JPH10221147A - コリオリ質量流量計 - Google Patents
コリオリ質量流量計Info
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- JPH10221147A JPH10221147A JP2382797A JP2382797A JPH10221147A JP H10221147 A JPH10221147 A JP H10221147A JP 2382797 A JP2382797 A JP 2382797A JP 2382797 A JP2382797 A JP 2382797A JP H10221147 A JPH10221147 A JP H10221147A
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- vibration
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- measuring pipe
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高精度で且つ製造コストが低減し得るコリオ
リ質量流量計を実現する。 【解決手段】 振動する測定管内に測定流体を流し、
測定流体の流れと測定管の角振動によって生じるコリオ
リ力により、測定管を変形振動させ、振動の変化を振動
検出センサで測定し、質量流量や密度を求める直管式の
コリオリ質量流量計において、両端が固定され前記測定
流体が流れる測定管と、該測定管の管軸に直角な面に該
測定管に対向して設けられ該測定管の管壁を前記管軸か
ら遠ざかる方向に交互に吸引して変位させ互いに管軸を
中心に所定角度位置をなす第１，第２励振手段と、前記
コリオリ力による前記測定管の振動の変化を検出する振
動検出手段とを具備したことを特徴とするコリオリ質量
流量計である。
リ質量流量計を実現する。 【解決手段】 振動する測定管内に測定流体を流し、
測定流体の流れと測定管の角振動によって生じるコリオ
リ力により、測定管を変形振動させ、振動の変化を振動
検出センサで測定し、質量流量や密度を求める直管式の
コリオリ質量流量計において、両端が固定され前記測定
流体が流れる測定管と、該測定管の管軸に直角な面に該
測定管に対向して設けられ該測定管の管壁を前記管軸か
ら遠ざかる方向に交互に吸引して変位させ互いに管軸を
中心に所定角度位置をなす第１，第２励振手段と、前記
コリオリ力による前記測定管の振動の変化を検出する振
動検出手段とを具備したことを特徴とするコリオリ質量
流量計である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高精度で且つ製造
コストが低減し得るコリオリ質量流量計に関するもので
ある。
コストが低減し得るコリオリ質量流量計に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】図７は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図で、ラジアルモードを用いた直管１
本式コリオリ質量流量計で、たとえば、特開平１−２５
９２２１に示されている。
従来例の構成説明図で、ラジアルモードを用いた直管１
本式コリオリ質量流量計で、たとえば、特開平１−２５
９２２１に示されている。
【０００３】図において、１は測定管、２，３は固定端
である。４は励振器で、図８に示す如く、測定管１の直
径方向の両側から、同時に圧縮、或いは引っ張りと、圧
縮と引っ張りとを交互に加えている。５，６は振動検出
センサである。
である。４は励振器で、図８に示す如く、測定管１の直
径方向の両側から、同時に圧縮、或いは引っ張りと、圧
縮と引っ張りとを交互に加えている。５，６は振動検出
センサである。
【０００４】このような、従来のラジアルモード形の直
管式コリオリ質量流量計は、本来完全に丸い断面形状の
測定管１を、電磁コイル７と永久磁石８を使用して、楕
円等の歪んだ形状に変形させている。
管式コリオリ質量流量計は、本来完全に丸い断面形状の
測定管１を、電磁コイル７と永久磁石８を使用して、楕
円等の歪んだ形状に変形させている。
【０００５】すなわち、非励振状態では完全に丸い断面
を持つ測定管１を使用している。而して、図８に示す如
く、断面形状を歪ませるように、変形させ、その変形モ
ードの共振周波数で励振させている。振動モードは、円
と楕円が交互に現れるように見える。
を持つ測定管１を使用している。而して、図８に示す如
く、断面形状を歪ませるように、変形させ、その変形モ
ードの共振周波数で励振させている。振動モードは、円
と楕円が交互に現れるように見える。
【０００６】以上の構成において、測定管１に測定流体
が流され、励振器４が駆動されると、測定管１に管軸を
中心にしたラジアルモードの振動が印加されると共にコ
リオリ力が働く。振動検出センサ５，６により、このコ
リオリ力に比例した振動の振幅を測定すれば、質量流量
が測定出来る。
が流され、励振器４が駆動されると、測定管１に管軸を
中心にしたラジアルモードの振動が印加されると共にコ
リオリ力が働く。振動検出センサ５，６により、このコ
リオリ力に比例した振動の振幅を測定すれば、質量流量
が測定出来る。
【０００７】しかしながら、この様な装置においては、
測定管１の管壁に楕円状の振動を加えるため、測定管１
内の測定流体にポンピング作用を及ぼす。したがって、
この作用が原因となり、脈動圧が流路全体に伝播する。
この結果、この脈動圧の影響により、零点等の測定信号
の出力が変動する欠点を有する。
測定管１の管壁に楕円状の振動を加えるため、測定管１
内の測定流体にポンピング作用を及ぼす。したがって、
この作用が原因となり、脈動圧が流路全体に伝播する。
この結果、この脈動圧の影響により、零点等の測定信号
の出力が変動する欠点を有する。
【０００８】図９は、従来より一般に使用されている他
の従来例の構成説明図で、直径方向の変形を利用した直
管１本式コリオリ質量流量計で、たとえば、ＵＳＰ５４
２３２２５号に示されている。図において、図７と同一
記号の構成は同一機能を表わす。
の従来例の構成説明図で、直径方向の変形を利用した直
管１本式コリオリ質量流量計で、たとえば、ＵＳＰ５４
２３２２５号に示されている。図において、図７と同一
記号の構成は同一機能を表わす。
【０００９】以下、図７と相違部分のみ説明する。図９
おいては、測定管１１の断面を示したものである。すな
わち、測定管１１の管軸方向における中央部分の円形断
面を、楕円形に歪ませ、この楕円の長軸を回転するよう
にしたものである。従って、断面は円に戻らない。
おいては、測定管１１の断面を示したものである。すな
わち、測定管１１の管軸方向における中央部分の円形断
面を、楕円形に歪ませ、この楕円の長軸を回転するよう
にしたものである。従って、断面は円に戻らない。
【００１０】以上の構成において、測定管１１に測定流
体が流され、励振器４が駆動されると、測定管１１に管
軸を中心にした回転振動が印加されると共にコリオリ力
が働く。振動検出センサ５、６により、このコリオリ力
に比例した振動の振幅を測定すれば、質量流量が測定出
来る。
体が流され、励振器４が駆動されると、測定管１１に管
軸を中心にした回転振動が印加されると共にコリオリ力
が働く。振動検出センサ５、６により、このコリオリ力
に比例した振動の振幅を測定すれば、質量流量が測定出
来る。
【００１１】この様な装置においては、図８従来例の如
きポンピング作用は無いため、脈動圧の影響はない利点
を有する。しかしながら、この様な装置においては、楕
円形断面を回転させるために、少なくとも励振器４、具
体的には，駆動用のコイル７と永久磁石８とを３対以上
配置しなければならない。このような配置は、コスト高
を招く。
きポンピング作用は無いため、脈動圧の影響はない利点
を有する。しかしながら、この様な装置においては、楕
円形断面を回転させるために、少なくとも励振器４、具
体的には，駆動用のコイル７と永久磁石８とを３対以上
配置しなければならない。このような配置は、コスト高
を招く。
【００１２】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、高精度で且つ製造コストが低減し
得るコリオリ質量流量計を提供するにある。
る。本発明の目的は、高精度で且つ製造コストが低減し
得るコリオリ質量流量計を提供するにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）振動する測定管内に測定流体を流し、測定流体の
流れと測定管の角振動によって生じるコリオリ力によ
り、測定管を変形振動させ、振動の変化を振動検出セン
サで測定し、質量流量や密度を求める直管式のコリオリ
質量流量計において、両端が固定され前記測定流体が流
れる測定管と、該測定管の管軸に直角な面に該測定管に
対向して設けられ該測定管の管壁を前記管軸から遠ざか
る方向に交互に吸引して変位させ互いに管軸を中心に所
定角度位置をなす第１，第２励振手段と、前記コリオリ
力による前記測定管の振動の変化を検出する振動検出手
段とを具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計。 （２）前記測定管に設けられたマグネットと該マグネッ
トの変位を検出する検出コイルとよりなる振動検出手段
と、前記測定管に設けられ前記マグネットと振動的にバ
ランスするバランスウエイトとを具備したことを特徴と
する請求項１記載のコリオリ質量流量計。 （３）光学的検出手段が用いられた振動検出手段を具備
したことを特徴とする請求項１記載のコリオリ質量流量
計。 （４）静電容量検出手段が用いられた振動検出手段を具
備したことを特徴とする請求項１記載のコリオリ質量流
量計。 を構成したものである。
に、本発明は、 （１）振動する測定管内に測定流体を流し、測定流体の
流れと測定管の角振動によって生じるコリオリ力によ
り、測定管を変形振動させ、振動の変化を振動検出セン
サで測定し、質量流量や密度を求める直管式のコリオリ
質量流量計において、両端が固定され前記測定流体が流
れる測定管と、該測定管の管軸に直角な面に該測定管に
対向して設けられ該測定管の管壁を前記管軸から遠ざか
る方向に交互に吸引して変位させ互いに管軸を中心に所
定角度位置をなす第１，第２励振手段と、前記コリオリ
力による前記測定管の振動の変化を検出する振動検出手
段とを具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計。 （２）前記測定管に設けられたマグネットと該マグネッ
トの変位を検出する検出コイルとよりなる振動検出手段
と、前記測定管に設けられ前記マグネットと振動的にバ
ランスするバランスウエイトとを具備したことを特徴と
する請求項１記載のコリオリ質量流量計。 （３）光学的検出手段が用いられた振動検出手段を具備
したことを特徴とする請求項１記載のコリオリ質量流量
計。 （４）静電容量検出手段が用いられた振動検出手段を具
備したことを特徴とする請求項１記載のコリオリ質量流
量計。 を構成したものである。
【００１４】
【作用】以上の構成において、測定管に測定流体が流さ
れ、励振器が駆動されると、測定管に管軸を中心にした
振れ振動が印加されると共にコリオリ力が働く。振動検
出センサにより、このコリオリ力に比例した振動の振幅
を測定すれば、質量流量が測定出来る。以下、実施例に
基づき詳細に説明する。
れ、励振器が駆動されると、測定管に管軸を中心にした
振れ振動が印加されると共にコリオリ力が働く。振動検
出センサにより、このコリオリ力に比例した振動の振幅
を測定すれば、質量流量が測定出来る。以下、実施例に
基づき詳細に説明する。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例の要部
構成説明図である。図１において 、２１は、両端がフ
ランジ２４に固定２２，２３され、測定流体ＦLOが流れ
る測定管である。
構成説明図である。図１において 、２１は、両端がフ
ランジ２４に固定２２，２３され、測定流体ＦLOが流れ
る測定管である。
【００１６】２５は、フランジ２４に溶接固定されたケ
ースである。２６、２７は、測定管２１の管軸に直角な
面に、測定管２１に対向して設けられ該測定管の管壁を
前記管軸から遠ざかる方向に交互に吸引して変位させ互
いに管軸を中心に所定角度位置をなす第１，第２励振手
段である。
ースである。２６、２７は、測定管２１の管軸に直角な
面に、測定管２１に対向して設けられ該測定管の管壁を
前記管軸から遠ざかる方向に交互に吸引して変位させ互
いに管軸を中心に所定角度位置をなす第１，第２励振手
段である。
【００１７】この場合は、第１励振手段２６と第２励振
手段２７とは、互いに４５度の角度をなしている。ま
た、励振手段２６，２７は、測定管２１に取付られた永
久磁石２６１，２７１と、ケース２５に取付られた電磁
コイル２６２，２７２とで構成される。
手段２７とは、互いに４５度の角度をなしている。ま
た、励振手段２６，２７は、測定管２１に取付られた永
久磁石２６１，２７１と、ケース２５に取付られた電磁
コイル２６２，２７２とで構成される。
【００１８】２８，２９は、コリオリ力ＦCによる、測
定管２１の振動の変化を検出する第１，第２振動検出手
段である。この場合は、測定管２１に取付られた永久磁
石２８１，２９１と、ケース２５に取付られた電磁コイ
ル２８２，２９２とで構成される。
定管２１の振動の変化を検出する第１，第２振動検出手
段である。この場合は、測定管２１に取付られた永久磁
石２８１，２９１と、ケース２５に取付られた電磁コイ
ル２８２，２９２とで構成される。
【００１９】以上の構成において、電磁コイル２６２に
は周期Ｔの間隔で一定時間τ（τ＜Ｔ）電流が流れ、永
久磁石２６１を引きつける。永久磁石２６１は測定管２
１に接合されているので、図２に示す如く楕円形に変形
する。
は周期Ｔの間隔で一定時間τ（τ＜Ｔ）電流が流れ、永
久磁石２６１を引きつける。永久磁石２６１は測定管２
１に接合されているので、図２に示す如く楕円形に変形
する。
【００２０】Ｔ／２経った後、電磁コイル２７２がＯＮ
となり、図３に示す如く、測定管２１は４５度傾いた方
向が長径となるように楕円形に変形する。これを繰り返
すと、図４に示す如く、測定管２１の中央部断面は、真
円に戻る事無く、楕円の長径が振れる振動をする。
となり、図３に示す如く、測定管２１は４５度傾いた方
向が長径となるように楕円形に変形する。これを繰り返
すと、図４に示す如く、測定管２１の中央部断面は、真
円に戻る事無く、楕円の長径が振れる振動をする。
【００２１】測定管２１の振動角度をθ(ωt)とする。
（θ≪１のときは、θ(ωt）≒Ｚ(ωt) ） 図４に示す如く、流体が流れていないとき。 上流側の変形（図１のＡ−Ａ断面）：θB＝Ａsin(ωt) 下流側の変形（図１のＣ−Ｃ断面）：θD＝Ａsin(ωt)
（θ≪１のときは、θ(ωt）≒Ｚ(ωt) ） 図４に示す如く、流体が流れていないとき。 上流側の変形（図１のＡ−Ａ断面）：θB＝Ａsin(ωt) 下流側の変形（図１のＣ−Ｃ断面）：θD＝Ａsin(ωt)
【００２２】質量流量Ｑで、流体が流れるとき、図１の
Ｂ−Ｂ断面の位相を基準として、上流側（図１のＡ−Ａ
断面）は位相が遅れ、下流側（図１のＣ−Ｃ断面）は位
相が進む、すなわち、 上流側の変形（図１のＡ−Ａ断面）：θBq＝Ａsin(ωt)
−ｋＱcos(ωt)＝Ａ'sin(ωt−δ)
Ｂ−Ｂ断面の位相を基準として、上流側（図１のＡ−Ａ
断面）は位相が遅れ、下流側（図１のＣ−Ｃ断面）は位
相が進む、すなわち、 上流側の変形（図１のＡ−Ａ断面）：θBq＝Ａsin(ωt)
−ｋＱcos(ωt)＝Ａ'sin(ωt−δ)
【００２３】下流側の変形（図１のＣ−Ｃ断面）：θDq
＝Ａsin(ωt)＋ｋＱcos(ωt)＝Ａ'sin(ωt＋δ) ｋは比例定数、δ＝tan-1(ｋＱ／Ａ) Ａ'＝√(Ａ2＋
ｋＱ2) 図５に示す如く、上流側と下流側の振動変形の位相差２
δを検出することで、質量流量Ｑを求めることができ
る。
＝Ａsin(ωt)＋ｋＱcos(ωt)＝Ａ'sin(ωt＋δ) ｋは比例定数、δ＝tan-1(ｋＱ／Ａ) Ａ'＝√(Ａ2＋
ｋＱ2) 図５に示す如く、上流側と下流側の振動変形の位相差２
δを検出することで、質量流量Ｑを求めることができ
る。
【００２４】この結果、 （１）測定管２１は、楕円形状が保たれたまま、振動す
るため、図８従来例の如く、ポンピング作用が発生する
ことなく、脈動圧の影響により、零点等の測定信号の出
力が変動する恐れが無く、高精度なコリオリ質量流量計
が得られる。
るため、図８従来例の如く、ポンピング作用が発生する
ことなく、脈動圧の影響により、零点等の測定信号の出
力が変動する恐れが無く、高精度なコリオリ質量流量計
が得られる。
【００２５】（２）励振手段２６，２７は２対で良いの
で、図９従来例の如く、励振手段を３対以上配置する必
要が無く、製造コストが低減し得るコリオリ質量流量計
が得られる。 （３）測定管２１を予め楕円形に変形して置く必要は無
く、製造コストが低減し得るコリオリ質量流量計が得ら
れる。
で、図９従来例の如く、励振手段を３対以上配置する必
要が無く、製造コストが低減し得るコリオリ質量流量計
が得られる。 （３）測定管２１を予め楕円形に変形して置く必要は無
く、製造コストが低減し得るコリオリ質量流量計が得ら
れる。
【００２６】図６は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例においては、測定管２１に設けられ
た永久磁石２８１，２９１と永久磁石２８１，２９１の
変位を検出する検出コイル２８２，２９２とよりなる振
動検出手段２８，２９と、測定管２１に設けられ、永久
磁石２８１，２９１と振動的にバランスするバランスウ
エイト３１とが設けられたものである。
図である。本実施例においては、測定管２１に設けられ
た永久磁石２８１，２９１と永久磁石２８１，２９１の
変位を検出する検出コイル２８２，２９２とよりなる振
動検出手段２８，２９と、測定管２１に設けられ、永久
磁石２８１，２９１と振動的にバランスするバランスウ
エイト３１とが設けられたものである。
【００２７】バランスウエイト３１が設けられたので、
測定管２１の励振と振動検出とが滑らかに行われ、精度
の良いコリオリ質量流量計が得られる。
測定管２１の励振と振動検出とが滑らかに行われ、精度
の良いコリオリ質量流量計が得られる。
【００２８】なお、光学的検出手段は、例えば、ＬＥ
Ｄ、遮蔽板、フォトダイオードからなり、測定管２１の
管壁に装着された遮蔽板の微小変位により、ＬＥＤから
フォトダイオードへの光量が変化することを利用して、
測定管２１の変位を検出する。
Ｄ、遮蔽板、フォトダイオードからなり、測定管２１の
管壁に装着された遮蔽板の微小変位により、ＬＥＤから
フォトダイオードへの光量が変化することを利用して、
測定管２１の変位を検出する。
【００２９】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の請
求項１によれば、 （１）測定管は、楕円形状が保たれたまま、振動するた
め、ポンピング作用が発生することなく、脈動圧の影響
により、零点等の測定信号の出力が変動する恐れが無
く、高精度なコリオリ質量流量計が得られる。
求項１によれば、 （１）測定管は、楕円形状が保たれたまま、振動するた
め、ポンピング作用が発生することなく、脈動圧の影響
により、零点等の測定信号の出力が変動する恐れが無
く、高精度なコリオリ質量流量計が得られる。
【００３０】（２）励振手段は２対で良いので、励振手
段を３対以上配置する必要が無く、製造コストが低減し
得るコリオリ質量流量計が得られる。 （３）測定管を予め楕円形に変形して置く必要は無く、
製造コストが低減し得るコリオリ質量流量計が得られ
る。
段を３対以上配置する必要が無く、製造コストが低減し
得るコリオリ質量流量計が得られる。 （３）測定管を予め楕円形に変形して置く必要は無く、
製造コストが低減し得るコリオリ質量流量計が得られ
る。
【００３１】本発明の請求項２によれば、バランスウエ
イトが設けられたので、測定管の励振と振動検出とが滑
らかに行われ、精度の良いコリオリ質量流量計が得られ
る。
イトが設けられたので、測定管の励振と振動検出とが滑
らかに行われ、精度の良いコリオリ質量流量計が得られ
る。
【００３２】本発明の請求項３によれば、光学的検出手
段を用いるので、電磁ピックアップ手段よりも速い応答
が得られ、高い駆動周波数のコリオリ質量流量計が得ら
れる。
段を用いるので、電磁ピックアップ手段よりも速い応答
が得られ、高い駆動周波数のコリオリ質量流量計が得ら
れる。
【００３３】本発明の請求項４によれば、変位を静電容
量の変化として検出している為、検出感度が良好なコリ
オリ質量流量計が得られる。
量の変化として検出している為、検出感度が良好なコリ
オリ質量流量計が得られる。
【００３４】従って、本発明によれば、高精度で且つ製
造コストが低減し得るコリオリ質量流量計を実現するこ
とが出来る。
造コストが低減し得るコリオリ質量流量計を実現するこ
とが出来る。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の動作説明図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】図１の動作説明図である。
【図５】図１の動作説明図である。
【図６】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図７】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
【図８】図６の動作説明図である。
【図９】従来より一般に使用されている他の従来例の構
成説明図である。
成説明図である。
２１ 測定管 ２２ 固定 ２３ 固定 ２４ フランジ ２５ ケース ２６ 第１励振手段 ２６１ 永久磁石 ２６２ 電磁コイル ２７ 第２励振手段 ２７１ 永久磁石 ２７２ 電磁コイル ２８ 第１振動検出手段 ２８１ 永久磁石 ２８２ 電磁コイル ２９ 第２振動検出手段 ２９１ 永久磁石 ２９２ 電磁コイル ３１ バランスウエイト
Claims (4)
- 【請求項１】振動する測定管内に測定流体を流し、測定
流体の流れと測定管の角振動によって生じるコリオリ力
により、測定管を変形振動させ、振動の変位を振動検出
センサで測定し、質量流量や密度を求める直管式のコリ
オリ質量流量計において、 両端が固定され前記測定流体が流れる測定管と、 該測定管の管軸に直角な面に該測定管に対向して設けら
れ該測定管の管壁を前記管軸から遠ざかる方向に交互に
吸引して変位させ互いに管軸を中心に所定角度位置をな
す第１，第２励振手段と、 前記コリオリ力による前記測定管の振動の変化を検出す
る振動検出手段とを具備したことを特徴とするコリオリ
質量流量計。 - 【請求項２】前記測定管に設けられたマグネットと該マ
グネットの変位を検出する検出コイルとよりなる振動検
出手段と、 前記測定管に設けられ前記マグネットと振動的にバラン
スするバランスウエイトとを具備したことを特徴とする
請求項１記載のコリオリ質量流量計。 - 【請求項３】光学的検出手段が用いられた振動検出手段
を具備したことを特徴とする請求項１記載のコリオリ質
量流量計。 - 【請求項４】静電容量検出手段が用いられた振動検出手
段を具備したことを特徴とする請求項１記載のコリオリ
質量流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2382797A JPH10221147A (ja) | 1997-02-06 | 1997-02-06 | コリオリ質量流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2382797A JPH10221147A (ja) | 1997-02-06 | 1997-02-06 | コリオリ質量流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10221147A true JPH10221147A (ja) | 1998-08-21 |
Family
ID=12121215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2382797A Pending JPH10221147A (ja) | 1997-02-06 | 1997-02-06 | コリオリ質量流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10221147A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009300462A (ja) * | 2000-08-18 | 2009-12-24 | Emerson Electric Co | コリオリ質量流量センサ |
| DE102013020454A1 (de) * | 2013-12-06 | 2015-06-11 | Festo Ag & Co. Kg | Massendurchflusssensor und Verfahren zur Ermittlung eines Massendurchflusses |
-
1997
- 1997-02-06 JP JP2382797A patent/JPH10221147A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009300462A (ja) * | 2000-08-18 | 2009-12-24 | Emerson Electric Co | コリオリ質量流量センサ |
| DE102013020454A1 (de) * | 2013-12-06 | 2015-06-11 | Festo Ag & Co. Kg | Massendurchflusssensor und Verfahren zur Ermittlung eines Massendurchflusses |
| DE102013020454B4 (de) * | 2013-12-06 | 2021-02-18 | Festo Se & Co. Kg | Verfahren zur Ermittlung eines Massendurchflusses |
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