JP2002050928A - Piezoelectric oscillator - Google Patents

Piezoelectric oscillator

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JP2002050928A
JP2002050928A JP2000233574A JP2000233574A JP2002050928A JP 2002050928 A JP2002050928 A JP 2002050928A JP 2000233574 A JP2000233574 A JP 2000233574A JP 2000233574 A JP2000233574 A JP 2000233574A JP 2002050928 A JP2002050928 A JP 2002050928A
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Japan
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electrode exposed
piezoelectric
electrode
circuit component
exposed portion
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JP2000233574A
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Japanese (ja)
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Masatsugu Hirano
雅嗣 平野
Atsushi Hishikawa
淳 菱川
Masaki Yamashita
雅樹 山下
Shunsuke Shigematsu
俊輔 重松
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Daishinku Corp
Original Assignee
Daishinku Corp
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  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inexpensive piezoelectric oscillator of which fine adjustment of electrical characteristics after hermetic sealing can be done with a simple configuration and which can facilitate subsequent connection with an oscillation circuit of a piezoelectric vibrator by enabling the measurement of the characteristics of a piezoelectric vibrator single body hermetically sealed. SOLUTION: An IC33 is stored in a ceramic package 1. A quartz resonator 3 is supported cantilever style on the electrode paddings 14 and 15, and the electrode paddings 14 and 15 are conductively bonded with a conductive resin adhesive. The ceramic package 1 is hermetically sealed subsequently with a metal cover. Then, the electrical characteristics of the crystal oscillator are measured, and adjustment is carried out by using the electrode exposed parts, when it has deviated from a prescribed characteristic range. For example, the electrode exposed parts 16 and 18 are electrically connected with a bonding wire W1, and a capacitor C3 is connected (electrical connection S1) to a ground terminal.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は携帯電話等の通信機
器あるいは電子機器等に用いられる圧電発振器に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric oscillator used for a communication device such as a portable telephone or an electronic device.

【0002】[0002]

【従来の技術】圧電発振器、例えば水晶発振器は、安定
して精度の高い発振周波数を得ることができるため、電
子機器等の基準周波数源として多種の分野で使用されて
いる。従来例として、水晶振動子を用いた水晶発振器の
構成を例にとり説明する。特許2969526号は、セ
ラミックパッケージを用い、当該パッケージの内部下方
に発振回路用ICを配置するとともに、当該ICの上方
に水晶振動子を支持固定し、シーム溶接により気密封止
を行ったものである。このような構成はICのカスタム
化により比較的部品点数が少なく、シンプルな構成であ
り、低コスト化に寄与している。
2. Description of the Related Art Piezoelectric oscillators, for example, crystal oscillators, are used in various fields as reference frequency sources for electronic equipment and the like because they can obtain a stable and accurate oscillation frequency. As a conventional example, a configuration of a crystal oscillator using a crystal resonator will be described as an example. Japanese Patent No. 2969526 uses a ceramic package, arranges an oscillation circuit IC below the inside of the package, supports and fixes a crystal oscillator above the IC, and performs hermetic sealing by seam welding. . Such a configuration has a relatively small number of components due to customization of the IC, is a simple configuration, and contributes to cost reduction.

【0003】しかしながら、当該構成では気密封止後に
所望の電気的特性が変動することがあった。すなわち、
このような水晶発振器はIC実装後水晶振動子を取り付
け、この状態で水晶振動子に形成された励振電極に対
し、質量の加減による周波数等の電気的特性調整を行
う。例えば励振電極に対し金属材料のパーシャル蒸着を
行い、質量付加による周波数等の調整を行う。そして、
その後シーム溶接による気密封止を行うが、この気密封
止時に例えば溶接時の熱的機械的歪や、溶接時の溶融金
属の一部が飛散するスプラッシュにより、周波数等の電
気的特性が変動することがあった。従って、本構成では
周波数等のバラツキを見込む必要があるため、保証値と
して精度の高い電気的特性が確保できなかった。
[0003] However, in such a configuration, the desired electrical characteristics sometimes fluctuate after hermetic sealing. That is,
In such a crystal oscillator, a crystal oscillator is mounted after mounting the IC, and in this state, electric characteristics such as frequency are adjusted for excitation electrodes formed on the crystal oscillator by adjusting the mass. For example, partial vapor deposition of a metal material is performed on the excitation electrode, and the frequency and the like are adjusted by adding a mass. And
After that, hermetic sealing by seam welding is performed, but at the time of this hermetic sealing, for example, thermal mechanical distortion at the time of welding or a splash in which a part of molten metal at the time of welding scatters, electric characteristics such as frequency fluctuate. There was something. Therefore, in the present configuration, it is necessary to allow for variations in frequency and the like, so that highly accurate electrical characteristics cannot be secured as guaranteed values.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述の不具合に対応す
るために、回路部品の定数を可変させる機構をパッケー
ジの外部に取り付ける構成が考えられている。すなわち
図9に示すように、水晶振動子と発振回路用ICをセラ
ミックパッケージ90の上部収納部90aに収納し、金
属フタ93により気密封止する。一方、セラミックパッ
ケージの下部には下部収納部90bが形成され、この下
部収納部90bには可変容量コンデンサ94が取着さ
れ、気密封止後の水晶発振器の電気的特性を当該可変容
量コンデンサ94にて微調整する。ところが、図9に示
す構成では高精度要求に対応することができるが、部品
コストが上がり、低価格化に対応できないという問題が
あった。
In order to cope with the above-mentioned problem, a configuration has been considered in which a mechanism for changing the constants of circuit components is mounted outside the package. That is, as shown in FIG. 9, the crystal oscillator and the oscillation circuit IC are housed in the upper housing portion 90 a of the ceramic package 90 and hermetically sealed by the metal lid 93. On the other hand, a lower storage portion 90b is formed below the ceramic package, and a variable capacitor 94 is attached to the lower storage portion 90b. Fine tune. However, the configuration shown in FIG. 9 can meet the demand for high accuracy, but has a problem in that the cost of parts increases and it is not possible to reduce the cost.

【0005】また気密封止後において、上記各構成では
圧電振動子(水晶振動子)単体の特性の確認ができない
という問題を有していた。例えばTCXO,VCXO等
においてはより高度な温度補償または電圧制御を行うに
あたり、他の回路と接続されていない状態での電気的特
性を確認し、これに対応した補償等を行う必要があり、
従来の構成では気密封止後、圧電振動子単体の特性を測
定し、その後必要な回路接続を行うことができなかっ
た。
[0005] Further, after the hermetic sealing, the above-described configurations have a problem that the characteristics of the piezoelectric vibrator (quartz vibrator) alone cannot be confirmed. For example, in TCXO, VCXO, and the like, in order to perform advanced temperature compensation or voltage control, it is necessary to confirm electrical characteristics in a state where the circuit is not connected to other circuits, and to perform compensation and the like corresponding thereto.
In the conventional configuration, after the hermetic sealing, the characteristics of the piezoelectric vibrator alone were measured, and thereafter, necessary circuit connection could not be performed.

【0006】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたもので、圧電発振器において気密封止後の電気的特
性の微調整を簡便な構成で行い、安価な圧電発振器を提
供することを目的の一つとし、また気密封止された圧電
振動子単体の特性を測定し、その後の圧電振動子の発振
回路への接続が容易にできる圧電発振器を提供すること
をもう一つの目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an inexpensive piezoelectric oscillator that performs fine adjustment of electrical characteristics of a piezoelectric oscillator after hermetic sealing with a simple configuration. Another object of the present invention is to provide a piezoelectric oscillator capable of measuring characteristics of a hermetically sealed piezoelectric vibrator alone and easily connecting the piezoelectric vibrator to an oscillation circuit thereafter.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、圧電発振回路
の電気的特性を調整する回路部品をパッケージに収納
し、当該回路部品につながっている配線を接続または切
断することにより、圧電発振回路の電気的特性を調整す
ることを1つの特徴としている。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a circuit for adjusting the electrical characteristics of a piezoelectric oscillation circuit is housed in a package, and a wiring connected to the circuit component is connected or disconnected to form a piezoelectric oscillation circuit. One of the features of the present invention is to adjust the electrical characteristics of the device.

【0008】すなわち請求項1に示すように、圧電振動
子と、当該圧電振動子とともに圧電発振回路を構成する
第1の回路部品と、前記圧電発振回路の電気的特性を調
整する第2の回路部品をパッケージに収納し、所定の配
線により各々電気的接続した圧電発振器であって、前記
第2の回路部品を調整素子として機能させる配線を接続
または切断することにより、前記電気的特性を調整した
ことを特徴としている。
That is, as set forth in claim 1, a piezoelectric vibrator, a first circuit component that forms a piezoelectric oscillation circuit together with the piezoelectric vibrator, and a second circuit that adjusts electrical characteristics of the piezoelectric oscillation circuit. A piezoelectric oscillator in which components are housed in a package and electrically connected to each other by predetermined wiring, and the electrical characteristics of the piezoelectric oscillator are adjusted by connecting or disconnecting wiring that functions as an adjustment element of the second circuit component. It is characterized by:

【0009】上記構成において請求項2に示すように、
前記第2の回路部品を調整素子として機能させる配線の
一部を、気密封止された前記パッケージの外部に露出さ
せた第1の電極露出部を設け、当該第1の電極露出部の
配線を接続または切断することにより、前記電気的特性
を調整したことを特徴とする構成であってもよい。
[0009] In the above structure, as described in claim 2,
A first electrode exposed portion is provided in which a part of a wiring for causing the second circuit component to function as an adjustment element is exposed to the outside of the hermetically sealed package, and a wiring of the first electrode exposed portion is provided. The configuration may be such that the electrical characteristics are adjusted by connecting or disconnecting.

【0010】上記各構成によれば、圧電発振回路の電気
的特性を調整する回路部品を予め圧電発振器内に組み込
んでおき、電気的特性の調整は、当該回路部品を調整素
子として機能させる配線を接続または切断することによ
り行う。従って、部品コストの高い可変容量コンデンサ
等の回路定数可変素子を必要とせず、簡便な構成で電気
的特性の調整を行うことができる。特に請求項2に示す
ように、パッケージの外部に電極露出部を設けた構成と
したことで、当該電極露出部の配線を接続または切断す
ることにより、圧電発振器を気密封止した状態で電気的
特性を調整することができる。
According to each of the above-described structures, a circuit component for adjusting the electric characteristics of the piezoelectric oscillation circuit is previously incorporated in the piezoelectric oscillator, and the electric characteristics are adjusted by wiring for functioning the circuit component as an adjustment element. This is done by connecting or disconnecting. Therefore, it is not necessary to use a variable circuit constant variable element such as a variable capacitor having a high component cost, and the electric characteristics can be adjusted with a simple configuration. In particular, by providing a configuration in which an electrode exposed portion is provided outside the package, the wiring of the electrode exposed portion is connected or disconnected, thereby electrically connecting the piezoelectric oscillator in a hermetically sealed state. Characteristics can be adjusted.

【0011】また最近は圧電振動子以外の回路部品をモ
ノリシックIC化する傾向が主流となっているが、この
ような回路部品をIC化した場合においても、請求項3
に示すように、IC化された回路部品の配線を接続また
は切断することにより、電気的特性の調整を行うことが
できる。
In recent years, there has been a tendency for circuit components other than the piezoelectric vibrator to be made into a monolithic IC.
As shown in (1), the electrical characteristics can be adjusted by connecting or disconnecting the wiring of the circuit component formed into an IC.

【0012】また本発明は、圧電発振器内に気密封止さ
れた圧電振動子につながっている配線をパッケージ外部
に導出し、必要な電気的特性を確認した後、外部から必
要な接続を行うことをもう一つの特徴としている。
Further, according to the present invention, a wiring connected to a piezoelectric vibrator hermetically sealed in a piezoelectric oscillator is led out of a package, necessary electrical characteristics are checked, and then a necessary connection is made from the outside. Is another feature.

【0013】すなわち請求項4に示すように、上記各構
成において、圧電振動子の入出力端子と第1の回路部品
との接続部分が電気的に切断された状態でパッケージ外
部に露出させた第2の電極露出部を形成し、当該第2の
電極露出部において圧電振動子の電気的特性を測定した
後、切断された前記接続部分が導電接合されることを特
徴としている。
That is, in each of the above structures, the connection portion between the input / output terminal of the piezoelectric vibrator and the first circuit component is exposed to the outside of the package while being electrically disconnected. After the second electrode exposed portion is formed and the electrical characteristics of the piezoelectric vibrator are measured at the second electrode exposed portion, the cut connection portion is conductively joined.

【0014】請求項4によれば、圧電振動子の入出力端
子が他の回路に接続されない状態で外部に露出している
ので、他の回路部品の影響を受けることがなく圧電振動
子単体の特性を測定することができる。従って、TCX
O、VCXO等においてより精度の高い補償または制御
を行うにあたり、圧電振動子単体の特性を確認し、当該
確認された特性に対応した補償または制御の調整素子の
接続切断を実施することができる。
According to the fourth aspect, since the input / output terminals of the piezoelectric vibrator are exposed to the outside without being connected to other circuits, the input / output terminals of the piezoelectric vibrator are not affected by other circuit components and are not affected by other circuit components. Properties can be measured. Therefore, TCX
In performing higher-precision compensation or control in O, VCXO, or the like, the characteristics of the piezoelectric vibrator alone can be confirmed, and the connection of the adjustment element for compensation or control corresponding to the confirmed characteristics can be performed.

【0015】また請求項5においては、電極露出部の構
成、配置について開示しており、パッケージの底面また
は側面のいずれか一方、または底面と側面の両方に凹部
を設け、当該凹部に前記第1の電極露出部または第2の
電極露出部を形成したことを特徴としている。
[0015] Claim 5 discloses the configuration and arrangement of the electrode exposed portion. A concave portion is provided on either the bottom surface or the side surface of the package, or both the bottom surface and the side surface, and the first concave portion is provided in the concave portion. Or the second electrode exposed portion is formed.

【0016】さらに請求項6においては、電極露出部に
おける接続構成について開示しており、第1の電極露出
部または第2の電極露出部における電気的接続はボンデ
ィングワイヤまたは導電性接着剤または金属端子片の導
電接着により行ったことを特徴としている。
[0016] Further, in claim 6, a connection structure at the electrode exposed portion is disclosed, and the electrical connection at the first electrode exposed portion or the second electrode exposed portion is made of a bonding wire, a conductive adhesive or a metal terminal. It is characterized in that it is performed by conductive bonding of the pieces.

【0017】また請求項7に示すように、前記凹部には
各電極露出部の電気的接続または切断処理後、樹脂が充
填される構成としてもよい。樹脂の充填により前記接続
部分の導体を保護することができるので、接続状態また
は切断状態を安定に行うことができる。
[0017] Further, as set forth in claim 7, the concave portion may be filled with a resin after the electrical connection or disconnection processing of each electrode exposed portion. Since the conductor at the connection portion can be protected by filling the resin, the connection state or the disconnection state can be stably performed.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を水晶発振器
を例にとり図1乃至図4とともに説明する。図1は本発
明の実施形態を示す水晶発振回路図、図2は図1の回路
構成を格納した水晶発振器の分解斜視図、図3は図2に
おいて金属フタにて気密封止した状態の内部断面図、図
4は底面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a crystal oscillation circuit diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of a crystal oscillator storing the circuit configuration of FIG. 1, and FIG. 3 is an inside of FIG. FIG. 4 is a sectional view and FIG. 4 is a bottom view.

【0019】図1に示す水晶発振回路は、トランジスタ
で構成されたインバータA1とインバータA1の入出力
端子間に配置された水晶振動子Qと、同じく入出力端子
間に接続された帰還抵抗Rと、当該入出力端子各々とア
ース端子間に設けられたコンデンサC1,C2とからな
る。前記インバータA1の入力端子側には周波数調整用
のコンデンサC3,C4が各々並列に接続され、コンデ
ンサの他端はアース端子に接続可能な構成となってい
る。なおインバータA1からの出力はバッファ用インバ
ータA2に接続されている。本実施の形態ではインバー
タA1,A2と帰還抵抗RそしてコンデンサC1,C2
を第1の回路部品とし、コンデンサC3,C4は第2の
回路部品とされている。後述するようにこれら第1の回
路部品と第2の回路部品はIC33内に1チップIC化
(図1中点線内の構成、ただし水晶振動子Qは除く。)
されている。
The crystal oscillating circuit shown in FIG. 1 has an inverter A1 composed of transistors, a crystal oscillator Q arranged between the input and output terminals of the inverter A1, a feedback resistor R also connected between the input and output terminals. And capacitors C1 and C2 provided between the input / output terminals and the ground terminal. Frequency adjustment capacitors C3 and C4 are connected in parallel to the input terminal side of the inverter A1, and the other end of the capacitor is connectable to a ground terminal. The output from the inverter A1 is connected to the buffer inverter A2. In this embodiment, the inverters A1 and A2, the feedback resistor R, and the capacitors C1 and C2
Are the first circuit components, and the capacitors C3 and C4 are the second circuit components. As will be described later, the first circuit component and the second circuit component are integrated into one chip in the IC 33 (the configuration within the dotted line in FIG. 1 except for the crystal oscillator Q).
Have been.

【0020】図2はこれら回路構成部品を収納した水晶
発振器を示しており、セラミックパッケージ1と、当該
パッケージ内に格納されるIC33、水晶振動板3と、
パッケージを気密封止する金属フタ2とからなる。
FIG. 2 shows a crystal oscillator in which these circuit components are housed. The ceramic package 1, an IC 33 and a crystal diaphragm 3 housed in the package,
And a metal lid 2 for hermetically sealing the package.

【0021】セラミックパッケージ1はアルミナ等のセ
ラミックスからなり、全体として上方に開口した上部収
納部12と下方に開口した下方収納部13を有する構成
である。上部収納部12は2段の凹部が形成されてお
り、下方の下部凹部12aとその上の上部凹部12bが
形成され、それぞれ下部凹部12aにはIC33、上部
凹部には電極パッド14,15が形成され、当該電極パ
ッド14,15には水晶振動子3が搭載されている。こ
れら電極パッド14,15は所定の電極配線によりIC
33と電気的接続される。なお、IC33用の電極パッ
ドは図示していない。また下部収納部13には第1の電
極露出部16,17,18が形成され、このうち電極露
出部16,17はそれぞれ図1で示すコンデンサC3,
C4に電気的につながるもので、電極露出部18はアー
ス端子につながっているが、本実施の形態では、初期段
階(調整前の段階)において各々電気的につながってい
ない構成となっている。
The ceramic package 1 is made of ceramics such as alumina, and has a configuration in which an upper storage portion 12 opened upward as a whole and a lower storage portion 13 opened downward. The upper accommodating portion 12 is formed with a two-stage concave portion, and a lower lower concave portion 12a and an upper concave portion 12b thereon are formed. An IC 33 is formed in the lower concave portion 12a, and electrode pads 14 and 15 are formed in the upper concave portion. The crystal resonator 3 is mounted on the electrode pads 14 and 15. These electrode pads 14 and 15 are IC
33 and is electrically connected. The electrode pads for the IC 33 are not shown. Further, first electrode exposed portions 16, 17, 18 are formed in the lower housing portion 13, and the electrode exposed portions 16, 17 are respectively provided with the capacitors C3, C3 shown in FIG.
Although it is electrically connected to C4, the electrode exposed portion 18 is connected to the ground terminal. However, in the present embodiment, each electrode is not electrically connected at the initial stage (stage before adjustment).

【0022】またセラミックパッケージの側面にはキャ
スタレーション1a,1b,1c,1dが設けられ、キ
ャスタレーション内部並びにパッケージ底面には各々導
出電極E1,E2,E3,E4が形成され、パッケージ
内部の水晶振動子とICで構成される水晶発振回路の出
力端子、電源端子、アース端子が対応して引き出されて
いる。
Further, castellations 1a, 1b, 1c, 1d are provided on the side surfaces of the ceramic package, and lead-out electrodes E1, E2, E3, E4 are formed inside the castellations and on the bottom surface of the package, respectively. The output terminal, the power supply terminal, and the ground terminal of the crystal oscillation circuit composed of the element and the IC are drawn out correspondingly.

【0023】水晶振動子3は矩形状のATカット水晶板
からなり、表裏面に励振電極31,32(32は図示せ
ず)並びに引出電極311,321(321は図示せ
ず)が真空蒸着法等の薄膜形成手段にて形成されてい
る。(図1の水晶振動子Qに対応している)またIC3
3は前述の第1の回路部品と調整用の第2の回路部品を
1チップIC化したものであり、図示していないが複数
の入出力電極パッドが形成されている。
The quartz oscillator 3 is formed of a rectangular AT-cut quartz plate, and excitation electrodes 31 and 32 (32 are not shown) and extraction electrodes 311 and 321 (321 are not shown) are formed on the front and back surfaces by vacuum evaporation. And the like. (Corresponding to the crystal unit Q in FIG. 1)
Reference numeral 3 denotes a one-chip IC in which the first circuit component and the second circuit component for adjustment are formed into a one-chip IC, and a plurality of input / output electrode pads (not shown) are formed.

【0024】金属フタ2はコバール等の金属板の表裏に
ニッケルメッキされた構成であり、セラミックパッケー
ジの開口周囲部分の金属シール部11とシーム溶接等の
手段にて接合され、セラミックパッケージ内を気密封止
する。なお、前記金属シール部11は前記アース端子に
電気的接続されており、電磁シールド構成となってい
る。
The metal cover 2 has a structure in which a metal plate such as Kovar is plated with nickel on the front and back surfaces thereof. The metal cover 2 is joined to the metal seal portion 11 around the opening of the ceramic package by means of seam welding or the like. Seal tightly. Note that the metal seal portion 11 is electrically connected to the ground terminal, and has an electromagnetic shield configuration.

【0025】次に本実施の形態における電気的特性を調
整する手順を説明する。セラミックパッケージ3にIC
33を収納し、必要な電気的接続を行う。本形態ではI
C33をフリップチップ搭載しており、図面にて明示し
ていないが、セラミックパッケージ3に形成された複数
の電極パッドとICの電極パッドが導通接続される。次
に水晶振動子3が電極パッド14,15上に片持ち支持
され、導電性樹脂接着剤で導通接合される。この状態で
水晶振動子に対し電気的特性を調整する作業、例えば金
属材料をパーシャル蒸着し、所望の発振周波数に調整す
る。その後金属フタでセラミックパッケージ2を気密封
止する。
Next, the procedure for adjusting the electrical characteristics in the present embodiment will be described. IC in ceramic package 3
33, and make necessary electrical connections. In this embodiment, I
Although C33 is mounted on a flip chip and not shown in the drawing, a plurality of electrode pads formed on the ceramic package 3 and the electrode pads of the IC are electrically connected. Next, the crystal oscillator 3 is cantilevered on the electrode pads 14 and 15, and is conductively joined with a conductive resin adhesive. In this state, an operation of adjusting the electric characteristics of the crystal unit, for example, a metal material is partially vapor-deposited and adjusted to a desired oscillation frequency. Thereafter, the ceramic package 2 is hermetically sealed with a metal lid.

【0026】次に当該水晶発振器の電気的特性を測定
し、所定の特性範囲を逸脱している場合、前記電極露出
部を用いて調整を行う。例えば電極露出部16と18を
ボンディングワイヤW1により電気的接続し、図1に示
すコンデンサC3をアース端子に接続(電気的接続S
1)する。このようにコンデンサ容量を付加することに
より、出力される発振周波数は低下する。また前記測定
結果によっては、異なった定数のコンデンサC4を接続
(電気的接続S2)してもよい。さらにコンデンサC3
とC4両者を並列接続することにより、より大きく発振
周波数を低下させることができる。これら周波数の調整
は定数の異なるコンデンサを用いたり、またそれぞれの
接続の組み合わせを選択することにより、段階的な調整
を行うことができる。なお、これら調整を終了した後
は、前記下部収納部13に対し絶縁性樹脂を充填するこ
と(図示せず)により、当該部分を保護することができ
る。
Next, the electrical characteristics of the crystal oscillator are measured, and if the electrical characteristics deviate from a predetermined characteristic range, adjustment is performed using the electrode exposed portions. For example, the electrode exposed portions 16 and 18 are electrically connected by a bonding wire W1, and the capacitor C3 shown in FIG. 1 is connected to a ground terminal (electric connection S
1) Yes. By adding a capacitor in this way, the output oscillation frequency is reduced. Further, depending on the measurement result, a capacitor C4 having a different constant may be connected (electric connection S2). Furthermore, capacitor C3
And C4 are connected in parallel, it is possible to further reduce the oscillation frequency. These frequencies can be adjusted stepwise by using capacitors having different constants or by selecting combinations of the respective connections. After these adjustments are completed, the lower housing portion 13 can be protected by filling the lower housing portion 13 with an insulating resin (not shown).

【0027】本発明による第2の実施の形態を温度補償
型水晶発振器を例にとり、図5、図6,図7とともに説
明する。図5は第2の実施形態を示す水晶発振回路図で
あり、図6は金属フタにて気密封止した状態の内部断面
図、図7は底面図である。基本構成は第1の実施の形態
に類似する構成であり、同じ構造部分については同番号
を付すとともに、一部説明を割愛する。
A second embodiment according to the present invention will be described with reference to FIGS. 5, 6, and 7, taking a temperature-compensated crystal oscillator as an example. FIG. 5 is a crystal oscillation circuit diagram showing the second embodiment, FIG. 6 is an internal cross-sectional view in a state of being hermetically sealed with a metal lid, and FIG. 7 is a bottom view. The basic configuration is similar to that of the first embodiment, and the same components are denoted by the same reference numerals, and a description thereof is partially omitted.

【0028】第2の実施の形態においては、圧電発振器
内に気密封止された圧電振動子につながっている配線を
パッケージ外部に導出し、必要な電気的特性を確認した
後、外部から前記配線に対し必要な接続を行う。その後
回路部品を調整素子として機能させる配線を接続または
切断して調整する構成を特徴としている。
In the second embodiment, the wiring connected to the piezoelectric vibrator hermetically sealed in the piezoelectric oscillator is led out of the package, necessary electric characteristics are checked, and then the wiring is connected to the outside. Make the necessary connections to. Thereafter, wiring for making the circuit component function as an adjusting element is connected or cut to adjust.

【0029】図5に示す水晶発振回路は、基本構成は図
1に示す構成と同じであるが、水晶振動子Qの入出力端
子が初期設定では切断された構成となっている点で異な
っている。また図示していないが水晶発振回路の外部に
温度補償回路が形成されている。本実施の形態ではイン
バータA1,A2と帰還抵抗RそしてコンデンサC1,
C2を第1の回路部品とし、コンデンサC3,C4並び
に図示していない温度補償回路が第2の回路部品とされ
ている。これら第1の回路部品と第2の回路部品はIC
34内に1チップIC化されている。
The basic configuration of the crystal oscillation circuit shown in FIG. 5 is the same as that shown in FIG. 1, except that the input / output terminals of the crystal unit Q are initially disconnected. I have. Although not shown, a temperature compensation circuit is formed outside the crystal oscillation circuit. In this embodiment, the inverters A1 and A2, the feedback resistor R and the capacitor C1
C2 is the first circuit component, and the capacitors C3 and C4 and the temperature compensation circuit (not shown) are the second circuit components. The first circuit component and the second circuit component are IC
34, a one-chip IC is formed.

【0030】図6はこれら回路構成部品を収納した水晶
発振器を示しており、セラミックパッケージ1と当該パ
ッケージ内に格納されるIC34と水晶振動板3とパッ
ケージを気密封止する金属フタ2とからなる。
FIG. 6 shows a crystal oscillator accommodating these circuit components, which comprises a ceramic package 1, an IC 34 stored in the package, a crystal diaphragm 3, and a metal lid 2 for hermetically sealing the package. .

【0031】第1の実施の形態との構成上の相違点は、
上記水晶振動子の接続構成に関連する下方収納部13の
構成と、IC34内部に温度補償用の回路素子が組み込
まれている点と、IC34とセラミックパッケージとの
電気的接続構成である。セラミックパッケージ1は、ア
ルミナ等のセラミックスからなり、全体として上方に開
口した上部収納部12と下方に開口した下方収納部13
を有する構成である。上部収納部12は2段の凹部が形
成されており、下方の下部凹部12aとその上の上部凹
部12bが形成されている。下部凹部12aにはIC3
4が搭載されボンディングワイヤW3,W4等により電
極パッド43,44等と電気的接続されている。上部凹
部には電極パッド41,42が形成され、当該電極パッ
ドに水晶振動子3が搭載されている。電極パッド41,
42(41は図示せず)は所定の電極配線411,42
1により後述の電極露出部45,46とつながってい
る。
The configuration difference from the first embodiment is as follows.
The configuration of the lower housing 13 relating to the connection configuration of the crystal unit, the point that a circuit element for temperature compensation is incorporated inside the IC 34, and the electrical connection configuration of the IC 34 and the ceramic package. The ceramic package 1 is made of ceramics such as alumina, and has an upper storage portion 12 opened upward as a whole and a lower storage portion 13 opened downward as a whole.
It is a structure which has. The upper housing portion 12 has a two-stage recess, and a lower lower recess 12a and an upper recess 12b thereon. IC3 is provided in lower concave portion 12a.
4, and are electrically connected to the electrode pads 43, 44 and the like by bonding wires W3 and W4. Electrode pads 41 and 42 are formed in the upper concave portion, and the crystal resonator 3 is mounted on the electrode pads. Electrode pad 41,
42 (41 not shown) are predetermined electrode wirings 411, 42
1 connects to electrode exposure portions 45 and 46 to be described later.

【0032】下部収納部13には電極露出部45〜51
が形成され、このうち電極露出部45,46はそれぞれ
水晶振動子の入出力端子につながっており、最終的にそ
れぞれ電極露出部47,48とつながることにより水晶
振動子が他の回路構成部品と接続される。電極露出部4
9,50,51はそれぞれ図5で示すコンデンサC3,
C4に電気的につながるもので、電極露出部51はアー
ス端子につながっているが、本実施の形態では、初期段
階(調整前の段階)において各々電気的につながってい
ない構成となっている。
The lower receiving portion 13 has electrode exposed portions 45-51.
Are formed, of which the electrode exposed portions 45 and 46 are respectively connected to the input / output terminals of the crystal oscillator, and finally connected to the electrode exposed portions 47 and 48, whereby the crystal oscillator is connected to other circuit components. Connected. Electrode exposed part 4
9, 50 and 51 are capacitors C3 and C3 shown in FIG.
Although it is electrically connected to C4, the electrode exposed portion 51 is connected to the ground terminal. However, in the present embodiment, each electrode is not electrically connected in the initial stage (stage before adjustment).

【0033】またセラミックパッケージの側面にはキャ
スタレーション1a,1b,1c,1dが設けられ、キ
ャスタレーション内部並びにパッケージ底面には各々導
出電極E1,E2,E3,E4が形成され、パッケージ
内部の水晶振動子とICで構成される水晶発振回路の出
力端子、電源端子、アース端子が対応して引き出されて
いる。
Castellations 1a, 1b, 1c, 1d are provided on the side surfaces of the ceramic package, and lead-out electrodes E1, E2, E3, E4 are formed inside the castellations and on the bottom surface of the package, respectively. The output terminal, the power supply terminal, and the ground terminal of the crystal oscillation circuit composed of the element and the IC are drawn out correspondingly.

【0034】水晶振動子3は矩形状のATカット水晶板
からなり、表裏面に励振電極31,32(32は図示せ
ず)並びに引出電極311,321(321は図示せ
ず)が真空蒸着法等の薄膜形成手段にて形成されてい
る。(図5の水晶振動子Qに対応している)またIC3
4は前述の第1の回路部品と調整用の第2の回路部品を
1チップIC化したものであり、図示していないが複数
の電極パッドが形成されている。
The quartz oscillator 3 is formed of a rectangular AT-cut quartz plate, and excitation electrodes 31 and 32 (32 are not shown) and extraction electrodes 311 and 321 (321 are not shown) are formed on the front and back surfaces by vacuum evaporation. And the like. (Corresponding to the crystal unit Q in FIG. 5)
Reference numeral 4 denotes a one-chip IC in which the above-described first circuit component and the second circuit component for adjustment are formed into a one-chip IC, and a plurality of electrode pads (not shown) are formed.

【0035】金属フタ2はコバール等の金属板の表裏に
ニッケルメッキされた構成であり、セラミックパッケー
ジの開口周囲部分の金属シール部11とシーム溶接等の
手段にて接合され、セラミックパッケージ内を気密封止
する。なお、前記金属シール部は前記アース端子に電気
的接続されており、電磁シールド構成となっている。
The metal cover 2 has a structure in which a metal plate such as Kovar is nickel-plated on the front and back surfaces thereof, and is joined to the metal seal portion 11 around the opening of the ceramic package by means of seam welding or the like. Seal tightly. Note that the metal seal portion is electrically connected to the ground terminal, and has an electromagnetic shield configuration.

【0036】次に本第2の実施形態における電気的特性
を調整する手順を説明する。セラミックパッケージ3に
IC34を収納し、ワイヤボンディングにより必要な電
気的接続を行う。次に水晶振動子3が電極パッド41,
42上に片持ち支持され、導電性樹脂接着剤で導通接合
される。この状態で水晶振動子に対し電気的特性を調整
する作業、例えば金属材料をパーシャル蒸着し、所望の
発振周波数に調整する。その後金属フタでセラミックパ
ッケージ2を気密封止する。
Next, the procedure for adjusting the electrical characteristics in the second embodiment will be described. The IC 34 is housed in the ceramic package 3 and necessary electric connection is performed by wire bonding. Next, the crystal unit 3 is
42, and are conductively bonded with a conductive resin adhesive. In this state, an operation of adjusting the electric characteristics of the crystal unit, for example, a metal material is partially vapor-deposited and adjusted to a desired oscillation frequency. Thereafter, the ceramic package 2 is hermetically sealed with a metal lid.

【0037】そして前記電極露出部45,46を用い、
気密封止された水晶振動子のみの電気的特性を測定す
る。その後当該電極露出部45と47、電極露出部46
と48それぞれをボンディングワイヤW5,W6により
接続することにより、電気的接続S1,S2を行い、水
晶発振器の特性を測定する。前記水晶振動子単体の電気
的特性測定結果と水晶発振器の電気的特性測定結果に基
づき、調整可能な範囲で最適な調整条件を選択し、前記
電極露出部49,50,51を用いて調整を行う。例え
ば電極露出部49と51をボンディングワイヤW7によ
り電気的接続し、図5に示すコンデンサC3をアース端
子に接続する。また前記測定結果によっては、電極露出
部50と51を接続し異なった定数のコンデンサC4を
接続してもよい。さらにコンデンサC3とC4両者を並
列接続することにより、より大きく発振周波数を低下さ
せることができる。これら周波数の調整は定数の異なる
コンデンサを用いたり、またそれぞれの接続の組み合わ
せを選択することにより、段階的な調整を行うことがで
きる。このように気密封止後の電気的特性の調整におい
て、水晶振動子単体の特性を加味することにより、TC
XO、VCXO等においてより精度の高い補償または制
御を行うことができる。
Using the electrode exposed portions 45 and 46,
The electrical characteristics of only the hermetically sealed quartz resonator are measured. Thereafter, the electrode exposed portions 45 and 47, the electrode exposed portion 46
And 48 are connected by bonding wires W5 and W6, thereby making electrical connections S1 and S2, and measuring the characteristics of the crystal oscillator. Based on the measurement results of the electric characteristics of the quartz oscillator alone and the measurement results of the electric characteristics of the crystal oscillator, an optimum adjustment condition is selected within an adjustable range, and adjustment is performed using the electrode exposed portions 49, 50, and 51. Do. For example, the electrode exposed portions 49 and 51 are electrically connected by a bonding wire W7, and the capacitor C3 shown in FIG. 5 is connected to a ground terminal. Further, depending on the measurement result, the electrode exposed portions 50 and 51 may be connected to each other and a capacitor C4 having a different constant may be connected. Further, by connecting both the capacitors C3 and C4 in parallel, the oscillation frequency can be further reduced. These frequencies can be adjusted stepwise by using capacitors having different constants or by selecting combinations of the respective connections. In the adjustment of the electrical characteristics after the hermetic sealing as described above, by taking into account the characteristics of the quartz oscillator alone, the TC
More accurate compensation or control can be performed in XO, VCXO, and the like.

【0038】本発明による第3の実施の形態を温度補償
型水晶発振器を例にとり、図8とともに説明する。図8
は第3の実施形態を示す水晶発振器の斜視図である。基
本構成は第1または第2の実施の形態に類似する構成で
あり、同じ構造部分については同番号を付すとともに、
一部説明を割愛する。
A third embodiment according to the present invention will be described with reference to FIG. 8, taking a temperature-compensated crystal oscillator as an example. FIG.
FIG. 9 is a perspective view of a crystal oscillator according to a third embodiment. The basic configuration is similar to that of the first or second embodiment.
Some explanations are omitted.

【0039】第3の実施の形態においては、圧電発振器
のパッケージ外部に形成された電極露出部を底面の他に
側面に設けている点と、当該側面に設けられた電極露出
部の一対の電極の接続が導電接着剤により行われている
点で、上記各実施の形態と異なっている。
In the third embodiment, an electrode exposed portion formed outside the package of the piezoelectric oscillator is provided on the side surface in addition to the bottom surface, and a pair of electrodes of the electrode exposed portion provided on the side surface are provided. Is different from each of the above embodiments in that the connection is made by a conductive adhesive.

【0040】セラミックパッケージ1の側面には側面凹
部61,62が設けられ、各凹部内には電極露出部61
1,612並びに電極露出部621,622が形成され
ている。これら電極露出部はパッケージ内部に搭載され
たICの調整用回路素子に接続されており、これら電極
露出部を短絡することにより、各調整用回路素子の機能
を発揮させることができる。電極露出部の電気的接続は
導電性接着剤Sを塗布することにより行う。なお、導電
性接着剤に代えて金属端子片を導電接着してもよい。本
実施の形態によれば、側面にて電極露出部を形成してい
るので接続状態が確認しやすく、また導電性接着剤を導
通接続手段を用いることにより、当該パッケージの側面
のようにワイヤボンディングが困難な位置に対しても容
易にかつ確実に導通を確保することができる。
The side surfaces of the ceramic package 1 are provided with side recesses 61 and 62, and in each recess, an electrode exposed portion 61 is provided.
1, 612 and electrode exposed portions 621, 622 are formed. These electrode exposed portions are connected to the adjustment circuit elements of the IC mounted inside the package, and the function of each adjustment circuit element can be exhibited by short-circuiting these electrode exposed portions. The electrical connection of the electrode exposed portion is performed by applying a conductive adhesive S. Note that a metal terminal piece may be conductively bonded instead of the conductive adhesive. According to the present embodiment, since the electrode exposed portion is formed on the side surface, the connection state can be easily checked, and the conductive adhesive is used for the wire bonding like the side surface of the package by using the conductive connecting means. It is possible to easily and reliably secure conduction even in a position where it is difficult.

【0041】本発明は上記実施の形態に限定されるもの
ではなく、調整素子に接続される電極露出部の対数を多
くすることにより、例えば温度補償素子に対する配線を
接続または切断する手段を増加させることにより、調整
の範囲を拡大させたり、あるいはより多段階の調整を可
能にしてもよい。また圧電振動子は水晶振動子のみなら
ず圧電セラミックスやLiNbO3等の圧電単結晶材料
を用いてもよい。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, by increasing the number of exposed electrodes connected to the adjustment element, the number of means for connecting or disconnecting the wiring to the temperature compensation element is increased. Thereby, the range of adjustment may be expanded, or adjustment in more stages may be made possible. Further, the piezoelectric vibrator may be made of not only a crystal vibrator but also a piezoelectric single crystal material such as piezoelectric ceramics or LiNbO3.

【0042】また、調整用回路素子に係る電極露出部に
おいては、初期段階では接続しておき、調整段階で当該
接続を切断することにより電気的特性の調整を行っても
よく、例えば電極露出部は初期段階で電極が形成された
構成とし、これをレーザビーム等で切断することにより
調整を行ってもよい。
In the electrode exposed portion of the adjustment circuit element, the electrical characteristics may be adjusted by connecting the electrode in the initial stage and disconnecting the connection in the adjustment stage. May be configured such that electrodes are formed in an initial stage, and adjustment may be performed by cutting the electrodes with a laser beam or the like.

【0043】[0043]

【発明の効果】本発明によれば、圧電発振回路の電気的
特性を調整する回路部品を予め圧電発振器内に組み込ん
でおき、電気的特性の調整は、当該回路部品を調整素子
として機能させる配線を接続または切断することにより
行う。従って、部品コストの高い可変容量コンデンサ等
の回路定数可変素子を必要とせず、簡便な構成で電気的
特性の調整を行うことができる。よって、電気的特性の
調整が可能で安価な圧電発振器を得ることができる。特
に請求項2によれば、パッケージの外部に電極露出部を
設けた構成としたことで、当該電極露出部の配線を接続
または切断することにより、圧電発振器を気密封止した
状態で電気的特性を調整することができる。
According to the present invention, a circuit component for adjusting the electric characteristics of the piezoelectric oscillation circuit is incorporated in the piezoelectric oscillator in advance, and the adjustment of the electric characteristics is performed by the wiring for making the circuit component function as an adjustment element. By connecting or disconnecting. Therefore, it is not necessary to use a variable circuit constant variable element such as a variable capacitor having a high component cost, and the electric characteristics can be adjusted with a simple configuration. Therefore, an inexpensive piezoelectric oscillator whose electric characteristics can be adjusted can be obtained. In particular, according to the second aspect of the present invention, since the electrode exposed portion is provided outside the package, by connecting or disconnecting the wiring of the electrode exposed portion, the electrical characteristics of the piezoelectric oscillator in a hermetically sealed state are obtained. Can be adjusted.

【0044】また最近は圧電振動子以外の回路部品をモ
ノリシックIC化する傾向が主流となっている。請求項
3によれば、上記効果に加えて、このように回路部品を
IC化した場合においても、当該回路部品につながる導
通路を接続あるいは切断することにより、電気的特性を
調整することができる。
In recent years, there has been a tendency for circuit components other than the piezoelectric vibrator to be monolithic ICs. According to the third aspect, in addition to the effects described above, even when the circuit component is formed into an IC as described above, the electrical characteristics can be adjusted by connecting or disconnecting the conductive path connected to the circuit component. .

【0045】請求項4によれば、圧電振動子の入出力端
子が他の回路に接続されない状態で外部に露出している
ので、他の回路部品の影響を受けることがなく圧電振動
子単体の特性を測定することができる。従ってより精度
の高い補償または制御を行うことができるので、高精度
が求められるTCXO、VCXO等において、より効率
的かつ正確に電気的特性の調整を行うことができる。
According to the fourth aspect, since the input / output terminals of the piezoelectric vibrator are exposed to the outside without being connected to other circuits, the input / output terminals of the piezoelectric vibrator are not affected by other circuit components and are not affected by other circuit components. Properties can be measured. Therefore, higher-precision compensation or control can be performed, so that electrical characteristics can be more efficiently and accurately adjusted in a TCXO, a VCXO, or the like that requires high precision.

【0046】また請求項5によれば、上記効果に加えて
複数箇所で調整箇所を設けているので、電極相互の短絡
事故のない、信頼性に優れた圧電振動子を得ることがで
きる。
According to the fifth aspect, in addition to the above-described effects, since the adjusting portion is provided at a plurality of portions, it is possible to obtain a highly reliable piezoelectric vibrator without short-circuit between electrodes.

【0047】また請求項7によれば、樹脂の充填により
前記接続部分の導体を保護することができるので、接続
状態または切断状態を安定に行うことができる。
According to the seventh aspect, since the conductor at the connection portion can be protected by filling with resin, the connection state or the disconnection state can be stably performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1の実施の形態を示す水晶発振回路図FIG. 1 is a crystal oscillation circuit diagram showing a first embodiment.

【図2】第1の実施の形態を示す分解斜視図FIG. 2 is an exploded perspective view showing the first embodiment.

【図3】図2の各構成を組み立てた状態の内部断面図FIG. 3 is an internal cross-sectional view of a state where the components of FIG. 2 are assembled.

【図4】図2の底面図FIG. 4 is a bottom view of FIG. 2;

【図5】第2の実施の形態を示す水晶発振回路図FIG. 5 is a crystal oscillation circuit diagram showing a second embodiment.

【図6】第2の実施の形態を示す内部断面図FIG. 6 is an internal sectional view showing a second embodiment.

【図7】第2の実施の形態を示す底面図FIG. 7 is a bottom view showing the second embodiment.

【図8】第3の実施の形態を示す斜視図FIG. 8 is a perspective view showing a third embodiment.

【図9】従来例を示す図FIG. 9 shows a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 水晶振動子 10 セラミックパッケージ 11 金属層 2 フタ 21 金属層 3 水晶振動板(圧電振動板) 33,34 IC 12 上部収納部 13 下部収納部 16,17,18,45,46,47,48,49,5
0,51 電極露出部 161,411,421,431,441 電極配線 W1,W2,W3,W4,W5,W6,W7,W8 ボ
ンディングワイヤ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Quartz crystal resonator 10 Ceramic package 11 Metal layer 2 Lid 21 Metal layer 3 Quartz vibrating plate (piezoelectric vibrating plate) 33, 34 IC 12 Upper accommodating part 13 Lower accommodating part 16, 17, 18, 45, 46, 47, 48, 49,5
0,51 Electrode exposed part 161,411,421,431,441 Electrode wiring W1, W2, W3, W4, W5, W6, W7, W8 Bonding wire

フロントページの続き (72)発明者 重松 俊輔 兵庫県加古川市平岡町新在家字鴻野1389番 地 株式会社大真空内 Fターム(参考) 5J079 AA04 BA12 BA43 DA16 FA14 FA21 FB03 FB48 GA04 GA09 GB04 HA03 HA07 HA09 HA14 HA16 HA28 HA29 KA05 Continuing on the front page (72) Inventor Shunsuke Shigematsu 1389 Kono, Koza, Hiraoka-cho, Kakogawa-shi, Hyogo F term (reference) 5J079 AA04 BA12 BA43 DA16 FA14 FA21 FB03 FB48 GA04 GA09 GB04 HA03 HA07 HA09 HA14 HA16 HA28 HA29 KA05

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧電振動子と、当該圧電振動子とともに
圧電発振回路を構成する第1の回路部品と、前記圧電発
振回路の電気的特性を調整する第2の回路部品をパッケ
ージに収納し、所定の配線により各々電気的接続した圧
電発振器であって、 前記第2の回路部品を調整素子として機能させる配線を
接続または切断することにより、前記電気的特性を調整
したことを特徴とする圧電発振器。
1. A package containing a piezoelectric vibrator, a first circuit component forming a piezoelectric oscillation circuit together with the piezoelectric vibrator, and a second circuit component adjusting electric characteristics of the piezoelectric oscillation circuit, A piezoelectric oscillator electrically connected to each other by predetermined wiring, wherein the electric characteristics are adjusted by connecting or disconnecting a wiring that causes the second circuit component to function as an adjustment element. .
【請求項2】 前記第2の回路部品を調整素子として機
能させる配線の一部を、気密封止された前記パッケージ
の外部に露出させた第1の電極露出部を設け、当該第1
の電極露出部の配線を接続または切断することにより、
前記電気的特性を調整したことを特徴とする請求項1記
載の圧電発振器。
2. A first electrode exposed portion in which a part of a wiring for causing the second circuit component to function as an adjustment element is exposed to the outside of the hermetically sealed package,
By connecting or disconnecting the wiring of the electrode exposed part of
2. The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the electric characteristics are adjusted.
【請求項3】 第1の回路部品と第2の回路部品が一体
的に1チップIC化されていることを特徴とする請求項
1または請求項2記載の圧電発振器。
3. The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the first circuit component and the second circuit component are integrally formed as a one-chip IC.
【請求項4】 圧電振動子の入出力端子と第1の回路部
品との接続部分が電気的に切断された状態でパッケージ
外部に露出させた第2の電極露出部を形成し、当該第2
の電極露出部において圧電振動子の電気的特性を測定し
た後、切断された前記接続部分が導電接合されることを
特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の圧
電発振器。
4. A second electrode exposed portion which is exposed to the outside of the package in a state where a connection portion between an input / output terminal of the piezoelectric vibrator and the first circuit component is electrically disconnected, and forms a second electrode exposed portion.
4. The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein after the electrical characteristics of the piezoelectric vibrator are measured at the exposed portions of the electrodes, the cut connection portions are conductively bonded. 5.
【請求項5】 パッケージの底面または側面のいずれか
一方、または底面と側面の両方に凹部を設け、当該凹部
に前記第1の電極露出部または第2の電極露出部を形成
したことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか
に記載の圧電発振器。
5. The package according to claim 1, wherein a concave portion is provided on one of the bottom surface and the side surface, or both the bottom surface and the side surface, and the first electrode exposed portion or the second electrode exposed portion is formed in the concave portion. The piezoelectric oscillator according to any one of claims 1 to 4, wherein:
【請求項6】 第1の電極露出部または第2の電極露出
部における電気的接続は、ボンディングワイヤまたは導
電性接着剤または金属端子片の導電接着により行ったこ
とを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載
の圧電発振器。
6. The electrical connection at the first electrode exposed portion or the second electrode exposed portion is made by a bonding wire, a conductive adhesive, or conductive bonding of a metal terminal piece. The piezoelectric oscillator according to claim 5.
【請求項7】 前記凹部には各電極露出部の電気的接続
または切断処理後、樹脂が充填されることを特徴とする
請求項5または請求項6に記載の圧電発振器。
7. The piezoelectric oscillator according to claim 5, wherein the concave portion is filled with a resin after an electrical connection or disconnection process of each electrode exposed portion.
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