JPH10227772A - Diagnostic method and device for ultrasonic inspection device - Google Patents
Diagnostic method and device for ultrasonic inspection deviceInfo
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- JPH10227772A JPH10227772A JP9028034A JP2803497A JPH10227772A JP H10227772 A JPH10227772 A JP H10227772A JP 9028034 A JP9028034 A JP 9028034A JP 2803497 A JP2803497 A JP 2803497A JP H10227772 A JPH10227772 A JP H10227772A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波検査装置の
異常の有無を診断する超音波検査装置の診断方法および
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for diagnosing an ultrasonic inspection apparatus for diagnosing abnormalities in the ultrasonic inspection apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】超音波を用いた非破壊検査装置（超音波
検査装置）は、鉄鋼金属類から最近では半導体まで多く
の業種で使われている。またその装置は、現場のインラ
イン検査から研究開発用のツールとしてまで多くの部門
で使われている。また、その形状もさまざまで、検査者
が持ち運べるハンディータイプから現場等に設置する据
え付けタイプまで多種にわたる。ハンディータイプの従
来装置の構成例としては、例えば特公平６−１４０２７
号公報に示されるものがある。また、据え付けタイプの
従来装置の構成例としては、例えば特公平５−５８５０
２号公報に示されるものがある。それらを単純化した装
置構成を図４に示す。2. Description of the Related Art Non-destructive inspection apparatuses (ultrasonic inspection apparatuses) using ultrasonic waves are used in many industries from steel and metals to semiconductors. The equipment is also used in many departments, from in-line on-site inspection to R & D tools. In addition, they have various shapes, ranging from a handy type that can be carried by an inspector to an installation type that is installed at a site or the like. As a configuration example of a handy type conventional apparatus, for example, Japanese Patent Publication No. 6-14027
There is one shown in Japanese Patent Publication No. Further, as a configuration example of a conventional installation type device, for example, Japanese Patent Publication No. 5-5850
There is one shown in Japanese Patent Publication No. FIG. 4 shows a simplified device configuration.
【０００３】図４は超音波検査装置のプロック図であ
る。超音波プローブ１（以下、プローブ）は超音波を送
受信するセンサ部である。超音波送受信回路２（以下、
送受信回路）はプローブ１から超音波を送受信するため
の回路であり、通常は高圧のインパルス信号でプローブ
１内の圧電振動子を励起することにより超音波を発生
（送信）させ（例えば前記特公平６−１４０２７号公報
の図１又は図５に示される送信部５に相当）、圧電振動
子で受信した微小信号を増幅器、（例えば前記特公平６
−１４０２７号公報の図１又は図５に示される増幅回路
６ｂ´）により所定の電圧信号レベルに増幅させる。波
形処理回路３は、受信波形に基づいて検査結果を表示す
るための処理部であり、例えばゲート回路（例えば前記
特公平５−５８５０２号の第２図に示すゲート回路２
６）により波形の一部を取り出しその最大値を抽出した
最大値を表示部４の所定の位置に順番に濃淡値として表
示することにより超音波画像を形成したりする。制御部
５で送受信回路２および波形処理回路３を制御してい
る。最近では制御部５をパーソナルコンピュータ（以
下、ＰＣ）で構成する例が増えている。FIG. 4 is a block diagram of an ultrasonic inspection apparatus. The ultrasonic probe 1 (hereinafter, probe) is a sensor unit that transmits and receives ultrasonic waves. Ultrasonic transmission / reception circuit 2 (hereinafter, referred to as
The transmission / reception circuit) is a circuit for transmitting and receiving ultrasonic waves from the probe 1, and usually generates (transmits) ultrasonic waves by exciting a piezoelectric vibrator in the probe 1 with a high-voltage impulse signal (for example, No. 6-14027, corresponding to the transmitting unit 5 shown in FIG. 1 or FIG. 5), a small signal received by the piezoelectric vibrator is amplified by an amplifier (for example,
The signal is amplified to a predetermined voltage signal level by an amplifier circuit 6b ') shown in FIG. The waveform processing circuit 3 is a processing unit for displaying an inspection result based on a received waveform. For example, a gate circuit (for example, the gate circuit 2 shown in FIG.
A part of the waveform is extracted according to 6), and the maximum value obtained by extracting the maximum value is sequentially displayed at a predetermined position on the display unit 4 as a gray value, thereby forming an ultrasonic image. The control unit 5 controls the transmission / reception circuit 2 and the waveform processing circuit 3. Recently, an example in which the control unit 5 is configured by a personal computer (hereinafter, PC) has been increasing.
【０００４】据付けタイプの超音波検査は、上記の他
に、移動のための搬送設備や、プローブまたは被検体の
位置を変化させるスキャナ等が付加される。また、上記
説明では、プローブは１個としたが、送信と受信を別の
プローブで行う検査法（二探触子）では２個用いる。ま
た、鉄鋼ライン等で用いる大きな検査物（被検体）の場
合は、プローブの数は数十〜数百個にも及ぶ場合があ
る。その場合はプローブ数に応じて送受信回路数も増や
すのが一般的である。また、１個のプローブ内に微小な
振動子を数十〜数百個配列したアレイプローブを用いる
こともある。[0004] In addition to the above, an installation-type ultrasonic inspection is provided with a transport facility for movement, a scanner for changing the position of a probe or a subject, and the like. In the above description, one probe is used. However, two probes are used in the inspection method (two probes) in which transmission and reception are performed by different probes. Further, in the case of a large test object (test object) used in a steel line or the like, the number of probes may reach tens to hundreds. In that case, it is common to increase the number of transmitting and receiving circuits in accordance with the number of probes. An array probe in which several tens to several hundreds of micro transducers are arranged in one probe may be used.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記超音波検査装置に
おいて、プローブ１に備えられている振動子は薄いセラ
ミック等で構成されている。このためプローブ１は機械
的な振動、衝撃により破損することが多く、又、水中で
使用する等、使用環境も悪く劣化し易い。このため、超
音波検査装置に不具合が生じたときには、通常、プロー
ブ１を新たなプローブと交換してみる手段が採られる。In the above-described ultrasonic inspection apparatus, the vibrator provided in the probe 1 is made of a thin ceramic or the like. For this reason, the probe 1 is often damaged by mechanical vibrations and impacts, and also has a poor use environment and is liable to be deteriorated when used underwater. For this reason, when a problem occurs in the ultrasonic inspection apparatus, a means for replacing the probe 1 with a new probe is usually employed.
【０００６】しかし、このようにプローブ１を交換する
手段は、手元にほぼ同種類の控えのプローブを用意して
おかねばならない。又、控えのプローブと交換しても依
然として超音波検査装置の不具合が継続している場合に
は、当該控えのプローブも異常である可能性があり、異
常個所がプローブであるか否かを特定することができな
い。However, in order to replace the probe 1 as described above, it is necessary to prepare a copy of a probe of the same kind at hand. Also, if the ultrasonic inspection device continues to malfunction even after replacement with the duplicate probe, the duplicate probe may also be abnormal, and determine whether the abnormal part is the probe. Can not do it.
【０００７】本発明の目的は、上記従来技術における課
題を解決し、不具合の個所を特定することができる超音
波検査装置の診断方法および装置を提供することにあ
る。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems in the prior art and to provide a diagnostic method and apparatus of an ultrasonic inspection apparatus capable of specifying a location of a defect.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１の発明は、プローブと、このプローブを励
振させるとともに当該プローブからの信号を受信する超
音波送受信回路、この超音波送受信回路からの信号を処
理する波形処理回路、および前記超音波送受信回路と前
記波形処理回路の動作を制御する制御部で構成される装
置本体とを備えた超音波検査装置において、前記プロー
ブを超音波送受信回路に接続するとともにテスト用物体
に対向させ、前記プローブを励振させて超音波を出力さ
せ、その超音波の反射波信号に基づく前記超音波送受信
回路から出力されるデータおよび前記波形処理回路から
出力されるデータのうちの少なくとも一方を採取し、か
つ、前記プローブを超音波送受信回路から切り離し、こ
の超音波送受信回路にテスト信号を与えたときの当該超
音波送受信回路から出力されるデータおよび前記波形処
理回路から出力されるデータのうちの少なくとも一方を
採取し、採取された各データに基づいて前記超音波検査
装置を診断することを特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a probe, an ultrasonic transmitting / receiving circuit for exciting the probe and receiving a signal from the probe, and an ultrasonic transmitting / receiving circuit. An ultrasonic inspection apparatus comprising: a waveform processing circuit that processes a signal from a circuit; and an apparatus main body including a control unit that controls an operation of the ultrasonic transmission / reception circuit and the waveform processing circuit. Connected to a transmitting / receiving circuit and facing the test object, exciting the probe to output an ultrasonic wave, and outputting data from the ultrasonic transmitting / receiving circuit based on a reflected wave signal of the ultrasonic wave and the waveform processing circuit. At least one of the output data is collected, and the probe is disconnected from the ultrasonic transmission / reception circuit. At least one of data output from the ultrasonic transmission / reception circuit and data output from the waveform processing circuit when a test signal is supplied to the ultrasonic inspection apparatus based on the collected data. Is diagnosed.
【０００９】又、請求項２の発明は、プローブと、この
プローブを励振させるとともに当該プローブからの信号
を受信する超音波送受信回路、この超音波送受信回路か
らの信号を処理する波形処理回路、および前記超音波送
受信回路と前記波形処理回路の動作を制御する制御部で
構成される装置本体とを備えた超音波検査装置におい
て、前記プローブと前記超音波送受信回路とが接続され
た状態で前記プローブとテスト用物体とを対向する位置
決め手段と、前記プローブとテスト用物体とが対向した
状態で前記プローブを励振させるプローブ励振手段と、
このプローブ励振手段により前記プローブが励振された
ときの前記超音波送受信回路および前記波形処理回路の
出力データのうちの少なくとも一方を採取する第１のデ
ータ採取手段と、前記プローブと前記超音波送受信回路
とが切り離された状態で前記超音波送受信回路にテスト
信号を与えるテスト信号出力手段と、このテスト信号出
力手段によりテスト信号が出力されたときの前記超音波
送受信回路の出力データおよび前記波形処理回路の出力
データのうちの少なくとも一方を採取する第２のデータ
採取手段と、前記第１のデータ採取手段および前記第２
のデータ採取手段により採取された各出力データに基づ
いて前記超音波検査装置の異常の有無を判断する判断手
段とを設けたことを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided a probe, an ultrasonic transmitting / receiving circuit for exciting the probe and receiving a signal from the probe, a waveform processing circuit for processing a signal from the ultrasonic transmitting / receiving circuit, and In an ultrasonic inspection apparatus including an ultrasonic transmission / reception circuit and an apparatus main body including a control unit configured to control an operation of the waveform processing circuit, the probe is connected to the ultrasonic transmission / reception circuit in a state where the probe is connected to the ultrasonic transmission / reception circuit. And positioning means for facing the test object, and probe excitation means for exciting the probe with the probe and the test object facing each other,
First data acquisition means for acquiring at least one of output data of the ultrasonic transmission / reception circuit and the waveform processing circuit when the probe is excited by the probe excitation means, the probe and the ultrasonic transmission / reception circuit Test signal output means for supplying a test signal to the ultrasonic transmission / reception circuit in a state where the test signal is output from the ultrasonic transmission / reception circuit and the waveform processing circuit when a test signal is output by the test signal output means Second data collection means for collecting at least one of the output data of the first data collection means, the first data collection means and the second data collection means.
Determining means for determining the presence or absence of an abnormality in the ultrasonic inspection apparatus based on each output data sampled by the data sampling means.
【００１０】さらに、請求項５の発明は、請求項２又は
請求項３又は請求項４記載の超音波検査装置の診断装置
において、前記判断手段による判断結果を表示する表示
部を設けたことを特徴とする。According to a fifth aspect of the present invention, in the diagnostic apparatus of the ultrasonic inspection apparatus according to the second, third, or fourth aspect, a display unit for displaying a result of the determination by the determining means is provided. Features.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施の形態
に基づいて説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the illustrated embodiments.
【００１２】図１は本発明の実施の形態に係る診断手段
を含む超音波検査装置のブロック図である。この図で、
図４に示す部分と同一または等価な部分には同一符号を
付して説明を省略する。６は自己診断部、７はプローブ
１と超音波送受信回路２との間に設けられたスイッチ素
子である。Ｌ1は制御部５がスイッチ素子７の開閉を制
御するための信号連絡線、Ｌ2は超音波送受信回路２の
出力信号を制御部５へ送信する信号連絡線、Ｌ3は波形
処理回路３の出力信号を制御部５へ送信する信号連絡
線、Ｌ4は制御部５と自己診断部６との間の信号の授受
を行う信号連絡線である。１００は本実施の形態の装置
本体を示す。なお、本実施の形態の制御部５の動作プロ
グラムには、従来の制御部５の動作プログラムに対し
て、自己診断部６の診断のためのデータの授受に必要な
プログラムが付加されている。FIG. 1 is a block diagram of an ultrasonic inspection apparatus including diagnostic means according to an embodiment of the present invention. In this figure,
Parts that are the same as or equivalent to the parts shown in FIG. Reference numeral 6 denotes a self-diagnosis unit, and reference numeral 7 denotes a switch element provided between the probe 1 and the ultrasonic transmission / reception circuit 2. L 1 is a signal communication line for controlling the opening and closing of the switch element 7 by the control unit 5, L 2 is a signal communication line for transmitting an output signal of the ultrasonic transmission / reception circuit 2 to the control unit 5, L 3 is a waveform processing circuit 3 L 4 is a signal communication line for transmitting and receiving signals between the control unit 5 and the self-diagnosis unit 6. Reference numeral 100 denotes an apparatus main body according to the present embodiment. It should be noted that the operation program of the control unit 5 of the present embodiment is provided with a program necessary for transmitting and receiving data for diagnosis by the self-diagnosis unit 6 to the operation program of the conventional control unit 5.
【００１３】次に、本実施の形態の動作を図２および図
３に示すフローチャートを参照して説明する。従来、超
音波検査装置に不具合が生じたときには、装置の使用者
又は保守員が前述のようにプローブ１を交換する診断を
行っていたが、本実施の形態では診断を装置本体１００
内で行う。このため自己診断部６には図２および図３の
フローチャートに示される自己診断プログラムが備えら
れている。なお、本実施形態では、超音波検査装置に不
具合が生じたときばかりでなく、超音波検査装置に対し
て定期的な診断を行うこともできる。Next, the operation of this embodiment will be described with reference to the flowcharts shown in FIGS. Conventionally, when a defect has occurred in the ultrasonic inspection apparatus, a user or a maintenance person of the apparatus has performed a diagnosis to replace the probe 1 as described above.
Do within. For this purpose, the self-diagnosis unit 6 is provided with a self-diagnosis program shown in the flowcharts of FIGS. In this embodiment, not only when a defect occurs in the ultrasonic inspection apparatus, but also a periodic diagnosis can be performed for the ultrasonic inspection apparatus.
【００１４】自己診断部６は自己診断の要求の受信を待
つ（図３に示す手順Ｓ1）、即ち、超音波検査装置にお
いて、予め定められた定期的な診断期限が到来し、又は
装置に不具合が発生する等、自己診断が必要となった場
合には、当該超音波検査装置の使用者は装置本体１００
に表示されるメニューの中から「自己診断」を選択す
る。この選択は制御部５を介して自己診断部６に自己診
断の要求として送信され、これにより自己診断部６は診
断動作を開始する。まず、当該超音波検査装置のプロー
ブを検査（テスト）位置へ移動させる指示を行い（手順
Ｓ2）、当該移動の終了を待つ（手順Ｓ3）。この指示に
応じて制御部５はプローブ１の駆動機構を作動させてプ
ローブ１を予め定められた所定位置へ移動させる。この
位置は、例えば、被検体を水槽内に入れて検査を行う装
置にあっては、水槽平坦部の表面を被検体（テスト用物
体）とみなしてその表面から所定距離離れた位置とす
る。プローブ１の移動が終了すると、制御部５は自己診
断部６に移動終了を送信する。The self-diagnosis unit 6 waits for reception of a request for self-diagnosis (procedure S 1 shown in FIG. 3), that is, in the ultrasonic inspection apparatus, a predetermined periodic diagnosis deadline has arrived, or When a self-diagnosis is required, for example, when a malfunction occurs, the user of the ultrasonic inspection apparatus can use the apparatus main body 100.
Select "Self-diagnosis" from the menu displayed in. This selection is transmitted as a self-diagnosis request to the self-diagnosis unit 6 via the control unit 5, whereby the self-diagnosis unit 6 starts a diagnosis operation. First, an instruction to move the probe of the ultrasonic inspection apparatus to the inspection (test) position is issued (step S 2 ), and the end of the movement is waited for (step S 3 ). In response to this instruction, the control unit 5 operates the drive mechanism of the probe 1 to move the probe 1 to a predetermined position. For example, in a device for performing an inspection by placing a subject in a water tank, this position is assumed to be a position separated from the surface by a predetermined distance, considering the surface of the flat part of the water tank as a test object (test object). When the movement of the probe 1 is completed, the control unit 5 transmits a movement end to the self-diagnosis unit 6.
【００１５】自己診断部６は移動終了を確認すると、ス
イッチ素子７のＯＮを指示し（手順Ｓ4）、ＯＮの終了
を待って（手順Ｓ5）、テストのための検査信号の送受
信、およびその送受信によるデータの採取を指示し（手
順Ｓ6）、採取の終了を待つ（手順Ｓ7）。制御部５は信
号連絡線Ｌ1を介してスイッチ素子７を閉じ、その状態
で超音波送受信回路２に信号を送信し、超音波送受信回
路２はプローブ１から超音波を発生させるとともに上記
水槽平坦部からの反射波を受信し、これに応じた信号を
出力する。波形処理回路３は超音波送受信回路２からの
信号を処理し、これに応じた信号を出力する。制御部５
は、超音波送受信回路２および波形処理回路３から出力
される信号を信号連絡線Ｌ2、Ｌ3を介して採取し、採取
を終了すると自己診断部６へ送信する。When confirming the completion of the movement, the self-diagnosis unit 6 instructs the switch element 7 to be turned on (procedure S 4 ), waits for the completion of the ON (procedure S 5 ), transmits and receives a test signal for a test, and It instructs the collection of data by the transmission and reception (Step S 6), wait for the end of the collection (Step S 7). The control unit 5 closes the switch element 7 via the signal communication line L 1 and transmits a signal to the ultrasonic transmission / reception circuit 2 in that state, and the ultrasonic transmission / reception circuit 2 generates ultrasonic waves from the probe 1 and flattens the water tank. It receives the reflected wave from the unit and outputs a signal corresponding to this. The waveform processing circuit 3 processes a signal from the ultrasonic transmission / reception circuit 2 and outputs a signal corresponding to the signal. Control unit 5
Collects signals output from the ultrasonic transmission / reception circuit 2 and the waveform processing circuit 3 through the signal communication lines L 2 and L 3, and transmits the signals to the self-diagnosis unit 6 when the collection is completed.
【００１６】自己診断部６は採取終了の報告を受信する
と、制御部５に対してスイッチ素子７のＯＦＦを指示し
（手順Ｓ8）、ＯＦＦの終了を待つ（手順Ｓ9）。制御部
５が信号連絡線Ｌ1によりスイッチ７をＯＦＦしてこれ
を自己診断部６へ送信すると、自己診断部６はこれを確
認し、再びテストのための検査信号の送受信、およびそ
の送受信によるデータの採取を指示し（手順Ｓ10）、採
取の終了を待つ（手順Ｓ11）。制御部５はスイッチ素子
７をＯＦＦした状態で超音波送受信回路２に信号を送信
する。この場合、スイッチ素子７はＯＦＦになっていて
プローブ１は接続されていないので、超音波送受信回路
２への送信パルス自体を受信信号とする。しかし、この
ような手段ではなく、別途、基準信号発生回路を設け、
この出力信号を受信信号としてもよい。制御部５は、こ
の状態で超音波送受信回路２および波形処理回路３から
出力される信号を信号連絡線Ｌ2、Ｌ3を介して採取し、
採取を終了する。自己診断部６は採取した各データの自
己診断部６への転送を指示し（手順Ｓ12）、データの転
送を待つ（Ｓ13）。制御部５から信号連絡線Ｌ4を介す
るデータの送信が終了すると、自己診断部６は、送信さ
れたデータを自己診断部６内の図示しないデータ記憶部
に保存する（手順Ｓ14）。When the self-diagnosis unit 6 receives the report of the end of collection, it instructs the control unit 5 to turn off the switch element 7 (step S 8 ) and waits for the end of the OFF (step S 9 ). When the control unit 5 sends it to turn OFF the switch 7 by a signal contact lines L 1 to the self-diagnosis unit 6, the self-diagnosis unit 6 confirms this, transmission and reception of the test signal for testing again, and by that transceiver It instructs the collection of data (Step S 10), waits for the end of the collection (Step S 11). The control unit 5 transmits a signal to the ultrasonic transmission / reception circuit 2 with the switch element 7 turned off. In this case, since the switch element 7 is OFF and the probe 1 is not connected, the transmission pulse itself to the ultrasonic transmission / reception circuit 2 is used as a reception signal. However, instead of such means, a reference signal generation circuit is separately provided,
This output signal may be used as a reception signal. In this state, the control unit 5 collects signals output from the ultrasonic transmission / reception circuit 2 and the waveform processing circuit 3 through the signal communication lines L 2 and L 3 ,
Finish the collection. Self-diagnosis unit 6 instructs the transfer to the self-diagnosis unit 6 of the data collected (Step S 12), waits for a data transfer (S 13). When the transmission of data via the signal contact line L 4 from the control unit 5 ending, the self-diagnosis unit 6 stores the transmitted data in the data storage unit (not shown) in the self-diagnosis unit 6 (Step S 14).
【００１７】次いで、自己診断部６は、採取されたデー
タに基づいて診断を行う。まず、上記データ記憶部から
スイッチ素子７が接続状態にあるときの（プローブ１が
接続されているときの）超音波送受信回路２の出力デー
タを取り出し、当該データが正常か否か判断する（図３
に示す手順Ｓ15）。この判断は、水槽平坦部からの超音
波反射波を受信したときの超音波送受信回路２の既知の
出力信号との比較によりなされる。正常であれば、今度
はデータ記憶部からスイッチ素子７がＯＮ状態にあると
きの（プローブ１が接続されているときの）波形処理回
路３の出力データを取り出し、当該データが正常か否か
判断する（手順Ｓ16）。この判断は、既知の正常な波形
処理回路３の出力信号との比較によりなされる。正常で
あれば、制御部５に対して、表示部４に「異常がない」
旨を表示するように指示する（手順Ｓ17）。又、手順Ｓ
15で異常であると判断すると、制御部５に対して「波形
処理回路３が異常」である旨を表示するように指示する
（手順Ｓ18）。Next, the self-diagnosis unit 6 makes a diagnosis based on the collected data. First, output data of the ultrasonic transmission / reception circuit 2 when the switch element 7 is connected (when the probe 1 is connected) is extracted from the data storage unit, and it is determined whether or not the data is normal (FIG. 3
Step S 15 shown in). This determination is made by comparison with a known output signal of the ultrasonic transmission / reception circuit 2 when receiving the ultrasonic reflected wave from the flat part of the water tank. If the data is normal, the output data of the waveform processing circuit 3 when the switch element 7 is in the ON state (when the probe 1 is connected) is extracted from the data storage unit, and it is determined whether the data is normal. (Step S 16 ). This determination is made by comparison with a known normal output signal of the waveform processing circuit 3. If it is normal, the control unit 5 indicates “no abnormality” on the display unit 4.
It is instructed to display to the effect that (procedure S 17). Procedure S
If it is determined to be abnormal at 15, "the waveform processing circuit 3 is abnormal" instructs to display the effect that the control unit 5 (Step S 18).
【００１８】自己診断部６は上記手順Ｓ15の処理で異常
であると判断すると、上記データ記憶部からスイッチ素
子７をＯＦＦしたときの超音波送受信回路２の出力デー
タを取り出し、当該データが正常であるか否か判断する
（Ｓ19）。この判断は、超音波送受信回路２が送信パル
スを受信したとき超音波送受信回路２から出力される既
知の出力信号との比較によりなされる。正常であれば、
制御部５に対して、表示部４に「プローブ１が異常」で
ある旨を表示するように指示する（手順Ｓ20）。又、手
順Ｓ19で異常であると判断すると、制御部５に対して
「超音波送受信回路２が異常」である旨を表示するよう
に指示する（手順Ｓ21）。これにより、診断を要求して
きた超音波検査装置の各部の診断がなされる。[0018] When the self-unit 6 is determined to be abnormal in the process at steps S 15, taken out ultrasound output data transmission and reception circuit 2 when the OFF the switching element 7 from the data storage unit, the data is normally It determines whether it is (S 19). This determination is made by comparison with a known output signal output from the ultrasonic transmission / reception circuit 2 when the ultrasonic transmission / reception circuit 2 receives a transmission pulse. If normal,
The control unit 5, "the probe 1 abnormality" on the display unit 4 instructs to display that is (Step S 20). Further, if it is determined to be abnormal in Step S 19, "ultrasonic wave transmission and reception circuit 2 abnormality" instructs to display the effect that the control unit 5 (Step S 21). Thereby, the diagnosis of each part of the ultrasonic inspection apparatus which has requested the diagnosis is performed.
【００１９】なお、図１および上記動作の説明では、ス
イッチ素子７を設け、これを用いてプローブ１を選択的
に接続状態、非接続状態とする例について説明したが、
スイッチ素子７は必ずしも必要ではなく、使用者がプロ
ーブ１を装置本体１００に装着し、又は装置本体１００
から外すようにしてもよい。この場合、自己診断部６は
上記手順Ｓ4の指示の代わりに、制御部５に対して、表
示部４にプローブ１を装着するように表示する指示を行
い、かつ、手順Ｓ8の指示に代えて表示部４にプローブ
１を取り外すように表示する指示を行うことになる。In FIG. 1 and the description of the above operation, an example has been described in which the switch element 7 is provided and the probe 1 is selectively connected and disconnected using the switch element.
The switch element 7 is not always necessary, and the user attaches the probe 1 to the apparatus main body 100, or
May be removed. In this case, the self-diagnosis unit 6 in place of the instructions of the steps S 4, the control unit 5 performs an instruction to display to mounting the probe 1 on the display unit 4, and the instructions in the steps S 8 Instead, the display unit 4 is instructed to display that the probe 1 is detached.
【００２０】このように、本実施の形態では、プローブ
１により超音波を送受信した場合の超音波送受信回路２
と波形処理回路３の出力信号、およびプローブ１が関与
しない場合の超音波送受信回路２と波形処理回路３の出
力信号をそれぞれ採取し、これらに基づいて超音波検査
装置の診断を行うようにしたので、不具合の個所を特定
することができ、これにより、不具合時に、診断のため
にプローブを着脱する保守員や装置使用者の手間と時間
を軽減することができる。又、「プローブ異常」の表示
があれば控えのプローブ又は新しいプローブを用意すれ
ばよいので、診断を考慮して控えのプローブを用意する
必要はなく、さらに、「超音波送受信回路が異常」又は
「波形処理回路異常」の表示があれば、装置本体の保守
を担当する部署、例えば製造者に、上記の表示があった
ことを伝えて修理を依頼することになり、これらによ
り、不具合になった超音波検査装置の復旧までの時間を
短縮することができる。又、診断は自動的に行われほと
んど手間を要することはないので、診断を頻繁に又は定
期的に行うことが可能となり、これを実行することによ
り装置の信頼性、ひいては検査結果の信頼性を向上させ
ることができる。As described above, in the present embodiment, the ultrasonic transmission / reception circuit 2 for transmitting / receiving ultrasonic waves by the probe 1
And the output signal of the waveform processing circuit 3 and the output signal of the ultrasonic transmission / reception circuit 2 and the output signal of the waveform processing circuit 3 when the probe 1 is not involved, and diagnoses the ultrasonic inspection apparatus based on these. Therefore, it is possible to identify the location of the failure, thereby reducing the time and effort of maintenance personnel and apparatus users who attach and detach the probe for diagnosis at the time of the failure. In addition, if there is an indication of "probe abnormality", a spare probe or a new probe may be prepared, so it is not necessary to prepare a spare probe in consideration of diagnosis, and further, "ultrasonic transmission / reception circuit is abnormal" or If there is a display of "waveform processing circuit error", the department in charge of maintenance of the device body, for example, the manufacturer, will be informed that the above display has been made, and will be requested for repair. The time required for restoration of the ultrasonic inspection apparatus can be shortened. In addition, since the diagnosis is performed automatically and requires little effort, the diagnosis can be performed frequently or periodically, and by executing the diagnosis, the reliability of the apparatus and, consequently, the reliability of the test result can be reduced. Can be improved.
【００２１】なお、上記実施の形態の説明では、超音波
送受信回路と波形処理回路の両方についての診断を行う
例について説明したが、不具合がプローブにあるのかそ
れとも装置本体にあるのかを診断すれば充分である場合
には、超音波送受信回路と波形処理回路の両方のうちの
いずれか一方の出力データのみを採取して診断を行って
もよい。In the above embodiment, an example has been described in which diagnosis is performed for both the ultrasonic transmission / reception circuit and the waveform processing circuit. However, if it is determined whether a defect is in the probe or in the apparatus main body, If it is sufficient, the diagnosis may be performed by collecting only output data of one of both the ultrasonic transmission / reception circuit and the waveform processing circuit.
【００２２】なお、本実施形態では従来装置本体１０と
共通となる部分を超音波送受信回路２、波形処理回路
３、表示部４および制御部５の５つと単純化して表記
し、制御部に取込む信号はＬ2とＬ3の２つとして説明し
たが、前述の従来装置に示すように実際にはさらに細分
化した機器構成となっていることが多い。そこで、例え
ば、超音波送受信回路を送信回路（パルサ回路）と受信
回路（レシーバ回路）に、また波形処理回路をゲート回
路とＡ／Ｄ変換回路に分割し、制御部に取り込む信号を
この各回路の４つの出力とすることにより、さらに装置
本体側の不良個所を絞り込める診断が可能となる。In the present embodiment, the parts common to the conventional apparatus main body 10 are simplified to five parts, namely, an ultrasonic transmission / reception circuit 2, a waveform processing circuit 3, a display unit 4, and a control unit 5, and are assigned to the control unit. signal writing is described as two L 2 and L 3, often it has a device configuration that actually further subdivided as shown in the conventional apparatus described above. Therefore, for example, the ultrasonic transmission / reception circuit is divided into a transmission circuit (pulsar circuit) and a reception circuit (receiver circuit), and the waveform processing circuit is divided into a gate circuit and an A / D conversion circuit. By using these four outputs, it is possible to make a diagnosis that can further narrow down a defective portion on the apparatus main body side.
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上述べたように、本発明では、プロー
ブ接続時の超音波送受信回路と波形処理回路の少なくと
も一方の出力データ、およびプローブ非接続時の超音波
送受信回路と波形処理回路の少なくとも一方の出力デー
タをそれぞれ採取し、これらに基づいて超音波検査装置
の診断を行うようにしたので、不具合の個所を特定する
ことができ、これにより、不具合時に、診断のためにプ
ローブを着脱する保守員や装置使用者の手間と時間を軽
減することができ、又、診断を考慮して控えのプローブ
を用意する必要はなく、さらに、不具合になった超音波
検査装置の復旧までの時間を短縮することもできる。
又、診断は自動的に行われほとんど手間を要することは
ないので、診断を頻繁に又は定期的に行うことが可能と
なり、これを実行することにより装置の信頼性、ひいて
は検査結果の信頼性を向上させることができる。As described above, according to the present invention, at least one of the output data of the ultrasonic transmitting / receiving circuit and the waveform processing circuit when the probe is connected, and at least the output data of the ultrasonic transmitting / receiving circuit and the waveform processing circuit when the probe is not connected. One of the output data is collected, and the ultrasonic inspection apparatus is diagnosed based on the output data. Therefore, it is possible to specify the location of the defect, and thus, in the case of the defect, the probe is attached and detached for diagnosis. It can reduce the labor and time of maintenance personnel and equipment users.It is not necessary to prepare a duplicate probe in consideration of diagnosis.Moreover, the time required for restoration of a failed ultrasonic inspection apparatus can be reduced. It can also be shortened.
In addition, since the diagnosis is performed automatically and requires little effort, the diagnosis can be performed frequently or periodically, and by executing the diagnosis, the reliability of the apparatus and, consequently, the reliability of the test result can be reduced. Can be improved.
【図１】本発明の実施の形態に係る超音波検査装置の診
断装置のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of a diagnostic device of an ultrasonic inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１に示す自己診断部の動作を説明するフロー
チャートである。FIG. 2 is a flowchart illustrating an operation of a self-diagnosis unit shown in FIG.
【図３】図１に示す自己診断部の動作を説明するフロー
チャートである。FIG. 3 is a flowchart illustrating an operation of a self-diagnosis unit shown in FIG.
【図４】従来の超音波検査装置のブロック図である。FIG. 4 is a block diagram of a conventional ultrasonic inspection apparatus.
１ プローブ ２ 超音波送受信回路 ３ 波形処理回路 ４ 表示部 ５ 制御部 ６ 自己診断部 ７ スイッチ素子 １００ 装置本体 Ｌ1、Ｌ2、Ｌ3、Ｌ4 信号連絡線1 Probe 2 ultrasonic transmitting and receiving circuit 3 waveform processing circuit 4 display unit 5 control unit 6 self diagnosis unit 7 switch elements 100 apparatus main body L 1, L 2, L 3 , L 4 signal contact line
Claims (5)
とともに当該プローブからの信号を受信する超音波送受
信回路、この超音波送受信回路からの信号を処理する波
形処理回路、および前記超音波送受信回路と前記波形処
理回路の動作を制御する制御部で構成される装置本体と
を備えた超音波検査装置において、前記プローブを超音
波送受信回路に接続するとともにテスト用物体に対向さ
せ、前記プローブを励振させて超音波を出力させ、その
超音波の反射波信号に基づく前記超音波送受信回路から
出力されるデータおよび前記波形処理回路から出力され
るデータのうちの少なくとも一方を採取し、かつ、前記
プローブを超音波送受信回路から切り離し、この超音波
送受信回路にテスト信号を与えたときの当該超音波送受
信回路から出力されるデータおよび前記波形処理回路か
ら出力されるデータのうちの少なくとも一方を採取し、
採取された各データに基づいて前記超音波検査装置を診
断することを特徴とする超音波検査装置の診断方法。A probe, an ultrasonic transmission / reception circuit that excites the probe and receives a signal from the probe, a waveform processing circuit that processes a signal from the ultrasonic transmission / reception circuit, the ultrasonic transmission / reception circuit, In an ultrasonic inspection apparatus including an apparatus main body including a control unit that controls an operation of a waveform processing circuit, the probe is connected to an ultrasonic transmission / reception circuit and is opposed to a test object to excite the probe. An ultrasonic wave is output, and at least one of data output from the ultrasonic transmission / reception circuit and data output from the waveform processing circuit based on a reflected wave signal of the ultrasonic wave is collected, and the probe The ultrasonic transmission / reception circuit is disconnected from the ultrasonic transmission / reception circuit and output from the ultrasonic transmission / reception circuit when a test signal is given to the ultrasonic transmission / reception circuit. Sampling at least one of the data outputted from the waveform processing circuit and
A method for diagnosing an ultrasonic inspection apparatus, comprising diagnosing the ultrasonic inspection apparatus based on each sampled data.
とともに当該プローブからの信号を受信する超音波送受
信回路、この超音波送受信回路からの信号を処理する波
形処理回路、および前記超音波送受信回路と前記波形処
理回路の動作を制御する制御部で構成される装置本体と
を備えた超音波検査装置において、前記プローブと前記
超音波送受信回路とが接続された状態で前記プローブと
テスト用物体とを対向させる位置決め手段と、前記プロ
ーブとテスト用物体とが対向した状態で前記プローブを
励振させるプローブ励振手段と、このプローブ励振手段
により前記プローブが励振されたときの前記超音波送受
信回路および前記波形処理回路の出力データのうちの少
なくとも一方を採取する第１のデータ採取手段と、前記
プローブと前記超音波送受信回路とが切り離された状態
で前記超音波送受信回路にテスト信号を与えるテスト信
号出力手段と、このテスト信号出力手段によりテスト信
号が出力されたときの前記超音波送受信回路の出力デー
タおよび前記波形処理回路の出力データのうちの少なく
とも一方を採取する第２のデータ採取手段と、前記第１
のデータ採取手段および前記第２のデータ採取手段によ
り採取された各出力データに基づいて前記超音波検査装
置の異常の有無を判断する判断手段とを設けたことを特
徴とする超音波検査装置の診断装置。2. A probe, an ultrasonic transmission / reception circuit that excites the probe and receives a signal from the probe, a waveform processing circuit that processes a signal from the ultrasonic transmission / reception circuit, and the ultrasonic transmission / reception circuit. In an ultrasonic inspection apparatus including an apparatus main body including a control unit that controls an operation of a waveform processing circuit, the probe and the test object face each other while the probe and the ultrasonic transmission / reception circuit are connected. Positioning means for causing the probe, a probe exciting means for exciting the probe in a state where the probe and the test object face each other, the ultrasonic transmitting / receiving circuit and the waveform processing circuit when the probe is excited by the probe exciting means First data collection means for collecting at least one of the output data of the probe, the probe and the supersonic Test signal output means for providing a test signal to the ultrasonic transmission / reception circuit in a state where the ultrasonic transmission / reception circuit is separated from the ultrasonic transmission / reception circuit, and output data of the ultrasonic transmission / reception circuit when a test signal is output by the test signal output means; A second data sampling means for sampling at least one of output data of the waveform processing circuit;
Determining means for determining the presence or absence of an abnormality in the ultrasonic inspection apparatus based on each of the output data collected by the data collection means and the second data collection means. Diagnostic device.
装置本体との接続および切り離しは、スイッチ素子によ
り行われることを特徴とする超音波検査装置の診断装
置。3. The diagnostic apparatus according to claim 2, wherein connection and disconnection between the probe and the apparatus main body are performed by a switch element.
スト用物体は、前記超音波検査装置の被検体を置く水槽
の底面であり、かつ、前記位置決め手段は、前記プロー
ブを前記水槽の底面上の所定位置に移動させる手段であ
ることを特徴とする超音波検査装置の診断装置。4. The ultrasonic inspection apparatus according to claim 2, wherein the test object is a bottom surface of a water tank on which a subject of the ultrasonic inspection apparatus is placed, and the positioning means is configured to connect the probe to a bottom surface of the water tank. A diagnostic device for an ultrasonic inspection device, characterized in that the diagnostic device is means for moving the ultrasonic inspection device to an upper predetermined position.
の超音波検査装置の診断装置において、前記判断手段に
よる判断結果を表示する表示部を設けたことを特徴とす
る超音波検査装置の診断装置。5. A diagnostic apparatus for an ultrasonic inspection apparatus according to claim 2, further comprising a display unit for displaying a result of the determination by said determination means. Diagnostic device.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9028034A JPH10227772A (en) | 1997-02-12 | 1997-02-12 | Diagnostic method and device for ultrasonic inspection device |
| EP97946167A EP0945725A1 (en) | 1996-12-10 | 1997-12-09 | Ultrasonic tester and system for its management |
| PCT/JP1997/004519 WO1998026281A1 (en) | 1996-12-10 | 1997-12-09 | Ultrasonic tester and system for its management |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9028034A JPH10227772A (en) | 1997-02-12 | 1997-02-12 | Diagnostic method and device for ultrasonic inspection device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10227772A true JPH10227772A (en) | 1998-08-25 |
Family
ID=12237464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9028034A Pending JPH10227772A (en) | 1996-12-10 | 1997-02-12 | Diagnostic method and device for ultrasonic inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10227772A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1839579A1 (en) * | 2004-08-31 | 2007-10-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasound probe diagnosing apparatus, ultrasound diagnostic apparatus, and ultrasound probe diagnosing method |
| WO2013176039A1 (en) * | 2012-05-23 | 2013-11-28 | 新日鐵住金株式会社 | Method for adjusting flaw detection sensitivity of ultrasonic probe and abnormality diagnostic method |
-
1997
- 1997-02-12 JP JP9028034A patent/JPH10227772A/en active Pending
Cited By (10)
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