JPH10181014A - インクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット、及びその製造方法 - Google Patents
インクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット、及びその製造方法Info
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- JPH10181014A JPH10181014A JP8355717A JP35571796A JPH10181014A JP H10181014 A JPH10181014 A JP H10181014A JP 8355717 A JP8355717 A JP 8355717A JP 35571796 A JP35571796 A JP 35571796A JP H10181014 A JPH10181014 A JP H10181014A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】
【解決手段】 一方の極をなす電極３２と他方の極をな
す電極３３とが中央領域でラップし、かつ一方の端部に
露出するように圧電材料３４とともに積層されてｄ３３
モードにより振動する圧電振動子２１、２２を、流路ユ
ニットの圧力発生室の配列ピッチと同一のピッチとなる
ようにその両側に一定の間隔をおいてダミー振動子２
３、２４、２５とともに固定基板３１に固定する。これ
により圧電振動板の裏面全体を固定した状態で、かつ厚
み方向にスリットを形成することによりユニット化が可
能となる。
す電極３３とが中央領域でラップし、かつ一方の端部に
露出するように圧電材料３４とともに積層されてｄ３３
モードにより振動する圧電振動子２１、２２を、流路ユ
ニットの圧力発生室の配列ピッチと同一のピッチとなる
ようにその両側に一定の間隔をおいてダミー振動子２
３、２４、２５とともに固定基板３１に固定する。これ
により圧電振動板の裏面全体を固定した状態で、かつ厚
み方向にスリットを形成することによりユニット化が可
能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、インクジェット
記録ヘッドに用いる圧電振動子ユニットに関する。
記録ヘッドに用いる圧電振動子ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】縦振動モードの圧電振動子を使用したイ
ンクジェット記録ヘッドは、特開平4-1052号公報や図５
（イ）に見られるように、複数のノズルを穿設したノズ
ルプレート７０の背面に狭い間隙をおいて弾性板７１を
配設し、さらに弾性板７１の背面に流路形成基板７２の
各圧力発生室７３に対応するよう分割したｄ３１モード
の圧電振動子７４を当接させて構成し、リサーバ７５か
らのインクをインク供給口７６を経由させて圧力発生室
７３に導いた上、ここのインクを記録信号に応じて駆動
させた圧電振動子７４により加圧してインク滴としてノ
ズル開口７７から吐出させるようにしたものである。
ンクジェット記録ヘッドは、特開平4-1052号公報や図５
（イ）に見られるように、複数のノズルを穿設したノズ
ルプレート７０の背面に狭い間隙をおいて弾性板７１を
配設し、さらに弾性板７１の背面に流路形成基板７２の
各圧力発生室７３に対応するよう分割したｄ３１モード
の圧電振動子７４を当接させて構成し、リサーバ７５か
らのインクをインク供給口７６を経由させて圧力発生室
７３に導いた上、ここのインクを記録信号に応じて駆動
させた圧電振動子７４により加圧してインク滴としてノ
ズル開口７７から吐出させるようにしたものである。
【０００３】Ｄ３１モードを使用した圧電振動子７３
は、同図（ロ）に示したように少なくとも１列のノズル
開口の数と同数の圧電振動子５４をノズル開口の配列ピ
ッチと同一ピッチとなるようにその一端を支持基板７８
に固定して圧電振動子ユニット７９に纏めれており、そ
の上で固定基板８０を介してノズルプレート、スペー
サ、及び弾性板により構成された流路ユニットが取り付
けられた筒状のフレーム８１に接着剤等で固定されてい
る。
は、同図（ロ）に示したように少なくとも１列のノズル
開口の数と同数の圧電振動子５４をノズル開口の配列ピ
ッチと同一ピッチとなるようにその一端を支持基板７８
に固定して圧電振動子ユニット７９に纏めれており、そ
の上で固定基板８０を介してノズルプレート、スペー
サ、及び弾性板により構成された流路ユニットが取り付
けられた筒状のフレーム８１に接着剤等で固定されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このようにｄ３１モー
ドの圧電振動子７４は、周知のように電極の積層方向に
垂直な方向の変位を利用する関係上、圧電定数がｄ３３
モードの圧電振動子に比較して圧電定数が小さいため、
細長く形成して一端を支持基板７８や固定基板８０に固
定した片持梁状に構成する関係上、曲げ応力に対する剛
性が小さく、１枚の圧電振動板をダイシングソウやワイ
ヤソウ等で歯割りして所定サイズの振動子に成形する工
程での破損が生じ易いという問題がある。
ドの圧電振動子７４は、周知のように電極の積層方向に
垂直な方向の変位を利用する関係上、圧電定数がｄ３３
モードの圧電振動子に比較して圧電定数が小さいため、
細長く形成して一端を支持基板７８や固定基板８０に固
定した片持梁状に構成する関係上、曲げ応力に対する剛
性が小さく、１枚の圧電振動板をダイシングソウやワイ
ヤソウ等で歯割りして所定サイズの振動子に成形する工
程での破損が生じ易いという問題がある。
【０００５】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであって、その目的とするところは製造の歩留まり
が高く、圧電定数の大きな圧電振動子ユニットを提供す
ることである。本発明の他の目的は、上記圧電振動子ユ
ニットの製造方法を提案することである。
ものであって、その目的とするところは製造の歩留まり
が高く、圧電定数の大きな圧電振動子ユニットを提供す
ることである。本発明の他の目的は、上記圧電振動子ユ
ニットの製造方法を提案することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、一方の極をなす電極と他方
の極をなす電極とが中央領域でラップし、かつそれぞれ
が一方の端部でのみ露出するように圧電材料とともに積
層されてｄ３３モードにより振動する圧電振動子を、流
路ユニットの圧力発生室の配列ピッチと同一のピッチと
なるようにその両側に前記ピッチでダミー振動子ととも
に固定基板に固定するようにした。
るために本発明においては、一方の極をなす電極と他方
の極をなす電極とが中央領域でラップし、かつそれぞれ
が一方の端部でのみ露出するように圧電材料とともに積
層されてｄ３３モードにより振動する圧電振動子を、流
路ユニットの圧力発生室の配列ピッチと同一のピッチと
なるようにその両側に前記ピッチでダミー振動子ととも
に固定基板に固定するようにした。
【０００７】
【作用】圧電振動板の裏面全体を固定した状態で、かつ
厚み方向にスリットを形成することにより圧電振動子ユ
ニットを構成することが可能となる。
厚み方向にスリットを形成することにより圧電振動子ユ
ニットを構成することが可能となる。
【０００８】
【発明の実施の態様】そこで以下に図示した実施例につ
いて説明する。図１は本発明の圧電振動子ユニットを使
用した記録ヘッドの一実施例を示すものであって、圧電
振動子の近傍の断面構造を示す図であって、図中符号１
はノズルプレートで、例えば３６０ｄｐｉ程度の所定の
ピッチによりノズル開口２．２、２‥‥、３、３、３‥
‥が２列穿設されている。
いて説明する。図１は本発明の圧電振動子ユニットを使
用した記録ヘッドの一実施例を示すものであって、圧電
振動子の近傍の断面構造を示す図であって、図中符号１
はノズルプレートで、例えば３６０ｄｐｉ程度の所定の
ピッチによりノズル開口２．２、２‥‥、３、３、３‥
‥が２列穿設されている。
【０００９】４は、流路形成板で、ノズル開口２、３に
連通するように圧力発生室５、６、と、これら圧力発生
室５、６にインクを供給するためのリザーバ７、８、及
びリザーバ７、８と各圧力発生室５、６を接続するイン
ク供給口９、１０とを形成して構成されている。
連通するように圧力発生室５、６、と、これら圧力発生
室５、６にインクを供給するためのリザーバ７、８、及
びリザーバ７、８と各圧力発生室５、６を接続するイン
ク供給口９、１０とを形成して構成されている。
【００１０】１１は弾性板で、流路形成板４の裏面側、
つまり流路形成基板４を挟んでノズルプレート１と対向
する面に固定されて、ノズルプレート１とともに圧力発
生室５、６、リザーバ７、８、及びインク供給口９、１
０を形成している。弾性板１１の圧力発生室５、６の中
心線に対応する位置には圧力発生室５、６の長手方向に
延びる厚肉部１２、１３が、また厚肉部１２、１３の周
囲には弾性変形可能な薄肉部１４、１５が形成さてい
る。
つまり流路形成基板４を挟んでノズルプレート１と対向
する面に固定されて、ノズルプレート１とともに圧力発
生室５、６、リザーバ７、８、及びインク供給口９、１
０を形成している。弾性板１１の圧力発生室５、６の中
心線に対応する位置には圧力発生室５、６の長手方向に
延びる厚肉部１２、１３が、また厚肉部１２、１３の周
囲には弾性変形可能な薄肉部１４、１５が形成さてい
る。
【００１１】弾性板１１は、その厚肉部１２、１３が後
述する圧電振動子ユニット２０を構成している各圧電振
動子２１、２２の先端に当接され、また他の領域が圧電
振動子２０と同様に構成されたダミーの振動子２３、２
４、２５の先端に当接されていて、後述するインク供給
流路形成部材を兼ねるヘッドケース２６により支持され
ている。
述する圧電振動子ユニット２０を構成している各圧電振
動子２１、２２の先端に当接され、また他の領域が圧電
振動子２０と同様に構成されたダミーの振動子２３、２
４、２５の先端に当接されていて、後述するインク供給
流路形成部材を兼ねるヘッドケース２６により支持され
ている。
【００１２】２６は、前述のヘッドケースで、これには
弾性板１１のリザーバ７、８に対向する位置に形成され
たインク導入口２７、２８に対向する位置に外部のイン
ク容器のインクを供給するインク供給流路２９、３０が
形成されている。
弾性板１１のリザーバ７、８に対向する位置に形成され
たインク導入口２７、２８に対向する位置に外部のイン
ク容器のインクを供給するインク供給流路２９、３０が
形成されている。
【００１３】図２（イ）は、上述した圧電振動子ユニッ
トの圧電振動子２１、２２、ダミー振動子２３、２４、
２５の配列構造と、各振動子の電極構造を示すものであ
って、圧電振動子２１、２１、‥‥、２２、２２、‥‥
は、圧力発生室５、６と同一の配列ピッチとなるように
位置決めされてその一端を圧電振動子２１、２２と同一
の圧電材料や、他のセラミックス材料、さらには金属等
からなる固定基板３１に固定、配置されている。
トの圧電振動子２１、２２、ダミー振動子２３、２４、
２５の配列構造と、各振動子の電極構造を示すものであ
って、圧電振動子２１、２１、‥‥、２２、２２、‥‥
は、圧力発生室５、６と同一の配列ピッチとなるように
位置決めされてその一端を圧電振動子２１、２２と同一
の圧電材料や、他のセラミックス材料、さらには金属等
からなる固定基板３１に固定、配置されている。
【００１４】各圧電振動子２１、２２は、一方の極をな
す電極３２と他方の極をなす電極３３とが中央領域でラ
ップし、かつそれぞれが一方の端部でのみ露出するよう
に圧電材料３４内に積層して構成されている。
す電極３２と他方の極をなす電極３３とが中央領域でラ
ップし、かつそれぞれが一方の端部でのみ露出するよう
に圧電材料３４内に積層して構成されている。
【００１５】また各圧電振動子２１、２２の端部側には
それぞれ圧電振動子２１、２２と同一の高さに構成され
たダミー振動子２３、２４が、また圧電振動子２１、２
２により挟まれた中央領域には圧電振動子２１、２２と
同一の高さに構成されたダミー振動子２５が圧電振動子
２１、２２と同一の配列ピッチとなるように位置決めさ
れ、一端を固定基板３１に固定、配置されている。
それぞれ圧電振動子２１、２２と同一の高さに構成され
たダミー振動子２３、２４が、また圧電振動子２１、２
２により挟まれた中央領域には圧電振動子２１、２２と
同一の高さに構成されたダミー振動子２５が圧電振動子
２１、２２と同一の配列ピッチとなるように位置決めさ
れ、一端を固定基板３１に固定、配置されている。
【００１６】これらダミー振動子２３、２４には、圧電
振動子２１、２２に対向する面から側方に延びる導電層
３５が、それぞれが対向する圧電振動子２１、２２の、
当該ダミー振動子２３、２４側に露出する電極３３と同
様の手法で填こみ形成されている。
振動子２１、２２に対向する面から側方に延びる導電層
３５が、それぞれが対向する圧電振動子２１、２２の、
当該ダミー振動子２３、２４側に露出する電極３３と同
様の手法で填こみ形成されている。
【００１７】また、中央部に配置されたダミー振動子２
５には、これを挟むように配置されている圧電振動子２
１、２２に延びる導電層３６が、対向する面から露出し
ている側の電極３２と同様の手法で填こみ形成されてい
る。
５には、これを挟むように配置されている圧電振動子２
１、２２に延びる導電層３６が、対向する面から露出し
ている側の電極３２と同様の手法で填こみ形成されてい
る。
【００１８】これら圧電振動子２１、２２を構成する中
央側に露出している電極３４は、図２（ロ）に示したよ
うに圧電振動子２１、２２の側壁、基台の表面、及びダ
ミー振動子２５の側壁に形成された導電層４１、４２、
４３を介し、各列の圧電振動子２１、２２が全て共通に
接続され、外側に位置するダミー振動子２５’の導電層
３６を介して図１に示したようにフレキシブルケーブル
３７に接続されている。
央側に露出している電極３４は、図２（ロ）に示したよ
うに圧電振動子２１、２２の側壁、基台の表面、及びダ
ミー振動子２５の側壁に形成された導電層４１、４２、
４３を介し、各列の圧電振動子２１、２２が全て共通に
接続され、外側に位置するダミー振動子２５’の導電層
３６を介して図１に示したようにフレキシブルケーブル
３７に接続されている。
【００１９】また圧電振動子２１、２２の外側に露出す
る他方の電極３３は、同じく圧電振動子２１、２２の側
壁、基台の表面、及びダミー振動子２３、２４の側壁に
形成された導電層４４、４５、４６を介し、各列の圧電
振動子２１、２２がそれぞれ独立するようにして対向す
るダミー振動子２３、２４の導電層３５に接続され、図
１に示したように各ダミー振動子２３、２４の導電層３
５を介してフレキシブルケーブル３８、３９に接続され
ている。なお、図中符号４７は、ダミー振動子２３、２
４の外側の壁面に、各ダミー振動子２３、２４に隣接す
るものとは電気的に独立するように形成された導電層を
示す。
る他方の電極３３は、同じく圧電振動子２１、２２の側
壁、基台の表面、及びダミー振動子２３、２４の側壁に
形成された導電層４４、４５、４６を介し、各列の圧電
振動子２１、２２がそれぞれ独立するようにして対向す
るダミー振動子２３、２４の導電層３５に接続され、図
１に示したように各ダミー振動子２３、２４の導電層３
５を介してフレキシブルケーブル３８、３９に接続され
ている。なお、図中符号４７は、ダミー振動子２３、２
４の外側の壁面に、各ダミー振動子２３、２４に隣接す
るものとは電気的に独立するように形成された導電層を
示す。
【００２０】この実施例において、圧電振動子２１、２
２に選択的に駆動信号を供給して圧電振動子２１、２２
を充電すると、圧電振動子２１、２２が伸長して、圧力
発生室５、６に対向する領域の弾性板１１が圧力発生室
５、６側に弾性変形し、圧力発生室５、６のインクが加
圧されてノズル開口２、３からインク滴として吐出す
る。
２に選択的に駆動信号を供給して圧電振動子２１、２２
を充電すると、圧電振動子２１、２２が伸長して、圧力
発生室５、６に対向する領域の弾性板１１が圧力発生室
５、６側に弾性変形し、圧力発生室５、６のインクが加
圧されてノズル開口２、３からインク滴として吐出す
る。
【００２１】このとき圧電振動子２１、及び圧電振動子
２２の近傍には、それぞれダミー振動子２３、２５、及
びダミー振動子２５、２４が位置して、弾性板１１を支
持しているから、伸長した圧電振動子２１、２２の変位
が他の圧力発生室５、６に伝搬するのを防止することに
なるから、クロストークの発生が防止される。
２２の近傍には、それぞれダミー振動子２３、２５、及
びダミー振動子２５、２４が位置して、弾性板１１を支
持しているから、伸長した圧電振動子２１、２２の変位
が他の圧力発生室５、６に伝搬するのを防止することに
なるから、クロストークの発生が防止される。
【００２２】インク滴の吐出が終了した段階で、圧電振
動子２１、２２を放電させると、圧電振動子２１、２２
が元の状態に収縮して圧力発生室５、６が膨張する。こ
れにより圧力発生室５、６は、インク供給口９、１０を
介してリザーバ７、８からインクの供給を受けて次のイ
ンク滴の吐出に備える。
動子２１、２２を放電させると、圧電振動子２１、２２
が元の状態に収縮して圧力発生室５、６が膨張する。こ
れにより圧力発生室５、６は、インク供給口９、１０を
介してリザーバ７、８からインクの供給を受けて次のイ
ンク滴の吐出に備える。
【００２３】次に上述した圧電振動子ユニットの製造方
法を図３、図４に基づいて説明する。中央部から圧電振
動子となる領域まで延びる第１の電極層３２’と、一側
から圧電振動子となる領域にまで延び、かつ中央のダミ
ー振動子２５の形成領域が空白となるように対称な第２
の電極層３３’とを交互に挟むようにして圧電材料のグ
リーンシート３４’を基台３１に積層する。
法を図３、図４に基づいて説明する。中央部から圧電振
動子となる領域まで延びる第１の電極層３２’と、一側
から圧電振動子となる領域にまで延び、かつ中央のダミ
ー振動子２５の形成領域が空白となるように対称な第２
の電極層３３’とを交互に挟むようにして圧電材料のグ
リーンシート３４’を基台３１に積層する。
【００２４】圧電材料のグリーンシート３４’が乾燥し
た段階で、１２００°Ｃ程度の焼成に適した温度で焼成
し、必要に応じ表面をラビング操作等により平滑面に仕
上げ、さらに各電極層３２’、３３’に所定の電圧を印
加して分極処理を行って圧電材料板５０を基台３１に作
り付ける。（図３（I））
た段階で、１２００°Ｃ程度の焼成に適した温度で焼成
し、必要に応じ表面をラビング操作等により平滑面に仕
上げ、さらに各電極層３２’、３３’に所定の電圧を印
加して分極処理を行って圧電材料板５０を基台３１に作
り付ける。（図３（I））
【００２５】第１の電極層３２’と第２の電極層３３’
とが上下に重なっていない中央の領域において、一方の
電極層３２’だけが切断面から露出し、かつ中央に形成
すべきダミー振動子２５の長さに一致する間隔を空けて
ダイシングソウやワイヤソウにより、少なくとも２枚の
電極層３２’を切断できる深さの２本の第１スリット５
１、５１を形成する。
とが上下に重なっていない中央の領域において、一方の
電極層３２’だけが切断面から露出し、かつ中央に形成
すべきダミー振動子２５の長さに一致する間隔を空けて
ダイシングソウやワイヤソウにより、少なくとも２枚の
電極層３２’を切断できる深さの２本の第１スリット５
１、５１を形成する。
【００２６】またこれら２本のスリット５１から側方に
圧電振動子２１、２２となる領域の幅を隔てて、第１ス
リット５１よりも若干浅目で、かつ電極層３３’に到達
する深さの第２スリット５２、５２を形成する（図３
（II））。
圧電振動子２１、２２となる領域の幅を隔てて、第１ス
リット５１よりも若干浅目で、かつ電極層３３’に到達
する深さの第２スリット５２、５２を形成する（図３
（II））。
【００２７】なお、基台３１が金属等の導電性を有する
材料により構成されている場合には、第１スリット５
１、５１は、圧電材料層が残留して絶縁材料として機能
できる程度に若干浅めに形成する。
材料により構成されている場合には、第１スリット５
１、５１は、圧電材料層が残留して絶縁材料として機能
できる程度に若干浅めに形成する。
【００２８】第１、第２スリット５１、５２の形成に際
しては、圧電材料板の裏面全体が固定基板３１に固定さ
れていて、かつその厚み方向に第１、第２スリット５
１、５２を形成するから、圧電振動板が十分な剛性を有
しすることになり破損を確実に防止することができる。
しては、圧電材料板の裏面全体が固定基板３１に固定さ
れていて、かつその厚み方向に第１、第２スリット５
１、５２を形成するから、圧電振動板が十分な剛性を有
しすることになり破損を確実に防止することができる。
【００２９】第１スリット５１、第２スリット５２の形
成後、圧電振動子Ａ，Ｂとなる領域にマスクを設けて金
属のスパッタリング等により第１スリット５１の側壁、
底面に導電層５３、５４、５５を形成し、また第２スリ
ット５２の側壁、底面に導電層５６、５７、５８を、さ
らに最外側の側壁には少なくとも次に形成する第３スリ
ット５２の底面よりもよりも基台３１側にはみ出さない
ように導電層５９を形成する（図４（I））。
成後、圧電振動子Ａ，Ｂとなる領域にマスクを設けて金
属のスパッタリング等により第１スリット５１の側壁、
底面に導電層５３、５４、５５を形成し、また第２スリ
ット５２の側壁、底面に導電層５６、５７、５８を、さ
らに最外側の側壁には少なくとも次に形成する第３スリ
ット５２の底面よりもよりも基台３１側にはみ出さない
ように導電層５９を形成する（図４（I））。
【００３０】第１、第２スリット５１、５２に直交する
方向から圧電振動子２１、２２の配列ピッチに一致する
ように、第１スリット５１の底面に形成された導電層５
５に到達せず、かつ第２スリット５２の底面に形成され
た導電層５８、及び最外側の側壁に形成した導電層５９
を切断できる程度の深さで、前述の第３スリット６０を
形成する（図４（II））。
方向から圧電振動子２１、２２の配列ピッチに一致する
ように、第１スリット５１の底面に形成された導電層５
５に到達せず、かつ第２スリット５２の底面に形成され
た導電層５８、及び最外側の側壁に形成した導電層５９
を切断できる程度の深さで、前述の第３スリット６０を
形成する（図４（II））。
【００３１】これにより１枚の圧電振動板５０を、その
底面を基台３１に固定された状態で、中央には前述のダ
ミー振動子２５が、またこれを挟むように圧電振動子２
１、２２が、さらにその外側にダミー振動子２３、２４
が位置するように切分けることができる。
底面を基台３１に固定された状態で、中央には前述のダ
ミー振動子２５が、またこれを挟むように圧電振動子２
１、２２が、さらにその外側にダミー振動子２３、２４
が位置するように切分けることができる。
【００３２】そして第１スリット５１、５１の底部に形
成された導電層５５、５５は分断されること無く中央の
ダミー振動子２５の配列方向に延び、かつ隣接する圧電
振動子２１、２２の側壁、及びダミー振動子２５の側壁
に形成された導電層５３及び５４との接続状態を維持し
て、図２（ロ）に示した導電層４１、４２、４３を形成
することになる。
成された導電層５５、５５は分断されること無く中央の
ダミー振動子２５の配列方向に延び、かつ隣接する圧電
振動子２１、２２の側壁、及びダミー振動子２５の側壁
に形成された導電層５３及び５４との接続状態を維持し
て、図２（ロ）に示した導電層４１、４２、４３を形成
することになる。
【００３３】したがって、ダミー振動子２５の内、外側
（図中、手前側）に位置するダミー振動子２５に埋め込
まれている電極層３６にケーブル３７を接続すると、各
圧電振動子２１、２２の一方の電極３４と接続すること
が可能となる。
（図中、手前側）に位置するダミー振動子２５に埋め込
まれている電極層３６にケーブル３７を接続すると、各
圧電振動子２１、２２の一方の電極３４と接続すること
が可能となる。
【００３４】一方、第２スリット５２、５２の底部に形
成されている導電層５８、５８は、第３スリット６０の
形成により圧電振動子２１、２２の配列方向に分断され
るから、図２（ロ）に示したように圧電振動子２１、２
２の電極の内、外側のダミー振動子２３、２４と対向す
る他方の電極３３、３３をそれぞれ圧電振動子毎に独立
させてダミー振動子２３、２４に接続する導電層４４、
４５、４６を形成することができる。
成されている導電層５８、５８は、第３スリット６０の
形成により圧電振動子２１、２２の配列方向に分断され
るから、図２（ロ）に示したように圧電振動子２１、２
２の電極の内、外側のダミー振動子２３、２４と対向す
る他方の電極３３、３３をそれぞれ圧電振動子毎に独立
させてダミー振動子２３、２４に接続する導電層４４、
４５、４６を形成することができる。
【００３５】したがって、ダミー振動子２３、２４の外
側の導電層５９、または導電層５９を形成しない場合に
はダミー振動子２３、２４の電極層３５にケーブル３
８、３９を接続すると、各圧電振動子毎にセグメント電
極となる他方の電極３３を独立させてケーブル３８、３
９に接続することが可能となる。
側の導電層５９、または導電層５９を形成しない場合に
はダミー振動子２３、２４の電極層３５にケーブル３
８、３９を接続すると、各圧電振動子毎にセグメント電
極となる他方の電極３３を独立させてケーブル３８、３
９に接続することが可能となる。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
一方の極をなす電極と他方の極をなす電極とが中央領域
でラップし、かつそれぞれが一方の端部でのみ露出する
ように圧電材料とともに積層されてｄ３３モードにより
振動する圧電振動子を、流路ユニットの圧力発生室の配
列ピッチと同一のピッチとなるようにその両側に前記ピ
ッチでダミー振動子とともに固定基板に固定したので、
圧電振動子を圧電定数の大きなｄ３３モードで駆動でき
て、固定基板から先端まで短いもので十分にインク滴を
吐出させることができ、また圧電振動板の裏面全体を固
定した状態で、かつ厚み方向にスリットを形成すること
によりユニットとして構成することができて、製造歩留
まりの向上と切分け作業の簡素化を図ることができる。
一方の極をなす電極と他方の極をなす電極とが中央領域
でラップし、かつそれぞれが一方の端部でのみ露出する
ように圧電材料とともに積層されてｄ３３モードにより
振動する圧電振動子を、流路ユニットの圧力発生室の配
列ピッチと同一のピッチとなるようにその両側に前記ピ
ッチでダミー振動子とともに固定基板に固定したので、
圧電振動子を圧電定数の大きなｄ３３モードで駆動でき
て、固定基板から先端まで短いもので十分にインク滴を
吐出させることができ、また圧電振動板の裏面全体を固
定した状態で、かつ厚み方向にスリットを形成すること
によりユニットとして構成することができて、製造歩留
まりの向上と切分け作業の簡素化を図ることができる。
【図１】本発明の圧電振動子ユニットを使用したインク
ジェット式記録ヘッドの一実施例を、流路形成部につい
てはその断面構造を、また圧電振動ユニット部について
は側面構造を示す図である。
ジェット式記録ヘッドの一実施例を、流路形成部につい
てはその断面構造を、また圧電振動ユニット部について
は側面構造を示す図である。
【図２】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の圧電振
動子ユニットの一実施例を示す斜視図、及び電極の接続
構造を拡大して示す図である。
動子ユニットの一実施例を示す斜視図、及び電極の接続
構造を拡大して示す図である。
【図３】図（I）（II）は、それぞれ本発明の圧電振動
子ユニットの製造方法の一実施例の内、前半の工程を示
す図である。
子ユニットの製造方法の一実施例の内、前半の工程を示
す図である。
【図４】図（I）（II）は、それぞれ本発明の圧電振動
子ユニットの製造方法の一実施例の内、後半の工程を示
す図である。
子ユニットの製造方法の一実施例の内、後半の工程を示
す図である。
【図５】図（イ）、（ロ）は、それぞれ従来の圧電振動
子ユニット、及びこれを使用した記録ヘッドの一例を示
す斜視図と断面図である。
子ユニット、及びこれを使用した記録ヘッドの一例を示
す斜視図と断面図である。
１ ノズルプレート ２、３ ノズル開口 ４ 流路形成基板 ５、６ 圧力発生室 ７、８ リザーバ ９、１０ インク供給口 １１ 弾性板 ２１、２２ 圧電振動子 ２３〜２５ ダミー振動子 ２７、２８ インク導入口 ３１ 固定基板 ３７〜３９ フレキシブルケーブル
Claims (9)
- 【請求項１】 一方の極をなす電極と他方の極をなす電
極とが中央領域でラップし、かつそれぞれが一方の端部
でのみ露出するように圧電材料とともに積層されてｄ３
３モードにより振動する圧電振動子を、流路ユニットの
圧力発生室の配列ピッチと同一のピッチとなるようにそ
の両側に前記ピッチでダミー振動子とともに固定基板に
固定してなるインクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振
動子ユニット。 - 【請求項２】 一方の極をなす電極と他方の極をなす電
極とが中央領域でラップし、かつそれぞれが一方の端部
でのみ露出するように圧電材料とともに積層されてｄ３
３モードにより振動する圧電振動子を、流路ユニットの
圧力発生室の配列ピッチと同一のピッチで、かつ対向す
る領域、及び両側に前記ピッチに一致させてダミー振動
子とともに固定基板に複数列固定してなるインクジェッ
ト式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項３】 前記ダミー振動子が前記圧電振動子とほ
ぼ同一の高さを有する請求項１、２に記載のインクジェ
ット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項４】 前記固定基板が前記圧電材料により構成
されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッ
ド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項５】 前記圧電振動子の一方の電極がそれぞれ
異なる前記ダミー振動子に導電層を介して接続され、前
記ダミー振動子を介して前記圧電振動子の電極がケーブ
ルに接続される請求項１、２に記載のインクジェット式
記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項６】 前記ダミー振動子が前記流路ユニットの
支持部材を兼ねる請求項１、２に記載のインクジェット
式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項７】 前記圧電振動子、及び前記ダミー振動子
が１枚の圧電材料を深さの異なるスリットにより切分け
られて形成され、前記スリットの深さの相違により前記
圧電振動子と前記ダミー振動子とが導電層により選択的
に接続されている請求項１、２に記載のインクジェット
式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項８】 一側から圧電振動子となる領域にまで延
びる第１の電極層と、中央部から圧電振動子となる領域
まで延びる第２の電極層とを交互に挟むようにして圧電
材料のグリーンシートを基台に積層して焼成する工程
と、 一方の電極層が存在する中央の領域において、ダミー振
動子の長さに相当するピッチで第１スリットを形成する
工程と、 第１の電極層と第２の電極層とがラップする領域におい
て、それぞれの電極層が一方側からのみ露出するピッチ
で圧電振動子の長さに相当するピッチで、かつ第１スリ
ットよりも浅めの第２スリットを形成する工程と、 第１のスリットに直交する方向から圧電振動子の配列ピ
ッチに合わせて、前記第１スリットよりも浅く、かつ前
記第２スリットよりも深い第３スリットを形成する工程
と、 からなるインクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子
ユニットの製造方法。 - 【請求項９】 第１のスリットの形成後、前記スリット
の側壁、及び底面に導電層を形成する工程を有する請求
項８に記載のインクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振
動子ユニットの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35571796A JP3578190B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | インクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット、及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35571796A JP3578190B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | インクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット、及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10181014A true JPH10181014A (ja) | 1998-07-07 |
| JP3578190B2 JP3578190B2 (ja) | 2004-10-20 |
Family
ID=18445409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35571796A Expired - Lifetime JP3578190B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | インクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット、及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3578190B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0993952A3 (en) * | 1998-09-17 | 2001-01-17 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit, method for manufacturing the same, and ink jet recording head comprising the same |
| EP1188564A1 (en) * | 2000-08-08 | 2002-03-20 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head and method of manufacturing the same |
| US6578953B2 (en) | 1999-03-29 | 2003-06-17 | Seiko Epson Corporation | Inkjet recording head, piezoelectric vibration element unit used for the recording head, and method of manufacturing the piezoelectric vibration element unit |
-
1996
- 1996-12-24 JP JP35571796A patent/JP3578190B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0993952A3 (en) * | 1998-09-17 | 2001-01-17 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit, method for manufacturing the same, and ink jet recording head comprising the same |
| US6417600B2 (en) | 1998-09-17 | 2002-07-09 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit, method for manufacturing the same, and ink jet recording head comprising the same |
| US6624552B2 (en) | 1998-09-17 | 2003-09-23 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit, method for manufacturing the same, and ink jet recording head comprising the same |
| US6862782B2 (en) | 1998-09-17 | 2005-03-08 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing a piezoelectric vibrator unit |
| US6578953B2 (en) | 1999-03-29 | 2003-06-17 | Seiko Epson Corporation | Inkjet recording head, piezoelectric vibration element unit used for the recording head, and method of manufacturing the piezoelectric vibration element unit |
| US7100282B2 (en) | 1999-03-29 | 2006-09-05 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing a piezoelectric vibration element for an inkjet recording head |
| US7600318B2 (en) | 1999-03-29 | 2009-10-13 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing a piezoelectric vibration element for an inkjet recording head |
| EP1188564A1 (en) * | 2000-08-08 | 2002-03-20 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head and method of manufacturing the same |
| US6478411B2 (en) | 2000-08-08 | 2002-11-12 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head and method of manufacturing the same |
| US6609280B2 (en) | 2000-08-08 | 2003-08-26 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head and method of manufacturing the same |
| EP1352745A2 (en) * | 2000-08-08 | 2003-10-15 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head and method of manufacturing the same |
| EP1352745A3 (en) * | 2000-08-08 | 2003-10-22 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head and method of manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3578190B2 (ja) | 2004-10-20 |
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