JPH10204601A - 炭素基材または炭素含有非金属基材を被覆する方法 - Google Patents

炭素基材または炭素含有非金属基材を被覆する方法

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JPH10204601A
JPH10204601A JP9353002A JP35300297A JPH10204601A JP H10204601 A JPH10204601 A JP H10204601A JP 9353002 A JP9353002 A JP 9353002A JP 35300297 A JP35300297 A JP 35300297A JP H10204601 A JPH10204601 A JP H10204601A
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carbon
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Armando Dr Salito
アーモンド,サリト
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Sulzer Metco AG
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 炭素基材または炭素含有非金属基材を被覆し
て少なくとも一以上の層を基材表面に与える。 【解決手段】 高融点金属の層を備える、炭素材料また
は炭素含有非金属材料からなる基材を提供するために、
アンダーコート層は最初に不活性雰囲気中でプラズマス
プレー法で基材に被覆される。アンダーコート層は、主
にレニウム、モリブデン、ジルコニウム、チタン、クロ
ム、ニオブ、タンタル、ハフニウム、バナジウム、白
金、ロジウムまたはイリジウムを含む。カバー層は、同
様にアンダーコート層上にプラズマスプレー法で被覆で
きる。熱−機械的応力を減少し、基材表面上のアンダー
コート層の接着を改良するために、基材はアンダーコー
ト層を被覆する前に加熱される。かかる方法によって、
炭素含有基材にはアンダーコート層を、必要によりカバ
ー層を、すばやく低コストで確実に与えられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも一つの
層をかかる基材表面に与えるために炭素基材または炭素
含有非金属基材を被覆する方法に関する。さらに、本発
明は、本発明の方法で被覆された少なくとも一つのアン
ダーコート層を具備する炭素基材または炭素含有非金属
基材に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば高融点金属からなる層を備える炭
素基材または炭素含有非金属基材を提供し、基材上の層
に確実な接着を与えるために、最初にアンダーコート層
としてのプライマー層を基材に被覆することが一般的で
ある。極めて高温にされるアンダーコート層の基礎材料
として、例えばレニウムは非常に有効であることが証明
されている。しかしながら、アンダーコート層を上記基
材の一つに被覆する場合の一つの問題点は、被覆される
層と炭素基材または炭素含有非金属基材との間の接着
が、概して、基材とアンダーコート層との間の粒子境界
面において不十分なことが見られることである。
【0003】かかる被覆方法で生ずる別の問題は、好適
な層の材料のなかには極めて高融点、例えばレニウムは
3400Kを越える融点を有することである。溶融状態
の材料の被覆では、1500Kを越える融点を有する材
料ではかなりの困難性を引き起こすと理解される。
【0004】例えば、レニウムからなるアンダーコート
層を炭素基材または炭素含有非金属基材に確実に被覆す
るために、今日まで、二つの方法、すなわち電気メッキ
法および気相ストリッピング法が確立されている。
【0005】電気メッキ法および気相ストリッピング法
の双方は多くの時間を必要とし、相対的に薄層だけが得
られるという一般に基本的な不利益がある。そのうえ、
環境保護のため、できるならば何時でもこれらの方法を
避けることが好ましい。二つの方法と関連するその他の
問題は、基材を部分的に被覆することから非常に無駄使
いをすることである。さらに、電気メッキ法および気相
ストリッピング法のいずれも、極めて小粒子径を備える
層の被覆には適さない。最後に、二つの方法の再生産性
は完全とはいい難く、その結果、一般に実質的な量を被
覆する基材の使用には適さない。
【0006】ドイツ特許出願DE33 38 740
A1は、高融点の金属層をグラファイトからなる(半)
製品に選択的に沈着する方法を開示する。この方法にお
いて、かかる公報で中間層と称されるアンダーコート層
はプライマーとして役立ち、電解法によって(半)製品
の選らばれた表面領域に選択的に沈着する。(半)製品
の被覆すべき中間層がないこれらの領域を被覆するため
に、(半)製品に固定すべきマスクが提供される。その
結果、カバー層は公知の方法、例えば化学ストリッピン
グ法で被覆される。その後、高融点金属からなるカバー
層は中間層が被覆されていない領域に移される。かかる
方法は極めて浪費性であり、コストがかかると解され
る。さらに、各被覆法に新しいマスクが提供されるべき
である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来公知の方法の上記
不利益を避けるために、本発明の目的は、すばやく実施
でき、環境に対して毒性がなく、さらに高コストを被る
ことなく、基材上に被覆された層の接着を確かなものと
する、炭素基材または炭素含有非金属基材を被覆する方
法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】これらの目的やその他の
目的を満たすために、本発明は、炭素基材または炭素含
有非金属基材の表面に少なくとも一つの層を与える被覆
方法を提供する。本発明によれば、最初の段階において
基材はその表面を500℃〜2500℃に加熱する。そ
の後、第2段階において少なくとも一つのアンダーコー
ト層は不活性雰囲気においてプラズマスプレー法で基材
に被覆されるが、その際に、かかるアンダーコート層
は、少なくとも部分的に、レニウム、モリブデン、ジル
コニウム、チタン、クロム、ニオブ、タンタル、ハフニ
ウム、バナジウム、白金、ロジウムまたはイリジウムを
含んでいる。
【0009】驚くべきことに、上記材料を含み、プラズ
マスプレー法で上記種類の基材に被覆されたアンダーコ
ート層が特に十分に接着することを見出した。それは、
基材表面を攻撃する(hit)アンダーコート層の溶融
粒子が高速で炭素含有基材表面に侵入し、表面にある多
くの小さな凹所に押し入るといえる。
【0010】本発明の方法の有利な点は、基材は今まで
に可能なものよりも最も短い時間で被覆できることであ
る、というのは、プラズマスプレー法によるアンダーコ
ート層の被覆は、電気メッキ法または気相スプリッテン
グ法よりも短時間で可能だからである。亜鉛メッキに基
づく方法と比較して有利な点は、少なくともアンダーコ
ート層に関する限り、実質的に純粋な層が被覆できるこ
とにある。亜鉛メッキに基づく被覆方法では、水や亜鉛
メッキ槽の汚染は基材の表面領域に加えられる、という
のは、炭素基材や非金属の炭素含有基材は多孔質だから
である;その結果、アンダーコート層の性質が損なわれ
る。この点において、本発明の方法は実質的な改良を提
供する。
【0011】そのうえ、亜鉛メッキに基づく方法に対し
て、被覆されたアンダーコート層は被覆段階の後に熱的
に処理されるべきではなく、被覆すべき層の化学組成は
さらに容易に制御できる。最後に、本発明の方法では、
アルゴン、水素またはヘリウムなどの不活性ガスだけが
作業媒体として用いられ、かつ、亜鉛メッキに基づく方
法に比べて危険性のある使用済み物質が生じないため、
環境に対する毒性が非常に少いのである。
【0012】本発明の方法のその他の有利な点は、基材
のある領域だけが選択的に被覆できることにある;かか
る加工は多くの場合に望ましく、高価格の材料を実質的
にセーブするために提供される。本発明の方法の手段に
よって、基材の複雑で曲がった表面領域は確実に被覆で
きる。
【0013】本発明の方法は、好適な実施態様で提供さ
れるように、高融点金属からなるカバー層(被覆層)が
アンダーコート層に被覆される場合に特に有利である。
かかる場合において、両層はプラズマスプレー法によっ
て一つの直後にその他が被覆される。その結果、材料の
固有応力は、基材がアンダーコート層の被覆とカバー層
の被覆との間に冷却されないから実質的に減少する。さ
らに、かかる加工はさらに価格と時間とをセーブする。
【0014】本発明によれば、基材を予備加熱する段階
が、アンダーコート層を被覆する前に提供される。かか
る予備加熱によって、基材とアンダーコート層との間の
接着は、再度実質的に改良される。それに対する可能な
説明は、基材をある最低温度に加熱することはレニウム
粒子を炭素格子に押し込むのに好ましいということであ
った。そのうえ、かかる予備加熱段階を実施することに
より、基材それとともにアンダーコート層やカバー層に
存在する熱−機械的応力は、特に被覆(半)製品が使用
中に極めて高温にさらされ、材料が実質的に異なる膨脹
係数を有する場合にかなり減少できることが見出され
た。
【0015】また、本発明は、不活性雰囲気でプラズマ
スプレー法によって基材に被覆される少なくとも一つの
アンダーコート層を備えた炭素基材または炭素含有非金
属基材に関する。アンダーコート層は、少なくとも部分
的に、レニウム、モリブデン、ジルコニウム、チタン、
クロム、ニオブ、タンタル、ハフニウム、バナジウム、
白金、ロジウムまたはイリジウムを含む。さらに、基材
は、タングステン、タングステン合金またはタングステ
ン化合物をプラズマスプレー法で基材に被覆したカバー
層を含むことができる。
【0016】本発明は、次のように特定できる。
【0017】[1] 炭素基材または炭素含有非金属基
材の表面を500℃〜2500℃に加熱する段階と、お
よび不活性雰囲気中でプラズマスプレー法によって少な
くとも一つのアンダーコート層を前記基材に被覆する段
階と、ここで、前記アンダーコート層は、少なくとも部
分的に、レニウム、モリブデン、ジルコニウム、チタ
ン、クロム、ニオブ、タンタル、ハフニウム、バナジウ
ム、白金、ロジウムまたはイリジウムを含む、を含むこ
とを特徴とする炭素基材または炭素含有非金属基材の表
面に少なくとも一層を与えるためにかかる基材を被覆す
る方法。
【0018】[2] 前記基材は、少なくとも一つのア
ンダーコート層の被覆に使用されるプラズマスプレー手
段で加熱される前記1に記載の方法。
【0019】[3] 前記基材表面は、前記少なくとも
一つのアンダーコート層の被覆前に、機械的、化学的ま
たはレーザー手段によって構造化される前記1または前
記2に記載の方法。
【0020】[4] さらに、プラズマスプレー法によ
って前記アンダーコート層にカバー層を被覆する段階を
含む前記1に記載の方法。
【0021】[5] 高融点金属物質が少なくとも部分
的に前記カバー層の被覆に用いられる前記4に記載の方
法。
【0022】[6] 前記カバー層は環境雰囲気に対し
てシールされた雰囲気で被覆される前記4または前記5
に記載の方法。
【0023】[7] 前記シールされた雰囲気は主に不
活性ガスで構成される前記6に記載の方法。
【0024】[8] 前記アンダーコート層および/ま
たは前記カバー層は、耐火性金属または耐火性金属合金
を含む材料からなる前記4に記載の方法。
【0025】[9] プラズマジェットに随伴する被覆
物粒子の速度は、前記アンダーコート層を被覆する間、
100m/sを越えるように選択される前記1に記載の
方法。
【0026】[10] 前記アンダーコート層と前記被
覆物層は環境雰囲気に対してシールされた雰囲気で被覆
され、その際に圧力が1mbar〜4barの範囲で維
持される前記4に記載の方法。
【0027】[11] 前記アンダーコート層は1μm
〜1mmの範囲の厚みで被覆される前記1に記載の方
法。
【0028】[12] 前記カバー層は20μm〜10
mmの範囲の厚みで被覆される前記4に記載の方法。
【0029】[13] 中間層がプラズマスプレー法で
前記アンダーコート層に被覆される前記4に記載の方
法。
【0030】[14] 前記中間層は前記アンダーコー
ト層と前記カバー層の双方の構成成分を含む前記13に
記載の方法。
【0031】[15] 前記カバー層は、少なくとも部
分的にタングステン、タングステン合金またはタングス
テン化合物を含む前記4に記載の方法。
【0032】[16] 前記カバー層は、少なくとも部
分的にレニウム、タンタル、ニオブ、ジルコニウムまた
はハフニウムを含む前記4に記載の方法。
【0033】[17] 前記アンダーコート層と前記カ
バー層は同じプラズマスプレー手段で順次被覆される前
記4に記載の方法。
【0034】[18] 前記アンダーコート層の被覆か
ら前記カバー層の被覆への連続推移が行われ、その際に
プラズマスプレー手段に供給される前記アンダーコート
層用の被覆材料の単位時間当りの供給量が連続的に減少
し、一方、同時に前記プラズマスプレー手段に供給され
る単位時間当りの前記カバー層用の被覆材料の供給量が
連続的に増加する前記17に記載の方法。
【0035】[19] 環境雰囲気に対してシールされ
た雰囲気が、前記アンダーコート層と前記カバー層の双
方が被覆される間は維持され、前記シ−ルされた雰囲気
は主に不活性ガスで構成される前記17または前記18
に記載の方法。
【0036】[20] 最初に前記アンダーコート層
が、次に前記カバー層が前記基材に被覆され、その際に
前記カバー層の被覆は環境雰囲気に対してシールされた
雰囲気で行われ、かかる雰囲気は前記アンダーコート層
が被覆される段階で維持される不活性雰囲気と相違する
前記4に記載の方法。
【0037】[21] 前記アンダーコート層の被覆に
使用される材料は、レニウム、モリブデンおよび/また
はジルコニウムからなる前記1に記載の方法。
【0038】[22] 前記アンダーコート層の被覆に
使用される材料は次の群から選ばれる前記1に記載の方
法: 金属:レニウム、モリブデン、ジルコニウム、チタン、
クロム、ニオブ、タンタル、ハフニウム、バナジウム、
白金、ロジウム、イリジウム; 合金: −鉛−錫−チタン−アンチモン −クロム−燐−シリコン−鉄−炭素−残部:ニッケル −クロム−シリコン−炭素−残部:ニッケル −銅−クロム −銅−金−ニッケル −銅−ニオブ −銅−パラジウム −銅−シリコン−チタン −銅−チタン −銅−亜鉛−マンガン−チタン−ニッケル−錫−アルミ
ニウム −銅−亜鉛−チタン−アンチモン−シリコン −銅−亜鉛−チタン−錫−シリコン −銅−錫−チタン −ニッケル−クロム −ニッケル−モリブデン−金 −ニッケル−シリコン−硼素 −ニッケル−チタン −パラジウム−ニッケル−クロム −燐−炭素−残部:ニッケル −銀−銅−パラジウム −銀−銅−パラジウム−はんだ合金 −銀−銅−チタン −チタン、ジルコニウム、クロム、ニオブ、タンタル、
ハフニウム、バナジウム、白金、ロジウムまたはイリジ
ウムを主要成分とする合金。
【0039】[23] 前記アンダーコート層の被覆に
使用される材料は、延性マトリックス中の活性金属、特
に銀、銅、金および/またはニッケル中のチタンで構成
される前記1に記載の方法。
【0040】[24] 主に炭素繊維化合物からなる基
材が用いられる前記1に記載の方法。
【0041】[25] 主にグラファイトからなる基材
が用いられる前記1に記載の方法。
【0042】[26] 不活性雰囲気中においてプラズ
マスプレー法で被覆された少なくとも一つのアンダーコ
ート層を備え、前記少なくとも一つのアンダーコート層
は、少なくとも部分的に、レニウム、モリブデン、ジル
コニウム、チタン、クロム、ニオブ、タンタル、ハフニ
ウム、バナジウム、白金、ロジウムまたはイリジウムを
含むことを特徴とする炭素基材または炭素含有非金属基
材。
【0043】[27] さらに、タングステン、タング
ステン合金またはタングステン化合物からなり、プラズ
マスプレー法で前記基材に被覆されたカバー層を含む前
記26に記載の基材。
【0044】[28] さらに、前記アンダーコート層
の構成成分を含み、プラズマスプレー法で被覆された中
間層とタングステン、タングステン合金またはタングス
テン化合物からなり、プラズマスプレー法で前記基材に
被覆されたカバー層とを含む前記26に記載の基材。
【0045】[29] さらに、少なくとも部分的にタ
ンタル、ニオブ、ジルコニウムまたはハフニウムからな
り、プラズマスプレー法で被覆されたカバー層を含む前
記26に記載の基材。
【0046】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施態様を添付の
図面に基づいて詳細に説明する。
【0047】プラズマスプレー装置、プラズマスプレー
法による基材を被覆する方法の双方は、それ自体が公知
であることに鑑み、次に、本発明に必須な装置の部材、
要素そして方法の段階を詳細に説明する。
【0048】図1は、一以上の層を基材に被覆するプラ
ズマ被覆アセンブリの一般的なレイアウトの概要図を示
す。プラズマ被覆アセンブリは、点線の四角により示唆
される方法で図面に示されるように、容器またはキャビ
ネット1を本質的に含む。この容器またはキャビネット
の内部において、環境雰囲気から分離した雰囲気が構成
できる。この容器またはキャビネット1の内部に、操作
ロボット2、プラズマスプレー装置3、被覆すべき、例
えば炭素材料からなる基材12が位置する。例えば制御
コンソール、パワー供給ニット、圧力調整ユニットなど
のプラズマスプレー装置3の操作に要する構造基盤は、
図1においてブロック9として一般に示される。
【0049】プラズマスプレー装置3の上に二つの貯蔵
容器4、5が示されており、そのそれぞれに被覆材料、
例えば被覆粉末が受け入れられる。例えば、一つの容器
4には基材12に被覆されるアンダーコート層用の粉末
P1が充填され、他方、その他の容器5には基材12に
被覆されるカバー層用粉末P2が充填される。粉末P1
は例えばレニウムからなり、粉末P2は例えばタングス
テンからなってもよい。
【0050】そのうえ、アセンブリは装置14を含み、
それによって容器またはキャビネット1の内部は不活性
ガス、例えばアルゴンで満たされる。しかしながら、装
置14は、必要な場合にまたは望まれれば、容器または
キャビネット1を排気するためにも役立つ。
【0051】ロボット2によって、基材12は、図1の
矢印で示されるように、被覆操作中は所定の方向または
平面に移動できる。また、移動可能なプラズマスプレー
装置3は基材12の移動用ロボット2の代わりに与えら
れると理解される。
【0052】基材12の被覆操作は次のように実施して
よく、それによって、下記に記載の操作例は非常に単純
化されており、いかなる方法でも特性を限定すべきでな
いことは強調されるべきである。
【0053】最初に、特定された雰囲気は、キャビネッ
ト1の内部を約10-2mbarに減圧し、その後、キャ
ビネット1の内部を不活性ガス、例えばアルゴンで圧力
が約100mbarになるまで充填する段階によって作
られる。その後、基材12はプラズマスプレー装置3に
よって500℃〜2500℃の温度に加熱する。粉末
は、基材12を加熱する段階中はプラズマスプレー装置
3に供給されるべきではないと理解される。
【0054】基材12が所定温度に達するやいなや、粉
末P1は容器4からプラズマスプレー装置3に供給され
る。この粉末は、スプレー装置3のノズル6から出てそ
れが溶融状態で基材12を攻撃する程度に、プラズマト
ーチ7で加熱される。所定の厚みのアンダーコート層を
形成するために、種々の個々の層またはプライの溶融粉
末P1が、お互いに、基材12に被覆されることが好ま
しい。
【0055】基材12に被覆されたアンダーコート層
は、その後被覆されるカバー層用のプライマー層として
役立ち、そのため粉末P2は本発明の実施例において使
用される。このため、粉末P2は容器5からプラズマス
プレー装置3に供給される。同様に、粉末P2は、スプ
レー装置3のノズル6から出てそれが溶融状態で、それ
ぞれ、基材12とアンダーコート層に当る程度に、プラ
ズマトーチ7で加熱される。
【0056】アンダーコート層および/またはカバー層
に用いられる材料として、融点が1050Kを越え、少
なくとも一部に耐火性金属または耐火性合金を含むもの
が好ましい。このような関係で「耐火性」に関する限
り、DIN 51060(DIN norm No.5
1060)であって、およそ物質として耐火性材料を定
義し、少なくとも1773Kの点を含むゼーゲルコーン
を有し、さらに1073Kを越えて耐久温度で工業的に
使用できるものが引用される。
【0057】アンダーコート層として好ましい材料は、
特に次の材料を挙げることができ、合金の成分は合金の
量に関する限り下降オーダーでリストされる: 金属:レニウム、モリブデン、ジルコニウム、チタン、
クロム、ニオブ、タンタル、ハフニウム、バナジウム、
白金、ロジウム、イリジウム; 合金: −鉛−錫−チタン−アンチモン −クロム−燐−シリコン−鉄−炭素−残部:ニッケル −クロム−シリコン−炭素−残部:ニッケル −銅−クロム −銅−金−ニッケル −銅−ニオブ −銅−パラジウム −銅−シリコン−チタン −銅−チタン −銅−亜鉛−マンガン−チタン−ニッケル−錫−アルミ
ニウム −銅−亜鉛−チタン−アンチモン−シリコン −銅−亜鉛−チタン−錫−シリコン −銅−錫−チタン −ニッケル−クロム −ニッケル−モリブデン−金 −ニッケル−シリコン−硼素 −ニッケル−チタン −パラジウム−ニッケル−クロム −燐−炭素−残部:ニッケル −銀−銅−パラジウム −銀−銅−パラジウム−半だ合金 −銀−銅−チタン −チタン、ジルコニウム、クロム、ニオブ、タンタル、
ハフニウム、バナジウム、白金、ロジウムまたはイリジ
ウムを主要成分とする合金。
【0058】その他:延性マトリックス中の活性金属、
特に銀、銅、金および/またはニッケル中のチタン。
【0059】カバー層用材料として、例えば純粋なタン
グステン、タングステン合金またはタングステン化合物
が使用できる。さらに、タングステン、高融点、すなわ
ち2000Kを越える融点のその他の材料、例えばタン
タル、ニオブ、ジルコニウムまたはハフニウムを考慮で
き、再度これらの材料は合金または化合物の形態でも使
用でき、上記の例は最終または排他的な特性ではない。
【0060】アンダーコート層からカバー層への推移段
階の粉末組成は、例えば単位時間当りのプラズマスプレ
ー装置に供給される粉末P1の量を連続的に減少させ、
一方、同時に単位時間当りのプラズマスプレー装置に供
給される粉末P2の量を連続的に増加させることにより
連続的に変更できる。しかしながら、不連続推移も可能
である、すなわち、粉末P1の供給を停止し、被覆操作
は粉末P2をプラズマスプレー装置に供給することによ
り続ける。特に、不連続被覆操作において、容器または
キャビネット1を異なる不活性ガスで満たしおよび/ま
たは容器またはキャビネット1の内圧をアンダーコート
層の被覆の終了とカバー層の被覆の開始との間に調整す
ることが考えられる。
【0061】最後に、被覆基材12は不活性雰囲気で制
御状態において冷却される。
【0062】基材12に被覆される層の特性は、プラズ
マスプレー装置の操作パラメーター、すなわちプラズマ
ガス、プラズマガスの量、電気アーク電流、スプレーの
距離、容器またはキャビネットの内圧、基材温度、およ
び単位時間当りに供給される被覆粉末の量、粉末の粒子
径を選択することにより制御できる。これらのパラメー
ターの微調整は、被覆微粒子が基材表面にあたるとき
に、かかる粒子の最適溶融比率が実現できる限り重要で
ある。
【0063】譲受人によるテストでは、最適な被覆の結
果は、プラズマジェットに随伴する被覆粒子の速度が1
00m/s以上であるように選択されれば達成でき、今
日実現可能な上限は500m/sの領域である。
【0064】アンダーコート層上のカバー層の接着を改
良しおよび/または特別な要求にしたがう被覆物の構造
を変更するために、基材12にはアンダーコート層が被
覆された後に中間層を提供できる。かかる中間層は、ア
ンダーコート層および/またはカバー層の成分を含み、
または異なる材料を含むことができる。
【0065】基材12の特別な被覆の場合に、その後の
カバー層を被覆することなく、アンダーコート層だけを
被覆することも可能である。
【0066】アンダーコート層の被覆前における基材1
2の加熱は、例えばレニウム粒子の炭素格子への侵入に
恵まれ、さらに機械的な応力が除かれる利益があること
が見出され;こうして基材12上のアンダーコート層の
接着が実質的に改良される。
【0067】アンダーコート層の材料は基材表面に当る
ときに溶融状態であるので炭素基材の開口細孔に侵入
し、その結果、基材12表面にあるアンダーコート層の
極めて良好な基礎的な接着が保証されると理解される。
【0068】容器またはキャビネット1の内圧は、特別
な要求に基づいて選択できる。通常、1mbar〜約4
barの圧力が、被覆操作の間に容器またはキャビネッ
ト1の内部で確立される。しかし、特別な被覆または要
求に依存するけれども、不活性ガスの代わりに反応性ガ
スで容器またはキャビネット1を満たすことも考えられ
る。
【0069】基材12が予備加熱され、カバー層がアン
ダーコート層の被覆直後に被覆される場合に、実質的な
熱−機械的応力が個々の層の間、あるいは基材とアンダ
ーコート層との間でも観察されないという利益がある、
というのは、アンダーコート層は、アンダーコート層の
被覆からカバー層の被覆への推移段階においても一定の
高温に止まるためである。かかる加工は、被覆基材が極
めて高温で使用される場合に特に賢いといえる。例とし
て、核融合プロセスまたはX線管用のアノードに使用さ
れるグラファイト煉瓦が挙げられ、それらは主に核融合
反応中やX線管におけるX線の放出中に高温カバー層と
して役立つタングステン層を具備するグラファイト基材
または炭素繊維化合物の基材からなる。事実、かかるグ
ラファイト煉瓦またはアノードの表面は、操作中に極め
て高温に処せられる。
【0070】次に、好適であるが層を限定するものでは
ない例をさらに詳述するが、それは本発明の方法によっ
てグラファイト基材または非金属グラファイトに基づく
基材に被覆できる。図2〜6は概略図であり、各図にお
いて被覆層を備え、拡大された基材の部分的な断面図を
示す。
【0071】図2は基材Aを示し、その表面はレニウム
製のアンダーコート層B、さらにタングステン製のカバ
ー層Cを順次具備する。
【0072】基材温度および/またはプラズマジェット
とそれに随伴する被覆粒子の温度をそれぞれ変更するこ
とにより、炭素含有基材の化学元素、レニウム、および
高融点を示すカバー層の金属との間に化学結合が形成さ
れる。かかる化学結合は、図3において中間層D、Eと
して示される。
【0073】さらに、プラズマスプレー装置の操作パラ
メーターを調整することにより、ある構造、例えばレニ
ウム製のアンダーコート層Bと高融点金属からなるカバ
ー層Cとの間の結晶構造が得られる;それによって、例
えば最終被覆製品の熱−機械的な特性が最適化できる。
【0074】また、基材ばかりでなくそれに被覆される
各層は制御された多孔性や微小多孔性をそれぞれ含み、
特別な要求にしたがってある範囲内で変更できる。
【0075】本発明の方法によって、1μm〜1mm以
上の厚みのアンダーコート層と20μm〜10mm以上
の厚みのカバー層を被覆できる。
【0076】図3は、レニウム製アンダーコート層Bが
被覆された基材Aの部分断面図を示す。タングステン製
カバー層は符号Cで示される。アンダーコート層Aとカ
バー層Cとの間に二つに中間層D、Eが与えられてお
り、それらの層は基材A、アンダーコート層Bとそれら
の成分からなるカバー層Cとの間の化学反応によって形
成される。
【0077】図4は、レニウム製アンダーコート層Bが
被覆された基材Aの部分断面図を示す。タングステン製
カバー層は符号Cで示される。アンダーコート層Aとカ
バー層Cとの間に中間層Fが与えられており、その層は
レニウムとタングステン粒子の混合物からなる。
【0078】図5は、レニウム製中間層数層B1、それ
と交互のタングステン製中間層数層C1を備える基材A
の部分断面図を示す。ここで、アンダーコート層Bはレ
ニウムからなり、カバー層Cはタングステンからなる。
特殊な各層の厚みは満たすべき要求にしたがって変更で
きる。層B1と層C1との組成は、個々の層との間の化
学反応の結果として変更でき、一つおよびその他の層の
元素を含む。
【0079】最後に、図6は基材Aの表面に構造Sが与
えられた基材Aの部分断面図を示す。かかる構造Sは、
例えば機械的、化学的、またはレーザー法により具体化
できる。一般的に、かかる構造の目的や構造は、それぞ
れ、基材表面積が拡大し、それによって基材とアンダー
コート層との膨脹係数がお互いに適合し、その結果、接
着はさらに増加し、アンダーコート層の固有応力が減少
することがわかるであろう。プラズマスプレー法による
アンダーコート層Bの被覆は、この点において、基材表
面の凹部が粒子の高速度によってアンダーコート層の溶
融材料で完全に満たされるという利益がある。その後、
カバー層Cが一般に被覆される。
【0080】
【発明の効果】要約すると、炭素基材や炭素含有非金族
基材は、それぞれ、本発明の方法で環境に優しく、低コ
ストでそれぞれすばやく一以上の層を具備させることが
可能である。さらに、一以上の層厚は、それぞれ、相対
的に広い限界内で変更できる。本発明の方法の別の利益
は、極めて大きな基材でも容易に被覆できることにあ
る。最後に、被覆された層はお互いに十分に、さらに基
材自体に十分に接着できることに注目すべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】基材に一以上の層を被覆するプラズマ被覆アセ
ンブリの一般的なレイアウトの概略図である。
【図2】第一の基材の拡大された部分断面図である。
【図3】第二の基材の拡大された部分断面図である。
【図4】第三の基材の拡大された部分断面図である。
【図5】第四の基材の拡大された部分断面図である。
【図6】第五の基材の表面に構造物が与えられた基材の
拡大部分断面図である。
【符号の説明】
A…基材 B…アンダーコート層 C…カバー層 D…中間層 E…中間層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 596021584 Switzerland 5610 Wohl en Rigackerstrasse 16

Claims (29)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 炭素基材または炭素含有非金属基材の表
    面を500℃〜2500℃に加熱する段階と、および不
    活性雰囲気中でプラズマスプレー法によって少なくとも
    一つのアンダーコート層を前記基材に被覆する段階と、
    ここで、前記アンダーコート層は、少なくとも部分的
    に、レニウム、モリブデン、ジルコニウム、チタン、ク
    ロム、ニオブ、タンタル、ハフニウム、バナジウム、白
    金、ロジウムまたはイリジウムを含む、を含むことを特
    徴とする炭素基材または炭素含有非金属基材の表面に少
    なくとも一層を与えるためにかかる基材を被覆する方
    法。
  2. 【請求項2】 前記基材は、少なくとも一つのアンダー
    コート層の被覆に使用されるプラズマスプレー手段で加
    熱される請求項1に記載の方法。
  3. 【請求項3】 前記基材表面は、前記少なくとも一つの
    アンダーコート層の被覆前に、機械的、化学的またはレ
    ーザー手段によって構造化される請求項1または請求項
    2に記載の方法。
  4. 【請求項4】 さらに、プラズマスプレー法によって前
    記アンダーコート層にカバー層を被覆する段階を含む請
    求項1に記載の方法。
  5. 【請求項5】 高融点金属物質が少なくとも部分的に前
    記カバー層の被覆に用いられる請求項4に記載の方法。
  6. 【請求項6】 前記カバー層は環境雰囲気に対してシー
    ルされた雰囲気で被覆される請求項4または請求項5に
    記載の方法。
  7. 【請求項7】 前記シールされた雰囲気は主に不活性ガ
    スで構成される請求項6に記載の方法。
  8. 【請求項8】 前記アンダーコート層および/または前
    記カバー層は、耐火性金属または耐火性金属合金を含む
    材料からなる請求項4に記載の方法。
  9. 【請求項9】 プラズマジェットに随伴する被覆物粒子
    の速度は、前記アンダーコート層を被覆する間、100
    m/sを越えるように選択される請求項1に記載の方
    法。
  10. 【請求項10】 前記アンダーコート層と前記被覆物層
    は環境雰囲気に対してシールされた雰囲気で被覆され、
    その際に圧力が1mbar〜4barの範囲で維持され
    る請求項4に記載の方法。
  11. 【請求項11】 前記アンダーコート層は1μm〜1m
    mの範囲の厚みで被覆される請求項1に記載の方法。
  12. 【請求項12】 前記カバー層は20μm〜10mmの
    範囲の厚みで被覆される請求項4に記載の方法。
  13. 【請求項13】 中間層がプラズマスプレー法で前記ア
    ンダーコート層に被覆される請求項4に記載の方法。
  14. 【請求項14】 前記中間層は前記アンダーコート層と
    前記カバー層の双方の構成成分を含む請求項13に記載
    の方法。
  15. 【請求項15】 前記カバー層は、少なくとも部分的に
    タングステン、タングステン合金またはタングステン化
    合物を含む請求項4に記載の方法。
  16. 【請求項16】 前記カバー層は、少なくとも部分的に
    レニウム、タンタル、ニオブ、ジルコニウムまたはハフ
    ニウムを含む請求項4に記載の方法。
  17. 【請求項17】 前記アンダーコート層と前記カバー層
    は同じプラズマスプレー手段で順次被覆される請求項4
    に記載の方法。
  18. 【請求項18】 前記アンダーコート層の被覆から前記
    カバー層の被覆への連続推移が行われ、その際にプラズ
    マスプレー手段に供給される前記アンダーコート層用の
    被覆材料の単位時間当りの供給量が連続的に減少し、一
    方、同時に前記プラズマスプレー手段に供給される単位
    時間当りの前記カバー層用の被覆材料の供給量が連続的
    に増加する請求項17に記載の方法。
  19. 【請求項19】 環境雰囲気に対してシールされた雰囲
    気が、前記アンダーコート層と前記カバー層の双方が被
    覆される間は維持され、前記シ−ルされた雰囲気は主に
    不活性ガスで構成される請求項17または請求項18に
    記載の方法。
  20. 【請求項20】 最初に前記アンダーコート層が、次に
    前記カバー層が前記基材に被覆され、その際に前記カバ
    ー層の被覆は環境雰囲気に対してシールされた雰囲気で
    行われ、かかる雰囲気は前記アンダーコート層が被覆さ
    れる段階で維持される不活性雰囲気と相違する請求項4
    に記載の方法。
  21. 【請求項21】 前記アンダーコート層の被覆に使用さ
    れる材料は、レニウム、モリブデンおよび/またはジル
    コニウムからなる請求項1に記載の方法。
  22. 【請求項22】 前記アンダーコート層の被覆に使用さ
    れる材料は次の群から選ばれる請求項1に記載の方法: 金属:レニウム、モリブデン、ジルコニウム、チタン、
    クロム、ニオブ、タンタル、ハフニウム、バナジウム、
    白金、ロジウム、イリジウム; 合金: −鉛−錫−チタン−アンチモン −クロム−燐−シリコン−鉄−炭素−残部:ニッケル −クロム−シリコン−炭素−残部:ニッケル −銅−クロム −銅−金−ニッケル −銅−ニオブ −銅−パラジウム −銅−シリコン−チタン −銅−チタン −銅−亜鉛−マンガン−チタン−ニッケル−錫−アルミ
    ニウム −銅−亜鉛−チタン−アンチモン−シリコン −銅−亜鉛−チタン−錫−シリコン −銅−錫−チタン −ニッケル−クロム −ニッケル−モリブデン−金 −ニッケル−シリコン−硼素 −ニッケル−チタン −パラジウム−ニッケル−クロム −燐−炭素−残部:ニッケル −銀−銅−パラジウム −銀−銅−パラジウム−はんだ合金 −銀−銅−チタン −チタン、ジルコニウム、クロム、ニオブ、タンタル、
    ハフニウム、バナジウム、白金、ロジウムまたはイリジ
    ウムを主要成分とする合金。
  23. 【請求項23】 前記アンダーコート層の被覆に使用さ
    れる材料は、延性マトリックス中の活性金属、特に銀、
    銅、金および/またはニッケル中のチタンで構成される
    請求項1に記載の方法。
  24. 【請求項24】 主に炭素繊維化合物からなる基材が用
    いられる請求項1に記載の方法。
  25. 【請求項25】 主にグラファイトからなる基材が用い
    られる請求項1に記載の方法。
  26. 【請求項26】 不活性雰囲気中においてプラズマスプ
    レー法で被覆された少なくとも一つのアンダーコート層
    を備え、前記少なくとも一つのアンダーコート層は、少
    なくとも部分的に、レニウム、モリブデン、ジルコニウ
    ム、チタン、クロム、ニオブ、タンタル、ハフニウム、
    バナジウム、白金、ロジウムまたはイリジウムを含むこ
    とを特徴とする炭素基材または炭素含有非金属基材。
  27. 【請求項27】 さらに、タングステン、タングステン
    合金またはタングステン化合物からなり、プラズマスプ
    レー法で前記基材に被覆されたカバー層を含む請求項2
    6に記載の基材。
  28. 【請求項28】 さらに、前記アンダーコート層の構成
    成分を含み、プラズマスプレー法で被覆された中間層と
    タングステン、タングステン合金またはタングステン化
    合物からなり、プラズマスプレー法で前記基材に被覆さ
    れたカバー層とを含む請求項26に記載の基材。
  29. 【請求項29】 さらに、少なくとも部分的にタンタ
    ル、ニオブ、ジルコニウムまたはハフニウムからなり、
    プラズマスプレー法で被覆されたカバー層を含む請求項
    26に記載の基材。
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