JPH10242694A - Mounting head of electronic component and electronic component mounting equipment having the same - Google Patents
Mounting head of electronic component and electronic component mounting equipment having the sameInfo
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- JPH10242694A JPH10242694A JP9061952A JP6195297A JPH10242694A JP H10242694 A JPH10242694 A JP H10242694A JP 9061952 A JP9061952 A JP 9061952A JP 6195297 A JP6195297 A JP 6195297A JP H10242694 A JPH10242694 A JP H10242694A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品を吸着す
ると共に、吸着した電子部品を基板などに装着する電子
部品の装着ヘッドおよびこれを備えた電子部品装着装置
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mounting head for an electronic component for sucking an electronic component and mounting the sucked electronic component on a substrate or the like, and an electronic component mounting apparatus having the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、この種の電子部品装着装置とし
て、特開平7−302999号公報に記載のものが知ら
れている。この電子部品装着装置では、装着装置本体を
挟んで、装着装置本体に電子部品を供給する供給部と、
装着装置本体から電子部品の装着を受ける装着部とが配
設され、装着装置本体には、その回転テーブルの外周部
に複数本の吸着ノズルを装着した装着ヘッドが設けられ
ている。回転テーブルは間欠回転しながら、装着ヘッド
を供給部と装着部との間で回転送りし、その際、装着ヘ
ッドは、吸着ノズルで供給系から電子部品を吸着し、こ
れを装着系の基板に装着する。各吸着ノズルにはその軸
芯にノズル孔が形成され、ノズル孔は装着ヘッドの本体
に形成した各ノズル共用の吸引通路に連通している。ま
た、吸引通路は、真空管路を介して真空吸引装置に接続
されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as this kind of electronic component mounting apparatus, one described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-302999 is known. In this electronic component mounting device, a supply unit that supplies an electronic component to the mounting device main body with the mounting device main body interposed therebetween,
A mounting unit for mounting electronic components from the mounting device main body is provided, and the mounting device main body is provided with a mounting head having a plurality of suction nozzles mounted on an outer peripheral portion of the rotary table. The rotation table rotates the mounting head between the supply unit and the mounting unit while intermittently rotating.At this time, the mounting head sucks the electronic components from the supply system with the suction nozzles, and transfers them to the mounting system board. Mounting. Each suction nozzle has a nozzle hole formed in the axis thereof, and the nozzle hole communicates with a suction passage shared by each nozzle formed in the main body of the mounting head. The suction passage is connected to a vacuum suction device via a vacuum pipe.
【0003】ところで、この種の電子部品装着装置で
は、吸着ノズルにより電子部品を吸着する場合、同時に
塵埃を吸引してしまい、吸引系の切換バルブなどに悪影
響を及ぼす可能性がある。そこで、上記の真空管路に
は、回転テーブルの外周面に取り付けるようにしてフィ
ルターユニットが介設されている。フィルターユニット
は、周方向に複数個のフィルタを取り付けたフィルタホ
ルダを備えており、複数個のフィルタのうちの1のフィ
ルタが真空管路に臨んでいる。また、フィルタの下流側
に位置して真空管路には切換バルブが組み込まれてい
る。真空管路に臨んでいるフィルタが目詰まりした場合
(実際には定期的に)には、回転テーブルの回転を利用
してフィルタホルダをワンピッチ回転させて、次の新し
いフィルタを真空管路に臨ませるようにしている。In this type of electronic component mounting apparatus, when an electronic component is sucked by a suction nozzle, dust is sucked at the same time, which may adversely affect a switching valve of a suction system. Therefore, a filter unit is interposed in the vacuum pipe so as to be attached to the outer peripheral surface of the rotary table. The filter unit includes a filter holder on which a plurality of filters are mounted in a circumferential direction, and one of the plurality of filters faces the vacuum pipe. Further, a switching valve is incorporated in the vacuum line located downstream of the filter. If the filter facing the vacuum line is clogged (actually periodically), rotate the filter holder by one pitch using the rotation of the rotary table so that the next new filter faces the vacuum line. I have to.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】このように従来の電子
部品装着装置では、フィルタを装着ヘッドと真空吸引装
置とを接続する真空管路に介設するようにしているた
め、吸着ノズルからフィルタユニットに至る経路では、
塵埃の吸引を許容することになる。かかる場合、吸着ノ
ズルは着脱可能であるため、そのノズル孔に塵埃が付着
したり詰まったりしても、比較的簡単に取り除くことは
できるが、装着ヘッド本体の吸引通路やフィルタユニッ
トに至る真空管路では、これらを装置から取り外すなど
しないと、塵埃を取り除くことは不可能である。もっと
も、フィルタを吸着ノズルに装着すれば係る不具合は解
消される。しかし、吸着ノズルは、使用個数が多く且つ
電子部品に対応して度々交換されるため、フィルタの吸
着ノズルへの装着や交換時期の管理が極めて煩雑になる
と共に、フィルタの内側に塵埃が付着しないように吸着
ノズルを保管する必要があり、この点でも管理が煩雑に
なることが想定される。As described above, in the conventional electronic component mounting apparatus, the filter is interposed in the vacuum pipe connecting the mounting head and the vacuum suction device. On the way to
This will allow the suction of dust. In such a case, since the suction nozzle is detachable, even if dust adheres or clogs in the nozzle hole, it can be removed relatively easily. However, a vacuum passage extending to the suction passage of the mounting head body and the filter unit. Then, it is impossible to remove dust unless these are removed from the apparatus. However, if the filter is attached to the suction nozzle, such a problem can be solved. However, since the suction nozzles are frequently used and are frequently replaced in accordance with electronic components, it is extremely complicated to mount the filters on the suction nozzles and manage the replacement time, and no dust adheres to the inside of the filter. It is necessary to store the suction nozzles as described above, and it is assumed that the management becomes complicated in this regard as well.
【0005】本発明は、フィルタの管理が容易で、且つ
可能な限り吸引経路の上流側で塵埃を除去することがで
きる電子部品の装着ヘッドおよびこれを備えた電子部品
装着装置を提供することをその目的としている。An object of the present invention is to provide an electronic component mounting head and an electronic component mounting apparatus having the same, which can easily manage a filter and remove dust as much as possible on the upstream side of a suction path. That is the purpose.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明の電子部品の装着
ヘッドは、内部に吸引通路を形成したヘッド本体と、ヘ
ッド本体の下端部に着脱自在に装着され軸芯に吸引通路
に連通するノズル孔を形成した吸着ノズルとを備えた電
子部品の装着ヘッドにおいて、吸引通路の上流端部にエ
アーフィルタを着脱自在に設けたことを特徴とする。According to the present invention, there is provided an electronic component mounting head comprising: a head main body having a suction passage formed therein; and a nozzle detachably mounted at a lower end portion of the head main body and communicating with the shaft through the suction passage. In an electronic component mounting head having a suction nozzle having a hole, an air filter is detachably provided at an upstream end of a suction passage.
【0007】この構成によれば、ヘッド本体の吸引通路
の上流端部にエアーフィルタを設けるようにしているた
め、吸着ノズルを除く吸引経路の最上流端で塵埃を除去
することがてきる。また、エアーフィルタを、吸引通路
の上流端部に着脱自在に設けるようにしているため、吸
着ノズルと同様な形態でエアーフィルタを交換すること
ができる。さらに、エアーフィルタを、吸着ノズルでは
なく、これに対峙する吸引通路の上流端部に設けるよう
にしているため、吸着ノズルの交換と関係なくエアーフ
ィルタを交換することができ、交換時期などの管理が適
切でかつ容易なものになる。According to this configuration, since the air filter is provided at the upstream end of the suction passage of the head main body, dust can be removed at the most upstream end of the suction passage excluding the suction nozzle. Further, since the air filter is detachably provided at the upstream end of the suction passage, the air filter can be replaced in the same manner as the suction nozzle. Furthermore, since the air filter is provided not at the suction nozzle but at the upstream end of the suction passage facing the suction nozzle, the air filter can be replaced regardless of the replacement of the suction nozzle. Will be appropriate and easy.
【0008】この場合、ヘッド本体の下端部は、吸引通
路の上流側部を形成した内筒部と、吸着ノズルの基部が
装着される外筒部とを有し、エアーフィルタは内筒部に
装着されていることが、が好ましい。In this case, the lower end of the head main body has an inner cylindrical portion forming the upstream side of the suction passage, and an outer cylindrical portion to which the base of the suction nozzle is mounted, and the air filter is attached to the inner cylindrical portion. It is preferred that they are mounted.
【0009】この構成によれば、吸着ノズルの着脱や気
密性保持に対し、エアーフィルタが邪魔になることがな
く、吸着ノズルを離脱させた状態で、エアーフィルタの
有無を直接視認することができる。According to this configuration, the air filter does not hinder the attachment / detachment of the suction nozzle and the maintenance of airtightness, and the presence or absence of the air filter can be directly visually recognized in a state where the suction nozzle is detached. .
【0010】この場合、エアーフィルタは、筒状に形成
されたフィルタ本体と、内周面で内筒部に気密に装着さ
れ、外周面にフィルタ本体が装着される有底のフィルタ
ホルダとを有し、フィルタホルダには、一端が外周面に
開口し他端が吸引通路に連通する複数の貫通孔が形成さ
れていることが、好ましい。[0010] In this case, the air filter has a filter main body formed in a cylindrical shape, and a bottomed filter holder that is hermetically mounted on the inner cylindrical portion on the inner peripheral surface and the filter main body is mounted on the outer peripheral surface. Preferably, the filter holder has a plurality of through-holes, one end of which is open to the outer peripheral surface and the other end of which is in communication with the suction passage.
【0011】この構成によれば、ヘッド本体の下端部に
おいて、その内筒部の外周面にフィルタ本体が位置する
ため、フィルタの有効面積は吸引通路の断面積ではな
く、複数の貫通孔の総断面積となり、有効面積を大きく
とることができる。このため、吸引性能の低下を抑制す
ることがてきると共に、フィルタの寿命を延ばすことが
できる。According to this configuration, since the filter main body is located at the lower end of the head main body on the outer peripheral surface of the inner cylindrical portion, the effective area of the filter is not the sectional area of the suction passage but the total area of the plurality of through holes. It becomes a cross-sectional area, and the effective area can be increased. For this reason, a decrease in suction performance can be suppressed, and the life of the filter can be extended.
【0012】この場合、フィルタホルダの外周面には、
複数の貫通孔に連なる環状溝が形成されていることが、
好ましい。In this case, on the outer peripheral surface of the filter holder,
That an annular groove connected to a plurality of through holes is formed,
preferable.
【0013】この構成によれば、フィルタの有効面積
が、複数の貫通孔を含む環状溝の表面積となり、より一
層有効面積を大きくすることができる。言い替えれば、
フィルタのほぼ表面全域を防塵のために有効に活用する
ことができ、より一層フィルタの寿命を延ばすことがで
きる。According to this configuration, the effective area of the filter becomes the surface area of the annular groove including the plurality of through holes, and the effective area can be further increased. In other words,
Almost the entire surface of the filter can be effectively used for dust prevention, and the life of the filter can be further extended.
【0014】また、本発明の電子部品装着装置は、請求
項1ないし4のいずれかに記載の電子部品の装着ヘッド
を備えた電子部品装着装置であって、装着ヘッドを移動
させるヘッド移動機構と、エアーフィルタを保持可能に
構成されると共に、吸着ノズルを離脱させた装着ヘッド
に相対的に接近し装着ヘッドに対しエアーフィルタを着
脱させるフィルタ着脱機構とを有することを特徴とす
る。According to another aspect of the present invention, there is provided an electronic component mounting apparatus including the electronic component mounting head according to any one of claims 1 to 4, wherein the head moving mechanism moves the mounting head. And a filter attachment / detachment mechanism configured to be capable of holding the air filter and relatively approaching the attachment head from which the suction nozzle has been detached, and attaching / detaching the air filter to / from the attachment head.
【0015】この構成によれば、フィルタ着脱機構にエ
アーフィルタを保持させておいて、これに吸着ノズルを
離脱させた装着ヘッドに相対的に接近させることで、エ
アーフィルタを自動で装着(交換)することができる。
もちろん、フィルタ着脱機構のエアーフィルタを保持可
能部分を複数設ければ、エアーフィルタの自動交換も可
能になる。すなわち、装置の稼働を停止させることな
く、エアーフィルタの交換が可能になる。According to this configuration, the air filter is automatically mounted (replaced) by holding the air filter in the filter attaching / detaching mechanism and relatively approaching the mounting head from which the suction nozzle has been detached. can do.
Of course, if a plurality of portions of the filter attaching / detaching mechanism capable of holding the air filter are provided, the air filter can be automatically replaced. That is, the air filter can be replaced without stopping the operation of the device.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明の一実施形態に係る電子部品の吸着ノズルを搭載した
電子部品装着装置について説明する。この電子部品装着
装置は、いわゆる多機能チップマウンタであり、チップ
コンデンサやチップ抵抗などの表面実装部品、およびフ
ラットパックICなどの多リード部品などの各種の電子
部品を実装可能に構成されている。図1は電子部品装着
装置の平面図であり、同図に示すように、この電子部品
装着装置1は、供給された電子部品を基板に装着する装
着装置本体2と、装着装置本体2に表面実装部品などの
小さな電子部品を供給する第1部品供給装置3と、装着
装置本体2に多リード部品などの大きな電子部品を供給
する第2部品供給装置4とを備えている。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view showing an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. This electronic component mounting apparatus is a so-called multifunctional chip mounter, and is configured to mount various electronic components such as surface mount components such as chip capacitors and chip resistors, and multi-lead components such as flat pack ICs. FIG. 1 is a plan view of an electronic component mounting apparatus. As shown in FIG. 1, the electronic component mounting apparatus 1 includes a mounting apparatus main body 2 for mounting a supplied electronic component on a substrate, and a surface mounted on the mounting apparatus main body 2. A first component supply device 3 for supplying small electronic components such as mounted components and a second component supply device 4 for supplying large electronic components such as multi-lead components to the mounting device body 2 are provided.
【0017】装着装置本体2は、機台5と、機台5の中
央部にセットテーブル7を有する基板搬送機構6と、1
個または2個の装着ヘッド9を搭載したXYステージ8
とを備えている。XYステージ8の作動により、装着ヘ
ッド9が第1部品供給装置3または第2部品供給装置4
に臨んで電子部品をピックアップし、この電子部品を更
にセットテーブル7上にセットされた基板に装着する。
この動作を繰り返して基板への電子部品の装着が完了す
ると、基板は基板搬送機構6により、その搬送路10上
を先方に送り出され、これに代わって新たな基板がセッ
トテーブル7に導入される。The mounting apparatus main body 2 includes a machine base 5, a substrate transport mechanism 6 having a set table 7 in the center of the machine base 5,
XY stage 8 with one or two mounting heads 9
And The operation of the XY stage 8 causes the mounting head 9 to move the first component supply device 3 or the second component supply device 4.
Then, the electronic component is picked up and mounted on a board set on the set table 7.
When the mounting of the electronic components on the board is completed by repeating this operation, the board is sent out on the transfer path 10 by the board transfer mechanism 6, and a new board is introduced into the set table 7 instead. .
【0018】第1部品供給装置3は、カセット形式のテ
ープフィーダ11を多数、横並びに配設したものであ
り、部品供給側の先端部が搬送路10に平行な機台5の
一の辺に臨むように、すなわち装着ヘッド9のピックア
ップ領域に臨むように配設されている。各テープフィー
ダ11には、キャリアテープ(図示では省略)に装填さ
れた状態で電子部品が収容され、電子部品はテープフィ
ーダ11の先端から1つずつ供給される。The first component supply device 3 has a large number of cassette-type tape feeders 11 arranged side by side. The leading end of the component supply side is located on one side of the machine base 5 parallel to the transport path 10. The mounting head 9 is provided so as to face the pickup area of the mounting head 9. Each of the tape feeders 11 accommodates electronic components while being loaded on a carrier tape (not shown), and the electronic components are supplied one by one from the leading end of the tape feeder 11.
【0019】第2部品供給装置4は、第1部品供給装置
3が臨む機台5の1の辺に直角に交わる他の1の辺に配
設されている。第2部品供給装置4では、多数個の電子
部品をトレイの上に整列配置し、更にこのトレイを1個
または複数個、パレットPに搭載し、このパレットPを
第1部品供給装置3とセットテーブル7との間のピック
アップ位置に臨ませることで、電子部品を装着装置本体
2に供給する。The second component supply device 4 is disposed on one other side of the machine base 5 facing the first component supply device 3 at right angles to one side thereof. In the second component supply device 4, a large number of electronic components are arranged and arranged on a tray, and one or more trays are mounted on a pallet P, and the pallet P is set with the first component supply device 3. The electronic component is supplied to the mounting apparatus main body 2 by facing the pickup position between the table 7.
【0020】一方、装着ヘッド9の下端部には、電子部
品を吸着する吸着ノズル12が着脱自在に装着されてお
り、吸着ノズル12は、電子部品の平面形状や重量など
に対応して交換できるようになっている。この場合、交
換のための吸着ノズル12は、機台5の上面に配設した
ノズルストッカ13に収容されており、ノズルストッカ
13には装着姿勢に保持された複数種の吸着ノズル12
が横並びにセットされている。また、ノズルストッカ1
3に隣接して、後述するエアーフィルタ16をストック
するフィルタストッカ14が配設されいる。On the other hand, at the lower end of the mounting head 9, a suction nozzle 12 for sucking an electronic component is detachably mounted, and the suction nozzle 12 can be replaced according to the planar shape and weight of the electronic component. It has become. In this case, the suction nozzles 12 for replacement are accommodated in a nozzle stocker 13 arranged on the upper surface of the machine base 5, and the nozzle stocker 13 has a plurality of types of suction nozzles 12 held in the mounting posture.
Are set side by side. In addition, nozzle stocker 1
A filter stocker 14 for storing an air filter 16 described below is disposed adjacent to the filter stocker 3.
【0021】次に、図2を参照して、上記のエアーフィ
ルタ16を搭載した装着ヘッド9について、詳細に説明
する。同図に示すように、装着ヘッド9は、軸芯に吸引
通路31を形成したヘッド本体15と、軸芯にノズル孔
32を形成した吸着ノズル12と、吸着ノズル12の基
部33により隠ぺいされるようにしてヘッド本体15の
下端部に装着されたエアーフィルタ16とで、構成され
ている。吸着ノズル12は装着ヘッド9に気密に装着さ
れており、この状態で吸着ノズル12のノズル孔32と
ヘッド本体15の吸引通路31とは、エアーフィルタ1
6を介して連通している。また、吸引通路31の下流端
は、真空管路を介して真空吸引装置に連通している(い
ずれも図示省略)。Next, the mounting head 9 equipped with the air filter 16 will be described in detail with reference to FIG. As shown in the figure, the mounting head 9 is concealed by a head body 15 having a suction passage 31 formed in the shaft, a suction nozzle 12 having a nozzle hole 32 formed in the shaft, and a base 33 of the suction nozzle 12. The air filter 16 is attached to the lower end of the head main body 15 as described above. The suction nozzle 12 is airtightly mounted on the mounting head 9, and in this state, the nozzle hole 32 of the suction nozzle 12 and the suction passage 31 of the head main body 15 are separated by the air filter 1.
6. The downstream end of the suction passage 31 communicates with a vacuum suction device via a vacuum pipe (both are not shown).
【0022】ヘッド本体15は、軸芯に上記の吸引通路
31を形成した段付きの管状部材34と、管状部材34
の下部外面に取り付けた把持機構35とから成り、把持
機構35は、管状部材34に固定した支持ブロック36
と、支持ブロック36に回動自在に支持された左右一対
の把持アーム37,37とで構成されている。支持ブロ
ック36の下半部は円錐台形状にくり貫かれており、こ
のくり貫かれた部分の周壁(外周部)38の内周面が、
吸着ノズル12が気密に嵌合する部位となっている。ま
た、このくり貫かれた部分の中央には、薄肉に形成した
管状部材34の下端部が突出しており、この突出部位
(内周部)39の内部が吸引通路31の下流端部となる
と共に、外周面がエアーフィルタ16の装着部位となっ
ている。すなわち、上記の周壁38とこの突出部位39
との間に構成される空間に、吸着ノズル12の基部33
とエアーフィルタ16とが収容されるように、構成され
ている。The head main body 15 includes a stepped tubular member 34 having the above-described suction passage 31 formed in the axis thereof, and a tubular member 34.
And a holding mechanism 35 attached to a lower outer surface of the tubular member 34. The holding mechanism 35 includes a support block 36 fixed to the tubular member 34.
And a pair of left and right gripping arms 37, 37 rotatably supported by the support block 36. The lower half of the support block 36 is hollowed out in a truncated cone shape, and the inner circumferential surface of the circumferential wall (outer circumferential portion) 38 of the hollowed out portion is
The suction nozzle 12 is a portion where the suction nozzle 12 is fitted airtightly. At the center of this hollowed portion, the lower end of a thin-walled tubular member 34 protrudes, and the inside of this protruding portion (inner peripheral portion) 39 becomes the downstream end of the suction passage 31. The outer peripheral surface is a mounting portion of the air filter 16. That is, the peripheral wall 38 and the projecting portion 39
And the base 33 of the suction nozzle 12
And the air filter 16 are accommodated.
【0023】各把持アーム37は、その上下の中間部で
ピン40を介して支持ブロック36に回動自在に支持さ
れており、上部で支持ブロック36との間に介設した圧
縮ばね41により付勢されることで、下部が吸着ノズル
12側に回動するようになっている。各把持アーム37
の下部には、吸着ノズル12に当接するローラ42が取
り付けられており、圧縮ばね41に付勢された両把持ア
ーム37,37のローラ42,42が、支持ブロック3
6に装着した吸着ノズル12を把持するようになってい
る。この場合、両ローラ42,42は、吸着ノズル12
のネック部43の上斜面部に当接し、吸着ノズル12を
上側に引きつけるようにしてこれを把持している。Each of the gripping arms 37 is rotatably supported by a support block 36 via a pin 40 at an upper and lower intermediate portion thereof, and is attached by a compression spring 41 provided between the support arm 36 and the upper portion. By being urged, the lower part is turned to the suction nozzle 12 side. Each gripping arm 37
A roller 42 abutting on the suction nozzle 12 is attached to a lower portion of the support block 3. The rollers 42 of the two gripping arms 37, 37 urged by the compression spring 41 are attached to the support block 3.
The suction nozzle 12 attached to the nozzle 6 is gripped. In this case, both rollers 42, 42
The suction nozzle 12 is held in contact with the upper slope portion of the neck portion 43 so as to attract the suction nozzle 12 upward.
【0024】吸着ノズル12は、ノズル孔32を拡開形
成した基部33と、基部に下側に連なるネック部43
と、ネック部43の下側に設けた鍔部44と、ネック部
43から鍔部44を貫通して下方に延びるストレート部
45とで構成されている。ストレート部45の下端は電
子部品を吸着する部位であり、鍔部44は吸着ノズル1
2を上記のノズルストッカ13に着座させる部位であ
る。また、ネック部43は上記のように、吸着ノズル1
2が把持機構35によって把持される部位である。The suction nozzle 12 has a base 33 having a nozzle hole 32 formed in an enlarged shape, and a neck 43 connected to the base at a lower side.
And a flange portion 44 provided below the neck portion 43, and a straight portion 45 extending downward from the neck portion 43 through the flange portion 44. The lower end of the straight part 45 is a part for sucking an electronic component, and the flange part 44 is
2 is a part to be seated on the nozzle stocker 13. In addition, the neck 43 is connected to the suction nozzle 1 as described above.
Reference numeral 2 denotes a portion to be gripped by the gripping mechanism 35.
【0025】一方、基部33には、その内側にエアーフ
ィルタ16を収容すると共に、エアーフィルタ16を介
してヘッド本体15の吸引通路31に連なるチャンバ部
46が形成され、外周面に支持ブロック36の周壁38
の内周面に密着するテーパ部が形成されている。すなわ
ち、円錐台形状にくり貫いて形成した周壁38の内周面
と、このテーパ部とは相補形状に形成されており、把持
機構35で上側に引きつけるように吸着ノズル12を把
持すると、この内周面とテーパ部とが密着して、吸着ノ
ズル12がヘッド本体15に気密に装着される。On the other hand, the base portion 33 accommodates the air filter 16 inside thereof, and has a chamber portion 46 connected to the suction passage 31 of the head main body 15 through the air filter 16. Peripheral wall 38
Is formed on the inner peripheral surface thereof. That is, the inner peripheral surface of the peripheral wall 38 formed so as to penetrate into a truncated cone shape and this tapered portion are formed in a complementary shape. The suction nozzle 12 is airtightly mounted on the head main body 15 with the peripheral surface and the tapered portion in close contact with each other.
【0026】エアーフィルタ16は、円筒状に形成した
フィルタ本体51と、外周面にフィルタ本体51を装着
したフィルタホルダ52とで構成されている。フィルタ
ホルダ52は有底のキャップ状に形成され、その内周面
で上記の管状部材34の突出部位39に装着され、外周
面にフィルタ本体51が装着されている。また、フィル
タホルダ52の上部内周面にはOリング53が組み込ま
れており、フィルタホルダ52は突出部位39に気密に
装着されている。なお、Oリング53は突出部位39に
形成した溝に係合することで、エアーフィルタ16の係
止部材を兼ねている。The air filter 16 includes a filter body 51 formed in a cylindrical shape and a filter holder 52 having the filter body 51 mounted on the outer peripheral surface. The filter holder 52 is formed in the shape of a cap with a bottom. The inner peripheral surface of the filter holder 52 is attached to the projecting portion 39 of the tubular member 34, and the filter main body 51 is attached to the outer peripheral surface. An O-ring 53 is incorporated in the upper inner peripheral surface of the filter holder 52, and the filter holder 52 is airtightly mounted on the protruding portion 39. The O-ring 53 also serves as a locking member for the air filter 16 by engaging with a groove formed in the projecting portion 39.
【0027】さらに、フィルタホルダ52の上下中間部
には複数個の貫通孔54が形成され、この複数個の貫通
孔54は、突出部位39に形成した複数個の小孔39a
に連通している。この場合、複数個の貫通孔54および
複数個の小孔39aは、それぞれ周方向に等間隔に配設
されている。また、フィルタホルダ52の外周面には、
複数個の貫通孔54を結ぶ環状溝55が形成されてい
る。この構成では、チャンバ部46の吸引エアーは、フ
ィルタ本体51を通過すると共に、環状溝55、貫通孔
54および小孔39aを通って吸引通路31に流れる。
なお、図中の符号56は、フィルタホルダ52の下端に
形成した掛止め突起である(詳細は後述する)。Further, a plurality of through holes 54 are formed in the upper and lower middle portions of the filter holder 52, and the plurality of through holes 54 are formed in a plurality of small holes 39 a formed in the projecting portion 39.
Is in communication with In this case, the plurality of through holes 54 and the plurality of small holes 39a are respectively arranged at equal intervals in the circumferential direction. In addition, on the outer peripheral surface of the filter holder 52,
An annular groove 55 connecting the plurality of through holes 54 is formed. In this configuration, the suction air in the chamber portion 46 passes through the filter main body 51 and flows into the suction passage 31 through the annular groove 55, the through hole 54, and the small hole 39a.
Reference numeral 56 in the figure denotes a locking projection formed at the lower end of the filter holder 52 (details will be described later).
【0028】次に、図3、図4および図5を参照して、
エアーフィルタ16の交換(装着)手順について説明す
る。装着ヘッド9は、上記のXYステージ8に搭載した
ヘッド昇降機構(ヘッド移動機構)21に支持されてお
り、ヘッド昇降機構21により昇降される。一方、エア
ーフィルタ16は、上記のフィルタストッカ14に設け
たフィルタ着脱機構22にセットされている。これらの
図では、交換用のエアーフィルタ16aをセットしたも
のと、使用済みエアーフィルタ16bを装着ヘッド9か
ら受け取るものとの、2つのフィルタ着脱機構22,2
2が設けられている。Next, referring to FIG. 3, FIG. 4 and FIG.
A procedure for replacing (mounting) the air filter 16 will be described. The mounting head 9 is supported by a head elevating mechanism (head moving mechanism) 21 mounted on the XY stage 8, and is moved up and down by the head elevating mechanism 21. On the other hand, the air filter 16 is set in a filter attaching / detaching mechanism 22 provided in the filter stocker 14. In these figures, two filter attaching / detaching mechanisms 22 and 2 are provided, one in which a replacement air filter 16a is set and the other in which a used air filter 16b is received from the mounting head 9.
2 are provided.
【0029】各フィルタ着脱機構22は、エアーフィル
タ16をセットするセット台23と、エアーフィルタ1
6の掛止め突起56に係止してこれを挟持する挟持爪2
4と、挟持爪25を係止および係止解除動作させる駆動
部25とで構成されている。また、ヘッド昇降機構21
およびフィルタ着脱機構22はコントローラ26に接続
されており、コントローラ26は、両機構21,22の
駆動を制御してエアーフィルタ12を自動で交換する
(詳細は後述する)。Each filter attachment / detachment mechanism 22 includes a set table 23 on which the air filter 16 is set, and an air filter 1
6 which are engaged with the retaining projections 56 of the retaining member 6 and retain the retaining projections 56.
4 and a driving unit 25 for locking and releasing the holding claws 25. Also, the head lifting mechanism 21
The filter attaching / detaching mechanism 22 is connected to a controller 26. The controller 26 controls the driving of both mechanisms 21 and 22 to automatically replace the air filter 12 (details will be described later).
【0030】図3は、使用済みのエアーフィルタ16b
を離脱させる動作を表している。この場合吸着ヘッド9
は、既にその吸着ノズル12をノズルストッカ13上に
解放している。図示右側のフィルタ着脱機構22にはエ
アーフィルタ16aがセットされているが、左側のフィ
ルタ着脱機構22にはエアーフィルタ16がセットされ
ていない。また、右側のフィルタ着脱機構22の挟持爪
24が係止状態にあり、左側のフィルタ着脱機構22の
挟持爪24が係止解除状態にある。FIG. 3 shows the used air filter 16b.
Represents an operation of leaving the. In this case, the suction head 9
Has already released the suction nozzle 12 above the nozzle stocker 13. The air filter 16a is set in the filter attaching / detaching mechanism 22 on the right side in the figure, but the air filter 16 is not set in the filter attaching / detaching mechanism 22 on the left side. Further, the holding claws 24 of the right filter attaching / detaching mechanism 22 are in the locked state, and the holding claws 24 of the left filter attaching / detaching mechanism 22 are in the unlocked state.
【0031】この状態から装着ヘッド9が左側のフィル
タ着脱機構22に上側から接近し、エアーフィルタ16
bがセット台23に突き当たる(実際には直前で停止)
と、装着ヘッド9の下降が停止する同時に挟持爪24が
掛止め突起56を挟持するようにして係止動作する。次
に、装着ヘッド9が上昇して、エアーフィルタ16bを
セット台23上に置き去る。続いて、図4に示すよう
に、装着ヘッド9が右側のフィルタ着脱機構22の直上
部まで移動した後、再度下降する。この下降により、装
着ヘッド9の突出部位39がエアーフィルタ16aに深
く挿入されると、装着ヘッド9が停止すると同時に挟持
爪24が係止解除動作する。このようにして、装着ヘッ
ド9にエアーフィルタ16aが装着されると、図5に示
すように、装着ヘッド9が、再度上昇し続いて吸着ノズ
ル12を取りに行く。From this state, the mounting head 9 approaches the left filter attaching / detaching mechanism 22 from above, and the air filter 16
b hits the set table 23 (actually stops immediately before)
At the same time, the lowering of the mounting head 9 stops, and at the same time, the holding claw 24 performs the locking operation so as to hold the locking projection 56. Next, the mounting head 9 is raised, and the air filter 16b is left on the set table 23. Subsequently, as shown in FIG. 4, the mounting head 9 moves to a position immediately above the filter attaching / detaching mechanism 22 on the right side, and then descends again. When the protruding portion 39 of the mounting head 9 is deeply inserted into the air filter 16a by this lowering, the mounting head 9 stops and at the same time, the holding claws 24 perform an unlocking operation. When the air filter 16a is mounted on the mounting head 9 in this manner, the mounting head 9 rises again and continues to pick up the suction nozzle 12, as shown in FIG.
【0032】このように、エアーフィルタ16を吸着ノ
ズル12と同様に自動で交換することができるので、電
子部品装着装置1の稼働を停止しなくても、エアーフィ
ルタ16の交換を行うことができる。このため、部品装
着の一連の動作の中にエアーフィルタ16の交換動作を
組み入れることができ、この交換動作が部品装着におけ
るタクトタイムに大きな影響を及ぼすことがなくなる。
また、自動交換の為の構造を単純化することができる。As described above, since the air filter 16 can be automatically replaced similarly to the suction nozzle 12, the air filter 16 can be replaced without stopping the operation of the electronic component mounting apparatus 1. . For this reason, the replacement operation of the air filter 16 can be incorporated into a series of component mounting operations, and this replacement operation does not significantly affect the tact time in component mounting.
Further, the structure for automatic replacement can be simplified.
【0033】また、エアーフィルタ16を吸着ノズル1
2の装着部であるヘッド本体15の下端部に設けるよう
にしているため、その着脱を簡単に行うことができると
共に、吸着ノズル12に設ける場合のようにエアーフィ
ルタ16や吸着ノズル12の管理が複雑になることがな
い。また、ヘッド本体15の吸引通路31や真空吸引装
置に至る真空管路などに、塵埃か付着したり詰まったり
することがなく、吸引性能の低下も防止することができ
る。一方、エアーフィルタ16のフィルタ本体51を、
突出部位39の外周面に配設するようにしているため、
フィルタ本体51の有効面積を広くとることができる。The air filter 16 is connected to the suction nozzle 1
2 is provided at the lower end of the head body 15, which is the mounting portion, so that the head body 15 can be easily attached and detached, and the management of the air filter 16 and the suction nozzle 12 as in the case where the suction filter 12 is provided. It doesn't get complicated. In addition, dust does not adhere to or clog the suction passage 31 of the head main body 15 or a vacuum conduit leading to the vacuum suction device, and a reduction in suction performance can be prevented. On the other hand, the filter body 51 of the air filter 16 is
Because it is arranged on the outer peripheral surface of the projecting portion 39,
The effective area of the filter body 51 can be widened.
【0034】なお、エアーフィルタを、自動ではなく手
動で着脱(交換)させるようにしてもよい。また、エア
ーフィルタの交換は、時間、日数、週数、月数などを基
準にして定期的に行うようにしてもよいし、例えば真空
吸引装置側に設けた真空度検出センサの検出値に基づい
て、行うようにしてもよい。さらに、本発明は、従来技
術に記載の高速チップマウンタの装着ヘッドにも適用可
能である。The air filter may be manually attached and detached (replaced) instead of automatically. The replacement of the air filter may be performed periodically based on time, days, weeks, months, and the like, or may be performed based on, for example, a detection value of a vacuum detection sensor provided on the vacuum suction device side. May be performed. Further, the present invention is also applicable to a mounting head of a high-speed chip mounter described in the prior art.
【0035】[0035]
【発明の効果】以上のように本発明の装着ヘッドによれ
ば、エアーフィルタ自体の管理が容易になると共にこれ
を簡単に交換することができる。また、エアーフィルタ
を除塵の効果が最もよく発揮される位置に設けることが
でき、塵埃を効率良く除去することができる。As described above, according to the mounting head of the present invention, the management of the air filter itself is facilitated and the air filter can be easily replaced. Further, the air filter can be provided at a position where the effect of dust removal is best exhibited, and the dust can be efficiently removed.
【0036】また、本発明の電子部品装着装置によれ
ば、エアーフィルタを自動で交換できるので、交換の手
間および交換の為の時間的なロスを少なくすることがで
きる。Further, according to the electronic component mounting apparatus of the present invention, since the air filter can be automatically replaced, it is possible to reduce the labor and time loss for the replacement.
【図1】本発明の一実施形態に係る装着ヘッドを搭載し
た電子部品装着装置の平面図である。FIG. 1 is a plan view of an electronic component mounting apparatus on which a mounting head according to an embodiment of the present invention is mounted.
【図2】実施形態に係る装着ヘッドの断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the mounting head according to the embodiment.
【図3】自動によるエアーフィルタの交換手順(1)を
表した断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an automatic air filter replacement procedure (1).
【図4】自動によるエアーフィルタの交換手順(2)を
表した断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating an automatic air filter replacement procedure (2).
【図5】自動によるエアーフィルタの交換手順(3)を
表した断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing an automatic air filter replacement procedure (3).
1 電子部品装着装置 2 装着本体 9 装着ヘッド 12 吸着ノズル 14 フィルタストッカ 15 ヘッド本体 16 エアーフィルタ 21 ヘッド昇降装置 22 フィルタ着脱装置 31 吸引通路 32 ノズル孔 33 基部 38 周壁 39 突出部位 51 フィルタ本体 52 フィルタホルダ 54 貫通孔 55 環状溝 REFERENCE SIGNS LIST 1 electronic component mounting device 2 mounting main body 9 mounting head 12 suction nozzle 14 filter stocker 15 head main body 16 air filter 21 head lifting / lowering device 22 filter attaching / detaching device 31 suction passage 32 nozzle hole 33 base 38 peripheral wall 39 projecting portion 51 filter main body 52 filter holder 54 through hole 55 annular groove
Claims (5)
と、当該ヘッド本体の下端部に着脱自在に装着され軸芯
に前記吸引通路に連通するノズル孔を形成した吸着ノズ
ルとを備えた電子部品の装着ヘッドにおいて、 前記吸引通路の上流端部にエアーフィルタを着脱自在に
設けたことを特徴とする電子部品の装着ヘッド。1. An electronic component comprising: a head main body having a suction passage formed therein; and a suction nozzle detachably mounted at a lower end portion of the head main body and having a nozzle hole formed in a shaft and communicating with the suction passage. The mounting head according to claim 1, wherein an air filter is detachably provided at an upstream end of the suction passage.
路の上流端部を形成した内筒部と、前記吸着ノズルの基
部が装着される外筒部とを有し、 前記エアーフィルタは前記内筒部に装着されていること
を特徴とする請求項1に記載の電子部品の装着ヘッド。2. A lower end portion of the head main body has an inner cylindrical portion forming an upstream end portion of the suction passage, and an outer cylindrical portion to which a base of the suction nozzle is mounted. 2. The mounting head for an electronic component according to claim 1, wherein the mounting head is mounted on an inner cylindrical portion.
たフィルタ本体と、内周面で前記内筒部に気密に装着さ
れ、外周面にフィルタ本体が装着される有底のフィルタ
ホルダとを有し、 前記フィルタホルダには、一端が前記外周面に開口し他
端が前記吸引通路に連通する複数の貫通孔が形成されて
いることを特徴とする請求項2に記載の電子部品の装着
ヘッド。3. The air filter includes a filter body formed in a cylindrical shape, and a bottomed filter holder that is hermetically mounted on the inner cylinder portion on an inner peripheral surface and has a filter body mounted on an outer peripheral surface. The mounting of the electronic component according to claim 2, wherein the filter holder has a plurality of through-holes, one end of which is open to the outer peripheral surface and the other end of which is communicated with the suction passage. head.
複数の貫通孔に連なる環状溝が形成されていることを特
徴とする請求項3に記載の電子部品の装着ヘッド。4. The mounting head according to claim 3, wherein an annular groove connected to the plurality of through holes is formed on an outer peripheral surface of the filter holder.
子部品の装着ヘッドを備えた電子部品装着装置であっ
て、 前記装着ヘッドを移動させるヘッド移動機構と、 前記エアーフィルタを保持可能に構成されると共に、前
記吸着ノズルを離脱させた前記装着ヘッドに相対的に接
近し当該装着ヘッドに対し前記エアーフィルタを着脱さ
せるフィルタ着脱機構とを有することを特徴とする電子
部品装着装置。5. An electronic component mounting apparatus comprising the electronic component mounting head according to claim 1, wherein a head moving mechanism for moving the mounting head and the air filter can be held. An electronic component mounting apparatus, comprising: a filter attaching / detaching mechanism configured to relatively approach the mounting head from which the suction nozzle has been detached and to attach / detach the air filter to / from the mounting head.
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