JPH10150337A - Reflection characteristic adjustment method for lc low pass filter - Google Patents

Reflection characteristic adjustment method for lc low pass filter

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JPH10150337A
JPH10150337A JP32480096A JP32480096A JPH10150337A JP H10150337 A JPH10150337 A JP H10150337A JP 32480096 A JP32480096 A JP 32480096A JP 32480096 A JP32480096 A JP 32480096A JP H10150337 A JPH10150337 A JP H10150337A
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JP
Japan
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capacitor
conductive layer
electrode
pass filter
thin film
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Application number
JP32480096A
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Japanese (ja)
Inventor
Michiya Arakawa
美智也 荒川
Takeshi Ito
伊藤  剛
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Niterra Co Ltd
Original Assignee
NGK Spark Plug Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a reflection characteristic adjustment method by which the reflection characteristic is easily adjusted. SOLUTION: In an LC low pass filter 1 composed of a dielectric thin film 4 which is laminated to an insulation base board 2 provided with spiral inductors L1 , L2 and capacitors which are formed with conductor layers formed on the respective surfaces via the dielectric thin film 4, the reflection characteristic is adjusted by forming an eliminating part (x) for eliminating partially an earth electrode 18 in the middle of left and right capacitor electrodes 16a, 16b formed on the prescribed conductor layer. Thus, the method realized on excellent effect that the attenuation is simply adjusted by the post-processing and the LC low pass filer with an optimum attenuation characteristic is manufactured.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話や自動車
電話等の各種無線通信機器に使用されるLCフィルタに
あって、その反射特性調整方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an LC filter used for various wireless communication devices such as a portable telephone and a car telephone, and to a method for adjusting the reflection characteristic thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】ローパスフィルタは、特定周波数以下の
低周波信号を通過させて、所定以上の高調波信号を除去
する濾波機能を生ずるものであり、インダクタと、コン
デンサを組み合わせてなるLCローパスフィルタが知ら
れている。このLCローパスフィルタは、複数のコンデ
ンサC1 ,C2 ,C3 を並列に形成して一端をアース接
続し、各コンデンサC1 ,C2 ,C3 の他端間に夫々イ
ンダクタL1 ,L2 を位置させて、各インダクタL1
2 を直列接続するようにして構成される(図9参
照)。
2. Description of the Related Art A low-pass filter provides a filtering function of passing a low-frequency signal of a specific frequency or lower and removing a harmonic signal of a predetermined frequency or more. An LC low-pass filter comprising a combination of an inductor and a capacitor is used. Are known. In this LC low-pass filter, a plurality of capacitors C 1 , C 2 , C 3 are formed in parallel, one end is connected to ground, and inductors L 1 , L 2 are respectively connected between the other ends of the capacitors C 1 , C 2 , C 3. 2 and each inductor L 1 ,
The L 2 configured so as to serially connect (see FIG. 9).

【0003】この、従来のLCローパスフィルタは、誘
電体シート上に導電層を印刷法でメタライズして、一体
焼成したものや、チップインダクタやチップコンデンサ
の部品を個別に実装して構成したものが一般的である。
[0003] The conventional LC low-pass filter includes one in which a conductive layer is metallized on a dielectric sheet by a printing method and fired integrally, or one in which components of a chip inductor and a chip capacitor are individually mounted. General.

【0004】一方、近年、電子機器の小型化、高密度
化、低価格化に対する要望が高まっている。そして、こ
れらの要求に対応するために、インダクタLやコンデン
サC等の個別の部品の小型化が求められている。尚、共
振用コンデンサの容量値は、使用する誘電体材料の誘電
率、誘電体層の厚み、上下電極の対向電極面積により決
まり、インダクタのインダクタンス値は導体長、導体幅
によって決まる。
On the other hand, in recent years, there has been an increasing demand for downsizing, higher density, and lower price of electronic devices. And in order to respond to these demands, miniaturization of individual components such as the inductor L and the capacitor C is required. The capacitance value of the resonance capacitor is determined by the dielectric constant of the dielectric material used, the thickness of the dielectric layer, and the area of the upper and lower electrodes, and the inductance value of the inductor is determined by the conductor length and the conductor width.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のLCロ
ーパスフィルタのように、誘電体シート上に、メタライ
ズ印刷し、一体焼成したものは、容量密度に限界がある
ため、一層の小型化は困難であった。
The above-mentioned conventional LC low-pass filter, which is printed by metallizing and integrally firing on a dielectric sheet, has a limited capacity density, so that further miniaturization is difficult. Met.

【0006】また、従来の銅メタライズ焼成法では、銅
メタライズ中のフリットの影響や、面粗さのため高周波
領域での損失の増大が問題となっていた。即ち、銅メタ
ライズ焼成法にあっては、セラミックとの密着性を上げ
るためフリットを添加することが行われているが、この
フリットのため材料の純度が低下し、導電率が、純粋な
銅の半分程度となってしまう。また、高周波になると、
電子は銅体表面を流れることとなるが、銅メタライズで
は面が粗くなるため、その面粗さの影響を大きく受け
る。このように高周波領域では、銅メタライズ焼成法で
導電層を形成した場合には、大きな導電損失が発生する
こととなる。
Further, in the conventional copper metallization firing method, there has been a problem of the influence of frit during copper metallization and an increase in loss in a high frequency region due to surface roughness. That is, in the copper metallization sintering method, a frit is added to increase the adhesion to the ceramic, but the purity of the material is reduced due to the frit, and the conductivity is reduced to that of pure copper. It will be about half. Also, at higher frequencies,
Electrons flow on the surface of the copper body. However, since the surface is roughened by copper metallization, it is greatly affected by the surface roughness. As described above, in the high frequency region, when the conductive layer is formed by the copper metallization firing method, a large conductive loss occurs.

【0007】そこで、本発明者らは、小さな表面積で、
しかも、製造容易で、さらには導電損失の小さなLCロ
ーパスフィルタを提案した。かかる構成のLCローパス
フィルタは、次の構成からなるものである。すなわち、
絶縁基板上に第一の導電層を形成し、さらに、該絶縁基
板上に誘電薄膜を積層して、その上面に第二の導電層を
形成してなり、その積層構造の半面部をコンデンサ形成
領域とし、他半面部をインダクタ形成領域とし、前記イ
ンダクタ形成領域にあっては、一方の導電層に、中心に
向けて巻回したスパイラルインダクタを二つ並成し、前
記コンデンサ形成領域にあっては、一方の導電層の、そ
の中間部に、中間コンデンサの電極を形成して、両スパ
イラルインダクタの外側巻回部と接続すると共に、該コ
ンデンサ電極の両側にアース電極を形成し、さらに、他
方の導電層の、その両側部に、入力側と、出力側のコン
デンサの電極を夫々形成し、かつ該電極から、二つのス
パイラルインダクタの中心の直上位置まで、接続路を延
出すると共に、他方の導電層の、両コンデンサ電極の中
間部に、アース電極を形成し、さらに、前記誘電薄膜に
形成した導通孔を介して、前記接続路の延出端と、スパ
イラルインダクタの中心とを電気的に接続するように
し、これにより、前記誘電薄膜を介してコンデンサ電極
と、アース電極を対峙させて、入力側コンデンサ,中間
コンデンサ及び出力側コンデンサを並列に形成して一端
をアース接続し、各コンデンサの他端間に夫々スパイラ
ルインダクタを位置させて、両スパイラルインダクタを
直列接続するようにして構成してなるものである。
Therefore, the present inventors have developed a small surface area,
In addition, an LC low-pass filter that is easy to manufacture and has small conduction loss has been proposed. The LC low-pass filter having such a configuration has the following configuration. That is,
A first conductive layer is formed on an insulating substrate, a dielectric thin film is further laminated on the insulating substrate, and a second conductive layer is formed on an upper surface thereof. Region, the other half surface portion is an inductor formation region, and in the inductor formation region, two spiral inductors wound toward the center are arranged side by side on one conductive layer, and in the capacitor formation region, In one conductive layer, an electrode of an intermediate capacitor is formed in an intermediate portion thereof, connected to outer winding portions of both spiral inductors, and ground electrodes are formed on both sides of the capacitor electrode. On both sides of the conductive layer, the electrodes of the input side and the output side are formed, and the connection path extends from the electrodes to a position immediately above the center of the two spiral inductors. A ground electrode is formed in a middle portion of both capacitor electrodes of the conductive layer, and an extended end of the connection path and a center of the spiral inductor are electrically connected to each other through a conductive hole formed in the dielectric thin film. The capacitor electrode and the ground electrode are opposed to each other via the dielectric thin film, and an input capacitor, an intermediate capacitor, and an output capacitor are formed in parallel, and one end is connected to ground. The spiral inductors are located between the other ends of the spiral inductors, and the two spiral inductors are connected in series.

【0008】この構成にあっては、インダクタを外付け
したり、又は、種々のインダクタ,コンデンサを単一の
基板上に形成する等の従来構成と比して、基板上に薄膜
形成技術により、導電層を形成し、又は誘電薄膜を形成
することにより構成されるから、その形成が容易で、量
産に適する。
In this configuration, a thin film forming technique is used on a substrate, as compared with a conventional configuration in which an inductor is externally mounted or various inductors and capacitors are formed on a single substrate. Since it is formed by forming a conductive layer or a dielectric thin film, the formation is easy and suitable for mass production.

【0009】ところで、かかるLCローパスフィルタに
あって、その反射特性を改善することによって、通過帯
域幅を明確に規定でき、通過損失も小さくできる等、特
性が向上することが解っている。本発明は、かかる構成
にあって、その反射特性の調整を容易に行ない得る反射
特性調整方法を提供することを目的とするものである。
It has been found that in such an LC low-pass filter, by improving its reflection characteristics, the characteristics can be improved, for example, the pass band width can be clearly defined and the transmission loss can be reduced. An object of the present invention is to provide a reflection characteristic adjusting method having such a configuration and capable of easily adjusting the reflection characteristic.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、上述のLCロ
ーパスフィルタにあって、他方の導電層の、両コンデン
サ電極の中間部に形成されたアース電極を、該電極の縁
部から部分的に削除するようにしたことを特徴とするL
Cローパスフィルタの反射特性調整方法である。
According to the present invention, there is provided the above-mentioned LC low-pass filter, wherein an earth electrode formed in the other conductive layer at an intermediate portion between the two capacitor electrodes is partially removed from an edge of the electrode. L, characterized in that
This is a method for adjusting the reflection characteristics of the C low-pass filter.

【0011】かかる構成にあって、アース電極の削除面
積を10〜30%削除すると、反射波形の大きな極が形
成され、反射特性の改善が見られた。尚、削除面積が3
0%以上であると、通過帯域幅が広がり、帯域内で反射
特性が不充分になる周波数がでてくる。
In this configuration, when the area of the ground electrode is reduced by 10 to 30%, a pole having a large reflection waveform is formed, and the reflection characteristics are improved. In addition, the deletion area is 3
If it is 0% or more, the pass band width is widened, and a frequency at which the reflection characteristics are insufficient in the band appears.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】図1〜4は本発明に係るLCロー
パスフィルタ1を示す。このLCローパスフィルタ1
は、入力側コンデンサC1 ,中間コンデンサC2 及び出
力側コンデンサC3 が並列に形成されると共に、夫々の
一端がアース接続され、コンデンサC1,C2 の他端間
にスパイラルインダクタL1 が、コンデンサC2 ,C3
の他端間にスパイラルインダクタL2 が位置して、両ス
パイラルインダクタL1 ,L2 が直列接続され、図9の
等価回路を構成するようにしたものである。
1 to 4 show an LC low-pass filter 1 according to the present invention. This LC low pass filter 1
The input capacitor C 1 , the intermediate capacitor C 2 and the output capacitor C 3 are formed in parallel, one end of each is connected to ground, and a spiral inductor L 1 is connected between the other ends of the capacitors C 1 and C 2. , Capacitors C 2 , C 3
Located spiral inductor L 2 is between the other end of both spiral inductor L 1, L 2 are connected in series, in which so as to constitute an equivalent circuit of FIG.

【0013】ここでアルミナ基板からなる絶縁基板2
は、厚が0.635mmである。この絶縁基板2には第
一の導電層3が銅メッキ法により形成される。また該絶
縁基板2上には、ポリイミド樹脂等の有機絶縁膜からな
る誘電薄膜4がスピンコ−ト法等により、積層される。
さらに、該誘電薄膜4上には第二の導電層10が銅メッ
キ法により形成される。前記第一の導電層3の銅被膜の
厚は5μmである。また前記誘電薄膜4は厚が3μmで
あり、さらに第二の導電層10の銅被膜は厚が5μmで
ある。
Here, an insulating substrate 2 made of an alumina substrate
Has a thickness of 0.635 mm. A first conductive layer 3 is formed on the insulating substrate 2 by a copper plating method. A dielectric thin film 4 made of an organic insulating film such as a polyimide resin is laminated on the insulating substrate 2 by a spin coating method or the like.
Further, a second conductive layer 10 is formed on the dielectric thin film 4 by a copper plating method. The thickness of the copper film of the first conductive layer 3 is 5 μm. The dielectric thin film 4 has a thickness of 3 μm, and the copper coating of the second conductive layer 10 has a thickness of 5 μm.

【0014】この各絶縁基板2,誘電薄膜4はいずれ
も、例えば3mm角の正方形状等、十分小さなものとす
ることができ、その総厚は、0.7mm以下の極薄状と
なっている。
Each of the insulating substrate 2 and the dielectric thin film 4 can be made sufficiently small, for example, a square of 3 mm square, and the total thickness is an extremely thin shape of 0.7 mm or less. .

【0015】そして、この積層構造の半面部をコンデン
サ形成領域F1 とし、他半面部をインダクタ形成領域F
2 としている。
[0015] Then, a half portion of the laminated structure and the capacitor formation region F 1, the other half portion inductor forming region F
And 2 .

【0016】このインダクタ形成領域F2 にあっては、
前記第一の導電層3には、外側から、中心に向けて、巻
回したスパイラルインダクタL1 ,L2 が二つ並成され
る。
In the inductor forming region F 2 ,
The first conductive layer 3 has two spiral inductors L 1 and L 2 wound in parallel from the outside toward the center.

【0017】一方、前記コンデンサ形成領域F1 にあっ
ては、第一の導電層3の、その中間部に、中間コンデン
サC2 の電極6を形成して、その内側中心位置で、両ス
パイラルインダクタL1 ,L2 の外側巻回部7a,7b
と接続するようにしている。また、該コンデンサ電極6
の両側にアース電極8a,8bを形成している。このア
ース電極8a,8bは、前記L1 ,L2 の周囲及びL
1 ,L2 間にも延出されている。すなわち、二つのスパ
イラルインダクタL1 ,L2 と、前記中間コンデンサC
2 の電極6を除く全面に、アース電極層8が形成されて
いる。そしてこれにより、二つのスパイラルインダクタ
1 ,L2 間にアース電極層8cが介在することとな
り、後述するようにスパイラルインダクタL1 ,L2
磁界結合を遮断し、相互の電磁的干渉を阻止するように
している。
Meanwhile, the In the capacitor formation region F 1, the first conductive layer 3, the intermediate portion thereof, to form the electrode 6 of the intermediate capacitor C 2, at its inner central position, both the spiral inductor L 1, L 2 of the outer winding portion 7a, 7b
I try to connect with. The capacitor electrode 6
Are formed on both sides of the ground electrode 8a, 8b. The ground electrodes 8a and 8b are connected to the surroundings of the L 1 and L 2 and the L
It is extended to between 1, L 2. That is, the two spiral inductors L 1 and L 2 and the intermediate capacitor C
A ground electrode layer 8 is formed on the entire surface excluding the second electrode 6. As a result, the ground electrode layer 8c is interposed between the two spiral inductors L 1 and L 2 , and as described later, the magnetic field coupling between the spiral inductors L 1 and L 2 is interrupted, and mutual electromagnetic interference is prevented. I am trying to do it.

【0018】そしてさらには、誘電薄膜4上に形成され
る第二の導電層10の、その両側部に、入力側コンデン
サC1 と、出力側コンデンサC3 の電極16a,16b
を夫々形成し、かつ該電極から、二つのスパイラルイン
ダクタL1 ,L2 の中心の直上位置まで、接続路17
a,17bを延出する。このように、第二の導電層10
は、接続路17a,17bを除いて、前記コンデンサ形
成領域F1 のみに形成され、このコンデンサ形成領域F
1 の、両コンデンサ電極16a,16bの中間部に、ア
ース電極18を形成するようにしている。
[0018] and further, the second conductive layer 10, on its both sides, an input side capacitor C 1, the output side capacitor C 3 of the electrode 16a formed on the dielectric thin film 4, 16b
Respectively, and from the electrode to a position directly above the center of the two spiral inductors L 1 and L 2 , the connection path 17 is formed.
a, 17b. Thus, the second conductive layer 10
The connection passage 17a, except 17b, the formed only in the capacitor formation region F 1, the capacitor formation region F
1 , a ground electrode 18 is formed at an intermediate portion between the capacitor electrodes 16a and 16b.

【0019】さらに、前記誘電薄膜4には、スパイラル
インダクタL1 ,L2 の中心の直上位置で、導通孔2
0,20が形成され、該導通孔20,20を介して、前
記接続路17a,17bの延出端と、スパイラルインダ
クタL1 ,L2 の中心とを電気的に接続するようにして
いる。さらには、前記アース電極18には、導通孔2
1,21が形成され、前記アース電極8a,8bとの接
続を確保するようにしている。さらには、前記絶縁基板
2の下面にも、図4で示すように、アース電極25が形
成されている。
Furthermore, wherein the dielectric thin film 4, at a position directly above the center of the spiral inductors L 1, L 2, through hole 2
0,20 is formed, via a conductor hole 20, 20, the connecting passage 17a, and the extending end of 17b, and so as to electrically connect the center of the spiral inductors L 1, L 2. Further, the ground electrode 18 has a conductive hole 2
1, 21 are formed to ensure connection with the ground electrodes 8a, 8b. Further, a ground electrode 25 is formed on the lower surface of the insulating substrate 2 as shown in FIG.

【0020】しかして、これにより、前記誘電薄膜4を
介してコンデンサ電極16aとアース電極8aとが、コ
ンデンサ電極6とアース電極18とが、コンデンサ電極
16bとアース電極8bとが夫々対峙して、入力側コン
デンサC1 ,中間コンデンサC2 及び出力側コンデンサ
3 が並列に配設される。また、各コンデンサの夫々の
一端がアース接続される。そして、入力側コンデンサC
1 と中間コンデンサC2 の他端間にスパイラルインダク
タL1 が位置し、中間コンデンサC2 と出力側コンデン
サC3 の他端間にスパイラルインダクタL2 が位置する
と共に、両スパイラルインダクタL1 ,L2 が直列接続
することとなり、図9で示す、等価回路が構成されるこ
ととなる。
Thus, the capacitor electrode 16a and the ground electrode 8a, the capacitor electrode 6 and the ground electrode 18 face each other, and the capacitor electrode 16b and the ground electrode 8b face each other via the dielectric thin film 4. input capacitor C 1, intermediate capacitor C 2 and the output side capacitor C 3 are arranged in parallel. One end of each capacitor is grounded. And the input side capacitor C
1 and located spiral inductor L 1 is between the other end of the intermediate capacitor C 2, together with the spiral inductor L 2 is located between the other end of the intermediate capacitor C 2 and the output side capacitor C 3, both spiral inductor L 1, L 2 are connected in series, and an equivalent circuit shown in FIG. 9 is formed.

【0021】かかる構成にあっては、絶縁基板2上に、
銅メッキ法により、第一の導電層3を形成し、次に、ス
ピンコート法で、誘電薄膜4を形成し、さらに銅メッキ
法により第二の導電層10を形成し、これにより各層を
順次形成することにより、小型のLCローパスフィルタ
を容易に製造することができる。
In such a configuration, on the insulating substrate 2,
A first conductive layer 3 is formed by a copper plating method, then a dielectric thin film 4 is formed by a spin coating method, and a second conductive layer 10 is further formed by a copper plating method. By forming, a small LC low-pass filter can be easily manufactured.

【0022】また、上述の構成にあっては、二つのスパ
イラルインダクタL1 ,L2 間にアース電極層8cが介
在することとなる。このため、スパイラルインダクタL
1 ,L2 は、隣接していても、該アース電極層8cによ
り、相互の電磁的干渉が阻止され、磁界結合が遮断され
る。したがって、スパイラルインダクタL1 ,L2 や、
各コンデンサC1 ,C2 ,C3 を、絶縁基板2,誘電薄
膜4上に密に配設することが可能となる。
Further, in the above configuration, the ground electrode layer 8c is interposed between the two spiral inductors L 1 and L 2 . Therefore, the spiral inductor L
1, L 2 can be adjacent, by the ground electrode layer 8c, electromagnetic mutual interference is prevented, the magnetic field coupling is interrupted. Therefore, the spiral inductors L 1 and L 2 ,
Each of the capacitors C 1 , C 2 , and C 3 can be densely arranged on the insulating substrate 2 and the dielectric thin film 4.

【0023】上述の構成にあって、上記の第一の導電層
3,第二の導電層10は、上述のメッキ法以外にも、ス
パッタ法、またはこれらとフォトリソ等とを組み合わせ
た薄膜形成技術により形成される。しかしながら、銅メ
ッキ法が、最適であることは上述したとおりである。
In the above-described structure, the first conductive layer 3 and the second conductive layer 10 may be formed by a sputtering method or a thin film forming technique combining these with photolithography in addition to the plating method described above. Formed by However, as described above, the copper plating method is optimal.

【0024】ところで、かかる構成にあって、本発明者
らは、第二の導電層10の、両コンデンサ電極16a,
16bの中間部に形成されたアース電極18を、該電極
の縁部から部分的に削除することにより、反射特性にあ
って、新たな減衰極が発生することを見出した。すなわ
ち、図1の鎖線及び図5で示すように、アース電極18
の左角に矩形状の除去部xを形成したところ、図7,8
で示すように、反射波形に二つの減衰極α,βが現われ
た。これを除去部xの無い元の状態の図2で示す構成と
比較すると、該構成の反射波形には、図6のように、単
一の比較的浅い減衰極が現われることが解る。
By the way, in such a configuration, the present inventors made the two conductive electrodes 10a, 16a,
It has been found that a new attenuation pole is generated in the reflection characteristic by partially removing the earth electrode 18 formed in the middle part of the electrode 16b from the edge of the electrode. That is, as shown in the chain line in FIG. 1 and FIG.
7 and 8 show a rectangular removal part x formed at the left corner of
As shown by, two attenuation poles α and β appeared in the reflected waveform. Comparing this with the configuration shown in FIG. 2 in the original state without the removal portion x, it can be seen that a single relatively shallow attenuation pole appears in the reflected waveform of this configuration as shown in FIG.

【0025】ここで、図6のグラフは、図2で示す構成
にあって、アース電極18を横寸法;X=1mm,縦寸
法;Y=1mmとし、該アース電極18の面積を1mm2
したものにあって、除去部xを形成しないで、その反射
波形を測定したものである。一方、図7は、上記と同様
の構成にあって、アース電極18の面積を10%減少させ
て、その反射波形を測定したものである。この構成にあ
っては、上述したように減衰極α,βが二つ発生して、
図6の除去部xがない場合に比して、減衰量が大きくな
る。このときの、その極間の周波数間隔g=50MHz
である。
Here, the graph of FIG. 6 has the configuration shown in FIG. 2 and the ground electrode 18 has a horizontal dimension; X = 1 mm, a vertical dimension; Y = 1 mm, and the area of the ground electrode 18 is 1 mm 2 . In this example, the reflection waveform was measured without forming the removed portion x. On the other hand, FIG. 7 shows a configuration similar to the above, in which the area of the ground electrode 18 is reduced by 10% and the reflection waveform is measured. In this configuration, two attenuation poles α and β are generated as described above,
The amount of attenuation is larger than in the case where there is no removal part x in FIG. At this time, the frequency interval between the poles g = 50 MHz
It is.

【0026】また、図8は、上記と同様の構成にあっ
て、アース電極18の面積を20%減少させたものであ
る。この構成にあっては、その極間の周波数間隔g=4
00MHzである。このように、該減衰極が離間するこ
とにより、さらに減衰量が大きくなることが解る。
FIG. 8 shows the same configuration as that described above, except that the area of the ground electrode 18 is reduced by 20%. In this configuration, the frequency interval between the poles g = 4
00 MHz. Thus, it can be seen that the distance between the attenuation poles further increases the amount of attenuation.

【0027】すなわち、除去部xの削除面積を大きくす
ればするほど、周波数間隔gが拡がることとなる。
That is, the larger the area of the removed portion x, the wider the frequency interval g.

【0028】このように、アース電極18に除去部xを
形成することによって、二つの減衰極を発生させること
ができると共に、該除去部xの面積を変えることによ
り、減衰量を調整して、減衰特性を変化させ得ることが
解る。
As described above, by forming the removed portion x on the ground electrode 18, two attenuation poles can be generated, and by changing the area of the removed portion x, the amount of attenuation can be adjusted. It can be seen that the attenuation characteristics can be changed.

【0029】このように、昼間部コンデンサC2 の電流
をトリミングすることによって、反射特性を最適に選ぶ
ことができる。
[0029] Thus, by trimming current daytime capacitor C 2, it is possible to choose the reflection characteristics optimally.

【0030】[0030]

【発明の効果】本発明は、スパイラルインダクタを備え
た絶縁基板に誘電薄膜を積層し、かつ夫々の表面に形成
される導電層により、コンデンサを誘電薄膜を介して形
成した構成のLCローパスフィルタにあって、所定の導
電層に形成した左右のコンデンサ電極の中間部のアース
電極を、部分的に削除することにより、反射特性を調整
するものであるから、後加工により、簡易に減衰量を調
整でき、最適な減衰特性のLCローパスフィルタを製造
することができる優れた効果がある。
The present invention relates to an LC low-pass filter having a structure in which a dielectric thin film is laminated on an insulating substrate having a spiral inductor, and a capacitor is formed by a conductive layer formed on each surface through the dielectric thin film. Since the reflection characteristics are adjusted by partially removing the ground electrode in the middle of the left and right capacitor electrodes formed on the predetermined conductive layer, the attenuation can be easily adjusted by post-processing. There is an excellent effect that an LC low-pass filter having optimum attenuation characteristics can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】LCローパスフィルタ1の絶縁基板2と誘電薄
膜4を分離して示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an insulating substrate 2 and a dielectric thin film 4 of an LC low-pass filter 1 separately.

【図2】LCローパスフィルタ1の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the LC low-pass filter 1. FIG.

【図3】誘電薄膜4の平面図である。FIG. 3 is a plan view of a dielectric thin film 4;

【図4】LCローパスフィルタ1の縦断側面図である。FIG. 4 is a vertical sectional side view of the LC low-pass filter 1.

【図5】アース電極18を除去した状態のLCローパス
フィルタ1の平面図である。
FIG. 5 is a plan view of the LC low-pass filter 1 with the ground electrode 18 removed.

【図6】アース電極18を除去しない場合のLCローパ
スフィルタの周波数特性図である。
FIG. 6 is a frequency characteristic diagram of the LC low-pass filter when the ground electrode 18 is not removed.

【図7】アース電極18を面積で10%除去した場合のL
Cローパスフィルタの周波数特性図である。
FIG. 7 shows the L when the ground electrode 18 is removed by 10% in area.
It is a frequency characteristic figure of a C low pass filter.

【図8】アース電極18を面積で20%除去した場合のL
Cローパスフィルタの周波数特性図である。
FIG. 8 shows a case where the earth electrode 18 is removed by 20% in area.
It is a frequency characteristic figure of a C low pass filter.

【図9】等価回路図である。FIG. 9 is an equivalent circuit diagram.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 LCローパスフィルタ 2 絶縁基板 3 第一の導電層 4 誘電薄膜 8a,8b,8c アース電極 10 第二の導電層 16a,16b コンデンサ電極 18 アース電極 L1 ,L2 インダクタ C1 ,C2 ,C3 コンデンサ x 除去部1 LC low-pass filter 2 insulating substrate 3 first conductive layer 4 dielectric film 8a, 8b, 8c ground electrode 10 the second conductive layer 16a, 16b capacitor electrodes 18 grounded electrodes L 1, L 2 inductor C 1, C 2, C 3 capacitor x removal part

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】絶縁基板上に第一の導電層を形成し、さら
に、該絶縁基板上に誘電薄膜を積層して、その上面に第
二の導電層を形成してなり、その積層構造の半面部をコ
ンデンサ形成領域とし、他半面部をインダクタ形成領域
とし、前記インダクタ形成領域にあっては、一方の導電
層に、中心に向けて巻回したスパイラルインダクタを二
つ並成し、前記コンデンサ形成領域にあっては、一方の
導電層の、その中間部に、中間コンデンサの電極を形成
して、両スパイラルインダクタの外側巻回部と接続する
と共に、該コンデンサ電極の両側にアース電極を形成
し、さらに、他方の導電層の、その両側部に、入力側
と、出力側のコンデンサの電極を夫々形成し、かつ該電
極から、二つのスパイラルインダクタの中心の直上位置
まで、接続路を延出すると共に、他方の導電層の、両コ
ンデンサ電極の中間部に、アース電極を形成し、さら
に、前記誘電薄膜に形成した導通孔を介して、前記接続
路の延出端と、スパイラルインダクタの中心とを電気的
に接続するようにし、これにより、前記誘電薄膜を介し
てコンデンサ電極と、アース電極を対峙させて、入力側
コンデンサ,中間コンデンサ及び出力側コンデンサを並
列に形成して一端をアース接続し、各コンデンサの他端
間に夫々スパイラルインダクタを位置させて、両スパイ
ラルインダクタを直列接続するようにして構成したLC
ローパスフィルタにおいて、 前記他方の導電層の、両コンデンサ電極の中間部に形成
されたアース電極を、該電極の縁部から部分的に削除す
るようにしたことを特徴とするLCローパスフィルタの
反射特性調整方法。
A first conductive layer is formed on an insulating substrate, a dielectric thin film is further laminated on the insulating substrate, and a second conductive layer is formed on an upper surface thereof. The half surface portion is a capacitor formation region, the other half surface portion is an inductor formation region, and in the inductor formation region, two spiral inductors wound toward the center are arranged in parallel on one conductive layer, and the capacitor is formed. In the formation region, an electrode of an intermediate capacitor is formed in an intermediate portion of one of the conductive layers, connected to outer winding portions of both spiral inductors, and ground electrodes are formed on both sides of the capacitor electrode. Further, input and output capacitor electrodes are formed on both sides of the other conductive layer, respectively, and the connection path extends from the electrodes to a position immediately above the centers of the two spiral inductors. put out At the same time, an earth electrode is formed on the other conductive layer at an intermediate portion between the two capacitor electrodes, and further, through a conduction hole formed in the dielectric thin film, an extending end of the connection path and a center of the spiral inductor. Are electrically connected to each other, whereby the capacitor electrode and the ground electrode are opposed to each other via the dielectric thin film, and an input capacitor, an intermediate capacitor, and an output capacitor are formed in parallel, and one end is grounded. An LC in which the spiral inductors are respectively positioned between the other ends of the capacitors and both spiral inductors are connected in series.
In the low-pass filter, a reflection characteristic of the LC low-pass filter is characterized in that an earth electrode formed at an intermediate portion between both capacitor electrodes of the other conductive layer is partially removed from an edge of the electrode. Adjustment method.
【請求項2】アース電極の削除面積を、30%以内の範
囲で削除するようにしたことを特徴とする請求項1記載
のLCローパスフィルタの反射特性調整方法。
2. The method for adjusting the reflection characteristic of an LC low-pass filter according to claim 1, wherein the removal area of the ground electrode is removed within a range of 30% or less.
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