JPH10232265A - Semiconductor test device - Google Patents

Semiconductor test device

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Publication number
JPH10232265A
JPH10232265A JP9036115A JP3611597A JPH10232265A JP H10232265 A JPH10232265 A JP H10232265A JP 9036115 A JP9036115 A JP 9036115A JP 3611597 A JP3611597 A JP 3611597A JP H10232265 A JPH10232265 A JP H10232265A
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JP
Japan
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serial
memory
output
bit
data
Prior art date
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Withdrawn
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JP9036115A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenji Inaba
健司 稲葉
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Advantest Corp
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Advantest Corp
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Publication date
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Publication of JPH10232265A publication Critical patent/JPH10232265A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make a circuit in a small scale by providing a bit counter and an output control part common in one PE(pin electronics) board, and providing a mapping register and a comparator in every channel. SOLUTION: One PE board PE1 is constituted of a bit counter 20, an output control part 90 and eight-channel serial normal reading circuits 100a-100m. A one-channel serial normal reading circuit 100a is constituted of a mapping register 30, a comparator 40 and a memory 50. With regard to the comparator 40, a bit position signal 21 from the bit counter 20 is received to one input end, the comparison output data of the mapping register 30 is received to the other input end, and only when they coincide with each other, a bit position accordance signal 41 is output. The circuit can be made small scale and a small space can be made in the PE board of a semiconductor test device in which hundreds channels are mounted.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、多数チャンネル
のメモリからの読出しにおいて、任意バイナリコード配
列に正規化変換して読出しする読出し方式に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a read system for performing normalization conversion to an arbitrary binary code array and reading when reading data from a memory of many channels.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来技術について図5の複数PEボード
内の複数メモリから所定バイナリコード配列に変換して
読出す要部接続概念図と、図6のPEボード内の複数メ
モリから所定バイナリコード配列順に読出す要部ブロッ
ク構成図と、図7の各メモリから所定バイナリコード配
列に変換出力を説明する図を示して説明する。
2. Description of the Related Art FIG. 5 is a conceptual diagram showing the connection of a main part for converting a plurality of memories in a plurality of PE boards into a predetermined binary code array and reading the same from a plurality of memories in the PE board of FIG. A description will be given with reference to a block diagram of a main part which is sequentially read and a diagram for explaining a conversion output from each memory of FIG. 7 into a predetermined binary code array.

【0003】ここで図5により概略の背景説明をする。
DUT試験実施により複数メモリ50には、各メモリ5
0の各々同一アドレスにDUT試験結果のデータ、ある
いはPASS/FAIL判定結果のデータが各々順次格
納される。例えばDUT(被試験デバイス)が20ビッ
トAD変換器であり、このDUTのピンにおいて20本
のピンからバイナリーコードデータが並列出力されるデ
バイスの例で説明する。この場合には、試験結果は20
ビットデータが1ビット毎に分散して対応する各メモリ
50に格納される。分散格納されたデータを元の20ビ
ットの重み付けされたバイナリーコードに正規化変換し
て読み出す為には、図7に示すように各ボードPE1〜
PEnに分散格納されている多数チャンネルCH1〜C
H8の中で必要とされるチャンネルの1ビットデータを
重み付けされたバイナリーコードとなるように32ビッ
トのパラレルバス550上の所定のビット線上にロード
する必要がある。ところでDUTの出力ピンやピン位置
は品種により様々である為、PEボード回路側ではこれ
らに柔軟に割付け可能な正規化変換手段を設ける必要も
ある。ここで正規化変換とは元のビットの重み付けされ
たバイナリーコードに復元して読み出すこととする。
Here, a brief background explanation will be given with reference to FIG.
By performing the DUT test, each memory 5
The data of the DUT test result or the data of the PASS / FAIL determination result are sequentially stored at the same address of 0 respectively. For example, a DUT (device under test) is a 20-bit AD converter, and a device in which binary code data is output in parallel from 20 pins of the DUT will be described. In this case, the test result is 20
Bit data is stored in each of the corresponding memories 50 in a distributed manner for each bit. In order to normalize and read the distributed and stored data into the original 20-bit weighted binary code and read it, as shown in FIG.
Multiple channels CH1 to C distributedly stored in PEn
It is necessary to load 1-bit data of a channel required in H8 onto a predetermined bit line on a 32-bit parallel bus 550 so as to become a weighted binary code. By the way, since the output pins and pin positions of the DUT vary depending on the type, it is necessary to provide a normalization conversion means which can be flexibly assigned to these on the PE board circuit side. Here, the normalization conversion is to restore and read the original binary code in which the bits are weighted.

【0004】従来技術の要部構成は、図5と図6に示す
ように、PEボードPE1〜PEnと、アドレスバス5
10と、パラレルバス550と、コントローラ500と
で成る。コントローラ500は、アドレス信号であるア
ドレスバス510の供給と、双方向データバスであるパ
ラレルバス550と、その他の制御信号により全てのP
EボードPE1〜PEnの個別チャンネル600a〜6
00mの各種書込み・読出しを制御する。
As shown in FIGS. 5 and 6, a main part of the prior art is composed of PE boards PE1 to PEn and an address bus 5 as shown in FIG.
10, a parallel bus 550, and a controller 500. The controller 500 supplies all address signals by supplying an address bus 510 as an address signal, a parallel bus 550 as a bidirectional data bus, and other control signals.
Individual channels 600a-6 of E board PE1-PEn
It controls various writing and reading of 00m.

【0005】1枚のPE1ボードの内部構成は、図6に
示すように、複数の個別チャンネル600a〜600m
で成る。1つの個別チャンネル600aの要部内部構成
は、マッピング・レジスタ30と、メモリ50と、1to
Nのデコーダ70とバスドライバ75とで成る。メモリ
50は、上述背景説明のようにDUT試験結果データの
格納用であり、DUTのピンに1対1に対応して接続さ
れている為、DUTピン毎の1ビットに分散したデータ
として格納されている。
[0005] As shown in FIG. 6, the internal structure of one PE1 board includes a plurality of individual channels 600a to 600m.
Consists of The internal configuration of the main part of one individual channel 600a includes a mapping register 30, a memory 50,
It comprises an N decoder 70 and a bus driver 75. The memory 50 is used for storing DUT test result data as described in the background section above, and is connected to the pins of the DUT in a one-to-one correspondence, so that the memory 50 is stored as data dispersed in one bit for each DUT pin. ing.

【0006】マッピング・レジスタ30は、コントロー
ラ500側から設定可能で、Nビット長のコードデータ
上におけるビット位置の割付け用レジスタと、データバ
ス出力イネーブル用の設定レジスタである。ここでNビ
ット長としては、DUTのデータ長合わせて使用した
り、あるいはCPUのデータバス、CPUメモリ、ある
いは演算レジスタ長に合わせて32ビット、16ビッ
ト、あるいは8ビットが使用される場合もある。ここで
はN=32ビット設定の場合と仮定するとビット位置の
割付け用レジスタは5ビット使用する。各個別チャンネ
ル600a〜600mのマッピング・レジスタ30は、
DUTが出力したバイナリコードの重み付けに対応する
ビット位置となるように、予め各々異なる所定のデコー
ド設定値を割付け用レジスタに設定しておく。
The mapping register 30 can be set from the controller 500 and is a register for allocating bit positions on N-bit length code data and a setting register for enabling data bus output. Here, the N-bit length may be used in accordance with the data length of the DUT, or may be 32 bits, 16 bits, or 8 bits in accordance with the data bus of the CPU, the CPU memory, or the length of the operation register. . Here, assuming that N = 32 bits is set, 5 bits are used for the bit position assignment register. The mapping register 30 for each individual channel 600a-600m is:
Different predetermined decode setting values are set in advance in the allocation register so as to be at bit positions corresponding to the weights of the binary codes output from the DUT.

【0007】デコーダ70は、32ビットのバスドライ
バの何れかのビットのトライステート出力端をイネーブ
ルにする出力イネーブル信号を出力する。例えばマッピ
ング・レジスタ30からの5ビットのデコード設定値を
受けて、5to32ビットにデコードした32本のイネー
ブル信号がバスドライバ75の各々の出力イネーブル端
へ供給される。但しマッピング・レジスタ30の出力イ
ネーブル設定がOFFの場合はバスドライバ75の何れ
のビットもOFFである。またバスドライバ75の全入
力端にはメモリ50からの1ビット読出しデータ51を
接続供給する。これにより32ビットデータバス上の任
意のビット線上へ乗せて読み出し可能としている。上述
により数百チャンネルある任意の個別チャンネル600
のメモリ50内容の中で、所望のチャンネルに対して所
望の重み付けのバイナリコード配列に正規化変換し、か
つ32ビットにOR加算したパラレルデータとして読み
出しできることとなる。このように回路により直接バイ
ナリコード配列に正規化変換して読み出し実現され、か
つ可変設定である。
[0007] The decoder 70 outputs an output enable signal for enabling a tri-state output terminal of any bit of the 32-bit bus driver. For example, upon receiving a 5-bit decode setting value from the mapping register 30, 32 enable signals decoded to 5 to 32 bits are supplied to each output enable terminal of the bus driver 75. However, when the output enable setting of the mapping register 30 is OFF, all bits of the bus driver 75 are OFF. Further, one-bit read data 51 from the memory 50 is connected and supplied to all input terminals of the bus driver 75. As a result, the data can be read on an arbitrary bit line on a 32-bit data bus. As described above, an arbitrary individual channel 600 having several hundred channels
Of the memory 50, the data can be read out as parallel data obtained by normalizing and converting a desired channel into a binary code array having a desired weight and OR-added to 32 bits. As described above, the circuit is directly converted into a binary code array by a normalization, read out, and variably set.

【0008】ところでメモリ50への格納時は、デバイ
ス試験中に行われ、実時間の高速動作が要求される。他
方メモリ50内容の読み出し時は、デバイス試験終了あ
るいは各試験項目終了毎に行われ、高速動作は要求され
ない。この為データバスを介してソフト的にメモリ50
内容を読み出し実行する。
The storage in the memory 50 is performed during a device test, and a high-speed real-time operation is required. On the other hand, reading of the contents of the memory 50 is performed every time the device test or each test item is completed, and high-speed operation is not required. For this reason, the memory 50 is stored in software via the data bus.
Read the contents and execute.

【0009】上述説明のように、数百チャンネル有する
個別チャンネル600において各々にデコーダ70やバ
スドライバ75を設けるのは、回路規模の増大や消費電
力増を招き好ましくない。また高密度実装が要求される
半導体試験装置の特にPEボードにおいては実装スペー
スの観点から実用上の難点がある。
As described above, it is not preferable to provide the decoder 70 and the bus driver 75 for each of the individual channels 600 having several hundred channels, because the circuit scale and power consumption increase. Also, there is a practical difficulty in terms of mounting space in a semiconductor test apparatus, particularly a PE board, which requires high-density mounting.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明が解決
しようとする課題は、多数チャンネルのメモリから所定
バイナリコード配列に正規化変換する読出しにおいて、
比較的回路規模を小さくできるシリアル方式により個別
チャンネルのメモリ読出しを実現することを目的とす
る。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a read operation for normalizing and converting a multi-channel memory into a predetermined binary code array.
It is an object of the present invention to realize memory reading of an individual channel by a serial method capable of relatively reducing the circuit scale.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】第2図と第3図は、本発
明に係る解決手段を示している。第1に、上記課題を解
決するために、本発明の構成では、全PEボードPE1
〜PEnに接続したシリアル伝送バス250と、全PE
ボードPE1〜PEn内の全チャンネルのメモリ50内
容の読み出しにおいて、各チャンネルのメモリ50回路
毎に所定Nビット長のコードデータ上における読出しビ
ット位置を任意割付けする手段と、割付けされたメモリ
50内容を所定の重み付けのバイナリコードに正規化変
換したシリアル配列でシリアル伝送バス上に出力する手
段と、前記正規化したシリアルデータを読み出す手段と
する。これにより、半導体試験装置の複数PE内にDU
Tの測定結果をDUTピン毎に格納する複数のメモリ5
0を有し、メモリ内容の読出しにおいて、シリアル方式
により所定バイナリコード配列に正規化変換する読出し
を実現する。
FIGS. 2 and 3 show a solution according to the present invention. First, in order to solve the above problem, in the configuration of the present invention, all the PE boards PE1
To the serial transmission bus 250 connected to the PE
In reading the contents of the memory 50 of all the channels in the boards PE1 to PEn, means for arbitrarily assigning the read bit position on the code data having a predetermined N-bit length to each memory 50 circuit of each channel; A means for outputting a serial array normalized to a predetermined weighted binary code on a serial transmission bus, and a means for reading the normalized serial data. As a result, DUs are stored in a plurality of PEs of the semiconductor test apparatus.
A plurality of memories 5 for storing T measurement results for each DUT pin
0, which realizes a read operation for normalizing conversion to a predetermined binary code array by a serial method in reading memory contents.

【0012】第1図と第2図と第3図と第4図は、本発
明に係る解決手段を示している。第2に、上記課題を解
決するために、本発明の構成では、全PEボードPE1
〜PEnに接続されて、全メモリ50の内容をシリアル
に読み出し伝送する専用のシリアル伝送バス250と、
各PEボード毎に、所定Nビットのシリアル出力列のビ
ット位置情報を発生するビットカウンタ20と、各チャ
ンネルのメモリ50回路毎に、(A)Nビット長のコー
ドデータ上におけるビット位置を割付ける設定及びシリ
アルバスへの出力イネーブル設定用のマッピング・レジ
スタ30と、(B)ビットカウンタ20の出力信号とマ
ッピング・レジスタ30の出力信号を受けて、メモリ5
0内容をシリアル出力すべきタイミングであるかを検出
する比較器40を設け、各PEボード毎に、各チャンネ
ルの比較器40の何れかの出力信号が有った場合に、P
EボードPE1〜PEnのメモリ50の読出した内容を
クロックタイミングに同期してシリアル伝送バス250
へ出力する出力制御部90と、各PEボードから出力さ
れたシリアルデータを受けて、パラレルデータに変換し
て出力するシリアル・パラレル変換器200と、シリア
ル・パラレル変換器200を介して専用のシリアル伝送
バス250上のシリアルデータを読み出しするコントロ
ーラ500とする構成手段とする。これにより、半導体
試験装置の複数PE内にDUTの測定結果をDUTピン
毎に格納する複数のメモリ50を有し、メモリ内容をコ
ントローラ500側へ読出しにおいて、多数チャンネル
のメモリから所定バイナリコード配列に正規化変換する
読出しを、比較的小規模回路のシリアル方式による読出
しが実現できる。
FIG. 1, FIG. 2, FIG. 3, and FIG. 4 show a solution according to the present invention. Second, in order to solve the above-mentioned problem, in the configuration of the present invention, all the PE boards PE1
, A dedicated serial transmission bus 250 connected to PEN to serially read and transmit the contents of all memories 50;
A bit counter 20 that generates bit position information of a predetermined N-bit serial output string for each PE board, and (A) allocates a bit position on N-bit length code data to each memory 50 circuit of each channel A mapping register 30 for setting and output enable setting to the serial bus; and (B) receiving an output signal of the bit counter 20 and an output signal of the mapping register 30,
A comparator 40 is provided for detecting whether it is a timing to serially output 0 contents. If any output signal of the comparator 40 of each channel is present for each PE board,
The contents read from the memories 50 of the E boards PE1 to PEn are synchronized with the clock timing and the serial transmission bus 250
An output control unit 90 for receiving the serial data from each PE board, converting the received serial data into parallel data and outputting the parallel data, and a dedicated serial via the serial / parallel converter 200. The configuration means is a controller 500 that reads serial data on the transmission bus 250. Thus, the plurality of PEs of the semiconductor test apparatus have the plurality of memories 50 for storing the measurement results of the DUT for each DUT pin, and read out the contents of the memory to the controller 500 side from the memory of a large number of channels into a predetermined binary code array. The reading for normalization conversion can be realized by a relatively small-scale circuit using a serial method.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を実施
例と共に図面を参照して詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings together with embodiments.

【0014】本発明実施例について図1の1枚のPEボ
ードにおいて複数メモリから所定バイナリコード配列順
にシリアルに読出す要部ブロック構成図と、図2の複数
PEボード内の複数メモリから所定バイナリコード配列
に変換してシリアルに読出す要部接続概念図と、図3の
シリアル読出しの動作説明図と、図4の1枚のPEボー
ドにおけるシリアルに読出す他の要部ブロック構成図を
示して説明する。ここで1枚のPEボード内にM=8チ
ャンネルのメモリ50を有する場合とし、シリアル出力
長をN=32ビット長と仮定する。
FIG. 1 is a block diagram of a main part of a single PE board shown in FIG. 1 for serially reading from a plurality of memories in a predetermined binary code arrangement order in a single PE board; FIG. 3 is a conceptual diagram of a main part connection for converting into an array and serially reading, an operation explanatory diagram of serial reading in FIG. 3, and a block diagram of another main part for serial reading in one PE board in FIG. explain. Here, it is assumed that the memory 50 of M = 8 channels is provided in one PE board, and the serial output length is assumed to be N = 32 bits.

【0015】本発明の全体構成は、図2に示すように、
PEボードPE1〜PEnと、アドレスバス510と、
シリアル・パラレル変換器200と、シリアル伝送バス
250と、パラレルバス550と、コントローラ500
とで成る。この構成でアドレスバス510とパラレルバ
ス550とコントローラ500は従来と同様である。ま
たパラレルバス550は複数メモリ50からの正規化し
た読出しには使用されない。
The overall structure of the present invention is as shown in FIG.
PE boards PE1 to PEn, an address bus 510,
Serial / parallel converter 200, serial transmission bus 250, parallel bus 550, controller 500
And With this configuration, the address bus 510, the parallel bus 550, and the controller 500 are the same as those in the related art. Further, the parallel bus 550 is not used for normalized reading from the multiple memories 50.

【0016】シリアル伝送バス250は、コントローラ
500が制御し、全PEボードに接続されていて、全メ
モリ50の内容を所望に正規化してシリアルに読出しす
る専用のバスである。具体的には、図1に示すように、
基準となるシリアルクロック201と、1本のシリアル
バス205と、同期と出力制御用のデータイネーブル信
号202とで成る。また図3に示すように、メモリ50
読出し時においては、アドレスバス510は連動して動
作使用される。このときのアドレス信号511は1読出
しサイクル期間で同一アドレスを供給し続け、読出し
後、次の所望アドレスを供給して同様に読出し動作を繰
り返す。尚、PEボード側の回路に対応させて所望のシ
リアルバス用制御信号を供給する他のシリアル伝送バス
としても良い。
The serial transmission bus 250 is a dedicated bus controlled by the controller 500 and connected to all the PE boards, for normalizing the contents of all the memories 50 as desired and reading them out serially. Specifically, as shown in FIG.
It comprises a reference serial clock 201, one serial bus 205, and a data enable signal 202 for synchronization and output control. Further, as shown in FIG.
At the time of reading, the address bus 510 is used in conjunction with the operation. At this time, the address signal 511 continuously supplies the same address in one read cycle period, and after reading, supplies the next desired address and repeats the read operation in the same manner. It should be noted that another serial transmission bus for supplying a desired serial bus control signal corresponding to the circuit on the PE board side may be used.

【0017】本発明の1枚のPEボードにおける要部構
成は、図1に示すように、1つのビットカウンタ20
と、1つの出力制御部90と、8チャンネルのシリアル
正規化読出し回路100a〜100mで成る。1チャン
ネルのシリアル正規化読出し回路100aの要部内部構
成は、マッピング・レジスタ30と、比較器40と、メ
モリ50とで成る。この構成で各チャンネルにあるマッ
ピング・レジスタ30とメモリ50は従来と同様であ
る。
As shown in FIG. 1, the main configuration of one PE board according to the present invention is a single bit counter 20.
, One output control unit 90, and eight serialized normalization read circuits 100a to 100m. The internal configuration of the main part of the one-channel serial normalization read circuit 100a includes a mapping register 30, a comparator 40, and a memory 50. In this configuration, the mapping register 30 and the memory 50 in each channel are the same as the conventional one.

【0018】ビットカウンタ20は、所定Nビットのシ
リアル出力列のビット位置情報の発生用であり、これを
8チャンネルのシリアル正規化読出し回路に供給する。
具体的には、5ビットのカウンタであり、コントローラ
500側からのシリアルクロック201を受けて、これ
を計数してN=32ビット長のシリアル出力列のビット
位置信号21を出力するバイナリカウンタである。尚、
このカウンタをN進カウンタとしても良い。またコント
ローラ500側からのデータイネーブル信号202を受
けてビットカウンタ20は初期化クリアされる。尚、ビ
ットカウンタ20の出力信号の本数は例えば5本程度の
少数本であるから所望によりこの機能をコントローラ5
00に内臓し、バス形式で全PEボードに供給する構成
としても良い。
The bit counter 20 is for generating bit position information of a predetermined N-bit serial output string, and supplies the bit position information to an 8-channel serial normalization read circuit.
Specifically, it is a 5-bit counter, and is a binary counter that receives the serial clock 201 from the controller 500, counts the serial clock 201, and outputs a bit position signal 21 of a serial output string having a length of N = 32 bits. . still,
This counter may be an N-ary counter. The bit counter 20 is initialized and cleared in response to the data enable signal 202 from the controller 500 side. Since the number of output signals of the bit counter 20 is a small number, for example, about five, this function can be implemented by the controller 5 if desired.
00, and may be supplied to all PE boards in a bus format.

【0019】各チャンネルにある比較器40は、自身の
チャンネルからシリアル出力すべきタイミングであるか
を検出するものである。具体的には、上記ビットカウン
タ20からのビット位置信号21を、比較器の一方の入
力端に受け、マッピング・レジスタ30の比較出力デー
タ31を他方の入力端に受けて、両者が一致したクロッ
クサイクルのみビット位置一致信号41を出力する。但
しマッピング・レジスタ30のシリアルバス出力イネー
ブル設定がONの場合のみビット位置一致信号41の出
力がイネーブルになる。
The comparator 40 in each channel detects whether or not it is time to perform serial output from its own channel. More specifically, the bit position signal 21 from the bit counter 20 is received at one input terminal of the comparator, and the comparison output data 31 of the mapping register 30 is received at the other input terminal. The bit position match signal 41 is output only in the cycle. However, the output of the bit position match signal 41 is enabled only when the serial bus output enable setting of the mapping register 30 is ON.

【0020】各チャンネルのメモリ50の出力端は、ワ
イヤードOR接続されていて、前記比較器40が出力す
るビット位置一致信号41がこのメモリ素子の出力イネ
ーブル端子に接続されていて、この信号が有効の場合の
みOR接続のトライステート出力端からメモリ内容が出
力される。これによりシリアル出力すべきタイミングの
メモリのみから読出しデータ51が出力される。尚、全
PEボードのメモリのアドレス入力端には従来と同様に
コントローラ500側からのアドレスバス510の中で
例えば下位16本のアドレス信号が、シリアル読出し時
に接続される。ここではメモリ50の記憶容量を64K
×1ビット構成のI/O分離端子型のメモリ素子と仮定
する。
The output terminal of the memory 50 of each channel is wired-OR connected, and the bit position coincidence signal 41 output from the comparator 40 is connected to the output enable terminal of this memory element, and this signal is valid. Only in the case of, the memory contents are output from the tri-state output terminal of the OR connection. As a result, the read data 51 is output only from the memory at the timing to be serially output. Note that, for example, the lower 16 address signals in the address bus 510 from the controller 500 are connected to the address input terminals of the memories of all the PE boards at the time of serial reading, as in the conventional case. Here, the storage capacity of the memory 50 is 64K
It is assumed that the memory device is an I / O separated terminal type memory device having a × 1 bit configuration.

【0021】出力制御部90は、このボード内からシリ
アル出力すべきタイミングのとき、当該メモリの内容を
クロックタイミングに同期してシリアル伝送バス250
に出力するものである。具体的には、8個の比較器40
の何れかにビット位置一致信号41が有った場合に、O
R接続されたメモリ50出力端の読出しデータ51をシ
リアルバス205上へ送出するものである。この例を図
3に示すCHn0、CHn1〜CHn30、CHn31に示す。こ
の内部回路例としては図1に示すように、8入力ORゲ
ート97と、2入力NANDゲート98とトライステー
トドライバ99で成る。8入力ORゲート97で8個の
ビット位置一致信号41をOR加算して、ゲート98で
コントローラ500側からのデータイネーブル信号20
2が有効な場合のみトライステートドライバ99をON
してシリアルバス205上に読出しデータ51を送出す
る。
The output control unit 90 synchronizes the contents of the memory with the clock timing at the timing of serial output from the board, and
Is output to Specifically, eight comparators 40
, If there is a bit position match signal 41 in any of
The read data 51 from the output terminal of the memory 50 connected to the R is transmitted onto the serial bus 205. This example is shown in CHn0, CHn1 to CHn30, and CHn31 shown in FIG. As shown in FIG. 1, the internal circuit includes an 8-input OR gate 97, a 2-input NAND gate 98, and a tri-state driver 99. An eight-input OR gate 97 OR-adds the eight bit position coincidence signals 41, and a gate 98 outputs the data enable signal 20 from the controller 500 side.
Turn on tri-state driver 99 only when 2 is valid
Then, the read data 51 is sent out onto the serial bus 205.

【0022】シリアル・パラレル変換器200は、図2
に示すように、シリアルデータをパラレルデータに変換
して出力するものである。具体的には、図3に示すよう
に、シリアルバス205上の32ビットのシリアルデー
タ列210を受けて、32ビットパラレルデータ288
に変換してコントローラ500へ供給するものである。
尚、所望によりこの機能をコントローラ500に内臓さ
せても良い。
The serial / parallel converter 200 is shown in FIG.
As shown in (1), serial data is converted into parallel data and output. Specifically, as shown in FIG. 3, a 32-bit serial data stream 210 on the serial bus 205 is received, and the 32-bit parallel data 288 is received.
And supplies it to the controller 500.
This function may be incorporated in the controller 500 if desired.

【0023】本発明に係るコントローラ500は、シリ
アルバスから所定バイナリコードに正規化して読み出し
制御するものである。具体的には、全PEボードの複数
有するメモリ50において、任意のメモリ50を正規化
となるように予めマッピング・レジスタ30を設定し、
シリアル伝送バス250を制御して、前記シリアル・パ
ラレル変換器200を介して所定の32ビットバイナリ
コードに正規化されたパラレルデータとして読み出し制
御する。
The controller 500 according to the present invention is for normalizing a serial bus to a predetermined binary code and controlling readout. Specifically, in the memories 50 having a plurality of PE boards, the mapping register 30 is set in advance so that any memory 50 is normalized.
The serial transmission bus 250 is controlled to read and control as parallel data normalized to a predetermined 32-bit binary code via the serial / parallel converter 200.

【0024】上述構成により、従来と同様に数百チャン
ネルある任意のチャンネルのメモリ50内容の中で、所
望のチャンネルに対して32ビットの中の所望のビット
位置に割り付けしたバイナリコード配列に正規化変換し
たパラレルデータとして読み出しできることとなる。
With the above-described structure, the contents of the memory 50 of an arbitrary channel having several hundred channels are normalized to a binary code array allocated to a desired bit position in 32 bits for a desired channel as in the conventional case. It can be read as converted parallel data.

【0025】上述発明の構成によれば、1枚のPEボー
ド内において共通するビットカウンタ20と出力制御部
90とを設け、各チャンネル毎にマッピング・レジスタ
30と比較器40を設ける構成で実現でき、この回路規
模は、従来よりはるかに小規模化できる利点が得られ
る。これは数百チャンネル搭載され、高密度実装が要求
される半導体試験装置のPEボードにおいては小スペー
ス化、及びより安価に実現できる効果が得られる。
According to the configuration of the present invention, a common bit counter 20 and an output control unit 90 are provided in one PE board, and a mapping register 30 and a comparator 40 are provided for each channel. This circuit has the advantage that the circuit scale can be made much smaller than before. This has the effect of reducing the space and achieving lower cost on a PE board of a semiconductor test apparatus that requires several hundred channels and requires high-density mounting.

【0026】上述説明のように本発明では、全PEボー
ドPE1〜PEnに接続したシリアル伝送バス250
と、全PEボードPE1〜PEn内の全チャンネルのメ
モリ50内容の読み出しにおいて、各チャンネルのメモ
リ50回路毎に所定Nビット長のコードデータ上におけ
る読出しビット位置を任意割付けする手段と、割付けさ
れたメモリ50内容を所定の重み付けのバイナリコード
に正規化変換したシリアル配列でシリアル伝送バス上に
出力する手段と、前記正規化したシリアルデータを読み
出す手段とで実現する。
As described above, according to the present invention, the serial transmission bus 250 connected to all the PE boards PE1 to PEn
Means for arbitrarily assigning a read bit position on code data having a predetermined N-bit length to each memory 50 circuit of each channel in reading contents of memories 50 of all channels in all PE boards PE1 to PEn. This is realized by means for outputting the contents of the memory 50 on a serial transmission bus in a serial array obtained by normalizing and converting the contents of the memory 50 into a binary code having a predetermined weight, and means for reading the normalized serial data.

【0027】尚、上記実施例におけるシリアル正規化読
出し回路と出力制御部90の具体構成例はI/O分離端
子型のメモリ素子の場合を想定した説明であったが、I
/O共通端子型のメモリ素子の場合においては、図4に
示すように構成して、メモリ50の読出しデータ51を
ビット位置一致信号41でANDゲート92し、これら
8チャンネルの信号をORゲート94でOR加算してオ
ープンコレクタ型のドライバ素子のバスドライバ95で
シリアルバス205を駆動する回路構成としても良く同
様にして実施できる。
Although the specific configuration example of the serial normalization read circuit and the output control section 90 in the above embodiment has been described on the assumption that the memory element is of an I / O separated terminal type,
In the case of the / O common terminal type memory element, the read data 51 of the memory 50 is AND gated with the bit position match signal 41 by the configuration shown in FIG. And the circuit configuration of driving the serial bus 205 by the bus driver 95 of an open collector type driver element can be similarly implemented.

【0028】[0028]

【発明の効果】本発明は、上述の説明内容から、下記に
記載される効果を奏する。1枚のPEボード内において
共通するビットカウンタ20と出力制御部90とを設
け、各チャンネル毎にはマッピング・レジスタ30と比
較器40を設ける構成で実現できる。この結果、回路規
模は従来よりはるかに小規模化できる利点が得られる。
これは数百チャンネル搭載され、高密度実装が要求され
る半導体試験装置のPEボードにおいては小スペース化
と、及びより安価に実現できる点で効果大である。
According to the present invention, the following effects can be obtained from the above description. This can be realized by providing a common bit counter 20 and output control unit 90 within one PE board, and providing a mapping register 30 and a comparator 40 for each channel. As a result, there is an advantage that the circuit scale can be made much smaller than before.
This is highly effective in that it can be implemented in a small space and at a lower cost on a PE board of a semiconductor test apparatus which is mounted with several hundred channels and requires high-density mounting.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の、1枚のPEボードにおいて複数メ
モリから所定バイナリコード配列順にシリアルに読出す
要部ブロック構成図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a main part of a single PE board according to the present invention, which reads serially from a plurality of memories in a predetermined binary code arrangement order.

【図2】 本発明の、複数PEボード内の複数メモリか
ら所定バイナリコード配列に変換してシリアルに読出す
要部接続概念図である。
FIG. 2 is a conceptual diagram of a main part connection according to the present invention, in which a plurality of memories in a plurality of PE boards are converted into a predetermined binary code array and serially read out.

【図3】 本発明の、シリアル読出しの動作説明図であ
る。
FIG. 3 is an explanatory diagram of an operation of serial reading according to the present invention.

【図4】 本発明の、1枚のPEボードにおけるシリア
ルに読出す他の要部ブロック構成図である。
FIG. 4 is a block diagram of another main part of the present invention for serially reading data on one PE board.

【図5】 従来の、複数PEボード内の複数メモリから
所定バイナリコード配列に変換してシリアルに読出す要
部接続概念図である。
FIG. 5 is a conventional connection diagram of a main part, which converts a plurality of memories in a plurality of PE boards into a predetermined binary code array and serially reads them.

【図6】 従来の、PEボード内の複数メモリから所定
バイナリコード配列順に読出す要部ブロック構成図であ
る。
FIG. 6 is a block diagram of a main part of the related art for reading from a plurality of memories in a PE board in a predetermined binary code arrangement order.

【図7】 従来の、各メモリから所定バイナリコード配
列に変換出力を説明する図である。
FIG. 7 is a diagram illustrating a conventional conversion output from each memory to a predetermined binary code array.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

PE1〜PEn PEボード 20 ビットカウンタ 30 マッピング・レジスタ 40 比較器 50 メモリ 70 デコーダ 75 バスドライバ 90 出力制御部 92 ANDゲート 94 ORゲート 95 バスドライバ 97 8入力ORゲート 98 2入力NANDゲート 99 トライステートドライバ 100a〜100m シリアル正規化読出し回路 200 シリアル・パラレル変換器 205 シリアルバス 250 シリアル伝送バス 500 コントローラ 510 アドレスバス 550 パラレルバス PE1 to PEn PE board 20 bit counter 30 mapping register 40 comparator 50 memory 70 decoder 75 bus driver 90 output control unit 92 AND gate 94 OR gate 95 bus driver 97 8 input OR gate 98 2 input NAND gate 99 tristate driver 100a 100100 m Serial normalization read circuit 200 Serial / parallel converter 205 Serial bus 250 Serial transmission bus 500 Controller 510 Address bus 550 Parallel bus

─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成9年5月19日[Submission date] May 19, 1997

【手続補正1】[Procedure amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】特許請求の範囲[Correction target item name] Claims

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【特許請求の範囲】[Claims]

【手続補正2】[Procedure amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0006[Correction target item name] 0006

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0006】マッピング・レジスタ30は、コントロー
ラ500側から設定可能で、Nビット長のコードデータ
上におけるビット位置の割付け用レジスタと、データバ
ス出力イネーブル用の設定レジスタである。ここでNビ
ット長としては、DUTのデータ長合わせて使用した
り、あるいはCPUのデータバス、CPUメモリ、ある
いは演算レジスタ長に合わせて32ビット、16ビッ
ト、あるいは8ビットが使用される場合もある。ここで
はN=32ビット設定の場合と仮定するとビット位置の
割付け用レジスタは5ビット使用する。各個別チャンネ
ル600a〜600mのマッピング・レジスタ30は、
DUTが出力したバイナリコードの重み付けに対応する
ビット位置となるように、予め各々異なる所定のデコー
ド設定値を割付け用レジスタに設定しておく。
The mapping register 30 can be set from the controller 500 and is a register for allocating bit positions on N-bit length code data and a setting register for enabling data bus output. Here, the N bit length may be used according to the data length of the DUT, or may be 32 bits, 16 bits, or 8 bits according to the length of the CPU data bus, CPU memory, or arithmetic register. is there. Here, assuming that N = 32 bits is set, 5 bits are used for the bit position assignment register. The mapping register 30 for each individual channel 600a-600m is:
Different predetermined decode setting values are set in advance in the allocation register so as to be at bit positions corresponding to the weights of the binary codes output from the DUT.

【手続補正3】[Procedure amendment 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0008[Correction target item name] 0008

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0008】ところでメモリ50への格納時は、デバイ
ス試験中に行われ、実時間の高速動作が要求される。他
方メモリ50内容の読み出し時は、デバイス試験終了あ
るいは各試験項目終了毎に行われ、高速動作は要求され
ない。この為データバスを介してコントローラがメモリ
50内容を読み出し実行する。
The storage in the memory 50 is performed during a device test, and a high-speed real-time operation is required. On the other hand, reading of the contents of the memory 50 is performed every time the device test or each test item is completed, and high-speed operation is not required. Therefore, the controller reads out and executes the contents of the memory 50 via the data bus.

【手続補正4】[Procedure amendment 4]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0012[Correction target item name] 0012

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0012】第1図と第2図と第3図と第4図は、本発
明に係る解決手段を示している。第2に、上記課題を解
決するために、本発明の構成では、全PEボードPE1
〜PEnに接続されて、全メモリ50の内容をシリアル
に読み出し伝送する専用のシリアル伝送バス250と、
各PEボード毎に、所定Nビットのシリアル出力列のビ
ット位置情報を発生するビットカウンタ20と、各チャ
ンネルのメモリ50回路毎に、(A)Nビット長のコー
ドデータ上におけるビット位置を割付ける設定及びシリ
アル伝送バスへの出力イネーブル設定用のマッピング・
レジスタ30と、(B)ビットカウンタ20の出力信号
とマッピング・レジスタ30の出力信号を受けて、メモ
リ50内容をシリアル出力すべきタイミングであるかを
検出する比較器40を設け、各PEボード毎に、各チャ
ンネルの比較器40の何れかの出力信号が有った場合
に、PEボードPE1〜PEnのメモリ50の読出した
内容をクロックタイミングに同期してシリアル伝送バス
250へ出力する出力制御部90と、各PEボードから
出力されたシリアルデータを受けて、パラレルデータに
変換して出力するシリアル・パラレル変換器200と、
シリアル・パラレル変換器200を介して専用のシリア
ル伝送バス250上のシリアルデータを読み出しするコ
ントローラ500とする構成手段とする。これにより、
半導体試験装置の複数PE内にDUTの測定結果をDU
Tピン毎に格納する複数のメモリ50を有し、メモリ内
容をコントローラ500側へ読出しにおいて、多数チャ
ンネルのメモリから所定バイナリコード配列に正規化変
換する読出しを、比較的小規模回路のシリアル方式によ
る読出しが実現できる。
FIG. 1, FIG. 2, FIG. 3, and FIG. 4 show a solution according to the present invention. Second, in order to solve the above-mentioned problem, in the configuration of the present invention, all the PE boards PE1
, A dedicated serial transmission bus 250 connected to PEN to serially read and transmit the contents of all memories 50;
A bit counter 20 that generates bit position information of a predetermined N-bit serial output string for each PE board, and (A) allocates a bit position on N-bit length code data to each memory 50 circuit of each channel Mapping for setting and output enable setting to serial transmission bus
A register 40, and (B) a comparator 40 which receives the output signal of the bit counter 20 and the output signal of the mapping register 30 and detects whether or not it is time to serially output the contents of the memory 50. When there is an output signal from any one of the comparators 40 of each channel, the output control unit outputs the contents read from the memories 50 of the PE boards PE1 to PEn to the serial transmission bus 250 in synchronization with the clock timing. 90, a serial / parallel converter 200 that receives the serial data output from each PE board, converts it into parallel data, and outputs the parallel data.
The controller 500 reads out serial data on a dedicated serial transmission bus 250 via the serial / parallel converter 200. This allows
DU measurement results of DUT in multiple PEs of semiconductor test equipment
A plurality of memories 50 are stored for each T pin, and when reading the contents of the memory to the controller 500 side, the reading for normalizing conversion from the memory of many channels to a predetermined binary code array is performed by a relatively small-scale circuit serial method. Reading can be realized.

【手続補正5】[Procedure amendment 5]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0016[Correction target item name] 0016

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0016】シリアル伝送バス250は、コントローラ
500が制御し、全PEボードに接続されていて、全メ
モリ50の内容を所望に正規化してシリアルに読出しす
る専用のバスである。具体的には、図1に示すように、
基準となるシリアルクロック201と、1本のシリアル
伝送バス205と、同期と出力制御用のデータイネーブ
ル信号202とで成る。また図3に示すように、メモリ
50読出し時においては、アドレスバス510は連動し
て動作使用される。このときのアドレス信号511は1
読出しサイクル期間で同一アドレスを供給し続け、読出
し後、次の所望アドレスを供給して同様に読出し動作を
繰り返す。尚、PEボード側の回路に対応させて所望の
シリアルバス用制御信号を供給する他のシリアル伝送バ
スとしても良い。
The serial transmission bus 250 is a dedicated bus controlled by the controller 500 and connected to all the PE boards, for normalizing the contents of all the memories 50 as desired and reading them out serially. Specifically, as shown in FIG.
Reference serial clock 201 and one serial
It comprises a transmission bus 205 and a data enable signal 202 for synchronization and output control. As shown in FIG. 3, when reading the memory 50, the address bus 510 is used in conjunction with the operation. At this time, the address signal 511 is 1
The same address is continuously supplied during the read cycle period. After reading, the next desired address is supplied and the read operation is repeated in the same manner. It should be noted that another serial transmission bus for supplying a desired serial bus control signal corresponding to the circuit on the PE board side may be used.

【手続補正6】[Procedure amendment 6]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0021[Correction target item name] 0021

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0021】出力制御部90は、このボード内からシリ
アル出力すべきタイミングのとき、当該メモリの内容を
クロックタイミングに同期してシリアル伝送バス250
に出力するものである。具体的には、8個の比較器40
の何れかにビット位置一致信号41が有った場合に、O
R接続されたメモリ50出力端の読出しデータ51をシ
リアル伝送バス205上へ送出するものである。この例
を図3に示すCHn0、CHn1〜CHn30、CHn31に示
す。この内部回路例としては図1に示すように、8入力
ORゲート97と、2入力NANDゲート98とトライ
ステートドライバ99で成る。8入力ORゲート97で
8個のビット位置一致信号41をOR加算して、ゲート
98でコントローラ500側からのデータイネーブル信
号202が有効な場合のみトライステートドライバ99
をONしてシリアル伝送バス205上に読出しデータ5
1を送出する。
The output control unit 90 synchronizes the contents of the memory with the clock timing at the timing of serial output from the board, and
Is output to Specifically, eight comparators 40
, If there is a bit position match signal 41 in any of
The read data 51 from the output terminal of the memory 50 connected to the R is transmitted onto the serial transmission bus 205. This example is shown in CHn0, CHn1 to CHn30, and CHn31 shown in FIG. As shown in FIG. 1, the internal circuit includes an 8-input OR gate 97, a 2-input NAND gate 98, and a tri-state driver 99. An 8-input OR gate 97 OR-adds the eight bit position coincidence signals 41, and a gate 98 only outputs the tristate driver 99 when the data enable signal 202 from the controller 500 is valid.
Is turned on to read out the read data 5 on the serial transmission bus 205.
Send 1

【手続補正7】[Procedure amendment 7]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0022[Correction target item name] 0022

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0022】シリアル・パラレル変換器200は、図2
に示すように、シリアルデータをパラレルデータに変換
して出力するものである。具体的には、図3に示すよう
に、シリアル伝送バス205上の32ビットのシリアル
データ列210を受けて、32ビットパラレルデータ2
88に変換してコントローラ500へ供給するものであ
る。尚、所望によりこの機能をコントローラ500に内
させても良い。
The serial / parallel converter 200 is shown in FIG.
As shown in (1), serial data is converted into parallel data and output. Specifically, as shown in FIG. 3, a 32-bit serial data stream 210 on the serial transmission bus 205 is
It is converted to 88 and supplied to the controller 500. Note that this function can be included in the controller 500 if desired.
May be stored.

【手続補正8】[Procedure amendment 8]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0027[Correction target item name] 0027

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0027】尚、上記実施例におけるシリアル正規化読
出し回路と出力制御部90の具体構成例はI/O分離端
子型のメモリ素子の場合を想定した説明であったが、I
/O共通端子型のメモリ素子の場合においては、図4に
示すように構成して、メモリ50の読出しデータ51を
ビット位置一致信号41でANDゲート92し、これら
8チャンネルの信号をORゲート94でOR加算してオ
ープンコレクタ型のドライバ素子のバスドライバ95で
シリアル伝送バス205を駆動する回路構成としても良
く同様にして実施できる。
Although the specific configuration example of the serial normalization read circuit and the output control section 90 in the above embodiment has been described on the assumption that the memory element is of an I / O separated terminal type,
In the case of the / O common terminal type memory element, the read data 51 of the memory 50 is AND gated with the bit position match signal 41 by the configuration shown in FIG. , And a circuit configuration in which the serial transmission bus 205 is driven by the bus driver 95 of an open collector type driver element can be similarly implemented.

【手続補正9】[Procedure amendment 9]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】符号の説明[Correction target item name] Explanation of sign

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【符号の説明】 PE1〜PEn PEボード 20 ビットカウンタ 30 マッピング・レジスタ 40 比較器 50 メモリ 70 デコーダ 75 バスドライバ 90 出力制御部 92 ANDゲート 94 ORゲート 95 バスドライバ 97 8入力ORゲート 98 2入力NANDゲート 99 トライステートドライバ 100a〜100m シリアル正規化読出し回路 200 シリアル・パラレル変換器 205 シリアル伝送バス 250 シリアル伝送バス 500 コントローラ 510 アドレスバス 550 パラレルバス[Description of Signs] PE1 to PEn PE board 20 bit counter 30 mapping register 40 comparator 50 memory 70 decoder 75 bus driver 90 output control unit 92 AND gate 94 OR gate 95 bus driver 97 8 input OR gate 98 two input NAND gate 99 Tri-state driver 100a-100m Serial normalization read circuit 200 Serial / parallel converter 205 Serial transmission bus 250 Serial transmission bus 500 Controller 510 Address bus 550 Parallel bus

【手続補正10】[Procedure amendment 10]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0018[Correction target item name] 0018

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0018】ビットカウンタ20は、所定Nビットのシ
リアル出力列のビット位置情報の発生用であり、これを
8チャンネルのシリアル正規化読出し回路に供給する。
具体的には、5ビットのカウンタであり、コントローラ
500側からのシリアルクロック201を受けて、これ
を計数してN=32ビット長のシリアル出力列のビット
位置信号21を出力するバイナリカウンタである。尚、
このカウンタをN進カウンタとしても良い。またコント
ローラ500側からのデータイネーブル信号202を受
けてビットカウンタ20は初期化クリアされる。尚、ビ
ットカウンタ20の出力信号の本数は例えば5本程度の
少数本であるから所望によりこの機能をコントローラ5
00に内し、バス形式で全PEボードに供給する構成
としても良い。
The bit counter 20 is for generating bit position information of a predetermined N-bit serial output string, and supplies the bit position information to an 8-channel serial normalization read circuit.
Specifically, it is a 5-bit counter, and is a binary counter that receives the serial clock 201 from the controller 500, counts the serial clock 201, and outputs a bit position signal 21 of a serial output string having a length of N = 32 bits. . still,
This counter may be an N-ary counter. The bit counter 20 is initialized and cleared in response to the data enable signal 202 from the controller 500 side. Since the number of output signals of the bit counter 20 is a small number, for example, about five, this function can be implemented by the controller 5 if desired.
A built in 00, it may be supplied to all the PE board bus format.

【手続補正11】[Procedure amendment 11]

【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing

【補正対象項目名】図1[Correction target item name] Fig. 1

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【図1】 FIG.

【手続補正12】[Procedure amendment 12]

【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing

【補正対象項目名】図2[Correction target item name] Figure 2

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【図2】 FIG. 2

【手続補正13】[Procedure amendment 13]

【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing

【補正対象項目名】図3[Correction target item name] Figure 3

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【図3】 FIG. 3

【手続補正14】[Procedure amendment 14]

【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing

【補正対象項目名】図4[Correction target item name] Fig. 4

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【図4】 FIG. 4

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体試験装置の複数PE(ピン・エレ
クトロニクス)内にDUT(被試験デバイス)の測定結
果を格納する複数のメモリを有し、該メモリ内容の読出
しにおいて、 全PEボードに接続したシリアル伝送バスと、 各チャンネルのメモリ回路毎に読出しビット位置を任意
割付けする手段と、 割付けされたメモリ内容をシリアル伝送バス上に出力す
る手段と、 前記正規化したシリアルデータを読み出す手段と、 以上を具備していることを特徴とした半導体試験装置。
1. A semiconductor test apparatus having a plurality of memories for storing measurement results of a DUT (device under test) in a plurality of PEs (pin electronics) of the semiconductor test apparatus, and connected to all PE boards when reading the contents of the memory. A serial transmission bus, a means for arbitrarily assigning a read bit position for each memory circuit of each channel, a means for outputting the assigned memory contents to the serial transmission bus, and a means for reading the normalized serial data. A semiconductor test apparatus comprising:
【請求項2】 半導体試験装置の複数PE内にDUTの
測定結果を格納する複数のメモリを有し、該メモリ内容
のコントローラ側への読出しにおいて、 全PEボードに接続されて、全メモリの内容をシリアル
に読み出し伝送する専用のシリアル伝送バスと、 各PEボード毎に、所定Nビットのシリアル出力列のビ
ット位置割付け情報を発生するビットカウンタと、 各チャンネルのメモリ回路毎に、(A)Nビット長のコ
ードデータ上におけるビット位置を割付ける設定用、及
びシリアルバスへの出力イネーブル設定用のマッピング
・レジスタと、(B)該ビットカウンタの出力信号と該
マッピング・レジスタの出力信号を受けて、当該メモリ
内容をシリアル出力すべきタイミングであるかを検出す
る比較器とを設け、 各PEボード毎に、各チャンネルの何れかの該比較器に
出力信号が有った場合に、当該PEボードの当該メモリ
内容を読出してクロックタイミングに同期して該シリア
ル伝送バスへ出力する出力制御部と、 各PEボードから出力されたシリアルデータを受けて、
パラレルデータに変換して出力するシリアル・パラレル
変換器と、 該シリアル・パラレル変換器を介して該シリアル伝送バ
ス上のシリアルデータを読み取るコントローラと、 以上を具備していることを特徴とした半導体試験装置。
2. A semiconductor test apparatus comprising: a plurality of PEs each having a plurality of memories for storing measurement results of a DUT in a plurality of PEs; in reading out the contents of the memory to a controller, the memories are connected to all the PE boards to store the contents of the entire memory; A dedicated serial transmission bus for serially reading and transmitting the data, a bit counter for generating bit position allocation information of a predetermined N-bit serial output string for each PE board, and (A) N for each channel memory circuit. Receiving a mapping register for setting a bit position on bit-length code data and setting an output enable to the serial bus; and (B) receiving an output signal of the bit counter and an output signal of the mapping register. And a comparator for detecting whether or not it is time to serially output the contents of the memory. When an output signal is present in any of the comparators of the channel, an output control unit that reads the memory content of the PE board and outputs the content to the serial transmission bus in synchronization with a clock timing. In response to the output serial data,
A serial-to-parallel converter that converts and outputs parallel data, and a controller that reads serial data on the serial transmission bus via the serial-to-parallel converter; apparatus.
JP9036115A 1997-02-20 1997-02-20 Semiconductor test device Withdrawn JPH10232265A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7580300B2 (en) 2005-12-28 2009-08-25 Hynix Semiconductor Inc. Data output circuit of semiconductor memory apparatus
JP2010145271A (en) * 2008-12-19 2010-07-01 Yokogawa Electric Corp Semiconductor testing apparatus

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