JPH10263351A - ガス分離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 原料ガスの物理吸着によって吸着剤の性能向
上を図り、排気中の除液を図るようにしたガス分離装置
を提供する。 【解決手段】 原料ガスブロワ３の入口側と真空ポンプ
７の出口側に、熱交換器１２，１３，２２，３２，４
２，５２を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物理吸着法（ＰＳ
Ａ法）による空気分離、酸素製造装置の吸着性能を維持
向上するガス分離装置に関する。また、本発明は、空気
以外の混合ガス、例えば車両の排ガスから炭酸ガスや亜
硫酸ガスや可燃性ガスなどから水素ガスなどの特定ガス
を物理吸着法により選択的に分離するガス分離装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】図６は、従来の酸素製造装置を例示した
もので、分離されるべき空気は入口フィルタ１、入口サ
イレンサ２を介して原料空気ブロワ３により大気圧に対
して水柱５０００ｍｍ以内に昇圧され、吸着塔５又は６
に導入される。吸着塔５又は６内では、空気中の水分と
窒素ガスとが選択的に吸着剤に吸着される結果、塔頂か
ら純度９３％程度の酸素が分離生成される。運転に当っ
ては、片方の吸着塔５又は６のみを稼働させ、この一方
の吸着塔５又は６の吸着剤が吸着ガスで飽和された時点
で、切替弁４，１０が切替えられて他の片方の吸着塔６
又は５に切替えられ、今まで稼働していた吸着塔５又は
６にて吸着されたガスは真空ポンプ７により脱離排気さ
れ、その吸着塔５又は６内が３００Ｔｏｒｒから２００
Ｔｏｒｒ程度の真空状態となって、吸着剤が再生され
る。この吸着と脱離再生とを２箇の吸着塔５，６にて交
互に行ない、酸素が連続的に生産されてサージタンク１
１に送られると共に排気や水分がサイレンサ９から排出
されることになる。なお、真空再生を行なう真空ポンプ
７は、通常シール性を上げて高効率化を計っているため
ポンプ入口よりシール水（封水）８を吹き込む封水式を
採用している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
図６に示す装置では次のような問題が生ずる。 （イ） 真空ポンプ７内でのガスの摩擦によりポンプ出
口のガス温度は８０℃迄上昇し、封水は飽和状態まで蒸
発する。この高温多湿の排気は、真空ポンプ出口サイレ
ンサ９に導入され、気水分離、昇温された後常温の大気
に放出されるが、放出排気は冷却されて水蒸気が凝縮
し、特に冬季は著しく白煙を生じる為、工場周辺の環境
上、問題となることがある。 （ロ） また、窒素を吸着する吸着材は、アルミノシリ
ケート系のゼオライトで４０℃〜４５℃の温度域で、高
性能を発揮するが、２０℃〜２５℃では約１０％程度の
性能低下となる。原料空気は、ブロワ３で昇圧される際
に、１５℃〜２０℃程昇温されるので、大気温度が１５
℃以上では、特に問題無いが、冬季１０℃以下に下がっ
た場合には塔内温度の低下にともない、性能が低下する
問題がある。

【０００４】本発明は、上述の問題点（イ）（ロ）に鑑
み、吸着剤の性能を維持向上すると共に、白煙の発生を
抑えるようにしたガス分離装置の提供を目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成する本
発明は、次の発明特定事項を有する。 （１） ガスを吸着剤を用いた物理吸着によって分離す
るガス分離装置において、原料ガスを昇圧するための原
料ガスブロワの入口側と吸着されたガスを脱離して吸着
剤を減圧再生するための真空ポンプの出口側とに熱交換
器を備えたことを特徴とする。 （２） 上記（１）において、上記原料ガスブロワの入
口側及び上記真空ポンプの出口側それぞれに熱交換器を
設け、これら熱交換器どおしは循環ポンプ及びバッファ
タンクを備えて熱媒体を強制循環させたラインにて連通
したことを特徴とする。 （３） 上記（１）において、上記原料ガスブロワの入
口側及び上記真空ポンプの出口側に銅管式又は平板直行
型のガス／ガス熱交換器を備えたことを特徴とする。 （４） 上記（１）において、上記原料ガスブロワの入
口側及び上記真空ポンプの出口側にユングストローム型
又はロータミュラー型の蓄熱式熱交換器を備えたことを
特徴とする。 （５） 上記（４）において、上記蓄熱式熱交換器では
蓄熱板を翼形状としたことを特徴とする。 （６） 上記（５）において、上記蓄熱式熱交換器で
は、上記原料ガスと上記真空ポンプの排気とを同一方向
のパラレルフローとしたことを特徴とする。 （７） 上記（５）において、上記蓄熱式熱交換器の回
転軸にはフライホイールのみを備えたことを特徴とす
る。 （８） 上記（１）において、上記原料ガスブロワの入
口側及び上記真空ポンプの出口側にガス／ガス熱交換器
と排気サイレンサとを兼用するプレート型熱交換器を備
えたことを特徴とする。 （９） 上記（３），（４），（５）又は（８）におい
て、上記真空ポンプが封水式ルーツブロワである場合に
は、この真空ポンプ出口と熱交換器入口との間に気水分
離器を備えたことを特徴とする。

【０００６】

【発明の実施の形態】ここで、図１〜図５を参照して本
発明の実施の形態について説明する。なお、図６と同一
部分には同符号を示す。すなわち、１は入口フィルタ、
２は入口サイレンサ、３は昇圧する原料空気ブロワ、
５，６は交互に用いられる吸着塔、４，１０は一方の吸
着塔５又は６を稼働させ他方の吸着塔６又は５を脱離再
生させる切替弁、７は封水式真空ポンプ、９はサイレン
サ、１１はサージタンクである。

【０００７】第１実施例を示す図１においては、更に、
吸着塔５，６内の吸着剤の性能を発揮させるべく原料空
気を昇温させる熱交換器１２と高温多湿の排気温を低下
させるための熱交換器１３とが、熱媒体を強制循環させ
る循環ポンプ１５及びバッファタンク１４を有する管路
にて連通されている。そして。この熱交換器１２及び熱
交換器１３は、原料空気ブロワ３の入口側及び真空ポン
プ７の出口側に備えられ、熱交換器１３にて真空ポンプ
７の排気を大気温度付近まで冷却して排気中の水分を凝
縮させ、出口サイレンサ９の下部にて気水分離され排気
の白煙を防止すると共に、熱交換器１３にて排気から熱
媒体に回収された熱が原料空気ブロワ３の入口側の熱交
換器１２にて原料空気に伝達され約１５℃〜２０℃程度
昇温させることになる。この場合、吸着剤としては、ア
ルミノシリケート系ゼオライトにアルカリ金属あるいは
アルカリ土類金属を担持させたものを用いる。

【０００８】なお、熱交換器１２及び１３内を通過する
気体の圧力損失を、高々水柱２００ｍｍ以内に収まる様
に設計する事により、吸着塔５，６内の吸着圧力あるい
は真空減圧圧力損失による空気分離性能への影響は僅か
に１％未満であり、原料空気ブロワ３乃至真空ポンプ７
の容量を変える事無く、塔内昇温に依る１０％以上の性
能を保全できる効果の方がはるかに大きい。熱媒体に工
業用水等の冷却水を用いた場合には、循環ポンプ１５と
バッファータンク１４により強制循環させ、熱喚流率を
向上させているが、４０℃以上で蒸発し、２０℃以下で
凝縮する熱媒体を用いれば、ヒートパイプが適用でき、
循環ポンプ１５とバッファータンク１４を省く事ができ
る。

【０００９】冬季５℃〜１０℃の大気は、熱交換器１２
で２０℃〜２５℃に昇温され、原料空気ブロワ３で４０
℃〜４５℃に加熱されて吸着塔５乃至６に導入され、窒
素が吸着される間に吸着剤を４０℃付近まで暖める作用
をする。この結果、吸着剤雰囲気温度は、４０℃付近に
保たれて温度降下に依る性能の低下が防止できる。ま
た、約８０℃まで昇温された高温多湿の真空ポンプ７の
排気は、熱交換器１３により、１５℃〜２０℃まで冷却
され、排気中の水蒸気の８５％は、凝縮液化されて、出
口サイレンサ９下部で気水分離され、放出される排気は
５℃〜１０℃の外気に触れた排気の白煙の発生は著しく
低減させる事ができる。

【００１０】図２は、第２実施例であり、原料空気ブロ
ワ３の入口側と真空ポンプ７の出口側に、真空ポンプ排
熱エネルギを原料空気に回収すべく、熱媒体を介在させ
ることなく間接的に熱交換する銅管式あるいは平板直行
型のガス／ガス熱交換器２２を設けたものである。ま
た、真空ポンプ７と熱交換器２２との間には、気水分離
器１６が配置され、このガス／ガス熱交換器２２に排気
が入る前に封水式ルーツブロワである真空ポンプ７の封
水の水滴を除去している。ガス／ガス熱交換器２２は、
原料空気の加熱のみならず高温多湿の真空ポンプ排気中
の湿分凝縮器としても機能しており、クリーンな冬季５
℃〜１０℃の低温空気は、例えばフィン付管内を原料空
気ブロワ３に吸引されて流下する一方、８０℃程度の高
温多湿の真空ポンプ７排気は管外を流れ、凝縮した湿分
は、ケーシング下部のドレンポットに集められて系外に
排出される。

【００１１】なお、ガス／ガス熱交換器２２を流れる空
気と真空ポンプ７の排気は、熱交換器管に急激な温度変
化を与えない事と、熱伝達率を向上させる事、更に機器
配管の無駄のない配置計画を行う為に、流れ方向が逆流
するカウンターフローとし、また、フィン付鋼管は、管
外で凝縮する水滴を効果的に落下させる為水平設置が好
ましい。更に、真空ポンプ７の型式に封水を用いない乾
式を採用した場合には、出口側の気水分離器１６を省く
ことができる。この場合でも、真空ポンプ排気中には、
原料空気中の湿分が、濃縮分離されて混入しているの
で、ガス／ガス熱交換器２２は白煙防止の為にも機能す
る。

【００１２】この第２実施例は、図１の第１実施例と比
べて排気中の熱回収のための熱交換器が一台少ない。総
合熱交換効率は、各熱交換器の効率の積になるため、第
２実施例では、主として放熱に依る熱損失が約１０％程
少なくなる。

【００１３】図３は、第３実施例であり、原料空気ブロ
ワ３の入口側と真空ポンプ７の出口側に、真空ポンプ排
熱エネルギを原料空気に回収すべく、熱媒体を介在させ
ることなく間接的に熱交換する例えばユングストローム
型あるいはロータミュラー型の蓄熱式熱交換器３２を設
けたものである。なお、図３（ａ）は縦置型、図３
（ｂ）は横置型を例示しており、モータや減速機によ
り、この熱交換器３２が回転させられ排熱エネルギから
の熱を得た蓄熱板が原料空気ラインに至って放熱するよ
うになっている。

【００１４】この蓄熱式熱交換器３２は、高温多湿の真
空ポンプ７の排気中の湿分凝縮器としても機能してお
り、クリーンな冬季５℃〜１０℃の低温空気は、例えば
耐食コーチング施工された鋼板を冷却しながら、原料空
気ブロワ３に吸引されて流下する。一方、８０℃程度の
高温多湿の真空ポンプ排気は、冷却された鋼板と接触し
ながら、湿分が凝縮され、ケーシング下部のドレンポッ
トに集められて系外に排出される。なお、通常真空ポン
プ７は、比較的安価で高効率である封水式ルーツブロワ
が採用されており、真空ポンプ排気が、蓄熱式熱交換器
３２に入る前に、気水分離器１６ａによって、封水の水
滴が除去されている。蓄熱式熱交換器３２を流れる空気
と真空ポンプ排気は、蓄熱鋼板に急激な温度勾配を与え
ない事と、熱伝達率を向上させる事、更に機器配管の無
駄のない配置計画を行う為に流れ方向が逆流するカウン
ターフローが好ましい。

【００１５】なお、真空ポンプ７の型式に封水を用いな
い乾式を採用した場合には、出口の気水分離器１６ａを
省く事ができる。この場合でも、真空ポンプ排気中に
は、原料空気中の湿分が、濃縮分離されて混入してお
り、蓄熱式熱交換器３２は白煙防止の為にも機能する。
一方、蓄熱式熱交換器３２の内部では、冬季５℃〜１０
℃の低温空気が、原料空気ブロワ３に吸引されて、大気
圧よりも低い水中−２００ｍｍ〜−５００ｍｍの圧力雰
囲気中で、８０℃程度の真空ポンプ排気により加熱され
た蓄熱鋼板と接触しながら、２０℃〜２５℃に加熱され
るが、この際、蓄熱式熱交換器３２の構造上大気圧より
水中２００ｍｍ〜５００ｍｍの圧力を持つ高温多湿の真
空ポンプ出口ガスの一部約１０％程度が、低圧空気側に
漏れ込み、湿分が凝縮して水滴が発生する。このため、
原料空気ブロワ３の出口側にも気水分離器１６ｂを配置
してこの水滴を取り除いている。この蓄熱式熱交換器３
２を用いたシステムでは、高温多湿排気の一部の空気側
への流入により、空気中の湿分量が増加するため、吸着
塔下部（入口斜線部）のアルミナ等の除湿剤充填量を増
加して、ゼオライト系窒素吸着剤を保護している。

【００１６】この第３実施例では、排気中の湿分の一部
が蓄熱式熱交換器３２を介して空気中に再循環され除湿
剤に吸着される際に発生する吸着熱により、原料空気が
２℃〜３℃程度加温されるので、この再循環ガスを積極
的に利用して、窒素吸着剤の冬季温度低下を多少抑制す
ることができる。また、第２実施例に比べて、熱交換率
を高く取れるため、伝熱面積が小さくなり、設置方法
も、縦置きと横置きの選択が可能であることから、設置
面積に制約がある場合には、有効な手段となる。

【００１７】図４は、第４実施例であり、真空ポンプ排
気熱エネルギを原料空気に回収するために、熱媒体を介
せず間接的に熱交換する、例えばユングストローム型あ
るいはロータミュラー型の蓄熱式熱交換器４２を設けて
いる点は、図３に示す第３実施例と同じである。ただ、
この第４実施例では、蓄熱される耐食コーチングされて
いる鉄等の金属面が翼形状となっており、上述の図３に
示す第３実施例の如く回転式熱交換器の様に、モータと
減速ギアによって蓄熱板を回転させているのでは無く、
通過する空気あるいは排気の持つエネルギすなわち原料
空気ブロワ３あるいは真空ポンプ７のエネルギを利用し
て、蓄熱翼を例えば回転数１ｒｐｍ程度の緩やかな速度
で回転させる事により、モータとギヤを省き、省エネル
ギ化と省スペース化を計ったもので有る。なお、回転を
滑らかにさせる為に、回転軸には、フライホール１７が
設けられている。

【００１８】この蓄熱式熱交換器４２は、高温多湿の真
空ポンプ排気中の湿分凝縮器としても機能しており、ク
リーンな冬季５℃〜１０℃の低温空気は、例えば耐食コ
ーチング施工された鋼板を冷却しながら、原料空気ブロ
ワ３に吸引されて流下する一方、８０℃程度の高温多湿
の真空ポンプ排気は、冷却された鋼板と接触しながら、
湿分が凝縮され、ケーシング下部のドレンポットに集め
られて系外に排出される。なお、通常真空ポンプ７は、
比較的安価で高効率である封水式ルーツブロワが採用さ
れており、真空ポンプ排気が、蓄熱式熱交換器４２に入
る前に、気水分離器１６ａによって、封水の水滴が除去
されている。蓄熱式熱交換器４２を流れる空気と真空ポ
ンプ排気は、凝縮効果を向上させる事と、翼型蓄熱板を
同一方向に回転させる為に、流れ方向が向流するパラレ
ルフローとしている。なお、真空ポンプ７の型式に封水
を用いない乾式を採用した場合には、出口の気水分離器
１６ａを省く事ができる。この場合でも、真空ポンプ排
気中には、原料空気中の湿分が、濃縮分離されて混入し
ており、蓄熱式熱交換器４２は白煙防止の為にも機能す
る。

【００１９】一方、蓄熱式熱交換器４２の内部では、冬
季５℃〜１０℃の低温空気が、原料空気ブロワ３に吸引
されて、大気圧よりも低い水中−２００ｍｍ〜−５００
ｍｍの圧力雰囲気中で、８０℃程度の真空ポンプ排気に
より加熱された蓄熱鋼板と接触しながら、２０℃〜２５
℃に加熱されるが、この際、大気圧より水中２００ｍｍ
〜５００ｍｍの圧力を持つ高温多湿の真空ポンプ出口ガ
スの一部約１０％程度が、低圧空気側に漏れ込み、湿分
が凝縮して水滴が発生する。この水滴は、原空ブロワ３
を流下し出口に設置された、気水分離器１６ｂにより取
り除かれて、系外に排出される。この蓄熱式熱交換器４
２を用いたシステムでは、高温多湿排気の一部の空気側
への流入により、空気中の湿分量が増加するため、吸着
塔下部（入口斜線部）のアルミナ等の除湿剤充填量を増
加して、ゼオライト系窒素吸着剤を保護している。

【００２０】この第４実施例では、排気中の湿分の一部
が蓄熱式熱交換器４２を介して空気中に再循環され除湿
剤に吸着される際に発生する吸着熱により、原料空気が
２℃〜３℃程度加温されるので、この再循環ガスを積極
的に利用して、窒素吸着剤の冬季温度低下を多少抑制す
ることができる。また、第２実施例に比べて、熱交換率
を高く取れるため、伝熱面積が小さくなり、設置方法
も、縦置きと横置きの選択が可能であることから、設置
面積に制約がある場合には、有効な手段となる。更に、
第３実施例に比べて、回転蓄熱式熱交換器の回転駆動用
モータとギヤを省き、動力を節約する事が出来る。

【００２１】図５は、第５実施例であり、真空ポンプ排
気熱エネルギを原料空気に回収するために、熱媒体を介
せず間接的に熱交換する平板直行型ガス／ガス熱交換器
を設けた第２実施例の熱交換器２２を真空ポンプ７の排
気サイレンサ９の内部に組み込んだもので有る。このガ
ス／ガス熱交換器５２は、高温多湿の真空ポンプ排気中
の湿分凝縮器としても機能しており、クリーンな冬季５
℃〜１０℃の低温空気は、交流する平板内を水平に原料
空気ブロワ３に吸引されて流下する。一方、８０℃程度
の高温多湿の真空ポンプ排気は平行平板で隣接して仕切
られた排気側を垂直上方に流れ、凝縮した湿分は、重力
分離と接触分離効果で落下し、ケーシング下部のドレン
ポットに集められて系外に排出される。なお、通常真空
ポンプ７は、比較的安価で高効率である封水式ルーツブ
ロワが採用されており、真空ポンプ排気が、ガス／ガス
熱交換器５２に入る前に、気水分離器１６によって、封
水の水滴が前処理除去されている。ガス／ガス熱交換器
５２を流れる空気と真空ポンプ排気は、熱交換器管に急
激な温度変化を与えない事と、熱伝達率を向上させる
事、更に機器配管の無駄のない配置計画を行う為に、流
れ方向が逆流するクロスフローが好ましい。なお、真空
ポンプ７の型式に封水を用いない乾式を採用した場合に
は、出口の気水分離器１６を省く事ができる。この場合
でも、真空ポンプ排気中には、原料空気中の湿分が、濃
縮分離されて混入しており、ガス／ガス熱交換器５２は
白煙防止の為にも機能する。

【００２２】第２実施例に加えて、第５実施例は、排気
サイレンサ９と熱交換器５２を兼用する事により、部品
点数と設置スペースを大幅に節約することができる。

【００２３】上述の例においては、原料空気を分離して
酸素を製造する装置について述べたのであるが、原料空
気のみならず排ガスからＣＯ₂ や亜硫酸ガスの分離、可
燃性ガスから水素ガスの分離などのように混合ガスから
特定ガスを物理吸着する場合にも応用でき、吸着剤の性
能維持向上を図ることができる。

【００２４】

【発明の効果】以上実施例にて説明したように、本発明
によれば、次の効果を有する。第１に、ガスを吸着剤を
用いた物理吸着によって分離するガス分離装置におい
て、原料ガスを昇圧するための原料ガスブロワの入口側
と吸着されたガスを脱離して吸着剤を減圧再生するため
の真空ポンプの出口側とに熱交換器を備えたことによ
り、真空ポンプからの排熱にて原料ガスを加温できると
共に真空ポンプの排ガスを低温化させて液化するものを
滴下させることができ、吸熱塔内の吸熱剤の性能を維持
向上でき、排気内の液化部分を結露させて白煙の発生を
除去又は軽減できる。第２に上記原料ガスブロワの入口
側及び上記真空ポンプの出口側それぞれに熱交換器を設
け、これら熱交換器どおしは循環ポンプ及びバッファタ
ンクを備えて熱媒体を強制循環させたラインにて連通し
たことにより、強制循環により熱還流率を向上させるこ
とができる。第３に、上記原料ガスブロワの入口側及び
上記真空ポンプの出口側に銅管式又は平板直行型のガス
／ガス熱交換器を備えたことにより、１台の熱交換器で
済み、しかもこのために熱損失が減少する。第４に、上
記原料ガスブロワの入口側及び上記真空ポンプの出口側
にユングストローム型又はロータミュラー型の蓄熱式熱
交換器を備えたことにより、排気の一部が原料ガス中に
再循環され除湿剤による処理にて吸着熱を発生すること
で加温が促進され、また、蓄熱式のため熱交換率が高く
とれ、更には構造上縦横いずれにも置くことができる。
第５に、上記蓄熱式熱交換器では蓄熱板を翼形状とした
ことにより、原料ガスや排気にて回転が可能となり、回
転駆動部が不要となる。第６に、上記蓄熱式熱交換器で
は、上記原料ガスと上記真空ポンプの排気とを同一方向
のパラレルフローとしたことにより、原料ガスと排気と
の双方にて回転駆動ができ、回転駆動部は必要なくな
る。第７に、上記蓄熱式熱交換器の回転軸にはフライホ
イールのみを備えたことにより、円滑な自走運転が可能
となる。第８に、上記原料ガスブロワの入口側及び上記
真空ポンプの出口側にガス／ガス熱交換器と排気サイレ
ンサとを兼用するプレート型熱交換器を備えたことによ
り、部品点数と設置スペースを大幅に節約することがで
きる。第９に、上記真空ポンプが封水式ルーツブロワで
ある場合には、この真空ポンプ出口と熱交換器入口との
間に気水分離器を備えたことにより、封水の水滴が除去
するようにしたので、熱交換器への排気湿気を低下する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の第１実施例の構成図。

【図２】第２実施例の構成図。

【図３】第３実施例の構成図。

【図４】第４実施例の構成図。

【図５】第５実施例の構成図。

【図６】従来例の構成図。

【符号の説明】

３ 原料ガスブロワ ５，６ 吸着塔 ７ 真空ポンプ １２，１３，２２，３２，４２，５２ 熱交換器 １４ バッファタンク １５ 循環ポンプ １６，１６ａ，１６ｂ 気水分離器 １７ フライホイール

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガスを吸着剤を用いた物理吸着によって
   分離するガス分離装置において、 原料ガスを昇圧するための原料ガスブロワの入口側と吸
   着されたガスを脱離して吸着剤を減圧再生するための真
   空ポンプの出口側とに熱交換器を備えたことを特徴とす
   るガス分離装置。
2. 【請求項２】 上記原料ガスブロワの入口側及び上記真
   空ポンプの出口側それぞれに熱交換器を設け、これら熱
   交換器どおしは循環ポンプ及びバッファタンクを備えて
   熱媒体を強制循環させたラインにて連通したことを特徴
   とする請求項１記載のガス分離装置。
3. 【請求項３】 上記原料ガスブロワの入口側及び上記真
   空ポンプの出口側に銅管式又は平板直行型のガス／ガス
   熱交換器を備えたことを特徴とする請求項１記載のガス
   分離装置。
4. 【請求項４】 上記原料ガスブロワの入口側及び上記真
   空ポンプの出口側にユングストローム型又はロータミュ
   ラー型の蓄熱式熱交換器を備えたことを特徴とする請求
   項１記載のガス分離装置。
5. 【請求項５】 上記蓄熱式熱交換器では蓄熱板を翼形状
   としたことを特徴とする請求項４記載のガス分離装置。
6. 【請求項６】 上記蓄熱式熱交換器では、上記原料ガス
   と上記真空ポンプの排気とを同一方向のパラレルフロー
   としたことを特徴とする請求項５記載のガス分離装置。
7. 【請求項７】 上記蓄熱式熱交換器の回転軸にはフライ
   ホイールのみを備えたことを特徴とする請求項５記載の
   ガス分離装置。
8. 【請求項８】 上記原料ガスブロワの入口側及び上記真
   空ポンプの出口側にガス／ガス熱交換器と排気サイレン
   サとを兼用するプレート型熱交換器を備えたことを特徴
   とする請求項１記載のガス分離装置。
9. 【請求項９】 上記真空ポンプが封水式ルーツブロワで
   ある場合には、この真空ポンプ出口と熱交換器入口との
   間に気水分離器を備えたことを特徴とする請求項３，
   ４，５又は８記載のガス分離装置。