JPH1013155A - Crystal oscillator with frequency-adjusting function - Google Patents

Crystal oscillator with frequency-adjusting function

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JPH1013155A
JPH1013155A JP15854296A JP15854296A JPH1013155A JP H1013155 A JPH1013155 A JP H1013155A JP 15854296 A JP15854296 A JP 15854296A JP 15854296 A JP15854296 A JP 15854296A JP H1013155 A JPH1013155 A JP H1013155A
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peac
capacitance
oscillation frequency
frequency
crystal oscillator
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政良 白石
Fujio Tamura
富士夫 田村
Mikio Miyahara
幹雄 宮原
Fumio Kimura
文雄 木村
Takashi Konno
隆 今野
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a small crystal oscillator eliminating the need for a function for adjusting an oscillation frequency outside of the crystal oscillator by providing a voltage-variable capacitor element (PEAC) for adjusting the oscillation frequency inside the package of the crystal oscillator. SOLUTION: A voltage applied on the PEAC element 4 is changed from an outside, so that the electrostatic capacitance of the PEAC element 4 is changed, load capacitance is adjusted and a desired frequency is obtained. That is, a positive voltage is applied to the adjustment terminal 6 of the PEAC element 4, so that the synthetic capacitance becomes larger, load capacitance is increased and the oscillation frequency of the crystal oscillator 1 becomes low. When a negative voltage is applied on the adjustment terminal 6 of the PEAC element 4, the combined capacitance of the PEAC element is decreased, the load capacitance is reduced and the oscillation frequency becomes high. Thus, the combined capacitance of the PEAC element 4 is increased/decreased, so that load capacitance is changed and the oscillation frequency of an oscillation circuit is adjusted through the use of the crystal oscillator.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、高精度な周波数を
必要とする産業分野、例えば移動体通信機器や計測機器
等の装置の基準周波数信号を発生する水晶振動子におい
て、電圧可変容量素子、具体的にはフローティング電極
MOS容量素子(以下、PEAC素子と称する)を用
い、その発振周波数を調整する水晶振動子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a voltage-variable capacitive element, such as a crystal oscillator for generating a reference frequency signal for an apparatus such as a mobile communication device or a measuring device, which requires a high-precision frequency. More specifically, the present invention relates to a crystal resonator that uses a floating electrode MOS capacitance element (hereinafter, referred to as a PEAC element) and adjusts its oscillation frequency.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の水晶振動子においては、水晶振動
子の外部に発振周波数を調整する機能を有している。こ
れは水晶振動子の直列共振周波数のバラツキや、発振回
路の負荷容量、例えばトランジスタのベース容量、基板
のストレー容量、コンデンサの容量などのバラツキによ
る容量変化により所望の発振周波数を得られないことに
起因する。 よって、従来の水晶振動子を用いた場合に
は、発振周波数を調整するために外部にトリマーコンデ
ンサ、またはレーザを照射して容量値や抵抗値を調整す
るレーザトリミングコンデンサやレーザトリミング抵
抗、または、PEAC素子を独立した個別の部品として
基板に実装していた。
2. Description of the Related Art A conventional crystal unit has a function of adjusting an oscillation frequency outside the crystal unit. This is because the desired oscillation frequency cannot be obtained due to variations in the series resonance frequency of the crystal unit and variations in the load capacitance of the oscillation circuit, such as transistor base capacitance, substrate stray capacitance, and capacitor capacitance. to cause. Therefore, when using a conventional crystal unit, a trimmer capacitor to adjust the oscillation frequency, or a laser trimming capacitor or a laser trimming resistor that irradiates a laser to adjust the capacitance or resistance value, or The PEAC element has been mounted on the board as an independent individual component.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来の水晶振動子にあ
っては、上述した理由から発振回路上に発振周波数を調
整するための部品を必要とする。図8は発振周波数を調
整する部品としてトリマーコンデンサを用いた場合を示
す従来の一例である。図中1は水晶振動子で点線101
で囲んだ部分が同一パッケージに実装されている。2は
インバータ、3は帰還抵抗、5はコンデンサ、7はトリ
マコンデンサである。トリマコンデンサ7のロータを回
すことにより水晶振動子の発振周波数を所望の値に設定
することができる。しかし、トリマコンデンサを用いた
発振回路には実装面と性能面に以下のような問題があ
る。
In the conventional crystal unit, components for adjusting the oscillation frequency are required on the oscillation circuit for the above-described reasons. FIG. 8 is an example of a related art showing a case where a trimmer capacitor is used as a component for adjusting the oscillation frequency. In the figure, reference numeral 1 denotes a quartz oscillator, which is indicated by a dotted line 101.
Are enclosed in the same package. 2 is an inverter, 3 is a feedback resistor, 5 is a capacitor, and 7 is a trimmer capacitor. By turning the rotor of the trimmer capacitor 7, the oscillation frequency of the crystal oscillator can be set to a desired value. However, an oscillation circuit using a trimmer capacitor has the following problems in terms of mounting and performance.

【0004】実装面では小型・薄型化が強く求められる
産業分野、特に移動体通信分野においては、トリマコン
デンサの高さ、実装面積が問題であり水晶振動子を利用
した商品の小型・薄型化の障壁となっている。性能面で
は、発振周波数を調整するためトリマコンデンサのロー
タを回転させるが、ロータにはバックラッシュがあり微
妙な調整が困難である。また、落下や衝突による衝撃に
より容量が変化し発振周波数が所望の値からズレてしま
うという問題も存在する。
[0004] In the industrial field where mounting is strongly required to be small and thin, particularly in the field of mobile communications, the height and mounting area of the trimmer capacitor are problematic. It is a barrier. In terms of performance, the rotor of the trimmer capacitor is rotated to adjust the oscillation frequency, but it is difficult to make fine adjustments because the rotor has backlash. In addition, there is a problem that the capacitance changes due to an impact due to a drop or a collision, and the oscillation frequency deviates from a desired value.

【0005】さらに、トリマコンデンサのロータを回し
て周波数を調整するという行為は自動化が難しく、工業
的には大きな問題となっている。次に、レーザを照射し
て容量値や抵抗値を調整するレーザトリミングコンデン
サやレーザトリミング抵抗を用いて発振周波数を調整す
る場合には、特性値を一方向にしか変化させることがで
きないため、特性値を戻す事ができない。例えば、抵抗
値を一度高くしてしまった後に抵抗値を下げることはで
きず、水晶振動子の経時変化などによる発振周波数変化
を調整できないことも十分に起こり得る。
Further, the act of turning the rotor of the trimmer capacitor to adjust the frequency is difficult to automate, and is a major industrial problem. Next, when adjusting the oscillation frequency using a laser trimming capacitor or laser trimming resistor that adjusts the capacitance and resistance by irradiating a laser, the characteristic value can be changed only in one direction. The value cannot be returned. For example, once the resistance value has been increased, the resistance value cannot be reduced, and the oscillation frequency change due to the secular change of the crystal unit may not be adjusted sufficiently.

【0006】また、水晶振動子とPEAC素子を各々独
立した個別のパッケージとして基板に実装する場合に
は、実装面積が大きくなること、PEAC素子の信頼性
を高めるためにベアチップは使用できずモールドしたパ
ッケージを使用すること、などコストが高くなるという
問題も存在する。
Further, when the crystal unit and the PEAC element are mounted on a substrate as independent packages, the mounting area is increased, and the bare chip cannot be used to increase the reliability of the PEAC element. There is also a problem that costs are high, such as using a package.

【0007】[0007]

【課題を解決する為の手段】上記の課題を解決するため
に、本発明では、発振周波数を調整するためのPEAC
素子を晶振動子のパッケージ内に設けた。これにより、
PEAC素子に印加される電圧を外部から変えることに
よって、PEAC素子の静電容量を変え、負荷容量を調
整し、所望の周波数とすることができる。本発明の目的
は水晶振動子の外部に発振周波数を調整する機能を不要
とする小型な水晶振動子を提供することである。
In order to solve the above problems, the present invention provides a PEAC for adjusting an oscillation frequency.
The device was provided in a crystal oscillator package. This allows
By changing the voltage applied to the PEAC element from the outside, the capacitance of the PEAC element can be changed, the load capacity can be adjusted, and a desired frequency can be obtained. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a small-sized crystal resonator which does not require a function of adjusting the oscillation frequency outside the crystal resonator.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】本発明は水晶振動子の容器内にP
EAC素子を設けたものであり、図1を用いて説明す
る。図1において、図中の点線100で囲んだ部分が本
発明の周波数調整機能付き水晶振動子に相当し、1は水
晶振動子、2はインバータ、3は帰還抵抗、4はPEA
C素子、5はコンデンサ、6は調整端子である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention relates to a method for manufacturing a crystal resonator in a container.
This is provided with an EAC element, and will be described with reference to FIG. In FIG. 1, a portion surrounded by a dotted line 100 in the figure corresponds to a crystal oscillator with a frequency adjustment function of the present invention, 1 is a crystal oscillator, 2 is an inverter, 3 is a feedback resistor, and 4 is PEA.
C element, 5 is a capacitor, and 6 is an adjustment terminal.

【0009】本実施例では、発振回路はインバータ2と
帰還抵抗3により構成されるインバータ増幅器と水晶振
動子1によるコルピッツ型発振回路である。このコルピ
ッツ型発振回路の発振周波数は、水晶振動子1の直列共
振周波数や、トランジスタのベース容量、基板のストレ
ー容量そしてコンデンサの容量などによって決定される
負荷容量によってある周波数となる。しかし、これらの
要因にはバラツキがあり所望の発振周波数となるとは限
らない。そこで、PEAC素子4の静電容量を変え、負
荷容量を調整することにより所望の周波数を得ることが
できる。
In this embodiment, the oscillating circuit is a Colpitts-type oscillating circuit including an inverter amplifier composed of an inverter 2 and a feedback resistor 3 and a crystal unit 1. The oscillation frequency of the Colpitts-type oscillation circuit is a certain frequency depending on the series resonance frequency of the crystal unit 1, the load capacitance determined by the base capacitance of the transistor, the stray capacitance of the substrate, the capacitance of the capacitor, and the like. However, these factors vary, and the oscillation frequency does not always reach a desired value. Therefore, a desired frequency can be obtained by changing the capacitance of the PEAC element 4 and adjusting the load capacitance.

【0010】次にPEAC素子4の構成及び動作につい
て図2,図3を用いて説明する。PEAC素子4は、調
整端子6にN型基板を基準にして、負または正の電圧を
印加することにより薄いSiO2膜中にトンネル電流を
流し、フローティング電極に電子を注入、注出する。ま
ず、 調整端子6に正電圧を印加すると、フローティン
グ電極から電子が流出し、フローティング電極直下に形
成される空乏層は狭まり、空乏層容量CDEPは大きくな
る。この時PEAC素子4の合成容量CPは大きくな
る。逆に、負電圧を印加すると、フローティング電極に
電子が流入し、フローティング電極直下に形成される空
乏層は広がり、空乏層容量CDEPは小さくなる。この時
PEAC素子4の合成容量CPは小さくなる。このよう
にPEAC素子4の容量を変化させることができる。
Next, the configuration and operation of the PEAC element 4 will be described with reference to FIGS. The PEAC element 4 applies a negative or positive voltage to the adjustment terminal 6 with respect to the N-type substrate to cause a tunnel current to flow through the thin SiO 2 film, and inject and eject electrons to the floating electrode. First, when a positive voltage is applied to the adjustment terminal 6, electrons flow out of the floating electrode, the depletion layer formed immediately below the floating electrode is narrowed, and the depletion layer capacitance C DEP is increased. Combined capacitance C P at this time PEAC element 4 increases. Conversely, when a negative voltage is applied, electrons flow into the floating electrode, the depletion layer formed immediately below the floating electrode expands, and the depletion layer capacitance C DEP decreases. Combined capacitance C P at this time PEAC element 4 is small. Thus, the capacity of the PEAC element 4 can be changed.

【0011】また、PEAC素子4は、フローティング
電極にトンネル電流が流れるに十分な電界が印加されな
い限りフローティング電極中の電子の数は一定に維持さ
れるので、新たに電子を注入、注出しない限りPEAC
素子4の静電容量は一定に保たれる。即ち、PEAC素
子4は、電気的に容量を変化させることができ、機械的
に容量を変化させるトリマコンデンサに替わる素子であ
る。
In the PEAC element 4, the number of electrons in the floating electrode is kept constant unless an electric field sufficient to cause a tunnel current to flow through the floating electrode. PEAC
The capacitance of the element 4 is kept constant. That is, the PEAC element 4 is an element that can change the capacity electrically and replaces the trimmer capacitor that changes the capacity mechanically.

【0012】次に水晶振動子の発振周波数の調整方法に
ついて説明する。例えば、図1のように配線された発振
回路で、水晶振動子が所望の周波数より高い周波数で発
振していると仮定すると、PEAC素子4の調整端子6
に正電圧を印加することにより、PEAC素子4の合成
容量Cpは大きくなり、負荷容量も増加し、水晶振動子
の発振周波数は低くなる。このように、周波数を下げ、
所望の発振周波数とすることができる。また、図1の水
晶振動子が所望の周波数より低い周波数で発振している
場合には、PEAC素子4の調整端子6に負電圧を印加
するとPEAC素子4の合成容量Cpは小さくなり、負
荷容量も減少し、発振周波数は高くなる。このように、
周波数を上げ、所望の発振周波数にすることができる。
Next, a method of adjusting the oscillation frequency of the crystal unit will be described. For example, assuming that the crystal oscillator oscillates at a frequency higher than a desired frequency in the oscillation circuit wired as shown in FIG.
, The combined capacitance Cp of the PEAC element 4 increases, the load capacitance also increases, and the oscillation frequency of the crystal resonator decreases. In this way, lower the frequency,
A desired oscillation frequency can be obtained. When the crystal resonator shown in FIG. 1 oscillates at a frequency lower than the desired frequency, when a negative voltage is applied to the adjustment terminal 6 of the PEAC element 4, the combined capacitance Cp of the PEAC element 4 becomes smaller, and the load capacitance becomes smaller. And the oscillation frequency increases. in this way,
The frequency can be increased to a desired oscillation frequency.

【0013】このようにPEAC素子4の合成容量を増
減することにより負荷容量を変化させ水晶振動子を用い
た発振回路の発振周波数を調整することができる。
As described above, by increasing or decreasing the combined capacitance of the PEAC element 4, the load capacitance can be changed and the oscillation frequency of the oscillation circuit using the crystal oscillator can be adjusted.

【0014】[0014]

【実施例】【Example】

(実施例1)実施例について図面を参照して説明する。
図4は本発明の一実施例を示す水晶振動子で、同図
(A)は分解図、同図(B)は断面図である。水晶振動
子は容器15と水晶振動体16とPEAC素子18から
なる。容器15は容器本体14とリッド11からなり、
容器本体14はリング12とベース13からなる。容器
15はセラミック、ガラス、金属などにより構成される
が、本実施例では積層セラミックを用いた例とする。
Embodiment 1 An embodiment will be described with reference to the drawings.
4A and 4B show a crystal resonator according to an embodiment of the present invention. FIG. 4A is an exploded view, and FIG. 4B is a sectional view. The crystal oscillator includes a container 15, a crystal oscillator 16, and a PEAC element 18. The container 15 includes a container body 14 and a lid 11,
The container body 14 includes the ring 12 and the base 13. The container 15 is made of ceramic, glass, metal, or the like. In this embodiment, an example using a laminated ceramic is used.

【0015】水晶振動子の形成方法について説明する。
まず、PEAC素子18を容器本体14の底部で、かつ
段部17に近いところに固着し、ボンディングにより導
電パターンに接続する。これにより、図6に示すように
容器本体14の外表面に形成された端子とPEAC素子
の導通がとられる。次に、水晶振動体16を容器本体1
4の両隅部に形成された段部17に導電性接着剤等を用
い電気的・機械的に接続し保持する。そして、容器本体
14とリッド11とをシーム溶接により接合し、本発明
の水晶振動子を得る。この際、容器内は真空または窒素
などの不活性ガスにより封止される。
A method for forming a crystal resonator will be described.
First, the PEAC element 18 is fixed to the bottom of the container body 14 and near the step 17, and is connected to the conductive pattern by bonding. Thereby, conduction between the terminal formed on the outer surface of the container body 14 and the PEAC element is established as shown in FIG. Next, the crystal vibrating body 16 is moved to the container body 1.
4 are electrically and mechanically connected to and held by a stepped portion 17 formed at both corners using a conductive adhesive or the like. Then, the container body 14 and the lid 11 are joined by seam welding to obtain the crystal resonator of the present invention. At this time, the inside of the container is sealed with a vacuum or an inert gas such as nitrogen.

【0016】このように、PEAC素子18を容器本体
14の底部で、かつ段部17に近いところに固着したこ
とにより、外的な衝撃が水晶振動子に加わった場合に、
振動変位の大きい水晶振動体16の保持していない側と
の接触を避けられ、且つ、PEAC素子と水晶振動体の
間隔を狭くすることができ、水晶振動子の薄型化に寄与
する。
As described above, the PEAC element 18 is fixed to the bottom of the container body 14 and close to the step 17, so that when an external impact is applied to the crystal unit,
It is possible to avoid contact with the side of the crystal vibrating body 16 that does not hold large vibration displacement, and it is possible to reduce the distance between the PEAC element and the crystal vibrating body, thereby contributing to the thinning of the crystal vibrator.

【0017】(実施例2)図5は本発明の一実施例を示
す水晶振動子で、同図(A)は分解図、同図(B)は断
面図である。PEAC素子は図7に示すような水晶振動
体のたわみをワイヤーボンディングされたワイヤー19
により抑える保持部を有している。保持部はPEAC素
子上に設けられたワイヤーであるが、電気的にはPEA
C素子の回路とは絶縁されている。すなわち、保持部の
ワイヤーはフローティング状態にある。
(Embodiment 2) FIGS. 5A and 5B are exploded views, and FIG. 5B is a cross-sectional view of a crystal resonator according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 7, the PEAC element has a wire 19 in which the bending of the quartz oscillator is wire-bonded.
It has a holding part for suppressing. The holding part is a wire provided on the PEAC element, but electrically
It is insulated from the circuit of the C element. That is, the wire of the holding unit is in a floating state.

【0018】水晶振動子の形成方法について説明する。
まず、PEAC素子18を容器本体14の底部で、かつ
保持部が水晶振動体16を保持していない側の端部の下
側になるように配設し固着する。次に、PEAC素子1
8を実施例1と同様にワイヤーボンディングにより容器
本体14の底部に形成された導電パターンに接続する。
これにより、図6に示すように、容器本体14の外表面
に形成された端子CとPEAC素子の電荷注入端子(I
NJECTION TERMINAL)を接続し、端子
DとPEAC素子のTGを接続し、端子BとPEAC素
子の容量端子TCを接続することにより、PEAC素子
が電気的に導通がとられる。次に、水晶振動体16を、
容器本体14の両隅部に形成された段部17に導電性接
着剤やハンダづけ等を用いて電気的・機械的に接続し、
保持する。そして、容器本体14とリッド11とをシー
ム溶接により接合し、本発明の水晶振動子を得る。この
際、容器内は真空または窒素などの不活性ガスにより封
止される。
A method for forming a crystal resonator will be described.
First, the PEAC element 18 is disposed and fixed such that the PEAC element 18 is located at the bottom of the container body 14 and the holding section is below the end on the side not holding the quartz oscillator 16. Next, PEAC element 1
8 is connected to the conductive pattern formed on the bottom of the container body 14 by wire bonding as in the first embodiment.
Thereby, as shown in FIG. 6, the terminal C formed on the outer surface of the container body 14 and the charge injection terminal (I
NJECTION TERMINAL) Connect to connect the T G of the terminal D and the PEAC element, by connecting the capacitor terminal T C terminal B and PEAC element, PEAC element electrically connected is taken. Next, the quartz oscillator 16 is
Electrically and mechanically connected to the step 17 formed at both corners of the container body 14 using a conductive adhesive or soldering,
Hold. Then, the container body 14 and the lid 11 are joined by seam welding to obtain the crystal resonator of the present invention. At this time, the inside of the container is sealed with a vacuum or an inert gas such as nitrogen.

【0019】保持部を設けたことにより、外的な衝撃が
水晶振動子に加わった場合に、振動変位の大きい水晶振
動体16の保持していない側のたわみをボンディングに
より支え、水晶片の割れや折れを防止することができ
る。また、本発明ではPEAC素子18と同一チップ上
に保持部を設けたが、同一チップ上に設けなくとも同様
の効果が得られることは言うまでもない。例えば、容器
本体14に電極パターンを形成し、上記実施例と同様に
ボンディングにより保持部を形成しても良い。
By providing the holding portion, when an external impact is applied to the crystal resonator, the deflection of the non-held side of the crystal vibrating body 16 having a large vibration displacement is supported by bonding, and the crystal piece is broken. And breakage can be prevented. Further, in the present invention, the holding unit is provided on the same chip as the PEAC element 18, but it is needless to say that the same effect can be obtained without providing the holding unit on the same chip. For example, an electrode pattern may be formed on the container body 14, and the holding portion may be formed by bonding in the same manner as in the above embodiment.

【0020】[0020]

【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、PEAC素子を水晶振動子の外部に設けた場合
に比べ、以下に記載されるような効果を奏する。水晶振
動子容器内は真空または窒素などの不活性ガスにより封
止されるため、PEAC素子をベアチップで実装でき、
製造コストを安くすることができる。また、水晶振動体
は、その支持部を除き、容器の内壁に接しない構造とす
るため、容器内部に空間が存在するように構成すること
ができる。その空間を利用することでベアチップの高さ
や実装面積は水晶振動子容器の大きさには影響せず、従
来の水晶振動子だけの大きさと同じ大きさで周波数調整
機能を備えることができる。これにより、部品点数を減
らすことができ、実装面積を小さくできる。本発明の水
晶振動子の周波数調整機能とは、水晶振動子の直列共振
周波数のバラツキと、トランジスタのベース容量、浮遊
容量そしてコンデンサの容量バラツキなどによる負荷容
量の変動を総轄した上で発振周波数を電気的に調整でき
ることである。
The present invention is embodied in the form described above, and has the following effects as compared with the case where the PEAC element is provided outside the crystal unit. Since the inside of the crystal unit is sealed with vacuum or an inert gas such as nitrogen, the PEAC element can be mounted with a bare chip.
Manufacturing costs can be reduced. In addition, since the quartz vibrator has a structure that does not contact the inner wall of the container except for its supporting portion, it can be configured so that a space exists inside the container. By utilizing the space, the height and mounting area of the bare chip do not affect the size of the crystal resonator container, and the frequency adjustment function can be provided with the same size as the conventional crystal resonator alone. As a result, the number of components can be reduced, and the mounting area can be reduced. The frequency adjustment function of the crystal unit according to the present invention controls the oscillation frequency after taking into account variations in the series resonance frequency of the crystal unit and variations in the load capacitance due to variations in the base capacitance, stray capacitance, and capacitance of the transistor. It can be adjusted electrically.

【0021】また、水晶振動子の直列共振周波数のバラ
ツキをPEAC素子で調整できることから水晶振動子の
製造工程での周波数調整精度を緩くでき、高精度な調整
は発振回路上で行い1度で済む。しかし、高精度水晶振
動子ではレーザトリミングやイオンミーリングなどの手
法を用いて水晶振動体の電極をミーリングして周波数を
調整するが、多くの場合、回路実装時に再度周波数調整
を行うことが必要となり、2度手間となる。
Further, since the variation of the series resonance frequency of the crystal unit can be adjusted by the PEAC element, the frequency adjustment accuracy in the manufacturing process of the crystal unit can be relaxed, and the high-precision adjustment is performed on the oscillation circuit only once. . However, in a high-precision quartz crystal resonator, the frequency is adjusted by milling the electrodes of the crystal oscillator using a technique such as laser trimming or ion milling. It becomes troublesome twice.

【0022】さらに、PEAC素子内の電極にトンネル
電流が流れるに十分な電界が印加されない限り、前記電
極中の電子の数は一定に維持され、新たに電子を注入、
注出しない限りPEAC素子の静電容量は一定に保たれ
るので、トリマコンデンサを用いた場合と異なり、落下
や衝突などの衝撃,リフローなどの熱的なストレス,有
機溶剤による洗浄などに対して極めて強い。
Further, unless an electric field sufficient to cause a tunnel current to flow through the electrodes in the PEAC element, the number of electrons in the electrodes is kept constant, and new electrons are injected.
Unless it is poured out, the capacitance of the PEAC element is kept constant. Therefore, unlike the case where a trimmer capacitor is used, it is resistant to impact such as dropping or collision, thermal stress such as reflow, washing with organic solvent, etc. Extremely strong.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例を示す回路図である。FIG. 1 is a circuit diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】本発明で用いたPEAC素子の構成模式図であ
る。
FIG. 2 is a schematic view of a configuration of a PEAC element used in the present invention.

【図3】本発明で用いたPEAC素子の等価回路図であ
る。
FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of a PEAC element used in the present invention.

【図4】本発明の一実施例を示す水晶振動子の構成図で
ある。
FIG. 4 is a configuration diagram of a crystal resonator according to an embodiment of the present invention.

【図5】本発明の一実施例を示す水晶振動子の構成図で
ある。
FIG. 5 is a configuration diagram of a crystal resonator according to an embodiment of the present invention.

【図6】本発明の一実施例を示す水晶振動子の実装説明
図である。
FIG. 6 is an explanatory view of mounting a quartz oscillator showing one embodiment of the present invention.

【図7】本発明の一実施例を示すPEAC素子の説明図
である。
FIG. 7 is an explanatory diagram of a PEAC element showing one embodiment of the present invention.

【図8】本発明を説明するための従来の回路図である。FIG. 8 is a conventional circuit diagram for explaining the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 水晶振動子 2 インバータ 3 帰還抵抗 4 PEAC素子 5 コンデンサ 6 調整端子 100 周波数調整機能付き水晶振動子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Crystal oscillator 2 Inverter 3 Feedback resistor 4 PEAC element 5 Capacitor 6 Adjustment terminal 100 Crystal oscillator with frequency adjustment function

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H03H 9/19 H03H 9/19 A (72)発明者 木村 文雄 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコー電子工業株式会社内 (72)発明者 今野 隆 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコー電子工業株式会社内──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Agency reference number FI Technical display location H03H 9/19 H03H 9/19 A (72) Inventor Fumio Kimura 1-chome Nakase, Mihama-ku, Chiba-shi, Chiba No. 8 Inside Seiko Electronic Industries Co., Ltd. (72) Inventor Takashi Konno 1-8 Nakase Nakase, Mihama-ku, Chiba City, Chiba Pref.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 セラミックやガラスあるいは金属などの
容器内に水晶振動体を配置した水晶振動子において、発
振周波数を調整するための電圧可変容量素子と、前記電
圧可変容量素子に電圧を印加する為の発振周波数調整端
子を有することを特徴とする周波数調整機能付き水晶振
動子。
In a quartz oscillator in which a quartz oscillator is disposed in a container made of ceramic, glass or metal, a voltage variable capacitor for adjusting an oscillation frequency and a voltage is applied to the voltage variable capacitor. A crystal resonator with a frequency adjustment function, characterized by having an oscillation frequency adjustment terminal of (1).
【請求項2】 水晶振動体のたわみを抑える保持部を有
することを特徴とする請求項1記載の周波数調整機能付
き水晶振動子。
2. The crystal unit with a frequency adjustment function according to claim 1, further comprising a holding unit for suppressing deflection of the crystal unit.
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