JPH10239423A

JPH10239423A - 距離測定装置

Info

Publication number: JPH10239423A
Application number: JP9046484A
Authority: JP
Inventors: Motohiko Imura; 元彦井村
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1997-02-28
Filing date: 1997-02-28
Publication date: 1998-09-11

Abstract

(57)【要約】【課題】低コストで且つ広いダイナミックレンジを実現
する基準光減衰器及び光量平衡用減衰器を備えた距離測
定装置を提供する。【解決手段】光源から投光され測定対象物で反射した反
射光と、光源から基準光路を通る基準光との位相差又は
時間差から測定対象物までの距離を測定する距離測定装
置において、基準光の光路に設けられ、基準光の光束の
断面積を連続的に変化させて基準光の光量レベルを減衰
させる基準光減衰器と、基準光の光路に設けられ、基準
光の光束の断面積を連続的に変化させて基準光の光量レ
ベルを調整する第一の光量調整部と、反射光の光路に設
けられ、反射光の光束の断面積を連続的に変化させて反
射光の光量レベルを調整する第二の光量調整部とを備え
た光量平衡用減衰器とが提供される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光波を物体に向け
て照射し、その反射光を受光して物体までの距離を測定
する距離測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光波を利用した距離測定装置は、光を連
続的に強度変調された波として送光し、目標物からの反
射光を受光し、受光した連続波の位相と送光した連続波
の位相を比較することで距離測定装置から目標物までの
距離を求めている。

【０００３】また、光波を使用した別の距離測定装置で
は、狭いパルス幅のパルス光を送光し、目標物からの反
射パルス光を受光し、送光から受光までのパルス光の走
行時間を測定し、パルス光走行時間から目標物までの距
離を求める。

【０００４】図８は、このような距離測定装置の概略的
な構成を示す図である。以下、受光された光の位相差に
よって測定対象物までの距離を求める距離測定装置に基
づいて説明する。例えばＬＥＤのような発光部６から変
調された周波数の連続波が発光されると、光波は、その
光軸より上半分の光波が分割プリズム８の右半分で反射
され、ダイクロイックプリズム２の上半分で反射され、
さらに、対物レンズ１の上半分にてほぼ平行光となっ
て、図示しない測定対象物に向かう。

【０００５】送られた光波が測定対象物で反射される
と、その反射光２２のうち対物レンズ１の下半分を通過
する光がダイクロイックプリズム２の下半分及び分割プ
リズム８の左半分によって反射され、後述する反射光２
２と基準光２０の光量レベルを同等レベルにするための
光量平衡用減衰器１２を通過し、所定の光量に調整され
て受光部１３によって受光される。

【０００６】一方、発光された光波は、その基準光路に
おいては、光ファイバー１０内を経由し、さらに、後述
する基準光２０を所定の光量レベルまで減衰させる基準
光減衰器１１及び上記光量平衡用減衰器１２を通過し、
反射光２２とほぼ同じ光量レベルに調整されて受光部１
３に到達する。なお、発光した光波を上記測距光路又は
基準光路のどちらか一方に導くための光路選択部７がど
ちらか一方の光路のみを開放するように配置されてい
る。さらに、基準光２０以外の光が直接受光部１３に受
光されることを防止されるための遮光部９が設けられて
いる。また、光量平衡用減衰器１２は、モータ１４によ
って回転させられ、適切な位置に位置決めされる。

【０００７】さらに、距離測定装置は、測定者が測定対
象物を観察するため視準光学系を備えている。視準光学
系は、合焦レンズ３、焦点板４及び接眼レンズ５から構
成され、測定者は、合焦レンズ３を調節し、測定対象物
の像を焦点板４に結像させ、その像を接眼レンズ５によ
り観察する。

【０００８】このような距離測定装置において、受光部
１３によって受光された反射光２２と基準光２０は、受
光部１３において光電変換され、電気信号となって図示
しない位相検知器に入力される。そして、この位相検知
器によって、送光信号と反射光信号の位相差φａ及び送
光信号と基準光信号の位相差φｂを求め、これらから測
定対象物までの距離Ｌが、Ｌ＝ｃ（φａ−φｂ）／４πｆ（ｃは大気中の光速、ｆは送光信号の変調周波数）とし
て求められる。

【０００９】かかる距離測定装置は、温度変化又は経年
変化などによる測定距離の誤差を除去するために、上述
したように光源からの光を直接受光部に受光させる基準
光路を備えている。即ち、例えば上記位相を比較する光
波測距装置では、温度に依存して、反射光を電気信号に
変換する電気回路内で検出される位相に変動が発生す
る。そのため、測距光路から得られる位相差による測定
距離と基準光路から得られる位相差による測定距離を差
し引くことで測定誤差を除去している。

【００１０】さらに、受光された光の強度の違いによっ
て生じる測定回路での信号レベルの違いも測定誤差の原
因となるため、反射光の受光強度と基準光路からの光の
受光強度をほぼ等しいレベルにする必要がある。そのた
めに、まず、測定対象物からの反射光の強度即ち光量レ
ベルは、光源からの光を直接受光部に受光される基準光
路経由の光の光量に比べてはるかに弱い場合が多いの
で、基準光をあらかじめ所定の光量レベルまで減衰させ
る基準光減衰器１１が設けられ、さらに、反射光の強度
と基準光路からの光の受光強度をほぼ等しいレベルにす
る光量平衡用減衰器１２が設けられている。

【００１１】図９は、従来の基準光減衰器１１の例を示
す図である。図９によれば、基準光減衰器１１は、円盤
形状を有し、回転中心１１０を中心に回転させると、最
大減衰部１１１ａから最小減衰部１１１ｂまで（図では
都合上段階的に描かれているが実際は）連続的に光透過
率が変化するような光量減衰部１１１をその外縁に有し
ている。そして、距離測定装置の発光部６の発光強度及
び受光部１３の受光感度に対応して適当な透過率の位置
を基準光２０の光束（図中の点線円Ａ）が通過するよう
に、基準光減衰器１１を距離測定装置の組立時において
上記位置にあらかじめ位置決めする。

【００１２】また、図１０は、従来の光量平衡用減衰器
１２の例を示す図である。図１０によれば、光量平衡用
減衰器１２は、外側減衰部１２１及び内側減衰部１２２
を備えた円盤形状であり、基準光２０の光束（図中の円
Ａ）が外側減衰部１２１を通過し、反射光２２の光束
（図中の円Ｂ）が内側減衰部１２２を通過するように位
置決めされている。そして、外側減衰部１２１は、回転
中心１２０を中心に時計回り方向に、最大減衰部１２１
ａから最小減衰部１２１ｂまで（図では都合上段階的に
描かれているが実際は）連続的に光透過率が変化し、図
面上外側減衰部１２１の右半分は最小減衰部１２１ｂで
ある。一方、内側減衰部１２２は、回転中心１２０を中
心に時計回り方向に、最小減衰部１２２ｂから最大減衰
部１２２ａまで（図では都合上段階的に描かれているが
実際は）連続的に光透過率が変化し、図面上、内側減衰
部１２２の左半分は最小減衰部１２２ｂである。従っ
て、基準光２０の光束及び反射光２２の光束の位置にお
いて、各減衰部の一方の光透過率が変化しているとき
は、他方の光透過率は変化しない。そして、基準光２０
と反射光２２の光束をそれぞれの受光強度の差から適切
な光学濃度差の位置に通過させることにより、基準光２
０と反射光２２の光量をほぼ等しくさせることができ
る。

【００１３】また、この基準光減衰器１１及び光量平衡
用減衰器１２の作成は、例えば、光学濃度が徐々に変化
する原盤を作成し、これを基に露光材を塗ったガラスな
どの透明な基板を露光・現像することにより作成する。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記基
準光減衰器１１及び光量平衡用減衰器１２の作成におい
ては、上述のとおり、原盤の作成、露光、現像、型抜き
といった複雑な工程が必要であり、作成に高いコストが
かかる。

【００１５】さらに、測定対象物までの距離が長いほ
ど、また、測定対象物の反射率が低いほど、それによる
反射光の光量レベルは弱くなるので、基準光２０と反射
光２２との光量調整範囲であるダイナミックレンジは広
いほど好ましい。しかし、上記基準光減衰器１１及び光
量平衡用減衰器１２のそれぞれの最小減衰部１１１ｂ及
び１２１ｂ、１２２ｂにおいては、基板となるガラスな
どの透明部材によるいくらかの減衰があり、また、それ
ぞれの最大減衰部１１１ａ及び１２１ａ、１２２ａにお
いても、露光材の遮光性能の限界からいくらかの透過が
あるため、幅広いダイナミックレンジをカバーすること
が困難であった。

【００１６】そこで、本発明は、低コストで且つ広いダ
イナミックレンジを実現する基準光減衰器及び光量平衡
用減衰器を備えた距離測定装置を提供することを目的と
する。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明の第
一の構成によれば、光源から投光され測定対象物で反射
した反射光と、該光源から基準光路を通る基準光との位
相差又は時間差から前記測定対象物までの距離を測定す
る距離測定装置において、前記基準光の光路に設けら
れ、前記基準光の光束の断面積を連続的に変化させて前
記基準光の光量レベルを減衰させる光量減衰手段を有す
ることを特徴とする距離測定装置を提供することにより
達成される。

【００１８】さらに、上記第一の構成において、前記光
量減衰手段は、例えば、半径が連続的に変化する形状を
有する遮光板であり、該遮光板を回転させることによ
り、該遮光板の外縁部を通過する前記基準光の光束の断
面積を変化させて、前記基準光の光量レベルが調整され
る。

【００１９】また、上記第一の構成において、前記光量
減衰手段は、例えば、幅が連続的に変化する形状を有す
る遮光板であり、該遮光板を移動させることにより、該
遮光板の外縁部を通過する前記基準光の光束の断面積を
変化させて、前記基準光の光量レベルが調整される。

【００２０】また、上記目的は、本発明の第二の構成に
よれば、光源から投光され測定対象物で反射した反射光
と、該光源から基準光路を通る基準光との位相差又は時
間差から前記測定対象物までの距離を測定する距離測定
装置において、前記基準光の光路に設けられ、前記基準
光の光束の断面積を連続的に変化させて前記基準光の光
量レベルを調整する第一の光量調整部と、前記反射光の
光路に設けられ、前記反射光の光束の断面積を連続的に
変化させて前記反射光の光量レベルを調整する第二の光
量調整部とを有する光量調整手段を有することを特徴と
する距離測定装置を提供することにより達成される。

【００２１】また、上記第二の構成において、好ましく
は、前記第一の光量調整部を通過する光束の断面積が変
化するとき、前記第二の光量調整部を通過する光束の断
面積は変化せず、前記第二の光量調整部を通過する光束
の断面積が変化するとき、前記第一の光量調整部を通過
する光束の断面積は変化しない。

【００２２】また、上記第二の構成において、前記光量
調整手段は、例えば、半径が連続的に変化する形状を有
する遮光板であり、さらに、該遮光板の回転方向に幅が
連続的に変化するスリットを有し、前記第一の光量調整
部及び前記第二の光量調整部のいずれか一方及び他方が
前記遮光板の外縁部及び前記スリットであり、前記遮光
板を回転させることにより、前記遮光板の外縁部及び／
又は前記スリットを通過する光束の断面積を変化させ
て、前記基準光及び／又は前記反射光の光量レベルが調
整される。

【００２３】また、上記第二の構成において、前記光量
調整手段は、例えば、移動方向に沿って幅が連続的に変
化する形状を有する遮光板であり、さらに、該遮光板の
前記移動方向に沿って幅が連続的に変化するスリットを
有し、前記第一の光量調整部及び前記第二の光量調整部
のいずれか一方及び他方が前記遮光板の外縁部及び前記
スリットであり、前記遮光板を移動させることにより、
前記遮光板の外縁部及び／又は前記スリットを通過する
光束の断面積を変化させて、前記基準光及び／又は前記
反射光の光量レベルが調整される。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。しかしながら、本発明の技術的範囲がこの
実施の形態に限定されるものではない。また、本実施の
形態における距離測定装置は、前記図８において説明し
た距離測定装置とほぼ同様の構成を有しており、前記図
８と同一、又は類似のものには同一の参照数字または参
照記号を付する。

【００２５】図１は、本発明の距離測定装置に用いられ
る基準光減衰器１１としての光量減衰手段を示す平面図
である。図１における基準光減衰器１１は、遮光性のあ
る金属又はプラスチックなどからなる薄板即ち遮光板で
あり、その形状は、回転中心１１０を中心に徐々に半径
ｄが変化するように形成されている。そして、回転中心
１１０を中心にＹ方向に回転させると、この基準光減衰
器１１を通過する基準光の光束（図中の点線円Ａ）の断
面積が、最大半径部１１２ａから最小半径部１１２ｂま
での間連続的に変化する。基準光の光束Ａの断面積は、
その光量レベルに比例するため、この断面積を調整する
ことにより、光量を調整することが可能となる。

【００２６】最大半径部１１２ａと最小半径部１１２ｂ
の差は、基準光の光束Ａをすべて通過させる部分と、完
全に遮断する部分を設けるために、基準光の光束Ａの直
径より大きくなるように設計される。即ち、基準光減衰
器１１を回転させ、最大半径部１１２ａが基準光２０の
光路上に配置されると、基準光２０は完全に遮断され、
光波受光部１３に到達しない。この位置から遮光板を時
計方向に回転させると、半径ｄは徐々に小さくなり、遮
光板を通過できる基準光の光束Ａの断面積が徐々に大き
くなる。そして、基準光２０の光路上に最小半径部１１
２ｂが位置決めされると、基準光の光束Ａすべてが基準
光減衰器１１を通過し、光波受光部１３に到達すること
ができる。但し、例えば、調整幅があらかじめある程度
わかっており、その幅が光束の直径よりも小さくても調
整可能である場合は、この最大半径部１１２ａと最小半
径部１１２ｂの差は、光束より小さくてもよい。これに
より、外縁部の変化量をより小さくすることでき、より
微調整が効くように作成することが可能となる。

【００２７】このように、基準光減衰器１１を回転さ
せ、適当な位置に位置決めすることにより、基準光の光
束Ａの断面積即ち基準光２０の光量レベルを任意に調整
することができる。

【００２８】この基準光減衰器１１は、例えば、金属板
により作成する場合は、簡単な打ち抜き作業によって容
易に作成することができる。また、プラスチック成形に
よっても容易に作成可能である。さらに、複雑な露光工
程などがないので、低コストで作成できる。さらに最大
半径部１１２ａ及び最小半径部１１２ｂにおいては、そ
れぞれ、基準光の透過及び減衰が全くないので、広ダイ
ナミックレンジに対する要請も満足することができる。

【００２９】図３は、上記本発明の基準光減衰器１１と
図１０に示した光量平衡用減衰器１２の配置例を示す平
面図である。図３によれば、まず、基準光の光束（図中
の点線円Ａ）が基準光減衰器１１により所定光量レベル
まで減衰される。そして、この減衰された基準光の光束
Ａは、光量平衡用減衰器１２の外側減衰部１２１を通過
し、さらに、反射光の光束（図中の点線円Ｂ）は内側減
衰部１２２を通過し、これらの光量がほぼ同じ光量レベ
ルになるような位置に光量平衡用減衰器１２をを回転さ
せて位置決めする。

【００３０】図２は、図１と別の形状を有する基準光減
衰器１１としての光量調整手段の平面図である。図２に
おける基準光減衰器１１は、その形状が例えば細長い板
状であって、その幅ｌが徐々に変化するように形成され
る。そして、この光量調整手段１１を、上述同様に基準
２０の光路に設置し、最大幅部１１３ａと最小幅部１１
３ｂの間を図中の矢印Ｚ方向に移動させることにより、
基準光の光束（点線円Ａ）の断面積を連続的に変化させ
ることができる。

【００３１】これにより、上述同様に、基準光減衰器１
１を移動させ、適当な位置に位置決めすることにより、
基準光の光束Ａの断面積即ち基準光２０の光量レベルを
任意に調整することができる。

【００３２】この基準光減衰器１１の作成についても、
上記の遮光板の打ち抜き又はプラスチック成形などによ
り容易に作成される。

【００３３】遮光板の形状は、基準光の光量を連続的に
変化させることができるものであれば、上述した形状に
限られない。

【００３４】さらに、遮光板は、基準光の光量を連続的
ではないが、段階的に変化させることができるような形
状であってもよい。例えば、上記半径ｄ及び幅ｌが段階
的に変化するような形状である。

【００３５】さらに、本発明は、光量平衡用減衰器１２
としての光量調整手段を提供する。即ち、反射光２２と
基準光２０の両方の光束を通過させ、その断面積を同時
に調整できるようにするために、光量減衰部を２つ備え
た光量調整手段が提供される。この光量平衡用減衰器１
２としての光量調整手段の平面図を図４及び図５に示
す。

【００３６】図４及び図５における光量平衡用減衰器１
２は、それぞれ上記図１及び図２に示した基準光減衰器
１１の形状に基づいたものである。図４における光量平
衡用減衰器１２の右半部は、その半径が連続的に変化す
る。そして、回転中心１２０を中心にＹ方向に回転させ
ると、この光量平衡用減衰器１２の外縁部を通過する基
準光２０の光束（図中の円Ａ）の断面積が、最大半径部
１２３ａから最小半径部１２３ｂまでの間連続的に変化
する。さらに、光量平衡用減衰器１２の左半部は、最小
半径部１２３ｂと同じ半径の半円であり、その半径は変
化しない。さらに、この光量平衡用減衰器１２には、図
に示すようなスリット部１２４が設けられ、スリット部
１２４の右半部は、同じ幅のスリット幅であるが、左半
部はその幅が連続的に変化する。そして、この光量平衡
用減衰器１２をＹ方向に回転させると、基準光２０の光
束の断面積は、この光量平衡用減衰器１２の外縁部の右
半部を通過する場合は、上記基準光減衰器１１の場合と
同様に、最大半径部１２３ａから最小半径部１２３ｂま
での間連続的に変化する。このとき、反射光２２の光束
（図中の円Ｂ）は、右半部のスリット部１２４を通過
し、その断面積は変化しない。一方、基準光の光束Ａが
光量平衡用減衰器１２の左半部を通過するときは、その
断面積は変化しないが、反射光の光束Ｂは、スリット部
１２４の左半部を通過することによって、その断面積が
連続的に変化する。このような構成にすることで、基準
光２０又は反射光２２どちらか一方の光束の断面積を変
化させることが可能となる。従って、どちらか弱い方の
光量レベルに合わせるような調節が可能となり、弱い方
の光量をさらに減衰させることなく両者の光量が同等に
なるように調節することができる。図における点線は、
この光量平衡用減衰器１２の外縁部１２３及びスリット
部１２４の半径の変化を明確にするために描かれたもの
である。

【００３７】図５における光量平衡用減衰器１２は、上
記図４の説明における半径の変化に代わって、図２と同
様に外縁部１２５の幅ｌ1 とスリット部１２４の幅ｌ2
の変化によって、基準光２０及び反射光２２の光束の断
面積を変化させるものである。そして、この光量平衡用
減衰器１２を回転させる代わりに、Ｚ方向にスライド移
動させることにより図４の光量平衡用減衰器１２と同様
の効果を得ることができる。

【００３８】また、図６及び図７は、本発明における光
量平衡用減衰器１２の別の実施の形態を示す図であり、
それぞれ、図４及び図５に対応した形状を有している。
これらは、基準光の光束Ａの断面積と反射光の光束Ｂの
断面積が同時に変化するように、駆動方向のほぼ全域に
わたって、半径（又は長さｌ1 ）とスリット部の幅ｌ2
との両方が変化するように形成される。そして、基準光
２０と反射光２２の光量の差に応じて、適切な位置で両
者を通過させることにより、両者の光量レベルを同等レ
ベルにすることができる。

【００３９】また、発光部からパルス光を送光し、受光
された反射光と基準光の時間差によって測定対象物まで
の距離を求める距離測定装置においても、上述した本実
施の形態による基準光減衰器１１又は光量平衡用減衰器
１２を適用することが可能である。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
距離測定装置に用いられる基準光の光量を減衰させるた
めの基準光減衰器及び基準光及び反射光の光量レベルを
調整するための光量平衡用減衰器を、複雑な工程なしに
容易且つ安価に作成することが可能となる。

【００４１】また、これらにおける最大減衰部及び最小
減衰部において、それぞれ基準光及び反射光の透過及び
減衰が全くないので、より広いダイナミックレンジをカ
バーすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明における基準光減衰器１１の第一の実施
の形態を示す図である。

【図２】本発明における基準光減衰器１１の第二の実施
の形態を示す図である。

【図３】本発明におけるの基準光減衰器１１と従来の光
量平衡用減衰器１２の配置例を示す図である。

【図４】本発明における光量平衡用減衰器１２の第一の
実施の形態を示す図である。

【図５】本発明における光量平衡用減衰器１２の第二の
実施の形態を示す図である。

【図６】本発明における光量平衡用減衰器１２の第三の
実施の形態を示す図である。

【図７】本発明における光量平衡用減衰器１２の第四の
実施の形態を示す図である。

【図８】距離測定装置の全体概略構成図である。

【図９】従来の基準光減衰器１１の平面図である。

【図１０】従来の光量平衡用減衰器１２の平面図であ
る。

【符号の説明】

１対物レンズ２ダイクロイックプリズム３合焦レンズ４焦点板５接眼レンズ６発光部７光路選択部８分割プリズム９遮光部１０光ファイバー１１基準光減衰器１２光量平衡用減衰器１３受光部１４モータ２０基準光２２反射光

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光源から投光され測定対象物で反射された
反射光と、該光源から基準光路を通る基準光との位相差
又は時間差から前記測定対象物までの距離を測定する距
離測定装置において、前記基準光の光路に設けられ、前記基準光の光束の断面
積を連続的に変化させて前記基準光の光量レベルを減衰
させる光量減衰手段を有することを特徴とする距離測定
装置。
【請求項２】請求項１において、前記光量減衰手段は、半径が連続的に変化する形状を有
する遮光板であり、該遮光板を回転させることにより、
該遮光板の外縁部を通過する前記基準光の光束の断面積
を変化させて、前記基準光の光量レベルを調整すること
を特徴とする距離測定装置。
【請求項３】請求項１において、前記光量減衰手段は、幅が連続的に変化する形状を有す
る遮光板であり、該遮光板を移動させることにより、該
遮光板の外縁部を通過する前記基準光の光束の断面積を
変化させて、前記基準光の光量レベルを調整することを
特徴とする距離測定装置。
【請求項４】光源から投光され測定対象物で反射された
反射光と、該光源から基準光路を通る基準光との位相差
又は時間差から前記測定対象物までの距離を測定する距
離測定装置において、前記基準光の光路に設けられ、前記基準光の光束の断面
積を連続的に変化させて前記基準光の光量レベルを調整
する第一の光量調整部と、前記反射光の光路に設けら
れ、前記反射光の光束の断面積を連続的に変化させて前
記反射光の光量レベルを調整する第二の光量調整部とを
備えた光量調整手段を有することを特徴とする距離測定
装置。
【請求項５】請求項４において、前記第一の光量調整部を通過する光束の断面積が変化す
るとき、前記第二の光量調整部を通過する光束の断面積
は変化せず、前記第二の光量調整部を通過する光束の断
面積が変化するとき、前記第一の光量調整部を通過する
光束の断面積は変化しないことを特徴とする距離測定装
置。
【請求項６】請求項４又は５において、前記光量調整手段は、半径が連続的に変化する形状部を
有する遮光板であり、さらに、該遮光板はその回転方向
に幅が連続的に変化する部分を有するスリット部を備
え、前記第一の光量調整部及び前記第二の光量調整部のいず
れか一方及び他方が前記遮光板の外縁部及び前記スリッ
ト部であり、前記遮光板を回転させることにより、前記遮光板の外縁
部及び／又は前記スリット部を通過する光束の断面積を
変化させて、前記基準光及び／又は前記反射光の光量レ
ベルを調整することを特徴とする距離測定装置。
【請求項７】請求項４又は５において、前記光量調整手段は、移動方向に沿って幅が連続的に変
化する形状部を有する遮光板であり、さらに、該遮光板はその前記移動方向に沿って幅が連続
的に変化する部分を有するスリット部を備え、前記第一の光量調整部及び前記第二の光量調整部のいず
れか一方及び他方が前記遮光板の外縁部及び前記スリッ
ト部であり、前記遮光板を移動させることにより、前記遮光板の外縁
部及び／又は前記スリット部を通過する光束の断面積を
変化させて、前記基準光及び／又は前記反射光の光量レ
ベルを調整することを特徴とする距離測定装置。