップ部は、排ガスの流れ方
向に直交する方向に延びる軸体に複数の平板状のバッフ
ル板を所定のピッチで並設して構成され、前記排気経路
及び再生・洗浄経路にそれぞれ連通するトラップ室及び
再生・洗浄室を有するケーシング内に収納されているこ
とを特徴とするトラップ装置である。
【0011】これにより、長時間の稼働においてもトラ
ップの再生処理のために装置を止めたり、交換のトラッ
プを用意する必要がなく、気密チャンバにおいて安定し
た処理を行なうことができる。また、適当な切替タイミ
ング判定手段を用いて完全な自動化を図ることも容易で
ある。しかも、トラップ室内を流れる排ガスのコンダク
タンスに対する影響を抑えつつ排ガスとバッフル板との
接触面積を大きくして、排ガスに対するトラップ効率を
高めることができる。
【0012】チャンバは、例えば、半導体装置のプロセ
スチャンバであり、必要に応じて、プロセスガスを除害
化する排ガス処理装置を設ける。真空ポンプとしては、
油による逆拡散によるチャンバの汚染を防ぐために排気
経路に潤滑油を用いないドライポンプを用いるのが好ま
しい。
【0013】トラップ部の切替駆動は、エアーシリンダ
で行なうようにしてもよい。その場合は、ソレノイドバ
ルブ、スピードコントローラで構成されたエアー駆動制
御機器により制御するようにしてもよく、さらに、エア
ー駆動制御機器を、シーケンサあるいは、リレーによる
制御信号により、制御するようにしてもよい。
【0014】トラップ部の切替を人手を介することなく
完全に自動的に行なうことができる方法としては、例え
ば、トラップ部の前後の差圧を検出するセンサを設けて
これの検出値が所定値になったときに切替を行なう方
法、あるいはより実用的な方法として予め適当な切替時
間を設定しておく方法がある。排気経路と再生・洗浄経
路が1対1である場合には、トラップと再生または洗浄
の時間は同一となるので、再生または洗浄終了時間の方
が短くなるように再生または洗浄能力をトラップ能力よ
りも高めておくのが好ましい。
【0015】トラップ部を低温トラップとして構成する
場合、外部から温度媒体をトラップ部に流通させる方法
があり、液化ガスの気化熱(例えば液体窒素)、あるい
は冷却水、冷媒などがある。また、熱電素子(ペルチェ
素子)や、パルスチューブ冷凍機などのヘリウム冷凍機
を用いて温度媒体そのものを流さずにトラップ部で低温
を発生させる方法もある。
【0016】請求項2に記載の発明は、前記バッフル板
が前記軸体の軸線を含む断面において屈曲して形成され
ていることを特徴とする請求項1記載のトラップ装置で
ある。これにより、各バッフル板の間での排ガスの流れ
を該バッフル板に沿って波状に屈曲させて、バッフル板
と排ガスとの面積を更に大きくしてトラップ効率を更に
高めることができる。
【0017】請求項3に記載の発明は、前記バッフル板
が前記軸体の軸線に直交する方向に対して傾斜している
ことを特徴とする請求項1に記載のトラップ装置であ
る。これにより、各バッフル板の間での排ガスの流れを
該バッフル板に沿って一方向に屈曲させて、バッフル板
と排ガスとの面積及び接触の機会を大きくし、且つ排ガ
スのコンダクダンスに対する影響を少なくすることがで
きる。
【0018】請求項4に記載の発明は、前記バッフル板
が多孔質材料で構成されていることを特徴とする請求項
1乃至3のいずれかに記載のトラップ装置である。これ
により、排ガスに対するコンダクタンスに影響を与えず
に、しかも例えばN2,CF4,NF3 といった固形化が
極めて困難なガスを低温吸着して採取することができ
る。なお、このように多孔質材料製のバッフル板でトラ
ップ部を構成した場合は、温度を上げることによって再
生を行なうことができる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態について説明する。図1乃至図5に示すのは、気
密チャンバ10を真空ポンプ12により排気する排気経
路14に隣接して再生・洗浄経路16が配置され、この
排気経路14及び再生・洗浄経路16に交差する方向
(以下、交差方向という)に直進移動して切替可能に配
置されたトラップ部18が設けられているものである。
真空ポンプ12は、この例では一段であるが多段として
もよい。真空ポンプ12の後段には排ガスを除害するた
めの排ガス処理装置20が設けられている。再生・洗浄
経路16には、トラップした析出物を加熱して気化さ
せ、あるいは気化したガスを搬送するための再生ガス、
またはこの析出物を洗浄排出する洗浄液が流通させら
れ、下流側には排ガス処理装置22が設けられている。
本実施例では排ガス処理装置20,22は別々に設けた
が、共用してもよい。
【0020】この切替式のトラップ装置は、排気経路1
4と再生・洗浄経路16に跨って配置された直方体状の
ケーシング26と、このケーシング26を交差方向に貫
通する軸体28と、この軸体28を軸方向に往復移動さ
せる切替手段であるエアシリンダ30を備えている。ケ
ーシング26は、内部をトラップ室32aとしたトラッ
プ容器32と、内部を再生・洗浄室34aとした再生・
洗浄容器34とから主に構成されている。
【0021】トラップ容器32には、排気経路14に接
続されてトラップ室32a内にプロセスの排ガスを導入
する排ガス導入口32bと、このトラップ室32a内の
排ガスを排出する排ガス排出口32cが設けられてい
る。また再生・洗浄容器34には、再生・洗浄経路16
に接続されて再生・洗浄室34a内に再生ガスまたは洗
浄液を注入するガス・液注入口34bと、この再生・洗
浄室34a内の再生ガスまたは洗浄液を排出するガス・
液排出口34cが設けられている。
【0022】軸体28には、断熱性を有する素材からな
る一対のシール板40が配置され、その間に複数のバッ
フル板42が熱伝導を良くするために溶接等により軸体
28に一体に取付けられ前記トラップ部18が構成され
ている。
【0023】すなわち、図3に詳細に示すように、軸体
28の軸方向に沿った所定のピッチp1 で複数の円板状
のバッフル板42が軸体28に取付けられてトラップ部
18が構成されている。このピッチp1 は、この各バッ
フル板42間を層状に流れる排ガスのコンダクタンスに
対する影響を抑えられる値に設定されている。これによ
って、バッフル板42と排ガスとの接触面積を大きくし
て、バッフル板42によるトラップ効率を高めることが
できる。
【0024】トラップ容器32の再生・洗浄室34との
隣接側には、バッフル板42は通過できるがシール板4
0は通過できないような大きさの開口部36が設けられ
ている。更に、軸体28のケーシング26からの両突出
部には、ベローズ44が設けられており、排気経路14
及び再生・洗浄経路16と外部環境との間の気密性を維
持している。
【0025】トラップ容器32の前記開口部36を挟ん
だ両側と該開口部36と対面する内面、及び再生・洗浄
容器34の前記開口部36と対面する内面の合計4カ所
には、シール板40の外形に沿った形状に形成されたシ
ール板収納部46が設けられている。シール板40は断
熱性の高い素材で形成されて、トラップ室32aと再生
・洗浄室34aの間の熱移動を阻止するようにしている
とともに、この外周端面は、横断面円状に形成され、こ
こにシール部48が設けられている。このシール部48
は、シール板40の外周端面に設けた凹部40a内にシ
ール材としてのOリング50を嵌着して構成され、この
シール板40がシール板収納部46内に位置した時、O
リング50がシール板収納部46の内周面に圧接するよ
うになっている。このシール板収納部46の内周面は、
シール板40が入り易くなるように、テーパ状に形成さ
れている。
【0026】更に、シール板40の側端面または該側端
面が当接するシール板収納部46の壁面の一方には、第
2のシール部52が設けられている。この例では、1枚
のシール板40の1側端面に第2のシール部52を、3
つのシール板収納部46に第2のシール部52をそれぞ
れ設けた例を示している。すなわち、シール板40の側
端面にリング状の凹部40bを設け、この凹部40b内
にOリング54を嵌着することによって、またシール板
収納部46の壁面にリング状の凹部46aを設け、この
凹部46a内にOリング54を嵌着することによって、
第2のシール部52が構成されている。
【0027】このように、シール板40とケーシング2
6(トラップ容器32及び再生・洗浄容器34)との間
をシール板40の外周端面と側端面で二重にシールする
ことにより、ここでのシールの完全性を図って、排気経
路14と再生・洗浄経路16の気密性を維持している。
【0028】軸体28は、金属等の熱伝導性の良い材料
により形成された2重円筒体として形成され、冷媒供給
管56から供給された冷媒が軸体28の内側の管の内部
を通った後、両管の間の隙間を流れて冷媒排出管58か
ら排出され、これによって、バッフル板42が冷却され
るようになっている。この冷媒としては、例えば液体窒
素のような液体又は冷却された空気又は水等が使用され
る。なお、再生の際には、この冷媒の供給を停止すると
ともに、冷媒の替わりに再生用の加熱用熱媒体を流通さ
せることもできる。
【0029】エアシリンダ30の駆動用のエアー配管
は、図5に示すようになっている。すなわち、エアー源
からのエアーはレギュレータ60で減圧され、ソレノイ
ドバルブ62に送られ、これの電磁信号による開閉の切
替によって制御されてシリンダ30に送られ、ピストン
が前進又は後退をする。この時のシリンダ30の駆動速
度はスピードコントローラ64で制御される。ソレノイ
ドバルブ62は、例えば、シーケンサ、リレー等からの
制御信号により、この例では一定時間毎に切替動作が行
われるように制御される。
【0030】なお、トラップ部18のバッフル板42等
の所定位置に温度センサ66が、また、排気経路14の
トラップ部18の前後に圧力センサ68が設けられ、こ
れにより温度や差圧を検知することができるようになっ
ている。
【0031】次に、前記のような構成の発明の実施の形
態のトラップ装置の作用を説明する。図1に示す位置に
おいて、トラップ室32a内に位置するトラップ部18
には冷媒供給管56から液体窒素や冷却空気又は水等の
冷媒が供給され、これは軸体28と、これを介してバッ
フル板42を冷却する。従って、これに接触した排ガス
中の特定の成分はここで析出してこれらに付着し、トラ
ップされる。この時、排ガスは、各バッフル板42,4
2間を層状にスムーズに流れ、しかも各バッフル板42
との接触面積が大きくなって、トラップ効率が高くな
る。
【0032】所定時間の経過後にエアシリンダ30が動
作し、図2に示すように、トラップ室32aに有ったト
ラップ部18が再生・洗浄室34a内に位置するように
切り替えられる。すると、ガス・液注入口34bから高
温の再生ガスあるいは洗浄液が再生・洗浄室34a内に
注入される。再生ガスが注入された時には、トラップさ
れた析出物が再び気化させられ、気化したガスは再生・
洗浄経路16中から排出され、排ガス処理装置22にお
いて除害処理を受けて放出されるか、あるいは再利用の
ために循環又は貯蔵等される。一方、洗浄液が注入され
た時には、トラップされた析出物はこの洗浄液によって
洗浄されて再生・洗浄室34aから排出され、上記と同
様に処理される。
【0033】ここで、シール板40は断熱性を持ってい
て、トラップ室32aと再生・洗浄室34aが相互に断
熱されているので、熱エネルギーのロスがなく、それぞ
れトラップと再生または洗浄が効率的に行われる。ま
た、軸体28の両突出部は、伸縮するベローズ44によ
り気密を維持されているので、外部との間の熱移動によ
るエネルギーロスや処理の効率低下が抑えられ、安定し
たトラップと再生または洗浄処理が行われるとともに、
外部からの汚染要素が排気経路14に侵入することも防
止される。
【0034】なお、トラップのための冷却手段として、
熱電効果により冷却を行なう熱電素子(ペルチェ素子)
を用いた冷却器を使用しても良いことは勿論である。こ
の種の冷却器は、2枚の金属板の間に熱電素子を間隔を
置いて配置することによって構成される。
【0035】図6は、トラップ装置の他の構成を示すも
ので、ここでは、トラップ容器32の両側に再生・洗浄
容器34が連結されて、トラップ室32aを挟んでこの
両側に一対の再生・洗浄室34aが配置されているとと
もに、軸体28には、3枚のシール板40が等間隔に配
置され、その間にバッフル板42が一体に取付けられ
て、2つのトラップ部18が形成されている。
【0036】この実施の形態では、一方のトラップ部1
8が常に中央のトラップ室32a内に位置し、他方のト
ラップ部18が一方の再生・洗浄室34a内に位置す
る。すなわち、図6において、左側のトラップ部18が
トラップ室32a内に位置する時には、右側のトラップ
部18は右側の再生・洗浄室34a内に位置し、シリン
ダ30の作動によって切り替わった時には、左側のトラ
ップ部18が左側の再生・洗浄室34a内に、右側のト
ラップ部18はトラップ室32a内にそれぞれ位置す
る。これによって、トラップ動作と再生・洗浄動作を同
時に並行して行うことができる。
【0037】これらの実施の形態では、トラップ部18
に設けた温度センサ66や排気経路16に設けた圧力セ
ンサ68の検出値をモニターすることができ、これによ
りトラップの状態を把握して、異常値が出れば警報を発
して必要な処置を採ることができる。すなわち、トラッ
プ部18の温度が異常に上昇したら、析出物が付着して
熱負荷が増えたためと判断され、差圧が上昇した場合も
同様でありうる。これらの異常上昇の際は、例えば、設
定時間前でもトラップを切り替えるように操作する。勿
論、これらのセンサの検出値を基準として、所定の値に
なったら切替を行なうようにしてもよい。
【0038】図7及び図8は、この発明のトラップ部1
8の他の実施の形態を示すものである。すなわち、図7
は、バッフル板70を平板ではなく、軸線を通る断面に
おいて屈曲した形状としている。すなわち、バッフル板
70には、円周方向に延びる山部70aと谷部70bと
が交互に設けられ、これが所定のピッチp2 で軸体28
に一体に取り付けてトラップ部18を構成している。こ
のピッチp2 は、各バッフル板70間を流れる排ガスの
コンダクタンスに対する影響を抑えられる値に設定され
ている。
【0039】この実施の形態では、排ガスとバッフル板
70との接触面積が大きくなっており、さらに、排ガス
がバッフル板70間の波状に屈曲した流路をバッフル板
70の面に当たって方向を変えながら流れるので、トラ
ップ効率を更に高めることができる。なお、この場合、
排ガスのコンダクタンスに対する影響が大きくなるが、
この影響は、このピッチp2 の大きさによって調整する
ことができる。
【0040】図8は、直径方向に沿って一方向に徐々に
傾斜する形状に形成した平板状のバッフル板72を所定
のピッチp3 で軸体28に一体に取り付けてトラップ部
18を構成したものである。ここに、バッフル板72の
傾斜角θ及びピッチp3 は、バッフル板72間を流れる
排ガスのコンダクタンスに対する影響が抑えられる値に
設定されている。
【0041】この実施の形態でも、排ガスとバッフル板
72との接触面積が大きくなっているとともに、バッフ
ル板72は本来の排ガス流れ方向に対して傾斜してお
り、かつ軸体28の上下で流路の方向が変わっているの
で、バッフル板72の間の流路を該バッフル板72に当
たって方向を変えながら流れる。従って、排ガスのコン
ダクタンスに対する影響を少なくしつつ、トラップ効率
を高めることができる。コンダクタンスは、バッフル板
72の傾斜角θ及びピッチp3 を変えることにより容易
に調節することができる。
【0042】なお、前記各実施の形態において、バッフ
ル板42,70,72は、例えばステンレス等の緻密な
材料によって構成され、これによって、再生には、昇温
及び洗浄の双方が行えるようになっているが、これらの
バッフル板42,70,72を、例えばチタン、モネ
ル、インコネル、ハステイロ等の多孔質材料で構成する
こともできる。このように、多孔質材料製のバッフル板
でトラップ部を構成することにより、排ガス流れに対す
るコンダクタンスに影響を与えることなく、例えば
2 ,CF4 ,NF3 等の固形化が極めて困難なガスを
バッフル板に低温吸着させることができる。
【0043】なお、多孔質材料は組織が粗いため、ガス
体の採取はできるが、再生に洗浄が使用できない。この
ため、再生の際には、温度を上げてガス体を排出させる
必要がある。すなわち、例えば、図1及び図2に示すバ
ッフル板42として多孔質材料製のものを使用した場合
には、同図に示す再生・洗浄室34a内に高温の再生ガ
スを導入して再生を行う必要がある。
【0044】図9は、ステンレス等の緻密な材料製のバ
ッフル板からなるトラップ部と、多孔質材料製のバッフ
ル板からなるトラップ部とを組み合わせたトラップ装置
の他の実施の形態を示すものである。
【0045】すなわち、一対のケーシング80a,80
bが備えられ、上流側に位置する一方のケーシング80
a内にステンレス等の緻密な材料製のバッフル板82a
からなるトラップ部18aが、下流側に位置する他方の
ケーシング80b内に多孔質材料製のバッフル板82b
からなるトラップ部18bがそれぞれ収納されている。
【0046】そして、上流側のケーシング80aは、ト
ラップ室84aと再生・洗浄室86aに区分され、この
トラップ室84a内に排ガスが、再生・洗浄室86a内
に高温の再生ガスまたは洗浄液がそれぞれ導入されるよ
うになっている。一方、下流側のケーシング80b内
は、トラップ室84bと再生室86bに区分され、この
トラップ室84b内に上流側のケーシング80aのトラ
ップ室84aを出た排ガスが、再生室86b内に高温の
再生ガスがそれぞれ導入されるようになっている。
【0047】なお、このトラップ部18aは、ケーシン
グ80a内でトラップ室84aと再生・洗浄室86aと
の間を、トラップ部18bは、ケーシング80b内でト
ラップ室84bと再生室86bとの間を、それぞれ移動
自在になっていることは、前述と同様である。
【0048】この実施の形態では、上流側のケーシング
80a内のトラップ部18aで腐食性ガスをトラップ
し、再生・洗浄室86a内に注入した高温の再生ガスま
たは洗浄液で再生を行い、下流側のケーシング80b内
のトラップ部18bで、N2 ,CF4 ,NF3 等の固形
化が極めて困難なガスを採取し、再生室86b内に注入
した高温の再生ガスで再生を行うことができる。
【0049】以上の実施の形態では、トラップ部はケー
シング内を直線的に移動して切り替えられるようになっ
ているが、ケーシングを環状に形成し、トラップ部をロ
ータリー運動させることによって移動させてもよい。こ
の場合には1つの排気経路に対してトラップ部を3以上
設けて2以上の再生・洗浄経路で同時に再生させること
ができる。通常、トラップの速度より再生の速度が遅い
ので、この点は特に有利である。また、ロータリー式で
は2つのトラップ部の場合には再生経路が1つで済むこ
とになる。
【0050】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、長時間の稼働においてもトラップの再生・洗浄処理
のために装置を止めたり、交換のトラップを用意する必
要がなく、気密チャンバにおいて安定した処理を行なう
ことができる。また、適当な切替タイミング判定手段を
用いて完全な自動化を図ることも容易である。従って、
真空ポンプの長寿命化、除害装置の保護、ロスタイム削
減による運転の信頼性の向上、さらには設備や運転コス
トの低減を図ることができる。
【0051】しかも、排ガスのコンダクタンスに影響を
与えることなく、トラップ部でのトラップ効率を高める
とともに、多孔質材料製のバッフル板でトラップ部を構
成することにより、固形化が極めて困難なN2 等をトラ
ップしてリサイクルに用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の1つの実施の形態のトラップ装置の
一部を破断した正面図である。
【図2】図1の実施の形態の切替後の状態を一部を破断
して示す正面図である。
【図3】図1の実施の形態のトラップ部を拡大した
(a)一部を破断した平面図、(b)同側面図である。
【図4】図1の実施の形態の全体の構成を示す模式図で
ある。
【図5】エアシリンダの駆動系を示す図である。
【図6】トラップ装置の他の実施の形態の一部を破断し
た正面図である。
【図7】トラップ部の他の実施の形態の(a)一部を破
断した平面図、(b)側面図である。
【図8】トラップ部の更に他の実施の形態の(a)一部
を破断した平面図、(b)側面図である。
【図9】トラップ装置の更に他の実施の形態を示す断面
図である。
【図10】従来の真空排気システムの構造を示す図であ
る。
【符号の説明】
10 気密チャンバ 12 真空ポンプ 14 排気経路 16 再生・洗浄経路 18,18a,18b トラップ部 26,80a,80b ケーシング 28 軸体 30 エアシリンダ(駆動手段) 32 トラップ容器 32a,84a,84b トラップ室 34 再生・洗浄容器 34a,86a 再生・洗浄室 40 シール板 42,70,72,82a,82b バッフル板 46 シール板収納部 48,52 シール部 86b 再生室

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 気密チャンバから真空ポンプにより排気
    する排気経路に配置され、排ガス中の成分を付着させて
    除去するトラップ部を有するトラップ装置において、 前記排気経路に隣接して前記トラップ部に付着した付着
    物を再生または洗浄する再生・洗浄経路が設けられ、ま
    た前記トラップ部を前記排気経路と前記再生・洗浄経路
    に切替える切替手段が設けられ、 前記トラップ部は、排ガスの流れ方向に直交する方向に
    延びる軸体に複数の平板状のバッフル板を所定のピッチ
    で並設して構成され、前記排気経路及び再生・洗浄経路
    にそれぞれ連通するトラップ室及び再生・洗浄室を有す
    るケーシング内に収納されていることを特徴とするトラ
    ップ装置。
  2. 【請求項2】 前記バッフル板が前記軸体の軸線を含む
    断面において屈曲して形成されていることを特徴とする
    請求項1記載のトラップ装置。
  3. 【請求項3】 前記バッフル板が前記軸体の軸線に直交
    する方向に対して傾斜していることを特徴とする請求項
    1に記載のトラップ装置。
  4. 【請求項4】 前記バッフル板が多孔質材料で構成され
    ていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記
    載のトラップ装置。
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