JPH10228865A - Manufacture of rear plate of plasma display panel - Google Patents

Manufacture of rear plate of plasma display panel

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JPH10228865A
JPH10228865A JP4497197A JP4497197A JPH10228865A JP H10228865 A JPH10228865 A JP H10228865A JP 4497197 A JP4497197 A JP 4497197A JP 4497197 A JP4497197 A JP 4497197A JP H10228865 A JPH10228865 A JP H10228865A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dry film
press
phosphor
film
back plate
Prior art date
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Pending
Application number
JP4497197A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masaaki Asano
雅朗 浅野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
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Priority to US08/967,119 priority patent/US6106992A/en
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Publication of JPH10228865A publication Critical patent/JPH10228865A/en
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a PDP rear plate the production process of which is simplified and which comprises a uniform phosphor layer closely adhering to cell surfaces and sufficient cell spaces. SOLUTION: This manufacturing method comprises a process to pressure- insert a photosensitive phosphor body-containing dry film 3 into gaps between neighboring barrier ribs 2 of a plurality of barrier ribs formed on a substrate 1, a process to carry out exposure through a photomask 7 having a desired pattern, a process to develop and remove the regions which are not exposed, and a process to fire the pressure-inserted dry film 3. In this case, the dry film 3 is made thinner than the depth of the barrier ribs 3 and after the dry film 3 is pressure-inserted as to leave a void between the dry film 3 and the substrate 1, the pressure-inserted dry film 3 is further pressure-inserted to the substrate surface and then fired.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル(PDP)等の蛍光表示体の製造方法に関す
る。
The present invention relates to a method for manufacturing a fluorescent display such as a plasma display panel (PDP).

【0002】[0002]

【従来の技術】一般にPDPは、2枚の対向するガラス
基板にそれぞれ規則的に配列した一対の電極を設け、そ
の間にNe等を主体とするガスを封入した構造になって
いる。そして、これらの電極間に電圧を印加し、電極周
辺の微小なセル内で放電を発生させることにより、各セ
ルを発光させて表示を行なうようにしている。情報表示
するためには、規則的に並んだセルを選択的に放電発光
させる。このPDPには、電極が放電空間に露出してい
る直流型(DC型)と絶縁層で覆われている交流型(A
C型)の2タイプがあり、双方とも表示機能や駆動方法
の違いによって、更にリフレッシュ駆動方式とメモリー
駆動方式に分類される。
2. Description of the Related Art In general, a PDP has a structure in which a pair of electrodes arranged regularly on two opposing glass substrates are provided, and a gas mainly composed of Ne or the like is sealed between them. Then, a voltage is applied between these electrodes, and a discharge is generated in minute cells around the electrodes, so that each cell emits light to perform display. In order to display information, regularly arranged cells are selectively caused to emit light. This PDP has a direct current type (DC type) in which electrodes are exposed to the discharge space and an alternating current type (A) in which electrodes are covered with an insulating layer.
C type), and both types are further classified into a refresh driving method and a memory driving method according to differences in display functions and driving methods.

【0003】図3は、AC型PDPの一構成例を示した
ものである。この図は前面板31と背面板32を離した
状態で示したもので、図示のようにガラスからなる前面
板31と背面板32とが互いに平行に且つ対向して配設
されており、背面板32の前面側には、これに立設する
バリヤーリブ33が固着され、このバリヤーリブ33に
より前面板31と背面板32とが一定間隔で保持されて
いる。そして、前面板31の背面側には透明電極である
維持電極34と金属電極であるバス電極35とからなる
複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って誘電体
層36が形成されており、更にその上に保護層37(M
gO層)が形成されている。
FIG. 3 shows an example of the configuration of an AC type PDP. In this figure, the front plate 31 and the back plate 32 are shown separated from each other. As shown, the front plate 31 and the back plate 32 made of glass are arranged in parallel and opposed to each other. On the front side of the face plate 32, a barrier rib 33 standing upright is fixed, and the barrier rib 33 holds the front plate 31 and the back plate 32 at a constant interval. On the back side of the front plate 31, a composite electrode composed of a sustain electrode 34 which is a transparent electrode and a bus electrode 35 which is a metal electrode is formed in parallel with each other, and a dielectric layer 36 is formed so as to cover the composite electrode. , And a protective layer 37 (M
gO layer).

【0004】又、背面板32の前面側には前記複合電極
と直交するようにバリヤーリブ33の間に位置してアド
レス電極38が互いに平行に形成されており、更にバリ
ヤーリブ33の壁面とセル底面を覆うようにして蛍光体
39が設けられている。このAC型PDPでは、前面板
1上の複合電極間に交流電源から所定の電圧を印加して
電場を形成することにより、前面板31と背面板32と
バリヤーリブ33とで区画される表示要素として各セル
内で放電が行なわれる。そしてこの放電により生じる紫
外線により蛍光体39を発光させ、前面板31を透過し
てくる光を観察者が視認するようになっている。この蛍
光体の塗布方法としては、蛍光体を含有せしめた感光性
樹脂組成物からなるフォトレジストフイルムを使用する
方法が提案されている(例えば、特開平6−27392
5号公報、特開平8−95239号公報、特開平8−9
5250号公報等参照)。
On the front side of the back plate 32, address electrodes 38 are formed between the barrier ribs 33 so as to be orthogonal to the composite electrodes, and are formed in parallel with each other. A phosphor 39 is provided to cover. In this AC type PDP, by applying a predetermined voltage from an AC power supply between the composite electrodes on the front plate 1 to form an electric field, the display device is partitioned by the front plate 31, the back plate 32 and the barrier rib 33. Discharge is performed in each cell. The fluorescent substance 39 emits light by the ultraviolet light generated by the discharge, and the light transmitted through the front plate 31 is visually recognized by the observer. As a method of applying the phosphor, there has been proposed a method of using a photoresist film made of a photosensitive resin composition containing the phosphor (for example, JP-A-6-27392).
No. 5, JP-A-8-95239, JP-A-8-9
No. 5250).

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記提案された方法
は、PDPの背面板に形成されたセル中に感光性組成物
からなるドライフイルムを圧入し、露光及び現像後に焼
成して圧入されたドライフイルム中の有機物を焼失さ
せ、セル表面に蛍光体の層を形成する方法であるが、焼
成後のセル中には十分な放電空間を確保する必要がある
ために、感光性樹脂組成物中の有機物の含有量を大にす
る、即ち蛍光体の含有量を少なくすることが必須であ
る。このような事情からして、焼成には多くの熱エネル
ギーを要するだけではなく、焼成時には分解ガスが多量
に発生するので焼成炉の管理が煩雑であるという問題が
ある。
According to the above-mentioned proposed method, a dry film made of a photosensitive composition is pressed into a cell formed on a back plate of a PDP, baked after exposure and development, and baked. This method burns off organic matter in the film and forms a phosphor layer on the cell surface.However, since it is necessary to secure a sufficient discharge space in the fired cell, the photosensitive resin composition contains It is essential to increase the content of the organic substance, that is, to reduce the content of the phosphor. Under such circumstances, there is a problem that not only a large amount of heat energy is required for firing, but also a large amount of decomposition gas is generated during firing, so that the management of the firing furnace is complicated.

【0006】更に重大な問題として、セル内に圧入され
たドライフイルムには有機物が多量に含まれているため
に、焼成時間の経過とともに、ドライフイルムが収縮
し、最終的に形成されるべき蛍光体層がセル表面から浮
き上がり、蛍光体層がセル表面に密着しないという問題
がある。このような問題点を解決するために、ドライフ
イルム中の蛍光体の含有量を増加させる、即ち、有機物
の含有量を少なくすると、焼成後における蛍光体の量が
多くなり、十分なセル空間を確保することができない。
従って、本発明の目的は上記従来技術の問題点を解決
し、工程が簡略であり、且つセル表面に密着した均一な
蛍光体層を形成することができるPDP背面板を提供す
ることである。
As a more serious problem, since the dry film impressed into the cell contains a large amount of organic substances, the dry film shrinks with the elapse of the firing time, and the fluorescent light to be finally formed is reduced. There is a problem that the body layer rises from the cell surface and the phosphor layer does not adhere to the cell surface. In order to solve such a problem, when the content of the phosphor in the dry film is increased, that is, when the content of the organic substance is reduced, the amount of the phosphor after firing increases, and a sufficient cell space is obtained. Can not secure.
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, to provide a PDP back plate which is simple in process and can form a uniform phosphor layer in close contact with a cell surface.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的は以下の本発明
によって達成される。即ち、本発明は、基板上に形成さ
れた複数のバリヤーリブ間に感光性蛍光体ドライフイル
ムを圧入する工程、所望のパターンを有するフォトマス
クを介して露光する工程、非露光領域を現像除去する工
程、圧入されたドライフイルムを焼成する工程を含むP
DPの背面板の製造方法において、上記ドライフイルム
の厚みをバリヤリブの深さ未満として、圧入されたドラ
イフイルムと基板間に空隙を残すようにドライフイルム
を圧入した後、該圧入されたドライフイルムを基板面に
圧入することを特徴とするPDPの背面板の製造方法で
ある。
The above object is achieved by the present invention described below. That is, the present invention provides a step of press-fitting a photosensitive phosphor dry film between a plurality of barrier ribs formed on a substrate, a step of exposing through a photomask having a desired pattern, and a step of developing and removing a non-exposed area. , Including the step of firing the press-fitted dry film
In the method for manufacturing a rear plate of DP, after making the thickness of the dry film less than the depth of the barrier rib, press-fit the dry film so as to leave a gap between the press-fit dry film and the substrate, and then remove the pressed dry film. This is a method for manufacturing a back plate of a PDP, which is press-fitted to a substrate surface.

【0008】上記本発明によれば、本発明において使用
するドライフイルムは、セルの深さよりも薄く、且つセ
ル中に圧入されるので、背面板には十分な放電空間が形
成され、その後に焼成することにより、焼失されるべき
有機物が少量となっているので、有機物の焼失に使用す
る時間及び熱エネルギーは少なく、又、焼成によって発
生するガスも少ないので焼成炉の管理も容易である。更
に最大の利点は、セル内に十分な放電空間が形成される
とともに、最終的にセル内に形成される蛍光体層は、セ
ルの表面に十分に密着しており、従来技術における如き
蛍光体の浮き上がりや剥離等が生じない。
According to the present invention, the dry film used in the present invention is thinner than the depth of the cell and is pressed into the cell, so that a sufficient discharge space is formed in the back plate, and thereafter, firing is performed. By doing so, the amount of organic matter to be burned is small, so that the time and heat energy used for burning off the organic matter are small, and the gas generated by baking is small, so that the baking furnace can be easily managed. The greatest advantage is that a sufficient discharge space is formed in the cell, and the phosphor layer finally formed in the cell is sufficiently adhered to the surface of the cell. Floating, peeling, etc. do not occur.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】次に好ましい実施の形態を挙げて
本発明を更に詳細に説明する。本発明の特徴は、図3に
示すPDPの背面板における蛍光体層の形成方法にあ
る。本発明における背面板を構成する基板1及びリブ2
は従来公知の材料から従来公知の方法で形成され、それ
らの形状についても特別な点はない。又、本発明で使用
する蛍光体含有ドライフイルムは、例えば、特開平6−
273925号公報、特開平8−95239号公報特開
平8−95250号公報等に開示されたドライフイルム
であってもよいし、本願出願人が以前に提案したドライ
フイルム(特願平8−316871号明細書)であって
もよい。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to preferred embodiments. A feature of the present invention lies in a method of forming a phosphor layer on a back plate of a PDP shown in FIG. Substrate 1 and rib 2 constituting back plate in the present invention
Are formed from conventionally known materials by a conventionally known method, and there is no special point in their shapes. The phosphor-containing dry film used in the present invention is disclosed in, for example,
No. 273925, JP-A-8-95239, JP-A-8-95250, and the like, or a dry film that has been previously proposed by the present applicant (Japanese Patent Application No. 8-316871). Specification).

【0010】本発明の方法を図解的に示す図1〜2を参
照する。図1A及びBは、基板1の上に形成した多数の
バリヤーリブ2の間に、蛍光体含有ドライフイルム3を
圧入する状態を示す。ドライフイルム3は、少なくとも
蛍光体及び感光性樹脂からなる軟らかい感光性樹脂組成
物層3をベースフイルム4に積層してなるものであっ
て、本発明においては、その厚みaがバリヤリブ2の高
さh(セルの深さ)よりも薄くされている。ここで使用
するドライフイルムは、例えば、図4にその断面を図解
的に示すように、ポリエチレンテレフタレート、ポリエ
チレン、ポリプロピレン等を基材フイルム41とし、該
基材フイルム上に蛍光体含有感光性樹脂組成物からなる
塗工液を適当な乾燥厚みになるように塗布及び乾燥して
感光性樹脂層42としたものであって、好ましい形態と
しては、上記基材フイルム41と樹脂層42との間に離
型層43を設けて、樹脂層42の剥離を容易にすること
ができる。
Please refer to FIGS. 1 and 2 which schematically show the method of the present invention. FIGS. 1A and 1B show a state in which a phosphor-containing dry film 3 is press-fitted between a number of barrier ribs 2 formed on a substrate 1. The dry film 3 is obtained by laminating a soft photosensitive resin composition layer 3 composed of at least a phosphor and a photosensitive resin on a base film 4. In the present invention, the thickness a of the barrier film 2 is equal to the height of the barrier rib 2. h (cell depth). The dry film used here is, for example, as shown schematically in FIG. 4, a base film 41 of polyethylene terephthalate, polyethylene, polypropylene or the like, and a phosphor-containing photosensitive resin composition is formed on the base film. The photosensitive resin layer 42 is formed by applying and drying a coating liquid made of a material so as to have an appropriate dry thickness. As a preferred embodiment, the photosensitive resin layer 42 is provided between the base film 41 and the resin layer 42. By providing the release layer 43, the resin layer 42 can be easily separated.

【0011】又、PDP背面基板に対する樹脂層の転写
を容易にするために、樹脂層42の表面に粘着剤層44
を設けることができる。更にこれらのドライフイルムの
保存性を良好にするために樹脂層42又は粘着剤層44
の表面に上記基材フイルムと同様なフイルムを貼着し保
護層45とすることもできる。使用に際しては該保護層
45を剥離してPDP背面基板表面に樹脂層42を転写
する。このようなドライフイルム3を一対のゴムロール
等を用いて圧力5をかけることによってセル6内の上方
に圧入して、ベースフイルム4を剥離すると圧入された
フイルム3と基板1の間には空間6が形成される(図1
B)。上記においてドライフイルムの厚さaは、リブの
高さhの2/3〜1/3程度であることが好ましい。
In order to facilitate the transfer of the resin layer to the PDP back substrate, an adhesive layer 44 is provided on the surface of the resin layer 42.
Can be provided. Furthermore, in order to improve the preservability of these dry films, the resin layer 42 or the pressure-sensitive adhesive layer 44
A film similar to the above-mentioned base film may be adhered to the surface of the substrate to form the protective layer 45. In use, the protective layer 45 is peeled off, and the resin layer 42 is transferred to the surface of the PDP rear substrate. Such a dry film 3 is pressed into the upper part of the cell 6 by applying a pressure 5 using a pair of rubber rolls or the like, and when the base film 4 is peeled off, a space 6 is formed between the pressed film 3 and the substrate 1. Is formed (FIG. 1).
B). In the above description, the thickness a of the dry film is preferably about 2/3 to 1/3 of the height h of the rib.

【0012】次にセル6の上方に圧入されたドライフイ
ルム3を、更に圧力をかけてセルの底部に達するまで圧
入(第二の圧入)する。この第二の圧入は、リブ3を損
傷させないように、空気圧、水圧或いはスポンジのよう
な軟らかいクッション材を用いて行うことが好ましく、
又、ドライフイルムが十分に軟化するように作業時の温
度を約80〜120℃程度に加温して行うことが好まし
い。例えば、空気圧を用いてドライフイルムの第二の圧
入を行う場合には、株式会社ロプコ社製の「非接触ギャ
ップ成形硬化装置(LOPSKY)」を用いることがで
きる。この装置は空気の膜によってセル上部に充填され
ているドライフイルムに圧力をかけてドライフイルムを
セル内に圧入する方法であり、上下の気体膜発生器の無
数の孔から空気を噴射させ、背面坂を浮かせた状態で上
下から圧力をかけることによってドライフイルムをセル
の底部に押し込むことができる。この際に装置から噴射
される空気を適当な温度に設定しておくことによって、
ドライフイルムを軟化させ、ドライフイルムの圧入を容
易に且つ均一に行うことができる。
Next, the dry film 3 press-fitted above the cell 6 is further press-fitted (second press-fitting) until it reaches the bottom of the cell. This second press-fitting is preferably performed using a soft cushion material such as air pressure, water pressure or sponge so as not to damage the rib 3,
In addition, it is preferable that the temperature during the operation is increased to about 80 to 120 ° C. so that the dry film is sufficiently softened. For example, when the second press-fitting of the dry film is performed by using air pressure, a “non-contact gap forming and curing apparatus (LOPSKY)” manufactured by LOPCO Corporation can be used. This device is a method of applying pressure to the dry film filled in the upper part of the cell with a film of air and forcing the dry film into the cell, injecting air from countless holes in the upper and lower gas film generators, By applying pressure from above and below while the slope is floating, the dry film can be pushed into the bottom of the cell. At this time, by setting the air injected from the device to an appropriate temperature,
The dry film is softened, and the press-fit of the dry film can be easily and uniformly performed.

【0013】ドライフイルムの圧入は上記空気圧に代え
て水圧によっても、例えば、リックス株式会社製の「ウ
オタージェット樹脂バリ取り装置(AXシリーズ)」を
用いても行うことができる。この装置は、高圧水によっ
てセル上部に充填されているドライフイルムに圧力をか
けてドライフイルムをセル底部に圧入することができる
装置であり、洗浄ノズルが多数個用意されており、これ
らを高速回転させることにより、ある幅の水流の噴射が
可能で、更に振動させることによってドライフイルムが
圧入されている背面板基板全面に圧力をかけ、ドライフ
イルムをセルの底部に圧入させることができる。又、圧
力発生装置として、従来から用いられている高圧ブース
タに代えて最高吐出圧力1500kgf/cmの連続
吐出プランジャーポンプを用いているので運転信頼性が
高い。又、この装置から噴射される水を適当な温度に設
定しておくことによって、ドライフイルムを軟化させ、
ドライフイルムのセル底部への圧入を容易に且つ均一に
行うことができる。
The press-fitting of the dry film can be carried out by a water pressure instead of the air pressure, for example, by using a "Water jet resin deburring device (AX series)" manufactured by RIX Corporation. This device is capable of applying pressure to the dry film filled in the top of the cell with high-pressure water and press-fitting the dry film to the bottom of the cell. By doing so, it is possible to jet a water stream of a certain width, and by further vibrating, it is possible to apply pressure to the entire surface of the back plate substrate into which the dry film is pressed, and press the dry film into the bottom of the cell. In addition, since a continuous discharge plunger pump having a maximum discharge pressure of 1500 kgf / cm 2 is used as a pressure generating device instead of a conventionally used high-pressure booster, operation reliability is high. Also, by setting the water jetted from this device to an appropriate temperature, the dry film is softened,
Drift film can be easily and uniformly pressed into the cell bottom.

【0014】上記方法によってドライフイルムをセルの
底部に圧入させた状態を図1Cに示す。このようにドラ
イフイルムがセル底部に圧入された後に、図1Dに示す
ように、フォトマスク7を介して適当な波長の光8で露
光することによって、露光部分が硬化し、これを現像液
にて処理することによって図2Aに示す如く所定のセル
内のみにドライフイルムを残すことができる。図2Aの
ドライフイルムが赤色発光の蛍光体を含む場合とする。
次に緑色発光蛍光体含有ドライフイルムを用いて図1A
〜図2Aの操作を繰り返すことによって所定のセル内に
緑色のドライフイルム9を充填することができる(図2
B)。更に青色発光蛍光体含有ドライフイルム10を用
いて同様に行うことによって図2Cに示すようにセルの
所定箇所にRGBの3色のドライフイルムが夫々圧入さ
れる。
FIG. 1C shows a state where the dry film is pressed into the bottom of the cell by the above method. After the dry film is pressed into the cell bottom in this manner, as shown in FIG. 1D, the exposed portion is cured by exposing it to light 8 having an appropriate wavelength through a photomask 7, and the exposed portion is cured into a developing solution. 2A, the dry film can be left only in a predetermined cell as shown in FIG. 2A. It is assumed that the dry film shown in FIG. 2A includes a phosphor that emits red light.
Next, FIG. 1A is used using a green light-emitting phosphor-containing dry film.
2A can be filled in a predetermined cell with the green dry film 9 (FIG. 2).
B). Further, the same operation is performed using the blue light-emitting phosphor-containing dry film 10, whereby the three colors of RGB dry film are respectively pressed into predetermined portions of the cell as shown in FIG. 2C.

【0015】図2Cに示す状態のものを適当な温度で焼
成することによって、ドライフイルム中の有機物は焼失
し、セルの内表面に3色のRGBの蛍光体層3,9,1
0がそれぞれ形成される。尚、本発明で使用する蛍光体
含有ドライフイルムは、前記のようにセル空間を完全に
充填する厚さではないので、ドライフイルム中の蛍光体
の含有量を、従来と同様のドライフイルムの蛍光体含有
量よりも高めることができ、例えば、好ましい蛍光体含
有量は、ドライフイルム中で約60〜90重量%を占め
る割合である。
By firing the state shown in FIG. 2C at an appropriate temperature, the organic matter in the dry film is burned off, and the three color RGB phosphor layers 3, 9, 1 are formed on the inner surface of the cell.
0 are respectively formed. Since the phosphor-containing dry film used in the present invention is not thick enough to completely fill the cell space as described above, the content of the phosphor in the dry film is reduced to the same value as that of the conventional dry film. It can be higher than the body content; for example, a preferred phosphor content is about 60-90% by weight in the dry film.

【0016】ドライフイルム中には、蛍光体と感光性樹
脂の他に、染料(着色、発色)、密着性付与剤、酸化防
止剤、熱重合禁止剤、溶剤、表面張力改質材、安定剤、
連鎖移動剤、消泡剤、難燃剤等の添加剤を適宜添加する
ことができる。特にシラン系、アルミ系又はチタネート
系のカップリング剤を含有させることによって、最終的
にPDP背面板のセル中に形成される蛍光体層のセル表
面に対する密着性を向上させることができる。又、これ
らのカップリング剤は、予めPDPの背面板のセル表面
に塗布しておいてもよい。
In the dry film, in addition to the phosphor and the photosensitive resin, dyes (coloring and coloring), adhesion promoters, antioxidants, thermal polymerization inhibitors, solvents, surface tension modifiers, stabilizers ,
Additives such as a chain transfer agent, an antifoaming agent, and a flame retardant can be appropriately added. In particular, by incorporating a silane-based, aluminum-based or titanate-based coupling agent, the adhesion of the phosphor layer finally formed in the cells of the PDP back plate to the cell surface can be improved. In addition, these coupling agents may be applied in advance to the cell surface of the back plate of the PDP.

【0017】本発明で使用するドライフイルムの感光性
樹脂組成物が稀アルカリ現像型である場合には、露光後
の現像は、炭酸ソーダ、炭酸カリウム等のアルカリ1〜
2重量%程度の稀薄水溶液を用いて行う。上記現像処理
後にセル形成基板を500〜550℃で焼成を行い、セ
ル内部に蛍光体を固定する。このようにして、ガラス基
板上に蛍光体を固定することができる。フルカラーのP
DPを形成するためには、赤色、青色、緑色のそれぞれ
の蛍光体を含有するフォトレジストフイルムを用いて上
記の転写工程、露光工程から焼成工程までを繰り返し行
う。
When the photosensitive resin composition of the dry film used in the present invention is of a dilute alkali developing type, development after exposure is carried out with an alkali 1 such as sodium carbonate or potassium carbonate.
This is performed using a dilute aqueous solution of about 2% by weight. After the development processing, the cell forming substrate is baked at 500 to 550 ° C. to fix the phosphor inside the cell. In this way, the phosphor can be fixed on the glass substrate. Full color P
In order to form the DP, the above-described transfer step, exposure step, and baking step are repeatedly performed using a photoresist film containing each of red, blue, and green phosphors.

【0018】[0018]

【実施例】次に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説
明する。尚、実施例中「%」又は「部」とあるのは、特
に断りのない限り重量基準である。 実施例1感光性樹脂組成物の調製 下記のベースポリマー23部、下記のエチレン性不飽和
化合物27部、下記処方の光重合開始剤4部、下記の蛍
光体128部及び揮発性有機物20部を混合して感光性
樹脂組成物を調製した。 (ベースポリマー)メチルメタクリレート/n−ブチル
メタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/メ
タクリル酸の共重合割合が、重量基準で55/8/15
/22である共重合体(酸価143.3、ガラス転移点
66.3℃、重量平均分子量8万)
Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples. In the examples, “%” or “parts” is based on weight unless otherwise specified. Example 1 Preparation of photosensitive resin composition 23 parts of the following base polymer, 27 parts of the following ethylenically unsaturated compound, 4 parts of a photopolymerization initiator having the following formulation, 128 parts of the following phosphor and 20 parts of a volatile organic material The mixture was mixed to prepare a photosensitive resin composition. (Base polymer) The copolymerization ratio of methyl methacrylate / n-butyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / methacrylic acid is 55/8/15 on a weight basis.
/ 22 copolymer (acid value 143.3, glass transition point 66.3 ° C, weight average molecular weight 80,000)

【0019】(エチレン性不飽和化合物)トリメチロー
ルプロパントリアクリレート/ポリエチレングリコール
(600)ジメタクリレート/エチレンオキサイド変性
フタル酸アクリレート(共栄社油脂工業株式会社製)の
重量比20/10/6の混合物 (光重合開始剤)ベンゾフェノン/p,p’−ジエチル
アミノベンゾフェノン/2,2−ビス(o−クロロフェ
ニル)4,5,4’,5’−テトラフェニル−1,2’
−ビイミダゾールの重量比8/0.15/1の混合物
(Ethylenically unsaturated compound) A mixture of trimethylolpropane triacrylate / polyethylene glycol (600) dimethacrylate / ethylene oxide-modified phthalic acrylate (manufactured by Kyoeisha Yushi Kogyo Co., Ltd.) in a weight ratio of 20/10/6 (light Polymerization initiator) benzophenone / p, p'-diethylaminobenzophenone / 2,2-bis (o-chlorophenyl) 4,5,4 ', 5'-tetraphenyl-1,2'
A mixture of biimidazole in a weight ratio of 8 / 0.15 / 1

【0020】(蛍光体) 青色発光蛍光体:BaMgAl1017:Eu(商品名:
KX−501A、化成オプトニクス社製) 赤色発光蛍光体:Y23:Eu(商品名:LP−RE
I、化成オプトニクス社製) 緑色発光蛍光体:Zn2SiO4:Mn(商品名:P1−
G1S、化成オプトニクス社製)
(Phosphor) Blue light-emitting phosphor: BaMgAl 10 O 17 : Eu (trade name:
KX-501A, manufactured by Kasei Optonics Co., Ltd. Red light-emitting phosphor: Y 2 O 3 : Eu (trade name: LP-RE)
I, manufactured by Kasei Optonics Co., Ltd.) Green-emitting phosphor: Zn 2 SiO 4 : Mn (trade name: P1-
G1S, manufactured by Kasei Optonics)

【0021】(揮発性有機物)ジオクチルフタレート
(沸点390℃ at 760mmHg、225〜 2
30℃ at 4mmHg)
(Volatile organic substance) dioctyl phthalate (boiling point 390 ° C. at 760 mmHg, 225 to 2
30 ° C at 4mmHg)

【0022】ドライフイルムの作製 上記の感光性組成物を、ブレードコーターを用いて厚さ
20μmのポリエステルフイルム上に塗工し、室温で1
分30秒間放置した後、90℃のオーブンで30分間乾
燥して、感光性組成物の膜厚が30μmの本発明のドラ
イフイルムとした(但し保護フイルムは設けていな
い)。
Preparation of Dry Film The above photosensitive composition was coated on a polyester film having a thickness of 20 μm by using a blade coater.
After leaving for 30 minutes, the film was dried in an oven at 90 ° C. for 30 minutes to obtain a dry film of the present invention having a photosensitive composition having a film thickness of 30 μm (however, no protective film was provided).

【0023】ガラス基板へのラミネート このドライフイルムを、オーブンで60℃に予熱したガ
ラス基板[導電性回路とバリヤリブ(高さ150μm、
幅50μm、ピッチ200μm)とが形成された蛍光面
形成用基板]上に、ラミネートロール温度100℃、同
ロール圧3kg/cm、ラミネート速度1.5m/m
inにてラミネートした。その後ラミネートされたフイ
ルムに対して圧力0.1kg/cm、温度100℃で
5分間エアープレスを行った。
Lamination on a glass substrate This dry film was preheated in an oven to 60 ° C. on a glass substrate [a conductive circuit and a barrier rib (height: 150 μm,
A phosphor screen forming substrate having a width of 50 μm and a pitch of 200 μm]], a laminating roll temperature of 100 ° C., a roll pressure of 3 kg / cm 2 , and a laminating speed of 1.5 m / m.
The laminate was made in. Thereafter, the laminated film was subjected to an air press at a pressure of 0.1 kg / cm 2 and a temperature of 100 ° C. for 5 minutes.

【0024】露光、現像 エアープレス後、蛍光面パターン形状(線幅開孔110
μm、ピッチ200μm)の露光部分が形成されるよう
にパターンマスクをラミネートフイルム表面に重ねて、
大日本スクリーン製の露光機MAP−200にて3kw
超高圧水銀灯で400mJ/cmの露光を行った。露
光後15分間のホールドタイムを取った後、ポリエステ
ルフイルムを剥離し、20℃において1%炭酸ソーダ水
溶液を用いて、最少現像時間の1.5倍の時間で現像し
た。次いで160℃で30分間のポストベーク(水切り
乾燥)を行った。以上の工程を3色の蛍光体を含むドラ
イフイルムのそれぞれについて行った。
After exposure and development air press, the phosphor screen pattern shape (line width opening 110
μm, pitch 200 μm), and a pattern mask is superimposed on the laminate film surface so that an exposed portion is formed.
3kw with the exposure machine MAP-200 made by Dainippon Screen
Exposure was performed at 400 mJ / cm 2 with an ultra-high pressure mercury lamp. After a hold time of 15 minutes after exposure, the polyester film was peeled off and developed at 20 ° C. using a 1% aqueous sodium carbonate solution for 1.5 times the minimum development time. Next, post-baking (water-drying) was performed at 160 ° C. for 30 minutes. The above steps were performed for each of the dry films including the phosphors of three colors.

【0025】乾燥 上記現像後に全体を250℃、4mmHgの乾燥炉中で
10分間乾燥させ、感光性組成物膜中に含まれているジ
オクチルフタレートを蒸発乾燥させた。
Drying After the above development, the whole was dried in a drying furnace at 250 ° C. and 4 mmHg for 10 minutes, and dioctyl phthalate contained in the photosensitive composition film was evaporated and dried.

【0026】焼成 次に上記で3色の蛍光体組成物がそれぞれ充填されたガ
ラス基板を、焼成炉内で室温から550℃まで1時間で
上昇させ、蛍光体組成物膜内の樹脂分を焼失させて蛍光
体層を形成してPDPの背面板を得た。この蛍光体層は
基板に十分に密着しており、蛍光体層の浮き上がりがな
く、又、十分な放電空間が確保されていた。
Firing Next, the glass substrate filled with each of the three color phosphor compositions is raised from room temperature to 550 ° C. in a firing furnace in one hour, and the resin component in the phosphor composition film is burned off. Then, a phosphor layer was formed to obtain a PDP back plate. This phosphor layer was sufficiently adhered to the substrate, there was no lifting of the phosphor layer, and a sufficient discharge space was secured.

【0027】実施例2〜4 下記表1に示す如く、実施例1の感光性組成物における
組成を変化させて、実施例1と同様にして感光性樹脂組
成物を得、これを用いて実施例1と同様にしてドライフ
イルムを得た。尚、実施例2においては乾燥工程は行わ
なかった。
Examples 2 to 4 As shown in Table 1 below, a photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that the composition of the photosensitive composition of Example 1 was changed. A dry film was obtained in the same manner as in Example 1. In addition, in Example 2, the drying process was not performed.

【表1】 [Table 1]

【0028】これらのドライフイルムを用いてPDPの
背面板を作製した。PDPの背面基板におけるリブは高
さが150μmであり、リブの間隔は200μmであ
り、リブ幅が50μmであるため、溝状のセルの深さは
150μm、その溝幅は150μmに形成されている。
上記セル面にドライフイルムの感光性樹脂層を対向させ
て重ね合せ、この重ね合わせたものをラミネート用のゴ
ムロール間に通して、セル中に感光性樹脂層を圧入させ
た後、ポリエステルフイルムを剥離し、実施例1と同様
にしてエアープレスを行った。エアープレス後にセルと
蛍光体の発色光と同色の画素パターンを有するフォトマ
スクを介して実施例1と同様にして露光及び現像した。
その後、実施例1と同様にして乾燥及び焼成して蛍光体
層を形成してPDPの背面板(但し1色のみ)とした。
この蛍光体層は基板に十分に密着しており、蛍光体層の
浮き上がりがなく、又、十分な放電空間が確保されてい
た。
A back plate of a PDP was manufactured using these dry films. The ribs on the rear substrate of the PDP have a height of 150 μm, the interval between the ribs is 200 μm, and the rib width is 50 μm, so that the depth of the groove-shaped cell is 150 μm and the groove width is 150 μm. .
The photosensitive resin layer of the dry film is superposed on the cell surface, and the laminated film is passed between rubber rolls for lamination. After the photosensitive resin layer is pressed into the cell, the polyester film is peeled off. Then, an air press was performed in the same manner as in Example 1. After the air press, exposure and development were performed in the same manner as in Example 1 through a photomask having a pixel pattern of the same color as the color light of the cell and the phosphor.
Thereafter, drying and baking were performed in the same manner as in Example 1 to form a phosphor layer, and a PDP back plate (only one color) was obtained.
This phosphor layer was sufficiently adhered to the substrate, there was no lifting of the phosphor layer, and a sufficient discharge space was secured.

【0029】実施例5 実施例1におけるドライフイルムの圧入を、リックス株
式会社製の「ウオタージェット樹脂バリ取り装置(AX
シリーズ)」を用い、水温80℃、水圧5kgf/cm
で行った他は実施例1と同様にしてPDPの背面板を
形成した。この背面板の蛍光体層は基板に十分に密着し
ており、蛍光体層の浮き上がりがなく、又、十分な放電
空間が確保されていた。
Example 5 The press-fitting of a dry film in Example 1 was carried out using a “water jet resin deburring device (AX
Series) ”, water temperature 80 ° C, water pressure 5kgf / cm
A back plate of a PDP was formed in the same manner as in Example 1 except that Step 2 was performed. The phosphor layer of the back plate was sufficiently adhered to the substrate, there was no lifting of the phosphor layer, and a sufficient discharge space was secured.

【0030】比較例1 実施例1と同様にしてドライフイルムを作製したが、そ
の感光性組成物層の厚みを160μmとした。このドラ
イフイルムを用いて、エアープレスを用いることなくラ
ミネートのみでセルの充填を行い、他は実施例1と同様
にしてPDPの背面板を作製した。その結果、焼成後の
セルの最終形状において放電空間が少なくなってしまっ
た。
Comparative Example 1 A dry film was prepared in the same manner as in Example 1, except that the thickness of the photosensitive composition layer was 160 μm. Using this dry film, a cell was filled only with a laminate without using an air press, and a back plate of a PDP was produced in the same manner as in Example 1 except for the above. As a result, the discharge space was reduced in the final shape of the fired cell.

【0031】比較例2 実施例1の感光性樹脂組成物の各組成のうちの蛍光体を
17部に変えて、塗工層の厚さ160μmのドライフイ
ルムを形成し、エアープレスを用いることなくラミネー
トのみでセルの充填を行い、他は実施例1と同様にして
PDPの背面板を作製した。この比較例2では計算上は
蛍光体の絶対量が実施例1と同じであるために、焼成後
のセル最終形状においては放電空間が実施例1と同一に
なるが、ドライフイルムの塗工層中の樹脂分が多いため
に焼成時に蛍光体層の剥離が生じてしまった。
COMPARATIVE EXAMPLE 2 A phosphor layer having a thickness of 160 μm was formed by changing the phosphor of the composition of the photosensitive resin composition of Example 1 to 17 parts without using an air press. The back plate of the PDP was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the cell was filled only with the laminate. In Comparative Example 2, since the absolute amount of the phosphor is calculated to be the same as that of Example 1, the discharge space becomes the same as that of Example 1 in the final shape of the fired cell. Due to the large amount of resin inside, peeling of the phosphor layer occurred during firing.

【0032】[0032]

【発明の効果】上記本発明によれば、本発明において使
用するドライフイルムは、セルの深さよりも薄く、且つ
セル中に圧入されるので、背面板には十分な放電空間が
形成され、その後に焼成することにより、焼失されるべ
き有機物が少量となっているので、有機物の焼失に使用
する時間及び熱エネルギーは少なく、又、焼成によって
発生するガスも少ないので焼成炉の管理も容易である。
更に最大の利点は、セル内に十分な放電空間が形成され
るとともに、最終的にセル内に形成される蛍光体層は、
セルの表面に十分に密着しており、従来技術における如
き蛍光体の浮き上がりや剥離等が生じない。
According to the present invention, since the dry film used in the present invention is thinner than the depth of the cell and is pressed into the cell, a sufficient discharge space is formed in the back plate, and By baking, the amount of organic matter to be burned is small, so that the time and heat energy used for burning off the organic matter are small, and the gas generated by baking is small, so that the baking furnace can be easily managed. .
The greatest advantage is that a sufficient discharge space is formed in the cell, and the phosphor layer finally formed in the cell is
Since the phosphor is sufficiently adhered to the surface of the cell, the phosphor does not float or peel off as in the prior art.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の方法を説明する図FIG. 1 illustrates a method of the present invention.

【図2】 本発明の方法を説明する図FIG. 2 illustrates a method of the present invention.

【図3】 PDPの構成説明図。FIG. 3 is a diagram illustrating the configuration of a PDP.

【図4】 ドライフイルムの構成図FIG. 4 is a configuration diagram of a dry film.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:基板 2:バリヤーリブ 3:ドライフイルム(赤) 4:ベースフイルム 5:圧力 6:セル(空間) 7:フォトマスク 8:光 9:ドライフイルム(緑) 10:ドライフイルム(青) 31:前面板 32:背面板 33:バリヤーリブ 34:維持電極 35:バス電極 36:誘電体層 37:保護層 38:アドレス電極 39:蛍光体層 41:基材フイルム 42:感光性樹脂層 43:離型層 44:粘着剤層 45:保護層 1: Substrate 2: Barrier rib 3: Drift film (red) 4: Base film 5: Pressure 6: Cell (space) 7: Photomask 8: Light 9: Drift film (green) 10: Drift film (blue) 31: Front Face plate 32: Back plate 33: Barrier rib 34: Sustain electrode 35: Bus electrode 36: Dielectric layer 37: Protective layer 38: Address electrode 39: Phosphor layer 41: Base film 42: Photosensitive resin layer 43: Release layer 44: adhesive layer 45: protective layer

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に形成された複数のバリヤーリブ
間に感光性蛍光体ドライフイルムを圧入する工程、所望
のパターンを有するフォトマスクを介して露光する工
程、非露光領域を現像除去する工程、圧入されたドライ
フイルムを焼成する工程を含むプラズマディスプレイパ
ネルの背面板の製造方法において、上記ドライフイルム
の厚みをバリヤリブの深さ未満として、圧入されたドラ
イフイルムと基板間に空隙を残すようにドライフイルム
を圧入した後、該圧入されたドライフイルムを基板面に
圧入することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の背面板の製造方法。
A step of press-fitting a photosensitive phosphor dry film between a plurality of barrier ribs formed on a substrate; a step of exposing through a photomask having a desired pattern; a step of developing and removing a non-exposed area; In the method for manufacturing a back plate of a plasma display panel including a step of firing a press-fitted dry film, a thickness of the dry film is set to be less than a depth of a barrier rib, and a dry process is performed so as to leave a gap between the press-fitted dry film and the substrate. A method for manufacturing a rear plate of a plasma display panel, comprising: after press-fitting a film, press-fitting the press-fitted dry film onto a substrate surface.
【請求項2】 圧入されたドライフイルムの基板面への
圧入を、エアープレスによって行う請求項1に記載のプ
ラズマディスプレイパネルの背面板の製造方法。
2. The method for manufacturing a back plate of a plasma display panel according to claim 1, wherein the press-fitted dry film is pressed into the substrate surface by an air press.
【請求項3】 圧入されたドライフイルムの基板面への
圧入を、ウオタージェットによって行う請求項1に記載
のプラズマディスプレイパネルの背面板の製造方法。
3. The method for manufacturing a back plate of a plasma display panel according to claim 1, wherein the press-fitted dry film is pressed into the substrate surface by a water jet.
【請求項4】 圧入されたドライフイルムの基板面への
圧入を、クッション材によって行う請求項1に記載のプ
ラズマディスプレイパネルの背面板の製造方法。
4. The method for manufacturing a back plate of a plasma display panel according to claim 1, wherein the press-fitted dry film is pressed into the substrate surface by a cushion material.
【請求項5】 ドライフイルムが、赤、緑、及び青の3
色に発光する蛍光体を含む3種のフイルムであり、請求
項1に記載のドライフイルムの圧入をそれぞれのフイル
ムについて行う請求項1に記載のプラズマディスプレイ
パネルの背面板の製造方法。
5. A dry film having three colors of red, green and blue.
3. The method for manufacturing a back plate of a plasma display panel according to claim 1, wherein the three types of films include phosphors that emit light of different colors, and the dry film according to claim 1 is pressed into each of the films.
【請求項6】 ドライフイルムが少なくとも蛍光体及び
感光性樹脂からなる感光性樹脂組成物層をベースフイル
ムに積層してなる請求項1に記載のプラズマディスプレ
イパネルの背面板の製造方法。
6. The method for manufacturing a back plate of a plasma display panel according to claim 1, wherein the dry film is formed by laminating a photosensitive resin composition layer comprising at least a phosphor and a photosensitive resin on a base film.
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