JPH10178328A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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- JPH10178328A JPH10178328A JP33834596A JP33834596A JPH10178328A JP H10178328 A JPH10178328 A JP H10178328A JP 33834596 A JP33834596 A JP 33834596A JP 33834596 A JP33834596 A JP 33834596A JP H10178328 A JPH10178328 A JP H10178328A
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Abstract
スプリアス変調領域の問題を解決し、通過帯域近傍で十
分な減衰量が得られる縦モード共振器型の弾性表面波フ
ィルタを提供する。 【解決手段】 基板上に入力用IDT(交叉指状電極)
11および出力用IDT12を形成してなる縦モード共
振器型の弾性表面波フィルタである。入力用IDT11
および出力用IDT12は、互いの反射率が異符号で、
かつ絶対値が同じになるように各膜厚が設定されてい
る。基板は、入力用IDT11および出力用IDT12
がその各膜厚に応じて互いの反射率が異符号になること
に協働する材質、構造として、(ZnO/IDT/ダイ
ヤモンド/Si構造)である。
Description
に用いられる弾性表面波フィルタに関し、特に、縦モー
ド共振器型の弾性表面波フィルタに関する。
広帯域、低損失であるので、移動体通信機器に用いられ
ている。弾性表面波フィルタの一種である縦モード共振
器型の弾性表面波フィルタは、弾性表面波フィルタの中
でもとりわけ低損失であり、広帯域で比較的急峻な特性
を小型な構成でもって実現できるので、広く移動体通信
機器に用いられている。
は、基板上に形成した入出力用の交叉指状電極(以後、
一部を除いてIDTと記す)で励起した表面波を、同じ
く基板上に入出力用のIDTを挟むように形成した対の
反射用のIDT間に閉じ込め、定在波を打ち立てること
により、広帯域、低損失を実現するフィルタである。
通信システムにおいて、受信側と送信側の通過帯域同士
が近づいたために、このシステムに用いる機器に使用す
る弾性表面波フィルタには、通過帯域近傍で十分な減衰
量を得られることがさらに要求されるようになった。
ルタは、その構造上、通過帯域の近傍にスプリアス変調
領域が発生するので、通過帯域近傍で十分な減衰量を得
られず、上記要求を十分にかなえる伝送特性を持ってい
なかった。
帯域の近傍に生ずるスプリアス変調領域の問題を解決
し、通過帯域近傍で十分な減衰量が得られる縦モード共
振器型の弾性表面波フィルタを提供することである。
に入力用の交叉指状電極および出力用の交叉指状電極を
形成してなる縦モード共振器型の弾性表面波フィルタで
あって、入力用および出力用の前記交叉指状電極は、互
いの反射率が異符号で、かつ絶対値が同じになるように
各膜厚が設定されており、前記基板は、入力用および出
力用の前記交叉指状電極がその各膜厚に応じて互いの反
射率が異符号になることに協働する材質、構造であるこ
とを特徴とする弾性表面波フィルタが得られる。
造は、(128゜Y−XLiNbO3 )、または(Zn
O/交叉指状電極/ダイアモンド/Si構造)であるこ
とを特徴とする前記弾性表面波フィルタが得られる。
用の前記交叉指状電極は、互いの特性の中心周波数が一
致するようにそれぞれの交叉指のピッチが設定されてい
ることを特徴とする前記弾性表面波フィルタが得られ
る。
の前記交叉指状電極は、両電極共にアルミニウムからな
る組み合わせ、ならびに一方の電極がアルミニウムから
なり、かつ他方の電極がクロームからなる組み合わせか
ら選択されることを特徴とする前記弾性表面波フィルタ
が得られる。
用の前記交叉指状電極はそれぞれ、複数の交叉指状電極
片によって構成されており、入出力段の境界を臨む2つ
の交叉指状電極片が接続されている多段縦続結合型モー
ドタイプであることを特徴とする前記弾性表面波フィル
タが得られる。
実施の形態による縦モード共振器型の弾性表面波フィル
タについて説明する。
形態1による弾性表面波フィルタの構成を示す上面図で
ある。尚、同図においては、基板の図示は省略してい
る。
表面波フィルタは、図示しない基板と、基板上に形成さ
れた入力用IDT11および出力用IDT12と、同じ
く基板上に入力用IDT11および出力用IDT12を
挟むように形成された対の反射用IDT13とを有する
縦モード共振器型の弾性表面波フィルタである。
は、それぞれアルミニウムからなり、互いの反射率が異
符号で、かつ絶対値が同じになるように各膜厚が設定さ
れている。また、基板は、入力用IDT11および出力
用IDT12がその各膜厚に応じて互いの反射率が異符
号になることに協働する材質からなる。具体的には、本
フィルタの基板の材質、構造は、(ZnO/IDT/ダ
イヤモンド/Si構造)である。
ィルタは、そのIDTの材質であり、基板が特定の材
質、構造である場合に、基本的に、IDTの膜厚や交叉
指のピッチに応じてIDTの反射率の符号(+または
−)が反転する。即ち、例えばアルミニウムからなるI
DTの膜厚をh、IDTの交叉指のピッチをλとする
と、IDTの反射率は、h/λに依存する。尚、IDT
の反射率の符号を反転させるには、交叉指のピッチλを
調整するよりも、IDTの膜厚hを調整する方が効率的
である。また、特定の材質、構造の基板としては、(Z
nO/IDT/ダイアモンド/Si構造)の他に、例え
ば、(128゜Y−XLiNbO3)等がある。
面波フィルタにおいて、入力用IDT11の反射率を例
えば負にすると、その伝送特性は、図2に示すように低
域側近傍にスプリアス変調領域を持つ。一方、出力用I
DT12の反射率を正にすると、その伝送特性は、図3
に示すように高域側近傍にスプリアス変調領域を持つ。
したがって、実施の形態1による弾性表面波フィルタ全
体としての伝送特性は、両伝送特性が相補的であるの
で、通過帯域近傍で十分な減衰量が得られる。
力用IDT11および出力用IDT12それぞれの交叉
指のピッチをそれぞれ適宜調整することで、両電極それ
ぞれの伝送特性の中心周波数が互いに一致し、図4に示
すように、通過帯域近傍の減衰量が大きい伝送特性が得
られる。
具体的な実施例は、次の通りである。基板(ZnO/I
DT/ダイヤモンド/Si構造)のZnOの膜厚をh0
(mm)、入力用IDT11の膜厚をh1 (mm)、出力用
IDT12の膜厚をh2 (mm)としたとき、k・h0 =
0.65〜0.75、k・h1 =0.025〜0.03
0、k・h2 =0.040〜0.045(k=2・π/
λ、λ=IDTの交叉指のピッチ(mm))とすれば、入
力用IDT11の反射率は約−0.02、出力用IDT
12の反射率は約+0.02となり、図4に示すような
良好な伝送特性が得られる。
造をとったとしても、基板の材質、構造によっては、I
DTの膜厚を変化させても、IDTの反射率の符号が反
転しない場合(例えば、反射率=0.01+0.02×
h/λ(h/λ>0)の場合)がある。この場合には、
入力用および出力用のIDTの一方をアルミニウムから
なるものとし、他方のIDTをアルミニウムとは異なる
特定の材質からなるものとすると、IDTの反射率の符
号を反転することができる。アルミニウムとは異なる特
定の材質としては、例えば、クロームがあげられる。そ
して、一方の材質をクローム等にすることの他は、実施
の形態1と同様の構成にて、実施の形態1と同様に、図
4に示すような通過帯域近傍の減衰量が大きい良好な伝
送特性が得られる。
形態2による弾性表面波フィルタの構成を示す上面図で
ある。尚、同図においては、基板の図示は省略してい
る。
表面波フィルタは、図示しない基板と、基板上に形成さ
れた入力側フィルタ段20に含まれる入力用IDTなら
びに出力側フィルタ段30に含まれる出力用IDTと、
同じく基板上に入力用IDT、出力用IDTをそれぞれ
挟むように形成された対の反射用IDT23、反射用I
DT33とを有する縦モード共振器型の弾性表面波フィ
ルタである。
用IDT片21および22によって、出力用IDTは出
力用IDT片31および32によってそれぞれ構成され
ており、入力側フィルタ段20と出力側フィルタ段30
との境界を臨む2つのIDT片、即ち、入力用IDT片
22と出力用IDT片31とが接続されている多段縦続
結合型モードタイプである。
用IDTと、出力用IDT片31および32を含む出力
用IDTは、実施の形態1と同様に、それぞれアルミニ
ウムからなり、入力用IDT片と出力用IDT片とは、
相互に反射率が異符号で、かつ絶対値が同じになるよう
に各膜厚が設定されている。また、基板も、実施の形態
1と同様に、入力用IDTおよび出力用IDTがその各
膜厚に応じて互いの反射率が異符号になることに協働す
る材質、構造、例えば、(ZnO/IDT/ダイヤモン
ド/Si構造)であり、(128゜Y−XLiNbO
3)等でもよい。
面波フィルタにおいても、実施の形態1と同様に、入力
用IDT(入力用IDT片21および22)の反射率を
例えば負にすると、その伝送特性は、図2に示した伝送
特性と同様に、低域側近傍にスプリアス変調領域を持
つ。一方、出力用IDT(出力用IDT片31および3
2)の反射率を正にすると、その伝送特性は、図3に示
した伝送特性と同様に、高域側近傍にスプリアス変調領
域を持つ。したがって、実施の形態3による弾性表面波
フィルタ全体としての伝送特性は、両伝送特性が相補的
であるので、通過帯域近傍で十分な減衰量が得られる。
さらに本弾性表面波フィルタにおいても、実施の形態1
と同様に、入力用IDTおよび出力用IDTそれぞれの
交叉指のピッチをそれぞれ適宜調整することで、両電極
それぞれの伝送特性の中心周波数が互いに一致し、図4
に示した伝送特性と同様に、通過帯域近傍の減衰量が大
きい伝送特性が得られる。
たとしても、基板の材質、構造に因りIDTの膜厚を変
化させてもIDTの反射率の符号が反転しない場合に
は、実施の形態2と同様に、入力用および出力用のID
Tの一方をアルミニウムからなるものとし、他方のID
Tをアルミニウムとは異なる特定の材質からなるものと
すると、IDTの反射率の符号を反転することができ
る。アルミニウムとは異なる特定の材質としては、例え
ば、クロームがあげられる。
面波フィルタは、基板上に入力用の交叉指状電極および
出力用の交叉指状電極を形成してなる縦モード共振器型
の弾性表面波フィルタであって、入力用および出力用の
交叉指状電極が互いの反射率が異符号で、かつ絶対値が
同じになるように各膜厚が設定されており、基板が入力
用および出力用の交叉指状電極がその各膜厚に応じて互
いの反射率が異符号になることに協働する材質、構造で
あるため、従来のフィルタにて通過帯域の近傍に生ずる
スプリアス変調領域の問題を解決し、通過帯域近傍で十
分な減衰量が得られる。
の弾性表面波フィルタの構成を示す平面図である。
率の符号が正の場合のそのIDT1個分の伝送特性であ
る。
率の符号が負の場合のそのIDT1個分の伝送特性であ
る。
る。
の弾性表面波フィルタの構成を示す平面図である。
ィルタの伝送特性である。
Claims (5)
- 【請求項1】 基板上に入力用の交叉指状電極および出
力用の交叉指状電極を形成してなる縦モード共振器型の
弾性表面波フィルタであって、入力用および出力用の前
記交叉指状電極は、互いの反射率が異符号で、かつ絶対
値が同じになるように各膜厚が設定されており、前記基
板は、入力用および出力用の前記交叉指状電極がその各
膜厚に応じて互いの反射率が異符号になることに協働す
る材質、構造であることを特徴とする弾性表面波フィル
タ。 - 【請求項2】 前記基板の材質、構造は、(128゜Y
−XLiNbO3 )、または(ZnO/交叉指状電極/
ダイアモンド/Si構造)であることを特徴とする請求
項1に記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項3】 入力用および出力用の前記交叉指状電極
は、互いの特性の中心周波数が一致するようにそれぞれ
の交叉指のピッチが設定されていることを特徴とする請
求項1または2に記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項4】 入力用および出力用の前記交叉指状電極
は、両電極共にアルミニウムからなる組み合わせ、なら
びに一方の電極がアルミニウムからなり、かつ他方の電
極がクロームからなる組み合わせから選択されることを
特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の弾性表面
波フィルタ。 - 【請求項5】 入力用および出力用の前記交叉指状電極
はそれぞれ、複数の交叉指状電極片によって構成されて
おり、入出力段の境界を臨む2つの交叉指状電極片が接
続されている多段縦続結合型モードタイプであることを
特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の弾性表面
波フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33834596A JP2950368B2 (ja) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33834596A JP2950368B2 (ja) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10178328A true JPH10178328A (ja) | 1998-06-30 |
JP2950368B2 JP2950368B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=18317284
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33834596A Expired - Fee Related JP2950368B2 (ja) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2950368B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006311180A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波フィルタおよび分波器 |
US7692515B2 (en) * | 2004-08-04 | 2010-04-06 | Epcos Ag | Low-loss electro-acoustic component |
-
1996
- 1996-12-18 JP JP33834596A patent/JP2950368B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7692515B2 (en) * | 2004-08-04 | 2010-04-06 | Epcos Ag | Low-loss electro-acoustic component |
JP2006311180A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波フィルタおよび分波器 |
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---|---|
JP2950368B2 (ja) | 1999-09-20 |
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