JPH10246958A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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JPH10246958A
JPH10246958A JP4944697A JP4944697A JPH10246958A JP H10246958 A JPH10246958 A JP H10246958A JP 4944697 A JP4944697 A JP 4944697A JP 4944697 A JP4944697 A JP 4944697A JP H10246958 A JPH10246958 A JP H10246958A
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resin
photosensitive
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carboxyl group
epoxy
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隆雄 平山
Kuniaki Sato
邦明 佐藤
Toshihiko Ito
敏彦 伊藤
Hiroaki Hirakura
裕昭 平倉
Katsushige Tsukada
勝重 塚田
Toshizumi Yoshino
利純 吉野
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition superior in adhesion of a resist film to copper and other substrate materials and resistance to hot moisture and suitable as a solder resist composition, by incorporating at least a photosensitive resin, an epoxy resin, and a photopolymerization initiator as essential components. SOLUTION: This photosensitive resin composition contains (A) at least one kind of photosensitive resin selected from among a photosensitive polyamide resin having carboxylic groups and a photosensitive polyamideimide resin having carboxylic group; (B) an epoxy resin, and (C) a photopolymerization initiator as essential components. The photosensitive polyamide resin having carboxylic groups (A) is embodied, preferably, by a polyamide resin with a terminal carboxylic acid synthesizable by condensation reaction of a polyvalent carboxylic acid component, such as dicarboxylic acid, tricarboxylic acid, or tetracarboxylic acid dianhydride, and an organic diisocyanate or a diamine.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リジッド及びフレ
キシブルプリント配線板、あるいはBGA(ボール グ
リッド アレイ)、CSP(チップ サイズ パッケー
ジ)等のLSIパッケージの製造に使用されるソルダー
レジスト組成物として好適に用いられる感光性樹脂組成
物に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is suitably used as a solder resist composition used for manufacturing rigid and flexible printed wiring boards or LSI packages such as BGA (ball grid array) and CSP (chip size package). The photosensitive resin composition to be obtained.

【0002】[0002]

【従来の技術】ソルダーレジストはプリント配線板製造
において使用されているが、近年はBGAやCSPとい
った新しいLSIパッケージにも使用されるようになっ
てきた。ソルダーレジストはソルダリング工程で半田が
不必要な部分に付着するのを防ぐ保護膜として、また永
久マスクとして必要不可欠な材料である。ソルダーレジ
ストとしては熱硬化型のものをスクリーン印刷法で印刷
して施す方法がある。本発明もこのような方法に適用で
きるが、近年、配線の高密度化に伴いスクリーン印刷法
では解像度の点で限界があり、写真法でパターン形成す
るフォトソルダーレジストが盛んに用いられるようにな
っている。中でも炭酸ソーダ溶液等の弱アルカリ溶液で
現像可能なアルカリ現像型のものが作業環境保全、地球
環境保全の点から主流になっている。このようなものと
して特開昭61−243869号公報、特開平1−14
1904号公報に示されるものが知られている。しかし
アルカリ現像型のフォトソルダーレジストは、耐久性の
点ではまだまだ問題がある。すなわち従来の熱硬化型、
溶剤現像型のものに比べて耐薬品性、耐水性、耐熱性等
が劣る。これはアルカリ現像型フォトソルダーレジスト
はアルカリ現像可能にするために親水性基を有するもの
が主成分となっており、薬液、水、水蒸気等が浸透しや
すく、これらがレジスト皮膜と銅との密着性を低下させ
るためである。特にBGAやCSP等の半導体パッケー
ジにおいては特に耐湿熱性ともいうべき耐PCT性(耐
プレッシャークッカーテスト性)が必要であるがこのよ
うな厳しい条件下においては数時間〜十数時間程度しか
持たないのが現状である。
2. Description of the Related Art Solder resist is used in the manufacture of printed wiring boards, but has recently been used in new LSI packages such as BGA and CSP. Solder resist is an indispensable material as a protective film for preventing solder from adhering to unnecessary parts in a soldering process and as a permanent mask. As a solder resist, there is a method of printing and applying a thermosetting type by a screen printing method. The present invention can also be applied to such a method, but in recent years, with the increase in wiring density, there is a limit in terms of resolution in the screen printing method, and a photo solder resist for forming a pattern by a photographic method has been actively used. ing. Among them, an alkali developing type, which can be developed with a weak alkali solution such as sodium carbonate solution, has become mainstream from the viewpoint of working environment conservation and global environment conservation. Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 61-243869 and 1-14
What is shown by 1904 gazette is known. However, alkali development type photo solder resist still has a problem in durability. That is, the conventional thermosetting type,
Chemical resistance, water resistance, heat resistance, etc. are inferior to those of the solvent development type. This is because the alkali-developable photosolder resist has a hydrophilic group as the main component so that it can be alkali-developed, and chemicals, water, water vapor, etc. easily penetrate, and these adhere to the resist film and copper. This is to reduce the property. In particular, semiconductor packages such as BGA and CSP require PCT resistance (pressure cooker resistance), which can be referred to as resistance to moisture and heat, but under such severe conditions, they have only a few hours to several tens of hours. Is the current situation.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、これらの問
題を解決するものであり、レジスト皮膜と銅及び他の基
材に対する密着性及び耐湿熱性に優れたソルダーレジス
ト組成物として好適な感光性樹脂組成物を提供するもの
である。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention solves these problems, and provides a photosensitive composition suitable as a solder resist composition having excellent adhesion to a resist film and copper and other substrates and excellent wet heat resistance. The present invention provides a resin composition.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
解決するために鋭意研究を重ねた結果、カルボキシルを
有する感光性ポリアミド樹脂又は感光性ポリアミドイミ
ド樹脂、エポキシ樹脂及び光重合開始剤を含む感光性樹
脂組成物が銅及び他の基材に対する密着性及び耐久性に
優れていることを見出し、この知見に基づいて本発明を
完成するに至った。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, have obtained a photosensitive polyamide resin having a carboxyl or a photosensitive polyamideimide resin, an epoxy resin and a photopolymerization initiator. The present inventors have found that a photosensitive resin composition containing the same has excellent adhesion and durability to copper and other base materials, and have completed the present invention based on this finding.

【0005】すなわち本発明は、カルボキシル基を有す
る感光性ポリアミド樹脂及びカルボキシル基を有する感
光性ポリアミドイミド樹脂から選ばれる少なくとも1種
の感光性樹脂(A)、エポキシ樹脂(B)及び光重合開
始剤(C)を必須成分として含んで成ることを特徴とす
る感光性樹脂組成物を提供するものである。
That is, the present invention provides at least one photosensitive resin (A) selected from a photosensitive polyamide resin having a carboxyl group and a photosensitive polyamideimide resin having a carboxyl group, an epoxy resin (B), and a photopolymerization initiator. It is intended to provide a photosensitive resin composition comprising (C) as an essential component.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】本発明で用いられるカルボキシル
基を有する感光性ポリアミド樹脂又はカルボキシル基を
有する感光性ポリアミドイミド樹脂(以下、カルボキシ
ル基含有感光性ポリアミド(イミド)樹脂(A)という
ことがある。)としては、ジカルボン酸、トリカルボン
酸、テトラカルボン酸二無水物等の多価カルボン酸成分
及び有機ジイソシアネートあるいはジアミンから縮合反
応により合成できるカルボキシル基末端ポリアミド樹脂
(a1)又はカルボキシル基末端ポリアミドイミド樹脂
(a2)(以下、カルボキシル基末端ポリアミド(イミ
ド)樹脂(a)ということがある。)とエポキシ樹脂
(b)とを、エポキシ基/カルボキシル基のモル比を1
より大きくして反応させて得られるエポキシ基含有ポリ
アミド樹脂(c1)又はエポキシ基含有ポリアミドイミ
ド樹脂(c2)(以下、エポキシ基含有ポリアミド(イ
ミド)樹脂(c)ということがある。)に対して、エチ
レン性不飽和モノカルボン酸(d)を反応させた後、更
に多塩基酸無水物(e)を反応させて得られる樹脂が好
適に用いられる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The photosensitive polyamide resin having a carboxyl group or the photosensitive polyamideimide resin having a carboxyl group (hereinafter, may be referred to as a carboxyl group-containing photosensitive polyamide (imide) resin (A)) used in the present invention. ) Is a carboxyl-terminated polyamide resin (a1) or a carboxyl-terminated polyamideimide resin which can be synthesized from a polycarboxylic acid component such as dicarboxylic acid, tricarboxylic acid, and tetracarboxylic dianhydride and an organic diisocyanate or diamine by a condensation reaction. (A2) (hereinafter sometimes referred to as a carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (a)) and an epoxy resin (b) at an epoxy group / carboxyl group molar ratio of 1
The epoxy group-containing polyamide resin (c1) or the epoxy group-containing polyamide-imide resin (c2) (hereinafter, sometimes referred to as epoxy group-containing polyamide (imide) resin (c)) obtained by making the reaction larger. A resin obtained by reacting an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid (d) and then reacting with a polybasic acid anhydride (e) is preferably used.

【0007】上記カルボキシル基末端ポリアミド(イミ
ド)樹脂(a)の製造に使用される多価カルボン酸成分
としては、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、アゼラ
イン酸、セバシン酸、デカン二酸、ドデカン二酸、ダイ
マー酸等の脂肪族ジカルボン酸、イソフタル酸、テレフ
タル酸、フタル酸、ナフタレンジカルボン酸、ジフェニ
ルスルホンジカルボン酸、オキシジ安息香酸等の芳香族
ジカルボン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ジフ
ェニルスルホンテトラカルボキシリックジアンハイドラ
イド、ベンゾフェノンテトラカルボキシリックジアンハ
イドライド等の芳香族カルボン酸無水物などが挙げられ
る。これらは、単独または2種類以上を組み合わせて使
用することができる。
The polyvalent carboxylic acid component used for producing the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (a) includes succinic acid, glutaric acid, adipic acid, azelaic acid, sebacic acid, decandioic acid, dodecane diacid. Acids, aliphatic dicarboxylic acids such as dimer acid, isophthalic acid, terephthalic acid, phthalic acid, naphthalenedicarboxylic acid, aromatic dicarboxylic acids such as diphenylsulfonedicarboxylic acid, oxydibenzoic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid, diphenylsulfonetetra Aromatic carboxylic anhydrides such as carboxylic dianhydride and benzophenone tetracarboxylic dianhydride are exemplified. These can be used alone or in combination of two or more.

【0008】上記カルボキシル基末端ポリアミド(イミ
ド)樹脂(a)の製造に使用される有機ジイソシアネー
トとしては4,4′−ジフェニルメタンジイソシアネー
ト、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリ
レンジイソシアネート、1,5−ナフタレンジイソシア
ネート、3,3′−ジメチル−4,4′−ジフェニルメ
タンジイソシアネート、p−フェニレンジイソシアネー
ト、m−キシレンジイソシアネート、m−テトラメチル
キシレンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネー
ト、ヘキサメチレンジイソシアネート、2,2,4−ト
リメチルへキサメチレンジイソシアネート、イソホロン
ジイソシアネート、4,4′−ジシクロヘキシルメタン
ジイソシアネート、トランスシクロへキサン−1,4−
ジイソシアネート、水添m−キシレンジイソシアネー
ト、リジンジイソシアネート等の脂肪族イソシアネート
などが挙げられる。これらのうちでは耐熱性の点から芳
香族ジイソシアネートが好ましく、4,4′−ジフェニ
ルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート
が特に好ましい。これらは単独で使用してもよいが、結
晶性が高くなるので2種類以上を組み合わせて使用する
ことが好ましい。
The organic diisocyanate used for producing the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (a) includes 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, Aromatic diisocyanates such as 2,5-naphthalene diisocyanate, 3,3'-dimethyl-4,4'-diphenylmethane diisocyanate, p-phenylene diisocyanate, m-xylene diisocyanate, m-tetramethyl xylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, 2,2 4,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, 4,4'-dicyclohexylmethane diisocyanate, transcyclohexane-1,4-
Examples thereof include aliphatic isocyanates such as diisocyanate, hydrogenated m-xylene diisocyanate, and lysine diisocyanate. Of these, aromatic diisocyanates are preferred from the viewpoint of heat resistance, and 4,4'-diphenylmethane diisocyanate and tolylene diisocyanate are particularly preferred. These may be used alone, but it is preferable to use two or more kinds in combination because the crystallinity is increased.

【0009】上記有機ジイソシアネートの代わりにジア
ミンも使用できる。ジアミンとしてはフェニレンジアミ
ン、ジアミノジフェニルプロパン、ジアミノジフェニル
メタン、ベンジジン、4,4′−ジアミノジフェニルス
ルホン、4,4′−ジアミノジフェニルスルファイド、
ジアミノジフェニルエーテル等が挙げられる。有機溶剤
に対する可溶性を向上させるために2,2−ビス(3−
アミノフェノキシフェニル)プロパン、2,2−ビス
(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン、3,3−
ビス(3−アミノフェノキシフェニル)スルホン、4,
4−ビス(3−アミノフェノキシフェニル)スルホン、
3,3−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)スルホ
ン、4,4−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)ス
ルホン、2,2−ビス(3−アミノフェノキシフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−アミ
ノフェノキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、1,
4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−
ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4−(p
−フェニレンジイソプロピリデン)ビスアニリン、4,
4−(m−フェニレンジイソプロピリデン)ビスアニリ
ン等のジアミンを用いることが好ましい。
Diamines can be used in place of the above organic diisocyanates. Examples of the diamine include phenylenediamine, diaminodiphenylpropane, diaminodiphenylmethane, benzidine, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenylsulfide,
And diaminodiphenyl ether. To improve the solubility in organic solvents, 2,2-bis (3-
Aminophenoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, 3,3-
Bis (3-aminophenoxyphenyl) sulfone, 4,
4-bis (3-aminophenoxyphenyl) sulfone,
3,3-bis (4-aminophenoxyphenyl) sulfone, 4,4-bis (4-aminophenoxyphenyl) sulfone, 2,2-bis (3-aminophenoxyphenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis ( 4-aminophenoxyphenyl) hexafluoropropane, 1,
4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-
Bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4- (p
-Phenylenediisopropylidene) bisaniline, 4,
It is preferable to use a diamine such as 4- (m-phenylenediisopropylidene) bisaniline.

【0010】これら有機ジイソシアネート及びジアミン
は単独で使用してもよいが、2種類以上を組み合わせて
使用してもよい。ただし有機ジイソシアネートとジアミ
ンは同時に用いると反応し耐熱性の劣る尿素結合ができ
るので好ましくない。
These organic diisocyanates and diamines may be used alone or in combination of two or more. However, when organic diisocyanate and diamine are used at the same time, they react with each other to form a urea bond having poor heat resistance, which is not preferable.

【0011】本発明で用いられる感光性樹脂(A)、す
なわち感光性ポリアミド(イミド)樹脂(A)として
は、ポリアルキレンオキサイドユニット及びポリカーボ
ネートユニットから選ばれる少なくとも1種のポリマー
ユニットを分子構造中に有するカルボキシル基を有する
感光性ポリアミド(イミド)樹脂が好ましく用いられ
る。
The photosensitive resin (A) used in the present invention, that is, the photosensitive polyamide (imide) resin (A) has at least one polymer unit selected from a polyalkylene oxide unit and a polycarbonate unit in its molecular structure. A photosensitive polyamide (imide) resin having a carboxyl group is preferably used.

【0012】感光性ポリアミド(イミド)樹脂(A)の
分子構造中に導入されるポリアルキレンオキサイドユニ
ット、ポリカーボネートユニットは、前記カルボキシル
基末端ポリアミド(イミド)樹脂(a)を製造する際
に、ポリアルキレングリコール類又は、ポリカーボネー
トジオールの両末端カルボン酸物のようなジカルボン酸
を多価カルボン酸成分として用い、ジイソシアネートと
反応させポリアミド(イミド)骨格に導入する。ポリア
ルキレングリコール類としては、ポリテトラメチレンエ
ーテルグリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエ
チレングリコール、ビスフェノールAあるいは水添ビス
フェノールAとこれらポリアルキレングリコールとの反
応物が挙げられ、これらアルキレンオキサイドユニット
は一分子中に2種以上存在していてもよい。ポリカーボ
ネートジオールとしては直鎖状脂肪族ポリカーボネート
ジオールが挙げられ、プラクセルCDシリーズ(ダイセ
ル化学工業社製)ニッポラン980、981(日本ポリ
ウレタン工業社製)などが挙げられる。ポリカーボネー
トジオールの化学構造については、例えば次式で表され
るものが挙げられる。
The polyalkylene oxide unit and the polycarbonate unit introduced into the molecular structure of the photosensitive polyamide (imide) resin (A) are used in the production of the carboxyl-terminated polyamide (imide) resin (a). A glycol or a dicarboxylic acid such as a carboxylic acid compound at both ends of a polycarbonate diol is used as a polyvalent carboxylic acid component, and is reacted with diisocyanate to be introduced into a polyamide (imide) skeleton. Examples of the polyalkylene glycols include polytetramethylene ether glycol, polypropylene glycol, polyethylene glycol, a reaction product of bisphenol A or hydrogenated bisphenol A with these polyalkylene glycols, and these alkylene oxide units are two kinds in one molecule. The above may be present. Examples of the polycarbonate diol include straight-chain aliphatic polycarbonate diols, such as Placcel CD series (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), Nipporan 980, 981 (manufactured by Nippon Polyurethane Industry). The chemical structure of the polycarbonate diol includes, for example, those represented by the following formula.

【0013】HO(ROCOO)nR−OH (式中、Rは2価アルコール残基を表し、nは1〜10
の整数である。) 特に、2価アルコール残基が、炭素数1〜100のも
の、例えば、1,5−ペンタンジオール残基、メチルペ
ンタンジオール残基、シクロヘキサノンジメタノール残
基、1,6−ヘキサンジオール残基、1,9−ノナンジ
オール残基、2−メチル−1,8−オクタンジオール残
基を有し、常温で液状のものものが好適に用いられる。
HO (ROCOO) n R—OH (wherein R represents a dihydric alcohol residue, and n represents 1 to 10)
Is an integer. In particular, when the dihydric alcohol residue has 1 to 100 carbon atoms, for example, a 1,5-pentanediol residue, a methylpentanediol residue, a cyclohexanone dimethanol residue, a 1,6-hexanediol residue, Those having a 1,9-nonanediol residue and a 2-methyl-1,8-octanediol residue and being liquid at ordinary temperature are preferably used.

【0014】ポリアルキレングリコール類、ポリカーボ
ネートジオールを両末端カルボン酸にするには、前記し
た多価カルボン酸成分と同様の多価カルボン酸、好まし
くはジカルボン酸をポリアルキレングリコール、ポリカ
ーボネートジオールに反応させればよい。
In order to convert polyalkylene glycols and polycarbonate diols into carboxylic acids at both ends, the same polyvalent carboxylic acids as those described above, preferably dicarboxylic acids, are reacted with polyalkylene glycols and polycarbonate diols. I just need.

【0015】また、末端アミンのポリアルキレングリコ
ールジアミン、ポリカーボネートジアミンをジアミン成
分として使用しても、又はこれらをトリメリット酸と反
応させたイミドジカルボン酸を多価カルボン酸成分とし
て使用してもカルボキシル基末端ポリアミド(イミド)
樹脂(a)中に導入することができる。
[0015] In addition, no matter whether the terminal amine polyalkylene glycol diamine or polycarbonate diamine is used as a diamine component, or if an imidodicarboxylic acid obtained by reacting them with trimellitic acid is used as a polyvalent carboxylic acid component, the carboxyl group is not changed. Terminal polyamide (imide)
It can be introduced into the resin (a).

【0016】ポリアルキレンオキサイドユニット又はポ
リカーボネートユニットの含有量の合計は、接着性の点
からカルボキシル基末端ポリアミド(イミド)樹脂
(a)中に10重量%以上、耐熱性の点から90重量%
以下使用することが好ましい。さらに接着性、耐吸水性
の点からポリテトラメチレンエーテルグリコール、ポリ
プロピレングリコール及びこれらの(水添)ビスフェノ
ールAとの反応物を用いて導入することが好ましい。使
用できるこれらのジオールの分子量(水酸価からの算出
値)は200〜4,000が好ましい。
The total content of the polyalkylene oxide unit or the polycarbonate unit is at least 10% by weight in the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (a) from the viewpoint of adhesiveness and 90% by weight from the viewpoint of heat resistance.
It is preferable to use the following. In addition, it is preferable to introduce polytetramethylene ether glycol, polypropylene glycol and a reaction product thereof with (hydrogenated) bisphenol A from the viewpoints of adhesion and water absorption resistance. The molecular weight (calculated from the hydroxyl value) of these diols that can be used is preferably from 200 to 4,000.

【0017】カルボキシル基末端ポリアミド(イミド)
樹脂(a)の製造において、多価カルボン酸成分はジイ
ソシアネート成分とジアミン成分の合計に対してモル比
で1以上、好ましくは1〜3、より好ましくは1.1〜
2.2となるように配合し、反応させる。
Carboxyl-terminated polyamide (imide)
In the production of the resin (a), the polycarboxylic acid component has a molar ratio of 1 or more, preferably 1 to 3, more preferably 1.1 to 1 based on the total of the diisocyanate component and the diamine component.
It mixes so that it may become 2.2, and is made to react.

【0018】上記の反応はγ−ブチロラクトン等のラク
トン類、N−メチルピロリドン(NMP)、ジメチルホ
ルムアミド(DMF)等のアミド系溶媒、テトラメチレ
ンスルホン等のスルホン類、ジエチレングリコールジメ
チルエーテル等のエーテル類などの溶媒を使用し50℃
〜250℃で反応させる。反応収率、溶解性及び後工程
での揮散性を考慮するとγ−ブチロラクトンを溶媒の主
成分にするのがよい。
The above reaction is carried out using lactones such as γ-butyrolactone, amide solvents such as N-methylpyrrolidone (NMP) and dimethylformamide (DMF), sulfones such as tetramethylene sulfone, and ethers such as diethylene glycol dimethyl ether. 50 ° C using solvent
React at ~ 250 ° C. Considering the reaction yield, solubility and volatility in the subsequent steps, it is preferable to use γ-butyrolactone as the main component of the solvent.

【0019】次に、カルボキシル基末端ポリアミド(イ
ミド)樹脂(a)と反応させるエポキシ樹脂(b)とし
てはビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノール
F型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、
フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボ
ラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂及び
その変性物、ビキシレニルジグリシジルエーテル、YD
C1312(東都化成社製商品名)、テクモアVG31
01(三井石油化学社製商品名)、TMH574(住友
化学社製商品名)、ESLD−80XY、−90CR、
−120TE、−80DE(新日鉄化学社製商品名)、
エピコート1031S(油化シェル社製商品名)等の芳
香族系エポキシ樹脂、ネオペンチルグリコールジグリシ
ジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジル
エーテル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル
等の脂肪族系エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌ
レート等の複素環式エポキシ化合物などが挙げられる。
これらのうちでは、反応制御の点から2官能エポキシ樹
脂が好ましく、耐熱性の点から芳香族系あるいは複素環
式エポキシ樹脂がよい。また難燃性を付与するためには
ブロム化エポキシ樹脂が有用である。これらは単独又は
2種類以上組み合わせて使用される。またこれらのエポ
キシ樹脂(b)はカルボキシル基末端のポリアミド(イ
ミド)樹脂(a)と、エポキシ基/カルボキシル基のモ
ル比を1より大きくして、好ましくは1.1〜2.5で
反応させる。エポキシ基/カルボキシル基のモル比が1
以下では末端エポキシの樹脂が得られない。このように
して得られるエポキシ基含有ポリアミド(イミド)樹脂
(c)のエポキシ当量は500〜40,000であるこ
とが好ましい。500より小さくては分子量が低く接着
性が劣り、40,000を超えると分子量が高すぎ現像
性に劣る。
Next, as the epoxy resin (b) to be reacted with the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (a), bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin,
Phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin and its modified products, bixylenyl diglycidyl ether, YD
C1312 (trade name, manufactured by Toto Kasei), Techmore VG31
01 (trade name of Mitsui Petrochemical Co., Ltd.), TMH574 (trade name of Sumitomo Chemical Co., Ltd.), ESLD-80XY, -90CR,
-120TE, -80DE (brand name by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.),
Aromatic epoxy resins such as Epicoat 1031S (trade name of Yuka Shell Co., Ltd.), aliphatic epoxy resins such as neopentyl glycol diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether, diglycidyl tetrahydrophthalate, and triglycidyl isocyanurate And the like.
Of these, bifunctional epoxy resins are preferred from the viewpoint of reaction control, and aromatic or heterocyclic epoxy resins are preferred from the viewpoint of heat resistance. A brominated epoxy resin is useful for imparting flame retardancy. These are used alone or in combination of two or more. These epoxy resins (b) are reacted with the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (a) at a molar ratio of epoxy group / carboxyl group of more than 1, preferably 1.1 to 2.5. . The epoxy group / carboxyl group molar ratio is 1
In the following, a terminal epoxy resin cannot be obtained. The epoxy equivalent of the epoxy group-containing polyamide (imide) resin (c) thus obtained preferably has an epoxy equivalent of 500 to 40,000. If it is smaller than 500, the molecular weight is low and the adhesiveness is poor, and if it exceeds 40,000, the molecular weight is too high and the developability is poor.

【0020】続いて、上記エポキシ基含有ポリアミド
(イミド)樹脂(c)に反応させるエチレン性不飽和カ
ルボン酸(d)としては、(メタ)アクリル酸、クロト
ン酸、桂皮酸及び飽和又は不飽和二塩基酸無水物と1分
子中に1個の水酸基を有する(メタ)アクリレート類あ
るいは飽和又は不飽和二塩基酸と不飽和モノグリシジル
化合物との半エステル化合物類、例えばフタル酸、テト
ラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、マレイン
酸、コハク酸とヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
ト、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、トリス
(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートジ(メタ)アク
リレート又はグリシジル(メタ)アクリレートとを常法
により等モル比で反応させて得られるものが単独で又は
混合して用いられる。上記エポキシ基含有ポリアミド
(イミド)樹脂(c)に対するエチレン性不飽和カルボ
ン酸(d)の反応割合は、カルボキシル基/エポキシ基
のモル比で0.5〜2とすることが好ましい。
Subsequently, the ethylenically unsaturated carboxylic acid (d) to be reacted with the epoxy group-containing polyamide (imide) resin (c) includes (meth) acrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid and saturated or unsaturated dicarboxylic acid. Basic acid anhydrides and (meth) acrylates having one hydroxyl group in one molecule or half-ester compounds of a saturated or unsaturated dibasic acid and an unsaturated monoglycidyl compound, such as phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexa Hydrophthalic acid, maleic acid, succinic acid and hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, tris (hydroxyethyl) isocyanurate di (meth) acrylate or glycidyl (meth) acrylate in equimolar ratio by a conventional method. Are used alone or as a mixture. The reaction ratio of the ethylenically unsaturated carboxylic acid (d) to the epoxy group-containing polyamide (imide) resin (c) is preferably 0.5 to 2 in a carboxyl group / epoxy group molar ratio.

【0021】さらに、樹脂中に残っている水酸基に対し
て、感光特性等を考慮し、イソシアネートエチル(メ
タ)アクリレート、あるいはトリレンジイソシアネート
又はイソホロンジイソシアネートと1分子中に水酸基を
1個以上有する(メタ)アクリレート類例えばヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレートとの等モル反応物を反応
させてウレタン結合を介して不飽和結合を導入してもよ
い。
Further, in consideration of the photosensitivity and the like, the hydroxyl groups remaining in the resin are combined with isocyanate ethyl (meth) acrylate, tolylene diisocyanate or isophorone diisocyanate in one molecule to have at least one hydroxyl group (meth). A) Acrylates, for example, an equimolar reactant with hydroxyethyl (meth) acrylate may be reacted to introduce an unsaturated bond via a urethane bond.

【0022】上記エポキシ基含有ポリアミド(イミド)
樹脂(c)エチレン性不飽和モノカルボン酸を反応させ
た後に反応させる多塩基酸無水物(e)としては、フタ
ル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、
マレイン酸、コハク酸、トリメリット酸等の無水物が用
いられる。さらに酸価を上げたい場合、グリシドールを
反応後、さらに多塩基酸無水物を反応させてもよい。
The above-mentioned epoxy group-containing polyamide (imide)
As the polybasic acid anhydride (e) to be reacted after the reaction of the resin (c) with the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid,
Anhydrides such as maleic acid, succinic acid and trimellitic acid are used. If it is desired to further increase the acid value, glycidol may be reacted and then a polybasic acid anhydride may be further reacted.

【0023】感光性ポリアミド(イミド)樹脂(A)の
酸価は、アルカリ現像性と電気特性他の特性バランス
上、40〜250、好ましくは50〜150である。
The acid value of the photosensitive polyamide (imide) resin (A) is from 40 to 250, preferably from 50 to 150, in view of the balance between alkali developability and other characteristics such as electric characteristics.

【0024】本発明の感光性樹脂組成物には、感光性樹
脂(A)と組み合わせて他のカルボキシル基を含有する
感光性樹脂(D)を配合してもよい。カルボキシル基を
含有する感光性樹脂(D)としては、エポキシ化合物と
不飽和モノカルボン酸のエステル化物に飽和又は不飽和
多塩基酸無水物を付加した付加反応物等が好適に用いら
れる。
The photosensitive resin composition of the present invention may contain another photosensitive resin (D) containing a carboxyl group in combination with the photosensitive resin (A). As the photosensitive resin (D) having a carboxyl group, an addition product obtained by adding a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride to an esterified product of an epoxy compound and an unsaturated monocarboxylic acid, and the like are preferably used.

【0025】例えばフェノール、クレゾール、ハロゲン
化フェノール及びアルキルフェノール類とホルムアルデ
ヒドとを酸性触媒下で反応して得られるノボラック類と
エピクロルヒドリンを反応させて得られるノボラック型
エポキシ化合物が適しており、東都化成社製YDCN−
701,704、YDPN−638,602、ダウケミ
カル社製DEN−431,439、チバ・ガイギ社製E
PN−1299、大日本インキ化学工業社製N−73
0、770、865、665、673、VH−415
0,4240,日本化薬社製EOCN−120、BRP
N等が挙げられる。又ノボラック型エポキシ化合物以外
にも、例えばサリチルアルデヒド−フェノール型エポキ
シ化合物(日本化薬社製EPPN502H)が好適に用
いられる。また、例えば油化シェル社製エピコート82
8、1007、807、大日本インキ化学工業社製エピ
クロン840、860、3050、ダウ・ケミカル社製
DER−330、337、361、ダイセル化学工業社
製セロキサイド2021、三菱ガス化学社製TETRA
D−X,C、日本曹達社製EPB−13、27、チバ・
ガイギ社製GY−260,255、XB−2615等の
ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、水添ビスフ
ェノールA型、臭素化ビスフェノールA型、アミノ基含
有、脂環式あるいはポリブタジエン変性等のグリシジル
エーテル型等のエポキシ化合物も好適に用いられる。
For example, novolak type epoxy compounds obtained by reacting novolaks obtained by reacting phenol, cresol, halogenated phenols and alkylphenols with formaldehyde in the presence of an acidic catalyst, and epichlorohydrin are suitable. YDCN-
701, 704, YDPN-638, 602, DEN-431, 439 manufactured by Dow Chemical Company, E manufactured by Ciba Geigy Corporation
PN-1299, N-73 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.
0, 770, 865, 665, 673, VH-415
0,4240, Nippon Kayaku Co., Ltd. EOCN-120, BRP
N and the like. In addition to the novolak type epoxy compound, for example, a salicylaldehyde-phenol type epoxy compound (EPPN502H manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) is preferably used. Further, for example, Epicoat 82 manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.
8, 1007, 807, Epiklon 840, 860, 3050 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, DER-330, 337, 361 manufactured by Dow Chemical Company, Celoxide 2021 manufactured by Daicel Chemical Industries, TETRA manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company
DX, C, Nippon Soda's EPB-13, 27, Ciba
Bisphenol A type, bisphenol F type, hydrogenated bisphenol A type, brominated bisphenol A type, amino group-containing, alicyclic or polybutadiene modified glycidyl ether type such as GY-260, 255 and XB-2615 manufactured by Geigy Corporation The epoxy compound is also preferably used.

【0026】前記不飽和モノカルボン酸としては、(メ
タ)アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸及び飽和又は不飽
和多塩基酸無水物と1分子中に1個の水酸基を有する
(メタ)アクリレート類あるいは飽和又は不飽和二塩基
酸と不飽和モノグリシジル化合物との半エステル化合物
類との反応物、例えばフタル酸、テトラヒドロフタル
酸、へキサヒドロフタル酸、マレイン酸、コハク酸とヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロ
ピル(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチ
ル)イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート、グリシ
ジル(メタ)アクリレートを常法により等モル比で反応
させて得られる反応物が挙げられる。これらの不飽和モ
ノカルボン酸は単独又は混合して用いることができる。
これらの中でアクリル酸が好ましい。
Examples of the unsaturated monocarboxylic acid include (meth) acrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, and a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride and a (meth) acrylate having one hydroxyl group in one molecule or Reaction products of half-ester compounds of saturated or unsaturated dibasic acids with unsaturated monoglycidyl compounds, such as phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, maleic acid, succinic acid and hydroxyethyl (meth) acrylate And hydroxypropyl (meth) acrylate, tris (hydroxyethyl) isocyanurate di (meth) acrylate, and glycidyl (meth) acrylate in a conventional manner in an equimolar ratio. These unsaturated monocarboxylic acids can be used alone or in combination.
Of these, acrylic acid is preferred.

【0027】前記飽和又は不飽和多塩基酸無水物として
はフタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタ
ル酸、マレイン酸、コハク酸、トリメリット酸等の無水
物が用いられる。
As the above-mentioned saturated or unsaturated polybasic acid anhydride, anhydrides such as phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, maleic acid, succinic acid and trimellitic acid are used.

【0028】上記のカルボキシル基を含有する感光性樹
脂(D)にさらに、イソシアネートエチル(メタ)アク
リレート、あるいはトリレンジイソシアネート又はイソ
ホロンジイソシアネートと1分子中に水酸基を1個以上
有する(メタ)アクリレート類、例えばヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレートとの等モル反応物を反応させて
ウレタン結合を介して不飽和結合を導入してもよい。
The photosensitive resin (D) containing a carboxyl group further comprises isocyanate ethyl (meth) acrylate, or tolylene diisocyanate or isophorone diisocyanate, and (meth) acrylates having at least one hydroxyl group in one molecule; For example, an equimolar reactant with hydroxyethyl (meth) acrylate may be reacted to introduce an unsaturated bond via a urethane bond.

【0029】カルボキシル基を含有する感光性樹脂
(D)としては、他にカルボキシル基と(メタ)アクリ
レート基を有する特公平7−92603号公報あるいは
特開昭63−205649号公報に示されるアクリル
系、スチレン系樹脂を使用してもよい。
As the photosensitive resin (D) containing a carboxyl group, acrylic resins having a carboxyl group and a (meth) acrylate group described in JP-B-7-92603 or JP-A-63-205649 are also available. Alternatively, a styrene resin may be used.

【0030】カルボキシル基を含有する感光性樹脂
(D)の好ましい配合割合は樹脂(A)及びカルボキシ
ル基を含有する感光性樹脂(D)の合計量100重量部
に対して20〜80重量部である。
The preferred compounding ratio of the photosensitive resin (D) containing a carboxyl group is 20 to 80 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the resin (A) and the photosensitive resin (D) containing a carboxyl group. is there.

【0031】本発明の感光性樹脂組成物において、感光
性樹脂(A)の好ましい配合は 10〜90重量%であ
る。
In the photosensitive resin composition of the present invention, the preferred proportion of the photosensitive resin (A) is 10 to 90% by weight.

【0032】また、本発明の感光性樹脂組成物には、耐
熱性を向上させるためにエポキシ樹脂(B)が配合され
ている。このエポキシ樹脂(B)は、感光基を有してい
てもよいし、有していなくてもよい。感光基を有するエ
ポキシ樹脂としてはカルボキシル基を有する感光性樹脂
(D)を得る前段階の酸無水物を反応させないノボラッ
ク型エポキシ化合物と不飽和モノカルボン酸のエステル
化物であるエポキシアクリレート化合物が好適に用いら
れる。さらにエポキシアクリレート化合物イソシアネー
トエチルメタクリレート等をウレタン結合を介して導入
したウレタン化物等も好適に用いられる。
Further, the photosensitive resin composition of the present invention contains an epoxy resin (B) for improving heat resistance. This epoxy resin (B) may or may not have a photosensitive group. The epoxy resin having a photosensitive group is preferably an epoxy acrylate compound which is an esterified product of a novolak type epoxy compound and an unsaturated monocarboxylic acid, which is not reacted with an acid anhydride in a stage before obtaining a photosensitive resin (D) having a carboxyl group. Used. Further, a urethane compound into which an epoxy acrylate compound isocyanate ethyl methacrylate or the like is introduced via a urethane bond is preferably used.

【0033】感光基を有していないエポキシ樹脂として
は、分子内に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹
脂が好ましく、具体的にはビスフェノールA型、F型、
S型エポキシ樹脂及びその臭素化物等の誘導体、フェノ
ールあるいはクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビ
フェニル型エポキシ樹脂、例えば「YX4000」(油
化シェルエポキシ社製)、特殊グリシジルエーテル系エ
ポキシ樹脂、例えば「YDC−1312」(東都化成社
製)、「TACTIX742」(ダウケミカル社製)、
「ZX1257」(東都化成社製)、ESLD−80X
Y、−90CR、−120TE、−80DE(新日鉄化
学社製商品名)等のグリシジルエーテル系エポキシ樹
脂;グリシジルエステル系エポキシ樹脂、例えば「デナ
コールEX711」(ナガセ化成工業社製)、グリシジ
ルアミン系エポキシ樹脂、例えば「YH434」(東都
化成社製)、ナフタレン型エポキシ樹脂、例えば「エピ
クロンHP−4032」(大日本インキ化学工業社
製)、ジシクロ型エポキシ樹脂、例えば「エピクロンH
P7200H」(大日本インキ化学工業社製)、環式脂
肪族エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ヒダントイ
ン型エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート等
の特殊エポキシ樹脂等が挙げられる。
As the epoxy resin having no photosensitive group, an epoxy resin having two or more epoxy groups in a molecule is preferable. Specifically, bisphenol A type, F type,
S-type epoxy resin and its derivatives such as bromide, phenol or cresol novolak-type epoxy resin, biphenyl-type epoxy resin such as "YX4000" (manufactured by Yuka Shell Epoxy), special glycidyl ether-based epoxy resin such as "YDC-1312" ”(Toto Kasei),“ TACTIX742 ”(Dow Chemical),
"ZX1257" (Toto Kasei), ESLD-80X
Glycidyl ether-based epoxy resins such as Y, -90CR, -120TE, and -80DE (trade name of Nippon Steel Chemical Co., Ltd.); For example, "YH434" (manufactured by Toto Kasei), naphthalene type epoxy resin such as "Epiclon HP-4032" (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.), dicyclo type epoxy resin such as "Epiclon H"
P7200H "(manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.), special aliphatic resins such as cycloaliphatic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, hydantoin type epoxy resins, and triglycidyl isocyanurate.

【0034】エポキシ樹脂(B)の好ましい配合割合は
感光性樹脂組成物に対して0.1〜40重量%、更に好
ましくは1〜30重量%である。
The preferred proportion of the epoxy resin (B) is 0.1 to 40% by weight, more preferably 1 to 30% by weight, based on the weight of the photosensitive resin composition.

【0035】本発明に使用される光重合開始剤(C)と
しては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベン
ゾインイソプロピルエーテル等のベンゾイン類、アセト
フェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフ
ェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェ
ノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキ
シシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−
[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプ
ロパン−1−オン、2,2−ジエトキシアセトフェノ
ン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセト
フェノン類、2−メチルアントラキノン、2−エチルア
ントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、
1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノ
ン、2−アミノアントラキノン等のアントラキノン類、
2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチ
オキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジ
イソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類、ア
セトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタ
ール等のケタール類、ベンゾフェノン、メチルベンゾフ
ェノン、4,4′−ジクロロベンゾフェノン、4,4′
−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ミヒラーズ
ケトン、4−ベンゾイル−4′−メチルジフェニルサル
ファイド等のベンゾフェノン類、2−(o−クロロフェ
ニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−
(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−−メトキシ
フェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフ
ェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2
−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミ
ダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,
5−ジフェニルイミダゾール二量体、2,4−ジ(p−
メトキシフェニル)−5−フェニルイミダゾール二量
体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジ
フェニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリ
ールイミダゾール二量体、9−フェニルアクリジン、
1,7−ビス(9,9′−アクリジニル)ヘプタン等の
アクリジン誘導体、2,4,6−トリメチルベンゾイル
ジフェニルフォスフィンオキサイド等が挙げられ、これ
らは単独であるいは2種以上を組み合わせて用いること
ができる。光重合開始剤(C)の好ましい配合割合は感
光性樹脂組成物に対して0.1〜20重量%、更に好ま
しくは1〜10重量%である。
The photopolymerization initiator (C) used in the present invention includes benzoins such as benzoin, benzoin methyl ether and benzoin isopropyl ether, acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2- Diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-methyl-1-
Acetophenones such as [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2,2-diethoxyacetophenone, N, N-dimethylaminoacetophenone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, -Tert-butylanthraquinone,
Anthraquinones such as 1-chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone and 2-aminoanthraquinone;
Thioxanthones such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone, ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal, benzophenone, methylbenzophenone, 4,4 '-Dichlorobenzophenone, 4,4'
Benzophenones such as -bis (diethylamino) benzophenone, Michler's ketone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenylsulfide, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer,
(O-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer,
-(O-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,
5-diphenylimidazole dimer, 2,4-di (p-
2,4,5-triarylimidazole dimer such as methoxyphenyl) -5-phenylimidazole dimer, 2- (2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 9-phenyl Acridine,
Examples include acridine derivatives such as 1,7-bis (9,9'-acridinyl) heptane, and 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide. These may be used alone or in combination of two or more. it can. A preferred blending ratio of the photopolymerization initiator (C) is 0.1 to 20% by weight, more preferably 1 to 10% by weight, based on the photosensitive resin composition.

【0036】さらに光開始助剤としてN,N−ジメチル
アミノ安息香酸エチルエステル、N,N−ジメチルアミ
ノ安息香酸イソアミルエステル、ペンチル−4−ジメチ
ルアミノベンゾエート、ジメチルエタノールアミン、ト
リエチルアミン、トリエタノールアミン等の3級アミン
類がある。これらは、単独あるいは混合して感光性樹脂
組成物中の0.1〜20重量%の範囲で用いることがで
きる。
Further, as a photoinitiating aid, there are ethyl N, N-dimethylaminobenzoate, isoamyl N, N-dimethylaminobenzoate, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, dimethylethanolamine, triethylamine, triethanolamine and the like. There are tertiary amines. These can be used alone or as a mixture in the range of 0.1 to 20% by weight in the photosensitive resin composition.

【0037】本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応
じて光感度、各種特性を向上させる目的で各種感光性モ
ノマーを加えて使用することもできる。例えば、2−ヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリレート、トリメチロール
プロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリト
ールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトー
ルヘキサ(メタ)アクリレート、N,N−ジメチル(メ
タ)アクリレート、N−メチロール(メタ)アクリルア
ミド、ウレタン(メタ)アクリレート、あるいはポリエ
チレングリコール、ポリプロピレングリコール、ビスフ
ェノールAのポリエチレングリコールあるいはプロピレ
ングリコール、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシ
アヌル酸のモノあるいは多官能(メタ)アクリレート
類、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジル
エーテルの(メタ)アクリレート類、ジアリルフタレー
ト等の光重合性モノマーが使用できる。これらは単独あ
るいは混合系で使用できる。
The photosensitive resin composition of the present invention can be used by adding various photosensitive monomers for the purpose of improving photosensitivity and various characteristics as required. For example, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, N, N-dimethyl (meth) acrylate, N-methylol (Meth) acrylamide, urethane (meth) acrylate, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyethylene glycol or propylene glycol of bisphenol A, mono- or polyfunctional (meth) acrylates of tris (2-hydroxyethyl) isocyanuric acid, triglycidyl isocyanate Photopolymerizable monomers such as glycidyl ether (meth) acrylates such as nullate and diallyl phthalate can be used. These can be used alone or in a mixed system.

【0038】また、必要に応じてその他の硬化剤、熱硬
化促進剤が使用できる。硬化剤としては、三フッ化ホウ
素−アミンコンプレックス、ジシアンジアミド、アセト
グアナミン、ベンゾグアナミン等のグアナミン類、有機
酸ヒドラジッド、ジアミノマレオニトリル、尿素、メラ
ミン、アミンイミド、また、ヘキサメトキシメチル化メ
ラミン等のアルキル化メラミン樹脂、ポリアミンの塩
類、ジアミノジフェニルメタン、メタフェニレンジアミ
ン、ジアミノジフェニルメタン、メタキシレンジアミ
ン、ジアミノジフェニルスルホン、「ハードナーHT9
72」(チバガイギ社製)等の芳香族アミン類、エチル
ジアミノ−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−S−ト
リアジン、2,4−ジアミノ−6−キシリル−S−トリ
アジン等のトリアジン誘導体類、無水フタル酸、無水ト
リメリット酸、エチレングリコールビス(アンヒドロト
リメリテート)、グリセロールトリス(アンヒドロトリ
メリテート)、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物
等の芳香族酸無水物、無水マレイン酸、テトラヒドロ無
水フタル酸等の脂肪族酸無水物類、ポリビニルフェノー
ル、ポリビニルフェノール臭素化物、フェノールノボラ
ック、アルキルフェノールノボラック等のポリフェノー
ル類等がある。熱硬化促進剤としては、アセチルアセト
ナートZn等のアセチルアセトンの金属塩、エナミン、
オクチル酸スズ、第4級フォスホニウム塩、トリフェニ
ルフォスフィン等の第3級フォスフィン類、トリ−n−
ブチル(2,5−ジヒドロキシフェニル)ホスホニウム
ブロマイド、ヘキサデシルトリブチルホスホニウムクロ
ライド等のホスホニウム塩類、ベンジルトリメチルアン
モニウムクロライド、フェニルトリブチルアンモニウム
クロライド等の4級アンモニウム塩類、ジフェニルヨー
ドニウムテトラフルオロポロエート、トリフェニルスル
ホニウムへキサフルオロアンチモネート等のポロエー
ト、アンチモネート類、ジメチルベンジルアミン、1,
8−ジアザビシクロ[5,4,0]ウンデセン、m−ア
ミノフェノール、2,4,6−トリス(ジメチルアミノ
フェノール)、テトラメチルグアニジン等の第3級アミ
ン類、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−メチ
ルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾー
ル、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メ
チル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール等のイミダゾ
ール類が挙げられ、単独あるいは混合系で使用できる。
硬化剤、熱硬化促進剤はそれぞれ感光性樹脂組成物の
0.01重量%から10重量%の範囲で使用できる。
Further, if necessary, other curing agents and heat curing accelerators can be used. Examples of the curing agent include boron trifluoride-amine complex, dicyandiamide, acetoguanamine, guanamines such as benzoguanamine, organic acid hydrazide, diaminomaleonitrile, urea, melamine, amine imide, and alkylated melamine such as hexamethoxymethylated melamine. Resins, polyamine salts, diaminodiphenylmethane, metaphenylenediamine, diaminodiphenylmethane, metaxylenediamine, diaminodiphenylsulfone, “Hardener HT9
72 "(manufactured by Ciba Geigy), triazine derivatives such as ethyldiamino-S-triazine, 2,4-diamino-S-triazine, and 2,4-diamino-6-xylyl-S-triazine; Aromatic anhydrides such as phthalic anhydride, trimellitic anhydride, ethylene glycol bis (anhydrotrimellitate), glycerol tris (anhydrotrimellitate), benzophenonetetracarboxylic anhydride, maleic anhydride, tetrahydroanhydride Examples include aliphatic acid anhydrides such as phthalic acid, polyphenols such as polyvinylphenol, polyvinylphenol bromide, phenol novolak, and alkylphenol novolak. As a thermosetting accelerator, metal salts of acetylacetone such as acetylacetonate Zn, enamine,
Tertiary phosphines such as tin octylate, quaternary phosphonium salts and triphenylphosphine; tri-n-
Phosphonium salts such as butyl (2,5-dihydroxyphenyl) phosphonium bromide and hexadecyltributylphosphonium chloride; quaternary ammonium salts such as benzyltrimethylammonium chloride and phenyltributylammonium chloride; diphenyliodonium tetrafluoroporoate; triphenylsulfonium hexane Poloates such as fluoroantimonates, antimonates, dimethylbenzylamine, 1,
Tertiary amines such as 8-diazabicyclo [5,4,0] undecene, m-aminophenol, 2,4,6-tris (dimethylaminophenol), tetramethylguanidine, 2-ethyl-4-methylimidazole, Examples thereof include imidazoles such as 2-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, which can be used alone or in a mixed system.
The curing agent and the thermosetting accelerator can each be used in the range of 0.01% by weight to 10% by weight of the photosensitive resin composition.

【0039】本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じ
て有機溶剤で希釈することができる。例えばエチルメチ
ルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン、
キシレン等の芳香族炭化水素、メチルセロソルブ、ブチ
ルセロソルブ、メチルカルビトール、ブチルカルビトー
ル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロ
ピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレング
リコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル
類、酢酸エチル、酢酸ブチル、ブチルセロソルブアセテ
ート、カルビトールアセテート等のエステル類、エタノ
ール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレン
グリコール等のアルコール類、オクタン、デカン等の脂
肪族炭化水素、石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナ
フサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤等を挙げること
ができる。
The photosensitive resin composition of the present invention can be diluted with an organic solvent, if necessary. For example, ethyl methyl ketone, ketones such as cyclohexanone, toluene,
Aromatic hydrocarbons such as xylene, methyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl carbitol, butyl carbitol, glycol ethers such as propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, and triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate; butyl acetate , Butyl cellosolve acetate, esters such as carbitol acetate, alcohols such as ethanol, propanol, ethylene glycol and propylene glycol, aliphatic hydrocarbons such as octane and decane, petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, solvent naphtha, etc. And other petroleum solvents.

【0040】本発明の感光性樹脂組成物は、密着性、硬
度等の特性を向上する目的で必要に応じて硫酸バリウ
ム、チタン酸バリウム、粉状酸化珪素、無定形シリカ、
タルク、クレー、焼成カオリン、炭酸マグネシウム、炭
酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウ
ム、雲母粉等の無機充填剤が使用できる。その使用量は
好ましくは0〜60重量%である。更に必要に応じてフ
タロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、アイオ
ジングリーン、ジスアゾイエロー、クリスタルバイオレ
ット、酸化チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラ
ックなどの着色剤等を用いることができる。さらにハイ
ドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、te
rt−ブチルカテコール、ピロガロール、フェノチアジ
ン等の重合禁止剤、ベントン、モンモリロナイト、エア
ロジル、アミドワックス等のチキソ性付与剤、シリコー
ン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤、レベリング剤、
及びイミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系、
シランカップリング剤等の密着性付与剤のような添加剤
類を用いることができる。
The photosensitive resin composition of the present invention may contain, if necessary, barium sulfate, barium titanate, powdered silicon oxide, amorphous silica, or the like for the purpose of improving properties such as adhesion and hardness.
Inorganic fillers such as talc, clay, calcined kaolin, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, mica powder and the like can be used. The amount used is preferably from 0 to 60% by weight. If necessary, a coloring agent such as phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodine green, disazo yellow, crystal violet, titanium oxide, carbon black, and naphthalene black can be used. Hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, te
polymerization inhibitors such as rt-butylcatechol, pyrogallol, and phenothiazine; thixotropic agents such as bentone, montmorillonite, aerosil, and amide wax; silicone-based, fluorine-based, and polymer-based antifoaming agents;
And imidazole, thiazole, triazole,
Additives such as an adhesion-imparting agent such as a silane coupling agent can be used.

【0041】本発明の感光性樹脂組成物は、前記の割合
で配合した配合原料をロールミル、ビーズミル等で均一
に混合し、例えば次のように硬化させて、硬化物を得る
ことがでさる。即ちプリント配線板等に、スクリーン印
刷法、スプレー法、静電スプレー法、エアレススプレー
法、カーテンコータ法、ロールコート法等の方法により
10〜160μmの膜厚で本発明の組成物を塗布し、塗
膜を60〜110℃で乾燥させた後、ネガフィルムを塗
膜の上に置き、紫外線等の放射線を照射し次いで、未露
光部分を希アルカリ水溶液(例えば0.5〜2重量%炭
酸ソーダ水溶液等)で溶解除去(現像)した後、さらに
通常紫外線の照射及び又は加熱(例えば100〜200
℃で0.5〜1.0時間)によって十分な硬化を行い硬
化皮膜を得る。
The photosensitive resin composition of the present invention can be obtained by uniformly mixing the compounding raw materials compounded in the above ratio by a roll mill, a bead mill or the like, and curing the mixture as follows, for example, to obtain a cured product. That is, the composition of the present invention is applied to a printed wiring board or the like with a thickness of 10 to 160 μm by a method such as a screen printing method, a spray method, an electrostatic spray method, an airless spray method, a curtain coater method, and a roll coating method, After the coating film is dried at 60 to 110 ° C., a negative film is placed on the coating film, irradiated with radiation such as ultraviolet rays, and then the unexposed portion is diluted with a dilute alkaline aqueous solution (eg, 0.5 to 2% by weight sodium carbonate carbonate). Aqueous solution, etc.), and then usually irradiation with ultraviolet light and / or heating (for example, 100 to 200)
(0.5 ° C. for 0.5 to 1.0 hours) to obtain a cured film.

【0042】本発明の感光性樹脂組成物はプリント配線
板及びBGA、CSP等のパッケージ用のソルダーレジ
スト組成物として特に有用であるが、その他にも塗料、
ガラス、セラミック、プラスチック、紙等のコーティン
グ材にも使用できる。
The photosensitive resin composition of the present invention is particularly useful as a solder resist composition for printed wiring boards and packages such as BGA and CSP.
It can also be used for coating materials such as glass, ceramic, plastic and paper.

【0043】[0043]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
するが、本発明はこれに限定されるものではない。
The present invention will be described below in detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0044】[ポリテトラメチレンエーテルグリコール
(PTG)の両末端カルボン酸物(A−1)の製造例]
撹拌機、還流冷却器、不活性ガス導入口及び温度計を備
えたフラスコに、PTG(平均分子量1,000);
1,000g、セバシン酸;405gを仕込み、2時間
かけて200℃に昇温しさらに3時間反応させた後冷却
し、酸価81.9、分子量1,370のPTGの両末端
カルボン酸物を得た。
[Example of Production of Carboxylic Acid Compound (A-1) at Both Terminals of Polytetramethylene Ether Glycol (PTG)]
PTG (average molecular weight: 1,000) in a flask equipped with a stirrer, reflux condenser, inert gas inlet and thermometer;
1,000 g, sebacic acid; 405 g were charged, the temperature was raised to 200 ° C. over 2 hours, and the reaction was further performed for 3 hours. After cooling, the carboxylic acid compound at both ends of PTG having an acid value of 81.9 and a molecular weight of 1,370 was obtained. Obtained.

【0045】同様にして、ポリプロピレングリコール両
末端ジアミン(PPG−NH2:平均分子量900)の
両末端カルボン酸物(A−2)を表1の配合で得た。
Similarly, a carboxylic acid compound (A-2) at both ends of polypropylene glycol diamine at both ends (PPG-NH 2 : average molecular weight: 900) was obtained in the proportions shown in Table 1.

【0046】同様にして、ビスフェノールAのポリプロ
ピレグリコール反応物(Bis−PPG:平均分子量
1,450)の両末端カルボン酸物(A−3)を表1の
配合で得た。
Similarly, a carboxylic acid compound (A-3) at both terminals of a propylene glycol reactant of bisphenol A (Bis-PPG: average molecular weight 1,450) was obtained with the composition shown in Table 1.

【0047】同様にして、ポリカーボネートジオール
(プラクセルCD220:平均分子量2,000;ダイ
セル化学工業社、前記の2価アルコール残基が1,6−
ヘキサンジオール残基/3−メチルペンタンジオール残
基=7/3、常温で液状)の両末端カルボン酸物(A−
4)を表1の配合で得た。
Similarly, polycarbonate diol (Placcel CD220: average molecular weight: 2,000; Daicel Chemical Industries, Ltd .;
Hexanediol residue / 3-methylpentanediol residue = 7/3, liquid at normal temperature)
4) was obtained with the composition shown in Table 1.

【0048】得られた両末端カルボン酸物の特性を表1
に示した。
Table 1 shows the properties of the obtained carboxylic acid compound at both ends.
It was shown to.

【0049】[0049]

【表1】 [ポリアミド樹脂(B−1)の製造例]撹拌機、還流冷
却器、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコ
に、γ−ブチロラクトン;100g、NMP;50gを
仕込み、さらに上記(A−1);55.6g、アジピン
酸;6.1g、セバシン酸;8.3g、イソフタル酸;
13.7g、4,4′−ジフェニルメタンジイソシアネ
ート(MDI);13.8g、コロネートT80(トリ
レンジイソシアネート;TDI;日本ポリウレタン工業
社製);14.4gを仕込み、200℃に昇温し、4時
間保温後冷却し、加熱残分40重量%、酸価(固形分)
83.5のポリアミド樹脂を得た。さらにビスフェノー
ルA型エポキシ樹脂エピコート1001(油化シェルエ
ポキシ製)141.5gを仕込み、140℃で2時間保
温後ジメチルフォルムアミド(DMF)を加え加熱残分
40重量%にした。120℃でアクリル酸;10.7g
を加え3時間保温後、テトラヒドロ無水フタル酸(TH
PA);90.6gを添加し1時間保温した。さらにグ
リシドール;58.4gを加え2時間保温後、THP
A;240gを加え2時間保温した。次いでDMFで希
釈し加熱残分55重量%、酸価(固形分)145の感光
性ポリアミド樹脂(B−1)を得た。
[Table 1] [Production Example of Polyamide Resin (B-1)] A flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, an inert gas inlet, and a thermometer was charged with 100 g of γ-butyrolactone; 1); 55.6 g, adipic acid; 6.1 g, sebacic acid; 8.3 g, isophthalic acid;
13.7 g, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate (MDI); 13.8 g, coronate T80 (tolylene diisocyanate; TDI; manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.); 14.4 g, heated to 200 ° C., and heated for 4 hours After keeping warm, cool, heating residue 40% by weight, acid value (solid content)
83.5 polyamide resin was obtained. Further, 141.5 g of bisphenol A-type epoxy resin Epicoat 1001 (manufactured by Yuka Shell Epoxy) was charged, and after keeping the temperature at 140 ° C. for 2 hours, dimethylformamide (DMF) was added to make the heating residue 40% by weight. Acrylic acid at 120 ° C .; 10.7 g
And the mixture is kept warm for 3 hours, and then tetrahydrophthalic anhydride (TH
PA); 90.6 g was added, and the mixture was kept warm for 1 hour. Further, 58.4 g of glycidol was added, and the mixture was kept warm for 2 hours.
A: 240 g was added and kept warm for 2 hours. Subsequently, the resultant was diluted with DMF to obtain a photosensitive polyamide resin (B-1) having a heating residue of 55% by weight and an acid value (solid content) of 145.

【0050】[ポリアミドイミド樹脂(B−2)の製造
例]撹拌機、還流冷却器、不活性ガス導入口及び温度計
を備えたフラスコに、NMP;50gを仕込み、2,2
−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン(以
下BAPPと記す);12.4g(0.030モル)、
無水トリメリット酸;11.6g(0.060モル)を
仕込み、200℃で2.5時間保温した。これに上記
(A−2);41.0g(0.033モル)、アジピン
酸;4.3g(0.029モル)、セバシン酸;5.9
g(0.029モル)、イソフタル酸;4.9g(0.
029モル)、4,4′−ジフェニルメタンジイソシア
ネート(MDI);18.9g(0.075モル)、コ
ロネートT80(トリレンジイソシアネート;TDI;
日本ポリウレタン工業社製);8.8g(0.050モ
ル)及びγ−ブチロラクトン100gを仕込み、200
℃に昇温し、4時間保温後冷却した。加熱残分40重量
%、酸価(固形分);32.8のポリアミドイミド樹脂
を得た。さらにカルボキシル基の2倍量になるようにビ
スフェノールA型エポキシ樹脂;エピコート1001;
66.8gを仕込み140℃で2時間保温後、DMFを
加え加熱残分40重量%にし、次いで120℃でアクリ
ル酸;5.0gを加え3時間保温後、THPA;42.
9gを添加し1時間保温した。次いで、DMFで希釈
し、加熱残分55重量%、酸価(固形分換算)85の感
光性ポリアミドイミド樹脂(B−2)を得た。
[Production Example of Polyamideimide Resin (B-2)] A flask equipped with a stirrer, reflux condenser, inert gas inlet and thermometer was charged with 50 g of NMP;
-Bis (4-aminophenoxyphenyl) propane (hereinafter referred to as BAPP); 12.4 g (0.030 mol),
11.6 g (0.060 mol) of trimellitic anhydride was charged and kept at 200 ° C. for 2.5 hours. 41.0 g (0.033 mol) of the above (A-2), adipic acid; 4.3 g (0.029 mol), sebacic acid: 5.9
g (0.029 mol), isophthalic acid; 4.9 g (0.
029 mol), 4,4'-diphenylmethane diisocyanate (MDI); 18.9 g (0.075 mol), Coronate T80 (tolylene diisocyanate; TDI;
8.8 g (0.050 mol) and 100 g of γ-butyrolactone were added, and 200 g
The temperature was raised to ° C., and after cooling for 4 hours, the mixture was cooled. A polyamideimide resin having a heating residue of 40% by weight and an acid value (solid content) of 32.8 was obtained. Bisphenol A type epoxy resin so as to be twice the amount of carboxyl groups; Epicoat 1001;
After charging 66.8 g and keeping the mixture at 140 ° C. for 2 hours, DMF was added to make the heating residue 40% by weight. Then, acrylic acid;
9 g was added and the mixture was kept warm for 1 hour. Subsequently, it was diluted with DMF to obtain a photosensitive polyamide-imide resin (B-2) having a heating residue of 55% by weight and an acid value (in terms of solid content) of 85.

【0051】表2に示すような配合(単位:g)で同様
にポリアミド(イミド)樹脂(Β−3〜Β−5)を得
た。
Polyamide (imide) resins (# -3 to # -5) were similarly obtained with the composition (unit: g) as shown in Table 2.

【0052】[0052]

【表2】 * ポリアミド(イミド)配合:出来高100配合 ** 三井石油化学工業社製;ビスフェノールΑ型エポ
キシ樹脂 [カルボキシル基を含有する感光性樹脂(C−1)の製
造例] (C−1)製造例 撹拌機、還流冷却器及び温度計を備えたフラスコに、ク
レゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量:2
00)200重量部、アクリル酸70重量部、メチルハ
イドロキノン0.4重量部、カルビトールアセテート8
0重量部及びソルベントナフサ20重量部を仕込み、7
0℃で加熱撹拌して、混合物を溶解した。次に、溶液を
50℃まで冷却し、トリフェニルホスフィン1重量部を
仕込み、100℃に加熱し、固形分酸価が1(KOH
mg/g)以下になるまで反応させた。次に、得られた
溶液を50℃まで冷却し、無水マレイン酸51重量部、
カルビトールアセテート48重量部及びソルベントナフ
サ10重量部を仕込み、80℃で所定時間反応させ、固
形分酸価67(KOH mg/g)、固形分67重量%
の不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(C−1)を得た。
[Table 2] * Polyamide (imide) blend: 100 blended products ** Mitsui Petrochemical Industries, Ltd .; bisphenol II type epoxy resin [Production example of photosensitive resin (C-1) containing carboxyl group] (C-1) Production example Stirring Cresol novolak type epoxy resin (epoxy equivalent: 2) in a flask equipped with a chiller, reflux condenser and thermometer.
00) 200 parts by weight, acrylic acid 70 parts by weight, methylhydroquinone 0.4 part by weight, carbitol acetate 8
0 parts by weight and 20 parts by weight of solvent naphtha
The mixture was heated and stirred at 0 ° C. to dissolve the mixture. Next, the solution was cooled to 50 ° C., 1 part by weight of triphenylphosphine was charged and heated to 100 ° C., and the acid value of the solid content was 1
(mg / g) or less. Next, the obtained solution was cooled to 50 ° C., and 51 parts by weight of maleic anhydride was added.
48 parts by weight of carbitol acetate and 10 parts by weight of solvent naphtha were charged and reacted at 80 ° C. for a predetermined time, and the solid content acid value was 67 (KOH mg / g), and the solid content was 67% by weight.
(C-1) was obtained.

【0053】[アクリレート基とエポキシ基を含有する
樹脂(D−1)の製造例] (D−1)製造例 撹拌機、還流冷却器及び温度計を備えたフラスコに、ク
レゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量:2
00)200重量部、アクリル酸20重量部、メチルハ
イドロキノン0.4重量部、カルビトールアセテート8
0重量部及びソルベントナフサ20重量部を仕込み、7
0℃で加熱撹拌して、混合物を溶解した。次に、溶液を
50℃まで冷却し、トリフェニルホスフィン0.5重量
部を仕込み、100℃に加熱し、固形分酸価が1(KO
H mg/g)以下になるまで反応させた。ソルベント
ナフサ10重量部を仕込み、固形分67重量%の樹脂
(D−1)を得た。
[Production Example of Resin (D-1) Containing Acrylate Group and Epoxy Group] (D-1) Production Example A cresol novolac type epoxy resin (A) was placed in a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser and a thermometer. Epoxy equivalent: 2
00) 200 parts by weight, acrylic acid 20 parts by weight, methylhydroquinone 0.4 part by weight, carbitol acetate 8
0 parts by weight and 20 parts by weight of solvent naphtha
The mixture was heated and stirred at 0 ° C. to dissolve the mixture. Next, the solution was cooled to 50 ° C., and 0.5 parts by weight of triphenylphosphine was charged and heated to 100 ° C., and the acid value of the solid content was 1 (KO).
H mg / g) or less. 10 parts by weight of solvent naphtha was charged to obtain a resin (D-1) having a solid content of 67% by weight.

【0054】実施例1〜5、比較例1 表3に示す組成に従って、A、B別々に三本ロールを用
いて混練しA:75g、B:25gを混合しレジストイ
ンキ組成物を調製した。これをスクリーン印刷法によ
り、100メッシュのポリエステルスクリーンを用い
て、乾燥後の膜厚が25〜35μmになるように銅張積
層板上に塗布し、塗膜を80℃で20分間乾燥し、レジ
ストパターンを有するネガマスクフィルムを密着した
後、紫外線露光装置を用いて、所定時間紫外線を照射し
た。次に、1%炭酸ナトリウム水溶液で60秒間、スプ
レー現像(スプレー圧:2.0kg/cm2)し、未露
光部分を溶解除去し、現像性を評価した。
Examples 1 to 5, Comparative Example 1 According to the composition shown in Table 3, A and B were separately kneaded using three rolls, and 75 g of A and 25 g of B were mixed to prepare a resist ink composition. This was applied on a copper-clad laminate by a screen printing method using a 100-mesh polyester screen so that the film thickness after drying was 25 to 35 μm, and the coating film was dried at 80 ° C. for 20 minutes. After the negative mask film having the pattern was brought into close contact with the film, the film was irradiated with ultraviolet light for a predetermined time using an ultraviolet light exposure device. Next, spray development (spray pressure: 2.0 kg / cm 2 ) was performed with a 1% aqueous sodium carbonate solution for 60 seconds to dissolve and remove unexposed portions, and the developability was evaluated.

【0055】次に、循環式熱風乾燥機を用いて150℃
/1時間、加熱硬化を行ない、得られた硬化膜を評価し
た。
Next, using a circulating hot-air dryer, the temperature was set at 150 ° C.
/ 1 hour, and heat cured to evaluate the obtained cured film.

【0056】実施例1の(Β−1)の代わりに(Β−
2)、(Β−3)、(Β−4)、(Β−5)、(C−
1)に置き換え、それぞれ実施例2、3、4、5、比較
例1とし、実施例1と同様に試験に供した。試験結果を
表4に示した。
Instead of (Β-1) in the first embodiment, (Β-
2), (Β-3), (Β-4), (Β-5), (C-
Example 1 was replaced with 1), and Examples 2 to 3 and Comparative Example 1 were used. The test results are shown in Table 4.

【0057】[0057]

【表3】 [Table 3]

【0058】[0058]

【表4】 *未露光部の現像残りを観察した。[Table 4] * Undeveloped portions of undeveloped portions were observed.

【0059】**JIS D 0202の碁盤目試験
(1×1mm角、100個)によった。
** A cross-cut test (1 × 1 mm square, 100 pieces) according to JIS D0202.

【0060】***JIS C 6481の試験法に従
い260℃のはんだ浴へ、10秒間、3回浸漬し外観の
変化を観た。 ****プレッシャークッカーテスト:121℃、2気
圧の蒸気中で所定時間放置後、塗膜の外観、碁盤目試験
を行った。
*** According to the test method of JIS C 6481, it was immersed three times in a 260 ° C. solder bath for 10 seconds, and the change in appearance was observed. *** Pressure cooker test: After standing for a predetermined time in steam at 121 ° C. and 2 atm, the appearance of the coating film and a grid test were performed.

【0061】[0061]

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物は密着性、耐
熱性、耐PCT性、現像性に優れ、LSIパッケージ等
の製造に用いられるソルダーレジスト組成物として好適
である。
The photosensitive resin composition of the present invention has excellent adhesiveness, heat resistance, PCT resistance and developability, and is suitable as a solder resist composition used for manufacturing LSI packages and the like.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C08G 73/14 C08G 73/14 C08L 77/00 C08L 77/00 79/08 79/08 C (72)発明者 平倉 裕昭 茨城県鹿島郡波崎町大字砂山五番壱 日立 化成工業株式会社鹿島工場内 (72)発明者 塚田 勝重 茨城県鹿島郡波崎町大字砂山五番壱 日立 化成工業株式会社鹿島工場内 (72)発明者 吉野 利純 茨城県鹿島郡波崎町大字砂山五番壱 日立 化成工業株式会社鹿島工場内──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification symbol FI C08G 73/14 C08G 73/14 C08L 77/00 C08L 77/00 79/08 79/08 C (72) Inventor Hiroaki Hirakura Ibaraki Kajima Plant, Hasaki-cho, Kashima-gun, Japan Hitachi Kasei Kogyo Co., Ltd. Kashima Plant (72) Inventor Katsushige Tsukada, Hasaki-cho, Kashima-gun, Ibaraki Prefecture Kaichi Plant, Kashima Plant Hitachi Chemical Co., Ltd. Kashima Plant (72) Inventor Yoshino Toshizumi, Kajima-gun, Kashima-gun

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 カルボキシル基を有する感光性ポリアミ
ド樹脂及びカルボキシル基を有する感光性ポリアミドイ
ミド樹脂から選ばれる少なくとも1種の感光性樹脂
(A)、エポキシ樹脂(B)及び光重合開始剤(C)を
必須成分として含んで成ることを特徴とする感光性樹脂
組成物。
1. A photosensitive polyamide resin having a carboxyl group and at least one photosensitive resin (A) selected from a photosensitive polyamideimide resin having a carboxyl group, an epoxy resin (B), and a photopolymerization initiator (C). A photosensitive resin composition comprising:
【請求項2】 カルボキシル基を有する感光性ポリアミ
ド樹脂がカルボキシル基末端ポリアミド樹脂(a1)と
エポキシ樹脂(b)とを、エポキシ基/カルボキシル基
のモル比を1より大きくして反応させて得られるエポキ
シ基含有ポリアミド樹脂(c1)に対して、エチレン性
不飽和モノカルボン酸(d)を反応させた後、更に多塩
基酸無水物(e)を反応させて得られる樹脂である請求
項1記載の感光性樹脂組成物。
2. A photosensitive polyamide resin having a carboxyl group is obtained by reacting a carboxyl group-terminated polyamide resin (a1) with an epoxy resin (b) at a molar ratio of epoxy group / carboxyl group larger than 1. The resin obtained by reacting an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid (d) with an epoxy group-containing polyamide resin (c1) and then reacting with a polybasic anhydride (e). Photosensitive resin composition.
【請求項3】 カルボキシル基を有する感光性ポリアミ
ド樹脂がポリアルキレンオキサイドユニット及びポリカ
ーボネートユニットから選ばれる少なくとも1種のポリ
マーユニットを分子構造中に有する樹脂である請求項1
又は2記載の感光性樹脂組成物。
3. The photosensitive polyamide resin having a carboxyl group is a resin having at least one polymer unit selected from a polyalkylene oxide unit and a polycarbonate unit in a molecular structure.
Or the photosensitive resin composition according to 2.
【請求項4】 カルボキシル基を有する感光性ポリアミ
ドイミド樹脂がカルボキシル基末端ポリアミドイミド樹
脂(a2)とエポキシ樹脂(b)とを、エポキシ基/カ
ルボキシル基の比を1より大きくして反応させて得られ
るエポキシ基含有ポリアミド樹脂(c1)に対して、エ
チレン性不飽和モノカルボン酸(d)を反応させた後、
更に多塩基酸無水物(e)を反応させて得られる樹脂で
ある請求項1記載の感光性樹脂組成物。
4. A photosensitive polyamideimide resin having a carboxyl group is obtained by reacting a carboxyl group-terminated polyamideimide resin (a2) with an epoxy resin (b) at a ratio of epoxy group / carboxyl group of greater than 1. The resulting epoxy group-containing polyamide resin (c1) is reacted with an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid (d),
The photosensitive resin composition according to claim 1, which is a resin obtained by further reacting a polybasic acid anhydride (e).
【請求項5】 カルボキシル基を有する感光性ポリアミ
ドイミド樹脂がポリアルキレンオキサイドユニット及び
ポリカーボネートユニットから選ばれる少なくとも1種
のポリマーユニットを分子構造中に有する樹脂である請
求項3又は4記載の感光性樹脂組成物。
5. The photosensitive resin according to claim 3, wherein the photosensitive polyamideimide resin having a carboxyl group is a resin having at least one polymer unit selected from a polyalkylene oxide unit and a polycarbonate unit in a molecular structure. Composition.
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