JPH10242630A - Method of loading solder ball, and its device - Google Patents

Method of loading solder ball, and its device

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JPH10242630A
JPH10242630A JP5544697A JP5544697A JPH10242630A JP H10242630 A JPH10242630 A JP H10242630A JP 5544697 A JP5544697 A JP 5544697A JP 5544697 A JP5544697 A JP 5544697A JP H10242630 A JPH10242630 A JP H10242630A
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JP
Japan
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suction head
solder
solder ball
hole
upward
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Application number
JP5544697A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ryohei Kirita
良平 桐田
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Tokyo Electronic Industry Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Electronic Industry Co Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3478Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns

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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a solder ball from being loaded in an unnecessary place by loading the solder ball in the solder bump formation part of a multifunction device, after sucking the solder ball with a downward suction head where a through hole is board in a place which becomes the position of face symmetry with the solder bump formation place of a device. SOLUTION: In an upward suction head 2, a through hole 9 is bored in the same position as the solder bump formation place of a multifunction device, and a solder ball B is dropped into the groove 10 of the through hole 9, and at the same time, the solder ball B dropped in the groove 10 is retained by sucking it from the through hole 9. Then, the solder balls lying in a place other than the groove 10 are eliminated to the place other than the upward suction head 2 by blowing the topside of the upward suction head 2 with a jet nozzle 15. Next, the downward suction head 3 is brought close to the upward suction head 2, and corresponding through holes 9 and 18 are severally accorded with each other. This way, the solder ball B is loaded in the solder bump loading place, being suck by the through hole 18 of the downward suction head 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の基板や
半導体素子に微小なソルダボールを搭載する方法および
装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for mounting minute solder balls on a substrate or a semiconductor element of an electronic component.

【0002】[0002]

【従来の技術】近時、電子機器は高機能化とともに小型
で軽量化が図られるようになってきた。そのため、該電
子機器に使用される電子部品も小型化、多機能化が要求
されるようになってきている。一昔前の多機能電子部品
であるSOPやQFP等はパッケージの両側面、或は四
側面に多数のリードが設置されたものであった。しかし
ながら側面にリードを設置したものは側面の大きさによ
りリードの設置数も決まってしまうものであり、それ以
上の多機能化は期待できなかった。
2. Description of the Related Art In recent years, electronic devices have become smaller and lighter with higher functionality. For this reason, electronic components used in such electronic devices are also required to be reduced in size and multifunctional. A long ago ago, multifunctional electronic components such as SOP and QFP had a large number of leads on both sides or four sides of the package. However, when a lead is provided on the side surface, the number of leads to be provided is determined by the size of the side surface, and further multifunctionality cannot be expected.

【0003】そこで最近では、より小型化、多機能化を
可能にしたBGAやCSP等という電子部品(以下、多
機能デバイスという)が使用されるようになってきた。
これら多機能デバイスは、半導体素子を基板に装着する
基板の裏面に格子状に多数の電極が形成されたものであ
る。多機能デバイスをプリント基板に実装する場合は、
多機能デバイスの電極とプリント基板のランドとをはん
だで接合する。
[0003] Recently, electronic components such as BGA and CSP (hereinafter, referred to as multifunctional devices) which have been made smaller and more multifunctional have been used.
These multifunctional devices have a large number of electrodes formed in a grid on the back surface of a substrate on which a semiconductor element is mounted. When mounting a multi-function device on a printed circuit board,
The electrodes of the multifunction device and the lands of the printed circuit board are joined by solder.

【0004】一般に電子部品とプリント基板のはんだ付
けでは、はんだを別途供給しながらはんだ付けを行うも
のであるが、多機能デバイスでは電極があまりにも多
く、しかもはんだ付け部がプリント基板と多機能デバイ
ス間にあるため、はんだ付け時に別途はんだを供給しな
がらはんだ付けするのでは生産性がよくないばかりでな
く、全ての電極にはんだを完全に付着させることが困難
になるという信頼性の面で問題が生じる。
In general, in soldering an electronic component and a printed circuit board, soldering is performed while separately supplying solder. However, in a multifunctional device, there are too many electrodes, and furthermore, a soldering portion is formed between the printed circuit board and the multifunctional device. Since there is a gap between them, soldering while supplying solder separately during soldering not only results in poor productivity, but also makes it difficult to completely apply the solder to all the electrodes. Occurs.

【0005】そのため多機能デバイスでは基板の電極に
予めはんだを付着させたソルダバンプを形成しておき、
多機能デバイスとプリント基板のはんだ付け時に該ソル
ダバンプではんだ付けすることが行われている。
[0005] Therefore, in a multifunctional device, solder bumps to which solder is previously adhered are formed on the electrodes of the substrate,
When soldering a multifunctional device and a printed circuit board, soldering is performed with the solder bumps.

【0006】この多機能デバイスのソルダバンプの形成
にはソルダボールが用いられている。ソルダボールはソ
ルダバンプ形成箇所と面対称位置にソルダボールよりも
小径の貫通孔が穿設された吸着ヘッドにソルダボールを
吸着させ、該吸着ヘッドを多機能デバイスに移動させて
ソルダボールをソルダバンプに搭載するものであった。
[0006] Solder balls are used for forming solder bumps of this multifunctional device. Solder balls are adsorbed to a suction head with a through hole with a smaller diameter than the solder ball at the position symmetrical to the solder bump formation point and moved to a multi-function device, and the solder ball is mounted on the solder bump Was to do.

【0007】従来のソルダボールの搭載方法としては、
浮遊法、ピンノズル吸着法、振動法回転法、等があっ
た。
[0007] Conventional solder ball mounting methods include:
There were a floating method, a pin nozzle adsorption method, a vibration method rotation method, and the like.

【0008】浮遊法とは、ソルダボールを多数収納した
容器の上に上記の吸着ヘッドを被せ、容器の下部から気
体を吹き出させてソルダボールを容器内で浮遊させる。
そして吸着ヘッドの貫通孔から気体を吸い込むことによ
り容器内で浮遊していたソルダボールを貫通孔に吸着さ
せる方法である。(参照:特開平4−65130、同7
−122801、同8−153958、同8−2649
30号公報)
In the floating method, the suction head is put on a container containing a large number of solder balls, and gas is blown out from the lower part of the container to float the solder balls in the container.
In this method, the solder balls floating in the container are sucked into the through holes by sucking gas from the through holes of the suction head. (Reference: JP-A-4-65130, 7)
-122801, 8-153958, 8-2-2649
No. 30)

【0009】ピンノズル吸着法とは、吸着ヘッドの貫通
孔に円筒状のピンが設置されたものを使用し、ピンを容
器内に挿入して、ピンの先端にソルダボールを吸着させ
る方法である。(参照:特開平7−202400、同7
−307340、同8−66766号公報)
The pin nozzle suction method is a method in which a cylindrical pin is installed in a through hole of a suction head, the pin is inserted into a container, and a solder ball is sucked to the tip of the pin. (Reference: JP-A-7-202400, 7
307340, 8-66766)

【0010】振動法とは、ソルダボールを収納した容器
を振動させ、容器内で移動しているソルダボールを吸着
ヘッドで吸着する方法である。(参照:特開平8−16
2493、同8−162494、同8−162495号
公報)
[0010] The vibration method is a method in which a container containing solder balls is vibrated, and the solder balls moving in the container are sucked by a suction head. (Reference: JP-A-8-16)
2493, 8-162494 and 8-162495)

【0011】そして回転法とは、ソルダボールを収納し
た容器の上を吸着ヘッドで覆い、容器と吸着ヘッドをと
もに回転させ、貫通孔が上向きになったときにソルダボ
ールを吸着面に乗せ、そのときに貫通孔にソルダボール
を吸着させる方法である。(参照:特開平8−2559
97号公報)
[0011] The rotation method is to cover the container containing the solder balls with a suction head, rotate the container and the suction head together, and place the solder ball on the suction surface when the through hole faces upward. This is a method in which a solder ball is sometimes adsorbed to a through hole. (Reference: JP-A-8-2559)
No. 97)

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】ところで上記従来のソ
ルダボールの搭載方法では、吸着ヘッドの貫通孔を下向
きにして下方からソルダボールを吸着させるにもかかわ
らず、貫通孔以外の不必要な部分にソルダボールが付着
してしまうことがあった。従って、吸着ヘッドの不必要
な部分に付着したソルダボールがそのまま多機能デバイ
スに運ばれてソルダバンプ形成箇所以外のところにソル
ダボールが搭載され、短絡や絶縁不良を起こすことが往
々にしてあった。
In the conventional solder ball mounting method described above, though the solder ball is sucked from below with the through hole of the suction head facing downward, the solder ball is attached to an unnecessary portion other than the through hole. Solder balls sometimes adhered. Therefore, the solder ball adhered to an unnecessary portion of the suction head is carried to the multifunctional device as it is, and the solder ball is mounted at a place other than the solder bump forming portion, and a short circuit or insulation failure often occurs.

【0013】吸着ヘッドの貫通孔が下向きであるなら
ば、吸引を行っている貫通孔以外の部分ではソルダボー
ル自体の重量でソルダボールが下方に落下するはずであ
るが、実際には貫通孔以外の部分にも付着している。本
発明者が吸着ヘッドの下向きの貫通孔以外の部分にソル
ダボールが付着する原因について鋭意検討を加えた結
果、ソルダボールに静電気が帯電しているためであるこ
とが判明した。つまり、多機能デバイスに使用されるソ
ルダボールは、直径が1mm以下(現在主流は直径が0.
76mm)の微小径であるため、重量が軽く、少しの静電
気の帯電でも吸着ヘッドに容易に付着してしまうもので
ある。最近ではソルダボールの直径が0.3mm、0.2
mm、0.1mmのようにさらに微小径となってきており、
吸着ヘッドの不必要な部分への付着がより多く発生して
いる。
If the through-hole of the suction head is downward, the solder ball should drop downward due to the weight of the solder ball itself in portions other than the through-hole where suction is performed. Is also attached to the part. The inventor of the present invention has made intensive studies on the cause of the solder ball adhering to portions other than the downward through hole of the suction head, and as a result, it has been found that the cause is that the solder ball is charged with static electricity. In other words, the diameter of a solder ball used for a multifunctional device is 1 mm or less (currently, the diameter is 0.3 mm or less).
Since it has a small diameter of 76 mm), it is light in weight and easily adheres to the suction head even with a small amount of electrostatic charge. Recently, the diameter of solder balls is 0.3mm, 0.2
mm, 0.1 mm
More adhesion to unnecessary parts of the suction head has occurred.

【0014】ソルダボールの搭載方法で吸着ヘッドを使
用する場合、吸着ヘッドの周りのソルダボールの数を少
なくすれば吸着ヘッドの貫通孔以外の部分に付着するソ
ルダボールも少なくなることが考えられ、特開平8−2
64930号公報では少量のソルダボールを用いること
が提案されている。この方法は、先ず電子部品へのソル
ダボール搭載数よりも多い貫通孔が穿設されたトレーを
貫通孔が上向きとなるようにして置き、該貫通孔にソル
ダボールを吸着させ、貫通孔以外の部分にあるソルダボ
ールをスキージで排除する。次に、電子部品のソルダバ
ンプ形成箇所と面対称の位置に貫通孔が穿設された吸着
ヘッドを下向きにしてトレーから少し離して置く。そし
て吸着ヘッドの貫通孔から気体を噴出させてトレーの貫
通孔にあったソルダボールを浮遊させ、この浮遊したソ
ルダボールを吸着ヘッドの貫通孔で吸着するものであ
る。この少ないソルダボールを使用する方法も、トレー
に吸着させるソルダボールの数が多機能デバイスに搭載
するソルダボールの数よりも多いため、ソルダボールが
帯電していれば当然吸着ヘッドの不必要な箇所に付着し
てしまうものである。
When the suction head is used in the method of mounting the solder balls, it is considered that if the number of solder balls around the suction head is reduced, the number of solder balls adhering to portions other than the through holes of the suction head is also reduced. JP-A-8-2
Japanese Patent No. 64930 proposes to use a small amount of solder balls. In this method, first, a tray provided with a larger number of through holes than the number of solder balls mounted on an electronic component is placed so that the through holes face upward, and the solder balls are sucked into the through holes, and other than the through holes, Use a squeegee to remove the solder balls in the area. Next, the suction head having a through hole formed at a position symmetrical with the solder bump forming portion of the electronic component is placed downward and slightly away from the tray. Then, a gas is blown out from the through hole of the suction head to float the solder ball in the through hole of the tray, and the floating solder ball is sucked by the through hole of the suction head. In the method using this small amount of solder balls, the number of solder balls to be attracted to the tray is larger than the number of solder balls to be mounted on the multi-function device. Will adhere to the surface.

【0015】本発明は、ソルダボールが静電気を帯電し
ていても多機能デバイスのソルダバンプ形成箇所以外に
は絶対にソルダボールが搭載されないというソルダボー
ルの搭載方法および装置を提供することにある。
It is an object of the present invention to provide a solder ball mounting method and a solder ball mounting method in which a solder ball is never mounted except at a solder bump forming portion of a multifunctional device even if the solder ball is charged with static electricity.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】本発明者は、吸着ヘッド
の貫通孔に吸着させるソルダボールを多機能デバイスの
ソルダバンプ形成数と同一にし、吸着ヘッドの貫通孔が
下向きになるようにして(下向き吸着ヘッドという)、
この全てのソルダボールを下向き吸着ヘッドの貫通孔に
完全に吸着させることができれば貫通孔以外のところに
ソルダボールが決して付着せず、また貫通孔が下向き吸
着ヘッドと同一数の吸着ヘッドを貫通孔が上向きになる
ようにして(上向き吸着ヘッドという)ソルダボールを
一旦上向き吸着ヘッドに吸着させてから下向き吸着ヘッ
ドに移行させれば必ず所定の数のソルダボールを確保で
きることに着目して本発明を完成させた。
The inventor of the present invention sets the number of solder balls to be sucked into the through-holes of the suction head to be equal to the number of solder bumps formed in the multifunctional device so that the through-holes of the suction head face downward (downward). Suction head),
If all of the solder balls can be completely sucked into the through holes of the downward suction head, the solder balls will never adhere to the places other than the through holes, and the through holes have the same number of suction heads as the downward suction head. The present invention focuses on the fact that a predetermined number of solder balls can always be secured if the solder balls are once sucked by the upward suction head so that the solder balls are directed upward (referred to as an upward suction head) and then transferred to the downward suction head. Completed.

【0017】本発明は、多機能デバイスのソルダバンプ
形成箇所と一致したとろにソルダボールを配置してお
き、該ソルダボールをデバイスのソルダバンプ形成箇所
と面対称位置となるところに貫通孔が穿設された下向き
吸着ヘッドで吸着した後、ソルダボールを多機能デバイ
スのソルダバンプ形成箇所に搭載することを特徴とする
ソルダボールの搭載方法である。
According to the present invention, a solder ball is arranged at a position corresponding to a solder bump forming portion of a multifunctional device, and a through hole is formed in the solder ball at a position symmetrical with the solder bump forming portion of the device. And mounting the solder ball on the solder bump forming portion of the multi-function device after suction by the downward suction head.

【0018】また、もう一つの発明は、多機能デバイス
のソルダバンプ形成箇所と一致したところに貫通孔が穿
設され、しかも該貫通孔の上部が溝となった上向き吸着
ヘッドの上に多数のソルダボールを乗せ、溝に入ったソ
ルダボールを貫通孔に吸着させる工程;前記上向き吸着
ヘッドの溝以外のところにあるソルダボールを上向き吸
着ヘッド外に排除する工程;前記上向き吸着ヘッドの貫
通孔と面対称位置に貫通孔が穿設された下向き吸着ヘッ
ドを、上向きヘッドと下向きヘッドのそれぞれの対応す
る貫通孔が一致するようにして前記上向き吸着ヘッドに
密着させ、上向き吸着ヘッドの貫通孔から気体を吹き出
させるとともに、下向き吸着ヘッドの貫通孔から吸引し
て上向き吸着ヘッドのソルダボールを下向き吸着ヘッド
に吸着させる工程;ソルダボールを吸着した下向き吸着
ヘッドを多機能デバイスに移動させ、ソルダボールを多
機能デバイスのソルダバンプ形成箇所に搭載させる工
程;からなることを特徴とするソルダボールの搭載方法
である。
Another aspect of the present invention is to provide a multifunctional device, in which a through hole is formed at a position corresponding to a solder bump forming position, and a large number of solders are placed on an upward suction head having a groove at the top of the through hole. Placing the ball and sucking the solder ball in the groove into the through-hole; removing the solder ball outside the groove of the upward suction head out of the upward suction head; through-hole and surface of the upward suction head A downward suction head having a through hole formed in a symmetric position is brought into close contact with the upward suction head such that the corresponding through holes of the upward head and the downward head coincide with each other, and gas is discharged from the through hole of the upward suction head. A step of sucking out the solder balls of the upward suction head to the downward suction head by blowing out and sucking through the through holes of the downward suction head. A method of mounting the solder balls, characterized in that it consists of; the solder ball is moved downward suction head adsorbed multifunctional device, the solder balls step of mounting the solder bump forming portions of multifunction devices.

【0019】さらにもう一つの発明は、本体には上部に
太径の空洞部と下部の細径の摺動部間に傾斜部が形成さ
れ、摺動部には多機能デバイスのソルダバンプ形成箇所
と同一位置に貫通孔を穿設した上向き吸着ヘッドが上下
方向摺動自在に設置されており、また空洞部にはソルダ
ボールを不規則に移動させることのできる攪拌装置が設
置されているとともに、上向き吸着ヘッドの上死点にお
いて上向き吸着ヘッドの上に乗っている不必要なソルダ
ボールを上向き吸着ヘッド外に排除する排除装置が設置
され、さらに上向き吸着ヘッドの上方には上向き吸着ヘ
ッドの貫通孔と面対称の位置に貫通孔を穿設した下向き
ヘッドが移動自在に設置されていることを特徴とするソ
ルダボールの搭載装置である。
Still another aspect of the present invention is that a main body is provided with an inclined portion between a large-diameter hollow portion at an upper portion and a small-diameter sliding portion at a lower portion. An upward suction head with a through hole at the same position is installed slidably in the vertical direction, and a stirrer that can move the solder balls irregularly is installed in the hollow part, and At the top dead center of the suction head, an elimination device that eliminates unnecessary solder balls riding on the upward suction head outside the upward suction head is installed.Further, above the upward suction head, a through hole of the upward suction head is provided. A solder ball mounting device, characterized in that a downward head having a through hole formed at a plane-symmetric position is movably installed.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】本発明のソルダボールの搭載方法
では、多機能デバイスのソルダバンプの数と同一数のソ
ルダボールが多機能デバイスのソルダバンプ形成箇所と
一致したところに予め配置しておき、該ソルダボール全
てを吸着ヘッドで吸着するようにすれば不必要なソルダ
ボールが吸着ヘッドに付着するようなことにはならな
い。必要数のソルダボールを所定の位置に配置するに
は、多機能デバイスのソルダバンプ形成箇所と一致した
ところに貫通孔を有する吸着ヘッド上に配置すれば、ソ
ルダボールが安定し、ソルダボールが足りなくなった
り、不必要な箇所に移動したりするようなことがない。
In the method of mounting solder balls according to the present invention, the same number of solder balls as the number of solder bumps of a multi-function device are arranged in advance at locations where the solder bumps are formed on the multi-function device. If all the solder balls are sucked by the suction head, unnecessary solder balls do not adhere to the suction head. To place the required number of solder balls in a predetermined position, place them on a suction head that has through holes at locations that match the solder bump formation locations of the multi-function device. Or move to unnecessary parts.

【0021】また本発明の搭載方法の下向き吸着ヘッド
に吸着させたソルダボールを多機能デバイスに搭載する
工程において、下向き吸着ヘッドと多機能デバイス間の
ソルダバンプ形成箇所以外の部分にスペーサーを設置す
ると、スペーサーの厚さ以上に下向き吸着ヘッドが下が
らなくなるため、ソルダボールを過剰に押圧して変形さ
せたり、貫通孔内に押し込んだりするようなことがなく
なる。
In the step of mounting the solder ball sucked on the downward suction head of the mounting method of the present invention on a multi-function device, a spacer may be installed in a portion other than the solder bump formation portion between the downward suction head and the multi-function device. Since the downward suction head does not fall below the thickness of the spacer, the solder ball is not excessively deformed by being pressed or pushed into the through hole.

【0022】本発明の搭載装置に使用する吸着ヘッドの
貫通孔は、当然ソルダボールの直径よりも小さいもので
あるが、吸引時にソルダボールを充分に吸引保持できる
程度の直径でなければならない。上向き吸着ヘッドの貫
通孔にはソルダボールが1個収納できる溝を形成してあ
る。
The through hole of the suction head used in the mounting apparatus of the present invention is naturally smaller than the diameter of the solder ball, but must have a diameter that can sufficiently hold the solder ball during suction. A groove for accommodating one solder ball is formed in the through hole of the upward suction head.

【0023】本発明のソルダボールの搭載装置に使用す
る攪拌装置とは、本体内にあるソルダボールを不規則に
移動させることにより、上向き吸着ヘッド上を万遍なく
動かして未侵入の全ての溝内に必ずソルダボールを侵入
させることができるものである。ソルダボールを移動さ
せる攪拌装置としては、気体をランダムに流出させる手
段が適しているが、その他、本体を振動させたり、傾斜
させたりする機械的手段等も採用できることは言うまで
もない。
The stirrer used in the solder ball mounting device of the present invention is a device which moves the solder balls in the main body at random, thereby moving the solder balls uniformly on the upward suction head to thereby make all the grooves which have not penetrated. A solder ball can be made to invade the inside. As a stirrer for moving the solder balls, a means for randomly discharging gas is suitable, but it goes without saying that mechanical means for vibrating or tilting the main body can also be employed.

【0024】また上死点に達した上向き吸着ヘッドの上
にある不必要なソルダボールを排出する装置としては、
圧縮気体を噴出する噴出ノズルや静電ブラシが適してい
る。静電気の帯電力が大きく噴出ノズルでも排除ができ
ないような場合は、静電ブラシが効力を発揮する。
Further, as a device for discharging unnecessary solder balls on the upward suction head reaching the top dead center,
An ejection nozzle for ejecting compressed gas or an electrostatic brush is suitable. When the electrostatic charge is so large that the ejection nozzle cannot be eliminated, the electrostatic brush is effective.

【0025】本発明のソルダボールの搭載装置の上向き
吸着ヘッドと下向き吸着ヘッドに、それぞれガイドピン
とガイド孔のようなガイド装置を設置しておくと、上向
き吸着ヘッドと下向き吸着ヘッドを密着させるときに、
吸着ヘッドがガイド装置に沿って移動するため、それぞ
れの対応する貫通孔を正確に一致させることができる。
If a guide device such as a guide pin and a guide hole is provided on the upward suction head and the downward suction head of the solder ball mounting device of the present invention, respectively, when the upward suction head and the downward suction head are brought into close contact with each other. ,
Since the suction head moves along the guide device, each corresponding through-hole can be accurately matched.

【0026】[0026]

【実施例】以下図面に基づいて本発明を説明する。図1
〜6は本発明のソルダボールの搭載方法を説明する図、
図7〜10は本発明のソルダボールの搭載装置の作動状
態を説明する図である。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. FIG.
6 to 6 are views for explaining a method of mounting a solder ball according to the present invention,
7 to 10 are views for explaining the operating state of the solder ball mounting device of the present invention.

【0027】先ずソルダボールの搭載方法について説明
する。本発明のソルダボールの搭載方法では、図3に示
すように貫通孔が上側にある上向き吸着ヘッド2と貫通
孔18が下側にある下向き吸着ヘッド3を用いる。上向
き吸着ヘッド2にはソルダボールBを搭載する多機能デ
バイスのソルダバンプ形成箇所と同一位置に貫通孔9が
穿設されており、該貫通孔の上部にはソルダボール1個
を充分に収納できる溝10が形成されている。また下向
き吸着ヘッド3には前記上向き吸着ヘッド2と面対称の
位置に貫通孔18が穿設されている。
First, a method of mounting a solder ball will be described. In the solder ball mounting method of the present invention, as shown in FIG. 3, an upward suction head 2 having a through hole on the upper side and a downward suction head 3 having a through hole 18 on the lower side are used. A through hole 9 is formed in the upward suction head 2 at the same position as a solder bump forming position of a multi-function device on which a solder ball B is mounted, and a groove capable of accommodating one solder ball is provided above the through hole. 10 are formed. The downward suction head 3 is provided with a through hole 18 at a position symmetrical with the upward suction head 2 in plane.

【0028】上向き吸着ヘッドの貫通孔の溝は、たとえ
ばソルダボールの直径が0.3mmであり、貫通孔の直径
が0.1mmであれば、溝の大きさは、直径0.4mm、深
さ0.3mmが適当である。
For example, if the diameter of the solder ball is 0.3 mm and the diameter of the through hole is 0.1 mm, the size of the groove is 0.4 mm in diameter and 0.4 mm in depth. 0.3 mm is appropriate.

【0029】先ず、図1に示すように上向き吸着ヘッド
2の上に多数のソルダボールBを置き、全ての貫通孔9
の溝10内にソルダボールBを落とし込むと同時に貫通
孔9から吸引して溝10内に落ち込んだソルダボールB
を保持する。
First, a large number of solder balls B are placed on the upward suction head 2 as shown in FIG.
Solder ball B dropped into groove 10 at the same time as it was dropped into groove 10 by suction through through hole 9
Hold.

【0030】そして図2に示すように上向き吸着ヘッド
2の上面を噴出ノズル15で吹いたり静電ブラシ14で
掻いたりして溝10以外にあるソルダボールBを上向き
吸着ヘッド2以外のところに排除する。
Then, as shown in FIG. 2, the upper surface of the upward suction head 2 is blown by the ejection nozzle 15 or scratched by the electrostatic brush 14 so that the solder balls B other than the grooves 10 are removed to a place other than the upward suction head 2. I do.

【0031】次に図3に示すように下向き吸着ヘッド3
を上向き吸着ヘッド2に密着させる。このとき上向き吸
着ヘッド2と下向き吸着ヘッド3のそれぞれ対応する貫
通孔9、18を一致させる。上向き吸着ヘッド2と下向
き吸着ヘッド3が密着したならば、上向き吸着ヘッド2
の貫通孔9から気体を吹き出させると同時に下向き吸着
ヘッド3の貫通孔18から吸引する。
Next, as shown in FIG.
Is brought into close contact with the upward suction head 2. At this time, the corresponding through holes 9 and 18 of the upward suction head 2 and the downward suction head 3 are aligned. If the upward suction head 2 and the downward suction head 3 are in close contact, the upward suction head 2
At the same time, the gas is blown out from the through hole 9 and is sucked from the through hole 18 of the downward suction head 3.

【0032】上向き吸着ヘッドと下向き吸着ヘッドの密
着を解いて両者を離すと、図4に示すように下向き吸着
ヘッド3の貫通孔18にソルダボールBが吸着された状
態となる。
When the close contact between the upward suction head and the downward suction head is released and the two are separated, the solder balls B are sucked into the through holes 18 of the downward suction head 3 as shown in FIG.

【0033】ソルダボールBを吸着した下向き吸着ヘッ
ドを図5のように多機能デバイスDに移動し、ソルダバ
ンプ搭載箇所MにソルダボールBを接触させる。ソルダ
バンプ搭載箇所Mには予め粘着性フラックスFが塗布さ
れており、ここで貫通孔18から少し気体を吹き出して
ソルダボールBを貫通孔から外す。このとき多機能デバ
イスDの上にソルダバンプ形成箇所が開口となったスペ
ーサーSを、開口がソルダバンプ形成箇所となるように
して多機能デバイスと下向き吸着ヘッド間に置くと、ソ
ルダボールが必要以上に押圧されないため、変形したり
貫通孔内に押し込められたりすることがない。
The downward suction head that has absorbed the solder ball B is moved to the multifunctional device D as shown in FIG. 5, and the solder ball B is brought into contact with the solder bump mounting location M. Adhesive flux F is applied to solder bump mounting portion M in advance, and a little gas is blown out from through-hole 18 to remove solder ball B from the through-hole. At this time, when the spacer S having the opening where the solder bump is formed is placed on the multifunctional device D between the multifunctional device and the downward suction head so that the opening becomes the solder bump forming portion, the solder ball is pressed more than necessary. Therefore, it is not deformed or pushed into the through hole.

【0034】その後、図6に示すように下向き吸着ヘッ
ドを移動させると多機能デバイスのソルダバンプ形成箇
所MにソルダボールBが搭載される。ソルダボール搭載
後は、多機能バイスをリフロー炉のような加熱装置で加
熱し、ソルダボールを多機能デバイスに溶着させる。
Thereafter, as shown in FIG. 6, when the downward suction head is moved, the solder ball B is mounted on the solder bump forming portion M of the multifunctional device. After the solder balls are mounted, the multifunctional vise is heated by a heating device such as a reflow furnace, and the solder balls are welded to the multifunctional device.

【0035】次にもう一つの発明であるソルダボールの
搭載装置について説明する。
Next, another embodiment of the solder ball mounting apparatus will be described.

【0036】本発明のソルダボールの搭載装置は、本体
1、上向き吸着ヘッド2、下向き吸着ヘッド3、攪拌装
置4、排除装置5から構成されている。
The solder ball mounting device of the present invention comprises a main body 1, an upward suction head 2, a downward suction head 3, a stirring device 4, and a removal device 5.

【0037】本体1は下部が細径の摺動部6、上部が太
径の空洞部7、摺動部6と空洞部7間が傾斜部8となっ
ている。摺動部6には上向き吸着ヘッド2が上下方向摺
動自在で所定の高い位置(上死点)と低い位置(下死
点)で停止するように設置されている。上向き吸着ヘッ
ドとは、前述ソルダボールの搭載方法で説明したように
多機能デバイスのソルダバンプ搭載箇所と同一位置に貫
通孔9が穿設されており、該貫通孔の上部にはソルダボ
ールを収納できる溝10が形成されているものである。
該貫通孔はソルダボールの直径よりも細く、溝はソルダ
ボールを1個だけ収納できる大きさとなっている。
The main body 1 has a sliding portion 6 having a small diameter at a lower portion, a hollow portion 7 having a large diameter at an upper portion, and an inclined portion 8 between the sliding portion 6 and the hollow portion 7. The upward suction head 2 is installed in the sliding portion 6 so as to be slidable in the vertical direction and stopped at a predetermined high position (top dead center) and a low position (bottom dead center). The upward suction head has a through hole 9 formed at the same position as the solder bump mounting position of the multi-function device as described in the solder ball mounting method described above, and the solder ball can be stored above the through hole. The groove 10 is formed.
The through hole is smaller than the diameter of the solder ball, and the groove is large enough to accommodate only one solder ball.

【0038】空洞部7には攪拌装置4が設置されてい
る。本発明における攪拌装置とは、空洞部7内にあるソ
ルダボールを不規則に移動させるものであり、実施例で
は円筒状の多孔質金属11を空洞部7の壁面に嵌め込ん
である。多孔質金属11には本体の一側を貫通して外部
に通ずるガス供給管12と、他側を貫通して外部に通ず
る排気管13が接続されている。該供給管から圧縮窒素
ガスのような気体を供給すると、多孔質金属11からは
窒素ガスがランダムに空洞部7内に流出するため、空洞
部内にあるソルダボールBはあらゆる方向に移動するよ
うになる。空洞部7内に流入した気体は他側の多孔質金
属を通って排気管13から外部に排出される。
The stirrer 4 is installed in the cavity 7. The stirrer according to the present invention moves the solder balls in the cavity 7 irregularly. In the embodiment, the cylindrical porous metal 11 is fitted into the wall of the cavity 7. The porous metal 11 is connected to a gas supply pipe 12 passing through one side of the main body and leading to the outside, and an exhaust pipe 13 passing through the other side and leading to the outside. When a gas such as compressed nitrogen gas is supplied from the supply pipe, nitrogen gas flows out of the porous metal 11 into the hollow portion 7 at random, so that the solder balls B in the hollow portion move in all directions. Become. The gas flowing into the cavity 7 is discharged to the outside from the exhaust pipe 13 through the porous metal on the other side.

【0039】また空洞部7内には排除装置5が設置され
ている。該排除装置とは前述上向き吸着ヘッド2が上死
点の位置にあるとき、上向き吸着ヘッド2の上面にある
不必要なソルダボールを上向き吸着ヘッド以外のところ
に排除するものである。本発明に使用して便宜な排除装
置としては、静電ブラシ14や噴出ノズル15である。
In the cavity 7, an exclusion device 5 is provided. The removing device removes unnecessary solder balls on the upper surface of the upward suction head 2 to a place other than the upward suction head when the upward suction head 2 is at the position of the top dead center. The convenient removing device used in the present invention includes the electrostatic brush 14 and the ejection nozzle 15.

【0040】本体1の上部は、下向き吸着ヘッド2の直
径より僅かに大きな径の穴16となっており、該穴の上
には穴を開閉する蓋部材17が摺動自在に設置されてい
る。
The upper part of the main body 1 is formed with a hole 16 having a diameter slightly larger than the diameter of the downward suction head 2, and a lid member 17 for opening and closing the hole is slidably provided on the hole. .

【0041】蓋部材17のさらに上方には下向き吸着ヘ
ッド3が上下前後左右等あらゆる方向に移動自在に設置
されている。下向き吸着ヘッド3には上向き吸着ヘッド
2と面対称の位置に貫通孔18が穿設されている。下向
き吸着ヘッド3が本体1の空洞部7内に降下するときに
は、下向き吸着ヘッド3の貫通孔18が上向き吸着ヘッ
ド2の対応する貫通孔9と一致するようにして降下す
る。
Above the lid member 17, the downward suction head 3 is installed so as to be movable in all directions such as up, down, front, back, left and right. The downward suction head 3 is provided with a through hole 18 at a position symmetrical with the upward suction head 2 in plane. When the downward suction head 3 descends into the hollow portion 7 of the main body 1, it descends so that the through holes 18 of the downward suction head 3 coincide with the corresponding through holes 9 of the upward suction head 2.

【0042】上向き吸着ヘッドと下向き吸着ヘッドには
ガイド装置が設置されている。ガイド装置とは、上向き
吸着ヘッド2の周縁端部に突設したガイドピン19であ
り、下向き吸着ヘッド3の周縁端部に刻設したガイド孔
20である。これらのガイドピンとガイド孔は、上向き
吸着ヘッドと下向き吸着ヘッドを密着させるときに、そ
れぞれの対応する貫通孔が正確に一致するようになる。
Guide devices are provided for the upward suction head and the downward suction head. The guide device is a guide pin 19 protruding from the peripheral edge of the upward suction head 2 and a guide hole 20 formed in the peripheral edge of the downward suction head 3. When the upward suction head and the downward suction head are brought into close contact with each other, the corresponding through-holes of the guide pins and the guide holes are accurately matched.

【0043】続いて上記構成のソルダボールの搭載装置
の作動状態について説明する。
Next, the operating state of the solder ball mounting apparatus having the above-described configuration will be described.

【0044】搭載装置の作動始めは、図7に示すように
本体1の上部の穴16を蓋部材17で覆ってあり、下向
き吸着ヘッド2が傾斜部8よりも僅か下のところの下死
点で停止している。本体1の内部には多機能デバイスに
搭載する数よりも相当多いソルダボールBが投入されて
いる。ここで上向き吸着ヘッド2の貫通孔9を吸引状態
にしておくとともに、ガス供給管12からは窒素ガスを
攪拌装置である多孔質金属11に送り込む。すると多孔
質金属11から流出した窒素ガスは本体1内でランダム
に流動し、ソルダボールBを上向き吸着ヘッド2の上で
満遍なく移動させて、全ての溝10内に侵入させる。溝
10内に侵入したソルダボールBは、貫通孔9の吸引で
溝内に留まる。
At the beginning of the operation of the mounting device, as shown in FIG. 7, the upper hole 16 of the main body 1 is covered with a cover member 17, and the downward suction head 2 is at a lower dead point slightly below the inclined portion 8. Stopped at. Solder balls B, which are considerably larger than the number mounted on the multi-function device, are inserted into the main body 1. Here, the through-hole 9 of the upward suction head 2 is kept in a suction state, and nitrogen gas is sent from the gas supply pipe 12 to the porous metal 11 which is a stirring device. Then, the nitrogen gas flowing out of the porous metal 11 flows randomly in the main body 1, and moves the solder balls B evenly on the upward suction head 2 so as to enter all the grooves 10. The solder ball B that has entered the groove 10 stays in the groove by the suction of the through hole 9.

【0045】このようにして全ての溝10内にソルダボ
ールBが入ったならば、ガス供給管12からの窒素ガス
の供給を停止する。このとき上向き吸着ヘッド2では全
ての溝10内にソルダボールBが入り、また該溝以外の
とろにもソルダボールBが乗った状態となっている。溝
以外のところのソルダボールが静電気を帯電している
と、吸着ヘッドに強く付着する。図8に示すように上向
き吸着ヘッド2を上昇させて上死点で停止させる。そし
て排除装置である噴出ノズル15から窒素ガスを噴出さ
せて上向き吸着ヘッド2の溝10以外の所に乗っている
ソルダボールを上向き吸着ヘッドの外に吹き飛ばし、ま
た該噴出でも排除できないようなソルダボールは静電ブ
ラシ14で掻き落とす。このようにして噴出ノズルや静
電ブラシで上向き吸着ヘッドの外に落とされたソルダボ
ールは傾斜部8に溜る。
When the solder balls B have entered all the grooves 10 in this way, the supply of the nitrogen gas from the gas supply pipe 12 is stopped. At this time, in the upward suction head 2, the solder balls B enter all the grooves 10, and the solder balls B ride on the other portions than the grooves. If the solder balls other than the grooves are charged with static electricity, they will strongly adhere to the suction head. As shown in FIG. 8, the upward suction head 2 is raised and stopped at the top dead center. Then, nitrogen gas is ejected from the ejection nozzle 15 serving as an expulsion device to blow off the solder ball riding on the portion other than the groove 10 of the upward suction head 2 out of the upward suction head. Is scraped off with an electrostatic brush 14. The solder balls dropped out of the upward suction head by the ejection nozzle or the electrostatic brush in this way accumulate on the inclined portion 8.

【0046】上向き吸着ヘッド2の全ての溝10内にソ
ルダボールBが入り、溝以外のところにあったソルダボ
ールが排除されたならば、蓋部材17を開ける。このと
き本体の上方から図示しないテレビカメラで上向き吸着
ヘッドの上面を写し、それを画像処理して、溝内にソル
ダボールが入っていないものがあった場合には、再度下
向き吸着ヘッドを下死点まで降下させ、溝内へのソルダ
ボールの挿入作業をやり直すようにする。
When the solder balls B enter all the grooves 10 of the upward suction head 2 and the solder balls existing outside the grooves are eliminated, the lid member 17 is opened. At this time, the upper surface of the upward suction head is photographed with a television camera (not shown) from the top of the main unit, and the upper surface of the upward suction head is image-processed. To the point and repeat the work of inserting the solder ball into the groove.

【0047】画像処理で全ての溝にソルダボールの収納
が認められたならば、上方で待機していた下向き吸着ヘ
ッド3を降下させて図9のように上向き吸着ヘッド2と
下向き吸着ヘッド3のそれぞれ対応する貫通孔9、18
が一致するようにして両者を密着させる。そして上向き
吸着ヘッド2の貫通孔9から窒素ガスを吹き出させると
同時に下向き吸着ヘッド3の貫通孔18から吸引する。
すると上向き吸着ヘッド2の全ての溝10内に入ってい
たソルダボールBは、下向き吸着ヘッド3の貫通孔に吸
着される。
When the solder balls are stored in all the grooves in the image processing, the downward suction head 3 which has been waiting above is lowered, and the upward suction head 2 and the downward suction head 3 as shown in FIG. Corresponding through holes 9, 18
Are brought into close contact with each other. Then, the nitrogen gas is blown out from the through hole 9 of the upward suction head 2 and is simultaneously sucked from the through hole 18 of the downward suction head 3.
Then, the solder balls B contained in all the grooves 10 of the upward suction head 2 are sucked into the through holes of the downward suction head 3.

【0048】ソルダボールBが下向き吸着ヘッド3の貫
通孔18に吸着されたならば、図10に示すように下向
き吸着ヘッド3を上昇させる。このときも下向き吸着ヘ
ッドの吸着面を画像処理して全ての貫通孔にソルダボー
ルが吸着されていない場合は、前述のように下向き吸着
ヘッドへのソルダボールの吸着作業を再度やり直すよう
にする。画像処理で下向き吸着ヘッドの全ての貫通孔に
ソルダボールの吸着が認められたならば下向き吸着ヘッ
ドを多機能デバイスに移動させて多機能デバイスのソル
ダバンプ形成箇所に搭載する。
When the solder balls B are sucked into the through holes 18 of the downward suction head 3, the downward suction head 3 is raised as shown in FIG. At this time as well, if the suction surface of the downward suction head is image-processed and the solder balls are not sucked in all the through holes, the operation of sucking the solder balls to the downward suction head is performed again as described above. When the solder ball is adsorbed in all the through holes of the downward suction head by the image processing, the downward suction head is moved to the multifunctional device and mounted on the solder bump forming portion of the multifunctional device.

【0049】上記本発明のソルダボールの搭載装置を用
いて、0.25mm間隔で358個の電極が格子状に形成
された100枚のBGA基板に対し、0.1mmのソルダ
ボールを搭載したところ、不必要な箇所に搭載された
り、未搭載されたりするものが皆無であった。
Using the above solder ball mounting apparatus of the present invention, 0.1 mm solder balls were mounted on 100 BGA substrates on which 358 electrodes were formed in a grid at intervals of 0.25 mm. Nothing was mounted in unnecessary places or not mounted.

【0050】[0050]

【発明の効果】本発明によれば、多機能デバイスのソル
ダボール搭載箇所と同一数のソルダボールを配置してお
き、該ソルダボールだけを下向き吸着ヘッドの貫通孔で
吸着するため、ソルダボールに静電気が帯電していても
不必要なソルダボールが多機能デバイスに搭載されるこ
とが全くないばかりでなく、必要数のソルダボールを一
旦上向き吸着ヘッドに吸着させるため、多少の機械的振
動を受けたり、流動する気体で吹かれたりしてもソルダ
ボールが移動せず、ソルダボールの未搭載も発生しない
という信頼性に優れた効果を奏するものである。
According to the present invention, the same number of solder balls as the solder ball mounting portions of the multifunctional device are arranged, and only the solder balls are sucked by the through holes of the downward suction head. Even if static electricity is charged, unnecessary solder balls are not mounted on the multi-function device at all.In addition, since the required number of solder balls is once absorbed by the upward suction head, it is subject to some mechanical vibration. In addition, the solder ball does not move even if blown by flowing gas, and the solder ball is not mounted.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】上向き吸着ヘッドにソルダボールを乗せた状態FIG. 1 shows a state where a solder ball is placed on an upward suction head.

【図2】上向き吸着ヘッドの不必要な箇所にあるソルダ
ボールを排除する状態
FIG. 2 shows a state in which a solder ball at an unnecessary portion of the upward suction head is removed.

【図3】上向き吸着ヘッドと下向き吸着ヘッドを密着し
た状態
FIG. 3 shows a state in which an upward suction head and a downward suction head are in close contact with each other.

【図4】下向き吸着ヘッドにソルダボールを吸着させた
状態
FIG. 4 shows a state in which a solder ball is sucked by a downward suction head.

【図5】下向き吸着ヘッドに吸着したソルダボールを多
機能デバイスに搭載する状態
FIG. 5 shows a state where the solder ball sucked by the downward suction head is mounted on the multifunctional device.

【図6】多機能デバイスにソルダボールが搭載された状
FIG. 6 shows a state in which a solder ball is mounted on a multifunctional device.

【図7】本発明の搭載装置においてソルダボールを上向
き吸着ヘッドに乗せる状態の正面断面図
FIG. 7 is a front sectional view showing a state where a solder ball is placed on an upward suction head in the mounting apparatus of the present invention.

【図8】本発明の搭載装置において上向き吸着ヘッドの
上の不要なソルダボールを排除した状態の正面断面図
FIG. 8 is a front sectional view of the mounting apparatus of the present invention in a state where unnecessary solder balls on an upward suction head are removed.

【図9】本発明の搭載装置において上向き吸着ヘッドと
下向き吸着ヘッドを密着させた状態の正面断面図
FIG. 9 is a front sectional view showing a state where the upward suction head and the downward suction head are closely attached to each other in the mounting apparatus of the present invention.

【図10】本発明の搭載装置において下向き吸着ヘッド
にソルダボールを吸着させた状態の正面断面図
FIG. 10 is a front sectional view showing a state where a solder ball is sucked to a downward suction head in the mounting apparatus of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 本体 2 下向き吸着ヘッド 3 上向き吸着ヘッド 4 攪拌装置 5 排除装置 6 摺動部 7 空洞部 8 傾斜部 9、18 貫通孔 10 溝 14 静電ブラシ 15 噴射ノズル B ソルダボール DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Main body 2 Downward suction head 3 Upward suction head 4 Stirrer 5 Elimination device 6 Sliding part 7 Cavity part 8 Inclined part 9, 18 Through hole 10 Groove 14 Electrostatic brush 15 Injection nozzle B Solder ball

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 多機能デバイスのソルダバンプ形成箇所
と一致したとろにソルダボールを配置しておき、該ソル
ダボールをデバイスのソルダバンプ形成箇所と面対称位
置となるところに貫通孔が穿設された下向き吸着ヘッド
で吸着した後、ソルダボールを多機能デバイスのソルダ
バンプ形成箇所に搭載することを特徴とするソルダボー
ルの搭載方法。
1. A solder ball is disposed at a position corresponding to a solder bump forming portion of a multifunctional device, and the solder ball is directed downward with a through hole formed at a plane symmetrical position with the solder bump forming portion of the device. A method for mounting a solder ball, comprising: mounting a solder ball on a solder bump forming portion of a multi-function device after suction by a suction head.
【請求項2】 多機能デバイスのソルダバンプ形成箇所
と一致したところに貫通孔が穿設され、しかも該貫通孔
の上部が溝となった上向き吸着ヘッドの上に多数のソル
ダボールを乗せ、溝に入ったソルダボールを貫通孔に吸
着させる工程;前記上向き吸着ヘッドの溝以外のところ
にあるソルダボールを上向き吸着ヘッド外に排除する工
程;前記上向き吸着ヘッドの貫通孔と面対称位置に貫通
孔が穿設された下向き吸着ヘッドを、上向きヘッドと下
向きヘッドのそれぞれの対応する貫通孔が一致するよう
にして前記上向き吸着ヘッドに密着させ、上向き吸着ヘ
ッドの貫通孔から気体を吹き出させるとともに、下向き
吸着ヘッドの貫通孔から吸引して上向き吸着ヘッドのソ
ルダボールを下向き吸着ヘッドに吸着させる工程;ソル
ダボールを吸着した下向き吸着ヘッドを多機能デバイス
に移動させ、ソルダボールを多機能デバイスのソルダバ
ンプ形成箇所に搭載させる工程;からなることを特徴と
するソルダボールの搭載方法。
2. A through hole is formed at a position corresponding to a solder bump forming portion of a multifunctional device, and a large number of solder balls are placed on an upward suction head having an upper portion of the through hole as a groove, and the solder ball is placed in the groove. Adsorbing the solder balls into the through holes; removing the solder balls outside the grooves of the upward suction head out of the upward suction head; and forming through holes at positions symmetrical to the through holes of the upward suction head. The perforated downward suction head is brought into close contact with the upward suction head such that the corresponding through-holes of the upward head and the downward head coincide with each other, and the gas is blown out from the through-hole of the upward suction head, and the downward suction is performed. Suctioning the solder ball of the upward suction head to the downward suction head by sucking through the through hole of the head; Moving the downward suction head to the multi-function device and mounting the solder ball on the solder bump formation portion of the multi-function device.
【請求項3】 前記下向き吸着ヘッドに吸着したソルダ
ボールを多機能デバイスに搭載する工程において、下向
き吸着ヘッドと多機能デバイス間にスペーサーを設置し
て搭載することを特徴とする請求項2記載のソルダボー
ルの搭載方法。
3. The method according to claim 2, wherein in the step of mounting the solder balls adsorbed on the downward suction head on the multifunctional device, a spacer is installed between the downward suction head and the multifunctional device. How to mount solder balls.
【請求項4】 本体には上部に太径の空洞部と下部の細
径の摺動部間に傾斜部が形成され、摺動部には多機能デ
バイスのソルダバンプ形成箇所と同一位置に貫通孔を穿
設した上向き吸着ヘッドが上下方向摺動自在に設置され
ており、また空洞部にはソルダボールを不規則に移動さ
せることのできる攪拌装置が設置されているとともに、
上向き吸着ヘッドの上死点において上向き吸着ヘッドの
上に乗っている不必要なソルダボールを上向き吸着ヘッ
ド外に排除する排除装置が設置され、さらに上向き吸着
ヘッドの上方には上向き吸着ヘッドの貫通孔と面対称の
位置に貫通孔を穿設した下向き吸着ヘッドが移動自在に
設置されていることを特徴とするソルダボールの搭載装
置。
4. An inclined portion is formed between a large-diameter hollow portion and a small-diameter sliding portion at a lower portion of the main body, and a through-hole is formed in the sliding portion at the same position as a solder bump forming portion of the multifunctional device. An upward suction head with a hole is installed slidably in the vertical direction, and a stirring device that can move the solder ball irregularly is installed in the cavity,
At the top dead center of the upward suction head, an elimination device for removing unnecessary solder balls riding on the upward suction head to the outside of the upward suction head is installed, and a through hole of the upward suction head is provided above the upward suction head. A solder ball mounting device, characterized in that a downward suction head having a through hole formed at a position symmetrical to the plane is movably installed.
【請求項5】 前記上向き吸着ヘッドの貫通孔には、上
部にソルダボール1個を収納することができる溝が形成
されていることを特徴とする請求項4記載のソルダボー
ルの搭載装置。
5. The solder ball mounting device according to claim 4, wherein a groove for accommodating one solder ball is formed in an upper portion of the through hole of the upward suction head.
【請求項6】 前記攪拌装置は、気体吹き出し装置であ
ることを特徴とする請求項4記載のソルダボールの搭載
装置。
6. The solder ball mounting device according to claim 4, wherein the stirring device is a gas blowing device.
【請求項7】 前記排除装置は、静電ブラシであること
を特徴とする請求項4記載のソルダボールの搭載装置。
7. The solder ball mounting device according to claim 4, wherein said removing device is an electrostatic brush.
【請求項8】 前記排除装置は、圧縮気体を噴出させる
噴出ノズルであることを特徴とする請求項4記載のソル
ダボールの搭載装置。
8. The solder ball mounting device according to claim 4, wherein said removing device is a jet nozzle for jetting a compressed gas.
【請求項9】 前記上向き吸着ヘッドと下向き吸着ヘッ
ドにはガイド装置が設置されていることを特徴とする請
求項4記載のソルダボールの搭載装置。
9. The solder ball mounting device according to claim 4, wherein a guide device is provided on each of the upward suction head and the downward suction head.
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Cited By (4)

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