JPH10231499A - Nonflammable or flame-retardant vapor cleaning composition - Google Patents

Nonflammable or flame-retardant vapor cleaning composition

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JPH10231499A
JPH10231499A JP3677997A JP3677997A JPH10231499A JP H10231499 A JPH10231499 A JP H10231499A JP 3677997 A JP3677997 A JP 3677997A JP 3677997 A JP3677997 A JP 3677997A JP H10231499 A JPH10231499 A JP H10231499A
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JP
Japan
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flame
cleaning composition
steam cleaning
flammable
retardant
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JP3677997A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Shimozawa
宏 下澤
Masaru Kumagai
勝 熊谷
Minoru Inada
実 稲田
Shigeo Santo
茂夫 山藤
Nobuhiro Saito
信宏 齋藤
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Toshiba Corp
Momentive Performance Materials Japan LLC
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Silicone Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a vapor cleaning compsn. which solves the environmental and equipment problems caused by chlorofluorocarbons and has a b.p. higher than that of a fluorocarbon alone, thus providing higher vapor cleaning effects, by mixing a fluorocarbon with a nonvolatile substance in a specified ratio. SOLUTION: This compsn. is a mixture of 10-99wt.% fluorocarbon and 1-90wt.% nonvolatile substance, and in the compsn., the two ingredients are completely compatible with each other at room temp. or they becomes compatible with each other at about the b.p. of the fluorocarbon to form a homogeneous soln. Pref. the compsn. is further mixed with 1-60wt.% volatile polyorganosiloxane having a b.p. lower than 130 deg.C. A hydrofluoroether and a hydrofluorocarbon are examples of ingredient A. An example of ingredient B is a nonvolatile polyorganosiloxane having a b.p. of 130 deg.C or higher.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】フロンおよび1,1,1−ト
リクロロエタン等の塩素系洗浄剤の代替洗浄剤となる蒸
気洗浄組成物に係わり、特にフルオロカーボン類と不揮
発性物質との混合物からなる不燃性または難燃性蒸気洗
浄組成物に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a steam cleaning composition which is a substitute for a chlorine-based cleaning agent such as chlorofluorocarbon and 1,1,1-trichloroethane, and more particularly to a non-flammable or non-flammable composition comprising a mixture of a fluorocarbon and a non-volatile substance. It relates to a flame retardant steam cleaning composition.

【0002】[0002]

【従来の技術】光学部品、精密部品等の洗浄溶剤とし
て、従来より、1,1,1−トリクロロエタンやフロン
が使用されていた。これはフロンが化学的に安定してお
り生体に対する毒性が低く、低蒸発熱、低表面張力であ
るため、微細な隙間に浸透して、速やかに乾燥し、さら
に蒸気洗浄を行うことによって清浄度の高い基材表面を
得ることができるという理由からであった。さらに蒸気
洗浄の際、不燃性であるため作業環境が安全であるとい
う長所もある。
2. Description of the Related Art Conventionally, 1,1,1-trichloroethane and chlorofluorocarbon have been used as a solvent for cleaning optical parts and precision parts. This is because CFCs are chemically stable, have low toxicity to living organisms, and have low heat of evaporation and low surface tension, so they penetrate into minute gaps, dry quickly, and then clean with steam. This is because it is possible to obtain a substrate surface having a high surface roughness. In addition, there is an advantage that the working environment is safe because of the nonflammability during steam cleaning.

【0003】また、1、1、1−トリクロロエタンは優
れた脱脂力を有しており、フロンはプラスチックやゴム
を侵さないが油脂等を溶解するという特性を有してい
る。しかしフロン等は、このような様々な利点を有する
にも関わらず、オゾン層破壊物質であるため、その使用
が規制されている。
Also, 1,1,1-trichloroethane has an excellent degreasing ability, and CFCs have the property of dissolving oils and fats but do not attack plastics and rubber. However, despite its various advantages, CFCs and the like are restricted in use because they are ozone depleting substances.

【0004】さらに、フロン等の蒸気洗浄剤は沸点が低
いため、良好な乾燥性を付与させるには、洗浄工程と乾
燥工程の間に冷浴槽を設置するなどの装置が必要であっ
た。さらにフロンの槽外への蒸気流出を防ぐためには、
より温度の低い冷却水をチラーコイルに流す等の処置を
施さなければならなかった。従って、装置の付随設備が
増え、そのメンテナンスを含めたランニングコストは必
然的に高くなっている。
[0004] Furthermore, since steam cleaners such as chlorofluorocarbon have a low boiling point, it is necessary to provide a device such as installing a cold bath between the washing step and the drying step in order to impart good drying properties. In order to further prevent the leakage of CFC vapor out of the tank,
It was necessary to take measures such as flowing cooling water having a lower temperature through the chiller coil. Therefore, ancillary equipment of the apparatus increases, and running costs including maintenance thereof are inevitably high.

【0005】フロンおよび1、1、1−トリクロロエタ
ンに代わる洗浄剤に求められる特性は、オゾン層破壊が
ないこと、化学的に安定していること、そして微細な部
品の隙間に浸透すること、蒸気洗浄によって速乾性を得
るために、低表面張力、低蒸発熱を有することである。
さらに作業環境によっては、不燃性または難燃性という
特性も求められる。
[0005] The properties required of the cleaning agent in place of chlorofluorocarbon and 1,1,1-trichloroethane are that there is no ozone layer destruction, that it is chemically stable, that it penetrates into the gaps between fine parts, and that it has steam. It has low surface tension and low heat of evaporation in order to obtain quick drying by washing.
Further, depending on the working environment, characteristics such as nonflammability or flame retardancy are required.

【0006】これらの条件を満たす溶媒の一つに、フル
オロ化合物、いわゆるハイドロフルオロカーボン(CF
3 CFHCFHCF2 CF3 )、ハイドロフルオロエー
テル(C4 9 OCH3 )等がある。しかしながら、こ
れは分子中に塩素原子を有しないためにこれ自身の、汚
れに対する溶解力、洗浄力はほとんど期待できない。こ
れを克服する方法として、他の、洗浄力のある溶媒で汚
れを除去したのちに、これらフルオロカーボン類に代表
されるフルオロ化合物により蒸気洗浄を行うという方法
がある。フルオロ化合物は、低分子量のものほど化学的
に安定で、さらに前工程で使用される溶媒との溶解性が
良いが、蒸気洗浄効果は低い。これは低分子量フルオロ
化合物が低沸点であることに起因する。低沸点である方
が、乾燥性には優れているが、凝縮しにくいため、蒸気
洗浄効果に劣るのである。凝縮量は、蒸気洗浄剤の沸点
と部品の初期温度との差の2乗に比例するものである。
One of the solvents satisfying these conditions is a fluoro compound, so-called hydrofluorocarbon (CF).
3 CFHCFHCF 2 CF 3 ), hydrofluoroether (C 4 F 9 OCH 3 ) and the like. However, since it has no chlorine atom in the molecule, it cannot be expected to have its own dissolving power and detergency for dirt. As a method of overcoming this, there is a method of removing dirt with another solvent having a detergency and then performing steam cleaning with a fluoro compound represented by these fluorocarbons. The lower the molecular weight of the fluoro compound, the more chemically stable it is, and the better the solubility with the solvent used in the previous step, but the steam cleaning effect is low. This is due to the low boiling point of the low molecular weight fluoro compound. The lower boiling point has better drying properties, but is less likely to be condensed, so that the steam cleaning effect is inferior. The amount of condensation is proportional to the square of the difference between the boiling point of the steam cleaner and the initial temperature of the part.

【0007】また沸点が低いということは、蒸発による
消耗を増大させることとなり、これは経済合理性および
設備等の面から望ましくない。
[0007] Further, a low boiling point leads to an increase in consumption due to evaporation, which is not desirable in terms of economic rationality and facilities.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上述
したような従来のフロン等がもつ環境および設備上の問
題点を解決して、低分子量フルオロ化合物の沸点を、不
揮発性物質と混合させて上昇させることによって、より
高い蒸気洗浄性が得られる不燃性または難燃性を示す蒸
気洗浄組成物を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned environmental and equipment problems of conventional fluorocarbons and the like by mixing the boiling point of a low molecular weight fluoro compound with a non-volatile substance. It is an object of the present invention to provide a non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition which can obtain higher steam detergency by raising the temperature.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成するために鋭意検討を行ったところ、フルオロカ
ーボン類(A)と不揮発性物質(B)とからなる不燃ま
たは難燃性を示す組成物が、フルオロカーボン類単独に
比べて、沸点を上昇させることによる効果により高い洗
浄性と優れた乾燥特性を示すことを見出だした。
Means for Solving the Problems The present inventors have made intensive studies to achieve the above object, and found that the non-combustible or non-combustible material comprising the fluorocarbons (A) and the non-volatile substance (B) was used. It has been found that the composition shown exhibits higher detergency and superior drying characteristics due to the effect of increasing the boiling point, as compared to fluorocarbons alone.

【0010】すなわち、本発明のフルオロカーボン類
(A)の沸点を上昇させる不燃性または難燃性蒸気洗浄
組成物は、フルオロカーボン類(A)に不揮発性物質
(B)を添加することによって構成される。さらに、沸
点130℃未満の揮発性ポリオルガノシロキサン(C)
を混合させることによって構成される。
That is, the non-combustible or flame-retardant steam cleaning composition for raising the boiling point of the fluorocarbons (A) of the present invention is constituted by adding a non-volatile substance (B) to the fluorocarbons (A). . Further, a volatile polyorganosiloxane (C) having a boiling point of less than 130 ° C.
Are mixed.

【0011】まず、ここで沸点上昇のメカニズムについ
て説明する。
First, the mechanism of the increase in the boiling point will be described.

【0012】溶媒に不揮発性の溶質を添加すると、溶媒
が沸騰し、分子が激しく液面から飛び出していくのを溶
質の分子が妨げることによって沸点が上昇する。上昇す
る温度は、溶質の種類ではなく、混合した溶質のモル数
に比例する。ここでいう不揮発性物質とは、溶媒との間
に化学変化を起こすようなものではなく、フルオロカー
ボン類(A)の沸点よりも高い沸点を有するものを言
う。
When a non-volatile solute is added to a solvent, the boiling point of the solvent rises because the solvent boils and molecules of the solute prevent the molecules from violently jumping out of the liquid surface. The rising temperature is proportional to the number of moles of solute mixed, not the type of solute. The non-volatile substance here does not cause a chemical change with the solvent, but has a boiling point higher than that of the fluorocarbons (A).

【0013】溶媒に揮発性物質を添加すると、組成変化
が起こりやすい、引火点が低くなる、等が生じるため、
揮発性物質は本発明には基本的に使用不可である。ただ
し、後述する沸点130℃未満の揮発性ポリオルガノシ
ロキサンは例外である。
When a volatile substance is added to a solvent, the composition tends to change, the flash point is lowered, and the like.
Volatile substances are basically unusable in the present invention. However, volatile polyorganosiloxane having a boiling point of less than 130 ° C., which will be described later, is an exception.

【0014】次に、沸点上昇の算出方法について述べ
る。
Next, a method of calculating a rise in boiling point will be described.

【0015】分子量Mの溶質dgを、Dgの溶媒中に溶
かしたときの沸点上昇を△Tbとすると、次の式で算出
される。尚、次式は溶質が溶液内で解離する場合などは
ずれが生じる。本発明は相溶して完全に一液となってい
るため大幅なずれはないと考えられる。
When the rise in boiling point when a solute dg having a molecular weight of M is dissolved in a solvent having a molecular weight of M is represented by ΔTb, it is calculated by the following equation. In the following equation, deviation occurs when the solute is dissociated in the solution. In the present invention, it is considered that there is no significant shift since the two components are completely dissolved to form one liquid.

【0016】△Tb=Kb×1000d/M/D ここでKbはモル沸点上昇定数であり、同一の溶媒につ
いては、溶質の種類によって変化しない値である。Kb
の示す値は、溶媒によって異なる。熱力学上、定数Kb
は、溶媒の沸点Tb(絶対温度)および1gの溶媒の蒸
発熱qと次式より関係づけられる。
ΔTb = Kb × 1000 d / M / D Here, Kb is a molar boiling point rising constant, and is a value which does not change depending on the type of solute for the same solvent. Kb
Varies depending on the solvent. Thermodynamically constant Kb
Is related to the boiling point Tb (absolute temperature) of the solvent and the heat of vaporization q of 1 g of the solvent by the following formula.

【0017】Kb=RTb/1000q ここでRは気体定数(1.987cal/K・mol )である。尚、
上式は、実在溶液では±7℃のずれが見込まれる。
Kb = RTb 2 / 1000q where R is a gas constant (1.987 cal / K · mol). still,
In the above equation, a deviation of ± 7 ° C. is expected in the real solution.

【0018】尚、一般的には、浸漬された状態では、溶
液の静圧頭が付加されるため更に沸点は上昇するが、不
揮発性物質を含む本発明においては、浸漬すると、パー
ティクルの付着や不揮発性物質が吸着する可能性がある
ため、浸漬する場合には、浸漬後に蒸気をあてることが
好ましい。例えば、前工程または蒸気洗浄槽で浸漬した
後、引き上げながら蒸気洗浄を行うことが好ましい。
Generally, in the immersed state, the boiling point further rises due to the addition of the static pressure head of the solution. However, in the present invention containing a non-volatile substance, when immersed, adhesion of particles and In the case of immersion, it is preferable to apply steam after immersion because the non-volatile substance may be adsorbed. For example, it is preferable to perform steam cleaning while pulling up after dipping in a pre-process or a steam cleaning tank.

【0019】上記目的を達成する本発明の不燃性または
難燃性蒸気洗浄組成物は、フルオロカーボン類(A)と
不揮発性物質(B)との混合物からなることを特徴とし
ており、さらに沸点130℃未満の揮発性ポリオルガノ
シロキサン(C)を添加することを特徴としている。
The non-combustible or flame-retardant steam cleaning composition of the present invention, which achieves the above object, is characterized by comprising a mixture of a fluorocarbon (A) and a non-volatile substance (B), and further has a boiling point of 130 ° C. Characterized in that less than 10% of volatile polyorganosiloxane (C) is added.

【0020】以下、本発明に用いる物質について具体的
に説明する。
Hereinafter, the substance used in the present invention will be specifically described.

【0021】フルオロカーボン類は、蒸発潜熱や表面張
力が低いため乾燥性に優れている。さらに、不燃性また
は難燃性のものが多いため、蒸気洗浄剤として広く用い
られている。(A)のフルオロカーボン類としては、ハ
イドロフルオロエーテル類、ハイドロフルオロカーボン
類、パーフルオロカーボン類等が例示される。
Fluorocarbons have excellent drying properties due to low latent heat of evaporation and low surface tension. Furthermore, since many of them are nonflammable or nonflammable, they are widely used as steam cleaners. Examples of the fluorocarbons (A) include hydrofluoroethers, hydrofluorocarbons, and perfluorocarbons.

【0022】ハイドロフルオロエーテル類は、 一般式:(C2t+1−u)−O−(C
2v+1−w) (t、u、vおよびwは任意の整数を示し、好ましくは
u=2t+1、w=0である)で示される化合物が使用
でき、具体的には、C3 7 OCH3 、C4 9OCH
3 、C5 11OCH3 、C3 7 OC2 5 、C4 9
OC2 5 、C511OC2 5 等を挙げることができ
る。中でも、ノナフルオロメトキシブタン(C4 9
CH3 )が好ましい。
The hydrofluoroethers of the general formula: (C t H 2t + 1 -u F u) -O- (C v H
2v + 1−w F w ) (t, u, v and w each represent an integer, preferably u = 2t + 1, w = 0), and specifically, C 3 F 7 OCH 3 , C 4 F 9 OCH
3, C 5 F 11 OCH 3 , C 3 F 7 OC 2 H 5, C 4 F 9
OC 2 H 5 and C 5 F 11 OC 2 H 5 can be exemplified. Among them, nonafluoromethoxybutane (C 4 F 9 O
CH 3 ) is preferred.

【0023】ハイドロフルオロカーボン類は、 一般式:C2p+2−q、C
2p−q、C2p−2− (pは1から10、qは1から20の整数を示す)で示
される化合物が使用でき、具体的には、C5 1 11
5 2 8 、C5 2 10、C5 3 9 、C4 3
7 、C6 2 12等を挙げることができる。中でもデ
カフルオロペンタン(C5 2 10)が好ましい。
Hydrofluorocarbons are represented by the general formula: C p H q F 2p + 2-q , C p H
q F 2p-q, C p H q F 2p-2- q (p is from 1 to 10, q is 1 represents an integer of 20) can be used compounds represented by, in particular, C 5 H 1 F 11 ,
C 5 H 2 F 8, C 5 H 2 F 10, C 5 H 3 F 9, C 4 H 3
F 7 and C 6 H 2 F 12 can be exemplified. Among them, decafluoropentane (C 5 H 2 F 10 ) is preferred.

【0024】フルオロアイオダイドカーボン類として
は、例えば、CF3 CF2 CF2 I、CH2 FI、CF
3 CF2 CF2 CF2 I、CF2 2 、CF3 (C
2 4 I等を挙げることができる。
Examples of fluoroiodide carbons include CF 3 CF 2 CF 2 I, CH 2 FI, CF
3 CF 2 CF 2 CF 2 I, CF 2 I 2 , CF 3 (C
F 2 ) 4 I and the like.

【0025】パーフルオロカーボン類は、たとえば、 一般式:C2n+2(式中、nは4から12の整数
を示す) で表されるパーフルオロアルカンや、
The perfluorocarbons include, for example, perfluoroalkanes represented by the general formula: C n F 2n + 2 (where n is an integer of 4 to 12),

【化3】 等で表されるパーフルオロポリエーテル等や、(C
N、(C11N、(CN、
(C)(C)NF、(CFNC
、(CFNCF=CF、(CFNCF
CFH、(CFNCFCF、C10
等のトリフルオロラジカルを生じるパーフルオ
ロアミン、またはC 511NO、OC4 8 NCF2
r等のパーフルオロモルホリン等があげられる。中で
も、パーフルオロNメチルモルホリン(C 511NO)
が好ましい。
Embedded image And perfluoropolyether represented by (C 4 F
9 ) 3 N, (C 5 F 11 ) 3 N, (C 2 F 5 ) 3 N,
(C 2 F 5 ) (C 3 F 8 ) NF, (CF 3 ) 2 NC 2 F
5 , (CF 3 ) 2 NCF = CF 2 , (CF 3 ) 2 NCF
2 CF 2 H, (CF 3 ) 2 NCF 2 CF 3 , C 5 F 10
Perfluoroamine which generates a trifluoro radical such as N 2 F 5 , or C 5 F 11 NO, OC 4 F 8 NCF 2 B
and perfluoromorpholine such as r. Among them, perfluoro N-methylmorpholine (C 5 F 11 NO)
Is preferred.

【0026】さらに、 一般式:(C2x+1O (式中、xは1から7の整数を示す)で表されるパーフ
ルオロエーテル化合物を挙げることができる。
Further, there may be mentioned a perfluoroether compound represented by the general formula: (C x F 2x + 1 ) 2 O (where x represents an integer of 1 to 7).

【0027】ハイドロフルオロエーテルやハイドロフル
オロカーボンは、パーフルオロカーボンに比べ不揮発性
物質やポリオルガノシロキサンとの溶解性が高く、混合
溶剤を調製しやすい。さらに前工程で用いられるより多
くの洗浄溶剤と相溶性を示すため適用範囲が広い、等の
特徴を有する。これらフルオロ化合物の混合比は10〜
99重量%の範囲とすることが好ましい。10重量%以
上で十分なフルオロ化合物の蒸気量を得ることができ
る。好ましくは40重量%以上、より好ましくは60重
量%以上である。
Hydrofluoroethers and hydrofluorocarbons have higher solubility with non-volatile substances and polyorganosiloxanes than perfluorocarbons, so that mixed solvents can be easily prepared. Further, it has a feature that it is compatible with more washing solvents used in the previous step and has a wide application range. The mixing ratio of these fluoro compounds is 10
It is preferred to be in the range of 99% by weight. When the content is 10% by weight or more, a sufficient vapor amount of the fluoro compound can be obtained. It is preferably at least 40% by weight, more preferably at least 60% by weight.

【0028】(B)の不揮発性物質は、上述したよう
に、溶媒との間に化学変化を起こすようなものではな
く、低分子量フルオロ化合物の沸点よりも高い沸点を有
するものである。フルオロ化合物に溶解しやすいものが
好ましく、また分子量が小さいものほど、少ない配合量
で沸点を効率良く上昇させることができる。例えば、デ
カンやイソドデカン等の130℃以上の沸点を有する炭
化水素類が挙げられる。
As described above, the non-volatile substance (B) does not cause a chemical change with the solvent, but has a boiling point higher than that of the low-molecular-weight fluoro compound. It is preferable that the compound be easily soluble in the fluoro compound, and the smaller the molecular weight, the more efficiently the boiling point can be increased with a smaller amount. For example, hydrocarbons having a boiling point of 130 ° C. or more, such as decane and isododecane, can be mentioned.

【0029】130℃以上の沸点を有するポリオルガノ
シロキサン類として、一般式:
As a polyorganosiloxane having a boiling point of 130 ° C. or more, a general formula:

【化4】 (式中、Rは同一または相異なる置換または非置換の1
価の有機基、lは1から5の整数を示す)で表される直
鎖状ポリジオルガノシロキサン、および一般式:
Embedded image (Wherein R is the same or different, substituted or unsubstituted 1
A divalent organic group, 1 represents an integer of 1 to 5), and a linear polydiorganosiloxane represented by the general formula:

【化5】 (式中、Rは同一または相異なる置換または非置換の1
価の有機基、mは3から7の整数を示す)で表される環
状ポリジオルガノシロキサンが挙げられ、具体的には、
オクタメチルトリシロキサン、デカメチルテトラシロキ
サン、ドデカメチルペンタシロキサン等の直鎖状ポリジ
オルガノシロキサンが挙げられ、さらにヘキサメチルシ
クロトリシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキ
サン、デカメチルシクロペンタシロキサン、ドデカメチ
ルシクロヘキサシロキサン等の環状ポリジオルガノシロ
キサンが挙げられる。中でもオクタメチルトリシロキサ
ンが好ましい。
Embedded image (Wherein R is the same or different, substituted or unsubstituted 1
Valent organic group, m represents an integer of 3 to 7), and specifically, a cyclic polydiorganosiloxane represented by the following formula:
Linear polydiorganosiloxanes such as octamethyltrisiloxane, decamethyltetrasiloxane and dodecamethylpentasiloxane; and hexamethylcyclotrisiloxane, octamethylcyclotetrasiloxane, decamethylcyclopentasiloxane, and dodecamethylcyclohexasiloxane. And cyclic polydiorganosiloxanes. Among them, octamethyltrisiloxane is preferable.

【0030】融点が50℃以上の芳香族炭化水素の具体
例としては、ナフタリン、アントラセン、P−ジクロロ
ベンゼン等が挙げられる。
Specific examples of the aromatic hydrocarbon having a melting point of 50 ° C. or higher include naphthalene, anthracene, P-dichlorobenzene and the like.

【0031】沸点が130℃以上のケトンの具体例とし
ては、樟脳が挙げられる。
Specific examples of ketones having a boiling point of 130 ° C. or higher include camphor.

【0032】沸点が130℃以上のパーフルオロポリエ
ーテルとして、
As a perfluoropolyether having a boiling point of 130 ° C. or higher,

【化6】 が挙げられ、さらに、具体例として、Embedded image And further, as a specific example,

【化7】 が挙げられる。Embedded image Is mentioned.

【0033】これら不揮発性物質の混合比は1〜90重
量%の範囲とすることが好ましい。不揮発性物質を1重
量%とすることで実質的なフルオロ化合物の沸点を上昇
させることができる。好ましくは5重量%〜60重量%
の範囲、より好ましくは10重量%〜30重量%の範囲
である。不揮発性物質として、分子量の小さいものほど
フルオロカーボン類に相溶できる添加割合は多くでき
る。
The mixing ratio of these nonvolatile substances is preferably in the range of 1 to 90% by weight. By setting the nonvolatile substance to 1% by weight, the boiling point of the fluoro compound can be substantially increased. Preferably 5% to 60% by weight
, More preferably in the range of 10% to 30% by weight. As the non-volatile substance, the smaller the molecular weight, the greater the proportion of addition that can be compatible with fluorocarbons.

【0034】(C)の沸点130℃未満の揮発性ポリオ
ルガノシロキサンとしては、ヘキサメチルジシロキサン
等が挙げられ、この揮発性ポリオルガノシロキサンの混
合比は1〜60重量%の範囲であることが好ましい。フ
ルオロ化合物の種類によって多少異なるが、おおよそ6
0重量%以下とすることによって、揮発性ポリオルガノ
シロキサン自身の引火性を抑制することができる。好ま
しくは30重量%以下、より好ましくは20重量%以下
である。例えば、60℃付近の沸点を有するフルオロ化
合物は25重量%以下で難燃性、80℃付近の沸点を有
するフルオロ化合物は15重量%以下で難燃性を示す。
低沸点のフルオロ化合物ほど、揮発性ポリオルガノシロ
キサンを混合することができる。
Examples of the volatile polyorganosiloxane (C) having a boiling point of less than 130 ° C. include hexamethyldisiloxane, and the mixing ratio of the volatile polyorganosiloxane is in the range of 1 to 60% by weight. preferable. Although it varies slightly depending on the type of fluoro compound,
When the content is 0% by weight or less, the flammability of the volatile polyorganosiloxane itself can be suppressed. It is preferably at most 30% by weight, more preferably at most 20% by weight. For example, a fluoro compound having a boiling point of about 60 ° C. exhibits flame retardancy at 25% by weight or less, and a fluoro compound having a boiling point of about 80 ° C. exhibits flame retardancy at 15% by weight or less.
The lower boiling fluoro compounds can be mixed with volatile polyorganosiloxanes.

【0035】本発明の必須条件は、構成成分であるフル
オロカーボン類と不揮発性物質とが室温で完全相溶する
か、あるいは少なくともフルオロカーボン類の沸点近傍
で相溶することである。不揮発性物質は、分子量の小さ
いものほどフルオロカーボン類に相溶できる添加割合を
増やすことができる。パーフルオロエーテル以外の不揮
発性物質は、揮発性ポリオルガノシロキサンであるヘキ
サメチルジシロキサンには溶けやすいが、フルオロカー
ボン類には溶けにくい。したがって、ヘキサメチルジシ
ロキサンは、フルオロカーボン類と不揮発性物質とを相
溶化させる「つなぎ剤」として機能する。
The essential condition of the present invention is that the constituent fluorocarbons and the non-volatile substance are completely compatible at room temperature or at least near the boiling point of the fluorocarbons. The smaller the molecular weight of the non-volatile substance, the greater the proportion of the non-volatile substance compatible with the fluorocarbons. Non-volatile substances other than perfluoroether are easily soluble in hexamethyldisiloxane, which is a volatile polyorganosiloxane, but are hardly soluble in fluorocarbons. Therefore, hexamethyldisiloxane functions as a “binding agent” for compatibilizing fluorocarbons and non-volatile substances.

【0036】以上、本発明に用いる物質について説明し
たきたが、本発明の不燃性または難燃性蒸気洗浄組成物
の沸点は55℃以上、130℃以下であることが好まし
い。より好ましくは、60℃以上、110℃以下であ
り、さらに好ましくは70℃以上、100℃以下であ
る。
Although the substance used in the present invention has been described above, the boiling point of the non-combustible or flame-retardant steam cleaning composition of the present invention is preferably 55 ° C. or more and 130 ° C. or less. The temperature is more preferably from 60 ° C to 110 ° C, and even more preferably from 70 ° C to 100 ° C.

【0037】さらに、本発明の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物により蒸気洗浄を行う前に用いる溶媒につい
てもここでふれておく。
Further, the solvent used before performing the steam cleaning with the non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition of the present invention will be mentioned here.

【0038】蒸気洗浄の前工程に使う溶媒には、溶解力
が高く、本発明の不燃性または難燃性蒸気洗浄組成物と
相溶性の高いものを用いる。具体的には、Tert−ブ
タノ一ル、酢酸イソプロピル、乳酸エチル等の有機溶剤
が挙げられる。通常、これらの前工程で使用される溶剤
は、室温、あるいは、洗浄効果をあげるために加温する
場合もある。
As the solvent used in the pre-step of the steam cleaning, a solvent having a high dissolving power and having high compatibility with the nonflammable or flame-retardant steam cleaning composition of the present invention is used. Specific examples include organic solvents such as Tert-butanol, isopropyl acetate, and ethyl lactate. Usually, the solvent used in these pre-processes may be heated to room temperature or to increase the cleaning effect.

【0039】本発明によれば、蒸気洗浄の効果を上げる
ために沸点を上げることによって洗浄物の表面で結露す
る凝縮液量を増加させている。この沸点と液凝縮量の関
係について説明する。
According to the present invention, the amount of condensate condensed on the surface of the cleaning object is increased by increasing the boiling point in order to enhance the effect of the steam cleaning. The relationship between the boiling point and the liquid condensation amount will be described.

【0040】蒸気洗浄の際の部品表面の温度と液凝縮量
は、 凝縮量Y(g)=(Bp−Wt)×G×Cw/P (ここで、Bpは蒸気洗浄剤の沸点(℃)、Wtは部品
の初期温度(℃)、Gは部品の重量(g)、Cwは部品
の比熱(cal/g)、Pは蒸気洗浄剤の蒸発潜熱(c
al/g)を示す)で表される。
The temperature of the component surface and the amount of liquid condensed during steam cleaning are as follows: condensed amount Y (g) = (Bp−Wt) × G × Cw / P (where Bp is the boiling point (° C.) of the steam cleaning agent). , Wt is the initial temperature of the part (° C.), G is the weight of the part (g), Cw is the specific heat of the part (cal / g), P is the latent heat of vaporization of the steam cleaner (c).
al / g)).

【0041】部品は、蒸気洗浄剤雰囲気中にさらされる
ために温度が上昇する。Cwを温度変化によらず一定と
すると、液凝縮量Yは、Wtの関数と見なせる。Wtが
室温Rtから蒸気洗浄剤の沸点Bpまで上昇した場合の
全凝縮量は、
The parts will increase in temperature due to being exposed to the steam cleaner atmosphere. Assuming that Cw is constant irrespective of the temperature change, the liquid condensation amount Y can be regarded as a function of Wt. When Wt rises from room temperature Rt to the boiling point Bp of the steam cleaner, the total amount of condensation is

【数1】 で表される。この式より、部品が最終的に沸点温度まで
上昇して、凝縮が終了するまでの全凝縮量は、蒸気洗浄
剤の沸点と部品の初期温度(Rt)の差の2乗に比例す
ることがわかる。
(Equation 1) It is represented by From this equation, the total condensed amount until the component finally rises to the boiling point temperature and the condensation ends is proportional to the square of the difference between the boiling point of the steam cleaner and the initial temperature (Rt) of the component. Recognize.

【0042】蒸気洗浄で良好な乾燥性をもたせるために
は、リンス液の蒸気乾燥の効果は考えないとすると、蒸
気洗浄時に部品に付着しているリンス液を蒸気洗浄剤と
完全に置換すればよい。したがって、そのために必要な
全凝縮量は、部品に付着しているリンス液の量をX
(g)とすると、 Yt/Cy>A・X/Cx (ここで、Ytは全凝縮量、Cyは蒸気洗浄剤の比重、
Cxはリンス液の比重、Aは1以上の実数を示す)が成
立することが必要最低条件となる。
If the effect of steam drying of the rinsing liquid is not considered in order to obtain good drying properties by steam cleaning, if the rinsing liquid adhering to the parts during the steam cleaning is completely replaced with a steam cleaning agent. Good. Therefore, the total amount of condensate required for that purpose is determined by the amount of the rinsing liquid adhering to the part by X
(G), Yt / Cy> A · X / Cx (where Yt is the total condensed amount, Cy is the specific gravity of the steam cleaner,
Cx is the specific gravity of the rinsing liquid, and A is a real number of 1 or more).

【0043】例えば、重量10g、比熱1cal/g 、蒸発
潜熱30cal/g 、初期温度25℃の部品を、60℃の沸点
を有するフルオロ化合物で蒸気洗浄する場合、液凝縮量
を式1より計算すると、204.1gとなる。また、同
じ部品を、65℃の沸点を有するフルオロ化合物で蒸気
洗浄する場合の液凝縮量は、266.6gとなる。従っ
て、沸点が5℃上昇すると、部品表面で結露する液凝縮
量は、30.6重量%増加することになる。このように
液凝縮量が増加することによって、蒸気洗浄剤による液
置換性が高くなり、良好な蒸気洗浄性を得ることができ
る。
For example, when a part having a weight of 10 g, a specific heat of 1 cal / g, a latent heat of vaporization of 30 cal / g, and an initial temperature of 25 ° C. is steam-cleaned with a fluoro compound having a boiling point of 60 ° C., the liquid condensed amount is calculated by the following equation. , 204.1 g. In addition, when the same component is subjected to steam washing with a fluoro compound having a boiling point of 65 ° C., the liquid condensed amount is 266.6 g. Therefore, when the boiling point rises by 5 ° C., the amount of liquid condensed on the component surface increases by 30.6% by weight. By increasing the amount of liquid condensed in this manner, the liquid replacement property by the steam cleaning agent is increased, and good steam cleaning properties can be obtained.

【0044】ただし、部品に付着しているリンス剤の量
に対して必要な凝縮量は、部品の形状により大きく異な
る。沸点が高くなればなるほど、凝縮量が2乗で増加す
るため、部品の形状は影響しなくなる傾向がある。
However, the required amount of condensation with respect to the amount of the rinsing agent adhering to the part greatly depends on the shape of the part. The higher the boiling point, the more the amount of condensation increases by the square, so that the shape of the component tends to have no effect.

【0045】本発明の不燃性または難燃性蒸気洗浄組成
物には、極性溶媒、安定化剤などを添加しても良い。
The non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition of the present invention may contain a polar solvent, a stabilizer and the like.

【0046】本発明において好ましく用いられる極性溶
媒としては、例えば、1−ブタノール、2−ブタノー
ル、イソブチルアルコール、tert−ブタノール、1
−ペンタノール、2−ペンタノール、3−ペンタノー
ル、2−メチル−1−ブタノール、イソペンチルアルコ
ール、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、メチ
ルエチルケトン、2−ペンタノン、3−ペンタノン、2
−ヘキサノン、酢酸、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸
イソプロピル、酢酸イソブチル、酢酸sec ブチル、メチ
ルイソブチルケトン、ギ酸、ギ酸プロピル、ギ酸n−ブ
チル、ギ酸イソブチル、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテ
ル、トリフルオロエタノール等が挙げられる。
The polar solvent preferably used in the present invention includes, for example, 1-butanol, 2-butanol, isobutyl alcohol, tert-butanol,
-Pentanol, 2-pentanol, 3-pentanol, 2-methyl-1-butanol, isopentyl alcohol, methyl propionate, ethyl propionate, methyl ethyl ketone, 2-pentanone, 3-pentanone, 2
-Hexanone, acetic acid, ethyl acetate, propyl acetate, isopropyl acetate, isobutyl acetate, sec butyl acetate, methyl isobutyl ketone, formic acid, propyl formate, n-butyl formate, isobutyl formate, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, triethyl Fluoroethanol and the like.

【0047】極性溶媒の組成比は特に限定されるもので
はないが、不燃性または難燃性蒸気洗浄組成物100重
量部に対して0.1から10000重量部以下、好まし
くは、1000重量部以下、より好ましくは、100重
量部以下である。なお、上述した極性溶媒は単独で、あ
るいは2種以上併用して添加することができる。
The composition ratio of the polar solvent is not particularly limited, but is 0.1 to 10,000 parts by weight or less, preferably 1,000 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the nonflammable or flame-retardant steam cleaning composition. , More preferably 100 parts by weight or less. The above-mentioned polar solvents can be added alone or in combination of two or more.

【0048】また、本発明の不燃性または難燃性蒸気洗
浄組成物に添加できる安定化剤としては、例えばグリシ
ドール、シクロヘキセンオキシド等のエポキシド類、
l,4−ジオキセン、1,3,5−トリオキセン等のエ
ーテル類、1−ペンテン、1−へキセン等の不飽和炭化
水素類、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル等のアク
リル酸エステル等が挙げられる。これら安定化剤は、洗
浄剤の全重量に対して0.1から5重量%程度の割合で
添加することが好ましい。なお上述した安定化剤は単独
で、あるいは2種以上併用して添加することができる。
The stabilizers that can be added to the nonflammable or flame retardant steam cleaning composition of the present invention include, for example, epoxides such as glycidol and cyclohexene oxide.
ethers such as 1,4-dioxene and 1,3,5-trioxene; unsaturated hydrocarbons such as 1-pentene and 1-hexene; acrylates such as methyl acrylate and ethyl acrylate; . These stabilizers are preferably added at a ratio of about 0.1 to 5% by weight based on the total weight of the detergent. The above stabilizers can be added alone or in combination of two or more.

【0049】本発明の不燃性または難燃性蒸気洗浄組成
物は、各種被洗浄物に対して適用可能であり、被洗浄物
の材質は特に限定されるものではなく、金属、半金属、
セラミックス、プラスチック材料等が挙げられる。例え
ば、金属や半金属としては鉄、アルミニウム、シリコ
ン、銅、ステンレス等が、セラミックスとしては窒化ケ
イ素、炭化ケイ素、酸化アルミニウム、ガラス、磁器等
が、プラスチックとしてはポリアミド、ポリイミド、エ
ポキシ、ポリオレフィン、ポリエステル、アクリル樹脂
等が例示され、またこれらの複合材料であってもよい。
具体的にはプリント基板や実装部品等の電子部品、電気
部品、半導体部品、金属部品、表面処理部品、精密機器
部品、光学部品、ガラス部品、セラミックス部品、プラ
スチック部品等が挙げられる。これら被洗浄物の耐熱温
度は80℃以上であることが好ましく、例えば、金属部
品、ウエハー、マスク、ガラスレンズの耐熱温度は13
0℃、実装基板の耐熱温度は110℃である。被洗浄物
の耐熱温度は、より好ましくは70℃以上であり、例え
ばプラスチック、エラストマーの耐熱温度は70℃であ
る。
The non-combustible or flame-retardant steam cleaning composition of the present invention can be applied to various objects to be cleaned, and the material of the object to be cleaned is not particularly limited.
Ceramics, plastic materials and the like can be mentioned. For example, metals and semi-metals include iron, aluminum, silicon, copper, stainless steel, etc., ceramics include silicon nitride, silicon carbide, aluminum oxide, glass, porcelain, etc., and plastics include polyamide, polyimide, epoxy, polyolefin, and polyester. , An acrylic resin and the like, and a composite material thereof may be used.
Specific examples include electronic parts such as printed circuit boards and mounting parts, electric parts, semiconductor parts, metal parts, surface treatment parts, precision equipment parts, optical parts, glass parts, ceramic parts, plastic parts, and the like. The heat-resistant temperature of the object to be cleaned is preferably 80 ° C. or higher. For example, the heat-resistant temperature of metal parts, wafers, masks, and glass lenses is 13 ° C.
0 ° C. and the heat resistant temperature of the mounting board is 110 ° C. The heat resistant temperature of the object to be cleaned is more preferably 70 ° C. or higher, and for example, the heat resistant temperature of plastics and elastomers is 70 ° C.

【0050】[0050]

【発明の実施の形態】以下に実施例をあげ、本発明の具
体的に説明し、その効果を明らかにするが、本発明はこ
れらの実施例の記載に限定されるものでない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in detail below with reference to examples, but the effects thereof will be clarified. However, the present invention is not limited to the description of these examples.

【0051】実施例1〜11、比較例1〜3 まず、フルオロカーボン類の純溶媒としての沸点を温度
計を用いて測定した。表1の最右欄にこの結果を示す。
Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 3 First, the boiling points of fluorocarbons as pure solvents were measured using a thermometer. The results are shown in the rightmost column of Table 1.

【0052】次にその純溶媒に既知量の不揮発性物質を
混合し、再び、同じ温度計を用いて沸点を測定した。そ
れぞれの溶媒の沸点上昇△Tを求めると共に、各成分の
室温から沸点までの相溶性を目視で評価した。さらに引
火性を、タグ密閉式およびクリーブランド開放式の引火
点測定器を用いて評価した。それらの結果を併せて表1
に示す。
Next, a known amount of a non-volatile substance was mixed with the pure solvent, and the boiling point was measured again using the same thermometer. The boiling point increase ΔT of each solvent was determined, and the compatibility of each component from room temperature to the boiling point was visually evaluated. Further, the flammability was evaluated by using a tag closed type and a Cleveland open type flash point measuring device. Table 1 shows the results.
Shown in

【0053】[0053]

【表1】 本発明の実施例1〜9では、室温で各成分が相溶性を示
した。実施例10および11は沸点近傍で相溶性を示し
た。これら実施例は、不燃性あるいは難燃性を示し、沸
点が△T分上昇した。比較例1および2では、沸点にお
いても、各成分が相溶性を示さず沸点が上昇しなかっ
た。比較例3では、各成分が相溶し、沸点が上昇した
が、タグ密閉式およびクリーブランド解放式で引火点が
確認された。
[Table 1] In Examples 1 to 9 of the present invention, each component showed compatibility at room temperature. Examples 10 and 11 showed compatibility near the boiling point. These examples exhibited nonflammability or flame retardancy, and the boiling point increased by ΔT. In Comparative Examples 1 and 2, even at the boiling point, each component did not show compatibility and the boiling point did not rise. In Comparative Example 3, although the components were compatible and the boiling point increased, the flash point was confirmed by the closed tag type and the Cleveland release type.

【0054】実施例12、13、比較例4〜6 工作油G−6040(商品名、日本工作製)に浸漬した
銅製の金属部品20P(エンベロープ部品)を被洗浄物
として、極性溶媒で洗浄を行った後、本発明の蒸気洗浄
剤を用いて、洗浄後の状態を評価した。なお、洗浄は以
下の手順で実施した。すなわち、まず極性溶媒を収容し
た第1の洗浄槽で、超音波を照射しながら約30℃で上
記被洗浄物を洗浄した後、第2の洗浄槽において実施例
12の液組成を加熱沸騰させて発生させた蒸気に被洗浄
物をさらすことによって乾燥させた。
Examples 12 and 13 and Comparative Examples 4 to 6 A copper metal part 20P (envelope part) immersed in a working oil G-6040 (trade name, manufactured by Nipponkoh) was used as an object to be cleaned and washed with a polar solvent. After performing, the state after cleaning was evaluated using the steam cleaning agent of the present invention. The washing was performed according to the following procedure. That is, first, the object to be washed is washed at about 30 ° C. while irradiating ultrasonic waves in the first washing tank containing the polar solvent, and then the liquid composition of Example 12 is heated and boiled in the second washing tank. The object to be cleaned was dried by exposing the object to be cleaned to the generated steam.

【0055】上記工程において、金属部品20Pが、実
施例12の液組成の蒸気槽で凝縮する液量を凝縮液受け
皿の代わりにガラスビーカーを使って受け止めて、液凝
縮量を測った。また、洗浄後の表面状態評価試験を行っ
た。試験方法は工作油あるいは洗浄剤の残留によるシミ
が観察されるエンベロープ部品の数で表す。0/20の
場合、シミが観察されなかったことを示す。さらに表面
に残留する油分量を測定した。測定方法としては、洗浄
後のサンプルを任意に2個サンプリングして、300m
lの四塩化炭素により残留する油分を抽出し、HORI
BA油分濃度計OCMA−220を用いて定量した。実
施例13についても、同様に評価を行った。それらの測
定結果を表2に示す。また、本発明の比較例として、ノ
ナフルオロメトキシブタン単独の洗浄剤(比較例4)、
デカフルオロペンタン単独の洗浄剤(比較例5)、1,
1,1−トリクロロエタン(比較例6)をそれぞれ用い
て、上記実施例と同様に洗浄を実施して評価を行った。
それらの結果を併せて表2に示す。
In the above process, the amount of liquid condensed by the metal component 20P in the vapor tank having the liquid composition of Example 12 was received using a glass beaker instead of the condensed liquid receiving tray, and the liquid condensed amount was measured. Further, a surface state evaluation test after cleaning was performed. The test method is expressed by the number of envelope parts where stains due to residual machine oil or detergent are observed. A value of 0/20 indicates that no stain was observed. Further, the amount of oil remaining on the surface was measured. As a measuring method, two samples after washing were arbitrarily sampled and 300 m
The remaining oil was extracted with 1 liter of carbon tetrachloride.
It was quantified using a BA oil concentration meter OCMA-220. Example 13 was similarly evaluated. Table 2 shows the measurement results. Further, as a comparative example of the present invention, a detergent containing only nonafluoromethoxybutane (Comparative Example 4),
Decafluoropentane-only detergent (Comparative Example 5), 1,
Using 1,1-trichloroethane (Comparative Example 6), cleaning was carried out in the same manner as in the above-described example, and the evaluation was performed.
Table 2 also shows the results.

【0056】[0056]

【表2】 表2に示す測定結果から明らかなように、上記実施例1
2、13による蒸気洗浄は、洗浄性および乾燥性に優れ
るとともに、比較例4、5の単独の洗浄剤より洗浄性お
よび乾燥性が優れていることがわかる。また1,1,1
−トリクロロエタンと同等以上の優れた洗浄性および乾
燥性を示すことがわかる。
[Table 2] As is clear from the measurement results shown in Table 2, the above Example 1
It can be seen that the steam cleaning by 2 and 13 is excellent in cleaning property and drying property, and more excellent in cleaning property and drying property than the single cleaning agents of Comparative Examples 4 and 5. Also 1,1,1
-It can be seen that it exhibits excellent washing and drying properties equal to or higher than that of trichloroethane.

【0057】[0057]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の不燃性ま
たは難燃性蒸気洗浄組成物によれば、オゾン層を破壊せ
ず、化学的に安定していて、微細な部品の隙間に浸透す
るばかりでなく、速乾性に優れたフルオロカーボン類の
低沸点であるが故の低い蒸気洗浄効果を、不揮発性物質
を添加して補うことによって、高い蒸気洗浄性という効
果を得ることができる。
As described above, according to the non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition of the present invention, the ozone layer is not destroyed, it is chemically stable, and it penetrates into the gaps of fine parts. In addition, by adding a non-volatile substance to the low steam cleaning effect due to the low boiling point of fluorocarbons excellent in quick drying, the effect of high steam cleaning performance can be obtained.

【0058】[0058]

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 稲田 実 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者 山藤 茂夫 東京都港区六本木6丁目2番31号 東芝シ リコーン株式会社内 (72)発明者 齋藤 信宏 東京都港区六本木6丁目2番31号 東芝シ リコーン株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Minoru Inada, Minoru, 8-8, Shinsugita-cho, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside the Toshiba Yokohama Works Co., Ltd. (72) Shigeo Yamafuji 6-2-1, Roppongi, Minato-ku, Tokyo Toshiba Inside Silicon Corporation (72) Inventor Nobuhiro Saito 6-31 Roppongi, Minato-ku, Tokyo Inside Toshiba Silicon Corporation

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 10〜99重量%のフルオロカーボン類
(A)と1〜90重量%の不揮発性物質(B)との混合
物からなり、前記混合物が室温で完全相溶するか、ある
いは少なくとも前記フルオロカーボン類の沸点近傍で相
溶して均一な溶液となることを特徴とする不燃性または
難燃性蒸気洗浄組成物。
1. A mixture of 10 to 99% by weight of a fluorocarbon (A) and 1 to 90% by weight of a non-volatile substance (B), wherein said mixture is completely compatible at room temperature or at least said fluorocarbon A non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition characterized in that it is compatible at a temperature near the boiling point of the compounds to form a homogeneous solution.
【請求項2】 請求項1記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、 前記混合物に、沸点130℃未満の揮発性ポリオルガノ
シロキサン(C)を1〜60重量%混合したことを特徴
とする不燃性または難燃性蒸気洗浄組成物。
2. The non-combustible or flame-retardant steam cleaning composition according to claim 1, wherein 1 to 60% by weight of a volatile polyorganosiloxane (C) having a boiling point of less than 130 ° C. is mixed with the mixture. Non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition.
【請求項3】 請求項1記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、 前記フルオロカーボン類(A)が、ハイドロフルオロエ
ーテル類であることを特徴とする不燃性または難燃性蒸
気洗浄組成物。
3. The non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition according to claim 1, wherein the fluorocarbons (A) are hydrofluoroethers. Stuff.
【請求項4】 請求項1記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、 前記フルオロカーボン類(A)が、ハイドロフルオロカ
ーボン類であることを特徴とする不燃性または難燃性蒸
気洗浄組成物。
4. The non-combustible or flame-retardant steam cleaning composition according to claim 1, wherein the fluorocarbons (A) are hydrofluorocarbons. .
【請求項5】 請求項1記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、 前記フルオロカーボン類(A)が、パーフルオロカーボ
ン類であることを特徴とする不燃性または難燃性蒸気洗
浄組成物。
5. The non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition according to claim 1, wherein the fluorocarbons (A) are perfluorocarbons. .
【請求項6】 請求項1記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、 前記不揮発性物質(B)が、沸点130℃以上の不揮発
性ポリオルガノシロキサン類であることを特徴とする不
燃性または難燃性蒸気洗浄組成物。
6. The non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition according to claim 1, wherein the non-volatile substance (B) is a non-volatile polyorganosiloxane having a boiling point of 130 ° C. or higher. Or flame retardant steam cleaning compositions.
【請求項7】 請求項3記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、 前記ハイドロフルオロエーテル類が、ノナフルオロメト
キシブタンであることを特徴とする不燃性または難燃性
蒸気洗浄組成物。
7. The non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition according to claim 3, wherein the hydrofluoroether is nonafluoromethoxybutane. .
【請求項8】 請求項4記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、 前記ハイドロフルオロカーボン類が、デカフルオロペン
タンであることを特徴とする不燃性または難燃性蒸気洗
浄組成物。
8. The non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition according to claim 4, wherein the hydrofluorocarbon is decafluoropentane.
【請求項9】 請求項5記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、 前記パーフルオロカーボン類が、パーフルオロNメチル
モルホリンであることを特徴とする不燃性または難燃性
蒸気洗浄組成物。
9. The non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition according to claim 5, wherein the perfluorocarbons are perfluoro-N-methylmorpholine. .
【請求項10】 請求項6記載の不燃性または難燃性蒸
気洗浄組成物において、 前記不揮発性ポリオルガノシロキサンが、一般式 【化1】 (式中、Rは同一または相異なる置換または非置換の1
価の有機基、lは1から5の整数を示す)で表される直
鎖状ポリジオルガノシロキサン、および一般式 【化2】 (式中、Rは同一または相異なる置換または非置換の1
価の有機基、mは3から7の整数を示す)で表される環
状ポリジオルガノシロキサンから選ばれた少なくとも1
種の低分子量ポリオルガノシロキサンから選ばれた少な
くとも1種からなることを特徴とする不燃性または難燃
性蒸気洗浄組成物。
10. The non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition according to claim 6, wherein the nonvolatile polyorganosiloxane has a general formula: (Wherein R is the same or different, substituted or unsubstituted 1
A divalent organic group, 1 represents an integer of 1 to 5), and a linear polydiorganosiloxane represented by the general formula: (Wherein R is the same or different, substituted or unsubstituted 1
At least one selected from cyclic polydiorganosiloxanes represented by the following formula:
A non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition comprising at least one selected from the group consisting of low molecular weight polyorganosiloxanes.
【請求項11】 請求項10記載の不燃性または難燃性
蒸気洗浄組成物において、 前記不揮発性ポリオルガノシロキサンが、ヘキサメチル
シクロトリシロキサンであることを特徴とする不燃性ま
たは難燃性蒸気洗浄組成物。
11. The non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition according to claim 10, wherein the non-volatile polyorganosiloxane is hexamethylcyclotrisiloxane. Composition.
【請求項12】 請求項1記載の不燃性または難燃性蒸
気洗浄組成物において、 前記不揮発性物質(B)が、融点50℃以上の芳香族炭
化水素であることを特徴とする不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物。
12. The non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition according to claim 1, wherein the non-volatile substance (B) is an aromatic hydrocarbon having a melting point of 50 ° C. or higher. Flame retardant steam cleaning composition.
【請求項13】 請求項1記載の不燃性または難燃性蒸
気洗浄組成物において、 前記不揮発性物質(B)が、沸点130℃以上のパーフ
ルオロポリエーテル類であることを特徴とする不燃性ま
たは難燃性蒸気洗浄組成物。
13. The non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition according to claim 1, wherein the non-volatile substance (B) is a perfluoropolyether having a boiling point of 130 ° C. or higher. Or a flame retardant steam cleaning composition.
【請求項14】 請求項1記載の不燃性または難燃性蒸
気洗浄組成物において、 前記不揮発性物質(B)が、沸点130℃以上のケトン
類であることを特徴とする不燃性または難燃性蒸気洗浄
組成物。
14. The non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition according to claim 1, wherein the non-volatile substance (B) is a ketone having a boiling point of 130 ° C. or more. Steam cleaning composition.
【請求項15】 請求項1および請求項2記載の不燃性
または難燃性蒸気洗浄組成物において、 前記不燃性または難燃性蒸気洗浄組成物の沸点が、55
℃以上、130℃以下であることを特徴とする不燃性ま
たは難燃性蒸気洗浄組成物。
15. The non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition according to claim 1, wherein the non-flammable or flame-retardant vapor cleaning composition has a boiling point of 55.
A non-flammable or flame-retardant steam cleaning composition having a temperature of not lower than 130 ° C and not higher than 130 ° C.
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