JPH10142587A - プラズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル・サブアッセンブリ及びその製造方法 - Google Patents
プラズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル・サブアッセンブリ及びその製造方法Info
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- JPH10142587A JPH10142587A JP9260298A JP26029897A JPH10142587A JP H10142587 A JPH10142587 A JP H10142587A JP 9260298 A JP9260298 A JP 9260298A JP 26029897 A JP26029897 A JP 26029897A JP H10142587 A JPH10142587 A JP H10142587A
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- H01J17/48—Cold-cathode tubes with more than one cathode or anode, e.g. sequence-discharge tube, counting tube, dekatron
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
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- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/13334—Plasma addressed liquid crystal cells [PALC]
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- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＰＡＬＣ表示パネルの使用時間経過に伴って
ドーパント・ガスを補充することにより、ＰＡＬＣ表示
パネルの寿命にわたって、その表示品質を維持する。 【解決手段】 チャンネル部材４の相互接続されたチャ
ンネル２０の配列をカバー・シート６で覆い、密閉され
た空間を形成する。この密閉された空間内にイオン化可
能なガス及び水素の混合気を封入する。また、この空間
と結合した位置に、約３３ｗｔ％のＺｒ、約３３ｗｔ％
のＦｅ及び約３３ｗｔ％のＶを含む合金３６を配置さ
せ、この合金から水素を補充する。
ドーパント・ガスを補充することにより、ＰＡＬＣ表示
パネルの寿命にわたって、その表示品質を維持する。 【解決手段】 チャンネル部材４の相互接続されたチャ
ンネル２０の配列をカバー・シート６で覆い、密閉され
た空間を形成する。この密閉された空間内にイオン化可
能なガス及び水素の混合気を封入する。また、この空間
と結合した位置に、約３３ｗｔ％のＺｒ、約３３ｗｔ％
のＦｅ及び約３３ｗｔ％のＶを含む合金３６を配置さ
せ、この合金から水素を補充する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水素の一体化ガス
源を有するプラズマ・アドレス液晶（ＰＡＬＣ）パネル
用チャンバー・サブアッセンブリ及びその製造方法に関
する。
源を有するプラズマ・アドレス液晶（ＰＡＬＣ）パネル
用チャンバー・サブアッセンブリ及びその製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】アメリカ合衆国特許第５０７７５５３号
（日本特許第２６０１７１３号に対応）は、データ蓄積
要素をアドレス指定する装置を記載している。このアメ
リカ合衆国特許第５０７７５５３号に示された装置を実
際に実現したものを図４に示す。
（日本特許第２６０１７１３号に対応）は、データ蓄積
要素をアドレス指定する装置を記載している。このアメ
リカ合衆国特許第５０７７５５３号に示された装置を実
際に実現したものを図４に示す。
【０００３】図４に示すＰＡＬＣ表示パネル（ＰＡＬＣ
表示装置）は、下側から順番に、偏光子２と、チャンネ
ル基板４と、カバー・シート６（マイクロシートとして
一般的に知られている）と、電気光学材料層１０と、平
行透明データ駆動電極の配列（図４の場合、１２で示す
１個のみのデータ駆動電極が見える）と、データ駆動電
極を支持する上側基板１４と、上側偏光子１６とを具え
ている。チャンネル基板４は、典型的には、ガラスで作
られており、その上側主面に多数の平行チャンネル２０
が形成されている。リブ２２で分離されたチャンネル２
０には、ヘリウムなどのイオン化可能なガスが充填され
ている。陽極２４及び陰極２６が、チャンネル２０の各
々に設けられている。チャンネル２０は、データ駆動電
極と直交しており、（パネルから垂直に見た場合）デー
タ駆動電極がチャンネルと交差する領域が、個別のパネ
ル要素２８を形成する。各パネル要素は、層１０と、上
側偏光子１６及び下側偏光子２とを含んでいるとみなせ
る。カラー表示パネルの場合、パネル要素は、層１０及
び上側基板１４の間にカラー・フィルタ（図示せず）を
含んでいる。パネル要素の境界となる表示パネルの上側
面の領域は、表示パネルの単一ピクセル３０を構成す
る。なお、参照番号３２は、観察者の視点を示す。
表示装置）は、下側から順番に、偏光子２と、チャンネ
ル基板４と、カバー・シート６（マイクロシートとして
一般的に知られている）と、電気光学材料層１０と、平
行透明データ駆動電極の配列（図４の場合、１２で示す
１個のみのデータ駆動電極が見える）と、データ駆動電
極を支持する上側基板１４と、上側偏光子１６とを具え
ている。チャンネル基板４は、典型的には、ガラスで作
られており、その上側主面に多数の平行チャンネル２０
が形成されている。リブ２２で分離されたチャンネル２
０には、ヘリウムなどのイオン化可能なガスが充填され
ている。陽極２４及び陰極２６が、チャンネル２０の各
々に設けられている。チャンネル２０は、データ駆動電
極と直交しており、（パネルから垂直に見た場合）デー
タ駆動電極がチャンネルと交差する領域が、個別のパネ
ル要素２８を形成する。各パネル要素は、層１０と、上
側偏光子１６及び下側偏光子２とを含んでいるとみなせ
る。カラー表示パネルの場合、パネル要素は、層１０及
び上側基板１４の間にカラー・フィルタ（図示せず）を
含んでいる。パネル要素の境界となる表示パネルの上側
面の領域は、表示パネルの単一ピクセル３０を構成す
る。なお、参照番号３２は、観察者の視点を示す。
【０００４】これらチャンネルの１つの内の陽極が接地
に接続され、適切な負の電圧がそのチャンネル内の陰極
に供給されると、そのチャンネル内のガスがプラズマを
形成し、このプラズマがカバー・シート６の下側面に導
電路を形成する。データ駆動電極が接地電位ならば、チ
ャンネル及びデータ駆動電極が交差するパネル要素にお
ける電気光学材料の体積のある要素（ボリューム要素）
には実質的な電界がなく、パネル要素はオフとみなせ
る。これとは反対に、データ駆動電極が接地と実質的に
異なる電位ならば、電気光学材料のボリューム要素内に
実質的な電界が生じ、パネル要素はオンとみなせる。
に接続され、適切な負の電圧がそのチャンネル内の陰極
に供給されると、そのチャンネル内のガスがプラズマを
形成し、このプラズマがカバー・シート６の下側面に導
電路を形成する。データ駆動電極が接地電位ならば、チ
ャンネル及びデータ駆動電極が交差するパネル要素にお
ける電気光学材料の体積のある要素（ボリューム要素）
には実質的な電界がなく、パネル要素はオフとみなせ
る。これとは反対に、データ駆動電極が接地と実質的に
異なる電位ならば、電気光学材料のボリューム要素内に
実質的な電界が生じ、パネル要素はオンとみなせる。
【０００５】以下の説明においては、本発明の要旨を制
限するものではないが、下側偏光子２は、線形偏光子で
あり、その偏光面は、基準面に対して０度の如く任意に
でき、上側偏光子１６は、９０度の偏光面を有する線形
偏光子であり、電気光学材料は、そこを通過する線形に
偏光された光の偏光面を液晶材料の電界の関数である角
度だけ回転させるツイスト・ネマティク液晶材料である
と仮定する。パネル要素がオフのとき、回転角は９０度
であり、パネル要素がオンのとき、回転角はゼロであ
る。
限するものではないが、下側偏光子２は、線形偏光子で
あり、その偏光面は、基準面に対して０度の如く任意に
でき、上側偏光子１６は、９０度の偏光面を有する線形
偏光子であり、電気光学材料は、そこを通過する線形に
偏光された光の偏光面を液晶材料の電界の関数である角
度だけ回転させるツイスト・ネマティク液晶材料である
と仮定する。パネル要素がオフのとき、回転角は９０度
であり、パネル要素がオンのとき、回転角はゼロであ
る。
【０００６】偏光されない白色光を放射する広範な光源
（図示せず）により、このパネルを下側から照明する。
パネルを均一に照明するために、散乱面を有する背面ガ
ラス・ディフーザー（すりガラス）１８を光源及びパネ
ルの間に設けてもよい。光源から所定パネル要素に入射
した光は、下側偏光子２により０度に線形偏光され、チ
ャンネル基板４、チャンネル２０、カバー・シート６、
液晶材料のボリューム要素を順次通過して、上側偏光子
１６及び観察者３２に向かう。パネル要素がオフなら
ば、液晶材料のボリューム要素を通過する線形に偏光さ
れた光の偏光面は９０度回転するので、上側偏光子１６
への入射光の偏光面は９０度である。この光は、上側偏
光子１６を通過し、ピクセルが照明される。一方、パネ
ル要素がオンならば、線形に偏光された光の偏光面は、
液晶材料のボリューム要素の通過では変化しない。上側
偏光子１６の入射光の偏光面は０度なので、この光は、
上側偏光子１６により阻止され、ピクセルは暗い。液晶
材料内の電界が、パネル要素のオフ及びオンに関連した
値の中間ならば、この光は、上側偏光子１６を通過する
が、その輝度は電界により決まり、グレー・スケール
（中間調）を表示できる。
（図示せず）により、このパネルを下側から照明する。
パネルを均一に照明するために、散乱面を有する背面ガ
ラス・ディフーザー（すりガラス）１８を光源及びパネ
ルの間に設けてもよい。光源から所定パネル要素に入射
した光は、下側偏光子２により０度に線形偏光され、チ
ャンネル基板４、チャンネル２０、カバー・シート６、
液晶材料のボリューム要素を順次通過して、上側偏光子
１６及び観察者３２に向かう。パネル要素がオフなら
ば、液晶材料のボリューム要素を通過する線形に偏光さ
れた光の偏光面は９０度回転するので、上側偏光子１６
への入射光の偏光面は９０度である。この光は、上側偏
光子１６を通過し、ピクセルが照明される。一方、パネ
ル要素がオンならば、線形に偏光された光の偏光面は、
液晶材料のボリューム要素の通過では変化しない。上側
偏光子１６の入射光の偏光面は０度なので、この光は、
上側偏光子１６により阻止され、ピクセルは暗い。液晶
材料内の電界が、パネル要素のオフ及びオンに関連した
値の中間ならば、この光は、上側偏光子１６を通過する
が、その輝度は電界により決まり、グレー・スケール
（中間調）を表示できる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ＮＴＳＣビデオ信号を
表示するために、アメリカ合衆国特許第５０７７５５３
号に記載のＰＡＬＣ表示パネルをラスタ走査表示パネル
として用いる場合、このパネルでは、チャンネルが水平
方向に延び、データ駆動電極が垂直方向に延びる。ビデ
オ信号のフレームの第１アクティブ・ラインをサンプリ
ングする。負方向ストローブ・パルスを第１チャンネル
内の陰極に供給して、この第１チャンネル内にプラズマ
を発生させ、各サンプル値で決まる電圧レベルにデータ
駆動電極を駆動する。第１チャンネルに沿った各パネル
要素において、このパネル要素の状態を確立する電界
は、データ駆動電極とカバー・シートの下面との間に生
じる。ストローブ・パルスを除去し、プラズマを消滅さ
せるが、この第１チャンネルがビデオ信号の次のフレー
ムで再びアドレス指定されるまで、電界は持続し、この
パネル要素の状態を維持する。フレームの残りのアクテ
ィブ・ラインと表示パネルの残りのチャンネルに対し
て、この動作シーケンスを繰り返えす。
表示するために、アメリカ合衆国特許第５０７７５５３
号に記載のＰＡＬＣ表示パネルをラスタ走査表示パネル
として用いる場合、このパネルでは、チャンネルが水平
方向に延び、データ駆動電極が垂直方向に延びる。ビデ
オ信号のフレームの第１アクティブ・ラインをサンプリ
ングする。負方向ストローブ・パルスを第１チャンネル
内の陰極に供給して、この第１チャンネル内にプラズマ
を発生させ、各サンプル値で決まる電圧レベルにデータ
駆動電極を駆動する。第１チャンネルに沿った各パネル
要素において、このパネル要素の状態を確立する電界
は、データ駆動電極とカバー・シートの下面との間に生
じる。ストローブ・パルスを除去し、プラズマを消滅さ
せるが、この第１チャンネルがビデオ信号の次のフレー
ムで再びアドレス指定されるまで、電界は持続し、この
パネル要素の状態を維持する。フレームの残りのアクテ
ィブ・ラインと表示パネルの残りのチャンネルに対し
て、この動作シーケンスを繰り返えす。
【０００８】第１チャンネル内に発生したプラズマは、
ストローブ・パルスを除去しても直ちに消滅しないが、
有限の期間にわたって減衰する。第１チャンネル内のプ
ラズマが完全に減衰する前に、ビデオ・データの次のラ
インの電圧がデータ駆動電極に供給されると、第１チャ
ンネルに沿ったパネル要素内に生じた電界が適切な値で
なく、これにより一般的には画像品質が損なわれる。し
たがって、ビデオの次のラインの電圧でデータ駆動電極
が駆動される前に、以前のストローブ・パルスに応答し
て発生したプラズマを完全に消滅させる必要がある。
ストローブ・パルスを除去しても直ちに消滅しないが、
有限の期間にわたって減衰する。第１チャンネル内のプ
ラズマが完全に減衰する前に、ビデオ・データの次のラ
インの電圧がデータ駆動電極に供給されると、第１チャ
ンネルに沿ったパネル要素内に生じた電界が適切な値で
なく、これにより一般的には画像品質が損なわれる。し
たがって、ビデオの次のラインの電圧でデータ駆動電極
が駆動される前に、以前のストローブ・パルスに応答し
て発生したプラズマを完全に消滅させる必要がある。
【０００９】アクティブな表示要素が蓄積した電圧が、
非アクティブなチャンネル内のガスがイオン化されない
ときに蓄積された電圧の少なくとも９０％ならば、プラ
ズマが完全に減衰（又は完全に消滅）したとみなせる。
非アクティブなチャンネル内のガスがイオン化されない
ときに蓄積された電圧の少なくとも９０％ならば、プラ
ズマが完全に減衰（又は完全に消滅）したとみなせる。
【００１０】アメリカ合衆国特許第５０７７５５３号に
記載された表示パネルを用いて、６０Ｈｚのフレーム・
レートでアドレス指定される４８０ラインで構成された
ビデオ信号を表示する場合、１つのチャンネル内のスト
ローブ・パルスを除去する時点と、表示の次のライン期
間中にデータ駆動電極を駆動する時点との間に経過する
時間は、約３０マイクロ秒であることが判る。したがっ
て、所定チャンネルに発生したプラズマは、ストローブ
・パルスを除去した後に、約３０マイクロ秒以内に減衰
しなければならない。
記載された表示パネルを用いて、６０Ｈｚのフレーム・
レートでアドレス指定される４８０ラインで構成された
ビデオ信号を表示する場合、１つのチャンネル内のスト
ローブ・パルスを除去する時点と、表示の次のライン期
間中にデータ駆動電極を駆動する時点との間に経過する
時間は、約３０マイクロ秒であることが判る。したがっ
て、所定チャンネルに発生したプラズマは、ストローブ
・パルスを除去した後に、約３０マイクロ秒以内に減衰
しなければならない。
【００１１】プラズマ・アドレス液晶表示パネルに用い
るガスとしては、ヘリウムが有利である。これは、ヘリ
ウムが不活性なので、プラズマ・チャンネル内の電極と
反応しないためである。また、ヘリウム・イオンは軽い
ので、スパッタリング損傷を考慮してもヘリウムは好ま
しい選択である。しかし、ＰＡＬＣ表示パネルにおいて
イオン化可能なガスとしてヘリウムを用いると、ヘリウ
ム・イオンと電子との再結合により、常に、ヘリウム原
子は、直ちに接地状態にならず、かなりの期間メタステ
ーブル（準安定）状態に維持されるという欠点がある。
準安定状態のヘリウム原子が、例えば、電子又は他のヘ
リウム原子との衝突からエネルギーを受けると、この準
安定状態のヘリウム原子が２次イオン化して、プラズマ
の完全な消滅が遅延する。
るガスとしては、ヘリウムが有利である。これは、ヘリ
ウムが不活性なので、プラズマ・チャンネル内の電極と
反応しないためである。また、ヘリウム・イオンは軽い
ので、スパッタリング損傷を考慮してもヘリウムは好ま
しい選択である。しかし、ＰＡＬＣ表示パネルにおいて
イオン化可能なガスとしてヘリウムを用いると、ヘリウ
ム・イオンと電子との再結合により、常に、ヘリウム原
子は、直ちに接地状態にならず、かなりの期間メタステ
ーブル（準安定）状態に維持されるという欠点がある。
準安定状態のヘリウム原子が、例えば、電子又は他のヘ
リウム原子との衝突からエネルギーを受けると、この準
安定状態のヘリウム原子が２次イオン化して、プラズマ
の完全な消滅が遅延する。
【００１２】ＰＡＬＣ表示パネル内の準安定ヘリウムが
減衰する１つのメカニズムは、チャンネルの壁との衝突
である。ＮＴＳＣ表示に適するプラズマ・アドレス液晶
表示パネルの場合、準安定ヘリウム原子がチャンネルの
壁と衝突し、充分なレート（速度）で接地状態に戻れる
ように、チャンネルの寸法を定める。なお、充分なレー
トとは、ストローブ・パルスを除去し後、３０マイクロ
秒以内にプラズマが完全に消滅したとみなせるレートで
ある。よって、準安定状態の存在は、ＮＴＳＣ信号で駆
動する際、プラズマ・アドレス液晶表示パネルの動作を
大幅に劣化させることにはならない。
減衰する１つのメカニズムは、チャンネルの壁との衝突
である。ＮＴＳＣ表示に適するプラズマ・アドレス液晶
表示パネルの場合、準安定ヘリウム原子がチャンネルの
壁と衝突し、充分なレート（速度）で接地状態に戻れる
ように、チャンネルの寸法を定める。なお、充分なレー
トとは、ストローブ・パルスを除去し後、３０マイクロ
秒以内にプラズマが完全に消滅したとみなせるレートで
ある。よって、準安定状態の存在は、ＮＴＳＣ信号で駆
動する際、プラズマ・アドレス液晶表示パネルの動作を
大幅に劣化させることにはならない。
【００１３】ＰＡＬＣ表示パネルを用いてＨＤＴＶ表示
を行う場合、ストローブ電極からパルスを除去した後に
約８〜１６マイクロ秒以内に、所定チャンネル内のプラ
ズマが確実に消滅するように、表示のライン数と、フレ
ームをリフレッシュする周波数とを定める。パネル内の
ガスとしてヘリウムを単独で用いると、準安定状態の存
在及び残留が、表示の視認性を損なう。
を行う場合、ストローブ電極からパルスを除去した後に
約８〜１６マイクロ秒以内に、所定チャンネル内のプラ
ズマが確実に消滅するように、表示のライン数と、フレ
ームをリフレッシュする周波数とを定める。パネル内の
ガスとしてヘリウムを単独で用いると、準安定状態の存
在及び残留が、表示の視認性を損なう。
【００１４】適切なドーパント・ガス（dopant gas：必
要な電気的特性を得るための不純物のガス）がパネル内
に存在すると、プラズマの消滅が加速されることが判っ
た。ドーパント・ガスが作用するメカニズムは、詳細に
は判っていないが、このドーパント・ガスが、形成され
た準安定状態の原子の数を減らし、及び／又は準安定状
態の原子の減衰を促進させると信じられる。いく種類か
のドーパント・ガスが評価されている。
要な電気的特性を得るための不純物のガス）がパネル内
に存在すると、プラズマの消滅が加速されることが判っ
た。ドーパント・ガスが作用するメカニズムは、詳細に
は判っていないが、このドーパント・ガスが、形成され
た準安定状態の原子の数を減らし、及び／又は準安定状
態の原子の減衰を促進させると信じられる。いく種類か
のドーパント・ガスが評価されている。
【００１５】水素は、プラズマの消滅を加速するのに効
果的なドーパント・ガスである。アメリカ合衆国仮特許
出願第６０／０２２００２号（特願平９−１６７５８９
号に対応）は、この点を記載している。水素イオンは軽
いので、陰極へのスパッタリング損傷が小さくなる。
果的なドーパント・ガスである。アメリカ合衆国仮特許
出願第６０／０２２００２号（特願平９−１６７５８９
号に対応）は、この点を記載している。水素イオンは軽
いので、陰極へのスパッタリング損傷が小さくなる。
【００１６】５０ヘクトパスカル（ｍＢ：ミリバール）
及び５００ヘクトパスカルの間の総チャンバー（空洞）
圧力にて、部分圧力で、濃度が約０．０１パーセントか
ら２０パーセントの範囲で充填されたヘリウム内に酸素
が存在すると、満足のいくＨＤＴＶ画像が表示されるこ
とが判った。よって、水素の部分圧力は、約０．００５
ヘクトパスカルから約１００ヘクトパスカルの間であ
る。
及び５００ヘクトパスカルの間の総チャンバー（空洞）
圧力にて、部分圧力で、濃度が約０．０１パーセントか
ら２０パーセントの範囲で充填されたヘリウム内に酸素
が存在すると、満足のいくＨＤＴＶ画像が表示されるこ
とが判った。よって、水素の部分圧力は、約０．００５
ヘクトパスカルから約１００ヘクトパスカルの間であ
る。
【００１７】ＨＤＴＶ表示パネルは、典型的には、１２
００個のチャンネルを有する。チャンネルの各々の長さ
が約４０ｃｍの場合、チャンネルの総容積は、約０．０
５リットルである。チャンネル内の総圧力が２００ヘク
トパスカルで、水素の部分圧力が２ヘクトパスカルの場
合、３００Ｋで存在する水素の量は、約０．７ｍＢリッ
トルである（１０００ｍＢリットルは、標準温度で、１
リットルを占める圧力でのガスの量である）。ドーパン
ト・ガスとして水素を用いることによりありうる欠点
は、水素イオンの反応性が高いため、電極材料との反応
により水素が消費されることである。１×１０-6ｍＢリ
ットル／時間／ｃｍ チャンネル長のレートで電極物質
と反応することにより、水素が消費されると判断され
る。かかるＨＤＴＶ表示パネル用の消費の最大レート
は、約５０×１０-3ｍＢリットル／時間であるので、
０．１ｍＢリットルが約２時間で消費される。よって、
パネルの視認性は、約２時間の動作後に、許容できない
ほど低下する。総圧力が２４０ヘクトパスカルまで上昇
し、水素の部分圧力が３６ヘクトパスカルまで上昇する
と、ヘリウムの部分圧力をほぼ同じに維持するために
は、水素の容量は約１．８ｍＢリットルであり、これは
約３６時間で消費される。
００個のチャンネルを有する。チャンネルの各々の長さ
が約４０ｃｍの場合、チャンネルの総容積は、約０．０
５リットルである。チャンネル内の総圧力が２００ヘク
トパスカルで、水素の部分圧力が２ヘクトパスカルの場
合、３００Ｋで存在する水素の量は、約０．７ｍＢリッ
トルである（１０００ｍＢリットルは、標準温度で、１
リットルを占める圧力でのガスの量である）。ドーパン
ト・ガスとして水素を用いることによりありうる欠点
は、水素イオンの反応性が高いため、電極材料との反応
により水素が消費されることである。１×１０-6ｍＢリ
ットル／時間／ｃｍ チャンネル長のレートで電極物質
と反応することにより、水素が消費されると判断され
る。かかるＨＤＴＶ表示パネル用の消費の最大レート
は、約５０×１０-3ｍＢリットル／時間であるので、
０．１ｍＢリットルが約２時間で消費される。よって、
パネルの視認性は、約２時間の動作後に、許容できない
ほど低下する。総圧力が２４０ヘクトパスカルまで上昇
し、水素の部分圧力が３６ヘクトパスカルまで上昇する
と、ヘリウムの部分圧力をほぼ同じに維持するために
は、水素の容量は約１．８ｍＢリットルであり、これは
約３６時間で消費される。
【００１８】市販のテレビジョン表示パネルにとって
は、一般に、表示品質が大幅に劣化することなく少なく
とも１００００時間（約１０年間の通常寿命に対応す
る）動作しなければならない。１００００時間以上の使
用にわたって水素の部分圧力を３６ヘクトパスカルに維
持するために、全部で５００ｍＢリットルの容量の水素
が必要となる。これは、約６０ｍｇの量、即ち、パネル
を３６ヘクトパスカルの部分圧力に変化するのに必要な
量の約２８０倍である。４０ｃｍでない長さのチャンネ
ルを有するパネルの場合、１００００時間以上の使用で
水素の部分圧力を３６ヘクトパスカルに維持するのに必
要な水素量は、チャンネルの長さに応じて増減する。
は、一般に、表示品質が大幅に劣化することなく少なく
とも１００００時間（約１０年間の通常寿命に対応す
る）動作しなければならない。１００００時間以上の使
用にわたって水素の部分圧力を３６ヘクトパスカルに維
持するために、全部で５００ｍＢリットルの容量の水素
が必要となる。これは、約６０ｍｇの量、即ち、パネル
を３６ヘクトパスカルの部分圧力に変化するのに必要な
量の約２８０倍である。４０ｃｍでない長さのチャンネ
ルを有するパネルの場合、１００００時間以上の使用で
水素の部分圧力を３６ヘクトパスカルに維持するのに必
要な水素量は、チャンネルの長さに応じて増減する。
【００１９】アメリカ合衆国仮特許出願第６０／０２２
００２号（特願平９−１６７５８９号に対応）は、パネ
ルのプラズマ・チャンネルと連結して、水素を可逆的に
吸収すると共に放出する多数の水素貯蔵材料を用いて、
ＰＡＬＣ表示パネルにおける水素の濃度を維持すること
を記載している。
００２号（特願平９−１６７５８９号に対応）は、パネ
ルのプラズマ・チャンネルと連結して、水素を可逆的に
吸収すると共に放出する多数の水素貯蔵材料を用いて、
ＰＡＬＣ表示パネルにおける水素の濃度を維持すること
を記載している。
【００２０】１９８９年９月２５〜２９日にドイツのケ
ルンで開催された第１１回国際真空学術大会（11th Int
ernaitonal Vacuum Congress）で、ジー・ボニゾニ（G.
Bonizzoni）、エイ・コンテ（A. Conte）、ジー・ゲッ
トー（G. Gatto）、ジー・ガーバシニ（G. Gervasin
i）、エフ・ゲヘッジ（F. Ghezzi）及びエム・リガモン
チ（M. Rigamonti）が発表した「高電界溶融マシン用Ｓ
ｔ７０７及びＳｔ７３７ゲッター合金ベッドの組み合わ
せを基にしたトリチウム貯蔵プラント（TritiumStorage
Plant Based on a Combination of St 707 and St 737
Getter Alloy Beds for High Field Fusion Machine
s）」は、トリチウムの貯蔵及び放出のために、合金Ｓ
ｔ７３７（ジルコニウムＺｒが３３ｗｔ％（重量パーセ
ント）、鉄Ｆｅが３３ｗｔ％、バナジウムＶが３３ｗｔ
％）をトリチウム・ゲッターとして用いることを開示し
た。この合金Ｓｔ７３７は、イタリアのミラノのＳＡＥ
Ｓ Ｇｅｔｔｅｒｓ Ｓ．ｐ．Ａ．から市販されてい
る。
ルンで開催された第１１回国際真空学術大会（11th Int
ernaitonal Vacuum Congress）で、ジー・ボニゾニ（G.
Bonizzoni）、エイ・コンテ（A. Conte）、ジー・ゲッ
トー（G. Gatto）、ジー・ガーバシニ（G. Gervasin
i）、エフ・ゲヘッジ（F. Ghezzi）及びエム・リガモン
チ（M. Rigamonti）が発表した「高電界溶融マシン用Ｓ
ｔ７０７及びＳｔ７３７ゲッター合金ベッドの組み合わ
せを基にしたトリチウム貯蔵プラント（TritiumStorage
Plant Based on a Combination of St 707 and St 737
Getter Alloy Beds for High Field Fusion Machine
s）」は、トリチウムの貯蔵及び放出のために、合金Ｓ
ｔ７３７（ジルコニウムＺｒが３３ｗｔ％（重量パーセ
ント）、鉄Ｆｅが３３ｗｔ％、バナジウムＶが３３ｗｔ
％）をトリチウム・ゲッターとして用いることを開示し
た。この合金Ｓｔ７３７は、イタリアのミラノのＳＡＥ
Ｓ Ｇｅｔｔｅｒｓ Ｓ．ｐ．Ａ．から市販されてい
る。
【００２１】したがって、本発明は、使用時間の経過に
伴ってドーパント・ガスを補充して、表示品質を維持す
るプラズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル・サブア
ッセンブリ及びその製造方法を提供するものである。
伴ってドーパント・ガスを補充して、表示品質を維持す
るプラズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル・サブア
ッセンブリ及びその製造方法を提供するものである。
【００２２】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の観点によ
れば、プラズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル・サ
ブアッセンブリは、相互接続されたチャンネルの配列を
有するチャンネル部材と；チャンネルを覆うように広が
り、チャンネル部材に密着して、チャンネル部材と共に
密閉された空間を形成するカバー・シートと；密閉され
た空間内に封入されたイオン化可能なガス及び水素の混
合気と；密閉された空間と結合し、約３３ｗｔ％（重量
パーセント）のＺｒ（ジルコニウム）、約３３ｗｔ％の
Ｆｅ（鉄）及び約３３ｗｔ％のＶ（バナジウム）を含む
合金と；を具えている。
れば、プラズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル・サ
ブアッセンブリは、相互接続されたチャンネルの配列を
有するチャンネル部材と；チャンネルを覆うように広が
り、チャンネル部材に密着して、チャンネル部材と共に
密閉された空間を形成するカバー・シートと；密閉され
た空間内に封入されたイオン化可能なガス及び水素の混
合気と；密閉された空間と結合し、約３３ｗｔ％（重量
パーセント）のＺｒ（ジルコニウム）、約３３ｗｔ％の
Ｆｅ（鉄）及び約３３ｗｔ％のＶ（バナジウム）を含む
合金と；を具えている。
【００２３】本発明の第２の観点によれば、プラズマ・
アドレス液晶パネル用チャンネル・サブアッセンブリ
は、周辺部を有すると共に、並行に相互接続されたチャ
ンネルの配列を有するチャンネル部材と；チャンネルを
覆うように広がり、チャンネル部材に密着して、チャン
ネル部材と共に密閉された空間を形成するカバー・シー
トと；約５０ヘクトパスカルから約３５０ヘクトパスカ
ルの範囲内の部分圧力で密閉された空間内に封入された
ヘリウムと；密閉された空間と結合し、約３３ｗｔ％の
Ｚｒ、約３３ｗｔ％のＦｅ及び約３３ｗｔ％のＶを含む
合金と；約０．０２ヘクトパスカルから約３６ヘクトパ
スカルの範囲内の部分圧力で密閉された空間内に封入さ
れた水素と；を具えている。
アドレス液晶パネル用チャンネル・サブアッセンブリ
は、周辺部を有すると共に、並行に相互接続されたチャ
ンネルの配列を有するチャンネル部材と；チャンネルを
覆うように広がり、チャンネル部材に密着して、チャン
ネル部材と共に密閉された空間を形成するカバー・シー
トと；約５０ヘクトパスカルから約３５０ヘクトパスカ
ルの範囲内の部分圧力で密閉された空間内に封入された
ヘリウムと；密閉された空間と結合し、約３３ｗｔ％の
Ｚｒ、約３３ｗｔ％のＦｅ及び約３３ｗｔ％のＶを含む
合金と；約０．０２ヘクトパスカルから約３６ヘクトパ
スカルの範囲内の部分圧力で密閉された空間内に封入さ
れた水素と；を具えている。
【００２４】本発明の第３の観点によれば、本発明は、
（ａ）ガスを選択的にイオン化するための露出した１対
の電極を夫々有し、相互接続されたチャンネルの配列を
有するチャンネル部材を設け；（ｂ）チャンネルを覆う
ようにカバー・シートを配置し、このカバー・シートを
チャンネル部材に取り付けて、チャンネル部材及びカバ
ー・シートによりチャンバーを形成し；（ｃ）チャンバ
ーを少なくとも約２００゜Ｃの温度まで加熱し；（ｄ）
チャンバーからガスを排気し；（ｅ）チャンバー内にイ
オン化可能なガスを導入し；（ｆ）上記チャンバーを密
閉するプラズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル・サ
ブアッセンブリの製造方法であって；ステップ（ａ）及
びステップ（ｃ）の間に、チャンバーと流体の流れで連
結するように、約３３ｗｔ％のＺｒ、約３３ｗｔ％のＦ
ｅ及び約３３ｗｔ％のＶを含む合金を設け；ステップ
（ｃ）及びステップ（ｆ）の間に、チャンバー内に水素
を導入することを特徴としている。
（ａ）ガスを選択的にイオン化するための露出した１対
の電極を夫々有し、相互接続されたチャンネルの配列を
有するチャンネル部材を設け；（ｂ）チャンネルを覆う
ようにカバー・シートを配置し、このカバー・シートを
チャンネル部材に取り付けて、チャンネル部材及びカバ
ー・シートによりチャンバーを形成し；（ｃ）チャンバ
ーを少なくとも約２００゜Ｃの温度まで加熱し；（ｄ）
チャンバーからガスを排気し；（ｅ）チャンバー内にイ
オン化可能なガスを導入し；（ｆ）上記チャンバーを密
閉するプラズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル・サ
ブアッセンブリの製造方法であって；ステップ（ａ）及
びステップ（ｃ）の間に、チャンバーと流体の流れで連
結するように、約３３ｗｔ％のＺｒ、約３３ｗｔ％のＦ
ｅ及び約３３ｗｔ％のＶを含む合金を設け；ステップ
（ｃ）及びステップ（ｆ）の間に、チャンバー内に水素
を導入することを特徴としている。
【００２５】
【発明の実施の形態】本発明を更に理解すると共に、本
発明をどのように実現するかを示すために、添付図を参
照して、本発明を更に説明する。なお、添付図におい
て、同じ参照番号は、対応する素子を示す。
発明をどのように実現するかを示すために、添付図を参
照して、本発明を更に説明する。なお、添付図におい
て、同じ参照番号は、対応する素子を示す。
【００２６】図１は、ＨＤＴＶ用ＰＡＬＣ表示パネルの
チャンネル基板４に形成されたプラズマ・チャンネル２
０を含むチャンネル・サブアッセンブリ示す。プラズマ
・チャンネル２０の容量は、約０．０５リットルであ
る。これらプラズマ・チャンネル２０は、多岐管（マニ
ホルド）チャンネル３０と結合する。多岐管チャンネル
３０を、充填管（fill tube）３２と連結しており、こ
の充填管３２は、表示領域の外部に配置されており、表
示パネルから突出している。この充填管は、ガラスで作
られている。ある量のＳｔ７３７である合金３６を充填
管３２の隙間に配置する。多岐管チャンネル３０及び充
填管３２（貯蔵材料が占める空間を除く）による付加的
なフリー真空空間は、約２リットルである。合金Ｓｔ７
３７は、約０．７ｇの重量の小片として市販されてい
る。図１に示すＰＡＬＣパネルにおいては、５個の小片
を用いた。充填管３２を装置に対して垂直方向に配置
し、パネルからガスを排気して所望ガス混合気をパネル
に充填する際、充填管３２の内側のスプリング３４は、
これら小片が充填管から落ちるのを防止する。
チャンネル基板４に形成されたプラズマ・チャンネル２
０を含むチャンネル・サブアッセンブリ示す。プラズマ
・チャンネル２０の容量は、約０．０５リットルであ
る。これらプラズマ・チャンネル２０は、多岐管（マニ
ホルド）チャンネル３０と結合する。多岐管チャンネル
３０を、充填管（fill tube）３２と連結しており、こ
の充填管３２は、表示領域の外部に配置されており、表
示パネルから突出している。この充填管は、ガラスで作
られている。ある量のＳｔ７３７である合金３６を充填
管３２の隙間に配置する。多岐管チャンネル３０及び充
填管３２（貯蔵材料が占める空間を除く）による付加的
なフリー真空空間は、約２リットルである。合金Ｓｔ７
３７は、約０．７ｇの重量の小片として市販されてい
る。図１に示すＰＡＬＣパネルにおいては、５個の小片
を用いた。充填管３２を装置に対して垂直方向に配置
し、パネルからガスを排気して所望ガス混合気をパネル
に充填する際、充填管３２の内側のスプリング３４は、
これら小片が充填管から落ちるのを防止する。
【００２７】図２は、図１に示すパネルのチャンネル・
サブアッセンブリを製造するのに可能な過程を示す。図
２のステップ４２により、充填管３２内の貯蔵物質と共
に、パネルを組み立てる。このとき、合金Ｓｔ７３７
は、好ましくは、水素が除去されている。パネルの製造
において、種々の高温操作を実施する（ステップ４
４）。パネル・チャンバーを排気して（ステップ４
６）、圧力を約１．３３３２２ミリパスカル（１０-5ト
ル）未満、好ましくは、約０．０１３３３２２ミリパス
カル（１０-7トル）未満にする。パネルに水素及びヘリ
ウムを導入し（分岐ステップ４８Ａ又は４８Ｂ）、充填
管を溶融により密封する（ステップ５０）。
サブアッセンブリを製造するのに可能な過程を示す。図
２のステップ４２により、充填管３２内の貯蔵物質と共
に、パネルを組み立てる。このとき、合金Ｓｔ７３７
は、好ましくは、水素が除去されている。パネルの製造
において、種々の高温操作を実施する（ステップ４
４）。パネル・チャンバーを排気して（ステップ４
６）、圧力を約１．３３３２２ミリパスカル（１０-5ト
ル）未満、好ましくは、約０．０１３３３２２ミリパス
カル（１０-7トル）未満にする。パネルに水素及びヘリ
ウムを導入し（分岐ステップ４８Ａ又は４８Ｂ）、充填
管を溶融により密封する（ステップ５０）。
【００２８】充填管を密封したときのパネルの総合圧力
を２００ヘクトパスカルと仮定し、水素の所望部分圧力
を１〜３パーセントの範囲と仮定すると、分岐ステップ
４８Ａは、例えば、約５００ヘクトパスカルの圧力で、
純粋の水素が充填管を介してパネル・チャンバー内に導
入されることを示す（ステップ５２）。充分な水素が導
入されると、水素の供給が停止され、一時停止期間５４
中に、パネル・チャンバー内に存在する水素が貯蔵材料
内に部分的に吸収される。水素が貯蔵材料に吸収されて
パネル・チャンバー内の圧力が約１５ヘクトパスカルま
で低下すると、純粋なヘリウムが１９４〜１９８ヘクト
パスカルの部分圧力まで導入される（ステップ５６）。
平衡が２〜６ヘクトパスカルの部分圧力に達するまで、
水素の吸収を持続する。
を２００ヘクトパスカルと仮定し、水素の所望部分圧力
を１〜３パーセントの範囲と仮定すると、分岐ステップ
４８Ａは、例えば、約５００ヘクトパスカルの圧力で、
純粋の水素が充填管を介してパネル・チャンバー内に導
入されることを示す（ステップ５２）。充分な水素が導
入されると、水素の供給が停止され、一時停止期間５４
中に、パネル・チャンバー内に存在する水素が貯蔵材料
内に部分的に吸収される。水素が貯蔵材料に吸収されて
パネル・チャンバー内の圧力が約１５ヘクトパスカルま
で低下すると、純粋なヘリウムが１９４〜１９８ヘクト
パスカルの部分圧力まで導入される（ステップ５６）。
平衡が２〜６ヘクトパスカルの部分圧力に達するまで、
水素の吸収を持続する。
【００２９】ループ５８で示すように、平衡に達したと
きの水素の部分圧力が所望レベルに達するように、水素
の導入を数ステップだけ行う必要があるかもしれない。
よって、水素は、５００ヘクトパスカルにて導入され、
水素の供給を停止して、一時停止期間５４中に水素が蓄
積材料に吸収されるようにして、適切な量の水素が導入
されるのに必要な回数だけ、これら２つのステップを繰
り返す。
きの水素の部分圧力が所望レベルに達するように、水素
の導入を数ステップだけ行う必要があるかもしれない。
よって、水素は、５００ヘクトパスカルにて導入され、
水素の供給を停止して、一時停止期間５４中に水素が蓄
積材料に吸収されるようにして、適切な量の水素が導入
されるのに必要な回数だけ、これら２つのステップを繰
り返す。
【００３０】純粋な水素をパネル・チャンバーに供給す
ることにより、水素を貯蔵材料に詰め込む操作が危険か
もしれないことが理解できよう。純粋な水素を扱う危険
性は、水素及びヘリウムの混合気を導入することにより
軽減できる。分岐ステップ４８Ｂに示すように、所望量
のガス混合気がパネル内に存在するようになるまで、充
填管を介して、例えば、９００ヘクトパスカルの圧力
で、水素及びヘリウムの混合気をパネル・チャンバー内
に導入する。大部分の水素が貯蔵材料に吸収され、水素
の部分圧力が２ヘクトパスカルで平衡するという事実を
考慮して、ガス混合気内の水素の濃度を選択する。
ることにより、水素を貯蔵材料に詰め込む操作が危険か
もしれないことが理解できよう。純粋な水素を扱う危険
性は、水素及びヘリウムの混合気を導入することにより
軽減できる。分岐ステップ４８Ｂに示すように、所望量
のガス混合気がパネル内に存在するようになるまで、充
填管を介して、例えば、９００ヘクトパスカルの圧力
で、水素及びヘリウムの混合気をパネル・チャンバー内
に導入する。大部分の水素が貯蔵材料に吸収され、水素
の部分圧力が２ヘクトパスカルで平衡するという事実を
考慮して、ガス混合気内の水素の濃度を選択する。
【００３１】ＰＡＬＣ表示パネルの通常動作温度は、典
型的には、４０゜Ｃの領域である。４０゜Ｃの温度に
て、部分圧力２ヘクトパスカルの水素ガスと、約１０７
ｍＢリットル／ｇから約１２５ｍＢリットル／ｇの範囲
内の濃度で、貯蔵材料内に貯蔵された水素とが平衡する
ということが、図３に示す特性曲線から推測できる。Ｐ
ＡＬＣ表示パネルの動作により水素が消費されるので、
パネル・チャンバー内の水素の部分圧力は、下がる傾向
にあるが、この部分圧力の低下により、貯蔵材料から水
素が放出されるので、部分圧力の低下が制限される。し
たがって、貯蔵材料の水素の濃度が、この水素の部分圧
力をもやは維持できなくなるほどに下がるまで、パネル
・チャンバー内の水素の部分圧力は、ほぼ一定に維持さ
れる。
型的には、４０゜Ｃの領域である。４０゜Ｃの温度に
て、部分圧力２ヘクトパスカルの水素ガスと、約１０７
ｍＢリットル／ｇから約１２５ｍＢリットル／ｇの範囲
内の濃度で、貯蔵材料内に貯蔵された水素とが平衡する
ということが、図３に示す特性曲線から推測できる。Ｐ
ＡＬＣ表示パネルの動作により水素が消費されるので、
パネル・チャンバー内の水素の部分圧力は、下がる傾向
にあるが、この部分圧力の低下により、貯蔵材料から水
素が放出されるので、部分圧力の低下が制限される。し
たがって、貯蔵材料の水素の濃度が、この水素の部分圧
力をもやは維持できなくなるほどに下がるまで、パネル
・チャンバー内の水素の部分圧力は、ほぼ一定に維持さ
れる。
【００３２】促進寿命試験は、１００００動作時間にわ
たり、少なくとも２ヘクトパスカルの水素の部分圧力を
維持するのに、５個の貯蔵材料の小片で充分であること
を示しているので、貯蔵材料の５個の小片を用いること
が好ましい。貯蔵材料の量を増やして、パネル内の水素
の部分圧力が表示品質を維持するのに充分なレベル未満
まで低下する時間を伸ばすことにより、パネルの動作寿
命は拡大できることが理解できよう。
たり、少なくとも２ヘクトパスカルの水素の部分圧力を
維持するのに、５個の貯蔵材料の小片で充分であること
を示しているので、貯蔵材料の５個の小片を用いること
が好ましい。貯蔵材料の量を増やして、パネル内の水素
の部分圧力が表示品質を維持するのに充分なレベル未満
まで低下する時間を伸ばすことにより、パネルの動作寿
命は拡大できることが理解できよう。
【００３３】電気抵抗ヒータ３８を充填管３２の外部周
辺に設け、このヒータを用いて、貯蔵材料を加熱し、貯
蔵材料内の水素の濃度とパネル内の水素の部分圧力との
間で平衡が生じる部分圧力まで上昇させてもよい。この
方法において、貯蔵材料内の水素の低濃度におけるパネ
ル内の水素の所望部分圧力を達成し、維持することが可
能であるので、貯蔵材料は初めに低濃度であってもよ
い。代わりに、又は、更に、ヒータを用いることによ
り、貯蔵材料の温度を上昇させ、パネルの実効寿命を伸
ばすことにより、パネル内の水素の部分圧力が所望値未
満に下がる時点を遅延させることもできる。
辺に設け、このヒータを用いて、貯蔵材料を加熱し、貯
蔵材料内の水素の濃度とパネル内の水素の部分圧力との
間で平衡が生じる部分圧力まで上昇させてもよい。この
方法において、貯蔵材料内の水素の低濃度におけるパネ
ル内の水素の所望部分圧力を達成し、維持することが可
能であるので、貯蔵材料は初めに低濃度であってもよ
い。代わりに、又は、更に、ヒータを用いることによ
り、貯蔵材料の温度を上昇させ、パネルの実効寿命を伸
ばすことにより、パネル内の水素の部分圧力が所望値未
満に下がる時点を遅延させることもできる。
【００３４】本発明は、上述の実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱することなく種々の変更
が可能である。
ではなく、本発明の要旨を逸脱することなく種々の変更
が可能である。
【００３５】
【発明の効果】上述の如く、本発明によれば、入手容易
な合金Ｓｔ３７７、即ち、約３３ｗｔ％（重量パーセン
ト）のＺｒ（ジルコニウム）、約３３ｗｔ％のＦｅ
（鉄）及び約３３ｗｔ％のＶ（バナジウム）を含む合金
を用いて、ＰＡＬＣ表示パネルの使用時間経過に伴って
ドーパント・ガスを補充することにより、ＰＡＬＣ表示
パネルの寿命にわたって、その表示品質を維持できる。
な合金Ｓｔ３７７、即ち、約３３ｗｔ％（重量パーセン
ト）のＺｒ（ジルコニウム）、約３３ｗｔ％のＦｅ
（鉄）及び約３３ｗｔ％のＶ（バナジウム）を含む合金
を用いて、ＰＡＬＣ表示パネルの使用時間経過に伴って
ドーパント・ガスを補充することにより、ＰＡＬＣ表示
パネルの寿命にわたって、その表示品質を維持できる。
【図１】本発明によるＰＡＬＣ表示パネルのチャンネル
・サブアッセンブリを部分的に示す図である。
・サブアッセンブリを部分的に示す図である。
【図２】図１に示すＰＡＬＣ表示パネルのチャンネル・
サブアッセンブリを製造するステップを示す流れ図であ
る。
サブアッセンブリを製造するステップを示す流れ図であ
る。
【図３】合金Ｓｔ７３７の種々の温度における特性を示
す特性曲線図である。
す特性曲線図である。
【図４】従来のＰＡＬＣ表示パネルの断面図である。
４ チャンネル部材 ６ カバー・シート ２０ チャンネル ３０ 多岐管チャンネル ３２ 充填管 ３４ スプリング ３６ 合金 ３８ 電気抵抗ヒータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マイケル・ディー・ワグナー アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95376 トラシー ワルシングハム・コー ト 2199 (72)発明者 ウエイン・アール・クロウスキ アメリカ合衆国 オレゴン州 97221 ポ ートランド サウスウエスト カナン・ド ライブ 4409
Claims (3)
- 【請求項１】 相互接続されたチャンネル（２０）の配
列を有するチャンネル部材（４）と、 上記チャンネルを覆うように広がり、上記チャンネル部
材に密着して、上記チャンネル部材と共に密閉された空
間を形成するカバー・シート（６）と、 上記密閉された空間内に封入されたイオン化可能なガス
及び水素の混合気と、上記密閉された空間と結合し、約
３３ｗｔ％のＺｒ、約３３ｗｔ％のＦｅ及び約３３ｗｔ
％のＶを含む合金（３６）とを具えたプラズマ・アドレ
ス液晶パネル用チャンネル・サブアッセンブリ。 - 【請求項２】 周辺部を有すると共に、並行に相互接続
されたチャンネル（２０）の配列を有するチャンネル部
材（４）と、 上記チャンネルを覆うように広がり、上記チャンネル部
材に密着して、上記チャンネル部材と共に密閉された空
間を形成するカバー・シート（６）と、 約５０ヘクトパスカルから約３５０ヘクトパスカルの範
囲内の部分圧力で上記密閉された空間内に封入されたヘ
リウムと、 上記密閉された空間と結合し、約３３ｗｔ％のＺｒ、約
３３ｗｔ％のＦｅ及び約３３ｗｔ％のＶを含む合金（３
６）と、 約０．０２ヘクトパスカルから約３６ヘクトパスカルの
範囲内の部分圧力で上記密閉された空間内に封入された
水素とを具えたプラズマ・アドレス液晶パネル用チャン
ネル・サブアッセンブリ。 - 【請求項３】 （ａ）ガスを選択的にイオン化するため
の露出した１対の電極（２４、２６）を夫々有し、相互
接続されたチャンネル（２０）の配列を有するチャンネ
ル部材（４）を設け、 （ｂ）上記チャンネルを覆うようにカバー・シート
（６）を配置し、上記カバー・シートを上記チャンネル
部材に取り付けて、上記チャンネル部材及び上記カバー
・シートによりチャンバーを形成し、 （ｃ）上記チャンバーを少なくとも約２００゜Ｃの温度
まで加熱し、 （ｄ）上記チャンバーからガスを排気し、 （ｅ）上記チャンバー内にイオン化可能なガスを導入
し、 （ｆ）上記チャンバーを密閉するプラズマ・アドレス液
晶パネル用チャンネル・サブアッセンブリの製造方法で
あって、 （ｇ）上記ステップ（ａ）及び上記ステップ（ｃ）の間
に、上記チャンバーと流体の流れで連結するように、約
３３ｗｔ％のＺｒ、約３３ｗｔ％のＦｅ及び約３３ｗｔ
％のＶを含む合金（３６）を設け、 （ｈ）上記ステップ（ｃ）及び上記ステップ（ｆ）の間
に、上記チャンバー内に水素を導入することを特徴とす
るプラズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル・サブア
ッセンブリの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US2666296P | 1996-09-30 | 1996-09-30 | |
| US60/026,662 | 1996-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10142587A true JPH10142587A (ja) | 1998-05-29 |
Family
ID=21833122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9260298A Pending JPH10142587A (ja) | 1996-09-30 | 1997-09-25 | プラズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル・サブアッセンブリ及びその製造方法 |
Country Status (5)
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