JPH11288090A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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JPH11288090A
JPH11288090A JP9112998A JP9112998A JPH11288090A JP H11288090 A JPH11288090 A JP H11288090A JP 9112998 A JP9112998 A JP 9112998A JP 9112998 A JP9112998 A JP 9112998A JP H11288090 A JPH11288090 A JP H11288090A
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JP
Japan
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resin
photosensitive resin
epoxy
photosensitive
acid
Prior art date
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Pending
Application number
JP9112998A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takao Hirayama
隆雄 平山
Takahiko Kutsuna
貴彦 沓名
Kuniaki Sato
邦明 佐藤
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Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication of JPH11288090A publication Critical patent/JPH11288090A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a photosensitive resin compsn. forming a resist film excellent in wet heat resistance and adhesion to copper and other base material and suitable for use as a soldering resist compsn. excellent in flame resistance and mechanical characteristics such as suitability to bending and curving. SOLUTION: A photosensitive resin compsn. contains a photosensitive resin (A) having carboxyl groups obtd. by allowing the esterification product of an epoxy compd. and an unsatd. monocarboxylic acid to react with a satd. or unsatd. polybasic acid anhydride, at least one photosensitive resin (B) selected from a photosensitive polyamide resin having carboxyl groups and a photosensitive polyamidoimide resin having carboxyl groups, an epoxy hardening agent (C) and a photopolymn. initiator (D) and a flame retardant (E).

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リジッド及びフレ
キシブルプリント配線板、あるいはBGA(ボール グ
リッド アレイ)、CSP(チップ サイズ パッケー
ジ)、TCP(テープ キャリアー パッケージ)等の
LSIパッケージの製造に使用されるソルダーレジスト
組成物、あるいは多層配線板の感光性層間絶縁材料とし
て好適に用いられる感光性樹脂組成物に関する。
The present invention relates to a solder used for manufacturing rigid and flexible printed wiring boards, or LSI packages such as BGA (ball grid array), CSP (chip size package), and TCP (tape carrier package). The present invention relates to a resist composition or a photosensitive resin composition suitably used as a photosensitive interlayer insulating material of a multilayer wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】ソルダーレジストはプリント配線板製造
において使用されているが、近年はBGAやCSPとい
った新しいLSIパッケージにも使用されるようになっ
てきた。ソルダーレジストはソルダリング工程で半田が
不必要な部分に付着するのを防ぐ保護膜として、また永
久マスクとして必要不可欠な材料である。ソルダーレジ
ストとしては熱硬化型のものをスクリーン印刷法で印刷
して施す方法がある。本発明もこのような方法に適用で
きるが、近年、配線の高密度化に伴いスクリーン印刷法
では解像度の点で限界があり、写真法でパターン形成す
るフォトソルダーレジストが盛んに用いられるようにな
っている。中でも炭酸ソーダ溶液等の弱アルカリ溶液で
現像可能なアルカリ現像型のものが作業環境保全、地球
環境保全の点から主流になっている。このようなものと
して特開昭61−243869号公報、特開平1−14
1904号公報に示されるものが知られている。しかし
アルカリ現像型のフォトソルダーレジストは、耐久性の
点ではまだまだ問題がある。すなわち従来の熱硬化型、
溶剤現像型のものに比べて耐薬品性、耐水性、耐熱性等
が劣る。これはアルカリ現像型フォトソルダーレジスト
はアルカリ現像可能にするために親水性基を有するもの
が主成分となっており、薬液、水、水蒸気等が浸透しや
すく、これらがレジスト皮膜と銅との密着性を低下させ
るためである。特にBGAやCSP等の半導体パッケー
ジにおいては特に耐湿熱性ともいうべき耐PCT性(耐
プレッシャークッカーテスト性)が必要であるがこのよ
うな厳しい条件下においては数時間〜十数時間程度しか
もたないのが現状である。
2. Description of the Related Art Solder resist is used in the manufacture of printed wiring boards, but has recently been used in new LSI packages such as BGA and CSP. Solder resist is an indispensable material as a protective film for preventing solder from adhering to unnecessary parts in a soldering process and as a permanent mask. As a solder resist, there is a method of printing and applying a thermosetting type by a screen printing method. The present invention can also be applied to such a method, but in recent years, with the increase in wiring density, there is a limit in terms of resolution in the screen printing method, and a photo solder resist for forming a pattern by a photographic method has been actively used. ing. Among them, an alkali developing type, which can be developed with a weak alkali solution such as sodium carbonate solution, has become mainstream from the viewpoint of working environment conservation and global environment conservation. Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 61-243869 and 1-14
What is shown by 1904 gazette is known. However, alkali development type photo solder resist still has a problem in durability. That is, the conventional thermosetting type,
Chemical resistance, water resistance, heat resistance, etc. are inferior to those of the solvent development type. This is because the alkali-developable photosolder resist has a hydrophilic group as the main component so that it can be alkali-developed, and chemicals, water, water vapor, etc. easily penetrate, and these adhere to the resist film and copper. This is to reduce the property. In particular, semiconductor packages such as BGA and CSP require PCT resistance (pressure cooker test resistance), which can be referred to as moisture resistance, but under such severe conditions, they have only several hours to several tens of hours. Is the current situation.

【0003】更に、フレキシブルプリント配線板、CS
P、TCPパッケージに使用される基板はポリイミド等
のフィルムとなり、これに適するレジストとしては、ソ
リが少なく、屈曲性の優れたものが要求される。難燃性
もまた十分であれば使用範囲が広がる。
Further, flexible printed wiring boards, CS
The substrate used for the P and TCP packages is a film of polyimide or the like, and a resist suitable for the film is required to have a small amount of warpage and excellent flexibility. If the flame retardancy is also sufficient, the range of use is widened.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、これらの問
題を解決するものであり、レジスト皮膜と銅及び他の基
材に対する密着性及び耐湿熱性に優れ、また屈曲性、ソ
リ性の機械特性、難燃性に優れたソルダーレジスト組成
物として好適な感光性樹脂組成物を提供するものであ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves these problems, and has excellent adhesiveness to a resist film and copper and other substrates and excellent heat and humidity resistance, as well as mechanical properties such as flexibility and warpage. Another object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition suitable as a solder resist composition having excellent flame retardancy.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
解決するために鋭意研究を重ねた結果、特定の組み合わ
せの感光性樹脂に、エポキシ硬化剤、光重合開始剤及び
難燃剤を配合してなる感光性樹脂組成物が、密着性及び
耐湿熱性に優れ、また機械的特性、難燃性に優れている
ことを見出し、この知見に基づいて本発明を完成するに
至った。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, an epoxy curing agent, a photopolymerization initiator and a flame retardant have been blended with a specific combination of photosensitive resins. It has been found that the resulting photosensitive resin composition is excellent in adhesiveness and wet heat resistance, and excellent in mechanical properties and flame retardancy. Based on this finding, the present invention has been completed.

【0006】すなわち本発明は、エポキシ化合物(a)
と不飽和モノカルボン酸とのエステル化物に飽和又は不
飽和多塩基酸無水物を反応させて得られたカルボキシル
基を有する感光性樹脂(A)、カルボキシル基を有する
感光性ポリアミド樹脂及びカルボキシル基を有する感光
性ポリアミドイミド樹脂から選ばれる少なくとも1種の
感光性樹脂(B)、エポキシ硬化剤(C)、光重合開始
剤(D)及び難燃剤(E)を含有する感光性樹脂組成物
を提供するものである。
That is, the present invention relates to an epoxy compound (a)
A photosensitive resin having a carboxyl group (A), a photosensitive polyamide resin having a carboxyl group, and a carboxyl group obtained by reacting a saturated or unsaturated polybasic anhydride with an esterified product of a carboxyl group and an unsaturated monocarboxylic acid. Provided is a photosensitive resin composition containing at least one photosensitive resin (B) selected from photosensitive polyamideimide resins, an epoxy curing agent (C), a photopolymerization initiator (D), and a flame retardant (E). Is what you do.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】本発明において、カルボキシル基
を有する感光性樹脂(A)としては、エポキシ化合物
(a)と不飽和モノカルボン酸のエステル化物に飽和又
は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られた反応物が
用いられる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present invention, as the photosensitive resin (A) having a carboxyl group, a saturated or unsaturated polybasic anhydride is reacted with an esterified product of an epoxy compound (a) and an unsaturated monocarboxylic acid. The reaction product obtained by the reaction is used.

【0008】エポキシ化合物(a)としては例えばフェ
ノール、クレゾール、ハロゲン化フェノール又はアルキ
ルフェノール類とホルムアルデヒド類とを酸性触媒下で
反応させて得られるノボラック類とエピクロルヒドリン
とを反応させて得られるノボラック型エポキシ化合物が
あり、東都化成社製YDCN−701、704、YDP
N−638、602、ダウケミカル社製DEN−43
1、439、チバ・ガイギ社製EPN−1299、大日
本インキ化学工業社製N−730、770、865、6
65、673、VH−4150、4240、日本化薬社
製EOCN−120、BREN等が挙げられる。またノ
ボラック型エポキシ化合物以外にも、例えばサリチルア
ルデヒドとフェノール又はクレゾールとの反応物にエピ
クロルヒドリンを反応させて得られるエポキシ化合物
(日本化薬社製EPPN502H、FAE2500等)
が好適に用いられる。また、例えば油化シェル社製エピ
コート828、1007、807、大日本インキ化学工
業社製エピクロン840、860、3050、ダウ・ケ
ミカル社製DER−330、337、361、ダイセル
化学工業社製セロキサイド2021、三菱ガス化学社製
TETRAD−X、C、日本曹達社製EPB−13、2
7、チバ・ガイギ社製GY−260、255、XB−2
615等のビスフェノールA型、ビスフェノールF型、
水添ビスフェノールA型、臭素化ビスフェノールA型、
アミノ基含有型、脂環式のグリシジルエーテル型等のエ
ポキシ化合物も用いられる。またゴム変性エポキシ化合
物、例えばエポキシ化ポリブタジエンPB3600、P
B4700(ダイセル化学工業社製)、エポキシ化ブタ
ジエン−スチレン エポブレンドΑT014等(ダイセ
ル化学工業社製)、あるいはポリジメチルシロキサンの
エポキシ化合物 X22−163B、KF100T(信
越シリコン社製)等が挙げられる。また、α,ω−ポリ
ブタジエンジカルボン酸に上記のようなエポキシ化合物
を反応させて得られるエポキシ化合物、両末端カルボン
酸のアクリロニトリル−ブタジエンゴムに上述のビスフ
ェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールΑ型エポキ
シ樹脂の一部を反応させることにより得られるエポキシ
化合物も用いられる。これらの中で屈曲性、ソリ等の機
械的特性の点からゴム変性エポキシ樹脂又はビスフェノ
ールF型エポキシ樹脂が好ましい。
The epoxy compound (a) is, for example, a novolak type epoxy compound obtained by reacting novolaks obtained by reacting phenol, cresol, halogenated phenol or alkylphenols with formaldehyde in the presence of an acidic catalyst and epichlorohydrin. YDCN-701, 704, YDP manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.
N-638, 602, DEN-43 manufactured by Dow Chemical Company
1,439, EPN-1299 manufactured by Ciba Geigy Corporation, N-730, 770, 865, 6 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.
65, 673, VH-4150, 4240, Nippon Kayaku Co., Ltd. EOCN-120, BREN and the like. In addition to the novolak-type epoxy compounds, for example, epoxy compounds obtained by reacting epichlorohydrin with a reaction product of salicylaldehyde and phenol or cresol (EPPN502H, FAE2500, etc., manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Is preferably used. In addition, for example, Epicoat 828, 1007, 807 manufactured by Yuka Shell Co., Ltd., Epicron 840, 860, 3050 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, DER-330, 337, 361 manufactured by Dow Chemical Company, Celoxide 2021 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd. Mitsubishi Gas Chemical's TETRAD-X, C, Nippon Soda's EPB-13,2
7. GY-260, 255, XB-2 manufactured by Ciba Geigy
615, such as bisphenol A type, bisphenol F type,
Hydrogenated bisphenol A type, brominated bisphenol A type,
Epoxy compounds such as an amino group-containing type and an alicyclic glycidyl ether type are also used. Rubber-modified epoxy compounds such as epoxidized polybutadiene PB3600, P
B4700 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), epoxidized butadiene-styrene epoblend @ T014 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), or epoxy compound X22-163B of polydimethylsiloxane, KF100T (manufactured by Shin-Etsu Silicon Co., Ltd.), and the like. Also, an epoxy compound obtained by reacting the above-mentioned epoxy compound with α, ω-polybutadiene dicarboxylic acid, and an acrylonitrile-butadiene rubber having carboxylic acid at both terminals with one of the above-mentioned bisphenol F type epoxy resin and bisphenol Α type epoxy resin. Epoxy compounds obtained by reacting parts are also used. Among these, a rubber-modified epoxy resin or a bisphenol F type epoxy resin is preferred from the viewpoint of mechanical properties such as flexibility and warpage.

【0009】前記不飽和モノカルボン酸としては、(メ
タ)アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸及び飽和又は不飽
和多塩基酸無水物と1分子中に1個の水酸基を有する
(メタ)アクリレート類あるいは飽和又は不飽和二塩基
酸と不飽和モノグリシジル化合物との半エステル化合物
類との反応物、例えばフタル酸、テトラヒドロフタル
酸、ヘキサヒドロフタル酸、マレイン酸、コハク酸とヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロ
ピル(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチ
ル)イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート、グリシ
ジル(メタ)アクリレートを常法により等モル比で反応
させて得られる反応物が挙げられる。これらの不飽和モ
ノカルボン酸は単独又は混合して用いることができる。
これらの中でアクリル酸が好ましい。
The unsaturated monocarboxylic acid includes (meth) acrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride and a (meth) acrylate having one hydroxyl group in one molecule or Reaction products of half-ester compounds of saturated or unsaturated dibasic acids with unsaturated monoglycidyl compounds, such as phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, maleic acid, succinic acid and hydroxyethyl (meth) acrylate, A reaction product obtained by reacting hydroxypropyl (meth) acrylate, tris (hydroxyethyl) isocyanurate di (meth) acrylate, and glycidyl (meth) acrylate in an equimolar ratio by a conventional method is exemplified. These unsaturated monocarboxylic acids can be used alone or in combination.
Of these, acrylic acid is preferred.

【0010】前記飽和又は不飽和多塩基酸無水物として
はフタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタ
ル酸、マレイン酸、コハク酸、トリメリット酸等の無水
物が用いられる。
As the above-mentioned saturated or unsaturated polybasic acid anhydride, anhydrides such as phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, maleic acid, succinic acid and trimellitic acid are used.

【0011】上記のカルボキシル基を有する感光性樹脂
に更に、イソシアネートエチル(メタ)アクリレート、
あるいはトリレンジイソシアネート又はイソホロンジイ
ソシアネートと1分子中に水酸基を1個以上有する(メ
タ)アクリレート類、例えばヒドロキシエチル(メタ)
アクリレートとの等モル反応物を反応させてウレタン結
合を介して不飽和結合を導入して得られる化合物もカル
ボキシル基を有する感光性樹脂(A)として用いられ
る。
The above-mentioned photosensitive resin having a carboxyl group is further provided with isocyanate ethyl (meth) acrylate,
Or (meth) acrylates having at least one hydroxyl group in one molecule with tolylene diisocyanate or isophorone diisocyanate, for example, hydroxyethyl (meth)
A compound obtained by reacting an equimolar reactant with an acrylate to introduce an unsaturated bond via a urethane bond is also used as the photosensitive resin (A) having a carboxyl group.

【0012】カルボキシル基を有する感光性樹脂(A)
の酸価(KOH mg/g)は、アルカリ現像性と電気
特性他の特性バランス上、40〜250、好ましくは5
0〜150である。
Photosensitive resin having carboxyl group (A)
The acid value of KOH (KOH mg / g) is 40 to 250, preferably 5 in view of the balance between alkali developability and electric characteristics and other characteristics.
0 to 150.

【0013】本発明の感光性樹脂組成物には、カルボキ
シル基を有する感光性樹脂(A)以外に、他にカルボキ
シル基と(メタ)アクリレート基を有する特公平7−9
2603号公報あるいは特開昭63−205649号公
報に示されるアクリル系、スチレン系樹脂を配合しても
よい。
The photosensitive resin composition of the present invention contains, in addition to the photosensitive resin (A) having a carboxyl group, a carboxyl group and a (meth) acrylate group.
An acrylic resin or a styrene resin described in JP-A-2603 or JP-A-63-205649 may be blended.

【0014】上記に示したカルボキシル基を有する感光
性樹脂(A)としては日本化薬社からZFER1179
が市販されている。
As the photosensitive resin (A) having a carboxyl group shown above, ZFER1179 from Nippon Kayaku Co., Ltd.
Are commercially available.

【0015】本発明において、感光性樹脂(B)として
はカルボキシル基を有する感光性ポリアミド樹脂及びカ
ルボキシル基を有する感光性ポリアミドイミド樹脂から
選ばれる少なくとも1種の樹脂が用いられる。このよう
な樹脂はエポキシ基含有ポリアミド樹脂及び/又はエポ
キシ基含有ポリアミドイミド樹脂(b)と不飽和モノカ
ルボン酸とのエステル化物に更に飽和又は不飽和多塩基
酸無水物を反応させて得られた樹脂が好適に用いられ
る。エポキシ基含有ポリアミド樹脂及び/又はエポキシ
基含有ポリアミドイミド樹脂(b)としては、ジカルボ
ン酸、トリカルボン酸、テトラカルボン酸二無水物等の
多価カルボン酸成分と有機ジイソシアネート若しくはジ
アミンから縮合反応により合成できるカルボキシル基末
端ポリアミド樹脂又はカルボキシル基末端ポリアミドイ
ミド樹脂(c)(以下、カルボキシル基末端ポリアミド
(イミド)樹脂(c)ということがある。)とエポキシ
樹脂(d)とを、(d)のエポキシ基/(c)のカルボ
キシル基のモル比を1より大きくして反応させて得られ
るエポキシ基含有ポリアミド樹脂又はエポキシ基含有ポ
リアミドイミド樹脂(以下、エポキシ基含有ポリアミド
(イミド)樹脂ということがある。)が好適に用いられ
る。
In the present invention, as the photosensitive resin (B), at least one resin selected from a photosensitive polyamide resin having a carboxyl group and a photosensitive polyamideimide resin having a carboxyl group is used. Such a resin is obtained by further reacting an esterified product of an epoxy group-containing polyamide resin and / or an epoxy group-containing polyamideimide resin (b) with an unsaturated monocarboxylic acid with a saturated or unsaturated polybasic anhydride. Resins are preferably used. The epoxy group-containing polyamide resin and / or epoxy group-containing polyamideimide resin (b) can be synthesized by a condensation reaction from a polycarboxylic acid component such as dicarboxylic acid, tricarboxylic acid, tetracarboxylic dianhydride and an organic diisocyanate or diamine. A carboxyl group-terminated polyamide resin or a carboxyl group-terminated polyamide-imide resin (c) (hereinafter sometimes referred to as a carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c)) and an epoxy resin (d) are combined with an epoxy group of (d). The epoxy group-containing polyamide resin or the epoxy group-containing polyamide imide resin (hereinafter, sometimes referred to as an epoxy group-containing polyamide (imide) resin) obtained by causing the reaction by making the molar ratio of the carboxyl group of / (c) greater than 1. Is preferably used.

【0016】上記カルボキシル基末端ポリアミド(イミ
ド)樹脂(c)の製造に使用される多価カルボン酸成分
としては、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、アゼラ
イン酸、セバシン酸、デカン二酸、ドデカン二酸、ダイ
マー酸等の脂肪族ジカルボン酸、イソフタル酸、テレフ
タル酸、フタル酸、ナフタレンジカルボン酸、ジフェニ
ルスルホンジカルボン酸、オキシジ安息香酸等の芳香族
ジカルボン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ジフ
ェニルスルホンテトラカルボン酸、ベンゾフェノンテト
ラカルボン酸等の芳香族カルボン酸及びこれらの無水物
などが挙げられる。これらは、単独又は2種類以上を組
み合わせて使用することができる。
The polycarboxylic acid component used in the production of the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c) includes succinic acid, glutaric acid, adipic acid, azelaic acid, sebacic acid, decandioic acid, dodecane diacid. Acids, aliphatic dicarboxylic acids such as dimer acid, isophthalic acid, terephthalic acid, phthalic acid, naphthalenedicarboxylic acid, aromatic dicarboxylic acids such as diphenylsulfonedicarboxylic acid, oxydibenzoic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid, diphenylsulfonetetra Examples thereof include aromatic carboxylic acids such as carboxylic acid and benzophenonetetracarboxylic acid, and anhydrides thereof. These can be used alone or in combination of two or more.

【0017】上記カルボキシル基末端ポリアミド(イミ
ド)樹脂(c)の製造に使用される有機ジイソシアネー
トとしては4,4′−ジフェニルメタンジイソシアネー
ト、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリ
レンジイソシアネート、1,5−ナフタレンジイソシア
ネート、3,3′−ジメチル−4,4′−ジフェニルメ
タンジイソシアネート、p−フェニレンジイソシアネー
ト、m−キシレンジイソシアネート、m−テトラメチル
キシレンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネー
ト、ヘキサメチレンジイソシアネート、2,2,4−ト
リメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロン
ジイソシアネート、4,4′−ジシクロヘキシルメタン
ジイソシアネート、トランスシクロヘキサン−1,4−
ジイソシアネート、水添m−キシレンジイソシアネー
ト、リジンジイソシアネート等の脂肪族イソシアネート
などが挙げられる。これらのうちでは耐熱性の点から芳
香族ジイソシアネートが好ましく、4,4′−ジフェニ
ルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート
が特に好ましい。これらは単独で使用してもよいが、結
晶性が高くなるので2種類以上を組み合わせて使用する
ことが好ましい。
The organic diisocyanate used in the production of the carboxyl-terminated polyamide (imide) resin (c) is 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, Aromatic diisocyanates such as 2,5-naphthalene diisocyanate, 3,3'-dimethyl-4,4'-diphenylmethane diisocyanate, p-phenylene diisocyanate, m-xylene diisocyanate, m-tetramethyl xylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, 2,2 , 4-trimethylhexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, 4,4'-dicyclohexylmethane diisocyanate, transcyclohexane-1,4-
Examples thereof include aliphatic isocyanates such as diisocyanate, hydrogenated m-xylene diisocyanate, and lysine diisocyanate. Of these, aromatic diisocyanates are preferred from the viewpoint of heat resistance, and 4,4'-diphenylmethane diisocyanate and tolylene diisocyanate are particularly preferred. These may be used alone, but it is preferable to use two or more kinds in combination because the crystallinity is increased.

【0018】上記有機ジイソシアネートの代わりにジア
ミンも使用できる。ジアミンとしてはフェニレンジアミ
ン、ジアミノジフェニルプロパン、ジアミノジフェニル
メタン、ベンジジン、4,4′−ジアミノジフェニルス
ルホン、4,4′−ジアミノジフェニルスルファイド、
ジアミノジフェニルエーテル等が挙げられる。有機溶剤
に対する可溶性を向上させるために2,2−ビス(3−
アミノフェノキシフェニル)プロパン、2,2−ビス
(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン、ビス[3
−(3−アミノフェノキシフェニル)]スルホン、ビス
[4−(3−アミノフェノキシフェニル)]スルホン、
ビス[3−(4−アミノフェノキシフェニル)]スルホ
ン、ビス[4−(4−アミノフェノキシフェニル)]ス
ルホン、2,2−ビス(3−アミノフェノキシフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−アミ
ノフェノキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、1,
4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−
ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4−(p
−フェニレンジイソプロピリデン)ビスアニリン、4,
4−(m−フェニレンジイソプロピリデン)ビスアニリ
ン等のジアミンを用いることが好ましい。
Diamines can be used in place of the above organic diisocyanates. Examples of the diamine include phenylenediamine, diaminodiphenylpropane, diaminodiphenylmethane, benzidine, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenylsulfide,
And diaminodiphenyl ether. To improve the solubility in organic solvents, 2,2-bis (3-
Aminophenoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, bis [3
-(3-aminophenoxyphenyl)] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxyphenyl)] sulfone,
Bis [3- (4-aminophenoxyphenyl)] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxyphenyl)] sulfone, 2,2-bis (3-aminophenoxyphenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis ( 4-aminophenoxyphenyl) hexafluoropropane, 1,
4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-
Bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4- (p
-Phenylenediisopropylidene) bisaniline, 4,
It is preferable to use a diamine such as 4- (m-phenylenediisopropylidene) bisaniline.

【0019】これら有機ジイソシアネート及びジアミン
は単独で使用してもよいが、2種類以上を組み合わせて
使用してもよい。ただし有機ジイソシアネートとジアミ
ンは同時に用いると反応し耐熱性の劣る尿素結合ができ
るので好ましくない。
These organic diisocyanates and diamines may be used alone or in combination of two or more. However, when organic diisocyanate and diamine are used at the same time, they react with each other to form a urea bond having poor heat resistance, which is not preferable.

【0020】上記カルボキシル基末端ポリアミド(イミ
ド)樹脂(c)としては、ポリアルキレンオキサイドユ
ニット及びポリカーボネートユニットから選ばれる少な
くとも1種のポリマーユニットを分子構造中に有する樹
脂が好ましく用いられる。
As the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c), a resin having at least one polymer unit selected from a polyalkylene oxide unit and a polycarbonate unit in its molecular structure is preferably used.

【0021】分子構造中に導入されるポリアルキレンオ
キサイドユニット、ポリカーボネートユニットは、前記
カルボキシル基末端ポリアミド(イミド)樹脂(c)を
製造する際に、ポリアルキレングリコール又はポリカー
ボネートジオールの両末端にカルボキシル基を導入した
ジカルボン酸を多価カルボン酸成分として用い、ジイソ
シアネート又はジアミンと反応させポリアミド(イミ
ド)骨格に導入する。ポリアルキレングリコールとして
は、ポリテトラメチレンエーテルグリコール、ポリプロ
ピレングリコール、ポリエチレングリコール、ビスフェ
ノールAあるいは水添ビスフェノールAとこれらポリア
ルキレングリコールとの反応物が挙げられ、これらによ
り導入されるポリアルキレンオキサイドユニットは一分
子中に2種以上存在していてもよい。ポリカーボネート
ジオールとしては直鎖状脂肪族ポリカーボネートジオー
ルが挙げられ、プラクセルCDシリーズ(ダイセル化学
工業社製)ニッポラン980、981(日本ポリウレタ
ン工業社製)などが挙げられる。ポリカーボネートジオ
ールの化学構造については、例えば次式で表されるもの
が挙げられる。
The polyalkylene oxide unit and the polycarbonate unit to be introduced into the molecular structure have carboxyl groups at both ends of the polyalkylene glycol or the polycarbonate diol when the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c) is produced. The introduced dicarboxylic acid is used as a polyvalent carboxylic acid component, and is reacted with diisocyanate or diamine to be introduced into a polyamide (imide) skeleton. Examples of the polyalkylene glycol include polytetramethylene ether glycol, polypropylene glycol, polyethylene glycol, bisphenol A or a reaction product of hydrogenated bisphenol A with these polyalkylene glycols, and the polyalkylene oxide unit introduced by these is one molecule. Two or more kinds may be present therein. Examples of the polycarbonate diol include straight-chain aliphatic polycarbonate diols, such as Placcel CD series (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), Nipporan 980, 981 (manufactured by Nippon Polyurethane Industry). The chemical structure of the polycarbonate diol includes, for example, those represented by the following formula.

【0022】HO(ROCOO)nR−OH (式中、Rは2価アルコール残基を表し、nは1〜10
の整数である。) 特に、2価アルコール残基が、炭素数1〜100のも
の、例えば、1,5−ペンタンジオール残基、メチルペ
ンタンジオール残基、シクロヘキサノンジメタノール残
基、1,6−ヘキサンジオール残基、1,9−ノナンジ
オール残基、2−メチル−1,8−オクタンジオール残
基を有し、常温で液状のものが好適に用いられる。
HO (ROCOO) n R-OH (wherein R represents a dihydric alcohol residue, and n represents 1 to 10)
Is an integer. In particular, when the dihydric alcohol residue has 1 to 100 carbon atoms, for example, a 1,5-pentanediol residue, a methylpentanediol residue, a cyclohexanone dimethanol residue, a 1,6-hexanediol residue, Those which have a 1,9-nonanediol residue and a 2-methyl-1,8-octanediol residue and are liquid at room temperature are preferably used.

【0023】ポリアルキレングリコール、ポリカーボネ
ートジオールの両末端にカルボキシル基を導入した両末
端カルボン酸にするには、前記した多価カルボン酸成分
と同様の多価カルボン酸、好ましくはジカルボン酸を、
ポリアルキレングリコール、ポリカーボネートジオール
あるいは末端にアミノ基が導入されたポリアルキレング
リコールジアミン、ポリカーボネートジアミンに反応さ
せればよい。
In order to obtain a carboxylic acid having carboxyl groups at both ends of a polyalkylene glycol or polycarbonate diol, a polycarboxylic acid similar to the above-mentioned polycarboxylic acid component, preferably a dicarboxylic acid, is used.
The reaction may be carried out with polyalkylene glycol, polycarbonate diol, or polyalkylene glycol diamine or polycarbonate diamine having an amino group introduced into a terminal.

【0024】また、末端にアミノ基が導入されたポリア
ルキレングリコールジアミン、ポリカーボネートジアミ
ンをジアミン成分として使用しても、又はこれらをトリ
メリット酸と反応させたイミドジカルボン酸を多価カル
ボン酸成分として使用してもカルボキシル基末端ポリア
ミド(イミド)樹脂(c)中に導入することができる。
Further, polyalkylene glycol diamine or polycarbonate diamine having an amino group introduced into the terminal may be used as the diamine component, or imidodicarboxylic acid obtained by reacting them with trimellitic acid may be used as the polyvalent carboxylic acid component. It can also be introduced into the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c).

【0025】ポリアルキレンオキサイドユニット又はポ
リカーボネートユニットの含有量の合計は、接着性の点
からカルボキシル基末端ポリアミド(イミド)樹脂
(c)中に10重量%以上、耐熱性の点から90重量%
以下使用することが好ましい。更に接着性、耐吸水性の
点からポリテトラメチレンエーテルグリコール、ポリプ
ロピレングリコール及びこれらの(水添)ビスフェノー
ルAとの反応物を用いて導入することが好ましい。使用
できるこれらのジオールの分子量(水酸価からの算出
値)は200〜4,000が好ましい。
The total content of the polyalkylene oxide units or polycarbonate units is at least 10% by weight in the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c) from the viewpoint of adhesiveness, and 90% by weight from the viewpoint of heat resistance.
It is preferable to use the following. Further, from the viewpoints of adhesiveness and water absorption resistance, it is preferable to introduce polytetramethylene ether glycol, polypropylene glycol and a reaction product thereof with (hydrogenated) bisphenol A. The molecular weight (calculated from the hydroxyl value) of these diols that can be used is preferably from 200 to 4,000.

【0026】カルボキシル基末端ポリアミド(イミド)
樹脂(c)の製造において、多価カルボン酸成分はジイ
ソシアネート成分とジアミン成分の合計に対してモル比
で1以上、好ましくは1〜3、より好ましくは1.1〜
2.2となるように配合し、反応させる。
Carboxyl-terminated polyamide (imide)
In the production of the resin (c), the polycarboxylic acid component has a molar ratio of 1 or more, preferably 1 to 3, more preferably 1.1 to 1 based on the total of the diisocyanate component and the diamine component.
It mixes so that it may become 2.2, and is made to react.

【0027】上記の反応はγ−ブチロラクトン等のラク
トン類、N−メチルピロリドン(NMP)、ジメチルホ
ルムアミド(DMF)等のアミド系溶媒、テトラメチレ
ンスルホン等のスルホン類、ジエチレングリコールジメ
チルエーテル等のエーテル類などの溶媒を使用し50℃
〜250℃で反応させる。反応収率、溶解性及び後工程
での揮散性を考慮するとγ−ブチロラクトンを溶媒の主
成分にすることが好ましい。
The above reaction is carried out using lactones such as γ-butyrolactone, amide solvents such as N-methylpyrrolidone (NMP) and dimethylformamide (DMF), sulfones such as tetramethylene sulfone, and ethers such as diethylene glycol dimethyl ether. 50 ° C using solvent
React at ~ 250 ° C. Considering the reaction yield, solubility, and volatility in the subsequent steps, it is preferable to use γ-butyrolactone as the main component of the solvent.

【0028】次に、カルボキシル基末端ポリアミド(イ
ミド)樹脂(c)と反応させるエポキシ樹脂(d)とし
てはビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノール
F型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、
フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボ
ラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂及び
その変性物、ビキシレニルジグリシジルエーテル、YD
C1312(東都化成社製商品名)、テクモアVG31
01(三井石油化学社製商品名)、TMH574(住友
化学社製商品名)、ESLV−80XY、−90CR、
−120TE、−80DE(新日鉄化学社製商品名)、
エピコート1031S(油化シェル社製商品名)等の芳
香族系エポキシ樹脂、ネオペンチルグリコールジグリシ
ジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジル
エーテル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル
等の脂肪族系エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌ
レート等の複素環式エポキシ化合物などが挙げられる。
これらのうちでは、反応制御の点から2官能エポキシ樹
脂が好ましく、耐熱性の点から芳香族系あるいは複素環
式エポキシ樹脂がよい。また難燃性を付与するためには
ブロム化エポキシ樹脂が有用である。これらは単独又は
2種類以上組み合わせて使用される。またこれらのエポ
キシ樹脂(d)はカルボキシル基末端ポリアミド(イミ
ド)樹脂(c)と、(d)のエポキシ基/(c)のカル
ボキシル基のモル比を1より大きくして、好ましくは
1.1〜2.5で反応させる。エポキシ基/カルボキシ
ル基のモル比が1以下では末端エポキシの樹脂が得られ
ない。このようにして得られるエポキシ基含有ポリアミ
ド(イミド)樹脂(c)のエポキシ当量は500〜4
0,000であることが好ましい。500より小さくて
は分子量が低く接着性が劣り、40,000を超えると
分子量が高すぎ現像性に劣る傾向がある。
Next, as the epoxy resin (d) to be reacted with the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c), bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin,
Phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin and its modified products, bixylenyl diglycidyl ether, YD
C1312 (trade name, manufactured by Toto Kasei), Techmore VG31
01 (trade name of Mitsui Petrochemical Co., Ltd.), TMH574 (trade name of Sumitomo Chemical Co., Ltd.), ESLV-80XY, -90CR,
-120TE, -80DE (brand name by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.),
Aromatic epoxy resins such as Epicoat 1031S (trade name of Yuka Shell Co., Ltd.), aliphatic epoxy resins such as neopentyl glycol diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether, diglycidyl tetrahydrophthalate, and triglycidyl isocyanurate And the like.
Of these, bifunctional epoxy resins are preferred from the viewpoint of reaction control, and aromatic or heterocyclic epoxy resins are preferred from the viewpoint of heat resistance. A brominated epoxy resin is useful for imparting flame retardancy. These are used alone or in combination of two or more. These epoxy resins (d) have a carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c) with a molar ratio of epoxy group of (d) / carboxyl group of (c) of more than 1, preferably 1.1. React at ~ 2.5. When the molar ratio of epoxy group / carboxyl group is 1 or less, a terminal epoxy resin cannot be obtained. The epoxy equivalent of the epoxy group-containing polyamide (imide) resin (c) thus obtained has an epoxy equivalent of 500 to 4
Preferably it is 000. If it is less than 500, the molecular weight is low and the adhesion is poor. If it exceeds 40,000, the molecular weight is too high and the developability tends to be poor.

【0029】続いて、上記エポキシ基含有ポリアミド
(イミド)樹脂に反応させるエチレン性不飽和カルボン
酸としては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸
及び飽和又は不飽和二塩基酸無水物と1分子中に1個の
水酸基を有する(メタ)アクリレート類あるいは飽和又
は不飽和二塩基酸と不飽和モノグリシジル化合物との半
エステル化合物類、例えばフタル酸、テトラヒドロフタ
ル酸、ヘキサヒドロフタル酸、マレイン酸、コハク酸と
ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプ
ロピル(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチ
ル)イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート又はグリ
シジル(メタ)アクリレートとを常法により等モル比で
反応させて得られるものが単独で又は混合して用いられ
る。上記エポキシ基含有ポリアミド(イミド)樹脂
(c)に対するエチレン性不飽和カルボン酸の反応割合
は、エチレン性不飽和カルボン酸のカルボキシル基/
(c)のエポキシ基のモル比で0.5〜2とすることが
好ましい。
Subsequently, the ethylenically unsaturated carboxylic acids to be reacted with the epoxy group-containing polyamide (imide) resin include (meth) acrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid and a saturated or unsaturated dibasic acid anhydride. (Meth) acrylates having one hydroxyl group in the molecule or half-ester compounds of a saturated or unsaturated dibasic acid and an unsaturated monoglycidyl compound, for example, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, maleic acid , Obtained by reacting succinic acid with hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, tris (hydroxyethyl) isocyanurate di (meth) acrylate or glycidyl (meth) acrylate in an equimolar ratio by a conventional method. These are used alone or as a mixture. The reaction ratio of the ethylenically unsaturated carboxylic acid to the epoxy group-containing polyamide (imide) resin (c) is determined by the ratio of the carboxyl group of the ethylenically unsaturated carboxylic acid /
The molar ratio of the epoxy group (c) is preferably 0.5 to 2.

【0030】更に、樹脂中に残っている水酸基に対し
て、感光特性等を考慮し、イソシアネートエチル(メ
タ)アクリレート、あるいはトリレンジイソシアネート
又はイソホロンジイソシアネートと1分子中に水酸基を
1個以上有する(メタ)アクリレート類例えばヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレートとの等モル反応物を反応
させてウレタン結合を介して不飽和結合を導入してもよ
い。
Further, in consideration of the photosensitivity and the like, hydroxyl groups remaining in the resin are combined with isocyanate ethyl (meth) acrylate, tolylene diisocyanate or isophorone diisocyanate in one molecule to have at least one hydroxyl group (meth A) Acrylates, for example, an equimolar reactant with hydroxyethyl (meth) acrylate may be reacted to introduce an unsaturated bond via a urethane bond.

【0031】上記エポキシ基含有ポリアミド(イミド)
樹脂(c)にエチレン性不飽和モノカルボン酸を反応さ
せた後に反応させる多塩基酸無水物としては、フタル
酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、マ
レイン酸、コハク酸、トリメリット酸等の無水物が用い
られる。更に酸価を上げたい場合、グリシドールを反応
後、更に多塩基酸無水物を反応させてもよい。
The above-mentioned epoxy group-containing polyamide (imide)
Examples of the polybasic acid anhydride to be reacted after the reaction of the resin (c) with the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid include phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, maleic acid, succinic acid, trimellitic acid and the like. Anhydride is used. When it is desired to further increase the acid value, glycidol may be reacted and then a polybasic anhydride may be further reacted.

【0032】感光性樹脂(B)の酸価(KOH mg/
g)は、アルカリ現像性と電気特性他の特性バランス
上、40〜250、好ましくは50〜150である。
The acid value of the photosensitive resin (B) (KOH mg /
g) is from 40 to 250, preferably from 50 to 150, in view of the balance between alkali developability and other characteristics such as electric characteristics.

【0033】本発明の感光性樹脂組成物において、感光
性樹脂(A)及び感光性樹脂(B)の総量の好ましい配
合は、感光性樹脂組成物の総量に対して10〜90重量
%である。また、感光性樹脂(A)は感光性樹脂(A)
及び(B)の総量に対して50〜95重量%であること
が好ましく、感光性樹脂(B)は感光性樹脂(A)及び
(B)の総量に対して5〜50重量%であることが好ま
しい。感光性樹脂(A)が50重量%未満であると現像
性が劣る傾向があり、95重量%を超えるとそりやすく
なる傾向がある。また、感光性樹脂(B)が5重量%未
満であるとそりやすくなる傾向があり、50重量%を超
えると現像性が劣る傾向がある。
In the photosensitive resin composition of the present invention, the preferred amount of the total amount of the photosensitive resin (A) and the photosensitive resin (B) is 10 to 90% by weight based on the total amount of the photosensitive resin composition. . The photosensitive resin (A) is the photosensitive resin (A)
And the total amount of (B) is preferably 50 to 95% by weight, and the photosensitive resin (B) is 5 to 50% by weight based on the total amount of the photosensitive resins (A) and (B). Is preferred. If the amount of the photosensitive resin (A) is less than 50% by weight, the developability tends to be poor, and if it exceeds 95% by weight, the warp tends to occur. If the content of the photosensitive resin (B) is less than 5% by weight, it tends to be warped, and if it exceeds 50% by weight, developability tends to be poor.

【0034】本発明に使用されるエポキシ硬化剤(C)
としては、エポキシ基を有する化合物であればよく、分
子内に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂が好
ましい。具体的にはビスフェノールF型エポキシ樹脂、
ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型
エポキシ樹脂及びそれらの臭素化物等の誘導体、フェノ
ール若しくはクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビ
フェニル型エポキシ樹脂、例えば「YX4000」(油
化シェルエポキシ社製)、特殊グリシジルエーテル系エ
ポキシ樹脂、例えば、東都化成社製YDC1312、新
日鐡化学社製ESLV−80XY、ESLV−90C
R、「TACTIX742」(ダウケミカル社製)、
「ZX1257」(東都化成社製)、ESLV−120
TE、−80DE(新日鉄化学社製)等のグリシジルエ
ーテル系エポキシ樹脂;グリシジルエステル系エポキシ
樹脂、例えば「デナコールEX711」(ナガセ化成工
業社製)、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、例えば
「YH434」(東都化成社製)、ナフタレン型エポキ
シ樹脂、例えば「エピクロンHP−4032」(大日本
インキ化学工業社製)、ジシクロ型エポキシ樹脂、例え
ば「エピクロンHP7200H」(大日本インキ化学工
業社製)、環式脂肪族エポキシ樹脂、複素環式エポキシ
樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、トリグリシジルイ
ソシアヌレート等の特殊エポキシ樹脂等が挙げられる。
Epoxy curing agent (C) used in the present invention
May be any compound having an epoxy group, and an epoxy resin having two or more epoxy groups in a molecule is preferable. Specifically, bisphenol F type epoxy resin,
Bisphenol A type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin and derivatives such as bromide thereof, phenol or cresol novolak type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, for example, "YX4000" (manufactured by Yuka Shell Epoxy), special glycidyl ether type Epoxy resin, for example, YDC1312 manufactured by Toto Kasei, ESLV-80XY manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., ESLV-90C
R, "TACTIX742" (manufactured by Dow Chemical Company),
"ZX1257" (manufactured by Toto Kasei), ESLV-120
Glycidyl ether-based epoxy resins such as TE, -80DE (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.); glycidyl ester-based epoxy resins such as "Denacol EX711" (manufactured by Nagase Kasei Kogyo Co., Ltd.) and glycidylamine-based epoxy resins such as "YH434" (Toto Kasei) ), A naphthalene type epoxy resin such as “Epiclon HP-4032” (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.), a dicyclo type epoxy resin such as “Epiclon HP7200H” (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) Specific examples include epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, hydantoin type epoxy resins, and special epoxy resins such as triglycidyl isocyanurate.

【0035】エポキシ硬化剤(C)として上記のエポキ
シ樹脂を用いた場合、一部(50重量%以下)を、他の
感光基を有するエポキシ硬化剤に替えて使用しても良
い。感光基を有するエポキシ硬化剤としてはカルボキシ
ル基を有する感光性樹脂(A)を得る前段階の酸無水物
を反応させないノボラック型エポキシ化合物と不飽和モ
ノカルボン酸のエステル化物であるエポキシアクリレー
ト化合物が好適に用いられる。更にエポキシアクリレー
ト化合物にイソシアネートエチルメタクリレート等をウ
レタン結合を介して導入したウレタン化物なども好適に
用いられる。
When the above epoxy resin is used as the epoxy curing agent (C), a part (50% by weight or less) may be used in place of another epoxy curing agent having a photosensitive group. As the epoxy curing agent having a photosensitive group, an epoxy acrylate compound which is an esterified product of a novolak type epoxy compound and an unsaturated monocarboxylic acid which does not react with an acid anhydride in a stage before obtaining a photosensitive resin (A) having a carboxyl group is preferable. Used for Further, urethane compounds in which isocyanate ethyl methacrylate or the like is introduced into an epoxy acrylate compound via a urethane bond are preferably used.

【0036】エポキシ硬化剤(C)の好ましい配合割合
は感光性樹脂組成物に対して0.1〜40重量%、更に
好ましくは1〜30重量%である。
The preferred proportion of the epoxy curing agent (C) is 0.1 to 40% by weight, more preferably 1 to 30% by weight, based on the weight of the photosensitive resin composition.

【0037】本発明に使用される光重合開始剤(D)と
しては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベン
ゾインイソプロピルエーテル等のベンゾイン類、アセト
フェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフ
ェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェ
ノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキ
シシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−
[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプ
ロパン−1−オン、2,2−ジエトキシアセトフェノ
ン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセト
フェノン類、2−メチルアントラキノン、2−エチルア
ントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、
1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノ
ン、2−アミノアントラキノン等のアントラキノン類、
2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチ
オキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジ
イソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類、ア
セトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタ
ール等のケタール類、ベンゾフェノン、メチルベンゾフ
ェノン、4,4′−ジクロロベンゾフェノン、4,4′
−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ミヒラーズ
ケトン、4−ベンゾイル−4′−メチルジフェニルサル
ファイド等のベンゾフェノン類、2−(o−クロロフェ
ニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−
(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフ
ェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェ
ニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−
(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5
−ジフェニルイミダゾール二量体、2,4−ジ(p−メ
トキシフェニル)−5−フェニルイミダゾール二量体、
2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェ
ニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリール
イミダゾール二量体、9−フェニルアクリジン、1,7
−ビス(9,9′−アクリジニル)ヘプタン等のアクリ
ジン誘導体、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェ
ニルホスフィンオキサイド等が挙げられ、これらは単独
であるいは2種以上を組み合わせて用いることができ
る。光重合開始剤(D)の好ましい配合割合は感光性樹
脂組成物に対して0.1〜20重量%、更に好ましくは
1〜10重量%である。
The photopolymerization initiator (D) used in the present invention includes benzoins such as benzoin, benzoin methyl ether and benzoin isopropyl ether, acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2- Diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-methyl-1-
Acetophenones such as [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2,2-diethoxyacetophenone, N, N-dimethylaminoacetophenone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, -Tert-butylanthraquinone,
Anthraquinones such as 1-chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone and 2-aminoanthraquinone;
Thioxanthones such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone, ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal, benzophenone, methylbenzophenone, 4,4 '-Dichlorobenzophenone, 4,4'
Benzophenones such as -bis (diethylamino) benzophenone, Michler's ketone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenylsulfide, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer,
(O-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2-
(O-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5
-Diphenylimidazole dimer, 2,4-di (p-methoxyphenyl) -5-phenylimidazole dimer,
2,4,5-triarylimidazole dimer such as 2- (2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 9-phenylacridine, 1,7
Acridine derivatives such as -bis (9,9'-acridinyl) heptane; and 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide. These can be used alone or in combination of two or more. The preferred mixing ratio of the photopolymerization initiator (D) is 0.1 to 20% by weight, more preferably 1 to 10% by weight, based on the photosensitive resin composition.

【0038】更に光重合開始助剤としてN,N−ジメチ
ルアミノ安息香酸エチルエステル、N,N−ジメチルア
ミノ安息香酸イソアミルエステル、ペンチル−4−ジメ
チルアミノベンゾエート、ジメチルエタノールアミン、
トリエチルアミン、トリエタノールアミン等の3級アミ
ン類がある。これらは、単独あるいは混合して感光性樹
脂組成物中の0.1〜20重量%の範囲で用いることが
できる。
Furthermore, N, N-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, N, N-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, dimethylethanolamine,
There are tertiary amines such as triethylamine and triethanolamine. These can be used alone or as a mixture in the range of 0.1 to 20% by weight in the photosensitive resin composition.

【0039】本発明に用いられる、難燃剤(E)として
は、トリアジン化合物、臭素化化合物又はリン化合物を
少なくも1種含むものが挙げられる。
Examples of the flame retardant (E) used in the present invention include those containing at least one triazine compound, brominated compound or phosphorus compound.

【0040】トリアリジン化合物としては、メラミン、
アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン−フェ
ノール−ホルマリン樹脂、四国化成工業社製;2MZ−
AZINE、2E4MZ−AZINE、C11Z−AZI
NE、2MΑ−OK等が挙げられる。あるいはエチルジ
アミノ−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−S−トリ
アジン、2,4−ジアミノ−6−キシリル−S−トリア
ジン等のトリアジン誘導体類が挙げられる。これらの化
合物は難燃剤としての効果の他に銅回路との密着性を上
げ耐PCT性を向上させ、電食性にも効果がある。これ
らは感光性樹脂組成物に対して0.1〜15重量%で使
用されるのが好ましい。
As the triazine compound, melamine,
Acetoguanamine, benzoguanamine, melamine-phenol-formalin resin, manufactured by Shikoku Chemicals; 2MZ-
AZINE, 2E4MZ-AZINE, C 11 Z-AZI
NE, 2MΑ-OK and the like. Alternatively, triazine derivatives such as ethyldiamino-S-triazine, 2,4-diamino-S-triazine, and 2,4-diamino-6-xylyl-S-triazine are exemplified. These compounds have an effect as a flame retardant, as well as an increase in adhesion to a copper circuit, an improvement in PCT resistance, and an effect in electrolytic corrosion. These are preferably used in an amount of 0.1 to 15% by weight based on the photosensitive resin composition.

【0041】臭素化化合物としては、上記に挙げた臭素
化エポキシ化合物あるいはこれらで変性した(A)成分
及び(B)成分以外の感光性樹脂が挙げられる。これら
の他にテトラブロモビスフェノールΑ(TBA)及びこ
れらの誘導体例えば、TBAブロモエチルエーテルオリ
ゴマー、TBAビス(2,3−ジブロモプロピルエーテ
ル)、TBAビス(アリルエーテル)、TBAビス(2
−ヒドロキシエチルエーテル)、TBA−カーボネート
オリゴマー等が挙げられる、他にデカブロモビフェニル
オキサイド、オクタブロモビフェニルオキサイド、ヘキ
サブロモビフェニルオキサイド、ポリジブロモフェニレ
ンオキサイド、ビス(ペンタブロモフェノキシ)エタ
ン、テトラブロモビスフェノールS等が挙げられる。他
にトリアジン骨格を有するピロガードSR245(第一
工業製薬社製)等が挙げられる。これら臭素化合物は樹
脂組成物中に1〜30重量%配合することが好ましい。
臭素化化合物には難燃助剤として五酸化アンチモンを併
用することが有用であり、樹脂組成物中に10重量%以
下で使用することが好ましい。また五酸化アンチモンは
イオントラップ剤として電食性試験におけるマイグレー
ションを抑制する効果がある。
Examples of the brominated compound include the above-mentioned brominated epoxy compounds and photosensitive resins other than the components (A) and (B) modified with these compounds. In addition to these, tetrabromobisphenol (TBA) and derivatives thereof such as TBA bromoethyl ether oligomer, TBA bis (2,3-dibromopropyl ether), TBA bis (allyl ether), and TBA bis (2
-Hydroxyethyl ether), TBA-carbonate oligomer and the like, and decabromobiphenyl oxide, octabromobiphenyl oxide, hexabromobiphenyl oxide, polydibromophenylene oxide, bis (pentabromophenoxy) ethane, tetrabromobisphenol S, etc. Is mentioned. Other examples include Pyrogard SR245 having a triazine skeleton (manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.). These bromine compounds are preferably incorporated in the resin composition in an amount of 1 to 30% by weight.
It is useful to use antimony pentoxide in combination with the brominated compound as a flame retardant aid, and it is preferable to use 10% by weight or less in the resin composition. Further, antimony pentoxide has an effect of suppressing migration in an electrolytic corrosion test as an ion trapping agent.

【0042】リン化合物としては、例えば、トリメチル
ホスフェート、トリエチルホスフェート、トリフェニル
ホスフェート、トリクレジルホスフェート、トリキシリ
ルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート、ク
レジル−2,6−キシリルホスフェート、トリス(クロ
ロエチル)ホスフェート、トリス(クロロプロピル)ホ
スフェート、トリス(ジクロロプロピル)ホスフェー
ト、トリス(トリブロモネオペンチル)ホスフェート等
のホスフェート化合物、あるいはCR−733S、CR
−741、CR−747、PX−200(以上、大八化
学社製)等の芳香族縮合リン酸エステル、CR−50
5、CR−509、CR−530、CR504L、CR
−570、CR−380、CR−387(以上、大八化
学社製)等の含ハロゲン縮合リン酸エステル等が挙げら
れる。あるいはPPZ(共栄社化学社製)、SP134
(大塚化学社製)等のフォスファゼン化合物が挙げられ
る。これらは樹脂組成物中に0.5〜20重量%配合す
ることが好ましい。
Examples of the phosphorus compound include trimethyl phosphate, triethyl phosphate, triphenyl phosphate, tricresyl phosphate, tricylyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, cresyl-2,6-xylyl phosphate, tris (chloroethyl) phosphate, Phosphate compounds such as tris (chloropropyl) phosphate, tris (dichloropropyl) phosphate, tris (tribromoneopentyl) phosphate, or CR-733S, CR
-751, CR-747, PX-200 (above, manufactured by Daihachi Chemical Co., Ltd.), etc., and an aromatic condensed phosphate ester, CR-50
5, CR-509, CR-530, CR504L, CR
And halogen-containing condensed phosphoric esters such as -570, CR-380, and CR-387 (all manufactured by Daihachi Chemical Co., Ltd.). Alternatively, PPZ (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), SP134
(Made by Otsuka Chemical Co., Ltd.). These are preferably incorporated in the resin composition in an amount of 0.5 to 20% by weight.

【0043】また、必要に応じてその他の硬化剤、熱硬
化促進剤が使用できる。硬化剤としては、三フッ化ホウ
素−アミンコンプレックス、ジシアンジアミド、有機酸
ヒドラジッド、ジアミノマレオニトリル、尿素、ヘキサ
メトキシメチル化メラミン等のアルキル化メラミン樹
脂、ポリアミンの塩類、ジアミノジフェニルメタン、メ
タフェニレンジアミン、ジアミノジフェニルメタン、メ
タキシレンジアミン、ジアミノジフェニルスルホン、
「ハードナーHT972」(チバ・ガイギ社製)等の芳
香族アミン類、無水フタル酸、無水トリメリット酸、エ
チレングリコールビス(アンヒドロトリメリテート)、
グリセロールトリス(アンヒドロトリメリテート)、ベ
ンゾフェノンテトラカルボン酸無水物等の芳香族酸無水
物、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸等の脂
肪族酸無水物類、ポリビニルフェノール、ポリビニルフ
ェノール臭素化物、フェノールノボラック、アルキルフ
ェノールノボラック等のポリフェノール類等がある。熱
硬化促進剤としては、アセチルアセトナートZn等のア
セチルアセトンの金属塩、エナミン、オクチル酸スズ、
第4級ホスホニウム塩、トリフェニルホスフィン等の第
3級ホスフィン類、トリ−n−ブチル(2,5−ジヒド
ロキシフェニル)ホスホニウムブロマイド、ヘキサデシ
ルトリブチルホスホニウムクロライド等のホスホニウム
塩類、ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、フ
ェニルトリブチルアンモニウムクロライド等の4級アン
モニウム塩類、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロ
ポロエート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロ
アンチモネート等のポロエート、アンチモネート類、ジ
メチルベンジルアミン、1,8−ジアザビシクロ[5,
4,0]ウンデセン、m−アミノフェノール、2,4,
6−トリス(ジメチルアミノフェノール)、テトラメチ
ルグアニジン等の第3級アミン類、2−エチル−4−メ
チルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、1−ベン
ジル−2−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾ
ール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチ
ルイミダゾール等のイミダゾール類が挙げられ、単独あ
るいは混合系で使用できる。硬化剤、熱硬化促進剤はそ
れぞれ感光性樹脂組成物に好ましくは0.01〜10重
量%の範囲で使用できる。
Further, if necessary, other curing agents and heat curing accelerators can be used. As the curing agent, boron trifluoride-amine complex, dicyandiamide, organic acid hydrazide, diaminomaleonitrile, urea, alkylated melamine resin such as hexamethoxymethylated melamine, polyamine salts, diaminodiphenylmethane, metaphenylenediamine, diaminodiphenylmethane , Meta-xylene diamine, diamino diphenyl sulfone,
Aromatic amines such as "Hardner HT972" (manufactured by Ciba Geigy), phthalic anhydride, trimellitic anhydride, ethylene glycol bis (anhydrotrimellitate),
Aromatic anhydrides such as glycerol tris (anhydrotrimellitate) and benzophenonetetracarboxylic anhydride; aliphatic acid anhydrides such as maleic anhydride and tetrahydrophthalic anhydride; polyvinylphenol; polyvinylphenol bromide; and phenol There are polyphenols such as novolak and alkylphenol novolak. As a thermosetting accelerator, metal salts of acetylacetone such as acetylacetonate Zn, enamine, tin octylate,
Quaternary phosphonium salts, tertiary phosphines such as triphenylphosphine, phosphonium salts such as tri-n-butyl (2,5-dihydroxyphenyl) phosphonium bromide, hexadecyltributylphosphonium chloride, benzyltrimethylammonium chloride, phenyltributyl Quaternary ammonium salts such as ammonium chloride, porates such as diphenyliodonium tetrafluoroporoate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, antimonates, dimethylbenzylamine, 1,8-diazabicyclo [5,
4,0] undecene, m-aminophenol, 2,4
Tertiary amines such as 6-tris (dimethylaminophenol) and tetramethylguanidine, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2- Examples thereof include imidazoles such as phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, which can be used alone or in a mixed system. The curing agent and the thermosetting accelerator can each be used in the photosensitive resin composition in an amount of preferably 0.01 to 10% by weight.

【0044】本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応
じて光感度、各種特性を向上させる目的で各種感光性モ
ノマーを加えて使用することもできる。例えば、2−ヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリレート、トリメチロール
プロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリト
ールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトー
ルヘキサ(メタ)アクリレート、N,N−ジメチル(メ
タ)アクリレート、N−メチロール(メタ)アクリルア
ミド、ウレタン(メタ)アクリレート、あるいはポリエ
チレングリコール、ポリプロピレングリコール、ビスフ
ェノールAとポリエチレングリコール若しくはプロピレ
ングリコールの反応物、トリス(2−ヒドロキシエチ
ル)イソシアヌル酸等のモノあるいは多官能(メタ)ア
クリレート類、トリグリシジルイソシアヌレートなどの
グリシジルエーテルの(メタ)アクリレート類、ジアリ
ルフタレート等の光重合性モノマーが使用できる。これ
らは単独あるいは混合系で使用できる。官能性モノマー
はそれぞれ感光性樹脂組成物に好ましくは0.1〜30
重量%の範囲で使用される。
The photosensitive resin composition of the present invention can be used by adding various photosensitive monomers for the purpose of improving the photosensitivity and various characteristics as required. For example, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, N, N-dimethyl (meth) acrylate, N-methylol (Meth) acrylamide, urethane (meth) acrylate, or mono- or polyfunctional (meth) acrylates such as polyethylene glycol, polypropylene glycol, a reaction product of bisphenol A with polyethylene glycol or propylene glycol, and tris (2-hydroxyethyl) isocyanuric acid And (meth) acrylates of glycidyl ethers such as triglycidyl isocyanurate and photopolymerizable monomers such as diallyl phthalate. These can be used alone or in a mixed system. Each of the functional monomers is preferably 0.1 to 30 in the photosensitive resin composition.
Used in the range of weight percent.

【0045】本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じ
て有機溶剤で希釈することができる。例えばエチルメチ
ルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン、
キシレン等の芳香族炭化水素、メチルセロソルブ、ブチ
ルセロソルブ、メチルカルビトール、ブチルカルビトー
ル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロ
ピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレング
リコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル
類、酢酸エチル、酢酸ブチル、ブチルセロソルブアセテ
ート、カルビトールアセテート等のエステル類、エタノ
ール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレン
グリコール等のアルコール類、オクタン、デカン等の脂
肪族炭化水素、石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナ
フサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤等を挙げること
ができる。
The photosensitive resin composition of the present invention can be diluted with an organic solvent, if necessary. For example, ethyl methyl ketone, ketones such as cyclohexanone, toluene,
Aromatic hydrocarbons such as xylene, methyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl carbitol, butyl carbitol, glycol ethers such as propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, and triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate; butyl acetate , Butyl cellosolve acetate, esters such as carbitol acetate, alcohols such as ethanol, propanol, ethylene glycol and propylene glycol, aliphatic hydrocarbons such as octane and decane, petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, solvent naphtha, etc. And other petroleum solvents.

【0046】本発明の感光性樹脂組成物は、密着性、硬
度等の特性を向上する目的で必要に応じて硫酸バリウ
ム、チタン酸バリウム、粉状酸化珪素、無定形シリカ、
タルク、クレー、焼成カオリン、炭酸マグネシウム、炭
酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウ
ム、雲母粉等の無機充填剤が使用できる。この中で特に
好ましいのは水酸化アルミニウムある。その使用量は好
ましくは0〜50重量%である。50重量%を超える
と、屈曲性が低下する傾向にある。
The photosensitive resin composition of the present invention may contain, if necessary, barium sulfate, barium titanate, powdered silicon oxide, amorphous silica, or the like for the purpose of improving properties such as adhesion and hardness.
Inorganic fillers such as talc, clay, calcined kaolin, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, mica powder and the like can be used. Of these, aluminum hydroxide is particularly preferred. The amount used is preferably from 0 to 50% by weight. If it exceeds 50% by weight, the flexibility tends to decrease.

【0047】更に必要に応じてフタロシアニンブルー、
フタロシアニングリーン、アイオジングリーン、ジスア
ゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カ
ーボンブラック、ナフタレンブラックなどの着色剤等を
用いることができる。更にハイドロキノン、ハイドロキ
ノンモノメチルエーテル、tert−ブチルカテコー
ル、ピロガロール、フェノチアジン等の重合禁止剤、ベ
ントン、モンモリロナイト、エアロジル、アミドワック
ス等のチキソ性付与剤、シリコーン系、フッ素系、高分
子系等の消泡剤、レベリング剤、及びイミダゾール系化
合物、チアゾール系化合物、トリアゾール系化合物、シ
ランカップリング剤等の密着性付与剤のような添加剤類
を用いることができる。
Further, if necessary, phthalocyanine blue,
Colorants such as phthalocyanine green, iodine green, disazo yellow, crystal violet, titanium oxide, carbon black, and naphthalene black can be used. Further, polymerization inhibitors such as hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, tert-butylcatechol, pyrogallol, and phenothiazine; thixotropic agents such as bentone, montmorillonite, aerosil, and amide wax; silicone-based, fluorine-based, and polymer-based antifoaming agents , A leveling agent, and additives such as an imidazole compound, a thiazole compound, a triazole compound, and an adhesion imparting agent such as a silane coupling agent.

【0048】本発明の感光性樹脂組成物は、前記の割合
で配合した配合原料をロールミル、ビーズミル等で均一
に混合し、例えば次のように硬化させて、硬化物を得る
ことができる。即ちプリント配線板等に、スクリーン印
刷法、スプレー法、静電スプレー法、エアレススプレー
法、カーテンコータ法、ロールコート法等の方法により
10〜160μmの膜厚で本発明の組成物を塗布し、塗
膜を60〜110℃で乾燥させた後、ネガフィルムを塗
膜の上に置き、紫外線等の放射線を照射し次いで、未露
光部分を希アルカリ水溶液(例えば0.5〜2重量%炭
酸ソーダ水溶液等)で溶解除去(現像)した後、更に通
常紫外線の照射及び又は加熱(例えば100〜200℃
で0.5〜1.0時間)によって十分な硬化を行い硬化
皮膜を得る。
The photosensitive resin composition of the present invention can be obtained by uniformly mixing the raw materials blended in the above-mentioned ratio by a roll mill, a bead mill or the like, and then curing, for example, as follows. That is, the composition of the present invention is applied to a printed wiring board or the like with a thickness of 10 to 160 μm by a method such as a screen printing method, a spray method, an electrostatic spray method, an airless spray method, a curtain coater method, and a roll coating method, After the coating film is dried at 60 to 110 ° C., a negative film is placed on the coating film, irradiated with radiation such as ultraviolet rays, and then the unexposed portion is diluted with a dilute alkaline aqueous solution (eg, 0.5 to 2% by weight sodium carbonate carbonate). Aqueous solution, etc.), and then usually irradiation with ultraviolet light and / or heating (for example, 100 to 200 ° C.)
For 0.5 to 1.0 hours) to obtain a cured film.

【0049】本発明の感光性樹脂組成物はリジッド及び
フレキシブルプリント配線板及びBGA、CSP、TC
P等のパッケージ用のソルダーレジスト組成物あるいは
多層材のビルドアップ材として特に有用であるが、その
他にも塗料、ガラス、セラミック、プラスチック、紙等
のコーティング材にも使用できる。
The photosensitive resin composition of the present invention comprises a rigid or flexible printed wiring board, BGA, CSP, TC
It is particularly useful as a solder resist composition for packages such as P or as a build-up material for multilayer materials, but can also be used for coating materials such as paints, glass, ceramics, plastics, and paper.

【0050】[0050]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
するが、本発明はこれに限定されるものではない。
The present invention will be described below in detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0051】[カルボキシル基を有する感光性樹脂(A
−1)の製造例]攪拌機、還流冷却器及び温度計を備え
たフラスコに、α,ω−ポリブタジエンジカルボン酸N
ISSO−PB C−1000(日本曹達社製)48
2.6重量部、臭素化ビスフェノールA型エポキ樹脂Y
DB−400(東都化成社製)400重量部、カルビト
ールアセテート183重量部、ソルベントナフサ(ソル
ベッソ150)110重量部を入れ、110℃で8時間
加熱した。これにアクリル酸36.4重量部、メチルハ
イドロキノン0.5重量部、カルビトールアセテート6
重量部を仕込み、70℃で、トリフェニルホスフィン3
重量部、ソルベントナフサ6重量部を仕込み、100℃
に加熱し、固形分酸価が2(KOH mg/g)以下に
なるまで反応させた。次に、得られた溶液を50℃まで
冷却し、テトラヒドロ無水フタル酸100重量部、カル
ビトールアセテート126重量部、ソルベントナフサ6
重量部を仕込み、80℃で所定時間反応させ、固形分酸
価70(KOH mg/g)、固形分70重量%の不飽
和基含有ポリカルボン酸樹脂(A−1)を得た。
[Photosensitive resin having carboxyl group (A
-1) Production Example] In a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser and a thermometer, add α, ω-polybutadiene dicarboxylic acid N
ISSO-PB C-1000 (Nippon Soda Co., Ltd.) 48
2.6 parts by weight, brominated bisphenol A type epoxy resin Y
400 parts by weight of DB-400 (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), 183 parts by weight of carbitol acetate, and 110 parts by weight of solvent naphtha (Solvesso 150) were added and heated at 110 ° C. for 8 hours. 36.4 parts by weight of acrylic acid, 0.5 parts by weight of methylhydroquinone, carbitol acetate 6
Parts by weight, and at 70 ° C., triphenylphosphine 3
Parts by weight, 6 parts by weight of solvent naphtha, 100 ° C
And reacted until the acid value of the solid content was 2 (KOH mg / g) or less. Next, the obtained solution was cooled to 50 ° C., and 100 parts by weight of tetrahydrophthalic anhydride, 126 parts by weight of carbitol acetate, and solvent naphtha 6
By weight, the mixture was reacted at 80 ° C. for a predetermined time to obtain an unsaturated group-containing polycarboxylic acid resin (A-1) having a solid content of 70 (KOH mg / g) and a solid content of 70% by weight.

【0052】[カルボキシル基を有する感光性樹脂(A
−2)の製造例]攪拌機、還流冷却器及び温度計を備え
たフラスコに、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポ
キシ当量526)1,052重量部、アクリル酸144
重量部、メチルハイドロキノン1重量部、カルビトール
アセテート850重量部及びソルベントナフサ100重
量部を仕込み、70℃で加熱撹拌して、混合物を溶解し
た。次に、溶液を50℃まで冷却し、トリフェニルホス
フィン2重量部、ソルベントナフサ75重量部を仕込
み、100℃に加熱し、固形分酸価が1(KOH mg
/g)以下になるまで反応させた。次に、得られた溶液
を50℃まで冷却し、テトラヒドロ無水フタル酸745
重量部、カルビトールアセテート75重量部及びソルベ
ントナフサ75重量部を仕込み、80℃で所定時間反応
させ、固形分酸価80(KOH mg/g)、固形分6
2重量%の不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(A−2)
を得た。
[Photosensitive resin having carboxyl group (A
Production Example of -2)] In a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser and a thermometer, 1,052 parts by weight of bisphenol F type epoxy resin (epoxy equivalent 526), acrylic acid 144
Parts by weight, 1 part by weight of methylhydroquinone, 850 parts by weight of carbitol acetate, and 100 parts by weight of solvent naphtha were charged and heated and stirred at 70 ° C. to dissolve the mixture. Next, the solution was cooled to 50 ° C., and 2 parts by weight of triphenylphosphine and 75 parts by weight of solvent naphtha were charged and heated to 100 ° C., and the acid value of the solid content was 1 (KOH mg
/ G) or less. Next, the obtained solution was cooled to 50 ° C., and tetrahydrophthalic anhydride 745 was used.
Parts by weight, 75 parts by weight of carbitol acetate and 75 parts by weight of solvent naphtha were charged and reacted at 80 ° C. for a predetermined time, and the solid content acid value was 80 (KOH mg / g) and the solid content was 6
2% by weight of unsaturated group-containing polycarboxylic acid resin (A-2)
I got

【0053】[カルボキシル基を有する感光性樹脂(A
−3)の製造例]攪拌機、還流冷却器及び温度計を備え
たフラスコに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂
(エポキシ当量:200)200重量部、アクリル酸7
0重量部、メチルハイドロキノン0.4重量部、カルビ
トールアセテート80重量部及びソルベントナフサ20
重量部を仕込み、70℃で加熱撹拌して、混合物を溶解
した。次に、溶液を50℃まで冷却し、トリフェニルホ
スフィン1重量部を仕込み、100℃に加熱し、固形分
酸価が1(KOH mg/g)以下になるまで反応させ
た。次に、得られた溶液を50℃まで冷却し、無水マレ
イン酸51重量部、カルビトールアセテート48重量部
及びソルベントナフサ10重量部を仕込み、80℃で所
定時間反応させ、固形分酸価67(KOH mg/
g)、固形分67重量%の不飽和基含有ポリカルボン酸
樹脂(A−3)を得た。
[Photosensitive resin having carboxyl group (A
Production Example of -3)] In a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser and a thermometer, 200 parts by weight of a cresol novolak type epoxy resin (epoxy equivalent: 200), acrylic acid 7
0 parts by weight, 0.4 parts by weight of methylhydroquinone, 80 parts by weight of carbitol acetate and 20 parts of solvent naphtha
A part by weight was charged, and the mixture was heated and stirred at 70 ° C. to dissolve the mixture. Next, the solution was cooled to 50 ° C., 1 part by weight of triphenylphosphine was charged and heated to 100 ° C., and reacted until the acid value of the solid content became 1 (KOH mg / g) or less. Next, the obtained solution was cooled to 50 ° C., charged with 51 parts by weight of maleic anhydride, 48 parts by weight of carbitol acetate and 10 parts by weight of solvent naphtha, and reacted at 80 ° C. for a predetermined time to obtain a solid acid value of 67 ( KOH mg /
g), an unsaturated group-containing polycarboxylic acid resin (A-3) having a solid content of 67% by weight was obtained.

【0054】[PEGPΑ(α,ω−ビス−(3−アミ
ノプロピル)ポリエチレングリコールエーテル)の両末
端カルボン酸物(B−1)の製造例]攪拌機、還流冷却
器、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、
PEGPΑ−1000(広栄化学工業社製:平均分子量
1,000);1,000g、セバシン酸;405gを
仕込み、2時間かけて220℃に昇温し更に4時間反応
させた後冷却し、酸価81.9、分子量1,370のP
EGPΑの両末端カルボン酸物を得た。
[Example of Production of Carboxylic Acid Compound (B-1) at Both Terminals of PEGPΑ (α, ω-bis- (3-aminopropyl) polyethylene glycol ether)] Stirrer, reflux condenser, inert gas inlet and temperature In a flask equipped with a meter,
PEGg II-1000 (manufactured by Hiroei Chemical Industry Co., Ltd .: average molecular weight: 1,000); 1,000 g, sebacic acid; 405 g were charged, the temperature was raised to 220 ° C. over 2 hours, and the reaction was further continued for 4 hours, followed by cooling, followed by acidification. 81.9, P with a molecular weight of 1,370
A carboxylic acid compound at both ends of EGPΑ was obtained.

【0055】同様にして、ポリプロピレングリコールの
両末端にアミノ基を導入したポリプロピレングリコール
両末端ジアミン(PPG−NH2:平均分子量900)
の両末端カルボン酸物(B−2)を表1の配合で得た。
Similarly, diamines of both ends of polypropylene glycol having amino groups introduced at both ends of polypropylene glycol (PPG-NH 2 : average molecular weight 900)
(B-2) was obtained with the composition shown in Table 1.

【0056】同様にして、ビスフェノールAのポリプロ
ピレングリコール反応物(Bis−PPG:平均分子量
1,450)の両末端カルボン酸物(B−3)を表1の
配合で得た。
In the same manner, a carboxylic acid compound (B-3) at both ends of a polypropylene glycol reactant of bisphenol A (Bis-PPG: average molecular weight 1,450) was obtained in the manner shown in Table 1.

【0057】同様にして、ポリカーボネートジオール
(プラクセルCD220:平均分子量2,000;ダイ
セル化学工業社)の両末端カルボン酸物(B−4)を表
1の配合で得た。
Similarly, a carboxylic acid compound (B-4) at both ends of a polycarbonate diol (Placcel CD220: average molecular weight: 2,000; Daicel Chemical Industries, Ltd.) was obtained with the composition shown in Table 1.

【0058】得られた両末端カルボン酸物の特性を表1
に示した。
Table 1 shows the properties of the obtained carboxylic acid compound at both ends.
It was shown to.

【0059】[0059]

【表1】 [感光性ポリアミド樹脂(C−1)の製造例]攪拌機、
還流冷却器、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラ
スコに、γ−ブチロラクトン;100g、NMP;50
gを仕込み、更に上記(B−1);74.6g、アジピ
ン酸;3.3g、セバシン酸;4.6g、イソフタル
酸;7.5g、4,4′−ジフェニルメタンジイソシア
ネート(MDI);4.8g、コロネートT80(トリ
レンジイソシアネート;TDI;日本ポリウレタン工業
社製);13.4gを仕込み、200℃に昇温し、4時
間保温後冷却し、加熱残分40重量%、酸価(固形分)
58.6のポリアミド樹脂を得た。更にビスフェノール
A型エポキシ樹脂エポミックR140(三井石油化学工
業社製)27.6gを仕込み、140℃で2時間保温後
ジメチルホルムアミド(DMF)を加え加熱残分40重
量%にした。120℃でメタクリル酸;3.3gを加え
3時間保温後、テトラヒドロ無水フタル酸(THP
A);37.9gを添加し1時間保温した。次いでDM
Fで希釈し加熱残分55重量%、酸価(固形分)74の
感光性ポリアミド樹脂(C−1)を得た。
[Table 1] [Production Example of Photosensitive Polyamide Resin (C-1)] Stirrer,
In a flask equipped with a reflux condenser, an inert gas inlet and a thermometer, γ-butyrolactone; 100 g, NMP;
7.4.6 g, adipic acid; 3.3 g, sebacic acid; 4.6 g, isophthalic acid; 7.5 g, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate (MDI); 8 g, Coronate T80 (tolylene diisocyanate; TDI; manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.); 13.4 g, heated to 200 ° C., cooled for 4 hours, cooled, heated residue 40% by weight, acid value (solid content) )
A 58.6 polyamide resin was obtained. Further, 27.6 g of bisphenol A type epoxy resin Epomic R140 (manufactured by Mitsui Petrochemical Industries, Ltd.) was charged, and after keeping the temperature at 140 ° C. for 2 hours, dimethylformamide (DMF) was added to make the heating residue 40% by weight. At 120 ° C., 3.3 g of methacrylic acid was added, and after keeping the temperature for 3 hours, tetrahydrophthalic anhydride (THP) was added.
A); 37.9 g was added and the mixture was kept warm for 1 hour. Then DM
After dilution with F, a photosensitive polyamide resin (C-1) having a heating residue of 55% by weight and an acid value (solid content) of 74 was obtained.

【0060】[感光性ポリアミドイミド樹脂(C−2)
の製造例]攪拌機、還流冷却器、不活性ガス導入口及び
温度計を備えたフラスコに、NMP;50gを仕込み、
2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパ
ン(以下BAPPと記す);12.4g(0.030モ
ル)、無水トリメリット酸;11.6g(0.060モ
ル)を仕込み、200℃で2.5時間保温した。これに
上記(B−2);41.0g(0.033モル)、アジ
ピン酸;4.3g(0.029モル)、セバシン酸;
5.9g(0.029モル)、イソフタル酸;4.9g
(0.029モル)、4,4′−ジフェニルメタンジイ
ソシアネート(MDI);18.9g(0.075モ
ル)、コロネートT80(トリレンジイソシアネート;
TDI;日本ポリウレタン工業社製);8.8g(0.
050モル)及びγ−ブチロラクトン100gを仕込
み、200℃に昇温し、4時間保温後冷却した。加熱残
分40重量%、酸価(固形分);32.8のポリアミド
イミド樹脂を得た。更にカルボキシル基の2倍量になる
ようにビスフェノールA型エポキシ樹脂;エピコート1
001;66.8gを仕込み140℃で2時間保温後、
DMFを加え加熱残分40重量%にし、次いで120℃
でアクリル酸;5.0gを加え3時間保温後、THP
A;42.9gを添加し1時間保温した。次いで、DM
Fで希釈し、加熱残分55重量%、酸価(固形分換算)
85の感光性ポリアミドイミド樹脂(C−2)を得た。
[Photosensitive polyamide-imide resin (C-2)
Production Example] NMP; 50 g was charged into a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, an inert gas inlet, and a thermometer.
12.4 g (0.030 mol) of 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane (hereinafter referred to as BAPP), 11.6 g (0.060 mol) of trimellitic anhydride; Incubated for 2.5 hours. 41.0 g (0.033 mol) of the above (B-2), adipic acid; 4.3 g (0.029 mol), sebacic acid;
5.9 g (0.029 mol), isophthalic acid; 4.9 g
(0.029 mol), 4,4'-diphenylmethane diisocyanate (MDI); 18.9 g (0.075 mol), Coronate T80 (tolylene diisocyanate;
TDI; Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.);
050 mol) and 100 g of γ-butyrolactone, the temperature was raised to 200 ° C., the temperature was kept for 4 hours, and the mixture was cooled. A polyamideimide resin having a heating residue of 40% by weight and an acid value (solid content) of 32.8 was obtained. Bisphenol A type epoxy resin so as to have twice the amount of carboxyl groups; Epicoat 1
001; 66.8 g, and kept at 140 ° C. for 2 hours.
DMF was added to make the heating residue 40% by weight.
After adding 5.0 g of acrylic acid and keeping the temperature for 3 hours, THP
A: 42.9 g was added and the mixture was kept warm for 1 hour. Then DM
Diluted with F, heating residue 55% by weight, acid value (solid content conversion)
As a result, 85 photosensitive polyamideimide resins (C-2) were obtained.

【0061】表2に示すような配合(単位:g)で同様
にポリアミド(イミド)樹脂(C−3〜C−4)を得
た。
Polyamide (imide) resins (C-3 to C-4) were similarly obtained with the composition (unit: g) as shown in Table 2.

【0062】[0062]

【表2】 * ポリアミド(イミド)配合:出来高100配合 ** 三井石油化学工業社製:ビスフェノールΑ型エポ
キシ樹脂 [アクリレート基とエポキシ基を含有する樹脂(D−
1)の製造例] (D−1)製造例 攪拌機、還流冷却器及び温度計を備えたフラスコに、ク
レゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量:2
00)200重量部、アクリル酸20重量部、メチルハ
イドロキノン0.4重量部、カルビトールアセテート8
0重量部及びソルベントナフサ20重量部を仕込み、7
0℃で加熱攪拌して、混合物を溶解した。次に、溶液を
50℃まで冷却し、トリフェニルホスフィン0.5重量
部を仕込み、100℃に加熱し、固形分酸価が1(KO
H mg/g)以下になるまで反応させた。ソルベント
ナフサ10重量部を仕込み、固形分67重量%の樹脂
(D−1)を得た。
[Table 2] * Polyamide (imide) compounded: 100 compounded amount ** Made by Mitsui Petrochemical Industries, Ltd .: bisphenol II type epoxy resin [Resin containing acrylate group and epoxy group (D-
Production Example of 1)] (D-1) Production Example A cresol novolak-type epoxy resin (epoxy equivalent: 2) was placed in a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, and a thermometer.
00) 200 parts by weight, acrylic acid 20 parts by weight, methylhydroquinone 0.4 part by weight, carbitol acetate 8
0 parts by weight and 20 parts by weight of solvent naphtha
The mixture was heated and stirred at 0 ° C. to dissolve the mixture. Next, the solution was cooled to 50 ° C., and 0.5 parts by weight of triphenylphosphine was charged and heated to 100 ° C., and the acid value of the solid content was 1 (KO).
H mg / g) or less. 10 parts by weight of solvent naphtha was charged to obtain a resin (D-1) having a solid content of 67% by weight.

【0063】実施例1〜5、比較例1、2 表3に示す組成に従って、[I]及び[II]を別々に
三本ロールを用いて混練し、混合しレジストインキ組成
物を調製した。これをスクリーン印刷法により、100
メッシュのポリエステルスクリーンを用いて、乾燥後の
膜厚が25〜35μmになるように銅の配線パターンが
形成されている銅ポリイミドフィルム基板に塗布し、塗
膜を80℃で30分間乾燥し、レジストパターンを有す
るネガマスクフィルムを密着した後、紫外線露光装置を
用いて、600mJ/cm2照射した。次に、1%炭酸
ナトリウム水溶液で60秒間、スプレー現像(スプレー
圧:2.0kg/cm2)し、未露光部分を溶解除去
し、現像性を評価した。
Examples 1 to 5, Comparative Examples 1 and 2 According to the compositions shown in Table 3, [I] and [II] were separately kneaded using a three-roll mill and mixed to prepare a resist ink composition. This is screen-printed by 100
Using a mesh polyester screen, apply to a copper polyimide film substrate on which a copper wiring pattern is formed so that the film thickness after drying becomes 25 to 35 μm, and dry the coating film at 80 ° C. for 30 minutes. After the negative mask film having the pattern was brought into close contact with the film, it was irradiated with 600 mJ / cm 2 using an ultraviolet exposure apparatus. Next, spray development (spray pressure: 2.0 kg / cm 2 ) was performed with a 1% aqueous sodium carbonate solution for 60 seconds to dissolve and remove unexposed portions, and the developability was evaluated.

【0064】次に、循環式熱風乾燥機を用いて150℃
/1時間、加熱硬化を行い、得られた硬化膜を評価し
た。
Next, using a circulating hot air dryer at 150 ° C.
/ 1 hour, and heat cured, and the obtained cured film was evaluated.

【0065】以下同様に表3に示す組成に従って、それ
ぞれ実施例2、3、4、5及び比較例1、2とし、実施
例1と同様に試験に供した。試験結果を表4に示した。
In the same manner, in accordance with the composition shown in Table 3, Examples 2, 3, 4, 5 and Comparative Examples 1 and 2 were used, respectively, and subjected to the test in the same manner as in Example 1. The test results are shown in Table 4.

【0066】[0066]

【表3】 注)感光性樹脂、樹脂:配合は全て固形分で示した *ZFR1179:ゴム変性感光性樹脂(日本化薬社
製) **CR747:芳香族縮合リン酸エステル(大八化学
社製) ***SP134:フォスファゼン化合物(大塚化学社
製) ****ESLV−80XY:エポキシ樹脂(新日鐵化
学社製)
[Table 3] Note) Photosensitive resin and resin: All formulations are shown as solids. * ZFR1179: Rubber-modified photosensitive resin (Nippon Kayaku Co., Ltd.) ** CR747: Aromatic condensed phosphoric acid ester (Daichaku Chemical Co., Ltd.) ** * SP134: Phosphazene compound (Otsuka Chemical Co., Ltd.) *** ESLV-80XY: Epoxy resin (Nippon Steel Chemical Co., Ltd.)

【0067】[0067]

【表4】 以下の試験法で行った。[Table 4] The following test method was used.

【0068】現像性:以下の評価基準で用いた。 ○・・・・現像後、完全に組成物が除去され、現像でき
た。 △・・・・現像後、わずかに残さあり ×・・・・現像後、現像されない部分あり 密着性:JIS K5400に準じて、試験片に1mm
にごばん目を100ケ作成してセロハンテープにより剥
離試験を行った。ごばん目の剥離状態を観察し、以下の
基準で評価した。 ○・・・・90/100以上剥離なし △・・・・50/100以上〜90/100未満で剥離
なし ×・・・・0/100〜50/100未満剥離あり 耐溶剤性:試験片をイソプロピルアルコールに室温で3
0分間浸漬し、外観に異常がないかを確認後、セロハン
テープにより剥離試験を行った。 ○・・・・塗膜外観に異常がなく、剥離のないもの ×・・・・塗膜外観に異常があるか、あるいは剥離する
もの 耐酸性:試験片を10%塩酸水溶液に室温で30分間浸
漬し、外観に異常がないかを確認後、セロハンテープに
より剥離試験を行った。 ○・・・・塗膜外観に異常がなく、剥離のないもの ×・・・・塗膜外観に異常があるか、あるいは剥離する
もの はんだ耐熱性:試験片にロジン系フラックスを塗布し2
60℃のはんだ槽に10秒間浸漬した。これを1サイク
ルとして、6サイクル繰り返した後、塗膜外観を目視観
察した。 ○・・・・塗膜外観に異常(剥離、フクレ)がなく、は
んだのもぐりのないもの ×・・・・塗膜外観に異常(剥離、フクレ)があるか、
あるいははんだのもぐり のあるもの 耐折性:ハゼ折り(180°)を行い、クラックの有無
を観察した。クラックが発生したものは×、クラックが
発生しなかったものは○とした。
Developability: The following evaluation criteria were used.・ ・ ・: After the development, the composition was completely removed and development was completed. Δ: slight residue after development ×: undeveloped part after development Adhesion: 1 mm on test piece according to JIS K5400
Then, 100 peeling test pieces were prepared and subjected to a peeling test using a cellophane tape. The state of peeling was evaluated by the following criteria. ○: No peeling at least 90/100 △: No peeling at 50/100 or more to less than 90/100 ×: Peeling at 0/100 to less than 50/100 Solvent resistance: Test piece 3 in isopropyl alcohol at room temperature
After immersion for 0 minutes and confirming that there was no abnormality in the appearance, a peeling test was performed using a cellophane tape. ○ ・ ・ ・ ・ No abnormality in the appearance of the coating film and no peeling × ・ ・ ・ ・ No abnormality in the appearance of the coating film or peeling off Acid resistance: The test piece was immersed in a 10% hydrochloric acid aqueous solution at room temperature for 30 minutes. After being immersed and confirming that there was no abnormality in the appearance, a peeling test was performed using a cellophane tape. ○ ・ ・ ・ ・ No abnormalities in the appearance of the coating film and no peeling × ・ ・ ・ ・ No abnormalities in the appearance of the coating film or those which peel off Solder heat resistance: Apply rosin flux to the test piece
It was immersed in a solder bath at 60 ° C. for 10 seconds. This was defined as one cycle, and after six cycles were repeated, the appearance of the coating film was visually observed. ○ ・ ・ ・ ・ There is no abnormality (peeling, blistering) in the appearance of the coating film and there is no burring of the solder × ・ ・ ・ ・ Is there any abnormality (peeling, blistering) in the appearance of the coating film?
Or, the one with solder hole Folding resistance: Goby folding (180 °) was performed, and the presence or absence of cracks was observed. When a crack occurred, it was evaluated as x, and when no crack occurred, it was evaluated as ○.

【0069】耐ソリ性:塗工基板のソリ具合を目視で判
定した。 ○・・・・ソリ少ないもの △・・・・ソリあるもの ×・・・・ソリ著しいもの 耐プレッシャークッカーテスト(PCT):121℃、
2気圧の蒸気中で96時間放置後、塗膜の外観、ごばん
目試験を行った。ごばん目の剥離状態を観察し、以下の
基準で評価した。 ○・・・・90/100以上剥離なし △・・・・50/100以上〜90/100未満で剥離
なし ×・・・・0/100〜50/100未満剥離あり 電食性:所定のIPC櫛形パターンを用い、85℃、8
5%、1,000時間後の絶縁性(DC100V)、外
観を評価。 ○・・・・外観良好で、絶縁性10の10剰オウム以上
のもの △・・・・外観異状で、絶縁性10の10剰オウム以上
のもの ×・・・・外観異状で、絶縁性10の10剰オウム未満
のもの 難燃性:試験片を作製し、UL94の規格に準じて燃焼
試験を行った。 ○・・・・クランプまで残炎せず、10秒以内に消火し
たもの ×・・・・クランプまで残炎するか、あるいは10秒を
超えても消火しないもの
Warpage resistance: The degree of warpage of the coated substrate was visually determined. ○: less warpage △: some warpage ×: significant warpage Pressure cooker test (PCT): 121 ° C,
After standing in steam at 2 atm for 96 hours, the coating film was examined for appearance and graininess. The state of peeling was evaluated by the following criteria.・ ・ ・: No peeling at least 90/100 △: No peeling at 50/100 or more to less than 90/100 ×: Peeling at 0/100 to less than 50/100 Electrolytic: predetermined IPC comb shape 85 ° C, 8
5%, insulation (DC100V) after 1,000 hours, and appearance were evaluated.・ ・ ・: Good appearance, 10 or more extra parrots with insulating property of 10 Δ △: abnormal appearance, 10 or more extra parrots with insulating property 10 ×: abnormal appearance, insulating 10 Flame retardancy: A test piece was prepared and subjected to a combustion test according to the UL94 standard. ○ ・ ・ ・ ・ The flame extinguished within 10 seconds without residual flame until the clamp ×× ・ The flame persisted until the clamp or did not extinguish after more than 10 seconds

【0070】[0070]

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物は、密着性及
び耐湿熱性に優れ、また耐折性、ソリ等の機械特性、更
には難燃性、電食性に優れ、LSIパッケージの製造に
使用されるソルダーレジスト組成物として好適である。
EFFECT OF THE INVENTION The photosensitive resin composition of the present invention is excellent in adhesiveness and heat and humidity resistance, excellent in mechanical properties such as bending resistance and warpage, furthermore excellent in flame retardancy and electrolytic corrosion resistance, and is suitable for production of LSI packages. It is suitable as a solder resist composition to be used.

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 エポキシ化合物(a)と不飽和モノカル
ボン酸とのエステル化物に飽和又は不飽和多塩基酸無水
物を反応させて得られたカルボキシル基を有する感光性
樹脂(A)、カルボキシル基を有する感光性ポリアミド
樹脂及びカルボキシル基を有する感光性ポリアミドイミ
ド樹脂から選ばれる少なくとも1種の感光性樹脂
(B)、エポキシ硬化剤(C)、光重合開始剤(D)及
び難燃剤(E)を含有する感光性樹脂組成物。
1. A photosensitive resin having a carboxyl group (A) obtained by reacting an esterified product of an epoxy compound (a) with an unsaturated monocarboxylic acid with a saturated or unsaturated polybasic anhydride, a carboxyl group At least one photosensitive resin (B), an epoxy curing agent (C), a photopolymerization initiator (D), and a flame retardant (E) selected from a photosensitive polyamide resin having a carboxyl group and a photosensitive polyamideimide resin having a carboxyl group. A photosensitive resin composition containing
【請求項2】 エポキシ化合物(a)がゴム変性エポキ
シ化合物である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the epoxy compound (a) is a rubber-modified epoxy compound.
【請求項3】 エポキシ化合物(a)がビスフェノール
F型エポキシ化合物である請求項1記載の感光性樹脂組
成物。
3. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the epoxy compound (a) is a bisphenol F type epoxy compound.
【請求項4】 感光性樹脂(B)がエポキシ基含有ポリ
アミド樹脂及び/又はエポキシ基含有ポリアミドイミド
樹脂(b)と不飽和モノカルボン酸とのエステル化物に
更に飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られ
た樹脂である請求項1、2又は3記載の感光性樹脂組成
物。
4. The photosensitive resin (B) further comprises an esterified product of an epoxy group-containing polyamide resin and / or an epoxy group-containing polyamideimide resin (b) and an unsaturated monocarboxylic acid, and a saturated or unsaturated polybasic anhydride. 4. The photosensitive resin composition according to claim 1, which is a resin obtained by reacting
【請求項5】 エポキシ基含有ポリアミド樹脂及び/又
はエポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂(b)が、カル
ボキシル基末端ポリアミド樹脂及び/又はカルボキシル
基末端ポリアミドイミド樹脂(c)とエポキシ樹脂
(d)とを、(d)のエポキシ基/(c)のカルボキシ
ル基のモル比が1より大きいところで反応させて得られ
るエポキシ基含有ポリアミド樹脂及び/又はエポキシ基
含有ポリアミドイミド樹脂である請求項4記載の感光性
樹脂組成物。
5. An epoxy group-containing polyamide resin and / or an epoxy group-containing polyamide imide resin (b) comprising: a carboxyl group-terminated polyamide resin and / or a carboxyl group-terminated polyamide imide resin (c); and an epoxy resin (d). The photosensitive resin according to claim 4, wherein the photosensitive resin is an epoxy group-containing polyamide resin and / or an epoxy group-containing polyamideimide resin obtained by reacting at a molar ratio of (d) epoxy group / (c) carboxyl group of greater than 1. Composition.
【請求項6】 カルボキシル基末端ポリアミド樹脂及び
/又はカルボキシル基末端ポリアミドイミド樹脂(c)
がポリアルキレンオキサイドユニット及び/又はポリカ
ーボネートユニットを分子構造中に有する樹脂である請
求項5記載の感光性樹脂組成物。
6. A carboxyl group-terminated polyamide resin and / or a carboxyl group-terminated polyamide imide resin (c)
Is a resin having a polyalkylene oxide unit and / or a polycarbonate unit in a molecular structure.
【請求項7】 難燃剤(E)がトリアジン化合物である
請求項1〜6いずれか記載の感光性樹脂組成物。
7. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the flame retardant (E) is a triazine compound.
【請求項8】 難燃剤(E)がリン化合物である請求項
1〜7いずれか記載の感光性樹脂組成物。
8. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the flame retardant (E) is a phosphorus compound.
【請求項9】 難燃剤(E)が臭素化化合物と五酸化ア
ンチモンの混合物である請求項1〜8いずれか記載の感
光性樹脂組成物。
9. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the flame retardant (E) is a mixture of a brominated compound and antimony pentoxide.
【請求項10】 フィラーとして水酸化アルミニウムを
含有する請求項1〜9いずれか記載の感光性樹脂組成
物。
10. The photosensitive resin composition according to claim 1, which contains aluminum hydroxide as a filler.
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