JPH10134763A - 電子増倍器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の試料を同時に搭載でき、所定の試料の
記録、確認を容易に行うことができる電子増倍器を得
る。 【解決手段】 電子増倍器は、マイクロチャンネルプレ
ート３の出力電極が形成された面のチャンネル形成部
に、境界部２０ａで分割されて複数個の試料搭載部を形
成する試料境界材２０を備えている。また、試料境界材
２０に搭載された試料２間又は試料２内を通過する電子
ビームＢを反射させる電子反射体７と、複数のチャンネ
ル３１が形成され、そのチャンネル３１内へ電子反射体
７で反射された電子ビームを取り込み増倍して放出する
マイクロチャンネルプレート３とを備えている。試料境
界材２０によって、複数の試料を一度に搭載できると共
に、各試料同士が混合するのを防止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子増倍器に関
し、特に、例えば反射型電子顕微鏡の内部に配置され、
試料への電子ビーム照射により発生する電子を増倍させ
る電子増倍器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子ビーム装置例えば電子顕微鏡
としては、反射型のものと透過型のものが知られてい
る。前者の反射型電子顕微鏡は、試料へ向けて電子ビー
ムを発射し、その電子ビームの照射で試料から二次電子
を生じさせ、その二次電子を検出し信号処理することに
より試料の像を観察可能としたものである。この反射型
電子顕微鏡に関連する従来技術としては、特開平２−２
７５３６８号公報に記載された電子ビーム装置等が知ら
れている。

【０００３】一方、後者の透過型電子顕微鏡は、試料へ
向けて電子ビームを発射しその試料を透過してくる透過
電子を検出して試料の像を観察可能としたものである。
この透過型電子顕微鏡に関連する従来技術としては、特
開平６−３１００７６号公報に記載された走査電子線装
置等が知られている。

【０００４】しかしながら、前述の反射型電子顕微鏡及
び透過型電子顕微鏡にあっては、次のような問題点があ
った。まず、反射型電子顕微鏡では、試料を透過する電
子により形成される透過電子像を観察することができな
い。すなわち、試料の表面観察を行えるが、試料の内部
構造などを観察することはできず、そのような内部構造
などを観察する場合には別個の透過型顕微鏡が必要とな
る。

【０００５】一方、透過型の走査電子線装置では、試料
下方の電子検出器を介して透過電子像が観察でき、試料
上方の電子検出器を介して反射電子像も観察できるが、
各電子像を得るためにそれぞれ専用の電子検出器が必要
となる。また、それに付随して各電子検出器の信号を選
択する信号選択回路も必要となる。このため、装置が複
雑化して装置のコストが高くなるという問題点があっ
た。

【０００６】このような問題点は、本発明者らが既に特
許出願した「電子顕微鏡用電子増倍器」（特願平７−２
６３，２００号、平成７年１０月１１日出願）により解
決し、透過電子像及び反射電子像の双方を観察できる電
子顕微鏡用電子増倍器を得た。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この特許出
願における電子顕微鏡用電子増倍器の試料台では、試料
をマイクロチャンネルプレートの試料搭載面に配置する
が、この場合、次のような問題が生ずる。

【０００８】すなわち、試料が例えば花粉胞子などのよ
うに微細な場合、観察したい試料をモニター画像上で探
すのに時間を要する。また、一度のセッティングで類似
した複数の試料を観察する場合、試料が互いに混ざり合
うなどにより不都合である。さらに、モニター画像と試
料台との位置関係（例えば上下左右）が瞬時に把握でき
ず、観察に時間がかかるなどの問題点があった。

【０００９】そこで本発明は、このような問題点を解決
するためになされたもので、複数の試料を同時に搭載で
き、所定の試料の記録、確認を容易に行うことができる
電子増倍器を得ることを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の発明は、周縁部の内側のチャンネル形成部に複数のチ
ャンネルが形成されると共に、一方の面に試料が搭載さ
れるマイクロチャンネルプレートと、マイクロチャンネ
ルプレートの一方の面に設けられ、チャンネル形成部を
複数個の試料搭載部に分割する試料境界材と、を備えた
ことを特徴とする電子増倍器である。

【００１１】この発明によれば、試料が搭載されるチャ
ンネル形成部を複数個の試料搭載部に区画するので、複
数の試料を一度に搭載して比較、観察を行うことができ
る。また、境界部が所定の高さを有する場合には、試料
搭載部に搭載された試料が振動や衝撃により隣接する又
は他の試料搭載部に移動して混合するのを防止すること
ができる。

【００１２】請求項２に記載の発明は、試料境界材とマ
イクロチャンネルプレートのチャンネル形成部とを絶縁
性接着剤で接着したことを特徴とする。この発明によれ
ば、接着剤が絶縁性であるため、試料搭載部をチャンネ
ル形成部に接着する場合に、マイクロチャンネルプレー
トのチャンネルを通して出力電極と入力電極が互いに導
通するのを防止することができる。

【００１３】請求項３に記載の発明は、試料境界材とマ
イクロチャンネルプレートの周縁部とを導電性接着剤で
接着したことを特徴とする。この発明によれば、導電性
接着剤を使用することによって、電子増倍器を例えば走
査電子顕微鏡に適用した場合、試料境界材とマイクロチ
ャンネルプレートの出力電極との導通が図れるので、試
料がチャージアップするのを防止することができる。

【００１４】請求項４に記載の発明は、試料境界材に各
試料搭載部を区別する番地が記入されていることを特徴
とする。この発明によれば、記入された番地によって複
数の試料搭載部を区別することができるので、画像観察
において所定の試料搭載部に搭載されたの試料の確認、
記録を容易に行うことができ、所定の試料へ到達する時
間を短縮することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づき、本発明
に係る電子増倍器の実施形態について説明する。なお、
実施の形態では、一例として電子増倍器を電子顕微鏡に
適用した場合について説明する。なお、各図中、同一符
号は同一又は相当部分を示しており、重複する説明は省
略する。

【００１６】図１は、本発明の一実施形態による電子増
倍器を示す概略構成図であり、図２は、図１の電子増倍
器を備えた電子顕微鏡を示す概略構成図である。本実施
形態に係る電子増倍器の説明に先立ち、電子増倍器１が
配設される電子顕微鏡１０について説明する。

【００１７】図２において、電子顕微鏡１０は、試料２
の反射電子像を観察可能な反射型の顕微鏡であって、一
端に電子ビームＢを発射する電子銃１１が設けられ、そ
の他端には、任意に内部を真空にできる真空室１２が設
けられている。真空室１２内には、電子増倍器１を設置
した移動台１３と、電子検出器１４とが配設されてい
る。

【００１８】移動台１３は、試料２を保持した電子増倍
器１を設置しており、互いに直交する水平軸（Ｘ軸、Ｙ
軸）に沿って任意に移動可能とされ、水平方向の軸（Ｔ
軸）を中心として任意に傾斜可能とされ、かつ移動台１
２の中心位置を通る垂直軸（Ｒ軸）を中心として回転可
能とされている。

【００１９】また、電子検出器１４は、電子を検出して
電気信号に変換する機器であって、例えば、検出すべき
電子を収集するコレクタ１４ａ、電子の入射により蛍光
を発するシンチレータ１４ｂ及びその蛍光を受けて光電
子を発生させ増倍して電気信号として出力する光電子増
倍管１４ｃにより構成されている。

【００２０】このような電子顕微鏡１０によれば、電子
銃１１から電子ビームＢが発射され、電子銃１１と真空
室１２間に設けられた所定の電子レンズ１５により絞ら
れ、さらに偏向コイル１６により走査されて、移動台１
３上にセットされた試料２に照射される。電子ビームＢ
の照射時に発生する二次電子は、電子検出器１４で検出
され電気信号として出力され、増幅器１７で増幅され、
さらに映像信号としてＣＲＴ１８へ入力される。そし
て、そのＣＲＴ１８の偏向コイルを前述の電子ビームＢ
の偏向コイル１６と走査電源１９により同期させること
により、ＣＲＴ１８に試料２の拡大された反射電子像を
表示することができる。

【００２１】次に、図１、図３、図４及び図５を参照し
て、本実施形態に係る電子増倍器１について説明する。
図１は、本実施形態の電子増倍器が図２に示す電子顕微
鏡に適用された場合において、その周辺も含めて概略構
成を示す図である。図３は、本実施形態による電子増倍
器のマイクロチャンネルプレート及び電子反射体を示す
一部破断された斜視図、図４は本実施形態による電子増
倍器の試料境界材及びマイクロチャンネルプレートを示
す概略構成図であり、（ａ）はその斜視図、（ｂ）は平
面図、図５は本実施形態による電子増倍器の試料境界材
及びマイクロチャンネルプレートを示す側断面図であ
る。

【００２２】電子増倍器１は、図１に示すように、電子
顕微鏡１０内の移動台１３上に設置されている。電子増
倍器１の本体部分上部には、マイクロチャンネルプレー
ト３が設けられている。このマイクロチャンネルプレー
ト３は、図３に示すように、銅などの導電性部材からな
るリング体６の上面に載置されており、そのリング体６
はガラス等からなる板状の絶縁材５を介してアルミニウ
ム等の導電性部材からなる基台４の上面に載置されてい
る。また、マイクロチャンネルプレート３は、リング体
６上で基台４に固定される板バネ８で掛止され、リング
体６上から容易に外れないようになっており、必要に応
じて板バネ８を外して交換できる構造となっている。

【００２３】マイクロチャンネルプレート３の一方の面
には出力電極が全面に形成され、他方の面には入力電極
が全面に形成されている。これらの出力電極及び入力電
極は、インコネルやＮｉ−Ｃｒ等を蒸着して形成される
が、図には示されていない。

【００２４】マイクロチャンネルプレート３は、観察対
象である試料２を設置するための設置台として機能する
と共に、その表裏を通過する電子を増倍させる機能を有
している。

【００２５】すなわち、このマイクロチャンネルプレー
ト３には、その表裏方向へ向けて多数のチャンネル３１
が設けられ、各チャンネル３１の内壁には二次電子放出
体の膜（図示しない）が形成されている。電子の入射面
（入力電極の形成された面）に対し放出面（出力電極の
形成された面）の電位が高くなるように、入力電極と出
力電極との間に電圧を加えることにより、電子がその入
射面のチャンネル３１内へ入り込み、チャンネル３１の
内壁で反射されその反射ごとに増倍されて放射面から抜
け出ることになる。

【００２６】また、図１に示すように、マイクロチャン
ネルプレート３から所定の距離を隔てて、電子ビームＢ
の進行方向に電子反射体７が設けられている。すなわ
ち、電子反射体７は、リング体６に囲まれる絶縁材５の
上面に固定され、マイクロチャンネルプレート３とその
リング体６の高さ分だけ隔てられて配置されている。こ
の電子反射体７はアルミニウム等の導電性材料からな
り、絶縁材５上に配置されることにより接地される基台
５と電気的に遮断された構造となっている。

【００２７】この電子反射体７におけるマイクロチャン
ネルプレート３と対向する面には、反射面７１が形成さ
れており、この反射面７１で試料２間又は試料２内を抜
けて、マイクロチャンネルプレート３のチャンネル３１
内を通過してくる電子ビームＢを反射するようになって
いる。

【００２８】マイクロチャンネルプレート３上には、図
４に示すような試料搭載面を複数個に分割する仕切り用
の試料境界材２０が載置される。この試料境界材２０
は、例えば導電性金属、導電性樹脂、絶縁性金属等の導
電性材料、又は粘性塗料を盛り上げる等により作製する
ことができる。図４では、マイクロチャンネルプレート
３上に試料境界材２０として導電性金属メッシュを接着
した場合を示しており、境界部２０ａにより９個に分割
された試料搭載部２０ｂが形成されている。この境界部
２０ａは所定の高さを有するので、試料搭載部２０ｂに
搭載された試料２が振動や衝撃により隣接する又は他の
試料搭載部２０ｂに移動して混合するのを防止すること
ができる。

【００２９】試料境界材２０とマイクロチャンネルプレ
ート３とを接着する場合、導電性接着剤を使用すると毛
細管現象により導電性接着剤がチャンネル３１内に侵入
し、出力電極と入力電極とが互いに導通してしまうこと
があるため、絶縁性接着剤を使用する必要がある。一
方、電子増倍器１を走査電子顕微鏡等で用いる場合、電
位が０Ｖでなくしかも試料境界材２０がマイクロチャン
ネルプレート３から浮き上がっていると、試料がチャー
ジアップする原因となる。

【００３０】従って、このような場合には、試料境界材
２０とマイクロチャンネルプレート３とを電気的に導通
させることが望ましい。例えば、図５に示すように、チ
ャンネル３１が形成されていないマイクロチャンネルプ
レート３の有効面（チャンネル形成部）を絶縁性接着剤
２１で接着し、マイクロチャンネルプレート３の周縁部
を導電性接着剤２２例えば銀ペースト、カーボンペース
ト、インジウムペースト、又は半田等により接着するこ
とができる。

【００３１】マイクロチャンネルプレート３及び電子反
射体７には、図１に示すように、給電手段９が接続され
ている。給電手段９は、マイクロチャンネルプレート３
の表裏間へ印加する可変電源９１と、マイクロチャンネ
ルプレート３裏面と電子反射体７間へ印加する可変電源
９２とを備えており、各々に任意の電圧を供給できるよ
うになっている。また、スイッチ９３、９４を切り替え
ることにより、電子顕微鏡１０の観察モードを切り替え
ることができる。すなわち、電子反射体７及びマイクロ
チャンネルプレート３へ電圧が供給されれば試料２の透
過電子像が得られ、一方、電子反射体７及びマイクロチ
ャンネルプレート３へ電圧が供給されず接地状態とされ
れば試料２の反射電子像が得られることとなる。

【００３２】次に、本実施形態による電子増倍器１を備
えた電子顕微鏡１０の動作について説明する。

【００３３】まず、図１に示すように、マイクロチャン
ネルプレート３上に設けられた試料境界材２０の各試料
搭載部２０ｂに、観察対象である複数の試料２をそれぞ
れ搭載する。試料２の保持方法としては、上面固定方
法、内部埋め込み方法、下面密着方法、その他の方法が
あるが、試料２の材質や観測の形態に応じて適宜選択し
て採用すればよい。

【００３４】試料２を試料搭載部２０ｂに搭載した後、
マイクロチャンネルプレート３を電子増倍器１のリング
体６上に載置し、板バネ８で外れないように掛止させ
る。そして、その電子増倍器１を反射型の電子顕微鏡１
０内にセットする。すなわち、顕微鏡１０における真空
室１２内に設けられた移動台１３上に電子増倍器１の本
体部分（給電手段９を除く部分）を配置する。続いて、
真空室１２内のエアを排気して真空とする。

【００３５】試料２の透過電子像を観察する場合につい
て説明すると、給電手段９により、マイクロチャンネル
プレート３の上面（電子ビームＢの照射面）側の出力電
極を接地し、その下面側の入力電極に−７００Ｖ程度の
電圧を印加し、そのマイクロチャンネルプレート３下面
に対し１００Ｖ電位が下がるように電子反射体７に−８
００Ｖ程度の電圧を印加する。それと共に、電子顕微鏡
側の電子検出器１４のコレクタ１４ａが＋１００Ｖ、シ
ンチレータ１４ｂが＋１０ｋＶの電位となるようにそれ
ぞれ電圧を印加し、図１に示すように、マイクロチャン
ネルプレート３上の試料２へ向けて電子ビームＢを照射
させる。

【００３６】電子ビームＢが試料２以外の位置又は試料
２の薄い部分へ照射されると、その電子ビームＢは試料
２間すなわち試料２のない部分又は試料２内を通り、チ
ャンネル３１を通って、電子反射体７の反射面７１に照
射される。反射面７１に照射された電子ビームＢは、そ
の反射面７１で反射電子として反射されると共に、二次
電子を生じさせる。

【００３７】その際、反射面７１に凸部又は凹部が形成
されることにより、それらの反射電子及び二次電子が拡
散された状態で反射面７１から放たれることとなる。放
たれた反射電子及び二次電子は、１００Ｖ電位が高くな
っているマイクロチャンネルプレート３側へ確実に誘導
されていく。

【００３８】そして、反射電子及び二次電子は、マイク
ロチャンネルプレート３のチャンネル３１内へ入り込
み、その内壁で反射されるごとに増倍されてマイクロチ
ャンネルプレート３の上面側へ抜けて行く。その際、そ
れらの反射電子及び二次電子が下方から試料２へ照射さ
れる形となり、電子ビームＢの照射により正に帯電して
いた試料２が中和されてチャージアップが回避される。
マイクロチャンネルプレート３上へ放出された反射電子
及び二次電子は、その上方に配設された高電位の電子検
出器１４のコレクタ１４ａ側へ誘導され、シンチレータ
１４ｂへ入射され蛍光となって光電子増倍管１４ｃで電
気信号として検出される。

【００３９】なお、試料２上へ照射された電子ビームＢ
は、試料２表面で反射され二次電子を生じさせるが、マ
イクロチャンネルプレート３で増倍されることもなく、
その数量は前述の反射面７１からの反射電子及び二次電
子が増倍されたものに比べ非常に小さい（１０００分の
１〜１００００分の１程度）ので、電子検出器１４でも
無視し得る数量しか検出されない。

【００４０】このようにして電子検出器１４で得られた
電気信号は、図２に示す増幅器１７で増幅され、電子ビ
ームＢと同期して走査されるＣＲＴ１８の映像信号とし
て入力されることにより、ＣＲＴ１８で試料２の透過電
子像として表示される。ここで得られる透過電子像は、
試料２の厚く電子が透過しない部分が暗く、試料２のな
い部分が明るく、試料２の薄く電子の一部が透過する部
分は中間の明るさで表示される。また、前述のように、
試料２部分はそれ以外の部分に比べ信号強度が１０００
分の１〜１００００分の１程度であるので、非常にコン
トラストの明瞭なものとなる。また、透過電子像は電子
ビームＢの照射量を低減しても明瞭であるから、電子ビ
ームの照射量を低減することで電子ビームを細く絞り、
解像度の高い透過電子像とすることも可能である。

【００４１】次に、試料２の反射電子像を観察する場合
について説明すると、図１に示す給電手段９のスイッチ
９３、９４を切り替えることで容易に観察可能となる。
すなわち、スイッチ９３、９４を切り替えてマイクロチ
ャンネルプレート３及び電子反射体７への電圧印加を停
止し接地状態とし、それらの増倍機能及び反射機能を停
止させる。その状態で電子ビームＢを試料搭載部２ｂに
搭載された試料２へ照射させると、試料２以外へ照射さ
れた電子ビームＢは電子検出器１４で検出されず、試料
２の表面で生ずる二次電子のみが電子検出器１４で検出
されることとなる。そこで、増幅器１７の利得を適宜調
整すれば、通常の反射型電子顕微鏡で得られる反射電子
像が観察可能となる。

【００４２】なお、前述した実施形態では、試料境界材
２０として図４及び図５に示したものを使用したが、各
試料搭載部２０ｂの区別を明確にするために、図６に示
すように、番地（アドレス）Ａ−１ないしＣ−３を記入
することができる。番地の記入方法としては、エキシマ
レーザーなどのレーザー加工やフォトエッチングなどの
方法により微細な表記が可能である。

【００４３】このような番地を記入することによって、
試料２を複数個の試料搭載部２０ｂに搭載する際に、任
意の番地に試料２を配置して観察でき、複数個の試料２
の比較が一度のセッティングで可能となる。また、分割
された試料搭載部２０ｂを番地付けすることで、画像観
察において所望の試料への到達時間を短縮することがで
きると共に、間違った位置に配置した試料２の観察を防
止することもできる。さらに、使用済みの試料搭載部２
０ｂの確認や記録を容易に行うことができ、使用済みの
試料搭載部２０ｂへ別の試料２が混入するのを防止する
ことができる。

【００４４】なお、前述した実施形態では、マイクロチ
ャンネルプレート３を板バネ８でリング体６上に固定す
る電子増倍器について説明したが、図７及び図８に示す
ような電子増倍器であっても同様に適用することができ
る。図７は電子増倍器及びこれが取り付けられる基台等
の構造を、同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断し分解して示す
図であり、図７は背景を含めて切断面を示した分解断面
図、図８は同じく背景を除いて切断面のみを示した分解
端面図である。

【００４５】これらの図に示す電子増倍器では、マイク
ロチャンネルプレート３の周縁部を第１の筒状部材２３
及び第２の筒状部材２４で挟持し、これを基台４に装着
する構造となっている。第１の筒状部材２３は、マイク
ロチャンネルプレート３を保護すると共に、基台４への
装着を容易にするために円筒形状を有する。第２の筒状
部材２４も同様に、基台４にセットされる回路基板２５
の板バネ２６との電気的接触を行い易いように、かつマ
イクロチャンネルプレート３の接着を行い易いように、
支持片２４ａを持った円筒形状を有する。このような構
造の電子増倍器の場合であっても、前述と同様に試料境
界材２０を設けることができる。

【００４６】なお、マイクロチャンネルプレート３、試
料境界材２０、第１の筒状部材２３及び第２の筒状部材
２４は、予め一体として構成することができ、基台４へ
の装着を容易に行うことができる。

【００４７】さらに、他の構造を有する電子増倍器であ
っても、同様に試料境界材を設けることができ、前述と
同様な効果を奏する。

【００４８】また、前述した実施形態では、本発明によ
る電子増倍器を電子顕微鏡に適用した場合について説明
したが、本発明はこれに限定されるものではなく、エネ
ルギー分析器や角度分析器など種々の機器にも同様に適
用することができ、前述と同様な効果を奏する。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数の試料を任意の試料搭載部に配置、観察でき、複数
の試料の比較を一度のセッティングで行うことができ
る。また、試料搭載部に搭載された試料が振動や衝撃に
より隣接する又は他の試料搭載部に移動して混合するの
を防止することができる。さらに、分割された試料搭載
部を番地付けすることで、画像観察において、所望とす
る試料への到達時間を短縮でき、間違った位置に配置し
た試料を観察してしまうことを防止することができると
いう効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１による電子増倍器を示す概
略構成図である。

【図２】図１に示す電子増倍器を備えた電子顕微鏡を示
す概略構成図である。

【図３】図１に示す電子増倍器のマイクロチャンネルプ
レート及び電子反射体を一部破断して示す概略斜視図で
ある。

【図４】図１に示す電子増倍器の試料境界材及びマイク
ロチャンネルプレートを示す概略構成図であり、（ａ）
は試料境界材の斜視図、（ｂ）は試料境界材の平面図で
ある。

【図５】電子増倍器試料境界材及びマイクロチャンネル
プレートを示す側断面図である。

【図６】番地が形成された試料境界材を示す平面図であ
る。

【図７】本発明の他の実施形態による電子増倍器及び基
台の要部を分解して示す分解断面図であり、（ａ）はそ
の平面図、（ｂ）は分解断面図である。

【図８】本発明の他の実施形態による電子増倍器及び基
台の要部を分解して示す分解端面図であり、（ａ）はそ
の平面図、（ｂ）は分解端面図である。

【符号の説明】

Ｂ…電子ビーム、１…電子増倍器、２…試料、３…マイ
クロチャンネルプレート、４…基台、５…絶縁材、６…
リング体、７…電子反射体、８…板バネ、９…給電手
段、１０…電子顕微鏡、１１…電子銃、１２…真空室、
１３…移動台、１４…電子検出器、１４ａ…コレクタ、
１４ｂ…シンチレータ、１４ｃ…光電子増倍管、１５…
電子レンズ、１６…偏向コイル、１７…増幅器、１８…
ＣＲＴ、１９…走査電源、２０…試料境界材、２０ａ…
境界部、２０ｂ…試料搭載部、２１…絶縁性接着剤、２
２…導電性接着剤、２３…第１の筒状部材、２４…第２
の筒状部材、２４ａ…支持片、２５…回路基板、２６…
板バネ、３１…チャンネル、７１…反射面、９１，９２
…可変電源、９３，９４…スイッチ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 周縁部の内側のチャンネル形成部に複数
   のチャンネルが形成されると共に、一方の面に試料が搭
   載されるマイクロチャンネルプレートと、 前記マイクロチャンネルプレートの前記一方の面に設け
   られ、前記チャンネル形成部を複数個の試料搭載部に分
   割する試料境界材と、 を備えたことを特徴とする電子増倍器。
2. 【請求項２】 前記試料境界材と前記マイクロチャンネ
   ルプレートの前記チャンネル形成部とは、絶縁性接着剤
   で接着されていることを特徴とする請求項１に記載の電
   子増倍器。
3. 【請求項３】 前記試料境界材と前記マイクロチャンネ
   ルプレートの前記周縁部とは、導電性接着剤で接着され
   ていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電子増
   倍器。
4. 【請求項４】 前記試料境界材には、前記各試料搭載部
   を区別する番地が記入されていることを特徴とする請求
   項１〜３のいずれかに記載の電子増倍器。