JPH10163066A - Terminal electrode paste, layered ceramic capacitor and manufacturing thereof - Google Patents

Terminal electrode paste, layered ceramic capacitor and manufacturing thereof

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JPH10163066A
JPH10163066A JP32312896A JP32312896A JPH10163066A JP H10163066 A JPH10163066 A JP H10163066A JP 32312896 A JP32312896 A JP 32312896A JP 32312896 A JP32312896 A JP 32312896A JP H10163066 A JPH10163066 A JP H10163066A
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JP
Japan
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terminal electrode
nickel
powder
ceramic capacitor
multilayer ceramic
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Application number
JP32312896A
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Japanese (ja)
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Kazuyuki Okano
和之 岡野
Nobuyuki Tai
伸幸 田井
Tsutomu Nishimura
勉 西村
Hideaki Omura
秀明 大村
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a terminal electrode paste suited to low-equivalent series resistance layered ceramic capacitor by mixing and dispersing an Ni powder or Ni and another metal mixed powder with a vehicle composed of an org. binder and solvent. SOLUTION: A Y oxide powder 15-80vol.% is mixed with an Ni powder, ethylene cellulose 7.5wt.% is dissolved in a solvent contg. terpineol and aromatic naphtha at a wt. ratio of 2:1 to prepare a vehicle which is then added to the mixed powder, kneaded and dispersed to produce a terminal electrode paste. Using a reduction-resistive dielectric powder contg. Ba titanate as a main component, a green chip composed of alternately laminated Ni inner electrodes 1 and dielectric ceramics 2 is formed and chamfered. Using the terminal electrode paste, terminal electrodes 3 are formed, and terminal electrodes 4 are formed, using an Ag paste and a Ni plating layer 5 and solder plating layer 6 are formed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電気的接続を要す
る積層電子部品の端子電極を製造するための端子電極ペ
ースト、それを用いた積層セラミックコンデンサ、およ
びその積層セラミックコンデンサの製造方法に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a terminal electrode paste for manufacturing terminal electrodes of a multilayer electronic component requiring electrical connection, a multilayer ceramic capacitor using the same, and a method of manufacturing the multilayer ceramic capacitor. is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】積層セラミックコンデンサは、誘電体層
と内部電極層とが交互に配置され、その積層構造の上下
に全体寸法調製および内部気密封止のための誘電体層が
設けられる。内部電極層の電気的接続は、それらの終端
部分が露出した2つの面に端子電極を設けることによっ
て行う。これら端子電極表面には、ハンダ付け実装を容
易にかつ支障なく行なえるように、ニッケルめっきと錫
−鉛系のハンダめっきとが層状に施された構造が公知で
ある。
2. Description of the Related Art In a multilayer ceramic capacitor, dielectric layers and internal electrode layers are alternately arranged, and dielectric layers for adjusting the overall dimensions and hermetically sealing the inside are provided above and below the laminated structure. The electrical connection of the internal electrode layers is performed by providing terminal electrodes on the two surfaces with their terminal portions exposed. A structure is known in which nickel plating and tin-lead-based solder plating are applied in layers on the surface of these terminal electrodes so that solder mounting can be performed easily and without any trouble.

【0003】近年の積層セラミックコンデンサは、電子
機器の小型化に対応するため、小型で大容量の製品が求
められており、誘電体材料の高性能化と共に誘電体層の
薄層化、高積層化が進められている。薄層高積層化に伴
う大きな課題として、内部電極に使用する金属の原材料
コストがある。これを解決する方法として従来使用され
ていたパラジウム等の貴金属に代わり、コストの安いニ
ッケルを使用することが公知であって、積層セラミック
コンデンサに占めるニッケル内部電極品の割合は急増し
ている。
[0003] In recent years, multilayer ceramic capacitors have been required to have a small size and a large capacity in order to respond to miniaturization of electronic devices. Is being promoted. One of the major issues associated with the high stacking of thin layers is the cost of raw materials for the metal used for the internal electrodes. As a method for solving this problem, it is known to use inexpensive nickel instead of the noble metal such as palladium, which has been conventionally used, and the ratio of nickel internal electrode products in the multilayer ceramic capacitor is rapidly increasing.

【0004】ニッケルは卑金属であるので、従来の貴金
属内部電極の積層セラミックコンデンサのように酸素雰
囲気中で焼成することは不可能で、低酸素分圧雰囲気中
においてニッケルが酸化されないように焼成しなければ
ならない。コンデンサ用として公知であるチタン酸バリ
ウムに代表されるペロブスカイト酸化物は、1000℃
以上の高温においてニッケルの酸化還元平衡酸素分圧以
下の雰囲気に晒されると還元され、絶縁抵抗値が低下し
てコンデンサ用誘電体としての機能を果たさなくなる。
Since nickel is a base metal, it cannot be fired in an oxygen atmosphere as in a conventional multilayer ceramic capacitor having a noble metal internal electrode, and must be fired in a low oxygen partial pressure atmosphere so that nickel is not oxidized. Must. A perovskite oxide typified by barium titanate, which is known for capacitors, has a temperature of 1000 ° C.
When exposed to an atmosphere at or below the equilibrium oxygen partial pressure of nickel at the above-mentioned high temperature, it is reduced, the insulation resistance value is reduced, and the function as a dielectric for a capacitor cannot be achieved.

【0005】一方、これらペロブスカイト酸化物は、A
サイトとBサイトに存在するイオンの化学量論比を変化
させたり、あるいは結晶格子中にドナーとなって固溶し
うる、たとえば遷移金属イオン等を添加したりすること
によって、前述のような熱処理を行なっても還元されに
くくなることが知られている。ニッケル内部電極積層セ
ラミックコンデンサは、この性質を用いて開発された耐
還元性誘電体材料によって可能となっている。
On the other hand, these perovskite oxides
The above-described heat treatment is performed by changing the stoichiometric ratio of ions existing at the site and the B site, or by adding a transition metal ion or the like which can form a solid solution as a donor in the crystal lattice. It is known that reduction is difficult even if the reaction is performed. Nickel internal electrode multilayer ceramic capacitors are made possible by reduction-resistant dielectric materials developed using this property.

【0006】従来、ニッケル内部電極積層セラミックコ
ンデンサは、以下のようにして製造される。前述の耐還
元性誘電体材料粉末をスラリー化し、これを基体上に塗
布、乾燥してグリーンシートとし、このグリーンシート
上にニッケルペーストを印刷して内部電極を形成したも
のを、設計積層数に応じた枚数だけ積層圧着させる。こ
の際、積層体上部と下部とには同質のグリーンシートだ
けを圧着して保護層を形成する。
Conventionally, a nickel internal electrode multilayer ceramic capacitor is manufactured as follows. The above-mentioned reduction-resistant dielectric material powder was slurried, applied to a substrate, dried to form a green sheet, and a nickel paste was printed on the green sheet to form internal electrodes. Lamination and crimping are performed according to the number of sheets. At this time, only the same green sheets are pressed on the upper and lower portions of the laminate to form a protective layer.

【0007】次に、積層体を寸断して各個片に分離して
生チップとし、これを面取りした後、ニッケル粉末を主
成分とする第1の端子電極ペーストを内部電極終端が露
出した面に塗布する。これら生チップを脱バインダし
て、低酸素分圧雰囲気中で焼成し、さらに、銀、あるい
は銀とパラジウムや銅の粉末と、ガラスフリットとを主
成分とする第2の端子電極を塗布して焼き付けた後、ニ
ッケルめっきとハンダめっきとを順次行なう。
[0007] Next, the laminate is cut into pieces and separated into individual pieces to form raw chips, which are chamfered, and then a first terminal electrode paste containing nickel powder as a main component is applied to the surface where the internal electrode ends are exposed. Apply. These raw chips are debindered, fired in a low oxygen partial pressure atmosphere, and further coated with a second terminal electrode containing silver or a powder of silver and palladium or copper, and a glass frit as main components. After baking, nickel plating and solder plating are sequentially performed.

【0008】第1の端子電極ペーストは、コンデンサ本
体と端子電極との密着性を向上させるために用いられ、
たとえば、特開昭63ー86414号公報に示されてい
るように、ニッケル粉末と、積層コンデンサを構成する
誘電体と同一のセラミック粉末とを主成分とするもの等
が用いられる。
[0008] The first terminal electrode paste is used to improve the adhesion between the capacitor body and the terminal electrode.
For example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-86414, a material mainly containing nickel powder and the same ceramic powder as a dielectric material constituting a multilayer capacitor is used.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】前述のように、ニッケ
ル内部電極積層セラミックコンデンサは、還元性雰囲気
中で焼成して製造されるため、Aサイト/Bサイト比の
微調整や有効な添加物をドープして耐還元性を付与した
誘電体組成物を使用しても、やはり信頼性の面で大気な
ど酸素雰囲気中で製造される積層セラミックコンデンサ
に比較すると劣っている。
As described above, since the nickel internal electrode multilayer ceramic capacitor is manufactured by firing in a reducing atmosphere, fine adjustment of the A site / B site ratio and effective addition of additives are required. The use of a doped dielectric composition having reduced resistance is still inferior in reliability to a multilayer ceramic capacitor manufactured in an oxygen atmosphere such as air.

【0010】また、ニッケルは、水分の共存下で電界を
印加されるとマイグレーションを起こすことが知られ、
積層セラミックコンデンサでは、長時間後には絶縁抵抗
の低下、さらにはショート不良に至るという課題とな
る。これらの現象は、ニッケル内部電極積層セラミック
コンデンサの耐熱負荷寿命試験や耐湿負荷寿命試験にお
ける絶縁抵抗低下という不良となって現れる。
It is known that nickel causes migration when an electric field is applied in the presence of moisture,
In the case of a multilayer ceramic capacitor, there is a problem that after a long time, the insulation resistance is reduced, and furthermore, a short circuit is caused. These phenomena appear as defects such as a decrease in insulation resistance in a heat resistance load life test and a moisture resistance load life test of a nickel internal electrode multilayer ceramic capacitor.

【0011】これを防止して信頼性を保証するため、前
述のようにニッケル粉とコンデンサを構成する誘電体粉
末とからなる材料を内部電極終端部が露出した面に設
け、水分等の侵入を遮断する。しかし、この効果を充分
に得ようとすると誘電体粉末の占める割合を大きくして
第1の端子電極のコンデンサ本体に対する密着性を高く
しておく必要がある。しかしながら、このような金属と
誘電体との複合体では、その体積抵抗率が増加し、製造
した積層セラミックコンデンサの等価直列抵抗が本質的
に高くなるとともに、容量や誘電損失のばらつきによる
製造歩留の低下を引き起こすという問題があった。
In order to prevent this and to assure reliability, a material composed of nickel powder and a dielectric powder constituting the capacitor is provided on the surface where the terminal ends of the internal electrodes are exposed, as described above, to prevent intrusion of moisture and the like. Cut off. However, in order to sufficiently obtain this effect, it is necessary to increase the proportion of the dielectric powder to increase the adhesion of the first terminal electrode to the capacitor body. However, in such a composite of a metal and a dielectric, the volume resistivity is increased, the equivalent series resistance of the manufactured multilayer ceramic capacitor is essentially increased, and the manufacturing yield due to variations in capacitance and dielectric loss is increased. There is a problem that causes a decrease in

【0012】本発明は、以上のような課題を解決し、等
価直列抵抗値が低く、耐久信頼性に優れた積層セラミッ
クコンデンサを実現することができる端子電極ペース
ト、それを用いた積層セラミックコンデンサ、および、
その積層セラミックコンデンサを歩留よく製造する方法
を提供することを目的としている。
The present invention solves the above-mentioned problems and provides a terminal electrode paste capable of realizing a multilayer ceramic capacitor having a low equivalent series resistance value and excellent in durability reliability, a multilayer ceramic capacitor using the same, and,
It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor with good yield.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明による端子電極ペーストは、ニッケル粉末、
またはニッケルと他の金属との混合粉末と、15〜80
体積%の酸化物粉末を混合してなる粉体と、有機バイン
ダおよび溶剤からなるビヒクルとを、混合し、分散させ
てなるものである。
In order to solve the above problems, a terminal electrode paste according to the present invention comprises nickel powder,
Or a mixed powder of nickel and another metal,
It is obtained by mixing and dispersing a powder obtained by mixing a volume% of oxide powder and a vehicle comprising an organic binder and a solvent.

【0014】上記のような含有率で酸化物を含むことに
より、端子電極ペーストを積層セラミックコンデンサの
端子電極として用いた場合、内部電極終端部の露出面は
完全に外界と遮断され、さらにこの酸化物の体積抵抗率
がきわめて低くなる。したがって、積層セラミックコン
デンサの気密性を完全に確保しながら導体としての特性
を充分に保った端子電極を構成することができる。この
結果、耐久信頼性が向上するとともに、積層セラミック
コンデンサの等価直列抵抗値が低くなり、また、容量や
誘電損失のばらつきもなくなる。
When the terminal electrode paste is used as the terminal electrode of the multilayer ceramic capacitor by including the oxide at the above content, the exposed surface of the internal electrode terminal portion is completely shut off from the outside world, The volume resistivity of the object becomes extremely low. Therefore, it is possible to configure a terminal electrode that fully maintains the characteristics as a conductor while completely ensuring the airtightness of the multilayer ceramic capacitor. As a result, the durability reliability is improved, the equivalent series resistance value of the multilayer ceramic capacitor is reduced, and variations in capacitance and dielectric loss are eliminated.

【0015】また、酸化物粉末は、アルカリ土類金属の
チタン酸塩を主成分とし、0.1〜5.0mol%の
Y、La、Pr、Ce、Nd、Eu、Gd、Tb、D
y、Ho、Er、Tm、YbおよびLuのうちから選ば
れた少なくとも1種類の金属酸化物を混合してなること
が好ましい。
The oxide powder is mainly composed of a titanate of an alkaline earth metal, and contains 0.1 to 5.0 mol% of Y, La, Pr, Ce, Nd, Eu, Gd, Tb, Db.
It is preferable to mix at least one metal oxide selected from y, Ho, Er, Tm, Yb and Lu.

【0016】次に、本発明による積層セラミックコンデ
ンサは、耐還元性を付与したチタン酸バリウム系セラミ
ック粉末とニッケル内部電極とを具備した積層セラミッ
クコンデンサであって、上記いずれかの端子電極ペース
トから形成される端子電極を含む。
Next, a multilayer ceramic capacitor according to the present invention is a multilayer ceramic capacitor comprising a barium titanate-based ceramic powder imparted with reduction resistance and a nickel internal electrode, formed from any one of the terminal electrode pastes described above. Terminal electrodes.

【0017】上記のような端子電極ペーストを積層セラ
ミックコンデンサの端子電極として用いたので、内部電
極終端部の露出面は完全に外界と遮断され、さらにこの
酸化物の体積抵抗率がきわめて低くなる。したがって、
積層セラミックコンデンサの気密性を完全に確保しなが
ら導体としての特性を充分に保った端子電極を構成する
ことができる。この結果、耐久信頼性が向上するととも
に、積層セラミックコンデンサの等価直列抵抗値が低く
なり、また、容量や誘電損失のばらつきもなくなる。
Since the terminal electrode paste as described above is used as the terminal electrode of the multilayer ceramic capacitor, the exposed surface of the terminal portion of the internal electrode is completely cut off from the outside, and the volume resistivity of this oxide becomes extremely low. Therefore,
It is possible to configure a terminal electrode that fully maintains the characteristics as a conductor while completely ensuring the airtightness of the multilayer ceramic capacitor. As a result, the durability reliability is improved, the equivalent series resistance value of the multilayer ceramic capacitor is reduced, and variations in capacitance and dielectric loss are eliminated.

【0018】次に、本発明による積層セラミックコンデ
ンサの製造方法は、耐還元性を付与したチタン酸バリウ
ム系セラミック粉末と、ニッケル内部電極とを具備した
積層セラミックコンデンサの製造方法であって、積層セ
ラミックコンデンサの生チップの内部電極取り出し面
に、第1の端子電極として、上記いずれかの端子電極ペ
ーストを塗布する工程と、端子電極ペーストを塗布され
た生チップを面取りする工程と、面取りされた生チップ
を脱バインダした後、ニッケルが酸化されない還元性雰
囲気中で焼成する工程と、焼成されたチップに第2の端
子電極を塗布して焼き付ける工程と、第2の端子電極上
にニッケルめっきおよびハンダめっきを順次施す工程と
を、順次行なうことを特徴とする。
Next, a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention is a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor including a barium titanate-based ceramic powder having reduced resistance and a nickel internal electrode. A step of applying any one of the above terminal electrode pastes as a first terminal electrode to the internal electrode extraction surface of the raw chip of the capacitor, a step of chamfering the raw chip coated with the terminal electrode paste, A step of firing the chip in a reducing atmosphere in which nickel is not oxidized after removing the binder, a step of applying and firing a second terminal electrode on the fired chip, and a step of plating nickel and soldering on the second terminal electrode. The step of sequentially applying plating is performed sequentially.

【0019】次に、本発明による他の積層セラミックコ
ンデンサの製造方法は、耐還元性を付与したチタン酸バ
リウム系セラミック粉末と、ニッケル内部電極とを具備
した積層セラミックコンデンサの製造方法であって、積
層セラミックコンデンサの生チップを面取りする工程
と、面取りされた生チップの内部電極取り出し面に、第
1の端子電極として、上記いずれかの端子電極ペースト
を塗布する工程と、端子電極ペーストを塗布された生チ
ップを脱バインダした後、ニッケルが酸化されない還元
性雰囲気中で焼成する工程と、焼成されたチップに第2
の端子電極を塗布して焼き付ける工程と、第2の端子電
極上にニッケルめっきおよびハンダめっきを順次施す工
程とを、順次行なうことを特徴とする。
Next, another method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention is a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor including a barium titanate-based ceramic powder provided with reduction resistance and a nickel internal electrode. A step of chamfering the raw chip of the multilayer ceramic capacitor, a step of applying any one of the terminal electrode pastes as a first terminal electrode to the internal electrode extraction surface of the chamfered raw chip, and a step of applying the terminal electrode paste. Removing the burned chip after debinding, firing in a reducing atmosphere in which nickel is not oxidized;
And a step of sequentially applying nickel plating and solder plating on the second terminal electrode.

【0020】次に、本発明によるさらに他の積層セラミ
ックコンデンサの製造方法は、耐還元性を付与したチタ
ン酸バリウム系セラミック粉末と、ニッケル内部電極と
を具備した積層セラミックコンデンサの製造方法であっ
て、積層セラミックコンデンサの生チップの内部電極取
り出し面に、第1の端子電極として、上記いずれかの端
子電極ペーストを塗布する工程と、端子電極ペーストを
塗布された生チップを脱バインダした後、ニッケルが酸
化されない還元性雰囲気中で焼成する工程と、焼成され
たチップを面取りする工程と、面取りされたチップに第
2の端子電極を塗布して焼き付ける工程と、前記第2の
端子電極上にニッケルめっきおよびハンダめっきを順次
施す工程とを、順次行なうことを特徴とする。
Next, still another method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention is a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor including a barium titanate-based ceramic powder provided with reduction resistance and a nickel internal electrode. A step of applying any one of the above terminal electrode pastes as a first terminal electrode to the internal electrode extraction surface of the raw chip of the multilayer ceramic capacitor, and removing the raw chip to which the terminal electrode paste has been applied by removing nickel. Baking in a reducing atmosphere in which is not oxidized; chamfering the fired chip; applying and baking a second terminal electrode to the chamfered chip; and forming nickel on the second terminal electrode. The step of sequentially performing plating and solder plating is performed sequentially.

【0021】上記の各積層セラミックコンデンサの製造
方法では、生チップあるいは面取りされた生チップの内
部電極終端部露出面に端子電極ペーストを塗布し、積層
セラミックコンデンサ生チップと端子電極ペーストとを
同時に焼成することにより、積層セラミックコンデンサ
の気密性を完全に確保しながら導体としての特性を充分
に保った端子電極を形成することができる。この結果、
耐久信頼性が向上するとともに、積層セラミックコンデ
ンサの等価直列抵抗値が低くなり、また、容量や誘電損
失のばらつきもなくなり、積層セラミックコンデンサの
製造歩留を向上することができる。
In each of the above-described methods for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, a terminal electrode paste is applied to an exposed surface of an internal electrode terminal portion of a raw chip or a chamfered raw chip, and the multilayer ceramic capacitor raw chip and the terminal electrode paste are simultaneously fired. By doing so, it is possible to form a terminal electrode that fully maintains the characteristics as a conductor while completely ensuring the airtightness of the multilayer ceramic capacitor. As a result,
The durability reliability is improved, the equivalent series resistance value of the multilayer ceramic capacitor is reduced, and there is no variation in capacitance and dielectric loss, so that the production yield of the multilayer ceramic capacitor can be improved.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の具体的な実施の
形態について説明する。 (実施形態1)チタン酸バリウム粉末(日本化学産業
(株)製、BTG−L)100gに対し、表1に示した
配合量で酸化イットリウム(日本イットリウム(株)
製)を純水を媒介としたボールミル(容量0.5リット
ル、5mmφのジルコニアボールを球石として使用。)
で湿式混合した。混合条件は、種々検討したが、回転数
100回/分で15時間程度で充分であり、これ以上時
間をかけても最終的に得られる特性には変化がなかっ
た。この混合粉末を乾燥した後、大気中、常温より毎時
200℃で昇温、1100℃で2時間保持、毎時200
℃で降温という熱処理プロファイルで熱処理し、混合時
と同様の条件でボールミル粉砕を行なった後に乾燥し、
酸化物粉末を調製した。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described. (Embodiment 1) 100 g of barium titanate powder (manufactured by Nippon Kagaku Sangyo Co., Ltd., BTG-L) is mixed with yttrium oxide (Yttrium Japan Co., Ltd.) in the amount shown in Table 1.
Made of pure water as a ball mill (using 0.5 liter, 5 mmφ zirconia balls as spheres)
And wet mixed. Various mixing conditions were examined, but it was sufficient that the rotation speed was 100 times / min for about 15 hours, and the characteristics obtained finally did not change even if more time was applied. After drying this mixed powder, the temperature is raised in air from normal temperature at 200 ° C./hour, and kept at 1100 ° C. for 2 hours.
Heat treatment with a heat treatment profile of temperature reduction at ℃, and after performing ball mill pulverization under the same conditions as when mixing, dried
An oxide powder was prepared.

【0023】これら酸化物粉末を、直径12mm、厚み
0.7mm程度の円板状にプレス成形し、窒素と水素と
の混合ガス雰囲気中で、常温から900℃まで毎時20
0℃で昇温し、900℃で1時間保持しながらマスフロ
ーコントローラを動作させてニッケルの酸化還元平衡酸
素分圧よりも2桁下になるように酸素分圧を調整した。
その後、各温度でこの酸素分圧が保持されるようにマス
フローコントローラを動作させながら1300℃まで毎
時200℃で昇温し、1300℃で2時間保持した後、
常温まで毎時200℃で降温するというプロファイルで
焼成した。これら焼結体円板の表面と裏面とに金を真空
蒸着して電極を形成し、体積抵抗率を測定した。なお、
この際、前述の大気中熱処理を行なっていない混合粉末
についても同様に焼結体円板を作製し、測定を行った。
この結果を表1に示す。
These oxide powders are press-molded into a disk having a diameter of 12 mm and a thickness of about 0.7 mm, and are heated at a temperature of from room temperature to 900 ° C. per hour in a mixed gas atmosphere of nitrogen and hydrogen.
The temperature was raised at 0 ° C., and while maintaining the temperature at 900 ° C. for 1 hour, the mass flow controller was operated to adjust the oxygen partial pressure so as to be two orders of magnitude lower than the redox equilibrium oxygen partial pressure of nickel.
After that, while operating the mass flow controller so that the oxygen partial pressure is maintained at each temperature, the temperature is raised at 200 ° C./hour to 1300 ° C., and the temperature is maintained at 1300 ° C. for 2 hours.
Firing was performed at a temperature of 200 ° C./hour to room temperature. Gold was vacuum-deposited on the front and back surfaces of these sintered disks to form electrodes, and the volume resistivity was measured. In addition,
At this time, a sintered disk was similarly prepared for the mixed powder that had not been subjected to the above-described heat treatment in the atmosphere, and the measurement was performed.
Table 1 shows the results.

【0024】[0024]

【表1】 [Table 1]

【0025】表1より明らかなように、チタン酸バリウ
ムに酸化イットリウムを0.1mol%以上ドープした
ものは、還元雰囲気中で焼成することにより低抵抗の焼
結体を与えることがわかる。しかしながら、酸化イット
リウムの含有量が5.0mol%を越えると、1300
℃では、焼結しなくなる。これらの組成については、1
350℃まで温度を上げて焼結を試みたが、不可能であ
った。また、表1からもわかるように、大気中1100
℃の熱処理を行ったものと行なっていないものを比較す
ると、両者に大きな差異は認められない。
As is clear from Table 1, it is found that a barium titanate doped with 0.1 mol% or more of yttrium oxide gives a low-resistance sintered body by firing in a reducing atmosphere. However, when the yttrium oxide content exceeds 5.0 mol%, 1300
At ℃, sintering stops. For these compositions,
Sintering was attempted by raising the temperature to 350 ° C., but was impossible. Also, as can be seen from Table 1, 1100
Comparing the case where the heat treatment was performed at ℃ and the case where the heat treatment was not performed, no significant difference was observed between the two.

【0026】ニッケル粉末(住友金属鉱山製、SNP−
130)50gに対し、表1の酸化物粉末No.10を
用いて表2に示した組成で粉末を混合し、ターピネオー
ルと芳香族ナフサを重量で2:1に混合した溶剤にエチ
ルセルロース(ダウケミカル(株)製、エトセル45)
を7.5重量%溶解させたビヒクルを、前述の混合粉末
全量に対してエチルセルロースが5重量%となるように
添加した。
Nickel powder (manufactured by Sumitomo Metal Mining, SNP-
130) 50 g of the oxide powder No. 1 in Table 1. 10 and powder having the composition shown in Table 2 and then mixed with terpineol and aromatic naphtha at a ratio of 2: 1 by weight to a solvent obtained by mixing ethyl cellulose (Ethocel 45, manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.).
Was added so that ethyl cellulose was 5% by weight with respect to the total amount of the above-mentioned mixed powder.

【0027】予備混練の後、3本ロールミル(アルミナ
ロール、50mmφ)によって混練、分散し、端子電極
ペーストを作成した。これらペーストは、塗布する前に
ビヒクルと同組成の溶剤を添加して粘度調整を行い、2
5℃において4〜5Pa・sとなるようにした。
After the preliminary kneading, the mixture was kneaded and dispersed by a three-roll mill (alumina roll, 50 mmφ) to prepare a terminal electrode paste. Before applying these pastes, the viscosity of the paste is adjusted by adding a solvent having the same composition as that of the vehicle.
At 5 ° C., the pressure was adjusted to 4 to 5 Pa · s.

【0028】次に、上記のように作成した端子電極ペー
ストを用いた積層セラミックコンデンサの製造方法につ
いて説明する。図1は、実施形態1の積層セラミックコ
ンデンサの製造方法を示す図である。
Next, a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor using the terminal electrode paste prepared as described above will be described. FIG. 1 is a diagram illustrating a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor of the first embodiment.

【0029】チタン酸バリウムを主成分とし、これに酸
化マグネシウム、酸化イットリウム、酸化マンガンおよ
びシリカ等の微量添加物を加えて調製した耐還元性誘電
体粉末を、ポリビニルブチラールを主成分とする有機ビ
ヒクルに分散させた誘電体スラリーを用いて、厚み12
μmのグリーンシートを作成し、これに市販のニッケル
ペーストを印刷して内部電極パターンを形成した。上下
に保護層としてグリーンシートのみをそれぞれ25枚、
内部電極パターンを形成したグリーンシートを100枚
積層して圧着し、個片に寸断して3216サイズの積層
コンデンサ生チップを製造した。この結果、図1に示す
ように、ニッケル内部電極1と誘導体セラミック2とが
交互に積層された生チップが製造された。
A reduction-resistant dielectric powder prepared by adding barium titanate as a main component and a small amount of additives such as magnesium oxide, yttrium oxide, manganese oxide and silica to an organic vehicle containing polyvinyl butyral as a main component Using a dielectric slurry dispersed in
A μm green sheet was prepared, and a commercially available nickel paste was printed thereon to form an internal electrode pattern. Only 25 green sheets each as a protective layer above and below,
100 green sheets on which internal electrode patterns were formed were laminated and pressed, and cut into individual pieces to produce 3216 size multilayer capacitor raw chips. As a result, as shown in FIG. 1, a raw chip in which nickel internal electrodes 1 and derivative ceramics 2 were alternately laminated was manufactured.

【0030】これら生チップをジルコニアボールを球石
としてボールミルによって面取りを行い、第1の端子電
極3として、前述の端子電極ペーストを内部電極終端部
の露出面に図1に示すように塗布した。次に、大気中、
毎時15℃で350℃まで昇温、350℃で5時間保持
した後、炉内放冷するというプロファイルで脱バインダ
し、前述の焼成プロファイルと同様の方法で焼成した。
第2の端子電極4として、これら焼成チップに市販の銀
ペーストを図1に示すように塗布し、大気中、ベルト炉
を用いて最高温度650℃、処理時間1時間のプロファ
イルで焼き付けた。最後に、硫酸ニッケルと塩化ニッケ
ルとの水溶液を主成分とするめっき浴中で電気めっきし
て第2の端子電極4の表面にニッケルめっき層5を、つ
いで鉛と錫の硼弗化物水溶液を主成分とするめっき浴中
で電気めっきしてハンダめっき層6を形成した。このよ
うにして製造された積層セラミックコンデンサの初期特
性および負荷寿命信頼性を測定した結果を表2に示す。
These raw chips were chamfered by using a zirconia ball as a cobblestone by a ball mill, and the above-mentioned terminal electrode paste was applied as a first terminal electrode 3 to the exposed surface of the internal electrode terminal as shown in FIG. Next, in the atmosphere,
After the temperature was raised to 350 ° C. at 15 ° C./hour, and the temperature was maintained at 350 ° C. for 5 hours, the binder was removed in a profile of cooling in the furnace, and firing was performed in the same manner as the firing profile described above.
As a second terminal electrode 4, a commercially available silver paste was applied to these fired chips as shown in FIG. 1, and baked in air using a belt furnace with a profile of a maximum temperature of 650 ° C. and a processing time of 1 hour. Finally, a nickel plating layer 5 is formed on the surface of the second terminal electrode 4 by electroplating in a plating bath containing an aqueous solution of nickel sulfate and nickel chloride as a main component, and an aqueous borofluoride solution of lead and tin is mainly used. Electroplating was performed in a plating bath as a component to form a solder plating layer 6. Table 2 shows the results of measuring the initial characteristics and the load life reliability of the multilayer ceramic capacitor manufactured as described above.

【0031】[0031]

【表2】 [Table 2]

【0032】なお、比較例として、誘電体スラリーに用
いた耐還元性誘電体粉末を使い、前述と全く同じ方法で
調製した端子電極ペーストを、同様に生チップに施して
製造した積層セラミックコンデンサの初期特性および負
荷寿命信頼性を測定した結果を表3に示す。
As a comparative example, a multilayer ceramic capacitor manufactured by applying a terminal electrode paste prepared in exactly the same manner as described above to a raw chip using the reduction-resistant dielectric powder used in the dielectric slurry was also used. Table 3 shows the results of measuring the initial characteristics and the load life reliability.

【0033】[0033]

【表3】 [Table 3]

【0034】表2および表3中、耐熱性は125℃にお
いて直流32Vを印加して1000時間経過したとき
に、絶縁抵抗値が100MΩ以下に低下した積層コンデ
ンサの個数を、耐湿性は85℃、85%RHの高温高湿
下で直流16Vを印加して1000時間経過したときの
同様な個数を示しており、双方共に供試サンプル数は5
00とした。これら信頼性試験は、供試サンプルをガラ
スエポキシ基板上に270℃のハンダ槽浸漬によって実
装した状態で行った。また、等価直列抵抗(ESR)は
インピーダンスアナライザを用いて測定した値である。
In Tables 2 and 3, the heat resistance refers to the number of multilayer capacitors whose insulation resistance value has dropped to 100 MΩ or less when a DC voltage of 32 V is applied at 125 ° C. and 1000 hours have passed. Similar numbers are shown when a DC 16 V is applied under a high temperature and high humidity of 85% RH and 1000 hours have passed.
00. These reliability tests were performed with the test sample mounted on a glass epoxy substrate by dipping in a solder bath at 270 ° C. The equivalent series resistance (ESR) is a value measured using an impedance analyzer.

【0035】これらの表から明らかであるように、本発
明による積層セラミックコンデンサは、従来のような耐
還元性誘電体粉末を用いた端子電極による積層セラミッ
クコンデンサに比べて、容量と誘電損失のバラツキが小
さく、さらに等価直列抵抗の値が小さい。しかしなが
ら、表中に示されているように、酸化物粉末の含有量が
15体積%よりも少ない場合には、気密性が低下するた
め特に耐湿負荷寿命に問題を生じ、逆に80体積%より
も多い場合には、容量と誘電損失(tanδ)のバラツ
キが若干大きくなり、それとともに等価直列抵抗の値が
増加するという問題を生じる。したがって、酸化物粉末
の含有量は15体積%〜80体積%が好ましい。
As is clear from these tables, the multilayer ceramic capacitor according to the present invention has a variation in capacitance and dielectric loss as compared with a conventional multilayer ceramic capacitor having terminal electrodes using a reduction-resistant dielectric powder. And the value of the equivalent series resistance is small. However, as shown in the table, when the content of the oxide powder is less than 15% by volume, the airtightness is reduced, so that there is a problem particularly with respect to the moisture resistance load life. When the number is large, the variation between the capacitance and the dielectric loss (tan δ) is slightly increased, and the value of the equivalent series resistance is increased. Therefore, the content of the oxide powder is preferably 15% by volume to 80% by volume.

【0036】本実施の形態では、端子電極ペーストの金
属粉としてニッケル粉末を用いた場合の結果を示した
が、第2の端子電極として用いるべき金属の種類やその
ペーストとの相性の関係において、例えばニッケル粉末
にパラジウム粉末、銅粉末、あるいはコバルト粉末等を
混合したものを用いても、本実施の形態と同様の結果が
得られる。但し、これらの場合には、焼結された合金の
本質的な抵抗率に応じて、等価直列抵抗の値は若干の変
化を示す。
In the present embodiment, the results in the case of using nickel powder as the metal powder of the terminal electrode paste have been shown. However, the type of metal to be used as the second terminal electrode and the compatibility with the paste are as follows. For example, the same result as in the present embodiment can be obtained by using a mixture of nickel powder with palladium powder, copper powder, cobalt powder, or the like. However, in these cases, the value of the equivalent series resistance changes slightly depending on the intrinsic resistivity of the sintered alloy.

【0037】また、端子電極ペーストの酸化物粉末とし
ては、耐還元性を付与したチタン酸バリウム系セラミッ
ク粉末を利用した積層セラミックコンデンサを製造する
場合には、その焼結挙動のマッチング等により、本実施
の形態のようにアルカリ土類金属のチタン酸塩であるチ
タン酸バリウム主成分としたものが好ましく、これに請
求項2に記載の酸化物の少なくとも1種を0.1mol
%〜5.0mol%混合したものが好ましい。但し、他
のアルカリ土類金属のチタン酸塩を利用した積層電子部
品、たとえば、チタン酸ストロンチウムを主成分として
用いるニッケル内部電極を備えた積層バリスタなどの場
合にはチタン酸ストロンチウムなどを用いることができ
る。
In the case of manufacturing a multilayer ceramic capacitor using a barium titanate-based ceramic powder having reduced resistance as the oxide powder of the terminal electrode paste, the sintering behavior of the multilayer ceramic capacitor is matched. It is preferable that the main component is barium titanate, which is an alkaline earth metal titanate as in the embodiment, and at least one of the oxides according to claim 2 is 0.1 mol.
% To 5.0 mol% are preferable. However, in the case of a laminated electronic component using another alkaline earth metal titanate, for example, a laminated varistor having a nickel internal electrode using strontium titanate as a main component, strontium titanate may be used. it can.

【0038】(実施形態2)チタン酸バリウム粉末(堺
化学(株)製、HPBT)100gに対し、表4に示し
た組成で酸化ジスプロシウム(Dy23)(信越化学
(株)製)を、純水を媒介としたボールミル(容量:
0.5リットル、直径:5mmのジルコニアボールを球
石として使用。)で、回転数100回/分、15時間湿
式混合した。乾燥後、解砕を行なって酸化物粉末を調製
した。
(Embodiment 2) Dysprosium oxide (Dy 2 O 3 ) (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) having the composition shown in Table 4 was added to 100 g of barium titanate powder (HPBT, manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd.). , Ball mill using pure water (Capacity:
A zirconia ball having a diameter of 0.5 liter and a diameter of 5 mm is used as a cobblestone. ), And wet-mixed at a rotation speed of 100 times / minute for 15 hours. After drying, crushing was performed to prepare an oxide powder.

【0039】ニッケル粉末(住友金属鉱山製、SNP−
700)50gに対し、調製した酸化物粉末各50gを
混合し、ターピネオール、ブチルセロソルブおよびブチ
ルベンジルフタレートを重量で1:1:0.1に混合し
た溶剤にポリビニルブチラール(積水化学(株)製、B
L−S)を10重量%溶解させたビヒクルを、前述の混
合粉末全量に対してポリビニルブチラールが7重量%と
なるように添加した。予備混練の後、3本ロールミル
(アルミナロール、50mmφ)によって混練、分散
し、端子電極ペーストを作成した。これらのペースト
は、塗布する前にターピネオールを添加して粘度調整を
行い、25℃において4〜5Pa・sとなるようにし
た。
Nickel powder (manufactured by Sumitomo Metal Mining, SNP-
700) 50 g of the prepared oxide powder was mixed with 50 g, and polyvinyl butyral (manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., B
A vehicle in which 10% by weight of (LS) was dissolved was added so that polyvinyl butyral was 7% by weight based on the total amount of the mixed powder. After the preliminary kneading, the mixture was kneaded and dispersed by a three-roll mill (alumina roll, 50 mmφ) to prepare a terminal electrode paste. Before application, terpineol was added to these pastes to adjust the viscosity, so that the viscosity was 4 to 5 Pa · s at 25 ° C.

【0040】次に、上記のように作成した端子電極ペー
ストを用いた積層セラミックコンデンサの製造方法につ
いて説明する。図2は、実施形態1の積層セラミックコ
ンデンサの製造方法を示す図である。
Next, a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor using the terminal electrode paste prepared as described above will be described. FIG. 2 is a diagram illustrating a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor of the first embodiment.

【0041】チタン酸バリウムを主成分とし、これに炭
酸ストロンチウム、酸化マグネシウム、酸化ジスプロシ
ウム、酸化マンガンおよびシリカ等の微量添加物を加え
て調製した耐還元性誘電体粉末を、ポリビニルブチラー
ルを主成分とする有機ビヒクルに分散させた誘電体スラ
リーを用いて、厚み10μmのグリーンシートを作成
し、これに市販のニッケルペーストを印刷して内部電極
パターンを形成した。上下に保護層としてグリーンシー
トのみをそれぞれ30枚、内部電極パターンを形成した
グリーンシートを120枚積層して圧着し、個片に寸断
して3216サイズの積層コンデンサ生チップを製造し
た。
A reduction-resistant dielectric powder prepared by adding a small amount of additives such as barium titanate, strontium carbonate, magnesium oxide, dysprosium oxide, manganese oxide, and silica to polyvinyl butyral is used. A green sheet having a thickness of 10 μm was prepared using a dielectric slurry dispersed in an organic vehicle to be used, and a commercially available nickel paste was printed thereon to form an internal electrode pattern. Thirty green sheets alone as upper and lower protective layers were each laminated, and 120 green sheets on which internal electrode patterns were formed were laminated and pressed, and cut into individual pieces to produce 3216 size multilayer capacitor raw chips.

【0042】これら生チップの内部電極終端部の露出面
に、第1の端子電極3として、前述の端子電極ペースト
を図2に示すように塗布した。次に、ジルコニアボール
を球石としてボールミルによって面取りを行い、大気
中、毎時15℃で350℃まで昇温し、350℃で5時
間保持した後炉内放冷するというプロファイルで脱バイ
ンダし、前述の焼成プロファイルと同様の方法で焼成し
た。第2の端子電極4として、これら焼成チップに市販
の銅ペーストを図2に示すように塗布し、窒素中、ベル
ト炉を用いて最高温度750℃、処理時間1時間のプロ
ファイルで焼き付けた。最後に、実施形態1と同様の方
法で第2の端子電極上にニッケルめっき層5とハンダめ
っき層6とを形成した。このようにして製造された積層
セラミックコンデンサの初期特性および負荷寿命信頼性
を測定した結果を表4に示す。
The above-mentioned terminal electrode paste was applied as the first terminal electrode 3 to the exposed surfaces of the internal electrode terminal portions of these raw chips as shown in FIG. Next, the zirconia balls were chamfered with a ball mill using a ball mill, the temperature was raised to 350 ° C. at 15 ° C./hour in the atmosphere, the temperature was maintained at 350 ° C. for 5 hours, and then the binder was removed in a furnace. Was fired in the same manner as in the firing profile. As the second terminal electrode 4, a commercially available copper paste was applied to these fired chips as shown in FIG. 2 and baked in a nitrogen atmosphere using a belt furnace at a maximum temperature of 750 ° C. and a processing time of 1 hour. Finally, a nickel plating layer 5 and a solder plating layer 6 were formed on the second terminal electrode in the same manner as in the first embodiment. Table 4 shows the results of measuring the initial characteristics and the load life reliability of the multilayer ceramic capacitor manufactured as described above.

【0043】[0043]

【表4】 [Table 4]

【0044】表4中、耐熱性および耐湿性では、実施形
態1の表2および表3と同様の個数を示している。酸化
ジスプロシウムが5mol%を超えて含有される酸化物
粉末を用いた端子電極ペーストの場合、焼結が不十分で
強度が小さかったので、評価は行なわなかった。この表
から明らかであるように、本実施形態による積層セラミ
ックコンデンサは、実施形態1に述べたのと同様な優れ
た特性を有しており、本実施形態によって指定された組
成範囲外の酸化物粉末の場合には、その特性が発揮され
ない。
In Table 4, in terms of heat resistance and moisture resistance, the same numbers as in Tables 2 and 3 of Embodiment 1 are shown. In the case of a terminal electrode paste using an oxide powder containing more than 5 mol% of dysprosium oxide, sintering was insufficient and strength was small, and thus evaluation was not performed. As is clear from this table, the multilayer ceramic capacitor according to the present embodiment has the same excellent characteristics as described in the first embodiment, and the oxides outside the composition range specified by the present embodiment. In the case of a powder, its properties are not exhibited.

【0045】また、本実施形態によって端子電極ペース
トを塗布した積層コンデンサ生チップを面取りして後、
脱バインダ、焼成を行なうという製造方法が示された
が、図3に示すように、本実施形態で作成した端子電極
ペーストを塗布した積層コンデンサ生チップを脱バイン
ダ、焼成し、その後にジルコニアボールと炭化珪素粉末
(325メッシュ)を用いて、純水を媒介としたボール
ミリングで面取りを行なって同様に積層セラミックコン
デンサを製造し、評価したところ、表4に示したのとほ
ぼ同じ結果が得られた。
After chamfering the multilayer capacitor raw chip coated with the terminal electrode paste according to the present embodiment,
Although the manufacturing method of performing binder removal and firing was shown, as shown in FIG. 3, the laminated capacitor raw chip coated with the terminal electrode paste prepared in the present embodiment was removed from the binder, fired, and then zirconia balls were removed. Using a silicon carbide powder (325 mesh) and chamfering by ball milling using pure water as a medium, a multilayer ceramic capacitor was similarly manufactured and evaluated, and almost the same results as shown in Table 4 were obtained. Was.

【0046】以上のように、実施形態1および実施形態
2においては、端子電極ペーストを具備させるべき積層
セラミックコンデンサの誘電体組成に合わせて、アルカ
リ土類金属のチタン酸塩に混合する金属酸化物としてイ
ットリウム(Y)およびジスプロシウム(Dy)の酸化
物を用いたが、焼成過程における金属イオンの拡散、反
応による誘電体自体の変質が問題となるような場合に
は、0.1〜5.0mol%のLa、Pr、Ce、N
d、Eu、Gd、Tb、Ho、Er、Tm、Ybおよび
Luのうちから選ばれた金属酸化物のいずれを用いて
も、同様の効果を得ることができる。すなわち、積層セ
ラミックコンデンサを構成する耐還元性を付与したチタ
ン酸バリウム系セラミックは、誘電率、誘電損失および
容量の温度特性などに対する要求特性を満足させるため
に、種々の微量添加物を用いて構成されるが、その組成
に応じて上記の金属酸化物を選択することによってこれ
に対応することができる。なお、上記の各金属酸化物に
対しては、95mol%〜99.9mol%のアルカリ
土類金属のチタン酸塩を用いるのが好ましい。て下さ
い。)。
As described above, in the first and second embodiments, the metal oxide mixed with the alkaline earth metal titanate according to the dielectric composition of the multilayer ceramic capacitor to be provided with the terminal electrode paste The oxide of yttrium (Y) and dysprosium (Dy) was used as the material. However, in the case where the diffusion of metal ions in the firing process and the deterioration of the dielectric itself due to the reaction become a problem, 0.1 to 5.0 mol is used. % Of La, Pr, Ce, N
Similar effects can be obtained by using any of metal oxides selected from d, Eu, Gd, Tb, Ho, Er, Tm, Yb and Lu. In other words, barium titanate-based ceramics provided with reduction resistance, which constitute a multilayer ceramic capacitor, are formed using various trace additives in order to satisfy required characteristics such as dielectric constant, dielectric loss and temperature characteristics of capacitance. However, this can be dealt with by selecting the above metal oxide according to the composition. In addition, it is preferable to use 95 mol%-99.9 mol% of alkaline earth metal titanates with respect to each of the above metal oxides. Please ).

【0047】[0047]

【発明の効果】以上に示したように、本発明によれば、
等価直列抵抗値が低く、耐久信頼性に優れた電極積層セ
ラミックコンデンサを歩留よく製造することができる。
As described above, according to the present invention,
An electrode laminated ceramic capacitor having a low equivalent series resistance and excellent in durability reliability can be manufactured with good yield.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による実施形態1の積層セラミックコン
デンサの製造方法を示す図
FIG. 1 is a diagram showing a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明による実施形態2の積層セラミックコン
デンサの製造方法を示す図
FIG. 2 is a diagram showing a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明による実施形態2の他の積層セラミック
コンデンサの製造方法を示す図
FIG. 3 is a diagram showing a method for manufacturing another multilayer ceramic capacitor according to the second embodiment of the present invention;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ニッケル内部電極 2 誘電体セラミック 3 第1の端子電極 4 第2の端子電極 5 ニッケルめっき層 6 ハンダめっき層 Reference Signs List 1 nickel internal electrode 2 dielectric ceramic 3 first terminal electrode 4 second terminal electrode 5 nickel plating layer 6 solder plating layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大村 秀明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Hideaki Omura 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ニッケル粉末またはニッケルと他の金属
との混合粉末、および15〜80体積%の酸化物粉末を
混合してなる粉体と、有機バインダおよび溶剤からなる
ビヒクルとを、混合し、分散させてなる端子電極ペース
ト。
1. A mixture comprising nickel powder or a mixed powder of nickel and another metal, and a powder obtained by mixing 15 to 80% by volume of an oxide powder, and a vehicle comprising an organic binder and a solvent, Terminal electrode paste dispersed.
【請求項2】 前記酸化物粉末は、アルカリ土類金属の
チタン酸塩を主成分とし、0.1〜5.0mol%の
Y、La、Pr、Ce、Nd、Eu、Gd、Tb、D
y、Ho、Er、Tm、YbおよびLuのうちから選ば
れた少なくとも1種類の金属酸化物を混合してなる請求
項1記載の端子電極ペースト。
2. The oxide powder contains, as a main component, a titanate of an alkaline earth metal, and contains 0.1 to 5.0 mol% of Y, La, Pr, Ce, Nd, Eu, Gd, Tb, and D.
2. The terminal electrode paste according to claim 1, wherein at least one metal oxide selected from the group consisting of y, Ho, Er, Tm, Yb and Lu is mixed.
【請求項3】 耐還元性を付与したチタン酸バリウム系
セラミック粉末と、ニッケル内部電極とを具備した積層
セラミックコンデンサであって、 請求項1または請求項2記載の端子電極ペーストから形
成される端子電極を含むことを特徴とする積層セラミッ
クコンデンサ。
3. A multilayer ceramic capacitor comprising a barium titanate-based ceramic powder provided with reduction resistance and a nickel internal electrode, wherein the terminal is formed from the terminal electrode paste according to claim 1 or 2. A multilayer ceramic capacitor comprising an electrode.
【請求項4】 耐還元性を付与したチタン酸バリウム系
セラミック粉末と、ニッケル内部電極とを具備した積層
セラミックコンデンサの製造方法であって、 前記積層セラミックコンデンサの生チップの内部電極取
り出し面に、第1の端子電極として、請求項1または請
求項2記載の端子電極ペーストを塗布する工程と、前記
端子電極ペーストを塗布された生チップを面取りする工
程と、面取りされた生チップを脱バインダした後、ニッ
ケルが酸化されない還元性雰囲気中で焼成する工程と、
焼成されたチップに第2の端子電極を塗布して焼き付け
る工程と、前記第2の端子電極上にニッケルめっきおよ
びハンダめっきを順次施す工程とを、順次行なうことを
特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
4. A method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor comprising a barium titanate-based ceramic powder imparted with reduction resistance and a nickel internal electrode, comprising: A step of applying the terminal electrode paste according to claim 1 or 2 as a first terminal electrode, a step of chamfering the raw chip to which the terminal electrode paste is applied, and removing the chamfered raw chip. Thereafter, a step of firing in a reducing atmosphere in which nickel is not oxidized,
A step of applying a second terminal electrode to the fired chip and baking it, and a step of sequentially applying nickel plating and solder plating on the second terminal electrode, sequentially producing a multilayer ceramic capacitor. Method.
【請求項5】 耐還元性を付与したチタン酸バリウム系
セラミック粉末と、ニッケル内部電極とを具備した積層
セラミックコンデンサの製造方法であって、 前記積層セラミックコンデンサの生チップを面取りする
工程と、面取りされた生チップの内部電極取り出し面
に、第1の端子電極として、請求項1または請求項2記
載の端子電極ペーストを塗布する工程と、前記端子電極
ペーストを塗布された生チップを脱バインダした後、ニ
ッケルが酸化されない還元性雰囲気中で焼成する工程
と、焼成されたチップに第2の端子電極を塗布して焼き
付ける工程と、前記第2の端子電極上にニッケルめっき
およびハンダめっきを順次施す工程とを、順次行なうこ
とを特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
5. A method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor comprising a barium titanate-based ceramic powder provided with reduction resistance and a nickel internal electrode, comprising: a step of chamfering a raw chip of the multilayer ceramic capacitor; A step of applying the terminal electrode paste according to claim 1 or 2 as a first terminal electrode to the internal electrode extraction surface of the processed raw chip, and removing the raw chip coated with the terminal electrode paste. Thereafter, a step of firing in a reducing atmosphere in which nickel is not oxidized, a step of applying and firing a second terminal electrode on the fired chip, and sequentially applying nickel plating and solder plating on the second terminal electrode And a step of sequentially performing the steps.
【請求項6】 耐還元性を付与したチタン酸バリウム系
セラミック粉末と、ニッケル内部電極とを具備した積層
セラミックコンデンサの製造方法であって、 前記積層セラミックコンデンサの生チップの内部電極取
り出し面に、第1の端子電極として、請求項1または請
求項2記載の端子電極ペーストを塗布する工程と、前記
端子電極ペーストを塗布された生チップを脱バインダし
た後、ニッケルが酸化されない還元性雰囲気中で焼成す
る工程と、焼成されたチップを面取りする工程と、面取
りされたチップに第2の端子電極を塗布して焼き付ける
工程と、前記第2の端子電極上にニッケルめっきおよび
ハンダめっきを順次施す工程とを、順次行なうことを特
徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
6. A method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor comprising a barium titanate-based ceramic powder imparted with reduction resistance and a nickel internal electrode, comprising: A step of applying the terminal electrode paste according to claim 1 or 2 as a first terminal electrode, and after removing the raw chip to which the terminal electrode paste has been applied, in a reducing atmosphere in which nickel is not oxidized. Firing step, chamfering the fired chip, applying and baking a second terminal electrode to the chamfered chip, and sequentially applying nickel plating and solder plating on the second terminal electrode Are sequentially performed.
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