JPH10153513A - 真空計 - Google Patents
真空計Info
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- JPH10153513A JPH10153513A JP31071796A JP31071796A JPH10153513A JP H10153513 A JPH10153513 A JP H10153513A JP 31071796 A JP31071796 A JP 31071796A JP 31071796 A JP31071796 A JP 31071796A JP H10153513 A JPH10153513 A JP H10153513A
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- thermoelectrons
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Abstract
(57)【要約】
【課題】熱陰極マグネトロン型真空計の圧力測定精度を
向上させること、光電子電流を少なくしアノード内壁に
付着する気体分子が電子によりイオンとして叩き出され
ることによる電流を少なくすること。 【解決手段】外周に磁石３を設けた真空計容器１内に、
熱電子を放出するフィラメント４と、該フィラメントか
ら放出される該熱電子を該磁石の磁力線に沿って誘引す
るアノード５と、該フィラメントよりも負電位で該熱電
子を反発する板状のシールド６と、該熱電子と該真空計
容器内の気体とが衝突して発生したイオンが入射するイ
オンコレクター７とを配置した真空計に於いて、該アノ
ードを殻状に形成して該シールドに対向させて設け、該
アノードの該シールドと対向する位置に熱電子導通用開
口５ａを形成し、該イオンコレクターを、該熱電子の衝
突により該アノードの外面から発生するＸ線に照射され
ない位置に配置した。
向上させること、光電子電流を少なくしアノード内壁に
付着する気体分子が電子によりイオンとして叩き出され
ることによる電流を少なくすること。 【解決手段】外周に磁石３を設けた真空計容器１内に、
熱電子を放出するフィラメント４と、該フィラメントか
ら放出される該熱電子を該磁石の磁力線に沿って誘引す
るアノード５と、該フィラメントよりも負電位で該熱電
子を反発する板状のシールド６と、該熱電子と該真空計
容器内の気体とが衝突して発生したイオンが入射するイ
オンコレクター７とを配置した真空計に於いて、該アノ
ードを殻状に形成して該シールドに対向させて設け、該
アノードの該シールドと対向する位置に熱電子導通用開
口５ａを形成し、該イオンコレクターを、該熱電子の衝
突により該アノードの外面から発生するＸ線に照射され
ない位置に配置した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、熱陰極マグネトロ
ン型の真空計に関する。
ン型の真空計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の真空計として、図１に示
すようなラファティー型真空計が知られている。このラ
ファティー型真空計は、一端が電極端子ａで塞がれ他端
が開放された円筒状の真空計容器ｂの外周を囲んで磁石
ｃを設け、該真空計容器ｂの内部に、該電極端子ａを内
外に挿通したピンｈに支持させて円筒状のアノードｄ、
フィラメントｅ、円板状のイオンコレクターｆ及び放電
空間から電極端子ａを遮蔽する円板状のシールドｇを設
けた構成を有する。該磁石ｃは、真空計容器ｂの円筒軸
方向に磁化すなわち円筒軸の両端が異極となるように磁
化されており、その磁力線の方向は該真空計容器ｂの軸
線方向である。
すようなラファティー型真空計が知られている。このラ
ファティー型真空計は、一端が電極端子ａで塞がれ他端
が開放された円筒状の真空計容器ｂの外周を囲んで磁石
ｃを設け、該真空計容器ｂの内部に、該電極端子ａを内
外に挿通したピンｈに支持させて円筒状のアノードｄ、
フィラメントｅ、円板状のイオンコレクターｆ及び放電
空間から電極端子ａを遮蔽する円板状のシールドｇを設
けた構成を有する。該磁石ｃは、真空計容器ｂの円筒軸
方向に磁化すなわち円筒軸の両端が異極となるように磁
化されており、その磁力線の方向は該真空計容器ｂの軸
線方向である。
【０００３】該アノードｄ、イオンコレクターｆ及びシ
ールドｇの電位は、ラファティーの実施例ではフィラメ
ントｅに対して夫々３００、４５、−１０Ｖであり、磁
場の強さは２５０ガウスである。
ールドｇの電位は、ラファティーの実施例ではフィラメ
ントｅに対して夫々３００、４５、−１０Ｖであり、磁
場の強さは２５０ガウスである。
【０００４】該真空計により真空圧力を測定する場合、
該フィラメントｅに通電してこれより熱電子を発生させ
る。熱電子はアノードｄの方向に力を受けて加速される
が、磁石ｃの軸方向磁場の存在でローレンツ力を受けて
アノードｄ内の空間を螺旋運動に似た運動をする。該磁
石ｃがない場合は熱電子は直ちにアノードｄの内壁に到
達するが、該磁場の存在で熱電子が螺旋状運動をするた
めにその軌道が非常に長いものになり、熱電子の飛行中
にアノードｄ内の気体分子を電離する確率が高められ
る。熱電子や電離された電子は螺旋状運動をして最終的
にはアノードｄに到達する。気体分子から電離されたイ
オンはイオンコレクターｆに集められる。該イオンコレ
クターｆを流れるイオン電流は空間の気体の量に比例す
るので、イオン電流を測定することによって真空計容器
ｂ内の圧力、ひいては真空計が取り付けられた圧力容器
等の真空空間の圧力を測定することができる。このラフ
ァティー型真空計の特徴は、磁場によって電子軌道を長
くして電子と空間の気体との衝突確率を高めることによ
ってイオン電流を増やす、つまり感度を高めることにあ
る。
該フィラメントｅに通電してこれより熱電子を発生させ
る。熱電子はアノードｄの方向に力を受けて加速される
が、磁石ｃの軸方向磁場の存在でローレンツ力を受けて
アノードｄ内の空間を螺旋運動に似た運動をする。該磁
石ｃがない場合は熱電子は直ちにアノードｄの内壁に到
達するが、該磁場の存在で熱電子が螺旋状運動をするた
めにその軌道が非常に長いものになり、熱電子の飛行中
にアノードｄ内の気体分子を電離する確率が高められ
る。熱電子や電離された電子は螺旋状運動をして最終的
にはアノードｄに到達する。気体分子から電離されたイ
オンはイオンコレクターｆに集められる。該イオンコレ
クターｆを流れるイオン電流は空間の気体の量に比例す
るので、イオン電流を測定することによって真空計容器
ｂ内の圧力、ひいては真空計が取り付けられた圧力容器
等の真空空間の圧力を測定することができる。このラフ
ァティー型真空計の特徴は、磁場によって電子軌道を長
くして電子と空間の気体との衝突確率を高めることによ
ってイオン電流を増やす、つまり感度を高めることにあ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のラファティー型
真空計は、電子が図１のアノードｄ内の空間を螺旋状に
運動して最終的にはアノードｄの内壁に衝突するが、そ
の衝突に際してアノード内壁から軟Ｘ線を発生すること
がある。また、アノード内壁に付着している気体分子が
衝突する電子によりイオンとして叩き出されることがあ
る。軟Ｘ線の一部はイオンコレクターｆを衝撃して光電
効果によって該コレクターｆから電子を放出させ、その
電子はアノードｄに流れる。これにより、イオンコレク
ターｆに流れる電流は、空間の気体の電離によるイオン
電流と光電子電流の和になる。光電子電流は気体の圧力
とは関係のないもので、これは圧力測定を不正確にする
要因である。また、アノード内壁から叩き出されたイオ
ンによるイオン電流も、空間の圧力を測定する上でこれ
を不正確にする要因になっている。これらの要因は、空
間の気体分子数が少ない超高真空領域の圧力測定におい
て顕著になり、圧力測定を不正確にしている。
真空計は、電子が図１のアノードｄ内の空間を螺旋状に
運動して最終的にはアノードｄの内壁に衝突するが、そ
の衝突に際してアノード内壁から軟Ｘ線を発生すること
がある。また、アノード内壁に付着している気体分子が
衝突する電子によりイオンとして叩き出されることがあ
る。軟Ｘ線の一部はイオンコレクターｆを衝撃して光電
効果によって該コレクターｆから電子を放出させ、その
電子はアノードｄに流れる。これにより、イオンコレク
ターｆに流れる電流は、空間の気体の電離によるイオン
電流と光電子電流の和になる。光電子電流は気体の圧力
とは関係のないもので、これは圧力測定を不正確にする
要因である。また、アノード内壁から叩き出されたイオ
ンによるイオン電流も、空間の圧力を測定する上でこれ
を不正確にする要因になっている。これらの要因は、空
間の気体分子数が少ない超高真空領域の圧力測定におい
て顕著になり、圧力測定を不正確にしている。
【０００６】本発明は、熱陰極マグネトロン型真空計で
あるラファティー型真空計の圧力測定精度を向上させる
ことを目的とし、光電子電流を少なくしアノード内壁に
付着する気体分子が電子によりイオンとして叩き出され
ることによる電流を少なくすることを目的とするもので
ある。
あるラファティー型真空計の圧力測定精度を向上させる
ことを目的とし、光電子電流を少なくしアノード内壁に
付着する気体分子が電子によりイオンとして叩き出され
ることによる電流を少なくすることを目的とするもので
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明では、外周に磁石
を設けた真空計容器内に、熱電子を放出するフィラメン
トと、該フィラメントから放出される該熱電子を該磁石
の磁力線に沿って誘引するアノードと、該フィラメント
よりも負電位で該熱電子を反発する板状のシールドと、
該熱電子と該真空計容器内の気体とが衝突して発生した
イオンが入射するイオンコレクターとを配置した真空計
に於いて、該アノードを殻状に形成して該シールドに対
向させて設け、該アノードの該シールドと対向する位置
に熱電子導通用開口を形成し、該イオンコレクターを、
該熱電子の衝突により該アノードの外面から発生するＸ
線に照射されない位置に配置することにより、上記の目
的を達成するようにした。該アノードを、該上記磁力線
の方向に延びた円筒体とその両端部を塞ぐ端板を有し、
且つ両端板の中央部に開口が形成されるとともに該円筒
体をその長さ方向の中間で分断した２分割の容器で構成
し、その分断部間にリング状に形成した上記イオンコレ
クターを設けると共に該アノードの外部の各開口と対向
する位置に板状のシールドを夫々設け、その一方の開口
とシールド間にフィラメントを設けた構成とすることが
好都合であり、該イオンコレクターのリングの断面を円
形若しくは矩形とし、或いは該シールドの該開口と対向
する位置に突起を形成しておくことで、上記の目的を的
確に達成できる。
を設けた真空計容器内に、熱電子を放出するフィラメン
トと、該フィラメントから放出される該熱電子を該磁石
の磁力線に沿って誘引するアノードと、該フィラメント
よりも負電位で該熱電子を反発する板状のシールドと、
該熱電子と該真空計容器内の気体とが衝突して発生した
イオンが入射するイオンコレクターとを配置した真空計
に於いて、該アノードを殻状に形成して該シールドに対
向させて設け、該アノードの該シールドと対向する位置
に熱電子導通用開口を形成し、該イオンコレクターを、
該熱電子の衝突により該アノードの外面から発生するＸ
線に照射されない位置に配置することにより、上記の目
的を達成するようにした。該アノードを、該上記磁力線
の方向に延びた円筒体とその両端部を塞ぐ端板を有し、
且つ両端板の中央部に開口が形成されるとともに該円筒
体をその長さ方向の中間で分断した２分割の容器で構成
し、その分断部間にリング状に形成した上記イオンコレ
クターを設けると共に該アノードの外部の各開口と対向
する位置に板状のシールドを夫々設け、その一方の開口
とシールド間にフィラメントを設けた構成とすることが
好都合であり、該イオンコレクターのリングの断面を円
形若しくは矩形とし、或いは該シールドの該開口と対向
する位置に突起を形成しておくことで、上記の目的を的
確に達成できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】その実施の形態を図２及び図３に
基づき説明すると、これらの図に於いて符号１は一端が
電極端子２で塞がれ他端が開放された円筒状で非磁性金
属製の真空計容器、３は該真空計容器１の外周を囲んで
設けた永久磁石等の磁石を示す。該電極端子２は、絶縁
体２ａとこれを挿通した複数本の金属製のピン２ｂで構
成され、該磁石３は、該真空計容器１の円筒軸方向で開
放された他端へ向かう磁力線が生じるように磁化されて
いる。該真空計容器１の内部には、熱電子を放出するフ
ィラメント４、該熱電子を該磁力線に沿って引き寄せる
アノード５、該フィラメント４より負電位で該熱電子を
反発する板状のシールド６、及び該熱電子と該真空計容
器１内の気体とが衝突して発生するイオンが入射するイ
オンコレクター７が該ピン２ｂに保持して設けられる。
基づき説明すると、これらの図に於いて符号１は一端が
電極端子２で塞がれ他端が開放された円筒状で非磁性金
属製の真空計容器、３は該真空計容器１の外周を囲んで
設けた永久磁石等の磁石を示す。該電極端子２は、絶縁
体２ａとこれを挿通した複数本の金属製のピン２ｂで構
成され、該磁石３は、該真空計容器１の円筒軸方向で開
放された他端へ向かう磁力線が生じるように磁化されて
いる。該真空計容器１の内部には、熱電子を放出するフ
ィラメント４、該熱電子を該磁力線に沿って引き寄せる
アノード５、該フィラメント４より負電位で該熱電子を
反発する板状のシールド６、及び該熱電子と該真空計容
器１内の気体とが衝突して発生するイオンが入射するイ
オンコレクター７が該ピン２ｂに保持して設けられる。
【０００９】以上の構成は従来の真空計も備える構成で
あるが、本発明のものでは、該アノード５を開口面積の
少ない容器型等の殻状に形成し、該イオンコレクター７
を該アノード５の外周面から見えず且つシールド６から
見にくい位置に配置し、軟Ｘ線による光電子電流の発生
とアノード５の外壁から叩き出されたイオンによるイオ
ン電流の発生を防ぎ、正確な圧力測定を行えるようにし
た。
あるが、本発明のものでは、該アノード５を開口面積の
少ない容器型等の殻状に形成し、該イオンコレクター７
を該アノード５の外周面から見えず且つシールド６から
見にくい位置に配置し、軟Ｘ線による光電子電流の発生
とアノード５の外壁から叩き出されたイオンによるイオ
ン電流の発生を防ぎ、正確な圧力測定を行えるようにし
た。
【００１０】これを更に詳述すると、該アノード５は、
該磁力線の方向の軸線をもつ円筒形容器等の殻状であっ
てその両端が中央部に熱電子の導通用開口５ａを形成し
た端板５ｂにて塞がれ、且つその長さ方向の中間部にて
分断された２分割型の容器５ｃにて構成し、その分断部
間に該容器５ｃの平均直径と略同径のリング状のイオン
コレクター７を介在させ、該容器５ｃの外部で各導通用
開口５ａと対向した位置に円板状のシールド６を設け
た。そして、電極端子２側のシールド６とアノード５の
間にフィラメント４を配置した。この構成とすることに
より、フィラメント４からの熱電子がアノード５を通過
して反転した後にアノード５の内壁よりも外壁に衝突す
る確率が高まり、該イオンコレクター７は、アノード５
の分割部間に存在し、しかも該アノード５に端板５ｂが
設けられているから、該アノード５の外周面への電子の
衝突で生じる軟Ｘ線やイオンが該イオンコレクター７に
集まり難くなる。
該磁力線の方向の軸線をもつ円筒形容器等の殻状であっ
てその両端が中央部に熱電子の導通用開口５ａを形成し
た端板５ｂにて塞がれ、且つその長さ方向の中間部にて
分断された２分割型の容器５ｃにて構成し、その分断部
間に該容器５ｃの平均直径と略同径のリング状のイオン
コレクター７を介在させ、該容器５ｃの外部で各導通用
開口５ａと対向した位置に円板状のシールド６を設け
た。そして、電極端子２側のシールド６とアノード５の
間にフィラメント４を配置した。この構成とすることに
より、フィラメント４からの熱電子がアノード５を通過
して反転した後にアノード５の内壁よりも外壁に衝突す
る確率が高まり、該イオンコレクター７は、アノード５
の分割部間に存在し、しかも該アノード５に端板５ｂが
設けられているから、該アノード５の外周面への電子の
衝突で生じる軟Ｘ線やイオンが該イオンコレクター７に
集まり難くなる。
【００１１】例えば、該フィラメント４の電位に対し＋
３００Ｖの電位をアノード５に与え、イオンコレクター
７には＋４５Ｖ、シールド６には−１０Ｖの電位を与
え、磁石３の磁場の強さを２５０ガウスとして真空圧を
測定した場合、該フィラメント４に通電されて発生する
熱電子は、該磁石３の磁力線の影響を受けてシールド６
で制限された範囲内を螺旋状運動し、非常に長い軌道を
たどりアノード５へと向かうが、その間にアノード５の
空間内の気体分子と衝突してこれを電離させ、その電離
により生じたイオンがイオンコレクター７に集められ
る。イオンコレクター７のイオン電流は空間の気体の量
に比例するから、イオン電流を測定することにより圧力
が測定できる。
３００Ｖの電位をアノード５に与え、イオンコレクター
７には＋４５Ｖ、シールド６には−１０Ｖの電位を与
え、磁石３の磁場の強さを２５０ガウスとして真空圧を
測定した場合、該フィラメント４に通電されて発生する
熱電子は、該磁石３の磁力線の影響を受けてシールド６
で制限された範囲内を螺旋状運動し、非常に長い軌道を
たどりアノード５へと向かうが、その間にアノード５の
空間内の気体分子と衝突してこれを電離させ、その電離
により生じたイオンがイオンコレクター７に集められ
る。イオンコレクター７のイオン電流は空間の気体の量
に比例するから、イオン電流を測定することにより圧力
が測定できる。
【００１２】こうした原理的作動は従来のこの種の真空
計と変わりがないが、フィラメント４からの熱電子や気
体が電離されて生じる電子は螺旋状運動をして磁力線に
沿うように運動し、アノード５の上方の端板５ｂの導通
用開口５ａを介して上方のシールド６へ向かうが、これ
らの電子はアノード５の引力とフィラメント４に対して
負であるシールド６の斥力の作用により減速、反転し、
図４の軌跡Ａのようにアノード５内へ再突入する。或い
は、軌跡Ｂのようにアノード５の外壁に衝突する。電子
の螺旋状運動の回転半径は、磁場の強さが２５０ガウ
ス、電子エネルギーが３００ｅＶのときは０．００５ｍ
ｍ程度で図示できない程度である。アノード５内へ再突
入した電子は、アノード内壁に衝突したり反対側の端板
５ｂの導通用開口５ａを通り抜けて反対側のシールド６
まで飛行し、その斥力で減速、反転し、最終的にはアノ
ード内壁又は外壁に衝突して消滅する。アノード５内で
は、電子は螺旋状運動をしながらも軸方向へ運動しやす
いので、アノード５の内壁よりも外壁に衝突する確率が
高い。
計と変わりがないが、フィラメント４からの熱電子や気
体が電離されて生じる電子は螺旋状運動をして磁力線に
沿うように運動し、アノード５の上方の端板５ｂの導通
用開口５ａを介して上方のシールド６へ向かうが、これ
らの電子はアノード５の引力とフィラメント４に対して
負であるシールド６の斥力の作用により減速、反転し、
図４の軌跡Ａのようにアノード５内へ再突入する。或い
は、軌跡Ｂのようにアノード５の外壁に衝突する。電子
の螺旋状運動の回転半径は、磁場の強さが２５０ガウ
ス、電子エネルギーが３００ｅＶのときは０．００５ｍ
ｍ程度で図示できない程度である。アノード５内へ再突
入した電子は、アノード内壁に衝突したり反対側の端板
５ｂの導通用開口５ａを通り抜けて反対側のシールド６
まで飛行し、その斥力で減速、反転し、最終的にはアノ
ード内壁又は外壁に衝突して消滅する。アノード５内で
は、電子は螺旋状運動をしながらも軸方向へ運動しやす
いので、アノード５の内壁よりも外壁に衝突する確率が
高い。
【００１３】前記したように、電子がアノード５に衝突
するときに軟Ｘ線を発生することがあり、またアノード
５に付着している気体分子をイオンとして叩き出すこと
があるが、アノード５は電子の飛行方向には端板５ｂの
導通用開口５ａしか開かれておらず、アノード５の分断
部間の奥まったシールド６から見にくい場所にイオンコ
レクター７が設置されているから、電子はアノード５の
内壁よりも外壁に多く衝突し、換言すればアノード５の
外面で多くの軟Ｘ線やイオンの叩き出しが発生し、その
発生した軟Ｘ線でイオンコレクター７が照射されずしか
もその外壁から叩き出されたイオンを奥まったイオンコ
レクター７には集めにくい。そのため、イオンコレクタ
ー７には軟Ｘ線やアノード５から叩き出されたイオンを
原因とするイオン電流即ち雑音の量が小さくなり、超高
真空領域の正確な圧力測定を行える。
するときに軟Ｘ線を発生することがあり、またアノード
５に付着している気体分子をイオンとして叩き出すこと
があるが、アノード５は電子の飛行方向には端板５ｂの
導通用開口５ａしか開かれておらず、アノード５の分断
部間の奥まったシールド６から見にくい場所にイオンコ
レクター７が設置されているから、電子はアノード５の
内壁よりも外壁に多く衝突し、換言すればアノード５の
外面で多くの軟Ｘ線やイオンの叩き出しが発生し、その
発生した軟Ｘ線でイオンコレクター７が照射されずしか
もその外壁から叩き出されたイオンを奥まったイオンコ
レクター７には集めにくい。そのため、イオンコレクタ
ー７には軟Ｘ線やアノード５から叩き出されたイオンを
原因とするイオン電流即ち雑音の量が小さくなり、超高
真空領域の正確な圧力測定を行える。
【００１４】以上の実施例に於いては、イオンコレクタ
ー７を円形断面のリングにて形成したが、図５に示すよ
うに矩形断面のリングで形成してもよい。また、電極を
遮蔽する２枚のシールド６の少なくとも一方のものの内
面に、図５の如く突起６ａをアノード５の開口５ａと対
向させて設ければ、電子の軌道が同図に示すように大き
く曲げられ、電子がアノード容器５ｃの内部へ再突入し
てその内壁に衝突する確率を減らして超高真空領域の圧
力測定を更に正確に測定できる。一方のシールド６の電
位をフィラメント４の電位よりも高くして電子を該シー
ルド６に衝突させても、電子がアノード容器５ｃに再突
入してその内壁に衝突する確率を減らせて正確な測定を
行える。
ー７を円形断面のリングにて形成したが、図５に示すよ
うに矩形断面のリングで形成してもよい。また、電極を
遮蔽する２枚のシールド６の少なくとも一方のものの内
面に、図５の如く突起６ａをアノード５の開口５ａと対
向させて設ければ、電子の軌道が同図に示すように大き
く曲げられ、電子がアノード容器５ｃの内部へ再突入し
てその内壁に衝突する確率を減らして超高真空領域の圧
力測定を更に正確に測定できる。一方のシールド６の電
位をフィラメント４の電位よりも高くして電子を該シー
ルド６に衝突させても、電子がアノード容器５ｃに再突
入してその内壁に衝突する確率を減らせて正確な測定を
行える。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明によるときは、熱陰
極マグネトロン型真空計のアノードを開口部の少ない殻
状に形成すると共にイオンコレクターを該アノードの外
周面から熱電子の衝突により発生するＸ線に照射されな
い位置に配置したので、イオンコレクターに於ける軟Ｘ
線による光電子電流とアノードから叩き出されるイオン
による電流を減少させることができ、超高真空領域に於
いて正確な圧力測定を行える等の効果があり、該アノー
ドを、両端部に開口を有する２分割の容器で構成し、そ
の分断部間にリング状のイオンコレクターを設けると共
に各開口と対向して板状のシールドを夫々設け、その一
方の開口とシールド間にフィラメントを設ける構成とす
ることにより、更には請求項３、４の構成とすることに
より、簡単な構成で前記効果を奏し得られる。
極マグネトロン型真空計のアノードを開口部の少ない殻
状に形成すると共にイオンコレクターを該アノードの外
周面から熱電子の衝突により発生するＸ線に照射されな
い位置に配置したので、イオンコレクターに於ける軟Ｘ
線による光電子電流とアノードから叩き出されるイオン
による電流を減少させることができ、超高真空領域に於
いて正確な圧力測定を行える等の効果があり、該アノー
ドを、両端部に開口を有する２分割の容器で構成し、そ
の分断部間にリング状のイオンコレクターを設けると共
に各開口と対向して板状のシールドを夫々設け、その一
方の開口とシールド間にフィラメントを設ける構成とす
ることにより、更には請求項３、４の構成とすることに
より、簡単な構成で前記効果を奏し得られる。
【図１】従来例の切断側面図
【図２】本発明の実施の１例の一部を切除した斜視図
【図３】図２の切断側面図
【図４】作動状態の説明図
【図５】本発明の他の実施例の切断側面図
１ 真空計容器、３ 磁石、４ フィラメント、５ ア
ノード、５ａ 導通用開口、５ｂ 端板、５ｃ 容器、
６ シールド、６ａ 突起、７ イオンコレクター、
ノード、５ａ 導通用開口、５ｂ 端板、５ｃ 容器、
６ シールド、６ａ 突起、７ イオンコレクター、
Claims (4)
- 【請求項１】外周に磁石を設けた真空計容器内に、熱電
子を放出するフィラメントと、該フィラメントから放出
される該熱電子を該磁石の磁力線に沿って誘引するアノ
ードと、該フィラメントよりも負電位で該熱電子を反発
する板状のシールドと、該熱電子と該真空計容器内の気
体とが衝突して発生したイオンが入射するイオンコレク
ターとを配置した真空計に於いて、該アノードを殻状に
形成して該シールドに対向させて設け、該アノードの該
シールドと対向する位置に熱電子導通用開口を形成し、
該イオンコレクターを、該熱電子の衝突により該アノー
ドの外面から発生するＸ線に照射されない位置に配置し
たことを特徴とする真空計。 - 【請求項２】上記アノードを、上記磁力線の方向に延び
た円筒体とその両端部を塞ぐ端板を有し、且つ両端板の
中央部に開口が形成されるとともに該円筒体をその長さ
方向の中間で分断した２分割の容器で構成し、その分断
部間にリング状に形成した上記イオンコレクターを設け
ると共に該アノードの外部の各開口と対向する位置に板
状のシールドを夫々設け、その一方の開口とシールド間
にフィラメントを設けたことを特徴とする請求項１に記
載の真空計。 - 【請求項３】上記イオンコレクターのリングの断面は円
形若しくは矩形であることを特徴とする請求項２に記載
の真空計。 - 【請求項４】上記シールドの上記開口と対向した位置に
突起を形成したことを特徴とする請求項１乃至３のいず
れか１項に記載の真空計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31071796A JP3580967B2 (ja) | 1996-11-21 | 1996-11-21 | 真空計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31071796A JP3580967B2 (ja) | 1996-11-21 | 1996-11-21 | 真空計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10153513A true JPH10153513A (ja) | 1998-06-09 |
| JP3580967B2 JP3580967B2 (ja) | 2004-10-27 |
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ID=18008639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31071796A Expired - Fee Related JP3580967B2 (ja) | 1996-11-21 | 1996-11-21 | 真空計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3580967B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003003433A1 (fr) * | 2001-06-28 | 2003-01-09 | Tokyo Electron Limited | Port de capteur de chambre, chambre et processeur de faisceau electronique |
| JP4493139B2 (ja) * | 2000-02-02 | 2010-06-30 | キヤノンアネルバ株式会社 | 電離真空計 |
-
1996
- 1996-11-21 JP JP31071796A patent/JP3580967B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4493139B2 (ja) * | 2000-02-02 | 2010-06-30 | キヤノンアネルバ株式会社 | 電離真空計 |
| WO2003003433A1 (fr) * | 2001-06-28 | 2003-01-09 | Tokyo Electron Limited | Port de capteur de chambre, chambre et processeur de faisceau electronique |
| US6987271B1 (en) | 2001-06-28 | 2006-01-17 | Tokyo Electron Limited | Chamber sensor port, chamber and electron beam processor |
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| Publication number | Publication date |
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| JP3580967B2 (ja) | 2004-10-27 |
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