JPH10249759A - 搬送用ロボット装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】旋回半径が小さい２アーム方式の搬送用ロボッ
ト装置を提供すること。 【解決手段】 自由端部のハンド部材を直線移動および
旋回させる２アーム方式の搬送用ロボット装置におい
て、ハンド部材の直線移動路と平行な、上方に開口する
ケーブルガイドを旋回台に固定し、ケーブルが挿通され
たガイドケーブルの一端側をケーブルガイドのハンド部
材側に取付ける。ガイドケーブルの自由端部を支持する
可動のクランプ部材を、ケーブルガイドの上方部におい
て、前記移動路と平行な垂直面内で回動自在にハンド部
材に枢支し、可動のクランプ部材の軸芯部より引出した
ケーブルを可動のクランプ部材と離間してハンド部材に
取付ける。可動のクランプ部材の回動量を規制するスト
ッパ部材を設けて、ハンド部材が位置変位された際に、
位置規制される可動のクランプ部材に支持されたガイド
ケーブルがハンド部材と反対側の下方に指向されて、旋
回半径が小さくなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被加工物を自動的
に搬送するための搬送用ロボット装置に関する。更に詳
細には、例えば被加工物であるウエハを棚状のカセット
等から取り出し、各種半導体製造装置やウエハ検査装置
等の処理室に搬送し、プロセス処理やウエハ検査後にウ
エハをカセットに戻すように使用される、いわゆる２ア
ーム方式の搬送用ロボット装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、水平旋回台と、旋回台の軸芯であ
る第１支点のまわりで回転自在な第１アームと、第１の
アームに対して第１支点に平行な第２支点のまわりで回
転自在な第２のアームと、第２のアームに対して第２支
点に平行な第３支点のまわりで回転自在なハンド部材と
を有し、第１および第２のアームの回動に伴なってハン
ド部材が第１支点と第３支点とを結ぶ直線上で移動さ
れ、かつ旋回台の回動によりハンド部材が旋回される２
アーム方式の搬送用ロボット装置が汎用されている。

【０００３】そこでまず、２アーム方式の搬送用ロボッ
ト装置を例示的に説明する。図９および図１０におい
て、１は適宜の駆動機により旋回される水平旋回台、２
は水平旋回台１の軸芯である第１支点；Ｐのまわりで回
転自在に支持された第１のアームで、この第１のアーム
２は旋回台１に取付けられた適宜の駆動機により適宜に
回転駆動される。３は第１のアーム２に対して第１支
点；Ｐに平行な第２支点；Ｑのまわりで回転自在に支持
された第２のアーム、４は第２のアーム３に対して第２
支点；Ｑに平行な第３支点；Ｒのまわりで回転自在に支
持されたハンド部材、５は、第１支点；Ｐを軸芯として
旋回台１に固定された第１の回転伝達部材、６は、第２
支点；Ｑを軸芯として第２のアーム３に固定された第２
の回転伝達部材、７は、第２支点；Ｑを軸芯として第１
のアーム２に固定された第３の回転伝達部材、８は、第
３支点；Ｒを軸芯としてハンド部材４に固定された第４
の回転伝達部材、９および１０は、第１の回転伝達部材
５と第２の回転伝達部材６および第３の回転伝達部材７
と第４の回転伝達部材８との間に夫々配設された第１お
よび第２の連結具である。なお、第１および第２の支点
間隔Ｓ₁ と、第３および第４の支点間隔Ｓ₂ とが同一
で、かつ第１の回転伝達部材５と第２の回転伝達部材６
および第４の回転伝達部材８と第３の回転伝達部材７と
の半径比が夫々２：１に形成されている。勿論、第１乃
至第４の回転伝達部材５乃至８は、チェーンスプロケッ
トあるいはプーリーが適宜に用いられ、これらに応じて
第１および第２の連結具９，１０はチェーンあるいは歯
付ベルト等が適宜に用いられる。

【０００４】上記１乃至１０により２アーム方式の搬送
用ロボット装置が構成されている。この搬送用ロボット
装置において、今、仮に旋回台１が固定の状態に維持さ
れているものとする。図１０において、第１，第２およ
び第３支点Ｐ，Ｑ，Ｒが一直線上に位置する状態で駆動
機により第１のアーム２が第１支点；Ｐを中心として反
時計方向に角度；θだけ回動されたものとする。

【０００５】今、第１の回転伝達部材５が固定状態にあ
り、このときに第２支点；ＱがＱ₁の位置まで角度；θ
だけ反時計方向に移動すれば、第１および第２の回転伝
達部材５，６間に配設された第１の連結具９のうち、Ｙ
₁ 方向のものは第１の回転伝達部材５に巻きつき、Ｙ₂
方向のものは第１の回転伝達部材５から巻戻された状態
となる。すなわち、図１０において第１の連結具９はイ
およびロの方向に移動する。これにより第２の回転伝達
部材６は第２支点；Ｑ₁ を中心として時計方向に回動さ
れる。ところで第１の回転伝達部材５と第２の回転伝達
部材６とは半径比が２：１であるため、上記のごとく、
第１のアーム２が第１支点；Ｐを中心として角度；θだ
け反時計方向に回動すれば、第２の回転伝達部材６は第
２支点；Ｑ₁ を中心として角度；２θだけ時計方向に回
動される。この場合、第２の回転伝達部材６は第２のア
ーム３に固定されているため、第２の回転伝達部材６と
第２のアーム３とは第２支点；Ｑ₁ を中心として角度；
２θだけ時計方向に回動される。すなわち第３支点；Ｒ
₁ は第２支点；Ｑ₁ を中心として角度；２θだけ時計方
向に回動されて、Ｒ₂ の位置に回動される。従って、第
１のアーム２が上記のごとく第１支点；Ｐを中心として
反時計方向に角度；θ回動されたときの第３支点；Ｒ₂
の位置は、第１および第２のアーム２，３の回動前の第
１および第３支点；Ｐ，Ｒを結ぶ直線状に位置してい
る。

【０００６】さらに、上記のごとく、第２のアーム３に
より第３支点；Ｒ₁ が第２支点；Ｑ₁ を中心として角
度；２θだけ時計方向に回動された場合、第１のアーム
２に固定された第３の回転伝達部材７と第４の回転伝達
部材８との間に配設された第２の連結具１０のうち、Ｙ
₂ 方向のものは第３の回転伝達部材７に巻きつき、Ｙ₁
方向のものは第３の回転伝達部材７から巻戻された状態
となる。すなわち、図１０において第２の連結具１０
は、ハおよびニの方向に移動する。これにより第４の回
転伝達部材８は第３支点；Ｒ₁ を中心として反時計方向
に回動される。ところで第４の回転伝達部材８と第３の
回転伝達部材７とは半径比が２：１であるため、上記の
ごとく、第２のアーム３が第２支点；Ｑ₁ を中心として
角度；２θだけ時計方向に回動すれば、第４の回転伝達
部材８は第３支点；Ｒ₂ を中心として角度；θだけ反時
計方向に回動され、結果として、第４の回転伝達部材８
の特定点Ｃ₀ は第１および第３支点；Ｐ，Ｒ₂ を結ぶ直
線上の点Ｃ₁ に位置されることとなる。

【０００７】上記のごとく、第１のアーム２が第１支
点；Ｐを中心として反時計方向に回動され、この場合、
第４の回転伝達部材８に固定されたハンド部材４は、第
１のアーム２の回動前の第１および第３支点；Ｐ，Ｒを
結ぶ直線上で、初期姿勢を維持しつつ移動される。

【０００８】上記のごとく、ハンド部材４を直線移動お
よび旋回させる２アーム式の搬送用ロボット装置を設置
し、この２アーム式の搬送用ロボット装置の旋回軸芯、
すなわち第１支点；Ｐを中心として円周方向の放射状の
複数箇所に適宜の処理室を配置して、被加工物の処理が
行なわれている。

【０００９】ところで、上記した２アーム式の搬送用ロ
ボット装置においては、水平旋回台１が適宜に旋回され
て使用されるため、ハンド部材４に取付ける適宜のアク
チュエータへのケーブル類の取扱いに特に留意されてい
る。

【００１０】＜従来例１＞従来、図１１乃至図１３に示
される２アーム方式の搬送用ロボット装置が提言されて
いる。なお、２アーム方式の搬送用ロボット装置の主要
構造は図９および図１０に示される構造と同一であっ
て、その主要部品については同符号を付してあるが、そ
の詳細な説明は割愛する。図１１乃至図１３において、
５１はハンド部材４の直線移動路Ｄ₁ −Ｄ₂ に対して第
１および第２のアーム２，３の回動側とは反対側、すな
わちＹ₁ 側で水平旋回台１に固定された、移動路Ｄ₁ −
Ｄ₂ と平行な上方に開口するケーブルガイド、５２は適
宜のケーブル５３が挿通された可撓性を有するガイドケ
ーブル、５４はガイドケーブル５２の一端側をケーブル
ガイド５１のハンド部材４側、すなわちＸ₁ 方向側に取
付けるケーブルクランプ部材、５５はガイドケーブル５
２の自由端部を支持してハンド部材４に固定された固定
のクランプ部材であって、固定のクランプ部材５５から
引出されたケーブル５３が、ハンド部材４に取付けられ
た図示しない適宜のアクチュエータに連結されている。
なお、固定のクランプ部材５５は、引出されたケーブル
５３をアクチュエータに連結容易とするためにハンド部
材４の後部、すなわちＸ₂ 方向側に取付けられている。

【００１１】上記において、第１および第２のアーム
２，３を前方に、たとえばＸ₁ 方向に伸ばした位置で、
例えばハンド部材４の先端部に被加工物Ｗが載置され
る。この後、第１および第２のアーム２，３が屈曲され
て、例えば図１３に示される旋回状態で、水平旋回台１
が第１支点；Ｐを中心として、適宜に旋回される。所望
の位置に旋回後、再び第１および第２のアーム２，３が
前方に伸ばされた位置でハンド部材４の先端部に載置さ
れた被加工物Ｗが処理室内に取込まれて所望の処理が行
なわれる。

【００１２】この後、第１および第２のアーム２，３が
屈曲された旋回状態で水平旋回台１が所望の位置となる
ように順次に旋回されて、他の処理室でのハンド部材４
に対する被加工物の取込み・取出し作業が反復される。

【００１３】＜従来例２＞図１４乃至図１６に示される
装置は、図１１乃至図１３に示される装置において、ハ
ンド部材４は基部４１から相反して突出する２個のハン
ド４２，４３が取付けられたものが用いられる。図１４
乃至図１６において、ハンド部材４の基部４１のＸ方向
の両側に取付けられる図示しない適宜のアクチュエータ
へのケーブルの連結作業が面倒とはなるが、固定のクラ
ンプ部材５５は、ハンド部材４のＸ方向の中心部に固定
される。上記において、例えば第１および第２のアーム
２，３がＸ₂ 方向に伸ばされた位置で、ハンド４２に対
する被加工物Ｗの受渡しが行なわれる。この後、第１お
よび第２のアーム２，３がＸ₁ 方向に伸ばされた位置
で、ハンド４３に対する被加工物Ｗの受渡しが行なわれ
る。

【００１４】次に、図１６に示されるごとく、ハンド部
材４のＸ方向の中心点；Ｒが水平旋回台１の第１支点；
Ｐと重なる旋回状態で、水平旋回台１が所望の角度だけ
旋回された後、再度ハンド部材４が第１支点；Ｐを中心
とした一方の半径方向の端部に位置されて、２個のハン
ドの一方、例えばハンド４３に対して被加工物Ｗの受渡
しが行なわれる。この後、ハンド部材４が第１支点；Ｐ
を中心とした他方の半径方向の端部に位置されて、他方
のハンド、例えばハンド４２に対して被加工物Ｗの受渡
しが行なわれる。すなわち、図１４乃至図１６に示され
る装置では、水平旋回台１を旋回させなくとも２個のハ
ンドの位置を直線上の２位置に切換えることにより、第
１支点；Ｐを跨いだ直線上に相対向する処理室での被加
工物の受渡しが行なわれる。勿論、水平旋回台１を旋回
させた所望の位置で、上記と同様に直線上に相対向する
処理室での被加工物の受渡しが行なわれる。このため、
搬送に要する水平旋回台１の旋回タクトタイムが大幅に
削減される。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では以下のような問題がある。すなわち、図１
１乃至図１３に示される従来例１のものでは、ハンド部
材４の位置をＸ方向に位置変位させた場合に、ガイドケ
ーブル５２内に挿通されたケーブル５３が断線しないよ
うに、すなわちケーブル５３に無理な力が作用しないよ
うにするために、ガイドケーブル５２の曲率が所望の状
態となるように配慮されている。このため、図１１乃至
図１３に示されるごとく、第１および第２のアーム２，
３が屈曲された旋回状態においては、ガイドケーブル５
２の端部が第１支点；Ｐ（＝旋回中心点）から最も離れ
ているため、装置として必要な旋回半径はガイドケーブ
ル５２の端部までの距離；Ｌ₁ である。勿論、この種の
装置においては、旋回軸芯、すなわち第１支点；Ｐを中
心として円周方向の放射状の複数箇所に適宜の処理室を
配置するため、旋回半径を極力小さくすることが望まれ
ており、上記旋回半径；Ｌ₁ を更に小さくしなければな
らないという問題があった。

【００１６】さらに、図１４乃至図１６に示される従来
例２のものでは、上記従来例１の場合と同様にガイドケ
ーブル５２の曲率が所望の状態となるように配慮されて
いるため、第１および第２のアーム２，３がＸ₂ 方向に
伸ばされた際には、Ｘ₂ 方向端部に位置するガイドケー
ブル５２の曲り部が、ハンド部材４の基部４１のＸ₂方
向の端部よりもＸ₂ 方向側に位置することとなる。

【００１７】ところで、例えば被加工物Ｗがウエハであ
る場合、このウエハは棚状のカセットＣＡに収容されて
いるため、ガイドケーブル５２のＸ₂ 方向側に突出する
膨み部がカセットＣＡに当接しないようにカセットＣＡ
を配置する必要がある。このため、ハンド部材４の基部
４１から突出するハンド４２，４３を長くしなければな
らない。勿論、ウエハを載置したハンド４２，４３をカ
セットＣＡに対して挿入・出するため、ハンド４２，４
３は極力薄く形成される。しかし、このように薄いハン
ド４２，４３を長く形成すると、ウエハを載置したハン
ド４２，４３はハンド部材４の基部に片持状で支持され
ているため、ハンド４２，４３のたわみ量は長さの３乗
で増加する。このため、薄いハンド４２，４３を長く形
成した場合、ウエハを載置したハンド４２，４３のたわ
み量が増加することにより、カセットＣＡの棚ピッチ、
すなわち棚の上下間隔が小さいものには適用できないと
いう問題がある。

【００１８】さらに、第１および第２のアーム２，３が
Ｘ₂ 方向に伸ばされた際には、Ｘ₂方向に位置するガイ
ドケーブル５２を支持するために、ケーブルガイド５１
をＸ₂ 方向側に長く突設する必要がある。ところで、第
１および第２のアーム２，３が屈曲された旋回状態にお
いては、Ｘ₂ 方向に突出するケーブルガイド５１の端部
が、第１支点；Ｐから最も離れているため、装置として
必要な旋回半径は、ケーブルガイド５１の端部までの距
離；Ｌ₂ である。勿論、旋回半径を極力小さくすること
が望まれているため、上記旋回半径；Ｌ₂ を更に小さく
しなければならないという問題があった。

【００１９】本発明は上述の問題に鑑みてなされたもの
で、その目的は、旋回半径が可及的に小さい２アーム方
式の搬送用ロボット装置を提供することである。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１の発明は、水平旋回台と、前記旋回台の軸芯
である第１支点のまわりで回転自在な第１のアームと、
第１のアームに対して第１支点に平行な第２支点のまわ
りで回転自在な第２のアームと、第２のアームに対して
第２支点に平行な第３支点のまわりで回転自在なハンド
部材と、第１支点を軸芯として前記旋回台に固定された
第１の回転伝達部材と、第２支点を軸芯として第２のア
ームに固定された第２の回転伝達部材と、第２支点を軸
芯として第１のアームに固定された第３の回転伝達部材
と、第３支点を軸芯としてハンド部材に固定された第４
の回転伝達部材と、第１の回転伝達部材と第２の回転伝
達部材および第３の回転伝達部材と第４の回転伝達部材
との間に夫々配設された第１および第２の連結具とから
なり、第１および第２の支点間隔と第３および第４の支
点間隔とが同一で、かつ第１の回転伝達部材と第２の回
転伝達部材および第４の回転伝達部材と第３の回転伝達
部材との半径比が夫々２：１に形成されて、第１のアー
ムの回動により第１および第２のアームが回動されつ
つ、ハンド部材が第１支点と第３支点とを結ぶ直線上で
移動され、かつ旋回台の回動によりハンド部材が旋回さ
れる２アーム方式の搬送用ロボット装置に適用される。
その特徴とするところは、ハンド部材の直線移動路に対
して、前記アームの回動側とは反対側で前記旋回台に固
定されて、前記移動路と平行な上方に開口するケーブル
ガイドと、適宜のケーブルが挿通された可撓性を有する
ガイドケーブルと、ガイドケーブルの一端側をケーブル
ガイドのハンド部材側に取付けるケーブルクランプ部材
と、ガイドケーブルの自由端部を支持し、ケーブルガイ
ドの上方部において、前記移動路と平行な垂直面内で回
動自在にハンド部材に枢支された、軸芯部に貫通孔を有
する可動のクランプ部材と、ハンド部材の位置変位に伴
ない可動のクランプ部材の回動量を規制するストッパ部
材と、可動のクランプ部材の軸芯部より引出されたケー
ブルを可動のクランプ部材と離間してハンド部材に取付
けるケーブル取付具と、ケーブルに連結された適宜の連
結部材とを具備してなることである。

【００２１】さらに、本第２の発明は、本第１の発明に
おいて、前記可動のクランプ部材は、防塵シール部材を
介してハンド部材に回転自在に取付けられ、かつ可動の
クランプ部材の軸芯部の貫通孔側が防塵カバーに覆われ
てなることを特徴としている。

【００２２】さらに、本第３の発明は、本第１または本
第２の発明において、前記ハンド部材は、基部から相反
して突出する２個のハンドが取付けられてなることを特
徴としている。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施例によ
り詳細に説明する。なお、２アーム方式の搬送用ロボッ
ト装置の主要構造は図９および図１０に示される構造と
同一であって、その主要部品については同符号を付して
あるが、その詳細な説明は割愛する。

【００２４】図１乃至図５において、１１はハンド部材
４の直線移動路Ｄ₁ −Ｄ₂ に対して第１および第２のア
ーム２，３の回動側とは反対側、すなわちＹ₁ 側で水平
旋回台１に固定されたケーブルガイドで、このケーブル
ガイド１１は上方に開口されて、移動路Ｄ₁ −Ｄ₂ と平
行に配設されている。１２は、適宜のケーブル、例えば
電線ケーブル１３が適宜に挿通された可撓性を有するガ
イドケーブル、例えばエアホースや適宜の蛇管などで、
例示的には２本のガイドケーブル１３が用いられる。１
４はガイドケーブル１２の一端側をケーブルガイド１１
のハンド部材４側、すなわちＸ₁ 方向側に取付けるケー
ブルクランプ部材である。

【００２５】１５は、ケーブルガイド１１の上方部にお
いて、移動路Ｄ₁ −Ｄ₂ と平行な垂直面内で回動自在
に、ハンド部材４に枢支された可動のクランプ部材で、
この可動のクランプ部材１５には、回動軸芯Ｏ₁ 部をＹ
₂ 方向に貫通する孔１５１と、この貫通孔１５１と略直
角に連通する支持用の孔１５２とが形成され、かつ例え
ば支持用の孔１５２を軸方向に分断するように２部品で
構成され、この支持用の孔１５２にガイドケーブル１２
の自由端部が挿入・支持される。

【００２６】可動のクランプ部材１５に支持されたガイ
ドケーブル１２のうち、ケーブル１３が可動のクランプ
部材１５の貫通孔１５１からＹ₂ 方向に引出されて、可
動のクランプ部材１５とＹ₂ 方向に離間して、ハンド部
材４に支持されたケーブル取付具１６により、ケーブル
１３が取付けられる。なお、ケーブル１３は軟質のチュ
ーブ１７により保護しておいた方が、ケーブル１３の断
線防止という点において好ましい。勿論、可動のクラン
プ部材１５と、ケーブル取付具１６との間のケーブル１
３は充分にたるませて、例えば１ループして取付けられ
ている。

【００２７】ケーブル１３の自由端部は、ハンド部材４
に取付けられた図示しない適宜のアクチュエータ、例え
ば被加工物検出器などの連結部材に連結される。１８は
可動のクランプ部材１５とハンド部材４との回転部に取
付けられた適宜の防塵シール部材、１９は可動のクラン
プ部材１５の貫通孔１５１側を覆う防塵カバー、２１お
よび２２は可動のクランプ部材１５の回転軸芯Ｏ₁ に対
してＸ₁方向およびＸ₂ 方向に離間して、ハンド部材４
に取付けられた第１および第２のストッパ部材である。

【００２８】上記１乃至２２により、２アーム方式の搬
送用ロボット装置が構成される。

【００２９】上記構成において、例えば第１および第２
のアーム２，３をＸ₁ 方向に伸ばした位置で、ハンド部
材４の先端部に被加工物Ｗが載置される。この場合、ハ
ンド部材４は、水平旋回台１に対してＸ₁ 方向に離間し
た位置となるが、ガイドケーブル１２の上端部を支持す
る可動のクランプ部材１５は、ガイドケーブル１２を引
張りながらハンド部材４と共にＸ₁ 方向に位置変位する
ため、特に図３に示されるごとく、可動のクランプ部材
１５は回転軸芯Ｏ₁ を中心として時計方向に回動され
て、可動のクランプ部材１５が第２のストッパ部材２２
に当接した状態に位置規制される。

【００３０】この後、図５で示されるごとく、ハンド部
材４がＸ₂ 方向に位置変位した旋回状態となるように、
第１および第２のアーム２，３が屈曲される。この場
合、ガイドケーブル１２の上端部を支持する可動のクラ
ンプ部材１５は、図２および図３の２点鎖線で示される
ごとく、第１のストッパ部材２１に当接した状態に位置
規制される。すなわち、可動のクランプ部材１５に支持
されたガイドケーブル１２は、回転軸芯Ｏ₁ に対してＸ
₁ 方向の下方に指向した姿勢となる。このように旋回状
態においては、従前のごとくガイドケーブル１２の端部
がハンド部材４よりもＸ₂ 方向に突出することがないた
め、図５に示されるごとく、被加工物Ｗ，第１および第
２のアーム２，３およびハンド部材４の寸法により特定
されるロボット本来の旋回半径；Ｌ₃ 、すなわち最小の
旋回半径とすることができる。なお、ハンド部材４がＸ
₁ 方向の処理室側と旋回状態側とに繰返して位置変位さ
れる場合、図３の実線と２点鎖線とで示される状態とな
るように可動のクランプ部材１５が軸芯Ｏ₁ を中心とし
て反復して回動される。この場合、図４に示されるごと
く、可動のクランプ部材１５が軸芯Ｏ₁ を中心として反
復して回動されるに対して、ケーブル１３はケーブル取
付具１６により固定されているが、ケーブル取付具１６
と可動のクランプ部材１５とはＹ方向に離間され、かつ
この間のケーブル１３は充分にたるませて、例えば１ル
ープして取付けられているため、可動のクランプ部材１
５の反復回動によるケーブル１３のねじりはケーブル１
３のたるみ部、例えば１ループ部で吸収され、何ら問題
が発生する虞れがない。

【００３１】勿論、防塵シール部材１８および防塵カバ
ー１９が設けられていれば、防塵雰囲気が要求される装
置、例えば半導体製造装置等に用いられる搬送用ロボッ
ト装置として好適である。

【００３２】図６乃至図８は本発明の他の実施例を示す
図であって、これらの構成において、ハンド部材４とし
て２個のハンドを取付ける以外は、図１乃至図５に示さ
れたものと実質的に同様の構成である。このため、図１
乃至図５と実質的に同様の構成部品には同じ符号を付し
てあるが、これら１乃至２２の各部の構成および動作の
説明は、図１乃至図５の説明を参照するものとする。

【００３３】図６乃至図８において、ハンド部材４は基
部４０１から相反して突出する２個のハンド４０２，４
０３が取付けられたものが用いられる。なお、ハンド部
材４の基部４０１のＸ方向の両側には、図示しない適宜
のアクチュエータ、例えば被加工物検出器などの連結部
材が取付けられ、この連結部材への連結作業が面倒とは
なるが、ハンド部材４に対して回動自在な可動のクラン
プ部材１５は、ハンド部材４のＸ方向の中心部に枢支さ
れる。

【００３４】ハンド部材４は、直線移動路Ｄ₁ −Ｄ
₂ を、第１および第２のアーム２，３がＸ₁ 方向に伸ば
された位置と、Ｘ₂ 方向に伸ばされた位置とに位置変位
されて、夫々の処理室での被加工物の受渡しが行なわれ
る。すなわち、第１および第２のアーム２，３がＸ₁ 方
向に伸ばされた位置となるようにハンド部材４が位置変
位された状態においては、ハンド部材４に対して回動自
在に枢支された可動クランプ部材１５は、第２のストッ
パ部材２２に当接した状態に位置規制されて、可動のク
ランプ部材１５に支持されたガイドケーブル１２は、回
転軸芯Ｏ₁ に対してＸ₂ 方向の下方に指向した姿勢とな
る。このため、ガイドケーブル１２がハンド部材４の基
部４０１からＸ₁ 方向の外方に突出することはない。

【００３５】さらに、第１および第２のアーム２，３が
Ｘ₂ 方向に伸ばされた位置となるようにハンド部材４が
位置変位された状態においては、ハンド部材４に対して
回動自在に枢支された可動のクランプ部材１５は、第１
のストッパ部材２１に当接した状態に位置規制される。
すなわち、図６および図７の２点鎖線で示されるごと
く、可動のクランプ部材１５に支持されたガイドケーブ
ル１２は、回転軸芯Ｏ₁ に対してＸ₁ 方向の下方に指向
した姿勢となり、ガイドケーブル１２がハンド部材４の
基部４０１からＸ₂ 方向に突出することはない。

【００３６】上記のごとく、ハンド部材４がＸ₁ 方向お
よびＸ₂ 方向の夫々端部に位置変位されても、ガイドケ
ーブル１２はハンド４０３および４０２方向に突出する
ことはないため、ハンド４０２，４０３の長さは図１お
よび図２に示されるハンドの長さと同一とすることがで
きる。換言すれば、図１４乃至図１６に示されるこの種
の従来装置のごとくハンドの長さが長くなる、というこ
とはない。

【００３７】さらに、図６および図７の２点鎖線で示さ
れるごとく、ハンド部材４がＸ2 方向の端部に位置する
場合には、可動のクランプ部材１５に支持されたガイド
ケーブル１２は、回転軸芯Ｏ₁ に対してＸ₁ 方向の下方
に指向した姿勢となるため、ケーブルガイド１１のＸ₂
方向側の突出長さが従前に比べて短くなる。勿論、ハン
ド部材４のＸ方向の中心が第１支点；Ｐと一致するよう
に第１および第２のアーム２，３が屈曲された旋回状態
においては、ケーブルガイド１１のＸ₂ 方向の突出長さ
が従前に比べて短いため、図８に示されるごとく、旋回
半径；Ｌ₄ が従前に比べて小さくすることができる。す
なわち、被加工物Ｗ，第１および第２のアーム２，３お
よびハンド部材４の寸法により特定されるロボット本来
の旋回半径；Ｌ₄ 、すなわち最小の旋回半径とすること
ができる。

【００３８】なお、図２および図７において、ケーブル
ガイド１１の下方にダクトカバー２３を取付け、ケーブ
ルクランプ部材１４に支持されたガイドケーブル１２、
あるいはケーブル１３をこのダクトカバー２３により覆
い、旋回軸芯である第１支点；Ｐの側方よりガイドケー
ブル１２あるいはケーブル１３を外部に取出すようにす
れば、ガイドケーブル１２あるいはケーブル１３の取扱
いが容易となる。

【００３９】さらに、ハンド部材４に取付けられる連結
部材としては、適宜のアクチュエータや、被加工物を真
空吸着させるための連結ホース等を適宜に組合せたり、
あるいは選択して特定したりすることができる。

【００４０】勿論、ガイドケーブル１２を適宜に複数本
とすることができる。さらに、処理室での被加工物の受
渡しのために、処理室側およびロボット装置を適宜に相
対的に昇降自在に構成することができる。

【００４１】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本第１の
発明に係る搬送用ロボット装置は、水平旋回台と、前記
旋回台の軸芯である第１支点のまわりで回転自在な第１
のアームと、第１のアームに対して第１支点に平行な第
２支点のまわりで回転自在な第２のアームと、第２のア
ームに対して第２支点に平行な第３支点のまわりで回転
自在なハンド部材と、第１支点を軸芯として前記旋回台
に固定された第１の回転伝達部材と、第２支点を軸芯と
して第２のアームに固定された第２の回転伝達部材と、
第２支点を軸芯として第１のアームに固定された第３の
回転伝達部材と、第３支点を軸芯としてハンド部材に固
定された第４の回転伝達部材と、第１の回転伝達部材と
第２の回転伝達部材および第３の回転伝達部材と第４の
回転伝達部材との間に夫々配設された第１および第２の
連結具とからなり、第１および第２の支点間隔と第３お
よび第４の支点間隔とが同一で、かつ第１の回転伝達部
材と第２の回転伝達部材および第４の回転伝達部材と第
３の回転伝達部材との半径比が夫々２：１に形成され
て、第１のアームの回動により第１および第２のアーム
が回動されつつ、ハンド部材が第１支点と第３支点とを
結ぶ直線上で移動され、かつ旋回台の回動によりハンド
部材が旋回される２アーム方式の搬送用ロボット装置に
おいて、ハンド部材の直線移動路に対して、前記アーム
の回動側とは反対側で前記旋回台に固定されて、前記移
動路と平行な上方に開口するケーブルガイドと、適宜の
ケーブルが挿通された可撓性を有するガイドケーブル
と、ガイドケーブルの一端側をケーブルガイドのハンド
部材側に取付けるケーブルクランプ部材と、ガイドケー
ブルの自由端部を支持し、ケーブルガイドの上方部にお
いて、前記移動路と平行な垂直面内で回動自在にハンド
部材に枢支された、軸芯部に貫通孔を有する可動のクラ
ンプ部材と、ハンド部材の位置変位に伴ない可動のクラ
ンプ部材の回動量を規制するストッパ部材と、可動のク
ランプ部材の軸芯部より引出されたケーブルを可動のク
ランプ部材と離間してハンド部材に取付けるケーブル取
付具と、ケーブルに連結された適宜の連結部材とを具備
してなるため、ハンド部材がＸ方向の異なる位置に位置
変位されると、ハンド部材に回動自在に枢支された可動
クランプ部材が第１および第２のいずれかのストッパ部
材により位置規制されて、可動のクランプ部材に支持さ
れたガイドケーブルはハンド部材と反対側の下方に指向
した姿勢となる。このため、ガイドケーブルがハンド部
材の基部からＸ方向の外方に突出することはない。従っ
て、ロボット装置の旋回半径を従前に比べて可及的に小
さくすることができ、被加工物，第１および第２のアー
ムおよびハンド部材の寸法により特定されるロボット本
来の最小の旋回半径とすることができる。

【００４２】本第２の発明は、本第１の発明において、
可動のクランプ部材は、防塵シール部材を介してハンド
部材に回転自在に取付けられ、かつ可動のクランプ部材
の軸芯部の貫通孔側が防塵カバーに覆われてなるため、
防塵雰囲気が要求される装置、例えば半導体製造装置等
に用いられる搬送用ロボット装置として好適である。

【００４３】本第３の発明は、本第１又は本第２の発明
において、ハンド部材は基部から相反して突出する２個
のハンドが取付けられているため、ハンド部材がＸ₁ 方
向とＸ₂ 方向との位置に位置変位されて、夫々の処理室
で被加工物の受渡しが行なわれる。勿論、ハンド部材が
Ｘ方向の異なる２位置に位置変位されると、ハンド部材
に回動自在に枢支された可動のクランプ部材が第１およ
び第２のいずれかのストッパ部材により位置規制され
て、可動のクランプ部材に支持されたガイドケーブルは
ハンド部材と反対側の下方に指向した姿勢となるため、
ガイドケーブルがハンド部材の基部からＸ方向の外方に
突出することはない。すなわち、ハンド部材がＸ₁ 方向
およびＸ₂ 方向の夫々端部に位置変位されても、ガイド
ケーブルはハンド４０３および４０２方向に突出するこ
とはないため、ハンド４０２，４０３の長さは図１およ
び図２に示されるハンドの長さと同一とすることができ
る。換言すれば、図１４乃至図１６に示されるこの種の
従来装置のごとくハンドの長さが長くなる、ということ
はない。

【００４４】さらに、上記のごとくハンド部材がＸ方向
の異なる２位置に位置変位された場合、ハンド部材に回
動自在に枢支された可動のクランプ部材が第１および第
２のいずれかのストッパ部材により位置規制されて、可
動のクランプ部材に支持されたガイドケーブルはハンド
部材と反対側の下方に指向した姿勢となるため、ガイド
ケーブルを案内するためのケーブルガイドのＸ方向の突
出長さが従前に比べて短くなる。

【００４５】このようにケーブルガイドのＸ方向の突出
長さが従前に比べて短いため、ロボット装置の旋回時
に、旋回台に固定されたケーブルガイドが旋回半径に影
響することはなく、被加工物，第１および第２のアーム
およびハンド部材の寸法により特定されるロボット本来
の最小の旋回半径とすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す平面図

【図２】図１の正面図

【図３】図２の要部を示す拡大正面図

【図４】図３におけるIV−IV線断面の展開拡大図

【図５】図１の旋回状態を説明するための平面図

【図６】本発明の他の実施例を示す平面図

【図７】図６の正面図

【図８】図６の旋回状態を説明するための平面図

【図９】本発明の対象とする２アーム方式の搬送用ロボ
ット装置を説明するための縦断面図

【図１０】図９の動作状態を説明するための平面図

【図１１】従来例を示す平面図

【図１２】図１１の正面図

【図１３】図１１の旋回状態を説明するための平面図

【図１４】他の従来例を示す平面図

【図１５】図１４の正面図

【図１６】図１４の旋回状態を説明するための平面図で
ある。

【符号の説明】

１ 水平旋回台 ２ 第１のアーム ３ 第２のアーム ４ ハンド部材 ５ 第１の回転伝達部材 ６ 第２の回転伝達部材 ７ 第３の回転伝達部材 ８ 第４の回転伝達部材 ９ 第１の連結具 １０ 第２の連結具 １１ ケーブルガイド １２ ガイドケーブル １３ ケーブル １４ ケーブルクランプ部材 １５ 可動のクランプ部材 １６ ケーブル取付具 １８ 防塵シール部材 １９ 防塵カバー ２１ 第１のストッパ部材 ２２ 第２のストッパ部材 Ｐ 第１支点 Ｑ 第２支点 Ｒ 第３支点

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水平旋回台と、前記旋回台の軸芯である
   第１支点のまわりで回転自在な第１のアームと、第１の
   アームに対して第１支点に平行な第２支点のまわりで回
   転自在な第２のアームと、第２のアームに対して第２支
   点に平行な第３支点のまわりで回転自在なハンド部材
   と、第１支点を軸芯として前記旋回台に固定された第１
   の回転伝達部材と、第２支点を軸芯として第２のアーム
   に固定された第２の回転伝達部材と、第２支点を軸芯と
   して第１のアームに固定された第３の回転伝達部材と、
   第３支点を軸芯としてハンド部材に固定された第４の回
   転伝達部材と、第１の回転伝達部材と第２の回転伝達部
   材および第３の回転伝達部材と第４の回転伝達部材との
   間に夫々配設された第１および第２の連結具とからな
   り、第１および第２の支点間隔と第３および第４の支点
   間隔とが同一で、かつ第１の回転伝達部材と第２の回転
   伝達部材および第４の回転伝達部材と第３の回転伝達部
   材との半径比が夫々２：１に形成されて、第１のアーム
   の回動により第１および第２のアームが回動されつつ、
   ハンド部材が第１支点と第３支点とを結ぶ直線上で移動
   され、かつ旋回台の回動によりハンド部材が旋回される
   ２アーム方式の搬送用ロボット装置において、 ハンド部材の直線移動路に対して、前記アームの回動側
   とは反対側で前記旋回台に固定されて、前記移動路と平
   行な上方に開口するケーブルガイドと、適宜のケーブル
   が挿通された可撓性を有するガイドケーブルと、ガイド
   ケーブルの一端側をケーブルガイドのハンド部材側に取
   付けるケーブルクランプ部材と、ガイドケーブルの自由
   端部を支持し、ケーブルガイドの上方部において、前記
   移動路と平行な垂直面内で回動自在にハンド部材に枢支
   された、軸芯部に貫通孔を有する可動のクランプ部材
   と、ハンド部材の位置変位に伴ない可動のクランプ部材
   の回動量を規制するストッパ部材と、可動のクランプ部
   材の軸芯部より引出されたケーブルを可動のクランプ部
   材と離間してハンド部材に取付けるケーブル取付具と、
   ケーブルに連結された適宜の連結部材とを具備してなる
   搬送用ロボット装置。
2. 【請求項２】 前記可動のクランプ部材は、防塵シール
   部材を介してハンド部材に回転自在に取付けられ、かつ
   可動のクランプ部材の軸芯部の貫通孔側が防塵カバーに
   覆われてなる請求項１記載の搬送用ロボット装置。
3. 【請求項３】 前記ハンド部材は、基部から相反して突
   出する２個のハンドが取付けられてなる請求項１又は２
   に記載の搬送用ロボット装置。