JPH10160751A - 角加速度検出装置 - Google Patents

角加速度検出装置

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Publication number
JPH10160751A
JPH10160751A JP33170096A JP33170096A JPH10160751A JP H10160751 A JPH10160751 A JP H10160751A JP 33170096 A JP33170096 A JP 33170096A JP 33170096 A JP33170096 A JP 33170096A JP H10160751 A JPH10160751 A JP H10160751A
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JP
Japan
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angular acceleration
slit
disk
output
absolute
Prior art date
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Pending
Application number
JP33170096A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiyoshi Maruyama
利喜 丸山
Masashi Horiuchi
雅士 堀内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harmonic Drive Systems Inc
Original Assignee
Harmonic Drive Systems Inc
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Publication date
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Publication of JPH10160751A publication Critical patent/JPH10160751A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 角加速度に応じて相対変位する第1および第
2のスリット群を備えた角加速度検出装置において、ス
リットのピッチ誤差に起因する出力変動の影響を受ける
ことなく精度の高い検出を行えるようにすること。 【解決手段】 角加速度検出装置10は、回転軸13に
発生する角加速度に応じて相対変位する第1および第2
のスリット群16、17を備えている。第1のスリット
群が形成された第1のディスクの絶対角度は、アブソリ
ュートセンサ30により検出される。ROM50には、
スリット群のスリットのピッチ誤差に起因する出力変動
量が第1のディスクの絶対角度位置に対応させた状態で
記憶されている。出力補償回路40は、検出された第1
のディスク14の絶対角度位置に対応する出力変動量を
ROM50から読み出して、角加速度の検出値に含まれ
る変動成分を除去するための演算を行う。演算後の信号
が角加速度検出信号として用いられる。従って、スリッ
トのピッチ誤差に起因した出力変動を除去して精度の高
い角加速度検出を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転軸に対して一
体回転するように固定されていると共に相互に対峙させ
た第1および第2のディスクを有し、第1のディスク
が、円周方向に配列した第1のスリット群が形成された
スリット形成部分と、このスリット形成部分を当該ディ
スクに作用する角加速度に応じて円周方向に弾性変位さ
せるばね部分とを備え、第2のディスクが剛体であり円
周方向に配列した第2のスリット群を備え、これら第1
のスリット群と第2のスリット群の相対変位に基づき回
転軸に発生する角加速度を検出可能となっている角加速
度検出装置に関するものである。
【0002】さらに詳しくは、各ディスクに形成したス
リットのピッチ誤差に起因する出力変動成分を検出出力
から除去して精度の高い角加速度を検出可能な角加速度
検出装置に関するものである。
【0003】
【従来の技術】従来において、回転軸の角加速度を検出
するための角加速度センサとしては、液体ロータ型角加
速度計、渦電流式の角加速度計が知られている。
【0004】液体ロータ型角加速度計は、サーボ型加速
度計の振り子の代わりに液体の動きを検出し、この液体
の動きをサーボ機構によりバランスさせるときのフィー
ドバック電流から角加速度を測定するものである。一
方、渦電流を利用した角加速度計は、永久磁石を用いて
磁気回路を構成し、この回路内に円筒形のアルミニウム
製のロータを配置し、このロータの回転速度の変化に応
じて発生する磁気起電力に基づき、角加速度を検出する
ものである。
【0005】しかしながら、液体ロータ型角加速度計は
回転角度に制限があり、無限回転角度に渡る角加速度の
検出はできないという問題点がある。また、渦電流を利
用した角加速度計は、得られる検出信号が微弱であるの
で、高感度の信号処理回路が必要となる。
【0006】本願人は、かかる点に鑑みて、国際公開番
号WO93/20451号において、簡単な構成で無限
角度範囲に渡って回転軸の角加速度を検出可能な角加速
度検出装置を提案している。この角加速度検出装置は、
回転軸に対して一体回転するように固定されていると共
に相互に対峙させた第1および第2のディスクを有し、
第1のディスクが、円周方向に配列した第1のスリット
群が形成されたスリット形成部分と、このスリット形成
部分を当該ディスクに作用する角加速度に応じて円周方
向に弾性変位させるばね部分とを備え、第2のディスク
が剛体であり円周方向に配列した第2のスリット群を備
え、これら第1のスリット群と第2のスリット群の相対
変位に基づき回転軸に発生する角加速度を検出可能とな
っている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】この形式の角加速度検
出装置においては、第1および第2のディスクに形成さ
れているスリットのピッチ誤差に起因して、検出出力に
変動が発生する。例えば、検出対象の回転軸に角加速度
が発生していない場合においてもスリットのピッチ誤差
のために、僅かに角加速度が発生している場合と同様な
検出信号が出るおそれがある。
【0008】本発明の課題は、このようなスリットのピ
ッチ誤差に起因した出力変動を除去して精度の高い角加
速度検出を行うことのできる角加速度検出装置を提案す
ることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の角加速度検出装置は、回転軸に対して一
体回転するように固定されていると共に相互に対峙させ
た第1および第2のディスクを有し、第1のディスクが
剛体であり円周方向に配列した第1のスリット群を備
え、第2のディスクが、円周方向に配列した第2のスリ
ット群が形成されたスリット形成部分と、このスリット
形成部分を当該ディスクに作用する角加速度に応じて円
周方向に弾性変位させるばね部分とを備え、これら第1
のスリット群と第2のスリット群の相対変位に基づき回
転軸に発生する角加速度を検出可能となっているものに
おいて、次の構成を備えたことを特徴としている。
【0010】すなわち、本発明の角加速度検出装置は、
前記第1のディスクの回転角度の絶対角度を検出するア
ブソリュートセンサと、前記第1および第2のスリット
群を構成している各スリットのピッチ誤差に起因する角
加速度の出力変動量を前記第1のディスクの絶対角度に
対応させた状態で記憶している記憶手段と、検出された
角加速度および当該角加速度検出時点における前記アブ
ソリュートセンサにより検出された絶対角度に対応する
角加速度検出の出力変動量を前記記憶手段から読みだし
て、検出された角加速度から出力変動成分を取り除く出
力補償手段とを有していることを特徴としている。
【0011】本発明の角加速度検出装置では、測定対象
の回転軸が回転して、そこに角加速度が発生すると、そ
の値が検出される。これと同時に、アブソリュートセン
サによって第1のディスクの回転角度の絶対角度が常に
検出されている。出力補償手段では、角加速度が検出さ
れた時点における絶対角度に対応する出力変動量を記憶
手段から読みだして、検出出力から出力変動成分を除去
する。従って、スリットのピッチ誤差に起因する出力変
動に影響されない角加速度を検出することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して本発明の
実施の形態を説明する。
【0013】図1には、本発明を適用した角加速度検出
装置の縦断面を示してある。本例の角加速度検出装置1
0は薄い円筒状のハウジング11を有し、このハウジン
グ11の中央を、ベアリング12を介して、測定対象の
回転軸13が回転自在に貫通している。ハウジング11
内に位置する回転軸13の外周には、第1のディスク1
4および第2のディスク15が対峙した状態で固定され
ている。これらのディスク14、15の外周側の部分に
は、円周方向に向けて一定の角度間隔でそれぞれ第1の
スリット群16および第2のスリット群17が形成され
ている。これらの第1および第2のスリット群16、1
7を挟む状態に、半導体位置検出装置18の検出部19
が配置されている。この検出部19は、発光ダイオード
20と半導体位置検出器21から構成されている。
【0014】ここで、第1のディスクは剛体ディスクで
あり、その外径は第2のディスクよりも一回り大きい。
そして、第2のディスク15よりも突出している外周側
の環状部分には、円周方向に向けて第3のスリット群3
1が形成されている。第3のスリット群31の内側には
上記の第1のスリット群16が形成されている。この第
3のスリット群31の一方の側には発光素子32が配置
され、反対側には固定スリット板33および受光素子3
4がこの順序に配置されている。これら第3のスリット
群31、発光素子32、固定スリット板33および受光
素子34によって、光学式のアブソリュートセンサ30
が構成されている。従って、第3のスリット群31は、
A相信号、B相信号およびZ相信号を生成するためのス
リットを含んでいる。
【0015】図2には、上記の第2のディスク15の形
状を示してある。この図に示すように、第2のディスク
15は、最も外周側の部分が環状のスリット形成部分1
5aであり、ここに第2のスリット群17が形成されて
いる。このスリット形成部分15aの内側には、その内
周面から120度間隔で中心に向かって延びる3本の板
ばね15cからなるばね部分15bが形成されている。
これらの3本の板ばね15cの内側端は、回転体13の
外周に固定した軸固定部分15dの外周に連続してい
る。4本の板ばね15cのそれぞれは、スリット形成部
分15aに作用する角加速度に応じて円周方向に弾性変
形する。
【0016】ここで、軸固定部分15dは、図2(A)
において点線で示すような環状のものとすればよいが、
各板ばね15cの間の部分は半径方向の外方に向けて突
出した変位制限用突出部分153とされている。この突
出部分153の円周方向の両側端154、155は、対
応する板ばね15cの両側端151、152に沿って一
定のギャップで平行に延びている。従って、各板ばね1
5cが円周方向に弾性変形して隣接する突出部分153
の端154あるいは155に当たると、各板ばね15c
はそれ以上に変形することはない。従って、各突出部分
153によって各板ばね15cの弾性変形が許容量以下
に制限される。
【0017】なお、第2のディスク15は、例えば、ス
テンレススチール製のものとすることができる。この場
合、ワイヤカットにより、ステンレススチール製のディ
スク素材を裁断して、上記のようなスリット形成部分1
5a、ばね部分15b、軸固定部分15dおよび変位規
制用突起153を形成すればよい。
【0018】次に、第1および第2のディスク14、1
5に形成されている第1および第2のスリット群16、
17について説明する。
【0019】第1のディスク14のスリット形成部分1
4aに形成された第1のスリット群16は、一定の角度
間隔で形成された半径方向に延びるスリット16aから
構成されている。これに対して、第2のディスク15の
スリット形成部分15aに形成した第2のスリット群1
7は、同一の角度間隔ではあるが、半径方向に対して一
定の角度だけ傾斜した方向に延びるスリット17aから
構成されている。
【0020】図3には、これらの第1および第2のスリ
ット群16、17を円周方向から直線方向に展開した状
態で示してある。この図において点線で示すスリット群
が第1のディスク14に形成された第1のスリット群1
6であり、実線で示すものが第2のディスク15に形成
した第2のスリット群17である。また、想像線で囲っ
た範囲が発光ダイオード20からの平行光の照射領域で
ある。スリット群16は一定のピッチpで形成されたス
リット16aから構成され、他方のスリット群17は、
スリット16aに対して一定の角度だけ傾斜したスリッ
ト17aから構成されている。これらのスリット16a
と17aの交差部分Aが光通過部分を区画形成してい
る。双方のスリット16a、17aが横方向の相対的に
移動すると、この交差部分Aが垂直方向に向けて移動す
る。この移動位置が半導体位置検出器21の側において
検出される。
【0021】図4には、本例の角加速度検出装置10の
制御系を示してある。発光ダイオード20からの平行光
が、スリット16a、17aの交差部分を通過して半導
体位置検出器21の検出面21aに照射すると、その照
射位置に応じた比率に配分された光電流出力i1、i2
がこの検出器21から出力される。ここで、本例におい
ては、出力i1とi2の和が一定値になるように、発光
ダイオード20の光量を制御している。したがって、検
出器21の検出出力、例えばその一方の検出信号Sか
ら、交差部分Aの移動位置を測定することができる。
【0022】回転軸13が回転を開始し、あるいは回転
速度が変化した場合には、第2のディスク15の側の第
2のスリット群17が他方の第1のディスク14の側の
第1のスリット群16に対して円周方向にずれる。すな
わち、第2のディスク15の側のスリット形成部分15
aの慣性力によって、そのばね部分15bが円周方向に
弾性変形するので、第2のスリット群17もそれに伴っ
て円周方向にずれる。この結果、第1のスリット群16
と第2のスリット群17の間に形成される交差部分A
(光透過部分)は、半径方向にずれる。このために、半
導体位置検出器21の側における受光位置が移動する。
この移動に伴い、この検出器21の出力Sが変化する。
よって、この検出器出力Sから、回転軸13に発生した
角加速度を測定することができる。
【0023】ここで、第1および第2のディスク14、
15に形成された第1および第2のスリット群16、1
7の各スリットにピッチ誤差があると、それが原因とな
って検出出力Sには出力変動が含まれる。すなわち、ス
リットのピッチ誤差に起因して双方のスリット群の交差
部分Aの位置が、角加速度の増減に関係なく、あたかも
移動したかのような検出出力が得られてしまう。この弊
害を回避するために、本例では次のようにして検出出力
Sを補償している。
【0024】前述のように、アブソリュートセンサ30
からは第1のディスク14の回転角度の絶対角度が検出
される。すなわち、受光素子34からはA相信号、B相
信号およびZ相信号が出力され、これらの検出信号は増
幅回路35を介して増幅され、次に波形整形回路36を
介して矩形波パルス信号に変換され、出力補償回路40
に供給される。この出力補償回路40において、これら
の信号に基づき、第1のディスク14の絶対角度が算出
される。
【0025】一方、ROM50には、第1のディスク1
4の絶対角度に対応する角加速度検出信号の出力変動の
テーブルが展開されている。このようなテーブルは、例
えば、角加速度検出装置を組み立てた後に、第1および
第2のディスクを角加速度が零の状態で回転させ、これ
ら第1および第2のディスクを合わせた状態の相対的ピ
ッチ誤差を取得し、記憶したものである。
【0026】出力補償回路40は、算出した第1のディ
スクの絶対角度を用いて、ROM50に展開されている
テーブルを検索して、対応する出力変動量を読みだす。
出力補償回路40は、角加速度を表す検出信号Sから、
読みだした出力変動量を除去する演算を実行して、スリ
ットのピッチ誤差による出力変動に影響されない角加速
度の検出信号を生成して出力する。従って、本例の角加
速度検出装置においては、ディスク14、15のスリッ
トのピッチ誤差に起因した出力変動を含まない精度の高
い検出信号を得ることができる。
【0027】なお、本例では、アブソリュートセンサを
構成する第3のスリット群を第1のディスク14に形成
してある。この代わりに、回転軸13に対して第3の剛
体ディスクを固着し、ここに第3のスリット群を形成し
てもよい。また、アブソリュートセンサとして光学式の
ものを採用しているが、磁気センサを用いることもでき
る。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の角加速度
検出装置は、内蔵されたアブソリュートセンサにより第
1のディスクの絶対角度を検出し、その回転角度位置に
対応したスリットのピッチ誤差に起因した出力変動量を
求め、実際の角加速度の検出値からこの出力変動量を除
去するようにしている。従って、第1および第2のディ
スクに形成されたスリットのピッチ誤差に起因する出力
変動が含まれない精度の高い角加速度検出を行うことが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した角加速度検出装置の構造を示
す概略縦断面図である。
【図2】(A)および(B)は、図1の装置の第2のデ
ィスク15の形状を示す正面図および断面図である。
【図3】図1の装置のスリット群16、17の関係を示
す説明図である。
【図4】図1の装置の制御系を示すブロック図である。
【符号の説明】
10 角加速度検出装置 13 回転軸 14、15 ディスク 15a スリット形成部分 15b ばね部分 15c 板ばね 15d 軸固定部分 16、17 スリット群 16a、17a スリット 19 半導体位置検出装置 20 発光ダイオード 21 半導体位置検出器 30 アブソリュートセンサ 31 第3のスリット群 32 発光素子 33 固定板 34 受光素子 35 増幅回路 36 波形整形回路 40 出力補償回路 50 ROM

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転軸に対して一体回転するように固定
    されていると共に相互に対峙させた第1および第2のデ
    ィスクを有し、前記第1のディスクは剛体であり円周方
    向に配列した第1のスリット群を備え、前記第2のディ
    スクは、円周方向に配列した第2のスリット群が形成さ
    れたスリット形成部分と、このスリット形成部分を当該
    ディスクに作用する角加速度に応じて円周方向に弾性変
    位させるばね部分とを備え、前記第1のスリット群と前
    記第2のスリット群の相対変位に基づき前記回転体に発
    生する角加速度を検出可能となっている角加速度検出装
    置において、 前記第1のディスクの回転角度の絶対角度を検出するア
    ブソリュートセンサと、前記第1および第2のスリット
    群を構成している各スリットのピッチ誤差に起因する角
    加速度の出力変動量を前記第1のディスクの絶対角度に
    対応させた状態で記憶している記憶手段と、検出された
    角加速度および当該角加速度検出時点における前記アブ
    ソリュートセンサにより検出された絶対角度に対応する
    角加速度検出の出力変動量を前記記憶手段から読みだし
    て、検出された角加速度から出力変動成分を取り除く出
    力補償手段とを有することを特徴とする角加速度検出装
    置。
JP33170096A 1996-10-03 1996-12-12 角加速度検出装置 Pending JPH10160751A (ja)

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JP33170096A JPH10160751A (ja) 1996-10-03 1996-12-12 角加速度検出装置

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JP26291396 1996-10-03
JP8-262913 1996-10-03
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112379118A (zh) * 2020-11-16 2021-02-19 北京理工大学 一种旋转角速度和旋转角加速度一体化测量装置

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