JPH10185580A - ジャイロセンサ - Google Patents
ジャイロセンサInfo
- Publication number
- JPH10185580A JPH10185580A JP8350177A JP35017796A JPH10185580A JP H10185580 A JPH10185580 A JP H10185580A JP 8350177 A JP8350177 A JP 8350177A JP 35017796 A JP35017796 A JP 35017796A JP H10185580 A JPH10185580 A JP H10185580A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gyro sensor
- plane
- sensor according
- weight
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型で、安価なジャイロセンサを提供する。
【解決手段】 重り部と、前記重り部を平面内で円軌道
を描くように移動させる駆動手段と、前記重り部が前記
平面外に移動した場合の該平面外への移動状態を検出す
る検出手段とを有するジャイロセンサ。
を描くように移動させる駆動手段と、前記重り部が前記
平面外に移動した場合の該平面外への移動状態を検出す
る検出手段とを有するジャイロセンサ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は自動車のナビゲーシ
ョンシステムや姿勢制御、画像撮影装置の手振れ補正等
に使われるジャイロセンサに関するものである。
ョンシステムや姿勢制御、画像撮影装置の手振れ補正等
に使われるジャイロセンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、ジャイロセンサは、カーナビゲー
ションや撮像装置の振れ振動防止装置に応用されるよう
になってきた。これらには低価格ながら高精度な角速度
が得られる振動ジャイロがよく知られている。
ションや撮像装置の振れ振動防止装置に応用されるよう
になってきた。これらには低価格ながら高精度な角速度
が得られる振動ジャイロがよく知られている。
【０００３】具体的には特開平３−５４４１４号公報、
特開平３−１７２７１３号公報、又は特開平７−０９２
１７５号公報に記載されているように振動体を加振し、
その時に角速度が加わるとコリオリ力が発生することを
利用し、その振動状態が変化することを検出することに
より、どちらの方向にどれだけの角速度が加わったかを
検知するジャイロ装置である。
特開平３−１７２７１３号公報、又は特開平７−０９２
１７５号公報に記載されているように振動体を加振し、
その時に角速度が加わるとコリオリ力が発生することを
利用し、その振動状態が変化することを検出することに
より、どちらの方向にどれだけの角速度が加わったかを
検知するジャイロ装置である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来例に
記載されているジャイロ装置では、検出出力の能力を上
げようとすると振動の振巾や質量を大きくしたり、振動
の周波数を上げたりする必要がある。さらに、出力のバ
ランスを正確に取るために精密な機械加工が必要であっ
たり、また組立後の微妙な調整をしなければならなかっ
たりしていた。
記載されているジャイロ装置では、検出出力の能力を上
げようとすると振動の振巾や質量を大きくしたり、振動
の周波数を上げたりする必要がある。さらに、出力のバ
ランスを正確に取るために精密な機械加工が必要であっ
たり、また組立後の微妙な調整をしなければならなかっ
たりしていた。
【０００５】このため、ジャイロセンサとして小型なも
のを作ろうとすると大きさに限界がでてきたり、また、
低価格のものを作ろうとするときに制限がでたりして、
なかなか超小型で安価なものが出来ていないのが実情で
あった。
のを作ろうとすると大きさに限界がでてきたり、また、
低価格のものを作ろうとするときに制限がでたりして、
なかなか超小型で安価なものが出来ていないのが実情で
あった。
【０００６】本発明は、以上の事情に鑑みなされたもの
で、小型で、安価なジャイロセンサを提供しようとする
ものである。
で、小型で、安価なジャイロセンサを提供しようとする
ものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、重り部と、前記重り部を平面内で円軌道を
描くように移動させる駆動手段と、前記重り部が前記平
面外に移動した場合の該平面外への移動状態を検出する
検出手段とを有するジャイロセンサとするものである。
に本発明は、重り部と、前記重り部を平面内で円軌道を
描くように移動させる駆動手段と、前記重り部が前記平
面外に移動した場合の該平面外への移動状態を検出する
検出手段とを有するジャイロセンサとするものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【０００９】図１０は本発明の実施の形態に係るジャイ
ロセンサの原理を説明する図である。
ロセンサの原理を説明する図である。
【００１０】図１に於いてｘ−ｙ軸なる平面内をｍなる
重なりがｚ軸を中心に速度ｖで時計回りに回転している
時ｙ軸を中心に重りｍに回転角速度ω1 を与えると重な
りはｙ軸と直角な場所にＦなる力が発生する。これがコ
リオリの力である（このときＦ＝ｋｍｖω1 なる関係が
ある。ただし、ｋは定数）。以下に説明する本発明の実
施の形態は、このコリオリの力を利用した回転ジャイロ
センサに関するものである。
重なりがｚ軸を中心に速度ｖで時計回りに回転している
時ｙ軸を中心に重りｍに回転角速度ω1 を与えると重な
りはｙ軸と直角な場所にＦなる力が発生する。これがコ
リオリの力である（このときＦ＝ｋｍｖω1 なる関係が
ある。ただし、ｋは定数）。以下に説明する本発明の実
施の形態は、このコリオリの力を利用した回転ジャイロ
センサに関するものである。
【００１１】以下、詳細に説明する。
【００１２】
（第１の実施の形態）図１は、本発明の第１の実施の形
態に係るジャイロセンサの平面図、図２は図１のＸ−Ｘ
断面図である。
態に係るジャイロセンサの平面図、図２は図１のＸ−Ｘ
断面図である。
【００１３】図１、図２に於いて１は本体部でブリッジ
部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ及び重り部１１部を有してお
り、これらは一体の導電部で構成されている。ブリッジ
部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄには上下に電気を通電するこ
とにより機械的に伸び縮みを可能とする電歪、圧電、熱
膨張、電磁などの変換素子２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２
ａ′、２ｂ′、２ｃ′、２ｄ′を張り付けておく。一方
重り部１１下面に電極部１２、１３、１４、１５を形成
しておく。４は本体部下面に形成された電極基板４であ
る。基板４と本体部１とは、間に絶縁材３を介して固着
されている。図３は、図１の重り部１１の下面に形成さ
れた電極部の構成を示す平面図で、図３に於いて基板４
上には、電極部５１、５２、５３、５４なるパターンが
形成され各々５１ａ、５２ａ、５３ａ、５４ａなる電極
部５１、５２、５３、５４の引出し部が設けられてい
る。図３に二点鎖線で示された四角枠は重り部１１の下
面に形成された電極部１２、１３、１４、１５の平面的
な位置関係である。
部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ及び重り部１１部を有してお
り、これらは一体の導電部で構成されている。ブリッジ
部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄには上下に電気を通電するこ
とにより機械的に伸び縮みを可能とする電歪、圧電、熱
膨張、電磁などの変換素子２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２
ａ′、２ｂ′、２ｃ′、２ｄ′を張り付けておく。一方
重り部１１下面に電極部１２、１３、１４、１５を形成
しておく。４は本体部下面に形成された電極基板４であ
る。基板４と本体部１とは、間に絶縁材３を介して固着
されている。図３は、図１の重り部１１の下面に形成さ
れた電極部の構成を示す平面図で、図３に於いて基板４
上には、電極部５１、５２、５３、５４なるパターンが
形成され各々５１ａ、５２ａ、５３ａ、５４ａなる電極
部５１、５２、５３、５４の引出し部が設けられてい
る。図３に二点鎖線で示された四角枠は重り部１１の下
面に形成された電極部１２、１３、１４、１５の平面的
な位置関係である。
【００１４】図４は、図１のジャイロセンサの回路図で
ある。図４に於いて、２１は発振回路で特定の周波数を
作り出し、駆動回路２２を作動させる。駆動回路２２に
は各変換素子２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄへ順次通電を行な
う回路が構成されている。以下変換素子として圧電素子
を使った場合を例に説明する。駆動回路２２は各変換素
子２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄへ正弦波通電を行うようにな
っており、図５にそのタイミングを示している。
ある。図４に於いて、２１は発振回路で特定の周波数を
作り出し、駆動回路２２を作動させる。駆動回路２２に
は各変換素子２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄへ順次通電を行な
う回路が構成されている。以下変換素子として圧電素子
を使った場合を例に説明する。駆動回路２２は各変換素
子２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄへ正弦波通電を行うようにな
っており、図５にそのタイミングを示している。
【００１５】図５から明らかのように変換素子２ａと２
ｃ、２ｂと２ｄとはそれぞれ位相が１８０°ずれ、また
変換素子２ａと２ｂ、２ｂと２ｃ、２ｃと２ｄ、２ｄと
２ａとは各々位相が９０°ずれた通電が行われる。この
時共通の電極Ｇは各々変換素子の一方の面に接着されて
いるので、もう一方の面にプラス又はマイナスの電圧を
図５にあるタイミングで印加する。
ｃ、２ｂと２ｄとはそれぞれ位相が１８０°ずれ、また
変換素子２ａと２ｂ、２ｂと２ｃ、２ｃと２ｄ、２ｄと
２ａとは各々位相が９０°ずれた通電が行われる。この
時共通の電極Ｇは各々変換素子の一方の面に接着されて
いるので、もう一方の面にプラス又はマイナスの電圧を
図５にあるタイミングで印加する。
【００１６】図６は重り部１１を平面回転させる状態を
（ａ）〜（ｈ）まで順を追って示している。図６の左図
は図１に対応する平面図、右図は図１のｘ−ｘ断面図に
対応する断面図であり（ａ）〜（ｈ）は、図５の通電タ
イミングの（ａ）〜（ｈ）に対応している。例えば
（ａ）の状態は変換素子２ａ、２ａ′にマイナスの印加
を行なったため変換素子は縮み、同時に２ｃの変換素子
にプラスの印加を行なったため伸びている。その時上面
の変換素子２ａ、２ｃと下面の変換素子２ａ′、２ｃ′
は共通電極Ｇを中心に上下にはられ同時に通電されるた
め変換素子２ａ、２ａ′と２ｃ、２ｃ′はそれぞれ同一
方向に伸び縮みを行なう。その際ブリッジ部１ａと上下
面にはられた変換素子２ａ、２ａ′との合わせた共振周
波数を与える。以下同様に図５にある正弦波の通電を与
えると順次図６の（ａ）〜（ｈ）の様に重り部１１が平
面内を回転する（円軌道を描くように移動する）ことに
なる。
（ａ）〜（ｈ）まで順を追って示している。図６の左図
は図１に対応する平面図、右図は図１のｘ−ｘ断面図に
対応する断面図であり（ａ）〜（ｈ）は、図５の通電タ
イミングの（ａ）〜（ｈ）に対応している。例えば
（ａ）の状態は変換素子２ａ、２ａ′にマイナスの印加
を行なったため変換素子は縮み、同時に２ｃの変換素子
にプラスの印加を行なったため伸びている。その時上面
の変換素子２ａ、２ｃと下面の変換素子２ａ′、２ｃ′
は共通電極Ｇを中心に上下にはられ同時に通電されるた
め変換素子２ａ、２ａ′と２ｃ、２ｃ′はそれぞれ同一
方向に伸び縮みを行なう。その際ブリッジ部１ａと上下
面にはられた変換素子２ａ、２ａ′との合わせた共振周
波数を与える。以下同様に図５にある正弦波の通電を与
えると順次図６の（ａ）〜（ｈ）の様に重り部１１が平
面内を回転する（円軌道を描くように移動する）ことに
なる。
【００１７】尚、この時駆動用として変換素子２ａ、２
ｂ、２ｃ、２ｄのみを使い反対方向の変換素子２ａ′、
２ｂ′、２ｃ′、２ｄ′を歪−電気変換素子としてセン
サの役目をさせてもよい。
ｂ、２ｃ、２ｄのみを使い反対方向の変換素子２ａ′、
２ｂ′、２ｃ′、２ｄ′を歪−電気変換素子としてセン
サの役目をさせてもよい。
【００１８】ここで、図１の平面図でななめ方向の軸に
ω1 なる角速度を加えると図１０で説明した様にコリオ
リの力が重り部１１に作用し、図６で平面内を回転して
いた重り部１に上下方向の力が加わる。この状態を図
７、図８に示す。
ω1 なる角速度を加えると図１０で説明した様にコリオ
リの力が重り部１１に作用し、図６で平面内を回転して
いた重り部１に上下方向の力が加わる。この状態を図
７、図８に示す。
【００１９】図７は重り部１１が右上りになり、図８は
重り部１１が左下りになるような軌跡を描きながら且つ
図６の（ａ）〜（ｈ）なる平面回転をつづけようとす
る。その際電極１２は基板電極５１を、同様に１３は５
２を、１４は５３を、１５は５４の電極範囲を超えない
ような位置関係に設定しておく。電極間の間隔でみると
重り部１１の電極１２と基板電極５１の間隔は増加ｌ1
となり又反対に重り部１１の電極１４と基板電極５３と
の間隔は減少ｌ2 になる。図４の回路図にあるように、
電極間の間隔はコンデンサの役目をしており、この間隔
が変化ｌ1 又はｌ2 になることで静電容量が変化する。
この電極間にはＢなる電圧が加わっているためγ1 、γ
2 、γ3 、γ4 なる抵抗に流れる電流が変化する。この
時の抵抗γ1 、γ2 、γ3 、γ4 の両端の電圧Ｖ1 、Ｖ
2 、Ｖ3 、Ｖ4 を測定すれば重り部１１がどの方向にど
の程度動いたかが検出できることになる。すなわち電圧
Ｖ1、Ｖ2 、Ｖ3 、Ｖ4 を測定すればこの平面内を回転
する重り部１１にどの方向のどの程度角速度が加わった
か検出できることになる。その際Ｖ1 −Ｖ3 又はＶ2−
Ｖ4 なる回路構成にしておけば出力が倍加され、図１に
あるω1 、ω2 又はω3 、ω4 なる角速度をより高出力
で検出できることになる。
重り部１１が左下りになるような軌跡を描きながら且つ
図６の（ａ）〜（ｈ）なる平面回転をつづけようとす
る。その際電極１２は基板電極５１を、同様に１３は５
２を、１４は５３を、１５は５４の電極範囲を超えない
ような位置関係に設定しておく。電極間の間隔でみると
重り部１１の電極１２と基板電極５１の間隔は増加ｌ1
となり又反対に重り部１１の電極１４と基板電極５３と
の間隔は減少ｌ2 になる。図４の回路図にあるように、
電極間の間隔はコンデンサの役目をしており、この間隔
が変化ｌ1 又はｌ2 になることで静電容量が変化する。
この電極間にはＢなる電圧が加わっているためγ1 、γ
2 、γ3 、γ4 なる抵抗に流れる電流が変化する。この
時の抵抗γ1 、γ2 、γ3 、γ4 の両端の電圧Ｖ1 、Ｖ
2 、Ｖ3 、Ｖ4 を測定すれば重り部１１がどの方向にど
の程度動いたかが検出できることになる。すなわち電圧
Ｖ1、Ｖ2 、Ｖ3 、Ｖ4 を測定すればこの平面内を回転
する重り部１１にどの方向のどの程度角速度が加わった
か検出できることになる。その際Ｖ1 −Ｖ3 又はＶ2−
Ｖ4 なる回路構成にしておけば出力が倍加され、図１に
あるω1 、ω2 又はω3 、ω4 なる角速度をより高出力
で検出できることになる。
【００２０】さらにＶ1 −Ｖ3 とＶ2 −Ｖ4 のそれぞれ
の結果の差も合わせて検出すれば平面回転している重り
に垂直に加速度が加わった状態を合せて知ることができ
る。以上述べた如く重り１１にω1 、ω2 又はω3 、ω
4 なる２軸の角速度を同時に検出が可能となる。
の結果の差も合わせて検出すれば平面回転している重り
に垂直に加速度が加わった状態を合せて知ることができ
る。以上述べた如く重り１１にω1 、ω2 又はω3 、ω
4 なる２軸の角速度を同時に検出が可能となる。
【００２１】以上の説明では重り部の回転駆動源として
圧電素子を使った例を示したが前述したように磁否、電
熱膨張素子等を使ってもよい。さらにセンサ部には静電
容量原理を利用したがブリッジ部１ａ、１ｂ、１ｃ、１
ｄに各々に歪検出素子を貼ったり、光学センサ等を用い
てもよい。
圧電素子を使った例を示したが前述したように磁否、電
熱膨張素子等を使ってもよい。さらにセンサ部には静電
容量原理を利用したがブリッジ部１ａ、１ｂ、１ｃ、１
ｄに各々に歪検出素子を貼ったり、光学センサ等を用い
てもよい。
【００２２】また、以上の実施の形態ではブリッジ部１
ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを４本で構成しているが、これは
３本以上であれば同様に駆動できる。またセンサを構成
する電極部を重り部１１の電極１２、１３、１４、１５
と基板電極５１、５２、５３、５４とからなる４組の電
極から構成しているがこれも３組以上であれば同様に検
出は可能である。
ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを４本で構成しているが、これは
３本以上であれば同様に駆動できる。またセンサを構成
する電極部を重り部１１の電極１２、１３、１４、１５
と基板電極５１、５２、５３、５４とからなる４組の電
極から構成しているがこれも３組以上であれば同様に検
出は可能である。
【００２３】さらに製造方法としては半導体プロセスを
利用し、微小な構成にすることも可能である。その際に
は本実施の形態のジャイロセンサを複数個ならべそれぞ
れのセンサ出力を並列にすればバラツキの少ない平均化
された出力を得ることができる。
利用し、微小な構成にすることも可能である。その際に
は本実施の形態のジャイロセンサを複数個ならべそれぞ
れのセンサ出力を並列にすればバラツキの少ない平均化
された出力を得ることができる。
【００２４】（第２の実施の形態）図９は本発明の第２
の実施の形態に係るジャイロセンサの平面図である。図
１に於いて、本体６１に内接されたブリッジ部６１ａ、
６１ｂ、６１ｃ、６１ｄに保持された重り部６２に永久
磁石６３、６４、６５、６６が固着され、本体６１の永
久磁石６３、６４、６５、６６に対向した位置に電磁石
６７、６８、６９、７０が固着される。
の実施の形態に係るジャイロセンサの平面図である。図
１に於いて、本体６１に内接されたブリッジ部６１ａ、
６１ｂ、６１ｃ、６１ｄに保持された重り部６２に永久
磁石６３、６４、６５、６６が固着され、本体６１の永
久磁石６３、６４、６５、６６に対向した位置に電磁石
６７、６８、６９、７０が固着される。
【００２５】駆動方法は第１の実施の形態の圧電素子と
同様であり、順次電磁石６７、６８、６９、７０に通電
することにより重り部６２を平面内に回転させることが
できる。そして重り部６２の変化検出に関しても第１の
実施の形態と同様であるので省略する。
同様であり、順次電磁石６７、６８、６９、７０に通電
することにより重り部６２を平面内に回転させることが
できる。そして重り部６２の変化検出に関しても第１の
実施の形態と同様であるので省略する。
【００２６】（発明と実施の形態との対応）以上の実施
の形態において、重り部１１、６２が本発明の重り部
に、変換素子２ａ〜２ｄ、２ａ’〜２ｄ’、発振回路２
１、駆動回路２２、永久磁石６３〜６６、電磁石６７〜
７０が本発明の駆動手段に、重り部電極１２〜１５、電
極パターン５１〜５４が本発明の検出手段に、変換素子
２ａ〜２ｄ、２ａ’〜２ｄ’が本発明の電気―機械運動
変換素子又は、圧電素子に、永久磁石６３〜６６、電磁
石６７〜７０が本発明の電磁駆動手段に、ブリッジ部１
ａ〜１ｄが本発明の保持手段に、それぞれ相当する。
の形態において、重り部１１、６２が本発明の重り部
に、変換素子２ａ〜２ｄ、２ａ’〜２ｄ’、発振回路２
１、駆動回路２２、永久磁石６３〜６６、電磁石６７〜
７０が本発明の駆動手段に、重り部電極１２〜１５、電
極パターン５１〜５４が本発明の検出手段に、変換素子
２ａ〜２ｄ、２ａ’〜２ｄ’が本発明の電気―機械運動
変換素子又は、圧電素子に、永久磁石６３〜６６、電磁
石６７〜７０が本発明の電磁駆動手段に、ブリッジ部１
ａ〜１ｄが本発明の保持手段に、それぞれ相当する。
【００２７】以上が実施の形態の各構成と本発明の各構
成の対応関係でるが、本発明は、これら実施の形態の構
成に限られるものではなく、請求項で示した機能、また
は、実施の形態の構成が持つ機能が達成できる構成であ
ればどのようなものであってもよいことは言うまでもな
い。
成の対応関係でるが、本発明は、これら実施の形態の構
成に限られるものではなく、請求項で示した機能、また
は、実施の形態の構成が持つ機能が達成できる構成であ
ればどのようなものであってもよいことは言うまでもな
い。
【００２８】また、本発明は、以上の各実施の形態また
は、それら技術要素を必要に応じて組み合わせるように
してもよい。
は、それら技術要素を必要に応じて組み合わせるように
してもよい。
【００２９】また、本発明は、特許請求の範囲または実
施の形態の構成の全体若しくは一部が、一つの装置を形
成するようなものであっても、他の装置と結合するよう
なものであっても、装置を構成する要素となるようなも
のであってもよい。
施の形態の構成の全体若しくは一部が、一つの装置を形
成するようなものであっても、他の装置と結合するよう
なものであっても、装置を構成する要素となるようなも
のであってもよい。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、小
型で、安価なジャイロセンサが提供できるものである
型で、安価なジャイロセンサが提供できるものである
【図１】本発明の実施の形態に係るジャイロセンサの平
面図。
面図。
【図２】図１のＸ−Ｘ軸で断面した断面図。
【図３】図１のジャイロセンサの電極基板の平面パター
ン図。
ン図。
【図４】図１のジャイロセンサの全本構成回路図。
【図５】図１のジャイロセンサの駆動変換素子に通電す
るタイミング図。
るタイミング図。
【図６】図１のジャイロセンサの重り部が動作する平面
図及び断面図。
図及び断面図。
【図７】図１のジャイロセンサの平面内回転重りにコリ
オリ力が発生した時の断面図。
オリ力が発生した時の断面図。
【図８】図１のジャイロセンサの平面内回転重りにコリ
オリ力が発生した時の断面図。
オリ力が発生した時の断面図。
【図９】本発明の他の実施の形態に係るジャイロセンサ
の平面図。
の平面図。
【図１０】本発明の実施の形態の装置の原理を説明する
図。
図。
１ 本体 １ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ ブリッジ ２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ａ′、２ｂ′、２ｃ′、２
ｄ′ 変換素子 ３ 絶縁材 ４ 基板 ５１、５２、５３、５４ 電極パターン １１ 重り部 １２、１３、１４、１５ 重り部電極 ６３、６４、６５、６６ 磁石 ６７、６８、６９、７０ 電磁石
ｄ′ 変換素子 ３ 絶縁材 ４ 基板 ５１、５２、５３、５４ 電極パターン １１ 重り部 １２、１３、１４、１５ 重り部電極 ６３、６４、６５、６６ 磁石 ６７、６８、６９、７０ 電磁石
Claims (13)
- 【請求項１】 重り部と、前記重り部を平面内で円軌道
を描くように移動させる駆動手段と、前記重り部が前記
平面外に移動した場合の該平面外への移動状態を検出す
る検出手段とを有することを特徴とするジャイロセン
サ。 - 【請求項２】 前記検出手段は、前記ジャイロセンサに
作用する角速度に応じた信号を出力することを特徴とす
る請求項１記載のジャイロセンサ。 - 【請求項３】 前記駆動手段は、電気―機械運動変換素
子を有することを特徴とする請求項１、又は２記載のジ
ャイロセンサ。 - 【請求項４】 前記電気―機械運動変換素子は、圧電素
子であることを特徴とする請求項３記載のジャイロセン
サ。 - 【請求項５】 前記ジャイロセンサは、前記重り部を保
持する複数の保持部を有し、前記電気―機械運動変換素
子が前記それぞれの保持部の両側に設けられて前記保持
部を順次変形させることを特徴とする請求項１〜４のい
ずれかに記載のジャイロセンサ。 - 【請求項６】 前記重り部を保持する複数の保持部を有
し、前記駆動手段は、前記保持部を順次変形させること
を特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のジャイロ
センサ。 - 【請求項７】 前記駆動手段は、電磁駆動手段であるこ
とを特徴とする請求項１、２、又は６記載のジャイロセ
ンサ。 - 【請求項８】 前記検出手段は、前記円軌道の中心軸に
対して垂直な軸の回りに作用する角速度に応じた信号を
出力することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記
載のジャイロセンサ。 - 【請求項９】 前記検出手段は、前記円軌道の中心軸対
向して配置される複数の検出部を有することを特徴とす
る請求項８に記載のジャイロセンサ。 - 【請求項１０】 前記検出手段は、前記複数の検出部の
出力合成することを特徴とする請求項９に記載のジャイ
ロセンサ。 - 【請求項１１】 前記検出手段は、前記円軌道の中心軸
に対して垂直な複数の軸の回りにそれぞれ作用する角速
度に応じた信号を出力することを特徴とする請求項１〜
１０のいずれかに記載のジャイロセンサ。 - 【請求項１２】 前記検出手段は、前記平面外への移動
量を検出することを特徴とする請求項１〜１１のいずれ
かに記載のジャイロセンサ。 - 【請求項１３】 前記検出手段は、前記平面外への移動
量を静電容量の変化で検出することを特徴とする請求項
１２に記載のジャイロセンサ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8350177A JPH10185580A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | ジャイロセンサ |
| US08/997,527 US6092417A (en) | 1996-12-27 | 1997-12-23 | Gyrosensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8350177A JPH10185580A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | ジャイロセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10185580A true JPH10185580A (ja) | 1998-07-14 |
Family
ID=18408743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8350177A Withdrawn JPH10185580A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | ジャイロセンサ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6092417A (ja) |
| JP (1) | JPH10185580A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6808956B2 (en) | 2000-12-27 | 2004-10-26 | Honeywell International Inc. | Thin micromachined structures |
| US6582985B2 (en) | 2000-12-27 | 2003-06-24 | Honeywell International Inc. | SOI/glass process for forming thin silicon micromachined structures |
| KR101531088B1 (ko) * | 2013-05-30 | 2015-07-06 | 삼성전기주식회사 | 관성센서 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5012174A (en) * | 1988-06-20 | 1991-04-30 | Sperry Marine Inc. | Method and apparatus for countering vibrations of a platform |
| JPH0354414A (ja) * | 1989-07-24 | 1991-03-08 | Yazaki Corp | 角速度センサ |
| JPH03172713A (ja) * | 1989-11-30 | 1991-07-26 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
| EP0461761B1 (en) * | 1990-05-18 | 1994-06-22 | British Aerospace Public Limited Company | Inertial sensors |
| US5329815A (en) * | 1991-12-19 | 1994-07-19 | Motorola, Inc. | Vibration monolithic gyroscope |
| US5802684A (en) * | 1993-09-14 | 1998-09-08 | Nikon Corporation | Process for producing a vibration angular-velocity sensor |
| JP3368006B2 (ja) * | 1993-09-24 | 2003-01-20 | キヤノン株式会社 | 角速度センサ及び角速度センサを用いた撮像装置 |
| JPH08145683A (ja) * | 1994-11-16 | 1996-06-07 | Nikon Corp | 加速度・角速度検出装置 |
-
1996
- 1996-12-27 JP JP8350177A patent/JPH10185580A/ja not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-12-23 US US08/997,527 patent/US6092417A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6092417A (en) | 2000-07-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4353087B2 (ja) | 回転振動型角速度センサ | |
| US6089089A (en) | Multi-element micro gyro | |
| US8096181B2 (en) | Inertial sensor | |
| US5987986A (en) | Navigation grade micromachined rotation sensor system | |
| JP4555571B2 (ja) | 回転速度センサ | |
| JP3492010B2 (ja) | 振動ジャイロおよび防振装置 | |
| JP2005514608A6 (ja) | 回転速度センサ | |
| JP2009244263A (ja) | 平面外ｍｅｍｓデバイスから加速度および回転を決定するためのシステムおよび方法 | |
| JP2005514608A (ja) | 回転速度センサ | |
| JPH09318649A (ja) | 複合センサ | |
| JP2007315830A (ja) | 角速度センサ | |
| US6578420B1 (en) | Multi-axis micro gyro structure | |
| US9273962B2 (en) | Physical quantity sensor and electronic device | |
| JP2000161962A (ja) | 変位センサおよびその製造方法 | |
| JPH05248872A (ja) | 慣性センサー | |
| JP2886431B2 (ja) | 振動ジャイロセンサー | |
| JP2000180175A (ja) | 多軸検出型角速度、加速度センサ | |
| JPH10185580A (ja) | ジャイロセンサ | |
| JP3368006B2 (ja) | 角速度センサ及び角速度センサを用いた撮像装置 | |
| JP3323361B2 (ja) | 振動型ジャイロスコープ | |
| JP2002267451A (ja) | 角速度センサ | |
| JPH11325905A (ja) | 振動ジャイロ | |
| KR100492768B1 (ko) | 회전각 검출 장치 및 그 제조 방법 | |
| JP2001183140A (ja) | 振動子駆動機構および角速度センサ | |
| JPS6117910A (ja) | 角速度センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040302 |