JPH10245472A - Epoxy resin composition, and semiconductor sealing device - Google Patents

Epoxy resin composition, and semiconductor sealing device

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JPH10245472A
JPH10245472A JP6907397A JP6907397A JPH10245472A JP H10245472 A JPH10245472 A JP H10245472A JP 6907397 A JP6907397 A JP 6907397A JP 6907397 A JP6907397 A JP 6907397A JP H10245472 A JPH10245472 A JP H10245472A
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JP
Japan
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epoxy resin
resin composition
resin
inorganic filler
rosin compound
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JP6907397A
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Japanese (ja)
Inventor
Hitoshi Yokouchi
比斗志 横内
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Kyocera Chemical Corp
Original Assignee
Toshiba Chemical Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an epoxy resin composition excellent in moisture resistance, reflow resistance, moldability, etc., used for a semiconductor sealing device, etc., and high in reliability, by using a rosin compound having a specific structure. SOLUTION: This epoxy resin composition consists essentially of (A) an epoxy resin, (B) a phenol resin, (C) a rosin compound including a structure of the formula and (D) an inorganic filler (e.g. fused silica powder) and includes 0.05-10.0wt.% component C and 25-93wt.% component D based on the total resin composition. For example, a cresol novolak epoxy resin is used as the component A and a novolak phenol resin, etc., are used as the component B.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、成形性、耐リフロ
ー性、信頼性に優れたエポキシ樹脂組成物および半導体
封止装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an epoxy resin composition excellent in moldability, reflow resistance and reliability, and a semiconductor sealing device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体集積回路の分野において、
高集積化、高信頼性化の技術開発と同時に半導体装置の
実装工程の自動化が推進されている。例えばフラットパ
ッケージ型の半導体装置を回路基板に取り付ける場合
に、従来、リードピン毎に半田付けを行っていたが、最
近では半導体装置全体を最高温度240 ℃に加熱したIR
リフロー炉に通して、半田付けを行う方法が採用されて
いる。
2. Description of the Related Art In recent years, in the field of semiconductor integrated circuits,
At the same time as the development of high integration and high reliability technologies, automation of the mounting process of semiconductor devices has been promoted. For example, when a flat package type semiconductor device is mounted on a circuit board, soldering has conventionally been performed for each lead pin, but recently, the entire semiconductor device has been heated to a maximum temperature of 240 ° C.
A method of soldering through a reflow furnace is employed.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来のノボラック型エ
ポキシ樹脂等のエポキシ樹脂、ノボラック型フェノール
樹脂および無機質充填剤からなる樹脂組成物によって封
止した半導体装置は、装置全体のIRリフローによる表
面実装を行うと耐湿性が低下するという欠点があった。
特に吸湿した半導体装置をIRリフローさせると、封止
樹脂と半導体チップ、あるいは封止樹脂とリードフレー
ムとの間の剥がれや、内部樹脂クラックが生じて著しい
耐湿性劣化を起こし、電極の腐蝕による断線や水分によ
るリーク電流を生じ、長期間の信頼性を保証することが
できないという欠点があった。このため耐湿性の影響が
少なく、半導体装置全体のIRリフローによる表面実装
を行っても耐湿劣化の少ない成形性のよい材料の開発が
強く要望されていた。
A semiconductor device encapsulated with a resin composition comprising a conventional epoxy resin such as a novolak type epoxy resin, a novolak type phenol resin, and an inorganic filler requires surface mounting of the entire device by IR reflow. There is a drawback that the moisture resistance is reduced when performing.
In particular, when the semiconductor device that has absorbed moisture is subjected to IR reflow, peeling between the sealing resin and the semiconductor chip, or between the sealing resin and the lead frame, and cracks in the internal resin occur, causing significant deterioration in moisture resistance, and disconnection due to corrosion of the electrodes. There is a drawback that a long-term reliability cannot be guaranteed due to a leak current caused by moisture or moisture. For this reason, there has been a strong demand for the development of a material having a small influence on moisture resistance and a good moldability with little moisture resistance deterioration even when the entire semiconductor device is surface-mounted by IR reflow.

【0004】本発明は、上記の欠点を解消するためにな
されたもので、吸湿の影響が少なく、特にIRリフロー
による表面実装後の耐湿性、耐リフロー性、成形性に優
れ、封止樹脂と半導体チップあるいは封止樹脂とリード
フレームとの間の剥がれや内部樹脂クラックの発生がな
く、また電極の腐蝕による断線や水分によるリーク電流
の発生もなく、長期信頼性を保証できるエポキシ樹脂組
成物および半導体封止装置を提供しようとするものであ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned disadvantages, and has a small influence of moisture absorption. In particular, it has excellent moisture resistance, reflow resistance, and moldability after surface mounting by IR reflow, and has excellent sealing resin. An epoxy resin composition that can guarantee long-term reliability without peeling between the semiconductor chip or the sealing resin and the lead frame and without generation of internal resin cracks, and also without occurrence of disconnection due to electrode corrosion and generation of leak current due to moisture. It is intended to provide a semiconductor sealing device.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の目的
を達成しようと鋭意研究を重ねた結果、特定構造を含む
ロジン化合物を用いることによって、耐湿性、耐リフロ
ー性、成形性等に優れた信頼性の高い樹脂組成物が得ら
れることを見いだし、本発明を完成したものである。
Means for Solving the Problems As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventor has found that by using a rosin compound having a specific structure, moisture resistance, reflow resistance, moldability and the like are improved. The inventors have found that an excellent and highly reliable resin composition can be obtained, and have completed the present invention.

【0006】即ち、本発明は、(A)エポキシ樹脂、
(B)フェノール樹脂、(C)下記構造を含むロジン化
合物および
That is, the present invention provides (A) an epoxy resin,
(B) a phenolic resin, (C) a rosin compound having the following structure and

【0007】[0007]

【化3】 (D)無機質充填剤を必須成分とし、全体の樹脂組成物
に対して前記(C)のロジン化合物を 0.05〜10.0重量
%、前記(D)の無機質充填剤を25〜93重量%の割合で
含有してなることを特徴とするエポキシ樹脂組成物であ
る。また、このエポキシ樹脂組成物の硬化物によって、
半導体チップが封止されてなることを特徴とする半導体
封止装置である。
Embedded image (D) The inorganic filler is an essential component, and the rosin compound of (C) is 0.05 to 10.0% by weight and the inorganic filler of (D) is 25 to 93% by weight based on the whole resin composition. It is an epoxy resin composition characterized by containing. In addition, by the cured product of this epoxy resin composition,
A semiconductor sealing device characterized by a semiconductor chip being sealed.

【0008】以下、本発明を詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in detail.

【0009】本発明に用いる(A)エポキシ樹脂として
は、その分子中にエポキシ基を少なくとも 2個有する化
合物であるかぎり、分子量、構造式等に特に制限される
ことはなく、一般封止材用として用いられているものは
広く使用することができる。例えばビスフェノール型の
芳香族系、シクロヘキサン誘導体等の脂環族系、さらに
次の一般式で示されるエポキシノボラック系等のエポキ
シ樹脂が挙げられる。
As long as the epoxy resin (A) used in the present invention is a compound having at least two epoxy groups in its molecule, there is no particular restriction on its molecular weight, structural formula, etc. What is used as can be widely used. For example, epoxy resins such as bisphenol type aromatics, alicyclics such as cyclohexane derivatives, and epoxy novolaks represented by the following general formulas are exemplified.

【0010】[0010]

【化4】 (但し、式中R1 は水素原子、ハロゲン原子又はアルキ
ル基を、R2 は水素原子又はアルキル基を、n は 1以上
の整数をそれぞれ表す)なお、これらのエポキシ樹脂は
単独又は 2種以上混合して使用することができる。
Embedded image (Wherein, R 1 represents a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group, R 2 represents a hydrogen atom or an alkyl group, and n represents an integer of 1 or more.) These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more. It can be mixed and used.

【0011】本発明に用いる(B)フェノール樹脂とし
ては、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノ
ボラック樹脂、tert−ブチルフェノールノボラック
樹脂、ノニルフェノールノボラック樹脂、ビスフェノー
ルFのノボラック樹脂、ビスフェノールAのノボラック
樹脂、ナフトールのノボラック樹脂等のノボラック型フ
ェノール樹脂、ポリパラオキシスチレン等のポリオキシ
スチレン、 2,2′−ジメトキシ−p−キシレンとフェノ
ールモノマーとの縮合重合化合物などのフェノールアラ
ルキル樹脂、又は以下の構造式化5で示されるトリス
(ヒドロキシフェニル)アルカンベースの化合物などが
挙げられる。
The phenolic resin (B) used in the present invention includes, for example, phenol novolak resin, cresol novolak resin, tert-butylphenol novolak resin, nonylphenol novolak resin, bisphenol F novolak resin, bisphenol A novolak resin, and naphthol novolak resin. Phenol aralkyl resin such as a condensation polymerization compound of 2,2'-dimethoxy-p-xylene and phenol monomer, or a phenol aralkyl resin such as polyparaoxystyrene such as polyparaoxystyrene; Tris (hydroxyphenyl) alkane-based compounds and the like.

【0012】[0012]

【化5】 (式中、R1 ,R2 は水素原子又は炭素数1 〜20のアル
キル基を表し、それらの基は同一でもそれぞれ異なって
いてもよく、またR3 は単結合、又はメチレン、エチレ
ンなどのアルキレン基を表す) これらは単独又は 2種以上混合して使用することができ
る。
Embedded image (Wherein, R 1 and R 2 represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, which may be the same or different, and R 3 is a single bond or methylene, ethylene or the like) These represent an alkylene group. These can be used alone or in combination of two or more.

【0013】ノボラック型フェノール樹脂の配合割合
は、前述した(A)エポキシ樹脂のエポキシ基(a)と
(B)ノボラック型フェノール樹脂のフェノール性水酸
基(b)とのモル比[(a)/(b)]が 0.1〜10の範
囲内であることが望ましい。このモル比が 0.1未満もし
くは10を超えると、耐熱性、耐湿性、成形作業性および
硬化物の電気特性が悪くなり、いずれの場合も好ましく
ない。
The compounding ratio of the novolak type phenol resin is determined by the molar ratio [(a) / () of the epoxy group (a) of the epoxy resin (A) and the phenolic hydroxyl group (b) of the novolak type phenol resin (B). b)] is preferably in the range of 0.1 to 10. When the molar ratio is less than 0.1 or more than 10, heat resistance, moisture resistance, molding workability, and electrical properties of the cured product are deteriorated, and any case is not preferable.

【0014】本発明には化3の構造を含むロジン化合物
が使用される。具体的な化合物として、例えば、パイン
クリスタルKR−85,KR−612,KE−604,
KE−100,KE−359,KE−311N,KE−
601,KE−615−3(荒川化学工業社製、商品
名)等が挙げられ、これらは単独又は 2種以上混合して
使用することができる。このロジン化合物のの配合割合
は全体の樹脂組成物に対して 0.05 〜10.0重量%の範囲
内で使用することが望ましい。この配合量が 0.05 重量
%未満では耐リフロー性に効果なく、また、10.0重量%
を超えると成形性、信頼性に悪影響を及ぼし実用に適さ
ず好ましくない。
In the present invention, a rosin compound having the structure of formula 3 is used. As specific compounds, for example, Pine Crystal KR-85, KR-612, KE-604,
KE-100, KE-359, KE-311N, KE-
No. 601, KE-615-3 (trade name, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.) and the like, and these can be used alone or in combination of two or more. It is desirable to use the rosin compound in a proportion of 0.05 to 10.0% by weight based on the whole resin composition. If the amount is less than 0.05% by weight, the reflow resistance is not affected.
Exceeding the range adversely affects moldability and reliability, and is not suitable for practical use and is not preferred.

【0015】本発明に用いる(D)無機質充填剤として
は、不純物濃度が低く最大粒径が 100μm 以下で、平均
粒径30μm 以下の無機質充填剤が好ましく使用される。
平均粒径30μm を超えると耐湿性および成形性が劣り好
ましくない。無機質充填剤の具体的なものとしては例え
ば、シリカ粉末、アルミナ粉末、三酸化アンチモン、タ
ルク、炭酸カルシウム、チタンホワイト、クレー、マイ
カ、ベンガラ、ガラス繊維等が挙げられ、これらは単独
又は 2種以上混合して使用することができる。これらの
中でも特にシリカ粉末やアルミナ粉末が好ましく、よく
使用される。無機質充填剤の配合割合は、全体の樹脂組
成物に対して25〜93重量%含有するように配合すること
が好ましい。その割合が25重量%未満では耐熱性、耐湿
性、半田耐熱性、機械的特性および成形性が悪くなり、
また93重量%を超えるとカサバリが大きくなり成形性に
劣り実用に適さない。
As the inorganic filler (D) used in the present invention, an inorganic filler having a low impurity concentration, a maximum particle diameter of 100 μm or less, and an average particle diameter of 30 μm or less is preferably used.
If the average particle size exceeds 30 μm, the moisture resistance and moldability are poor, which is not preferable. Specific examples of the inorganic filler include, for example, silica powder, alumina powder, antimony trioxide, talc, calcium carbonate, titanium white, clay, mica, redwood, glass fiber, and the like. It can be mixed and used. Among these, silica powder and alumina powder are particularly preferable and are often used. It is preferable that the inorganic filler is blended so as to contain 25 to 93% by weight based on the whole resin composition. If the proportion is less than 25% by weight, heat resistance, moisture resistance, solder heat resistance, mechanical properties and moldability deteriorate,
On the other hand, when the content exceeds 93% by weight, burrs increase and the moldability is poor, which is not suitable for practical use.

【0016】本発明のエポキシ樹脂組成物においては、
本発明の目的に反しない限度において、また必要に応じ
て、例えば、天然ワックス類、合成ワックス類、直鎖脂
肪酸の金属塩、酸アミド、エステル類、パラフィン類等
の離型剤、塩素化パラフィン、ブロム化トルエン、ヘキ
サブロムベンゼン、三酸化アンチモン等の難燃剤、カー
ボンブラック、ベンガラ等の着色剤、ゴム系やシリコー
ン系の低応力付与剤等を適宜添加配合することができ
る。
In the epoxy resin composition of the present invention,
To the extent not contrary to the object of the present invention, and if necessary, for example, release agents such as natural waxes, synthetic waxes, metal salts of linear fatty acids, acid amides, esters, paraffins, chlorinated paraffins Flame retardants such as brominated toluene, hexabromobenzene, and antimony trioxide, coloring agents such as carbon black and red iron oxide, rubber-based and silicone-based low-stress imparting agents, and the like can be appropriately added and blended.

【0017】本発明のエポキシ樹脂組成物を成形材料と
して調製する場合の一般的方法は、エポキシ樹脂、ノボ
ラック型フェノール樹脂、前記化3の構造を含むロジン
化合物および無機質充填剤その他成分を配合し、ミキサ
ー等によって十分均一に混合した後、さらに熱ロールに
よる溶融混合処理、またニーダ等による混合処理を行
い、次いで冷却固化させ適当な大きさに粉砕して成形材
料とすることができる。こうして得られた成形材料は、
半導体装置をはじめとする電子部品或いは電気部品の封
止、被覆、絶縁等に適用すれば優れた特性と信頼性を付
与させることができる。
A general method for preparing the epoxy resin composition of the present invention as a molding material is to mix an epoxy resin, a novolak-type phenol resin, a rosin compound having the structure of the above formula (3), an inorganic filler and other components, After sufficiently uniform mixing by a mixer or the like, a melt-mixing process using a hot roll or a mixing process using a kneader or the like is performed, and then the mixture is solidified by cooling and pulverized to an appropriate size to obtain a molding material. The molding material thus obtained is
When applied to sealing, coating, insulating, and the like of electronic components or electric components such as semiconductor devices, excellent characteristics and reliability can be imparted.

【0018】また、本発明の半導体封止装置は、上述の
成形材料を用いて半導体チップを封止することにより容
易に製造することができる。封止を行う半導体チップと
しては例えば、集積回路、大規模集積回路、トランジス
タ、サイリスタ、ダイオード等で特に限定されるもので
はない。封止の最も一般的な方法としては、低圧トラン
スファー成形法があるが、射出成形、圧縮成形、注形等
による封止も可能である。成形材料で封止後、加熱して
硬化させ、最終的にはこの硬化物によって封止された半
導体封止装置が得られる。加熱による硬化は、150 ℃以
上の温度で加熱硬化させることが望ましい。
Further, the semiconductor sealing device of the present invention can be easily manufactured by sealing a semiconductor chip using the molding material described above. As a semiconductor chip for sealing, for example, an integrated circuit, a large-scale integrated circuit, a transistor, a thyristor, a diode, and the like are not particularly limited. The most common sealing method is a low pressure transfer molding method, but sealing by injection molding, compression molding, casting, or the like is also possible. After sealing with a molding material, it is heated and cured, and finally a semiconductor sealing device sealed with the cured product is obtained. Curing by heating is desirably performed by heating at a temperature of 150 ° C. or higher.

【0019】[0019]

【作用】本発明のエポキシ樹脂組成物および半導体封止
装置は、樹脂成分としてエポキシ樹脂、フェノール樹脂
および特定のロジン化合物を用いることによって、樹脂
組成物の成形性、フレームとの接着強さが向上し、特に
成形性の各段階に対応する耐リフロー性を格段に向上さ
せることができた。
The epoxy resin composition and the semiconductor encapsulation device of the present invention use an epoxy resin, a phenol resin and a specific rosin compound as a resin component, so that the moldability of the resin composition and the bonding strength with the frame are improved. In particular, the reflow resistance corresponding to each stage of the moldability was significantly improved.

【0020】[0020]

【実施例】次に本発明を実施例によって具体的に説明す
るが、本発明はこれらの実施例によって限定されるもの
ではない。以下の実施例および比較例において「%」と
は「重量%」を意味する。
Next, the present invention will be described specifically with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following Examples and Comparative Examples, “%” means “% by weight”.

【0021】実施例1 クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当量 21
5)18%、ノボラック型フェノール樹脂(フェノール当
量 107) 9%、ロジン化合物のKE−100(荒川化学
工業社製、商品名)1.0 %、トリフェニルホスフィン0.
1 %、溶融シリカ粉末71%およびエステル系ワックス類
等1.9 %を常温で混合し、さらに90〜95℃で混練冷却し
た後、粉砕して成形材料(A)を製造した。
Example 1 Cresol novolak epoxy resin (epoxy equivalent 21
5) 18%, 9% novolak type phenol resin (phenol equivalent 107) 9%, ROS-100 KE-100 (Arakawa Chemical Industries, trade name) 1.0%, triphenylphosphine 0.1%
1%, fused silica powder 71% and ester waxes 1.9% were mixed at room temperature, kneaded and cooled at 90-95 ° C, and pulverized to produce a molding material (A).

【0022】実施例2 クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当量 21
5)19%、ノボラック型フェノール樹脂(フェノール当
量 107) 8%、ロジン化合物のKE−100(前出)3.
0 %、トリフェニルホスフィン0.1 %、溶融シリカ粉末
71%およびエステル系ワックス類等1.9 %を常温で混合
し、さらに90〜95℃で混練冷却した後、粉砕して成形材
料(B)を製造した。
Example 2 Cresol novolak epoxy resin (epoxy equivalent 21
5) 19%, novolak type phenol resin (phenol equivalent 107) 8%, rosin compound KE-100 (supra) 3.
0%, triphenylphosphine 0.1%, fused silica powder
71% and 1.9% of ester waxes and the like were mixed at room temperature, kneaded and cooled at 90 to 95 ° C, and then pulverized to produce a molding material (B).

【0023】実施例3 ビフェニル型エポキシ樹脂(エポキシ当量 193)7.0
%、ノボラック型フェノール樹脂(フェノール当量 10
7) 3.7%、ロジン化合物のKE−100(前出)3.0
%、トリフェニルホスフィン0.1 %、溶融シリカ粉末85
%およびエステル系ワックス類等1.1 %を常温で混合
し、さらに90〜95℃で混練冷却した後、粉砕して成形材
料(C)を製造した。
Example 3 Biphenyl type epoxy resin (epoxy equivalent: 193) 7.0
%, Novolak type phenolic resin (phenol equivalent 10
7) 3.7%, rosin compound KE-100 (supra) 3.0
%, Triphenylphosphine 0.1%, fused silica powder 85
% And 1.1% of ester waxes and the like were mixed at room temperature, kneaded and cooled at 90 to 95 ° C., and then pulverized to produce a molding material (C).

【0024】比較例1 クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当量 21
5)19%、ノボラック型フェノール樹脂(フェノール当
量 107) 9%、溶融シリカ粉末71%、トリフェニルホス
フィン0.1 %、エステル系ワックス類 0.3%およびシラ
ン系カップリング剤 0.4%を常温で混合し、さらに90〜
95℃で混練冷却した後、粉砕して成形材料(D)を製造
した。
Comparative Example 1 Cresol novolak epoxy resin (epoxy equivalent 21
5) 19%, 9% of novolak type phenol resin (phenol equivalent: 107), 71% of fused silica powder, 0.1% of triphenylphosphine, 0.3% of ester-based wax and 0.4% of silane-based coupling agent are mixed at room temperature. 90 ~
After kneading and cooling at 95 ° C., the mixture was pulverized to produce a molding material (D).

【0025】比較例2 ビフェニル型エポキシ樹脂(エポキシ当量193 )8.8
%、ノボラック型フェノール樹脂(フェノール当量 10
7)4.9 %、溶融シリカ粉末85%、トリフェニルホスフ
ィン0.1 %、およびエステル系ワックス類等 1.1%を常
温で混合し、さらに90〜95℃で混練冷却した後、粉砕し
て成形材料(E)を製造した。
Comparative Example 2 Biphenyl type epoxy resin (epoxy equivalent: 193) 8.8
%, Novolak type phenolic resin (phenol equivalent 10
7) 4.9%, fused silica powder 85%, triphenylphosphine 0.1%, and ester waxes etc. 1.1% are mixed at room temperature, kneaded and cooled at 90-95 ° C, and then pulverized to form a molding material (E). Was manufactured.

【0026】こうして製造した成形材料(A)〜(D)
を用い、175 ℃,3 分間の条件でトランスファー成形し
た後、180 ℃で8 時間アフターキュアーして試験片を作
成した。これらの成形材料と試験片について、成形性、
スパイラルフロー、高化式フローテスターによる溶融粘
度、吸水率(PCT)、ガラス転移温度、フレーム材で
ある42合金・銅合金との接着強さ、PCTおよび耐リ
フロー性を測定した。以上の測定結果を表1にまとめて
示したが、本発明の顕著な効果を確認することができ
た。
The molding materials (A) to (D) thus produced
After transfer molding at 175 ° C for 3 minutes, a test piece was prepared by aftercure at 180 ° C for 8 hours. For these molding materials and test pieces, moldability,
Spiral flow, melt viscosity by a Koka type flow tester, water absorption (PCT), glass transition temperature, adhesive strength to 42 alloy and copper alloy as a frame material, PCT and reflow resistance were measured. The above measurement results are summarized in Table 1, and the remarkable effect of the present invention was confirmed.

【0027】[0027]

【表1】 *1 :スパイラルと溶融粘度の測定温度は175 ℃であ
る。 *2 :成形材料を175 ℃,3 分間の条件でトランスファ
ー成形し、180 ℃,8 時間アフターキュアをして成形品
を作製した。これを127 ℃,2 気圧の飽和水蒸気中に24
時間放置し、増加した重量によって求めた。 *3 :吸水率の試験と同様な成形品から、2.5 ×2.5 ×
15.0〜20.0の寸法のサンプルを作製し、熱機械分析装置
DL−1500H(真空理工社製)を用い、昇温速度5
℃/minで測定した。 *4 :成形材料を用いて、2 本のアルミニウム配線を有
するシリコン製チップを、通常の42アロイフレームに
接着し、175 ℃で2 分間トランスファー成形した後、17
5 ℃で8 時間の後硬化を行った。こうして得た成形品を
予め、40℃,90%RH,100 時間の吸湿処理した後、25
0 ℃の半田浴に10秒間浸漬した。その後、127 ℃,2.5気
圧の飽和水蒸気中で耐湿試験を行い、アルミニウム腐蝕
による50%断線(不良発生)の起こる時間を評価した。 *5 :成形材料を175 ℃,3 分間の条件で、15mm×15
mmの評価用素子を封止し、180 ℃で8 時間アフターキ
ュアーを行った。次いでこのパッケージを85℃、相対湿
度60%の雰囲気中に168 時間放置して吸湿処理を行った
後、これを最高温度240 ℃のIRリフロー炉に3 回通し
た。この時点でパッケージのクラック発生を調べた。更
に、このIRリフロー後のパッケージをプレッシャーク
ッカー内で127 ℃の飽和水蒸気雰囲気中に100 〜1000時
間放置し、不良発生率を調べた。
[Table 1] * 1: The temperature for measuring spiral and melt viscosity is 175 ° C. * 2: The molding material was transfer-molded at 175 ° C for 3 minutes, and after-cured at 180 ° C for 8 hours to produce a molded product. This is placed in saturated steam at 127 ° C and 2 atm.
Allowed for time and determined by increased weight. * 3: 2.5 × 2.5 × from the same molded product as in the water absorption test
A sample having a size of 15.0 to 20.0 was prepared, and a thermomechanical analyzer DL-1500H (manufactured by Vacuum Riko Co., Ltd.) was used.
It measured at ° C / min. * 4: Using a molding material, a silicon chip with two aluminum wirings was bonded to a normal 42 alloy frame and transfer-molded at 175 ° C for 2 minutes.
Post-curing was performed at 5 ° C. for 8 hours. The molded article thus obtained was previously subjected to a moisture absorption treatment at 40 ° C., 90% RH and 100 hours.
It was immersed in a solder bath at 0 ° C. for 10 seconds. Thereafter, a moisture resistance test was performed in saturated steam at 127 ° C. and 2.5 atm to evaluate the time at which 50% disconnection (defect occurrence) due to aluminum corrosion occurred. * 5: The molding material is 15mm x 15mm at 175 ° C for 3 minutes.
The mm evaluation element was sealed and after-cured at 180 ° C. for 8 hours. Next, the package was left in an atmosphere at 85 ° C. and a relative humidity of 60% for 168 hours to perform a moisture absorption treatment, and then passed through an IR reflow furnace having a maximum temperature of 240 ° C. three times. At this point, the occurrence of cracks in the package was examined. Further, the package after the IR reflow was left in a saturated steam atmosphere at 127 ° C. for 100 to 1000 hours in a pressure cooker, and the occurrence rate of defects was examined.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上の説明および表1から明らかなよう
に、本発明のエポキシ樹脂組成物および半導体封止装置
は、耐リフロー性、耐湿性に優れ、IRリフロー後にお
いても吸湿による影響が少なく、電極の腐蝕による断線
や水分によるリーク電流の発生等を著しく低減すること
ができ、しかも長期間にわたって信頼性を保証すること
ができる。
As is clear from the above description and Table 1, the epoxy resin composition and the semiconductor encapsulation device of the present invention have excellent reflow resistance and moisture resistance, and are less affected by moisture absorption even after IR reflow. In addition, disconnection due to electrode corrosion and occurrence of leakage current due to moisture can be significantly reduced, and reliability can be guaranteed for a long period of time.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール
樹脂、(C)下記構造を含むロジン化合物および 【化1】 (D)無機質充填剤を必須成分とし、全体の樹脂組成物
に対して前記(C)のロジン化合物を 0.05〜10.0重量
%、前記(D)の無機質充填剤を25〜93重量%の割合で
含有してなることを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
(A) an epoxy resin, (B) a phenolic resin, (C) a rosin compound having the following structure, and (D) The inorganic filler is an essential component, and the rosin compound of (C) is 0.05 to 10.0% by weight and the inorganic filler of (D) is 25 to 93% by weight based on the whole resin composition. An epoxy resin composition characterized by comprising:
【請求項2】 (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール
樹脂、(C)下記構造を含むロジン化合物および 【化2】 (D)無機質充填剤を必須成分とし、全体の樹脂組成物
に対して前記(C)のロジン化合物を 0.05〜10.0重量
%、前記(D)の無機質充填剤を25〜93重量%の割合で
含有したエポキシ樹脂組成物の硬化物によって、半導体
チップが封止されてなることを特徴とする半導体封止装
置。
(A) an epoxy resin, (B) a phenolic resin, (C) a rosin compound having the following structure, and (D) The inorganic filler is an essential component, and the rosin compound of (C) is 0.05 to 10.0% by weight and the inorganic filler of (D) is 25 to 93% by weight based on the whole resin composition. A semiconductor sealing device wherein a semiconductor chip is sealed with a cured product of an epoxy resin composition contained therein.
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