JPH10260033A - Three-dimensional measuring system - Google Patents

Three-dimensional measuring system

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Publication number
JPH10260033A
JPH10260033A JP6690897A JP6690897A JPH10260033A JP H10260033 A JPH10260033 A JP H10260033A JP 6690897 A JP6690897 A JP 6690897A JP 6690897 A JP6690897 A JP 6690897A JP H10260033 A JPH10260033 A JP H10260033A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coordinate system
measurement
new coordinate
work
probe
Prior art date
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Pending
Application number
JP6690897A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsuo Kimura
哲郎 木村
Takashi Noda
孝 野田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp, Mitsutoyo Kiko Co Ltd filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP6690897A priority Critical patent/JPH10260033A/en
Publication of JPH10260033A publication Critical patent/JPH10260033A/en
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To automatically measure an object without interference between a prove and the object even when the object is set unsuitably in a three- dimensional measuring system which employs a rotational prove. SOLUTION: By photographing a work 7 with image pick-up means 8, 9, calculating temporary new coordinate system from collected image information, and performing temporary measurement to provide true new coordinate system on the basis of the temporary new coordinate system, true new coordinate system is determined in which the work 7 is a basis. Setting the determined true new coordinate system to be standard, angle indication values ϕ, θ of the rotational prove 17 which are included in measurement indications such as a part program is determined.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、回転式プローブ
を使用した三次元測定機に関し、特に回転式プローブと
測定対象との干渉を防止して、自動測定を円滑にするこ
とができるようにした三次元測定システムに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a three-dimensional measuring machine using a rotary probe, and more particularly, to preventing automatic interference between the rotary probe and an object to be measured, thereby facilitating automatic measurement. The present invention relates to a three-dimensional measurement system.

【0002】[0002]

【従来の技術】CNC三次元測定システムでは、ホスト
コンピュータからの指令により、プローブを予め設定さ
れたパートプログラムによって自動的に駆動する。CN
C三次元測定システムで同一測定物を複数測定する場合
には、測定物のセット位置がずれないように、測定物を
固定する治具を使用し、この固定用治具により人が介在
しない自動測定を実現している。
2. Description of the Related Art In a CNC three-dimensional measuring system, a probe is automatically driven by a preset part program according to a command from a host computer. CN
When measuring the same object multiple times with the C three-dimensional measurement system, use a jig that fixes the object so that the set position of the object does not shift. The measurement has been realized.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、固定用
治具を使用しても、三次元測定システムに回転式プロー
ブを使用した場合、測定物のセット位置の微妙なずれや
測定物基準面の加工精度等に起因して、プローブの移動
軌跡と測定物とが干渉することがあった。これを図9を
参照して説明する。図9(a)に示すように、回転式プ
ローブ81の回転角θは、ワーク82が予め想定された
位置及び姿勢でセットされているときに、ワーク82の
測定すべき小穴83の形状にプローブ81が最も適合す
る角度に設定されるが、同図(b)に示すように、ワー
ク82が傾いてセットされると、小穴83の方向とプロ
ーブ81の方向とがずれて、プローブ81がワーク82
に干渉してしまうことがある。特に、測定すべき小穴が
プローブの径に近い場合や回転式プローブの回転可能な
角度が間欠式であったりすると、このような傾向が顕著
に現れる。また、このような理由から、回転式プローブ
を使用した場合には、固定用治具を全く使用しないで自
動測定を行うことは困難である。
However, even if a fixing jig is used, when a rotary probe is used in the three-dimensional measuring system, a slight displacement of the set position of the measured object and processing of the reference surface of the measured object. Due to the accuracy or the like, the movement locus of the probe may interfere with the measured object. This will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 9 (a), the rotation angle θ of the rotary probe 81 is set so that when the work 82 is set at a position and posture assumed in advance, the shape of the small hole 83 to be measured of the work 82 is changed. 81 is set to the most suitable angle. However, as shown in FIG. 8B, when the work 82 is set to be inclined, the direction of the small hole 83 and the direction of the probe 81 are shifted, and the probe 81 82
May interfere. In particular, when the small hole to be measured is close to the diameter of the probe or when the rotatable angle of the rotary probe is an intermittent type, such a tendency is remarkable. For such a reason, when a rotary probe is used, it is difficult to perform automatic measurement without using any fixing jig.

【0004】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、回転式プローブを使用した三次元測定システムに
おいて、測定対象がずれてセットされた場合でもプロー
ブと測定対象とが干渉することがなく自動測定に支障を
来すことがない三次元測定システムを提供することを目
的とする。本発明は、また、固定治具を使用しなくても
回転式プローブを使用した自動測定を可能にする三次元
測定システムを提供することを他の目的とする。
The present invention has been made in view of such a point, and in a three-dimensional measurement system using a rotary probe, even if the measurement object is set with a deviation, the probe and the measurement object may interfere with each other. It is an object of the present invention to provide a three-dimensional measurement system that does not interfere with automatic measurement without any problem. Another object of the present invention is to provide a three-dimensional measurement system that enables automatic measurement using a rotary probe without using a fixing jig.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明に係る三次元測定
システムは、測定対象を撮像する撮像手段と、この撮像
手段で得られた前記測定対象の画像情報から前記測定対
象を基準とした仮の新座標系を算出する手段と、この手
段で算出された仮の新座標系に基づいて前記測定対象を
仮測定して前記測定対象を基準とした真の新座標系を算
出する手段と、この手段で算出された真の新座標系に基
づいて測定指示に含まれる回転式プローブの角度指示値
を設定する手段とを備えたことを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a three-dimensional measuring system, comprising: an image pickup means for picking up an image of a measurement object; and a temporary image based on the measurement object based on image information of the measurement object obtained by the image pickup means. Means for calculating a new coordinate system, means for temporarily measuring the measurement target based on the temporary new coordinate system calculated by this means, and calculating a true new coordinate system based on the measurement target, Means for setting an angle indication value of the rotary probe included in the measurement instruction based on the true new coordinate system calculated by this means.

【0006】本発明によれば、測定対象を撮像手段によ
って撮像し、得られた画像情報から測定対象の仮の新座
標系を算出し、この仮の新座標系に基づいて、真の新座
標系を求めるための仮測定を行うことにより、測定対象
を基準とする真の新座標系を求める。そして、求められ
た真の新座標系を基準として、パートプログラム等の測
定指示に含まれる回転式プローブの角度指示値を決定す
るようにしているので、測定対象の位置、姿勢等が予定
されている位置や姿勢からずれている場合でも、測定対
象の座標系を基準として最も適切な角度指示値を設定す
ることができる。このため、回転式プローブを使用して
も測定対象とプローブとが干渉するのを回避することが
でき、固定用治具等を使用しなくても自動測定が可能に
なる。
According to the present invention, an object to be measured is imaged by the imaging means, a temporary new coordinate system of the object to be measured is calculated from the obtained image information, and the true new coordinate system is calculated based on the temporary new coordinate system. By performing tentative measurement for obtaining the system, a true new coordinate system based on the measurement target is obtained. Then, based on the obtained true new coordinate system, the angle instruction value of the rotary probe included in the measurement instruction of the part program or the like is determined, so that the position, orientation, and the like of the measurement target are scheduled. Even when the position and orientation are different from each other, the most appropriate angle instruction value can be set based on the coordinate system of the measurement target. For this reason, even if a rotary probe is used, it is possible to avoid interference between the measurement target and the probe, and automatic measurement can be performed without using a fixing jig or the like.

【0007】[0007]

【実施例】以下、添付の図面を参照してこの発明の実施
例に係る三次元測定システムについて説明する。図1
は、このシステムの概略構成を示す斜視図である。公知
の特殊空気式の除振装置1の上には除振装置用特殊架台
2が載置され、更にこの特殊架台2の上の一方の側には
三次元測定機3が、また他方の側には第1の照明装置4
がそれぞれ設置されている。三次元測定機3は、ベース
となる定盤11と、この定盤11の両側端のY軸ガイド
12に沿ってY軸方向に移動すると共に定盤11の両側
端を連絡するブリッジ形のアーム支持体13と、このア
ーム支持体13のX軸ガイド14に沿ってX軸方向に移
動するZ軸ガイド15と、このZ軸ガイド15に沿って
Z軸方向に移動するアーム16と、このアーム16に支
持された測定用の回転式プローブ17とを備えて構成さ
れている。また、三次元測定機3には、プローブ交換の
ためのプローブ自動交換装置18が備えられている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A three-dimensional measuring system according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG.
1 is a perspective view showing a schematic configuration of this system. On a known special pneumatic anti-vibration device 1, a special mount 2 for the anti-vibration device is mounted. Further, on one side of the special mount 2, a three-dimensional measuring machine 3 is mounted, and on the other side, Has the first lighting device 4
Are installed respectively. The coordinate measuring machine 3 has a base 11 serving as a base, and a bridge-shaped arm that moves in the Y-axis direction along Y-axis guides 12 at both ends of the base 11 and connects both ends of the base 11. A support 13; a Z-axis guide 15 that moves in the X-axis direction along the X-axis guide 14 of the arm support 13; an arm 16 that moves in the Z-axis direction along the Z-axis guide 15; And a rotary probe 17 for measurement supported by the support 16. Further, the coordinate measuring machine 3 is provided with an automatic probe exchange device 18 for exchanging probes.

【0008】三次元測定機3の定盤11の上方には、三
次元測定機の測定領域が形成され、第1の照明装置4の
上方には撮像領域が形成される。これら両領域を連絡す
るように、ステージ駆動機構5が設置されている。ステ
ージ駆動機構5は、三次元測定機3の定盤11と第1の
照明装置4とを連絡する2本の並行レール21と、この
並行レール21に案内されて移動するコ字状のスライド
テーブル22と、このスライドテーブル22を駆動する
モータ23及びネジ形の駆動軸24とにより構成されて
いる。スライドテーブル22上には、パレット6が装着
される。このパレット6は、ワーク7を載置するステー
ジを構成するもので、透明なガラス板31と、このガラ
ス板31の周縁部に装着された枠体32とで構成されて
いる。枠体32には、位置決め孔33が形成されてお
り、この孔33とスライドテーブル22に設けた位置決
めボス34とが嵌合されてパレット6がスライドテーブ
ル22に位置決めされる。
A measurement area of the coordinate measuring machine is formed above the surface plate 11 of the coordinate measuring machine 3, and an image pickup area is formed above the first illumination device 4. A stage drive mechanism 5 is provided so as to connect these two areas. The stage driving mechanism 5 includes two parallel rails 21 that connect the surface plate 11 of the coordinate measuring machine 3 and the first lighting device 4, and a U-shaped slide table guided and moved by the parallel rails 21. And a motor 23 for driving the slide table 22 and a screw-shaped drive shaft 24. The pallet 6 is mounted on the slide table 22. The pallet 6 constitutes a stage on which the work 7 is placed, and is composed of a transparent glass plate 31 and a frame 32 mounted on a peripheral portion of the glass plate 31. A positioning hole 33 is formed in the frame 32, and the hole 33 and a positioning boss 34 provided on the slide table 22 are fitted to position the pallet 6 on the slide table 22.

【0009】パレット6上に配置されたワーク7の上方
及び側方には、ワーク7を撮像するCCDカメラ8,9
がそれぞれ配置されている。ワーク7対してCCDカメ
ラ9とは反対側には第2の照明装置10が配置されてい
る。照明装置4,10は、それぞれ内部に図示しない光
源を収納したケース41と、このケース41を密閉する
と共に光源からの光を均一化させる半透明板42とによ
り構成されている。
Above and beside the work 7 arranged on the pallet 6, CCD cameras 8, 9 for picking up the work 7 are provided.
Are arranged respectively. On the opposite side of the work 7 from the CCD camera 9, a second illumination device 10 is arranged. The lighting devices 4 and 10 each include a case 41 in which a light source (not shown) is housed, and a translucent plate 42 that seals the case 41 and uniformizes the light from the light source.

【0010】図2は、回転式プローブ17の詳細を示す
図である。アーム16の先端に取り付けられたプローブ
ヘッド45の内部には、図示しないモータが内蔵されて
おり、このモータによってタッチ・シグナル・プローブ
本体46及びその先端に装着された測定子47は、同図
(a)に示すように、アーム16の中心軸回りに指定さ
れた角度φだけ回転し、同図(b)に示すように、中心
軸から垂直面に沿って指定された角度θだけ回転し得る
ように構成されている。
FIG. 2 is a diagram showing details of the rotary probe 17. A motor (not shown) is built in the probe head 45 attached to the tip of the arm 16, and the touch signal probe main body 46 and the tracing stylus 47 attached to the tip by the motor are shown in FIG. As shown in a), the arm 16 can rotate by a specified angle φ around the central axis, and as shown in FIG. 4B, can rotate by a specified angle θ along a vertical plane from the central axis. It is configured as follows.

【0011】図3は、このシステムの信号・情報処理系
統を示すブロック図である。CCDカメラ8,9で撮像
された画像情報は、画像処理装置51に供給され、ここ
で画像処理によってワーク7の特徴点が抽出され、画像
認識処理によってワーク7の概略的なセット位置等が求
められる。三次元測定機データ処理装置52は、ワーク
位置等の情報からワーク7の仮の新座標系を構築し、三
次元測定の手順を規定するパートプログラムの必要な部
分を変換して仮測定のための指示をコントローラ53に
与えたり、仮測定結果に基づいて真の新座標系を算出し
て、コントローラ53を介してプローブコントローラ5
4に回転式プローブ17の指定角φ,θを供給する。コ
ントローラ53は、ステージ駆動機構5及び三次元測定
機3を駆動する。また、プローブコントローラ54は、
指定角φ,θに基づいて回転式プローブ17を回転駆動
させる。
FIG. 3 is a block diagram showing a signal / information processing system of this system. Image information picked up by the CCD cameras 8 and 9 is supplied to an image processing device 51, where characteristic points of the work 7 are extracted by image processing, and a rough set position and the like of the work 7 are obtained by image recognition processing. Can be The three-dimensional measuring machine data processing device 52 constructs a temporary new coordinate system of the workpiece 7 from information such as the workpiece position, converts a necessary part of a part program that defines a procedure of the three-dimensional measurement, and performs a temporary measurement. Is given to the controller 53 or a true new coordinate system is calculated based on the provisional measurement result.
4 are supplied with designated angles φ and θ of the rotary probe 17. The controller 53 drives the stage driving mechanism 5 and the coordinate measuring machine 3. Also, the probe controller 54
The rotary probe 17 is driven to rotate based on the specified angles φ and θ.

【0012】次に、このように構成された本システムの
動作を説明する。図4は、本システムの測定手順を示す
フローチャートである。測定開始状態では、パレット6
がCCD8,9による撮像が可能な撮像領域に配置され
る。この状態で、人手又はロボット等の搬送手段によっ
てワーク7がパレット6上に搬入されると(S1)、C
CDカメラ8,9によってワーク7が撮像され、その概
略的なワーク位置等が抽出される(S2)。このとき、
第1の照明装置4からの照明光は、並行レール21の
間、スライドテーブル22のくり貫き部分及びパレット
6のガラス板31を透過してワーク7を下側から照明す
る。CCDカメラ8は、照明装置4とは反対側の上方か
らワーク7を撮像するので、ワーク7の部分は逆光とな
って図5(a)に示すように、ワークの部分と背景との
コントラストが強調された明確な画像情報が得られる。
同様に、第2の照明装置10からの照明光を受光するC
CDカメラ9で得られるワーク7の側面の画像情報も、
図5(b)に示すように、ワークの部分と背景とのコン
トラストが強調された明確な画像情報となる。
Next, the operation of the present system configured as described above will be described. FIG. 4 is a flowchart showing a measurement procedure of the present system. At the start of measurement, pallet 6
Are arranged in an imaging area where imaging by the CCDs 8 and 9 is possible. In this state, when the work 7 is carried onto the pallet 6 by a transfer means such as a hand or a robot (S1), C
The work 7 is imaged by the CD cameras 8 and 9, and the rough work position and the like are extracted (S2). At this time,
The illuminating light from the first illuminating device 4 passes through the hollow portion of the slide table 22 and the glass plate 31 of the pallet 6 between the parallel rails 21 to illuminate the work 7 from below. Since the CCD camera 8 captures an image of the work 7 from above the opposite side of the lighting device 4, the work 7 is backlit and the contrast between the work and the background is reduced as shown in FIG. Obtained clear image information is obtained.
Similarly, C that receives the illumination light from the second illumination device 10
The image information of the side of the work 7 obtained by the CD camera 9 is also
As shown in FIG. 5B, clear image information is obtained in which the contrast between the work portion and the background is enhanced.

【0013】画像情報が画像処理装置51に供給される
と、画像処理装置51では供給された画像情報から概略
的なワーク位置等を算出する。即ち、図6に示すよう
に、画像情報は、2値化部61で2値化されたのち、輪
郭抽出部62で2値画像のエッジ部分が抽出される。続
いて、パターンマッチングの処理効率を高めるため、特
徴抽出部63で輪郭情報から特徴部分、例えばコーナ座
標等を抽出し、この特徴部分と基本パターン記憶部64
に格納されているいくつかの基本パターンとが照合部6
5で照合される。これにより、求められたワークパター
ンに基づいて、位置算出部66及び主要寸法算出部67
が画像の特徴部分から概略的なワーク位置及びワーク主
要寸法を算出する。求められたワークパターン、ワーク
位置及びワーク主要寸法等が三次元測定機データ処理装
置52に転送される。
When the image information is supplied to the image processing device 51, the image processing device 51 calculates a rough work position or the like from the supplied image information. That is, as shown in FIG. 6, after the image information is binarized by the binarization section 61, the edge portion of the binary image is extracted by the contour extraction section 62. Subsequently, in order to increase the processing efficiency of the pattern matching, a characteristic portion, for example, a corner coordinate, is extracted from the contour information by the characteristic extracting portion 63, and the characteristic portion and the basic pattern storage portion 64 are extracted.
And some basic patterns stored in the matching unit 6
Matched at 5. Thereby, based on the obtained work pattern, the position calculating unit 66 and the main dimension calculating unit 67
Calculates a rough work position and a work main dimension from the characteristic portion of the image. The obtained work pattern, work position, work main dimension, and the like are transferred to the coordinate measuring machine data processing device 52.

【0014】三次元測定機データ処理装置52では、先
ず、図7に示すように、パートプログラム選択部71
が、パターン別パートプログラム格納部72に格納され
たパートプログラムのうちの一つを画像処理装置51か
ら与えられたワークパターン情報に基づいて選択する。
次に、画像処理装置51で求められた画像処理座標系に
おけるワーク位置から、ワークを基準とする仮の新座標
系を構築し(S3)、選択されたパートプログラム等に
前もって記録していたティーチング時の基準座標系から
仮の新座標系への変換式を算出し、上記選択されたパー
トプログラム中の真の新座標系構築のための仮測定のプ
ログラム部分の測定点座標値を、求められた変換式によ
って仮の新座標系に変換する(S4)。
In the coordinate measuring machine data processing device 52, first, as shown in FIG.
Selects one of the part programs stored in the pattern-specific part program storage unit 72 based on the work pattern information provided from the image processing apparatus 51.
Next, from the work position in the image processing coordinate system obtained by the image processing device 51, a temporary new coordinate system based on the work is constructed (S3), and the teaching previously recorded in the selected part program or the like is performed. The conversion formula from the reference coordinate system at the time to the temporary new coordinate system is calculated, and the measurement point coordinate values of the temporary measurement program part for constructing the true new coordinate system in the selected part program are obtained. The data is converted into a temporary new coordinate system by the conversion formula (S4).

【0015】次に、パートプログラムの上記仮測定の部
分の測定手順に対応した移動や測定指令をコントローラ
53に対して与えて仮測定を実行する(S5)。得られ
た測定データから真の新座標系への変換式を算出する
(S6)。更に、求められた真の新座標系への変換式を
用いて、パートプログラム中の仮測定部分を除く、残り
の部分の指定座標値を全て真の新座標系への変換式によ
って変換する(S7)。そして、パートプログラム中に
回転式プローブに対する角度指令値が含まれている場合
には、真の新座標系によってずれた分を補償するよう
に、回転式プローブ17の回転角φ,θを回転角φ′,
θ′に変換して与え(S8)、測定を開始する(S
9)。
Next, a movement or measurement command corresponding to the measurement procedure of the provisional measurement portion of the part program is given to the controller 53 to execute the provisional measurement (S5). From the obtained measurement data, a conversion formula to the true new coordinate system is calculated (S6). Further, using the calculated conversion formula to the true new coordinate system, all the designated coordinate values of the remaining portion except for the provisional measurement part in the part program are converted by the conversion formula to the true new coordinate system ( S7). If the part program includes an angle command value for the rotary probe, the rotation angles φ and θ of the rotary probe 17 are adjusted so as to compensate for the deviation caused by the true new coordinate system. φ ′,
θ ′ is given (S8), and measurement is started (S8).
9).

【0016】ここで、回転式プローブ17の指令回転角
φ′,θ′は、図8に示すように、測定機座標系をXY
Z、真の新座標系をX′Y′Z′とすると、新座標系
X′Y′Z′において、当初の指示回転角φ,θで特定
されるプローブ17の傾きが、測定機座標系XYZを基
準としたときにどの程度の回転角φ′,θ′になるかを
算出することにより決定する。回転角が連続的に指示可
能なプローブの場合には、求められた回転角φ′,θ′
をそのまま指令回転角として与え、間欠式(例えば回転
角が7.5°刻み)の場合には、求められた回転角
φ′,θ′に最も近い回転角を指示回転角として与えれ
ばよい。
Here, as shown in FIG. 8, the commanded rotation angles φ ′ and θ ′ of the rotary probe 17 are expressed in the XY coordinate system of the measuring machine.
Z, assuming that the true new coordinate system is X'Y'Z ', in the new coordinate system X'Y'Z', the inclination of the probe 17 specified by the initial designated rotation angles φ and θ is the measuring machine coordinate system. It is determined by calculating how much the rotation angles φ ′ and θ ′ will be based on XYZ. In the case of a probe whose rotation angle can be continuously indicated, the obtained rotation angles φ ′, θ ′
Is given as it is as the commanded rotation angle, and in the case of the intermittent type (for example, the rotation angle is in increments of 7.5 °), the rotation angle closest to the obtained rotation angles φ ′ and θ ′ may be given as the designated rotation angle.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、測
定対象を撮像手段によって撮像し、得られた画像情報か
ら測定対象の仮の新座標系を算出し、この仮の新座標系
に基づいて、真の新座標系を求めるための仮測定を行う
ことにより、測定対象を基準とする真の新座標系を求
め、求められた真の新座標系を基準として、パートプロ
グラム等の測定指示に含まれる回転式プローブの角度指
示値を決定するようにしているので、測定対象の位置、
姿勢等が予定されている位置や姿勢からずれている場合
でも、測定対象の座標系を基準として最も適切な角度指
示値を設定することができ、測定対象と回転式プローブ
との干渉がない自動測定が可能になるという効果を奏す
る。
As described above, according to the present invention, an object to be measured is imaged by the imaging means, and a temporary new coordinate system of the object to be measured is calculated from the obtained image information. Based on the above, a tentative measurement for obtaining a true new coordinate system is performed, thereby obtaining a true new coordinate system based on the measurement target, and using the obtained true new coordinate system as a reference, such as a part program. Since the angle indication value of the rotary probe included in the measurement instruction is determined, the position of the measurement target,
Even when the posture is out of the expected position or posture, the most appropriate angle indication value can be set based on the coordinate system of the measurement target, and there is no automatic interference between the measurement target and the rotary probe. This has the effect of enabling measurement.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施例に係る三次元測定システムの
斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a three-dimensional measurement system according to an embodiment of the present invention.

【図2】 同システムの回転式プローブの正面図及び側
面図である。
FIG. 2 is a front view and a side view of a rotary probe of the same system.

【図3】 同システムの信号・情報処理系のブロック図
である。
FIG. 3 is a block diagram of a signal / information processing system of the system.

【図4】 同システムの測定手順を示すフローチャート
である。
FIG. 4 is a flowchart showing a measurement procedure of the system.

【図5】 同システムで得られた画像情報の例を示す図
である。
FIG. 5 is a diagram showing an example of image information obtained by the system.

【図6】 同システムにおける画像処理装置の構成を示
す機能ブロック図である。
FIG. 6 is a functional block diagram illustrating a configuration of an image processing apparatus in the system.

【図7】 同システムにおける三次元測定機データ処理
装置の構成を示す機能ブロック図である。
FIG. 7 is a functional block diagram showing a configuration of a CMM data processing device in the same system.

【図8】 同システムにおける回転式プローブの回転角
の変換例を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a conversion example of a rotation angle of a rotary probe in the system.

【図9】 回転式プローブを使用した従来の問題点を説
明するための図である。
FIG. 9 is a diagram for explaining a conventional problem using a rotary probe.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…除振装置、2…除振装値用特殊架台、3…三次元測
定機、4…第1の照明装置、5…ステージ駆動機構、6
…パレット、7…ワーク、8,9…CCDカメラ、10
…第2の照明装置、17…回転式プローブ。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Anti-vibration apparatus, 2 ... Special mount for anti-vibration value, 3 ... 3D measuring machine, 4 ... First illumination device, 5 ... Stage drive mechanism, 6
... Pallet, 7 ... Work, 8,9 ... CCD camera, 10
... Second lighting device, 17 ... Rotary probe.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 測定対象を撮像する撮像手段と、 この撮像手段で得られた前記測定対象の画像情報から前
記測定対象を基準とした仮の新座標系を算出する手段
と、 この手段で算出された仮の新座標系に基づいて前記測定
対象を仮測定して前記測定対象を基準とした真の新座標
系を算出する手段と、 この手段で算出された真の新座標系に基づいて測定指示
に含まれる回転式プローブの角度指示値を設定する手段
とを備えたことを特徴とする三次元測定システム。
An imaging unit configured to capture an image of a measurement target; a unit configured to calculate a temporary new coordinate system based on the measurement target from image information of the measurement target obtained by the imaging unit; Means for temporarily measuring the measurement object based on the provisional new coordinate system to calculate a true new coordinate system based on the measurement object; and based on the true new coordinate system calculated by the means. Means for setting an angle instruction value of the rotary probe included in the measurement instruction.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004093191A (en) * 2002-08-29 2004-03-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Shape measuring device and shape measuring method
JP2006329903A (en) * 2005-05-30 2006-12-07 Konica Minolta Sensing Inc Three-dimensional measuring method and three-dimensional measuring system
JP2008513750A (en) * 2004-09-22 2008-05-01 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング Interferometer with mirror device for measuring objects

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004093191A (en) * 2002-08-29 2004-03-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Shape measuring device and shape measuring method
JP2008513750A (en) * 2004-09-22 2008-05-01 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング Interferometer with mirror device for measuring objects
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