JPH10202887A - インクジェットヘッド - Google Patents
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- JPH10202887A JPH10202887A JP878697A JP878697A JPH10202887A JP H10202887 A JPH10202887 A JP H10202887A JP 878697 A JP878697 A JP 878697A JP 878697 A JP878697 A JP 878697A JP H10202887 A JPH10202887 A JP H10202887A
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクの吐出を安定化することができ、ま
た、耐久性に優れたインクジェットヘッドを提供する。 【解決手段】 ノズル孔３０９を有するインクジェット
ヘッドであって、金属製のノズルプレート３０３と、ノ
ズルプレート３０３表面のノズル孔３０９周縁部に、ハ
ロゲン元素を含む有機金属ガスの熱ＣＶＤ法により形成
されたコート層とを備える。
た、耐久性に優れたインクジェットヘッドを提供する。 【解決手段】 ノズル孔３０９を有するインクジェット
ヘッドであって、金属製のノズルプレート３０３と、ノ
ズルプレート３０３表面のノズル孔３０９周縁部に、ハ
ロゲン元素を含む有機金属ガスの熱ＣＶＤ法により形成
されたコート層とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、インクジェット
ヘッドに関するもので、特に、ノズル孔の周縁部に改良
を加えたインクジェットヘッドに関するものである。
ヘッドに関するもので、特に、ノズル孔の周縁部に改良
を加えたインクジェットヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、インクジェットヘッドにおい
て、インク滴を良好に飛翔させるために、インクを吐出
するためのノズルの周縁部に撥水性保護膜を形成する技
術が提案されている。
て、インク滴を良好に飛翔させるために、インクを吐出
するためのノズルの周縁部に撥水性保護膜を形成する技
術が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来で
は、塗布法等により撥水層を形成していたので、コート
後にノズル細りまたは目詰まりを起こしてしまう可能性
があった。このため、インク滴の飛翔が不安定になった
り、複数のノズルの間でインクの飛翔にばらつきが生じ
るなどの問題があった。また、ノズル孔の設けられたノ
ズルプレートと上記撥水層との密着性が十分とはいえ
ず、特に、ヘッドが長期間使用され、クリーニングのた
めにブレード拭きや吸引パージなどが繰返されると、撥
水層が剥がれを生じるなど耐久性に問題があった。
は、塗布法等により撥水層を形成していたので、コート
後にノズル細りまたは目詰まりを起こしてしまう可能性
があった。このため、インク滴の飛翔が不安定になった
り、複数のノズルの間でインクの飛翔にばらつきが生じ
るなどの問題があった。また、ノズル孔の設けられたノ
ズルプレートと上記撥水層との密着性が十分とはいえ
ず、特に、ヘッドが長期間使用され、クリーニングのた
めにブレード拭きや吸引パージなどが繰返されると、撥
水層が剥がれを生じるなど耐久性に問題があった。
【０００４】この発明の目的は、上述の問題点を解決
し、性能のよいインクジェットヘッドであって、簡便に
製造することができるものを提供することにある。
し、性能のよいインクジェットヘッドであって、簡便に
製造することができるものを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明によるインクジ
ェットヘッドは、ノズル孔を有する金属製のノズルプレ
ートと、ノズルプレート表面のノズル孔周縁部に、ハロ
ゲン元素を含む有機金属ガスを用いた熱ＣＶＤ法により
形成されたコート層とを備えている。
ェットヘッドは、ノズル孔を有する金属製のノズルプレ
ートと、ノズルプレート表面のノズル孔周縁部に、ハロ
ゲン元素を含む有機金属ガスを用いた熱ＣＶＤ法により
形成されたコート層とを備えている。
【０００６】この発明によれば、金属製のノズルプレー
ト上にハロゲン元素を含む有機金属ガスの熱ＣＶＤ法に
より、コート層を形成している。そのため、コート層形
成の際に発生するノズルの細りや目詰まりの問題を抑制
し、インクの吐出を安定化することができる。また、ノ
ズルプレートとコート層との密着性を向上させることが
できるので、インクジェットヘッドとしての耐久性を向
上させることができる。
ト上にハロゲン元素を含む有機金属ガスの熱ＣＶＤ法に
より、コート層を形成している。そのため、コート層形
成の際に発生するノズルの細りや目詰まりの問題を抑制
し、インクの吐出を安定化することができる。また、ノ
ズルプレートとコート層との密着性を向上させることが
できるので、インクジェットヘッドとしての耐久性を向
上させることができる。
【０００７】好ましくは、熱ＣＶＤ法には、ハロゲン元
素を含む有機ガスと有機金属ガスとキャリアガスとの混
合ガスを用いるとよい。
素を含む有機ガスと有機金属ガスとキャリアガスとの混
合ガスを用いるとよい。
【０００８】混合ガスを用いることにより、原料ガスを
より均一に熱ＣＶＤ装置の反応容器内に流すことができ
るので、膜質むらの発生を抑えることができる。
より均一に熱ＣＶＤ装置の反応容器内に流すことができ
るので、膜質むらの発生を抑えることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。なお、各図において、同一符
号は同一または相当部分を示している。
施形態について説明する。なお、各図において、同一符
号は同一または相当部分を示している。
【００１０】図１は、本発明による一例のインクジェッ
トヘッド３を用いたインクジェット記録装置１の概略構
成を示す斜視図である。
トヘッド３を用いたインクジェット記録装置１の概略構
成を示す斜視図である。
【００１１】図１を参照して、インクジェット記録装置
１は、用紙や樹脂フィルムなどの記録媒体である記録シ
ート２と、インクジェット方式のプリンタヘッドである
インクジェットヘッド３と、インクジェットヘッド３を
保持するキャリッジ４と、キャリッジ４を記録シート２
の記録面に平行に往復移動させるための揺動軸５、６
と、キャリッジ４を揺動軸５、６に沿って往復駆動させ
る駆動モータ７と、駆動モータ７の回転をキャリッジの
往復運動に変えるためのタイミングベルト９、アイドル
プーリ８とを含んでいる。
１は、用紙や樹脂フィルムなどの記録媒体である記録シ
ート２と、インクジェット方式のプリンタヘッドである
インクジェットヘッド３と、インクジェットヘッド３を
保持するキャリッジ４と、キャリッジ４を記録シート２
の記録面に平行に往復移動させるための揺動軸５、６
と、キャリッジ４を揺動軸５、６に沿って往復駆動させ
る駆動モータ７と、駆動モータ７の回転をキャリッジの
往復運動に変えるためのタイミングベルト９、アイドル
プーリ８とを含んでいる。
【００１２】また、インクジェット記録装置１は、記録
シート２を搬送経路に沿って案内するガイド板を兼ねる
プラテン１０と、プラテン１０との間の記録シート２の
押さえ浮きを防止する紙押さえ板１１と、記録シート２
を排出するための排出ローラ１２、拍車ローラ１３と、
インクジェットヘッド３のインク吐出不良を良好な状態
に回復させる回復系１４と、記録シート２を手動で搬送
するための紙送りノブ１５とを含んでいる。
シート２を搬送経路に沿って案内するガイド板を兼ねる
プラテン１０と、プラテン１０との間の記録シート２の
押さえ浮きを防止する紙押さえ板１１と、記録シート２
を排出するための排出ローラ１２、拍車ローラ１３と、
インクジェットヘッド３のインク吐出不良を良好な状態
に回復させる回復系１４と、記録シート２を手動で搬送
するための紙送りノブ１５とを含んでいる。
【００１３】記録シート２は、手差しあるいはカットシ
ートフィーダ等の給紙装置によって、インクジェットヘ
ッド３とプラテン１０とが対向する記録部へ送り込まれ
る。この際、図示しない紙送りローラの回転量が制御さ
れ、記録部への搬送が制御される。
ートフィーダ等の給紙装置によって、インクジェットヘ
ッド３とプラテン１０とが対向する記録部へ送り込まれ
る。この際、図示しない紙送りローラの回転量が制御さ
れ、記録部への搬送が制御される。
【００１４】インクジェットヘッド３には、ＰＺＴが用
いられている。ＰＺＴには電圧が印加され、歪みが生じ
る。この歪みは、インクで満たされたチャンネルの容積
を変化させる。この容積の変化により、チャンネルに設
けられたノズルからインクが吐出され、記録シート２へ
の記録が行なわれる。
いられている。ＰＺＴには電圧が印加され、歪みが生じ
る。この歪みは、インクで満たされたチャンネルの容積
を変化させる。この容積の変化により、チャンネルに設
けられたノズルからインクが吐出され、記録シート２へ
の記録が行なわれる。
【００１５】キャリッジ４は、駆動モータ７、アイドル
プーリ８、タイミングベルト９により、記録シート２を
横切る方向である記録シート２の桁方向に主走査し、キ
ャリッジ用に取付けられたプリンタヘッド３は１ライン
分の画像を記録する。１ラインの記録が終わるごとに、
記録シート２は縦方向に送られ副走査され、次のライン
が記録される。
プーリ８、タイミングベルト９により、記録シート２を
横切る方向である記録シート２の桁方向に主走査し、キ
ャリッジ用に取付けられたプリンタヘッド３は１ライン
分の画像を記録する。１ラインの記録が終わるごとに、
記録シート２は縦方向に送られ副走査され、次のライン
が記録される。
【００１６】図２〜図４は、インクジェットヘッド３の
構成を説明するための図である。図２はインクジェット
ヘッド３の一部を示す平面図であり、図３は、図２のＩ
−Ｉ線断面図であり、図４は図３のＩＩ−ＩＩ線断面図
である。
構成を説明するための図である。図２はインクジェット
ヘッド３の一部を示す平面図であり、図３は、図２のＩ
−Ｉ線断面図であり、図４は図３のＩＩ−ＩＩ線断面図
である。
【００１７】インクジェットヘッド３は、大径ヘッド部
３０１と小径ヘッド部３０２とからなる。これら大径ヘ
ッド部３０１と小径ヘッド部３０２とは、ノズルプレー
ト３０３、隔壁３０４、振動板３０５、基板３０６とを
一体に重ねた構成となっている。
３０１と小径ヘッド部３０２とからなる。これら大径ヘ
ッド部３０１と小径ヘッド部３０２とは、ノズルプレー
ト３０３、隔壁３０４、振動板３０５、基板３０６とを
一体に重ねた構成となっている。
【００１８】ノズルプレート３０６は、ニッケル等の金
属からなる。隔壁３０４との対向面は電鋳によるノズル
プレートの形成と同時に、あるいは金属板への微細加工
等により、大径ヘッド部３０１と小径ヘッド部３０２と
にそれぞれインク２４を収容する複数のインクキャビテ
ィ３０８と、各インクキャビティ３０８をインク供給室
３１０に連結するインクインレット３１１とが形成され
ている。ここで、大径ヘッド部３０１のノズル３０９の
径と小径ヘッド部３０２のノズル３０９の径とは同じ大
きさである。
属からなる。隔壁３０４との対向面は電鋳によるノズル
プレートの形成と同時に、あるいは金属板への微細加工
等により、大径ヘッド部３０１と小径ヘッド部３０２と
にそれぞれインク２４を収容する複数のインクキャビテ
ィ３０８と、各インクキャビティ３０８をインク供給室
３１０に連結するインクインレット３１１とが形成され
ている。ここで、大径ヘッド部３０１のノズル３０９の
径と小径ヘッド部３０２のノズル３０９の径とは同じ大
きさである。
【００１９】図３に示すように、大径ヘッド部３０１と
小径ヘッド部３０２とのインクキャビティ３０８は、大
径ヘッド部３０１と小径ヘッド部３０２とが対向する方
向に向かって延びる長溝状にかつ平行に形成されてい
る。また、インク供給室３１０とインクキャビティ３０
８とは中央線３１２を挟んで対称に形成されており、図
示しないインクタンクに接続されている。
小径ヘッド部３０２とのインクキャビティ３０８は、大
径ヘッド部３０１と小径ヘッド部３０２とが対向する方
向に向かって延びる長溝状にかつ平行に形成されてい
る。また、インク供給室３１０とインクキャビティ３０
８とは中央線３１２を挟んで対称に形成されており、図
示しないインクタンクに接続されている。
【００２０】本実施形態は大径および小径ヘッドを持つ
例であるが、ノズルの径がすべて同一であってもよい。
同一径ノズルであってさらにドット径を制御する場合、
ばらつきが少なくなる。
例であるが、ノズルの径がすべて同一であってもよい。
同一径ノズルであってさらにドット径を制御する場合、
ばらつきが少なくなる。
【００２１】隔壁３０４は導電材料からなる薄肉フィル
ムが使用されており、チャンネルプレート３０３と振動
板３０５との間に固定されている。なお、隔壁３０４は
所定の張力が加わった状態で固定される。
ムが使用されており、チャンネルプレート３０３と振動
板３０５との間に固定されている。なお、隔壁３０４は
所定の張力が加わった状態で固定される。
【００２２】振動板３０５はインクを加圧するためのエ
ネルギ発生体としての圧電部材であるＰＺＴ３１５を含
んでおり、その上面と下面にはそれぞれ共通電極、個別
電極として利用される導電性金属層が設けられている。
また、振動板３０５はまず基板３０６に導電性接着剤で
固定され、その後ダイサー加工により縦方向溝３１８と
横方向溝３１９とが形成され分断される。この分断によ
って、各インクキャビティ３０８に対応するＰＺＴ３１
５と、隣接するＰＺＴ３１５の間に位置する仕切り壁３
１６と、これらを囲む壁３１７とが分離される。
ネルギ発生体としての圧電部材であるＰＺＴ３１５を含
んでおり、その上面と下面にはそれぞれ共通電極、個別
電極として利用される導電性金属層が設けられている。
また、振動板３０５はまず基板３０６に導電性接着剤で
固定され、その後ダイサー加工により縦方向溝３１８と
横方向溝３１９とが形成され分断される。この分断によ
って、各インクキャビティ３０８に対応するＰＺＴ３１
５と、隣接するＰＺＴ３１５の間に位置する仕切り壁３
１６と、これらを囲む壁３１７とが分離される。
【００２３】また、上記のダイサー加工によりＰＺＴ３
１５の上下に設けられた導電性金属層もそれぞれ縦方向
溝３１８と横方向溝３１９とにより分断され、隔壁３０
４に対向する金属層が共通電極３１３、基板３０６に対
向する金属層が個別電極３１４とされる。
１５の上下に設けられた導電性金属層もそれぞれ縦方向
溝３１８と横方向溝３１９とにより分断され、隔壁３０
４に対向する金属層が共通電極３１３、基板３０６に対
向する金属層が個別電極３１４とされる。
【００２４】基板３０６は、セラミック、金属または合
成樹脂等からなる。振動板３０５との対向面には、大径
ヘッド部３０１、小径ヘッド部３０２のＰＺＴ３１５に
対応して導電リード部がスパッタリングまたは蒸着等の
周知の技術により形成されている。このように形成され
た個別電極３１４は、対応する導電リード部に導電性接
着剤を介して電気的に導通する。また、これら共通電極
３１３と個別電極３１４とが対向する領域においては、
各ＰＺＴ３１５は、それぞれ高温下で分極処理されて活
性化されている。
成樹脂等からなる。振動板３０５との対向面には、大径
ヘッド部３０１、小径ヘッド部３０２のＰＺＴ３１５に
対応して導電リード部がスパッタリングまたは蒸着等の
周知の技術により形成されている。このように形成され
た個別電極３１４は、対応する導電リード部に導電性接
着剤を介して電気的に導通する。また、これら共通電極
３１３と個別電極３１４とが対向する領域においては、
各ＰＺＴ３１５は、それぞれ高温下で分極処理されて活
性化されている。
【００２５】以上のような構成のインクジェットヘッド
３では、図示しないインクタンクからインク供給室３１
０にインク３０７が供給される。インク供給室３１０の
インク３０７は、インクインレット３１１を介して各イ
ンクキャビティ３０８に分配される。
３では、図示しないインクタンクからインク供給室３１
０にインク３０７が供給される。インク供給室３１０の
インク３０７は、インクインレット３１１を介して各イ
ンクキャビティ３０８に分配される。
【００２６】ヘッドドライバから共通電極３１３と個別
電極３１４との間に所定の電圧が印加されると、ＰＺＴ
３１５は変形する。ＰＺＴ３１５の変形は隔壁３０４に
伝えられ、これによりインクキャビティ３０８内のイン
ク３０７が加圧され、ノズル３０９を介してインク滴が
記録シート２に向かって飛翔する。
電極３１４との間に所定の電圧が印加されると、ＰＺＴ
３１５は変形する。ＰＺＴ３１５の変形は隔壁３０４に
伝えられ、これによりインクキャビティ３０８内のイン
ク３０７が加圧され、ノズル３０９を介してインク滴が
記録シート２に向かって飛翔する。
【００２７】図５は、図２〜４に示すインクジェットヘ
ッド３のノズル３０９周辺を拡大して示す断面図であ
る。図５を参照して、ノズルプレート３０３の表面に
は、コート層３５０が形成されている。
ッド３のノズル３０９周辺を拡大して示す断面図であ
る。図５を参照して、ノズルプレート３０３の表面に
は、コート層３５０が形成されている。
【００２８】このコート層３５０は、フッ素を含む有機
金属ガスの熱ＣＶＤ法により形成されたものである。
金属ガスの熱ＣＶＤ法により形成されたものである。
【００２９】なお、コート層の形成に用いるハロゲン元
素を含む有機ガスとしては、たとえば、フッ化ビニル、
フッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン、フルオロ
スチレン、アクリル酸フルオロアルキルまたはメタクリ
ル酸フルオロアルキル等が用いられる。
素を含む有機ガスとしては、たとえば、フッ化ビニル、
フッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン、フルオロ
スチレン、アクリル酸フルオロアルキルまたはメタクリ
ル酸フルオロアルキル等が用いられる。
【００３０】なお、この発明において、ハロゲン元素と
しては、フッ素、塩素が好ましく用いられ、特にフッ素
が好ましい。複数種類のハロゲン元素を併用してもよ
く、この場合、フッ素と塩素との組合せが好ましい。
しては、フッ素、塩素が好ましく用いられ、特にフッ素
が好ましい。複数種類のハロゲン元素を併用してもよ
く、この場合、フッ素と塩素との組合せが好ましい。
【００３１】また、熱ＣＶＤ法は、１５０℃〜１０００
℃、より好ましくは、２００℃〜８００℃程度の温度で
行なうとよい。
℃、より好ましくは、２００℃〜８００℃程度の温度で
行なうとよい。
【００３２】熱ＣＶＤの温度は使用ガス種に応じて適宜
設定すればよい。但し、上限温度はノズルプレートの金
属種のガラス転移温度Ｔｇ以下にする。１５０℃未満で
あると粉体が発生し、膜質や密着力が低下する恐れがあ
る。１０００℃を超えると金属製ノズルプレートの変形
が発生する恐れがある。
設定すればよい。但し、上限温度はノズルプレートの金
属種のガラス転移温度Ｔｇ以下にする。１５０℃未満で
あると粉体が発生し、膜質や密着力が低下する恐れがあ
る。１０００℃を超えると金属製ノズルプレートの変形
が発生する恐れがある。
【００３３】
（実施例１）公知の熱ＣＶＤ法を用いて、ノズル径φ２
８μｍのＮｉ電鋳ノズルプレート表面に、厚さ０．９μ
ｍの撥水性コート層を形成した。
８μｍのＮｉ電鋳ノズルプレート表面に、厚さ０．９μ
ｍの撥水性コート層を形成した。
【００３４】熱ＣＶＤの際には、フッ素を含む有機ガス
と有機金属ガスとキャリアガスとの混合ガスを用いた。
と有機金属ガスとキャリアガスとの混合ガスを用いた。
【００３５】キャリアガスとしては、水素ガスを用い
た。フッ素を含む有機ガスとしては、パーフルオロエチ
レン（四フッ化エチレン）を４０ｓｃｃｍで用い、水素
ガスでパーフルオロエチレン：水素＝１：１０となるよ
うに希釈しながら流した。有機金属ガスとしては、ビス
（シクロペンタジエニル）ニッケルを用い、１３０℃で
昇華して水素ガスで希釈しながら６０ｓｃｃｍで流し
た。
た。フッ素を含む有機ガスとしては、パーフルオロエチ
レン（四フッ化エチレン）を４０ｓｃｃｍで用い、水素
ガスでパーフルオロエチレン：水素＝１：１０となるよ
うに希釈しながら流した。有機金属ガスとしては、ビス
（シクロペンタジエニル）ニッケルを用い、１３０℃で
昇華して水素ガスで希釈しながら６０ｓｃｃｍで流し
た。
【００３６】また、ＣＶＤの際には、ガスとノズルプレ
ートを約６００℃に加熱した。さらに、ガスを流す時間
を制御することにより、膜厚の制御を行なった。なお、
ガスの供給を停止する際には、まず原料ガスの供給を切
った後、ＡｒまたはＮ 2 等の希ガスを流し、その後冷却
した。
ートを約６００℃に加熱した。さらに、ガスを流す時間
を制御することにより、膜厚の制御を行なった。なお、
ガスの供給を停止する際には、まず原料ガスの供給を切
った後、ＡｒまたはＮ 2 等の希ガスを流し、その後冷却
した。
【００３７】（実施例２）パーフルオロエチレンを６０
ｓｃｃｍで、ビス（シクロペンタジエニル）ニッケルを
８０ｓｃｃｍで用いる他は実施例１と同様にして、ノズ
ル径φ４０μｍのＮｉ電鋳ノズルプレート表面に、厚さ
１．３μｍの撥水性コート層を形成した。
ｓｃｃｍで、ビス（シクロペンタジエニル）ニッケルを
８０ｓｃｃｍで用いる他は実施例１と同様にして、ノズ
ル径φ４０μｍのＮｉ電鋳ノズルプレート表面に、厚さ
１．３μｍの撥水性コート層を形成した。
【００３８】なお、他の条件については実施例１と全く
同様であるので、その説明は省略する。
同様であるので、その説明は省略する。
【００３９】（実施例３）パーフルオロエチレンを８０
ｓｃｃｍで、ビス（シクロペンタジエニル）ニッケルを
１００ｓｃｃｍで用いる他は実施例１と同様にして、ノ
ズル径φ３２μｍのＮｉ電鋳ノズルプレート表面に、厚
さ１．８μｍの撥水性コート層を形成した。
ｓｃｃｍで、ビス（シクロペンタジエニル）ニッケルを
１００ｓｃｃｍで用いる他は実施例１と同様にして、ノ
ズル径φ３２μｍのＮｉ電鋳ノズルプレート表面に、厚
さ１．８μｍの撥水性コート層を形成した。
【００４０】なお、他の条件については実施例１と全く
同様であるので、その説明は省略する。
同様であるので、その説明は省略する。
【００４１】（実施例４）Ｎｉ電鋳ノズルプレートの代
わりに、ノズル径φ２８μｍのＳＵＳ製のノズルプレー
トを用いて、その表面に、厚さ０．８μｍの撥水性コー
ト層を形成した。
わりに、ノズル径φ２８μｍのＳＵＳ製のノズルプレー
トを用いて、その表面に、厚さ０．８μｍの撥水性コー
ト層を形成した。
【００４２】なお、他の条件については実施例１と全く
同様であるので、その説明は省略する。
同様であるので、その説明は省略する。
【００４３】（比較例１）フッ素を含む有機ガスとして
パーフルオロエチレン（四フッ化エチレン）を８０ｓｃ
ｃｍで用い、有機金属ガスを用いないで、ノズル径φ４
０μｍのＮｉ電鋳ノズルプレート表面に、厚さ１．３μ
ｍの撥水性コート層を形成した。
パーフルオロエチレン（四フッ化エチレン）を８０ｓｃ
ｃｍで用い、有機金属ガスを用いないで、ノズル径φ４
０μｍのＮｉ電鋳ノズルプレート表面に、厚さ１．３μ
ｍの撥水性コート層を形成した。
【００４４】なお、他の条件については実施例１と全く
同様であるので、その説明は省略する。
同様であるので、その説明は省略する。
【００４５】（比較例２）ＣＶＤの際に、ガスとノズル
プレートを約２００℃に加熱して、ノズル径φ３２μｍ
のＮｉ電鋳ノズルプレート表面に、厚さ１．８μｍの撥
水性コート層を形成した。
プレートを約２００℃に加熱して、ノズル径φ３２μｍ
のＮｉ電鋳ノズルプレート表面に、厚さ１．８μｍの撥
水性コート層を形成した。
【００４６】ガスとしては、パーフルオロエチレンを６
０ｓｃｃｍで、ビス（シクロペンタジエニル）ニッケル
を８０ｓｃｃｍで用いた。
０ｓｃｃｍで、ビス（シクロペンタジエニル）ニッケル
を８０ｓｃｃｍで用いた。
【００４７】なお、他の条件については実施例１と全く
同様であるので、その説明は省略する。
同様であるので、その説明は省略する。
【００４８】（評価）上記のようにして得られた実施例
１〜４および比較例１〜２の合計６種のノズルプレート
について、接着性、耐久性、撥インク性の評価を行なっ
た。なお、撥インク性については、ノズル径φ３０μｍ
でコート層を設けないＮｉ電鋳ノズルプレートについて
も評価を行なった。
１〜４および比較例１〜２の合計６種のノズルプレート
について、接着性、耐久性、撥インク性の評価を行なっ
た。なお、撥インク性については、ノズル径φ３０μｍ
でコート層を設けないＮｉ電鋳ノズルプレートについて
も評価を行なった。
【００４９】その結果を表１に示す。
【００５０】
【表１】
【００５１】表１において、「ノズル径」はノズルの半
径を示し、「膜厚」は熱硬化後のコート層の厚さを示し
ている。また、「Ｆ含有率」は撥水性コート層中の最大
フッ素含有率を示し、「温度」はＣＶＤの際にガスとノ
ズルプレートを加熱した温度を示している。
径を示し、「膜厚」は熱硬化後のコート層の厚さを示し
ている。また、「Ｆ含有率」は撥水性コート層中の最大
フッ素含有率を示し、「温度」はＣＶＤの際にガスとノ
ズルプレートを加熱した温度を示している。
【００５２】また、「接着性」は、以下のようにしてテ
ープ剥離テストを実施して評価した。表１の「接着性」
は、ＪＩＳ規格 Ｋ５４００ ６．１５の基盤目テープ
剥離テストに準じてテープ剥離テストを行なうことによ
って評価した。
ープ剥離テストを実施して評価した。表１の「接着性」
は、ＪＩＳ規格 Ｋ５４００ ６．１５の基盤目テープ
剥離テストに準じてテープ剥離テストを行なうことによ
って評価した。
【００５３】その結果、実施例１、実施例３および実施
例４については変化がなく、実施例２についてはノズル
プレートのエッジの一部において剥がれが観察されたが
実用的使用上の問題はない程度であった。一方、比較例
１および比較例２については、ノズルの周縁の一部で剥
がれが観察され、実用上使用できない程度であった。な
お、表１においては、剥離テストを行なっても変化のな
いものを○、一部剥がれが観察されるが実用上問題のな
いものを△、剥がれがあり実使用に耐えないものを×で
示した。
例４については変化がなく、実施例２についてはノズル
プレートのエッジの一部において剥がれが観察されたが
実用的使用上の問題はない程度であった。一方、比較例
１および比較例２については、ノズルの周縁の一部で剥
がれが観察され、実用上使用できない程度であった。な
お、表１においては、剥離テストを行なっても変化のな
いものを○、一部剥がれが観察されるが実用上問題のな
いものを△、剥がれがあり実使用に耐えないものを×で
示した。
【００５４】次に、「耐久性」については、エプソンＳ
Ｆ紙を用いて、６×１０4 回ゴムブレードでノズルプレ
ート表面を摺擦した後にインク滴を記録シートに向かっ
て飛翔させ、紙に付着後のドット着弾位置の誤差幅を測
定した。表１においては、誤差幅が±１０μｍ以内の場
合を◎、±２０μｍ以内の場合を○、±３０μｍ以内の
場合を△、±３０μｍを超える場合を×として表わし
た。なお、誤差幅が±３０μｍ以内であれば、実用的使
用上の問題はないが、±３０μｍを超えると、実用上使
用できないものとなった。
Ｆ紙を用いて、６×１０4 回ゴムブレードでノズルプレ
ート表面を摺擦した後にインク滴を記録シートに向かっ
て飛翔させ、紙に付着後のドット着弾位置の誤差幅を測
定した。表１においては、誤差幅が±１０μｍ以内の場
合を◎、±２０μｍ以内の場合を○、±３０μｍ以内の
場合を△、±３０μｍを超える場合を×として表わし
た。なお、誤差幅が±３０μｍ以内であれば、実用的使
用上の問題はないが、±３０μｍを超えると、実用上使
用できないものとなった。
【００５５】次に、「撥インク性」については、インク
としてＤＩＣ社製ＭＡＴ−１００３ＢＬインクを用い
て、インクとの接触角を測定した。
としてＤＩＣ社製ＭＡＴ−１００３ＢＬインクを用い
て、インクとの接触角を測定した。
【００５６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、インクの吐出を安定化することができ、また、耐久
性に優れたインクジェットヘッドが得られる。
ば、インクの吐出を安定化することができ、また、耐久
性に優れたインクジェットヘッドが得られる。
【図１】本発明による一例のインクジェットヘッドを用
いたインクジェット記録装置の概略構成を示す斜視図で
ある。
いたインクジェット記録装置の概略構成を示す斜視図で
ある。
【図２】本発明による一例のインクジェットヘッドの一
部を示す平面図である。
部を示す平面図である。
【図３】図２のＩ−Ｉ線断面図である。
【図４】図３のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図５】図２〜４に示すインクジェットヘッドのノズル
周辺を拡大して示す断面図である。
周辺を拡大して示す断面図である。
１ インクジェット記録装置 ３ インクジェットヘッド ３０６ ノズルプレート ３０９ ノズル ３５０ コート層
Claims (2)
- 【請求項１】 ノズル孔を有する金属製のノズルプレー
トと、このノズルプレート表面の前記ノズル孔周縁部
に、ハロゲン元素を含む有機金属ガスを用いた熱ＣＶＤ
法により形成されたコート層とを備える、インクジェッ
トヘッド。 - 【請求項２】 前記コート層は、ハロゲン元素を含む有
機ガスと有機金属ガスとキャリアガスとの混合ガスを用
いた熱ＣＶＤ法により形成されることを特徴とする、請
求項１記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP878697A JPH10202887A (ja) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP878697A JPH10202887A (ja) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10202887A true JPH10202887A (ja) | 1998-08-04 |
Family
ID=11702557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP878697A Withdrawn JPH10202887A (ja) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10202887A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3184307A1 (en) * | 2015-12-25 | 2017-06-28 | Ricoh Company, Ltd. | Printing device and printing method |
-
1997
- 1997-01-21 JP JP878697A patent/JPH10202887A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3184307A1 (en) * | 2015-12-25 | 2017-06-28 | Ricoh Company, Ltd. | Printing device and printing method |
| US9873252B2 (en) | 2015-12-25 | 2018-01-23 | Ricoh Company, Ltd. | Printing device and printing method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040406 |