JPH10150126A - Stiffener - Google Patents

Stiffener

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JPH10150126A
JPH10150126A JP30951796A JP30951796A JPH10150126A JP H10150126 A JPH10150126 A JP H10150126A JP 30951796 A JP30951796 A JP 30951796A JP 30951796 A JP30951796 A JP 30951796A JP H10150126 A JPH10150126 A JP H10150126A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stiffener
sealing resin
adhesion
resin
improving
Prior art date
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Pending
Application number
JP30951796A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Hirayama
浩士 平山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Mining Co Ltd filed Critical Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority to JP30951796A priority Critical patent/JPH10150126A/en
Publication of JPH10150126A publication Critical patent/JPH10150126A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To increase the adhesive strength between a stiffener and sealing resin by increasing anchor effect and contact area by a method wherein the sealing resin is infiltrated into microscopic rugged parts and recessed parts provided on the stiffener. SOLUTION: In a stiffener to be used to a semiconductor package in which a resin film, etc., is used as a substrate, at least the part where the stiffener comes in contact with sealing resin has the structure which improves adhesive property. To be concrete, the surface of the above-mentioned part is roughened using a lasting method and an etching method, etc., a circular-shaped, square- shaped or astral-shaped recessed part is formed on the surface of the above- mentioned part, and a slit-like aperture part and a through hole, etc., are formed on the above-mentioned part.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置等の電子
デバイス用支持板、特に半導体チップやその他の電子部
品を搭載する基材として薄型プラスチック、TABテー
プ、FPC等を使用した半導体パッケージ用の支持用金
属補強板であるスティフィナーに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a support plate for an electronic device such as a semiconductor device, and more particularly to a support for a semiconductor package using a thin plastic, TAB tape, FPC or the like as a base material on which a semiconductor chip or other electronic parts are mounted. Stiffener, which is a metal reinforcing plate for stiffeners.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体装置等の電子デバイスにおいて
は、それらの電子デバイス自体、もしくはそれらを組み
つける各種電子機器の小型化、薄型化あるいは軽量化を
計るために、フレキシブル基板やTAB実装式薄型パッ
ケージの基材としてテープ状その他適宜形状のポリイミ
ド等よりなる樹脂フィルムが使用されている。これらの
樹脂フィルムは一般に軟質のものが用いられ、該フィル
ム上に半導体チップやその他の電子部品を搭載した場合
には、それらを支持するのに十分な強度が得られなかっ
た。
2. Description of the Related Art In an electronic device such as a semiconductor device, a flexible substrate or a TAB mounting type thin package is used in order to reduce the size, thickness, or weight of the electronic device itself or various electronic devices in which the device is assembled. As a base material, a resin film made of polyimide or the like having a tape shape or other suitable shape is used. These resin films are generally soft, and when a semiconductor chip or other electronic components are mounted on the film, sufficient strength to support them has not been obtained.

【0003】また、上記のような樹脂フィルムを用いた
電子デバイスを、各種電子機器等に組みつけるに当たっ
ては、それらのここの電子デバイスをホルダ等で保持し
て搬送したり、組み付ける等のハンドリング操作が困難
であり、従来は例えば長尺なテープ状の樹脂フィルム上
に多数の電子デバイスを連続的に実装してリール状に巻
き取った状態でハンドリングしたり、あるいは上記のよ
うに連続的に実装したものを1枚づつ切り離してプラス
チック製のキャリア等に保持してハンドリングするよう
にしている。
When assembling an electronic device using the above-described resin film into various electronic devices, handling operations such as holding and transporting the electronic device here, assembling, etc. Conventionally, for example, a large number of electronic devices are continuously mounted on a long tape-shaped resin film and handled in a state of being wound up in a reel shape, or continuously mounted as described above. The pieces are separated one by one and held in a plastic carrier or the like for handling.

【0004】ところが、上記のようにリール状に巻き取
ったものは、巻き癖がついて反りやカールが発生し、そ
れを無理に戻すと、変形や亀裂が生じる等のおそれがあ
る。また、後者のようにプラスチック性のキャリア等で
保持する場合には、その着脱操作が面倒で非能率的であ
る等の問題がある。
[0004] However, the reel wound as described above has a curl due to a curl, and if it is forcibly returned, there is a possibility that deformation or cracks may occur. Further, in the case of holding with a plastic carrier or the like as in the latter case, there is a problem that the attaching / detaching operation is troublesome and inefficient.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明者はこのような
問題点を解決すべくその略中央部に半導体チップ等の電
子部品の収容部を形成し、その支持板本体の少なくとも
片面に上記の樹脂フィルム等よりなる基材に接合が可能
な耐熱性接着剤層を設けたスティフィナーを提案してき
ている。たしかに、このスティフィナーを用いれば、軟
質の樹脂フィルム等よりなる基材を補強でき、基材の反
りやカールの発生の防止が可能となる。
In order to solve such a problem, the present inventor has formed an accommodating portion for an electronic component such as a semiconductor chip at a substantially central portion thereof, and provided at least one surface of the support plate main body with the accommodating portion. There has been proposed a stiffener in which a heat-resistant adhesive layer that can be joined to a substrate made of a resin film or the like is provided. Certainly, the use of the stiffener can reinforce a substrate made of a soft resin film or the like, and can prevent the substrate from warping or curling.

【0006】ところで、従来のスティフィナーは半導体
パッケージの平坦度を必須要件として設計されており、
スティフィナーの表面も平滑なものとなっていた。この
結果、半導体装置を組み立て時のモールド樹脂やポッテ
ィング樹脂を用いた樹脂封止において、封止用樹脂とス
ティフィナーとの密着性に難があり、半導体信頼試験時
に水分が半導体装置内に侵入するといった問題や、パッ
ケージせん断強度が不足するなどの問題が発生してい
た。
Incidentally, the conventional stiffener is designed with the flatness of the semiconductor package as an essential requirement.
The surface of the stiffener was also smooth. As a result, in resin sealing using a mold resin or a potting resin at the time of assembling the semiconductor device, there is difficulty in adhesion between the sealing resin and the stiffener, and moisture enters the semiconductor device during a semiconductor reliability test. And the problem of insufficient package shear strength.

【0007】本発明は上記状況よりなされたものであ
り、上記欠点のないスティフィナーの提供を課題とす
る。
[0007] The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a stiffener free of the above-mentioned disadvantages.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明のスティフィナーは、樹脂フィルム等を基材として使
用する半導体パッケージ用のスティフィナーにおいて、
少なくとも、スティフィナーが封止樹脂と接触する部分
に密着性を向上させる構造を有したものである。
According to the present invention, there is provided a stiffener for a semiconductor package using a resin film or the like as a base material.
At least the structure in which the stiffener is in contact with the sealing resin has a structure for improving the adhesion.

【0009】具体的には、ブラスト法、エッチング法、
黒化処理法などにより当該表面が粗化されたもの、ある
いは当該表面に丸形、三角形、多角形、星形などの形状
の凹部を有するもの、あるいは当該表面に予めエポキシ
樹脂層、フッ素樹脂層などがもうけられているもの、当
該部位にスリット状開口部、スルーホールなどが形成さ
れたものなどである。
Specifically, blasting, etching,
The surface is roughened by a blackening method or the like, or the surface has a concave portion such as a circle, a triangle, a polygon, or a star, or an epoxy resin layer or a fluororesin layer is formed on the surface in advance. And the like, a slit-shaped opening, a through hole, and the like are formed in the relevant portion.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】スティフィナーを本発明の具体的
例示の一つであるブラスト法、エッチング法、黒化処理
法などにより当該表面が粗化されたものとするのは、粗
化された表面に封止樹脂が入り込み、アンカー効果によ
り密着性が増加されるようにしたものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A stiffener whose surface is roughened by a blast method, an etching method, a blackening method or the like, which is one of specific examples of the present invention, is that the roughened surface is roughened. The sealing resin enters the surface, and the adhesion is increased by the anchor effect.

【0011】また、別の例示である当該表面に丸形、角
形、星形などの形状の凹部を有するものとするのは、こ
れらの凹部に封止樹脂を回り込ませ、封止樹脂とスティ
フィナーとの接触面積を増加させ、密着性を増加させる
ものである。
[0011] In another example, the surface is provided with a concave portion having a round shape, a square shape, a star shape or the like because the sealing resin is wrapped around these concave portions, and the sealing resin and the stiffener are formed. To increase the contact area and the adhesion.

【0012】また、別の例示である当該表面に予めエポ
キシ樹脂層、フッ素樹脂層などがもうけられているもの
を用いるのは、これら樹脂層とスティフィナーとの密着
強度、樹脂層と封止樹脂との密着強度が封止樹脂とステ
ィフィナーとのそれよりも大きいことを利用するもので
ある。
[0012] In another example, the use of an epoxy resin layer, a fluororesin layer, or the like, which is provided on the surface in advance, is due to the adhesive strength between the resin layer and the stiffener, the resin layer and the sealing resin. This is based on the fact that the adhesive strength between the sealing resin and the stiffener is greater than that between the sealing resin and the stiffener.

【0013】また、スティフィナーの当該部位にスリッ
ト状開口部、スルーホールなどを形成したものを用いる
のは、スリット状開口部やスルーホール内に封止樹脂が
充填されることによりスティフィナーと封止樹脂との接
合を強固ならしめようとするものである。
The use of a stiffener in which a slit-shaped opening, a through-hole or the like is formed in the relevant portion is used because sealing resin is filled in the slit-shaped opening or the through-hole. It is intended to strengthen the bonding with the resin.

【0014】上記例示のごとく本発明のスティフィナー
は、スティフィナー自体の平板性を損なうものではない
ため、半導体装置の組み立てなさいしても支障はない。
また、量産性を損なうこともない。
As described above, the stiffener of the present invention does not impair the flatness of the stiffener itself, so that there is no problem in assembling the semiconductor device.
In addition, there is no loss of mass productivity.

【0015】[0015]

【実施例】 (実施例1)直径60〜90μmのアルミナ粒子500
gを水1リットルに懸濁させ、研磨用スラリーを作成した。
このスラリーを幅60mm、長さ200mm、厚さ0.
3mmの銅合金材の両面に圧力1.25Kg/cm2
1秒間吹き当て、銅合金材の両面にブラスト処理を施し
た。
EXAMPLES (Example 1) Alumina particles 500 having a diameter of 60 to 90 μm
g was suspended in 1 liter of water to prepare a polishing slurry.
This slurry is 60 mm wide, 200 mm long and 0.1 mm thick.
Blowing was performed on both surfaces of the copper alloy material at a pressure of 1.25 kg / cm 2 for 1 second on both surfaces of the 3 mm copper alloy material.

【0016】次にブラスト処理した銅合金材の片面に厚
さ0.04mmの熱硬化型接着テープをラミネートし、
その後所定の金型を用いてスティフィナーを作成した。
Next, a thermosetting adhesive tape having a thickness of 0.04 mm is laminated on one side of the blasted copper alloy material,
Thereafter, a stiffener was prepared using a predetermined mold.

【0017】このスティフィナーを用いてテープBGA
を500個作成した。この500個のテープBGAの下
記信頼性試験を行ったが、すべて合格し、封止樹脂とス
ティフィナーとの密着強度が良好であることがわかっ
た。
Using this stiffener, a tape BGA
Were created. The following reliability tests were performed on the 500 tape BGAs, and all passed, and it was found that the adhesion strength between the sealing resin and the stiffener was good.

【0018】 (実施例2)幅60mm、長さ200mm、厚さ0.3
mmの銅合金材にプレス圧5Kg/cm2で金型を押し
当て、片面に深さ0.1mm、各辺5mmの窪みをステ
ィフィナー本体部、中央開口部沿いに、各辺当たり2個
づつ作成した。
[0018] (Example 2) Width 60 mm, length 200 mm, thickness 0.3
pressing a mold at a press pressure of 5Kg / cm 2 in the copper alloy material of the mm, depth 0.1mm on one side, Sutifina body portion a recess of each side 5 mm, along the central opening, two at a time per each side Created.

【0019】次に窪みが作成されていない面に厚さ0.
04mmの熱硬化型接着テープをラミネートし、その後
所定の金型を用いてスティフィナーを作成した。
Next, on the surface where no depression is formed, a thickness of 0.
A thermosetting adhesive tape of 04 mm was laminated, and then a stiffener was formed using a predetermined mold.

【0020】このスティフィナーを用いてテープBGA
を500個作成した。この500個のテープBGAの信
頼性試験を実施例1と同様にして行った。
Using this stiffener, a tape BGA
Were created. The reliability test of the 500 tape BGAs was performed in the same manner as in Example 1.

【0021】その結果、すべてのテープBGAが合格
し、封止樹脂とスティフィナーとの密着強度が良好であ
ることがわかった。
As a result, all the tapes BGA passed, and it was found that the adhesive strength between the sealing resin and the stiffener was good.

【0022】(実施例3)幅60mm、長さ200m
m、厚さ0.3mmの銅合金材の片面にエボキシ樹脂を
塗布し、乾燥させた後、エボキシ樹脂層を設けていない
面に厚さ0.04mmの熱硬化型接着テープをラミネー
トし、その後所定の金型を用いてスティフィナーを作成
した。
(Embodiment 3) Width 60 mm, length 200 m
m, an epoxy resin is applied to one side of a copper alloy material having a thickness of 0.3 mm, and after drying, a thermosetting adhesive tape having a thickness of 0.04 mm is laminated on a surface not provided with an epoxy resin layer, and then A stiffener was prepared using a predetermined mold.

【0023】このスティフィナーを用いてテープBGA
を500個作成した。この500個のテープBGAの信
頼性試験を実施例1と同様にして行った。
A tape BGA using this stiffener
Were created. The reliability test of the 500 tape BGAs was performed in the same manner as in Example 1.

【0024】その結果、すべてのテープBGAが合格
し、封止樹脂とスティフィナーとの密着強度が良好であ
ることがわかった。
As a result, all the tapes BGA passed, and it was found that the adhesive strength between the sealing resin and the stiffener was good.

【0025】(実施例4)幅60mm、長さ200m
m、厚さ0.3mmの銅合金材の片面に厚さ0.04m
mの熱硬化型接着テープをラミネートし、その後所定の
金型を用いてスティフィナーを作成した。この際、ステ
ィフィナーの支持板本体部に、中央の半導体収納部の各
辺と平行になるように幅1mmのスリット状開口部を各
4辺に沿って2本づつ3mm間隔で設けた。
(Embodiment 4) Width 60 mm, length 200 m
m, 0.04 m thickness on one side of 0.3 mm thick copper alloy material
m of the thermosetting adhesive tape was laminated, and then a stiffener was prepared using a predetermined mold. At this time, slit-shaped openings having a width of 1 mm were provided in the support plate body of the stiffener at intervals of 3 mm, two by two along each of the four sides, so as to be parallel to the respective sides of the central semiconductor housing portion.

【0026】このスティフィナーを用いてテープBGA
を500個作成した。この500個のテープBGAの信
頼性試験を実施例1と同様にして行った。
Using this stiffener, a tape BGA
Were created. The reliability test of the 500 tape BGAs was performed in the same manner as in Example 1.

【0027】その結果、すべてのテープBGAが合格
し、封止樹脂とスティフィナーとの密着強度が良好であ
ることがわかった。
As a result, all the tapes BGA passed, and it was found that the adhesive strength between the sealing resin and the stiffener was good.

【0028】(実施例5)幅60mm、長さ200m
m、厚さ0.3mmの銅合金材を打ち抜き加工し、脱脂
した後、チタン製の専用治具にスティフィナー同士が接
触しないようにセットした。
(Embodiment 5) Width 60 mm, length 200 m
After punching and degreased a copper alloy material having a thickness of 0.3 mm and a thickness of 0.3 mm, the stiffeners were set in a titanium-dedicated jig so that the stiffeners did not contact each other.

【0029】この治具ごと亜塩素酸ナトリウムを主成分
とするpH13.4、温度95℃の黒化処理液中に2分
間浸せきした。その後、水洗し、乾燥し、この片面に厚
さ0.04mmの熱硬化型接着テープをラミネートして
スティフィナーを作成した。
The jig was immersed in a blackening treatment solution containing sodium chlorite as a main component at a pH of 13.4 and a temperature of 95 ° C. for 2 minutes. Thereafter, it was washed with water and dried, and a thermosetting adhesive tape having a thickness of 0.04 mm was laminated on one surface thereof to form a stiffener.

【0030】このスティフィナーを用いてテープBGA
を500個作成した。この500個のテープBGAの信
頼性試験を実施例1と同様にして行った。
Using this stiffener, a tape BGA
Were created. The reliability test of the 500 tape BGAs was performed in the same manner as in Example 1.

【0031】その結果、すべてのテープBGAが合格
し、封止樹脂とスティフィナーとの密着強度が良好であ
ることがわかった。
As a result, all the tapes BGA passed, and it was found that the adhesive strength between the sealing resin and the stiffener was good.

【0032】(従来例)ブラスト処理をしない以外は実
施例と同様にして500個のテープBGAを作成した。
この500個を用いて実施例1と同様にして信頼性試験
を行った。
(Conventional example) 500 tape BGAs were prepared in the same manner as in the embodiment except that the blasting process was not performed.
A reliability test was performed using the 500 pieces in the same manner as in Example 1.

【0033】500個中150個が不良であった。Of the 500 pieces, 150 pieces were defective.

【0034】[0034]

【発明の効果】本発明の方法によれば、スティフィナー
にもうけられた微細な凹凸や窪みなどに封入樹脂が入り
込み、アンカー効果や接触面積の増加などによりスティ
フィナーと封止樹脂との密着強度が上昇する。また、本
発明のスティフィナーは従来のものと比較しても量産性
に劣ることはない。よって、本発明のスティフィナーを
用いれば安価に、かつ簡便に信頼性の高い半導体装置を
作成することができる。
According to the method of the present invention, the sealing resin penetrates into fine irregularities and depressions formed in the stiffener, and the adhesion strength between the stiffener and the sealing resin due to an increase in the anchor effect and the contact area. Rises. Further, the stiffener of the present invention is not inferior in mass productivity as compared with the conventional one. Therefore, by using the stiffener of the present invention, a highly reliable semiconductor device can be easily manufactured at low cost.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 樹脂フィルム等を基材として使用する
半導体パッケージ用のスティフィナーにおいて、少なく
とも、スティフィナーが封止樹脂と接触する部分に密着
性を向上させる構造を有したものであることを特徴とす
るスティフィナー。
1. A stiffener for a semiconductor package using a resin film or the like as a base material, wherein the stiffener has a structure for improving adhesion at least at a portion where the stiffener comes into contact with a sealing resin. Stiffener.
【請求項2】 密着性を向上させる構造がブラスト
法、エッチング法、黒化処理法などにより表面粗化され
たものである請求項1記載のスティフィナー。
2. The stiffener according to claim 1, wherein the structure for improving the adhesion is a surface roughened by a blast method, an etching method, a blackening treatment method or the like.
【請求項3】 密着性を向上させる構造が、当該表面
に設けられた丸形、三角形、多角形、星形などのいずれ
かの形状の凹部である請求項1または2記載のスティフ
ィナー。
3. The stiffener according to claim 1, wherein the structure for improving the adhesion is a concave portion having any one of a round shape, a triangular shape, a polygonal shape, and a star shape provided on the surface.
【請求項4】 密着性を向上させる構造が当該表面に
設けられたエボキシ樹脂層、フッ素樹脂層のいずれかで
ある請求項1〜3記載のいずれかのスティフィナー。
4. The stiffener according to claim 1, wherein the structure for improving the adhesion is one of an ethoxy resin layer and a fluororesin layer provided on the surface.
【請求項5】 密着性を向上させる構造が支持板本体
に設けられたスリット状開口部、スルーホールなどのい
ずれかである請求項1〜4記載のいずれかのスティフィ
ナー。
5. The stiffener according to claim 1, wherein the structure for improving the adhesion is one of a slit-shaped opening, a through hole, and the like provided in the support plate body.
JP30951796A 1996-11-20 1996-11-20 Stiffener Pending JPH10150126A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004017441A1 (en) * 2002-08-17 2004-02-26 Cambridge Display Technology Limited Organic optoelectronic device encapsulation package

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