JPH1012901A - Method and device for removing short-circuiting part of solar battery - Google Patents

Method and device for removing short-circuiting part of solar battery

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JPH1012901A
JPH1012901A JP8163964A JP16396496A JPH1012901A JP H1012901 A JPH1012901 A JP H1012901A JP 8163964 A JP8163964 A JP 8163964A JP 16396496 A JP16396496 A JP 16396496A JP H1012901 A JPH1012901 A JP H1012901A
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敦夫 石川
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淳 竹中
Masataka Kondo
正隆 近藤
Hideo Yamagishi
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To apply the reverse direction voltage of not more than withstand voltage when a short-circuiting part occurs between substrate-side electrodes and back-side electrodes, which sandwich semiconductor layers, and to remove or oxidize the short-circuiting part with Joule's heat generated at that time. SOLUTION: When the short-circuiting part of a solar battery 10 constituted of one or plural solar battery cells 6a, 6b... where the first electrode layers 2a, 2b..., the semiconductor layers 5a, 5b... and second electrode layers 3a, 3b... are sequentially formed on an insulating substrate 1 is removed by the method that the temperature of the solar battery cells 6a, 6b... is set to be 15 deg.C or below and the voltage of not more than withstand voltage is applied to the positive and negative adjacent poles of the solar battery cells 6a, 6b....

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は太陽電池特に非晶質
太陽電池の短絡部除去方法及び短絡部除去装置に関する
ものであり、さらに詳しくは、発電層を挟持する基板側
電極と裏面側電極との電極間に短絡部が発生した場合
に、耐電圧以下の逆方向電圧を印加して、その際に発生
したジュール熱により短絡部を除去あるいは酸化して絶
縁する方法及びその装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for removing a short-circuit portion of a solar cell, particularly an amorphous solar cell, and more particularly, to a substrate-side electrode and a back-side electrode sandwiching a power generation layer. The present invention relates to a method and a device for applying a reverse voltage equal to or lower than the withstand voltage when a short-circuit portion is generated between the electrodes and removing or oxidizing the short-circuit portion by Joule heat generated at that time and insulating the same.

【0002】[0002]

【発明が解決しようとする課題】非晶質太陽電池は通
常、ガラス基板上に透明電極、半導体層及び金属電極が
順次積層形成されるとともにパターニングされて、複数
の太陽電池セルが集積された構造とされている。非晶質
太陽電池を構成する透明電極、半導体層及び金属電極は
いずれも薄膜であり、特に半導体層の膜厚はnm単位で
あるため、何らかの原因で半導体層にピンホールや窪み
などが生ずることがある。このように、半導体層にピン
ホールや窪みなどが生ずると、その箇所において透明電
極と金属電極との間が導通して両電極間が短絡し、太陽
電池の出力が大幅に低下してしまう。そこで、従来よ
り、非晶質太陽電池の基板側の電極と裏面側の電極との
短絡による欠陥をなくす方法として、種々の方法が採ら
れている。
Generally, an amorphous solar cell has a structure in which a transparent electrode, a semiconductor layer, and a metal electrode are sequentially laminated and formed on a glass substrate and patterned to integrate a plurality of solar cells. It has been. The transparent electrode, semiconductor layer, and metal electrode that make up an amorphous solar cell are all thin films, and in particular, the thickness of the semiconductor layer is in the order of nanometers. There is. As described above, when a pinhole, a dent, or the like occurs in the semiconductor layer, conduction between the transparent electrode and the metal electrode occurs at that location, a short circuit occurs between the two electrodes, and the output of the solar cell is significantly reduced. Therefore, conventionally, various methods have been adopted as a method of eliminating a defect due to a short circuit between the electrode on the substrate side and the electrode on the back side of the amorphous solar cell.

【0003】その一つは、図1に示すように、基板1側
の電極2bと同電位の電極3cと、裏面側の電極3bと
の間にプローブ4,4を接触させ、その間に介在するp
in接合などの起電力半導体層5bに対して、逆方向に
バイアス電圧を印加する方法である(特開昭63−41
081号、特開昭63−307782号、特開平3−2
3677号)。こうすることにより、短絡部(以下ピン
ホールと呼ぶ)に電流が集中し、その結果、ジュール熱
が発生して短絡部の金属が酸化して絶縁層となるか、あ
るいはその際の熱によって、その部分の金属が飛散して
しまうことにより、ピンホール部の欠陥を消滅させるこ
とができるのである。
One of them is as shown in FIG. 1, in which probes 4 and 4 are brought into contact between an electrode 3c having the same potential as the electrode 2b on the substrate 1 and an electrode 3b on the back side, and interposed therebetween. p
This is a method in which a bias voltage is applied in the reverse direction to the electromotive force semiconductor layer 5b such as an in-junction (Japanese Patent Laid-Open No. 63-41).
081, JP-A-63-307782, JP-A-3-2
No. 3677). By doing so, current concentrates on the short-circuited portion (hereinafter referred to as a pinhole), and as a result, Joule heat is generated and the metal of the short-circuited portion is oxidized to become an insulating layer. By scattering the metal in that portion, the defect in the pinhole can be eliminated.

【0004】しかしながら、この方法はコスト的に安価
で且つ簡便であるが、ジュール熱によってピンホール部
を酸化あるいは飛散させることにより、短絡箇所が絶縁
した状態になるものの、電圧の印加時間、印加電圧値な
どの条件により、飛散した箇所の残りの部分において、
飛散の状況が必ずしも絶縁状況を作り出すものではなか
った。たとえば挟持された半導体層5bである発電層が
飛散させられる一方、裏面金属3b部分が残ってしま
い、その結果、裏面金属3bが基板1側の電極2bと接
してしまい、依然短絡状態のままになるということがよ
く見られた。更に、そのピンホール部をジュール熱によ
り酸化または飛散させるために電圧を印加していく過程
で、耐電圧以上の電圧を印加してしまい、太陽電池の素
子を破壊してしまうことがあった。また、集積部におい
て、その端面部分で本来発電層である非晶質半導体層5
bを挟んでいるため、透明電極2bと裏面電極3bとは
絶縁であるにもかかわらず、放電を起こし、その際の熱
により集積部分が飛散することがある。この際、飛散が
発電層にのみ偏り、透明電極2bと裏面電極3bでの短
絡が一層大きくなるという欠点も見られた。
[0004] However, this method is inexpensive and simple in terms of cost, but the pinhole portion is oxidized or scattered by Joule heat, so that the short-circuit portion is insulated. Depending on the value and other conditions,
Scattering conditions did not always create an insulating condition. For example, while the power generation layer which is the sandwiched semiconductor layer 5b is scattered, the back metal 3b remains, and as a result, the back metal 3b comes into contact with the electrode 2b on the substrate 1 side, and still remains in a short-circuit state. Was often seen. Furthermore, in the process of applying a voltage to oxidize or scatter the pinhole portion by Joule heat, a voltage higher than the withstand voltage may be applied, and the element of the solar cell may be destroyed. In the integrated portion, the amorphous semiconductor layer 5 which is originally a power generation layer is formed at the end face portion.
Since the transparent electrode 2b is sandwiched between the transparent electrode 2b and the back surface electrode 3b, a discharge occurs even though the back electrode 3b is insulated, and the integrated portion may be scattered by heat at that time. At this time, there was also a disadvantage that the scattering was biased only to the power generation layer, and the short circuit between the transparent electrode 2b and the back electrode 3b was further increased.

【0005】2つ目の短絡部除去方法は、微小な短絡部
をセル上部から見つけだし、レーザービームを用いてそ
の部分にレーザーを照射することにより、ピンホール部
を加熱し、飛散させる方法である。この方法において
は、ピンホール部を除去するために用いるレーザー発生
装置が高価であることに加え、ピンホールの部位を検出
するための装置が高価であるため、太陽電池のコストア
ップにつながってしまうという問題があった。
The second short-circuit removing method is a method of finding a minute short-circuit from the upper part of the cell and irradiating the portion with a laser using a laser beam to heat and scatter the pinhole. . In this method, the laser generator used to remove the pinhole portion is expensive, and the device for detecting the portion of the pinhole is expensive, leading to an increase in the cost of the solar cell. There was a problem.

【0006】3つ目の短絡部除去方法は、レジストを用
いてピンホール部を予め埋めてしまうという方法であ
る。この方法は非晶質層を蒸着した後、レジストを塗布
し、その後ピンホ─ル部分にのみ光が通過することを利
用してレジストを硬化させ、そのピンホ─ル部分にのみ
絶縁層を作り出すのである。その後、塗布されたレジス
ト膜の未反応部分をリムーバーで除去し、洗浄乾燥を経
た後、裏面金属層を蒸着して、短絡部のない太陽電池を
製造するのである。
A third method of removing a short-circuit portion is to fill a pinhole portion in advance using a resist. In this method, after depositing an amorphous layer, a resist is applied, and then the resist is cured using light passing only through the pinhole portion, and an insulating layer is created only in the pinhole portion. is there. Thereafter, the unreacted portion of the applied resist film is removed by a remover, and after washing and drying, a backside metal layer is deposited to manufacture a solar cell without a short-circuit portion.

【0007】このレジストを用いる方法は、裏面金属層
を蒸着する前に、レジストの現像工程やリムーブ工程な
どの所謂ウエット工程があるため、発電層である半導体
層と裏面金属層との間に、良好なオーミック接合を作り
難いという欠点があった。しかも、工程数が多くなるた
め、太陽電池のコストアップにつながってしまうという
問題もあった。
In this method using a resist, there is a so-called wet process such as a developing process or a removing process of the resist before depositing the back metal layer. There is a disadvantage that it is difficult to make a good ohmic junction. In addition, there is a problem that the number of steps is increased, which leads to an increase in the cost of the solar cell.

【0008】本発明者らは短絡部除去方法としてコスト
的にも安価であり、簡便に処理が可能な上記1番目の方
法、すなわち太陽電池を構成する電極間に逆方向のバイ
アス電圧を印加する方法を採用し、その方法を改良する
こととした。この方法は、先に述べたように、バイアス
電圧の印加時間や印加する電圧の値によりピンホール部
をジュール熱により完全に酸化させ、あるいは飛散さ
せ、導通部をなくし絶縁状態を作り出すという方法であ
る。しかしながら、この方法は、前述したように、逆バ
イアス電圧の印加時間や印加する電圧の値により、短絡
部がジュール熱で完全に酸化あるいは飛散させられるこ
となく、逆に短絡箇所を拡大してしまう恐れがあった。
The inventors of the present invention have the first method which is inexpensive in terms of cost and can be easily processed as a method of removing a short-circuit portion, that is, applying a reverse bias voltage between electrodes constituting a solar cell. A method was adopted and the method was improved. According to this method, as described above, the pinhole portion is completely oxidized or scattered by Joule heat depending on the application time of the bias voltage and the value of the applied voltage, thereby eliminating the conductive portion and creating an insulating state. is there. However, according to this method, as described above, depending on the application time of the reverse bias voltage and the value of the applied voltage, the short-circuited portion is not completely oxidized or scattered by Joule heat, and instead, the short-circuited portion is enlarged. There was fear.

【0009】そこで、本発明者らはこれら問題点を解決
するために鋭意研究し検討した結果、本発明に係る太陽
電池の短絡部除去方法及びその装置を発明するに至っ
た。
The inventors of the present invention have conducted intensive studies and studies to solve these problems, and as a result, have invented a method and an apparatus for removing a short-circuited portion of a solar cell according to the present invention.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明に係る太陽電池の
短絡部除去方法の要旨とするところは、絶縁基板上に第
1の電極層、半導体層、第2の電極層が順次形成された
1又は複数の太陽電池セルから成る太陽電池の短絡部除
去方法において、少なくとも該太陽電池セルの温度を1
5℃以下にしつつ、該太陽電池セルの隣接する正負の両
極に対し逆方向に耐電圧以下の電圧を印加することにあ
る。
The gist of the method for removing a short-circuit portion of a solar cell according to the present invention is that a first electrode layer, a semiconductor layer, and a second electrode layer are sequentially formed on an insulating substrate. In the method for removing a short-circuit portion of a solar cell including one or a plurality of solar cells, at least the temperature of the solar cell is set to 1
An object of the present invention is to apply a voltage lower than the withstand voltage in the opposite direction to both the positive and negative electrodes adjacent to the solar cell while keeping the temperature at 5 ° C. or lower.

【0011】また、かかる太陽電池の短絡部除去方法に
おいて、少なくとも該太陽電池セルを乾燥気体又は除湿
気体で覆いつつ冷却することにある。
Further, in such a method for removing a short-circuit portion of a solar cell, the present invention is characterized in that at least the solar cell is cooled while being covered with a dry gas or a dehumidified gas.

【0012】次に、本発明に係る太陽電池の短絡部除去
装置の要旨とするところは、絶縁基板上に第1の電極
層、半導体層、第2の電極層が順次形成された1又は複
数の太陽電池セルから成る太陽電池における該太陽電池
セルの隣接する正負の両極に対し、逆方向に耐電圧以下
の電圧を印加し、短絡部を除去する太陽電池の短絡部除
去装置において、該太陽電池セルの温度を所定の温度に
保持する温度制御手段を有することにある。
[0012] Next, the gist of the solar cell short-circuit removing device according to the present invention is that one or more of a first electrode layer, a semiconductor layer, and a second electrode layer are sequentially formed on an insulating substrate. In a solar cell comprising a solar cell, a voltage less than the withstand voltage is applied in the opposite direction to both the positive and negative electrodes adjacent to the solar cell, and the solar cell short-circuit part removing device removes the short-circuit part. Another object of the present invention is to have a temperature control means for maintaining the temperature of the battery cell at a predetermined temperature.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明に係る太陽電池の短絡部除
去方法及び装置は、逆バイアス電圧印加処理を行う際
に、太陽電池特に少なくとも短絡部を除去しようとする
太陽電池セルの温度を低温化させ、抵抗温度係数に低温
化した温度分を乗じた割合で電極部分の金属の抵抗を下
げ、電流量の増加を可能にした。これにより、耐電圧以
下の電圧でより多くの電流を流すことが可能となると同
時に、金属の脆性が高まって飛散する際に発電層だけで
なく金属部分も同時に飛散することになると考えられ、
裏面電極の金属のダレによる短絡などがなくなる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The method and apparatus for removing a short-circuited portion of a solar cell according to the present invention reduce the temperature of a solar cell, particularly at least the solar cell whose removal is to be short-circuited, when performing a reverse bias voltage application process. The resistance of the metal at the electrode portion was reduced at a rate obtained by multiplying the temperature coefficient of resistance by the reduced temperature, thereby enabling an increase in the amount of current. It is thought that this allows more current to flow at a voltage lower than the withstand voltage, and at the same time, when the brittleness of the metal increases, not only the power generation layer but also the metal part is scattered at the same time,
Short circuit due to sagging of the metal on the back electrode is eliminated.

【0014】また、本発明に係る太陽電池の短絡部除去
方法及び装置において、太陽電池セルを低温化すること
から、その太陽電池の表面に結露が生じやすくなる。結
露が生じると、それにより新たに電流の通路ができるこ
とがあり、その結果、本来ピンホール部分を通る電流量
が小さくなってしまう可能性があり、この場合、ピンホ
ール部を飛散あるいは絶縁化することができなくなる。
このため、太陽電池を低温化させる際に、太陽電池少な
くとも短絡部を除去しようとする太陽電池セルの表面
に、乾燥気体あるいは除湿気体などの冷却温度において
飽和蒸気にならない程度に除湿・脱湿・乾燥させた気体
を吹き付け、あるいは太陽電池を含む全体の雰囲気をか
かる気体にすることにより、太陽電池セルの表面に結露
が生じないようにすることができる。
Further, in the method and apparatus for removing a short-circuited portion of a solar cell according to the present invention, since the temperature of the solar cell is lowered, dew condensation easily occurs on the surface of the solar cell. When dew condensation occurs, a current path may be newly formed, and as a result, the amount of current that originally passes through the pinhole portion may be reduced. In this case, the pinhole portion is scattered or insulated. You will not be able to do it.
For this reason, when lowering the temperature of the solar cell, the surface of the solar cell where at least the short circuit portion is to be removed is subjected to dehumidification, dehumidification, and so on so as not to become a saturated vapor at a cooling temperature of a dry gas or a dehumidified gas. By spraying a dried gas or making the entire atmosphere including the solar cell such a gas, dew condensation can be prevented from occurring on the surface of the solar cell.

【0015】次に、本発明に係る太陽電池の短絡部除去
方法及び短絡部除去装置の実施の形態を図面に基づいて
詳しく説明する。
Next, embodiments of a method and an apparatus for removing a short-circuited portion of a solar cell according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0016】まず本発明が適用される太陽電池は、たと
えば図1に示すように、絶縁基板1上に複数の太陽電池
セル6a,6b……が集積された太陽電池10を挙げる
ことができる。太陽電池10は、絶縁基板1上に所定の
パターンで複数の第1の電極層2a,2b……と半導体
層5a,5b……及び第2の電極層3a,3b……が順
次形成されて成る複数の太陽電池セル6a,6b……が
集積化されたものである。
First, as a solar cell to which the present invention is applied, for example, as shown in FIG. 1, a solar cell 10 in which a plurality of solar cells 6a, 6b... The solar cell 10 has a plurality of first electrode layers 2a, 2b,..., Semiconductor layers 5a, 5b,... And second electrode layers 3a, 3b,. The plurality of solar cells 6a, 6b... Are integrated.

【0017】この太陽電池10において、絶縁基板1と
してガラス基板や透明樹脂基板などの透光性の基板を用
いた場合、通常、第1の電極層2a,2b……として透
明電極、第2の電極層3a,3b……として金属電極が
形成され、また、絶縁基板1として金属板などの透光性
を有しない基板を用いた場合、第1の電極層2a,2b
……として金属電極、第2の電極層3a,3b……とし
て透明電極が形成される。これら透明電極や金属電極は
常法により1層又は2層以上から形成され、いずれも公
知の材質が用いられ、特に限定されない。
In the solar cell 10, when a light-transmitting substrate such as a glass substrate or a transparent resin substrate is used as the insulating substrate 1, usually, the first electrode layers 2a, 2b... When metal electrodes are formed as the electrode layers 3a, 3b,..., And when a non-transmissive substrate such as a metal plate is used as the insulating substrate 1, the first electrode layers 2a, 2b
Are formed as metal electrodes, and transparent electrodes are formed as second electrode layers 3a and 3b. These transparent electrodes and metal electrodes are formed from one or more layers by a conventional method, and any known materials are used and are not particularly limited.

【0018】また、半導体層5a,5b……についても
特に限定されるものではなく、たとえば非晶質シリコン
系半導体層の場合、非晶質シリコン、水素化非晶質シリ
コン、水素化非晶質シリコンカーバイド、非晶質シリコ
ンナイトライドなどの他、シリコンと炭素、ゲルマニウ
ム、スズなどの他の元素との合金から成る非晶質シリコ
ンなどが用いられ、さらにこれら非晶質又は微結晶をp
in型、nip型、ni型、pn型、MIS型、ヘテロ
接合型、ホモ接合型、ショットキーバリアー型あるいは
これらを組み合わせた型などに構成した半導体層が用い
られる。更にその他、半導体層18はシリコン系に限ら
れず、CdS系、GaAs系、InP系などであっても
良く、なんら限定されない。
The semiconductor layers 5a, 5b are not particularly limited. For example, in the case of an amorphous silicon-based semiconductor layer, amorphous silicon, hydrogenated amorphous silicon, hydrogenated amorphous In addition to silicon carbide and amorphous silicon nitride, amorphous silicon made of an alloy of silicon and another element such as carbon, germanium, and tin is used.
A semiconductor layer having an in-type, nip-type, ni-type, pn-type, MIS-type, heterojunction-type, homojunction-type, Schottky barrier-type, or a combination thereof is used. In addition, the semiconductor layer 18 is not limited to the silicon-based one, and may be a CdS-based, GaAs-based, InP-based, or the like, and is not limited at all.

【0019】太陽電池10が形成された後、図2に示す
ように、絶縁基板1の両端部には太陽電池10の正負の
電極部に取出し電極12,14が半田16により取り付
けられる。取出し電極12,14は半田メッキされた銅
箔などが用いられ、この取出し電極12,14の半田付
けは、たとえば太陽電池10の正負の電極部に予備半田
付けした半田を超音波半田付け法などにより溶融させて
行われるが、その他の方法でも良く、特に限定されな
い。取出し電極12,14を取り付けた後、封止樹脂に
より封止してモジュール化する前に、太陽電池セル6
a,6b……に生じたピンホールなどによる短絡部の除
去が行われる。
After the solar cell 10 is formed, as shown in FIG. 2, lead electrodes 12 and 14 are attached to positive and negative electrode portions of the solar cell 10 by solder 16 at both ends of the insulating substrate 1. The extraction electrodes 12 and 14 are made of solder-plated copper foil or the like, and the extraction electrodes 12 and 14 are soldered by, for example, ultrasonic soldering of solder preliminarily soldered to the positive and negative electrode portions of the solar cell 10. The method is carried out by melting, but other methods may be used, and there is no particular limitation. After the extraction electrodes 12 and 14 are attached, the solar cells 6 are sealed before being sealed with a sealing resin to form a module.
a, 6b... are removed.

【0020】太陽電池の短絡部の除去は次のようにして
行われる。すなわち、図3に示すように、太陽電池の短
絡部除去装置18は太陽電池10が載置される冷却用ス
テージ20と、その冷却用ステージ20を冷却するため
の冷媒を供給する冷凍機22と、太陽電池10の短絡部
を除去するためのプローブ4,4を備えたX(水平1軸
方向)−Z(垂直方向)ロボット24と、図示しない乾
燥ガス製造供給装置によって製造され供給されてきた乾
燥ガスを導入するための1又は複数の孔を備えた乾燥ガ
ス導入管26と、これら太陽電池10、冷却ステージ2
0、X−Zロボット24、及び乾燥ガス導入管26を収
納するチャンバー28とから構成されている。
The removal of the short-circuit portion of the solar cell is performed as follows. That is, as shown in FIG. 3, the short-circuit removing device 18 for a solar cell includes a cooling stage 20 on which the solar cell 10 is mounted, and a refrigerator 22 for supplying a refrigerant for cooling the cooling stage 20. , An X (horizontal one axis direction) -Z (vertical direction) robot 24 equipped with probes 4 and 4 for removing short-circuited portions of the solar cell 10, and a dry gas production and supply device (not shown). A drying gas introduction pipe 26 having one or a plurality of holes for introducing a drying gas;
0, an XZ robot 24, and a chamber 28 accommodating a drying gas introduction pipe 26.

【0021】冷却用ステージ20の内部には冷凍機22
によって低温にされた水や有機溶媒などの冷媒、あるい
は窒素や空気などのガスが液化された冷媒などが導かれ
るとともに熱交換するためのパイプ30が配設されてい
て、冷却用ステージ20が迅速且つ均一に冷却される。
また、冷却用ステージ20には温度センサが配設されて
いて、その温度センサにより冷凍機22の駆動が制御さ
れ、冷却用ステージ20は設定されたほぼ一定の温度に
保持し得るように構成されるのが好ましい。そして、冷
却用ステージ20の上に太陽電池10が配設されること
により、太陽電池10は熱伝導により冷却される。冷却
温度は15℃以下、好ましくは5℃以下、より好ましく
は0℃以下にするのが、金属電極を飛散させ易くするた
めに好ましい。
Inside the cooling stage 20, a refrigerator 22 is provided.
The cooling stage 20 is provided with a pipe 30 for guiding a refrigerant such as water or an organic solvent cooled to a low temperature, or a refrigerant liquefied from a gas such as nitrogen or air, and performing heat exchange. And it is cooled uniformly.
The cooling stage 20 is provided with a temperature sensor, and the driving of the refrigerator 22 is controlled by the temperature sensor, so that the cooling stage 20 can be maintained at a set substantially constant temperature. Preferably. And, by disposing the solar cell 10 on the cooling stage 20, the solar cell 10 is cooled by heat conduction. The cooling temperature is preferably set to 15 ° C. or lower, preferably 5 ° C. or lower, and more preferably 0 ° C. or lower to facilitate scattering of the metal electrode.

【0022】一方、冷却された太陽電池10の表面には
その雰囲気に含まれる水分が結露させられて付着するこ
とになるため、結露を防ぐために図示しない乾燥ガス製
造供給装置によって製造され供給されてきた乾燥ガスが
導入管26を介して供給されてきて、太陽電池10の表
面が覆われる。乾燥ガスは冷却された太陽電池10の表
面と接触してその温度にまで冷却されたとき、飽和蒸気
にならない程度に乾燥あるいは除湿・脱湿させられてい
るのが好ましい。したがって、乾燥などの程度は冷却さ
れる温度に対応して設定されるのが、コストの面などか
ら好ましい。また、ガスとしては空気、窒素、酸素など
を使用することができ、特に限定されるものではない。
短絡部をジュール熱によって飛散させるだけでなく、酸
化させて絶縁化させることもでき、特に、酸化を目的と
する場合には、酸素と窒素の混合割合を適宜設定して酸
化を促進させるのが好ましい。尚、この混合割合は、太
陽電池の面積や逆方向に印加する電圧値や電流量に依存
するため、適宜決定するのが好ましい。この乾燥ガスは
連続的に供給されて、太陽電池10の表面に吹き付けら
れるようにしても良いが、チャンバー28内を乾燥ガス
でほぼ置換した後、乾燥ガスの供給を停止するようにし
ても良い。
On the other hand, since the moisture contained in the atmosphere is condensed and adheres to the cooled surface of the solar cell 10, it is produced and supplied by a dry gas production and supply device (not shown) in order to prevent dew condensation. The dried gas is supplied through the introduction pipe 26, and the surface of the solar cell 10 is covered. The dry gas is preferably dried or dehumidified or dehumidified to such an extent that it does not become saturated vapor when it contacts the cooled surface of the solar cell 10 and is cooled to that temperature. Therefore, it is preferable to set the degree of drying or the like in accordance with the cooling temperature from the viewpoint of cost and the like. In addition, air, nitrogen, oxygen, and the like can be used as the gas, and are not particularly limited.
Not only can the short-circuit portion be scattered by Joule heat, but it can also be oxidized to make it insulative.In particular, for the purpose of oxidation, it is necessary to appropriately set the mixing ratio of oxygen and nitrogen to promote oxidation. preferable. Note that the mixing ratio depends on the area of the solar cell, the voltage value applied in the reverse direction, and the amount of current, and thus it is preferable to appropriately determine the mixing ratio. The dry gas may be continuously supplied and blown to the surface of the solar cell 10, but the supply of the dry gas may be stopped after the inside of the chamber 28 is substantially replaced with the dry gas. .

【0023】次に、冷却用ステージ20の上に配設され
た太陽電池10の個々の太陽電池セル6a,6b……の
第2の電極層3a,3b……に接触させられるプローブ
4,4は、X−Zロボット24によって駆動させられ
る。X−Zロボット24はプローブ4,4の取り付けら
れるアーム32が水平1軸方向(横方向)と垂直方向
(上下方向)に稼動させられるように構成されており、
まず、太陽電池セル6a,6b……の第2の電極層3
a,3b……に接触させられたプローブ4,4は上下方
向に引き離された後、水平方向に隣接する太陽電池セル
の第2の電極層の上に移動され、次いでプローブ4,4
が第2の電極層に接触させられるように接近させられ
る。
Next, the probes 4, 4 to be brought into contact with the second electrode layers 3a, 3b of the individual solar cells 6a, 6b of the solar cell 10 arranged on the cooling stage 20. Is driven by the XZ robot 24. The XZ robot 24 is configured so that the arm 32 to which the probes 4 and 4 are attached can be moved in one horizontal axis direction (lateral direction) and in a vertical direction (vertical direction).
First, the second electrode layers 3 of the solar cells 6a, 6b...
The probes 4, 4 contacted with a, 3b,... are separated from each other in the vertical direction, and then moved on the second electrode layer of the solar cell adjacent in the horizontal direction.
Are brought into contact with the second electrode layer.

【0024】以上の構成において、製造された太陽電池
10は複数の太陽電池セル6a,6b……が直列に集積
されていて、任意の太陽電池セル6bの第1の電極層
(以下、透明電極という)2bは隣接する太陽電池セル
6cの第2の電極層(以下、金属電極という)3cと、
半導体層5bと半導体層5cとを分離するスクライブ線
18によって電気的に接続されている。したがって、任
意の太陽電池セル6bの透明電極2bはその太陽電池セ
ル6bに隣接する太陽電池セル6cの金属電極3cと同
電位であり、短絡部を除去するためのプローブ4,4の
接続は隣接する2つの太陽電池セル6b,6cの金属電
極3bと3cに対して行われる。このため、まず、太陽
電池10は短絡部除去装置18の冷却用ステージ20の
所定の位置に配設され、吸着あるいはクランプなどによ
って固定された後、X−Zロボット24を駆動させて、
複数の太陽電池セル6のうち端部にある2つの隣接する
太陽電池セルの金属電極にプローブ4,4が接触させら
れる。また、このとき、冷却用ステージ20は冷却され
ていて、太陽電池10が予め設定された温度に冷却され
るとともに、チャンバー28内に乾燥ガスが導入管26
を通して導入され、冷却された太陽電池10の表面に結
露が生じないようにされる。
In the above-described configuration, the manufactured solar cell 10 has a plurality of solar cells 6a, 6b... Integrated in series, and the first electrode layer (hereinafter referred to as a transparent electrode) of any solar cell 6b. 2b) is a second electrode layer (hereinafter, referred to as a metal electrode) 3c of the adjacent solar cell 6c,
The semiconductor layers 5b and 5c are electrically connected by a scribe line 18 separating the semiconductor layers 5c. Therefore, the transparent electrode 2b of any solar cell 6b has the same potential as the metal electrode 3c of the solar cell 6c adjacent to the solar cell 6b, and the connection of the probes 4, 4 for removing the short-circuit portion is adjacent. This is performed for the metal electrodes 3b and 3c of the two solar cells 6b and 6c. For this reason, first, the solar cell 10 is disposed at a predetermined position of the cooling stage 20 of the short-circuit removing device 18 and is fixed by suction or a clamp, and then the XZ robot 24 is driven.
The probes 4 and 4 are brought into contact with metal electrodes of two adjacent solar cells at the end of the plurality of solar cells 6. At this time, the cooling stage 20 is cooled, the solar cell 10 is cooled to a preset temperature, and the drying gas is introduced into the chamber 28 through the introduction pipe 26.
To prevent condensation on the cooled surface of the solar cell 10.

【0025】プローブ4,4は電気的に良導体により形
成されていて、プローブ4,4の先端が金属電極3a,
3b……の表面に接触させられたとき、複数のプローブ
4,4の先端がそれぞれほぼ均等な圧力で接触させら
れ、且つ金属電極3a,3b……やその下の半導体層5
a,5b……などを損傷させないように構成されてい
る。したがって、プローブ4,4は銅や金メッキした金
属などのほか、弾力性、柔軟性を有する材料たとえば導
電性樹脂などで形成されても良く、特に限定されない。
なお、個々のプローブ4,4を取り付けるとともに電流
を導くアーム32に、プローブ4,4の接触圧力をほぼ
一定にするためのバネやスポンジなどの緩衝部材又は緩
衝装置を組み込んでおくのが好ましい。
The probes 4 and 4 are formed of electrically good conductors, and the tips of the probes 4 and 4 have metal electrodes 3a and 3a.
When the probe is brought into contact with the surface of each of the metal electrodes 3a, 3b and the semiconductor layer 5 thereunder,
a, 5b... are not damaged. Therefore, the probes 4 and 4 may be formed of a material having elasticity and flexibility, such as a conductive resin, in addition to copper or gold-plated metal, and is not particularly limited.
In addition, it is preferable that a buffer member or a buffer device such as a spring or a sponge for making the contact pressure of the probes 4 and 4 substantially constant is incorporated in the arm 32 for mounting the individual probes 4 and 4 and guiding the current.

【0026】プローブ4,4はそれぞれ相隣合う太陽電
池セル6b,6cの金属電極3b,3cの表面に接触す
るように配設されていて、プローブ4と4には太陽電池
セル6b,6cの正負の両極に対して逆方向に、すなわ
ちバイアス電圧の印加方向とは逆方向に電圧が印加され
る。図1に基づいてより詳しく説明すると、たとえば、
ガラス基板1の上に被着形成した透明電極2a,2b…
…上に、非晶質シリコン半導体をp、i、nの順に積層
して半導体層5a,5b……を形成し、更にその上に金
属電極3a,3b……を被着形成した構造の太陽電池セ
ル6a,6b……が集積された太陽電池10を例に説明
する。この太陽電池10における任意の太陽電池セル6
bについて、短絡部を除去するために、まずプローブ4
はその太陽電池セル6bのn側に接した金属電極3bに
接触させられ、またプローブ4はp側に接した透明電極
2bと同電位である隣接する太陽電池セル6cの金属電
極3cに接触させられ、pinと逆方向の電圧が印加さ
れる。
The probes 4 and 4 are disposed so as to be in contact with the surfaces of the metal electrodes 3b and 3c of the adjacent solar cells 6b and 6c, respectively. The probes 4 and 4 have the solar cells 6b and 6c, respectively. A voltage is applied to both the positive and negative poles in the opposite direction, that is, in the direction opposite to the bias voltage application direction. This will be described in more detail with reference to FIG.
The transparent electrodes 2a, 2b,.
, An amorphous silicon semiconductor is laminated in the order of p, i, n to form semiconductor layers 5a, 5b,..., And further, metal electrodes 3a, 3b,. A description will be given by taking a solar cell 10 in which battery cells 6a, 6b... Are integrated as an example. Any solar cell 6 in this solar cell 10
For b, in order to remove the short-circuit part, first, probe 4
Is brought into contact with the metal electrode 3b in contact with the n-side of the solar cell 6b, and the probe 4 is brought into contact with the metal electrode 3c of the adjacent solar cell 6c having the same potential as the transparent electrode 2b in contact with the p-side. Then, a voltage in a direction opposite to the pin is applied.

【0027】このとき、太陽電池10は冷却用ステージ
20によって冷却されているため、金属電極3b,3c
及び透明電極2bの電気抵抗は通常より低くなり、電圧
降下を極力低くすることができる。また、冷却された太
陽電池セル6の表面は乾燥ガスによって覆われていて、
結露が生ずることがないため、印加された電流がピンホ
ール部以外に流れることはない。したがって、プローブ
4,4における印加電圧の制御が容易となり、太陽電池
セル6における絶縁部分、特に集積部分に電界がかかり
すぎることによって素子が破壊したり、あるいは素子そ
のものに耐電圧以上の逆方向電圧がかかることにより、
素子が破壊することがなくなる。
At this time, since the solar cell 10 is cooled by the cooling stage 20, the metal electrodes 3b, 3c
Further, the electric resistance of the transparent electrode 2b becomes lower than usual, and the voltage drop can be minimized. The surface of the cooled solar cell 6 is covered with a dry gas,
Since no dew condensation occurs, the applied current does not flow to other than the pinhole portion. Therefore, it is easy to control the voltage applied to the probes 4 and 4, and the element is destroyed due to an excessive electric field applied to the insulating part, particularly the integrated part, of the solar cell 6, or the element itself has a reverse voltage higher than the withstand voltage. By taking
The element is not destroyed.

【0028】以上、本発明に係る太陽電池の短絡部除去
方法及びその装置における一実施の形態を詳述したが、
本発明は上述の形態に限定されるものではない。
In the above, one embodiment of the method and the apparatus for removing the short-circuited portion of the solar cell according to the present invention has been described in detail.
The present invention is not limited to the above embodiment.

【0029】たとえば、上述の実施の形態では乾燥(除
湿・脱湿)ガスをチャンバー28内に吹き込んでいた
が、チャンバー28を取り除くとともに、乾燥(除湿・
脱湿)ガスを太陽電池10の表面に吹き付けるように構
成しても良い。更に、乾燥(除湿・脱湿)ガスを用いず
に、送風機などによって空気を太陽電池の表面に送風し
て、結露しようとした蒸気を吹き飛ばすように構成する
ことも可能である。
For example, in the above-described embodiment, the drying (dehumidification / dehumidification) gas is blown into the chamber 28, but the chamber 28 is removed and the drying (dehumidification / dehumidification) is performed.
(Dehumidification) gas may be blown to the surface of the solar cell 10. Furthermore, it is also possible to use a blower or the like to blow air to the surface of the solar cell to blow off the vapor that is condensed without using a drying (dehumidifying / dehumidifying) gas.

【0030】また、冷却用ステージを用いないで、太陽
電池に冷却した空気その他のガスを吹き付けることによ
って、太陽電池を冷却するとともに、その表面に結露が
生じないように構成することも可能である。
It is also possible to cool the solar cell by blowing cooled air or other gas onto the solar cell without using the cooling stage, and to prevent the dew condensation from occurring on the surface of the solar cell. .

【0031】次に、印加部材を通して印加される電圧
は、直流又は交流のいずれでも良く、直流電圧をパルス
状にして印加することも可能であり、パルスの間隔など
は特に限定されない。また、印加電圧は一定であっても
良いが、連続的にあるいは断続的に電圧を増加又は減少
させ、あるいは増加と減少を繰り返して印加するように
構成することも可能である。これら印加される電圧,電
流の大きさ、パルスの有無などの条件は太陽電池セルに
よって決定される。
Next, the voltage applied through the application member may be either DC or AC, and the DC voltage may be applied in the form of a pulse, and the pulse interval is not particularly limited. Further, although the applied voltage may be constant, the voltage may be increased or decreased continuously or intermittently, or the voltage may be repeatedly increased and decreased. Conditions such as the applied voltage, the magnitude of the current, and the presence or absence of a pulse are determined by the solar cell.

【0032】その他、太陽電池セルの集積方法や構造な
どは上述の実施の形態に限定されるものではないなど、
本発明はその趣旨を逸脱しない範囲内で、当業者の知識
に基づき種々なる改良、修正、変形を加えた態様で実施
し得るものである。
In addition, the integration method and structure of the solar cell are not limited to the above-described embodiment.
The present invention can be implemented in various modified, modified, and modified modes based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention.

【0033】[0033]

【実施例1】まず、本発明が適用される非晶質太陽電池
を作製した。図1に示すように、基板サイズ400mm
×300mm、厚み4mmのガラス基板1上に熱CVD
法により透明導電膜層(2)を被着形成した後、波長
0.53μmのYAGレーザーの第二高調波を用いて、
その透明導電膜層(2)をガラス基板側からスクライブ
し、短冊状に電気的に分離して透明電極2a,2b……
を作製した。その後、純水で超音波洗浄を行い、透明電
極2a,2b……が形成された面側に、基板温度を20
0℃、反応圧力を0.5Torrから1.0Torrに
設定して、モノシラン、メタン、ジボランから成る混合
ガス、モノシラン、水素から成る混合ガス、モノシラ
ン、水素、ホスフィンから成る混合ガスをこの順序にて
容量結合型グロー放電分解装置内で分解することによ
り、P型、I型、N型の非晶質半導体層の膜(5)を形
成した。この後、先程のレーザーによるスクライブ線よ
り僅かにずれた位置を、透明電極2a,2b……にダメ
ージがないように波長0.53μmのYAGレーザーの
第二高調波をガラス面側から入射させて分離し、非晶質
半導体層5a,5b……を形成した。引き続いて、非晶
質半導体層5a,5b……の面側に金属層(3)として
アルミニウムをスパッタリング法により、厚み300n
mを形成した後、この金属層(3)を波長0.53μm
のYAGレーザーの第二高調波を用いて、透明電極2
a,2b……のスクライブ線とは反対方向で、非晶質半
導体層5a,5b……のスクライブ線よりわずかにずれ
た位置にスクライブ線を入れて電気的に分離して金属電
極3a,3b……を形成することにより、集積型非晶質
シリコン太陽電池10を作製した。
Example 1 First, an amorphous solar cell to which the present invention was applied was manufactured. As shown in FIG. 1, the substrate size is 400 mm
Thermal CVD on a glass substrate 1 having a size of 300 mm and a thickness of 4 mm
After forming the transparent conductive film layer (2) by the method, using a second harmonic of a YAG laser having a wavelength of 0.53 μm,
The transparent conductive film layer (2) is scribed from the glass substrate side, and electrically separated into strips to form transparent electrodes 2a, 2b.
Was prepared. Thereafter, ultrasonic cleaning is performed with pure water, and the substrate temperature is set to 20 on the surface on which the transparent electrodes 2a, 2b.
At 0 ° C. and a reaction pressure of 0.5 Torr to 1.0 Torr, a mixed gas of monosilane, methane and diborane, a mixed gas of monosilane and hydrogen, and a mixed gas of monosilane, hydrogen and phosphine were added in this order. The film (5) of a P-type, I-type, and N-type amorphous semiconductor layer was formed by decomposition in a capacitively coupled glow discharge decomposition device. Then, the second harmonic of the YAG laser having a wavelength of 0.53 μm is incident from the glass surface side at a position slightly shifted from the scribe line by the laser so as not to damage the transparent electrodes 2a, 2b. After separation, the amorphous semiconductor layers 5a, 5b... Were formed. Subsequently, aluminum is formed as a metal layer (3) on the surface side of the amorphous semiconductor layers 5a, 5b.
m, the metal layer (3) is set to a wavelength of 0.53 μm
Electrode 2 using the second harmonic of the YAG laser
The scribe lines of the amorphous semiconductor layers 5a, 5b... are slightly separated from the scribe lines of the amorphous semiconductor layers 5a, 5b. By forming..., An integrated amorphous silicon solar cell 10 was produced.

【0034】次に、図2に示すように、この太陽電池1
0の両端に正負の取り出し電極12,14を設けた。こ
の取り出し電極12,14は半田メッキされた銅箔を用
いており、ガラス基板1との接着は超音波半田付け法に
より、予備半田付けされた半田16によってガラス基板
1との接着を行った。
Next, as shown in FIG.
Positive and negative extraction electrodes 12 and 14 were provided at both ends of 0. The extraction electrodes 12 and 14 are made of solder-plated copper foil, and are bonded to the glass substrate 1 by ultrasonic soldering with the solder 16 preliminarily soldered.

【0035】このようにして作製された太陽電池は複数
の太陽電池セルが集積されたものであり、個々の太陽電
池セルを以下、ユニットセル6a,6b……と呼ぶ。図
1に示されるように、たとえば隣接した2つのユニット
セル6b,6cにおける一方のユニットセル6bの電位
はpin接合のn側に接した金属電極3bの電位であ
り、他方のユニットセル6cの電位はp側に接した透明
電極2bの電位と同電位となっている。したがって、逆
方向に電圧を印加するためには、n側に接する金属電極
3bに(+)、透明電極2bと同電位である金属電極3
cには(−)の電圧を印加することになる。
The solar cell manufactured in this way is an integrated one of a plurality of solar cells, and the individual solar cells are hereinafter referred to as unit cells 6a, 6b... As shown in FIG. 1, for example, the potential of one unit cell 6b in two adjacent unit cells 6b, 6c is the potential of metal electrode 3b in contact with the n-side of the pin junction, and the potential of the other unit cell 6c. Is the same as the potential of the transparent electrode 2b in contact with the p-side. Therefore, in order to apply a voltage in the opposite direction, (+) is applied to the metal electrode 3b in contact with the n-side, and the metal electrode 3 having the same potential as the transparent electrode 2b.
A voltage of (-) is applied to c.

【0036】ここで、上記の手法によって製造された太
陽電池10は、長さが0.75cm、幅が38.8cm
の細長い短冊状のユニットセル6a,6b……が40
段、集積化された構造であった。そこで、この太陽電池
10を図3に示す短絡部除去装置18のアルミニウム製
の冷却用ステージ20の上に置き、アクリル製の覆い2
8を被せた。また、覆い28の中に、乾燥窒素を連続的
に流して充満させた。更に、太陽電池10のガラス基板
1と接する冷却用ステージ20の上に熱電対を取り付
け、基板温度を測定した。そして、基板温度が5℃以下
になったのを確かめた後、図1に示すように、プローブ
4,4をそれぞれ隣合うユニットセル6,6の金属電極
3,3に接触させ、それぞれユニットセル6に対して逆
方向にバイアス電圧を印加して、ピンホールの除去を行
った。このようにして集積化された40段の全てのユニ
ットセル6a,6b……に逆方向バイアスを印加して行
き、この集積型太陽電池のピンホール部の除去を行っ
た。なお、電圧の印加は2回行い、1回目は6V、2回
目は8Vの電圧をそれぞれ0.5秒ずつの矩形波で印加
した。
The solar cell 10 manufactured by the above method has a length of 0.75 cm and a width of 38.8 cm.
Of the elongated strip-shaped unit cells 6a, 6b.
Step, integrated structure. Therefore, the solar cell 10 is placed on the aluminum cooling stage 20 of the short-circuit removing device 18 shown in FIG.
8 was put on. The cover 28 was filled with dry nitrogen continuously flowing. Further, a thermocouple was attached on the cooling stage 20 which was in contact with the glass substrate 1 of the solar cell 10, and the substrate temperature was measured. Then, after confirming that the substrate temperature became 5 ° C. or less, the probes 4 and 4 were brought into contact with the metal electrodes 3 and 3 of the adjacent unit cells 6 and 6, respectively, as shown in FIG. A bias voltage was applied in the opposite direction to No. 6 to remove pinholes. A reverse bias was applied to all of the unit cells 6a, 6b,... Of the 40 stages integrated in this manner, and the pinholes of the integrated solar cell were removed. Note that the voltage was applied twice, and a voltage of 6 V was applied at the first time, and a voltage of 8 V was applied at the second time with a rectangular wave of 0.5 seconds each.

【0037】まず、製造された10枚の太陽電池10に
ついて、何らの処理も施さずに特性として出力を測定し
た。測定は100mW/cm2 エアーマス1.5の条件
で測定した。その結果の平均値を初期値として表1に示
した。次いで、上記短絡部除去方法によりその太陽電池
10について特性回復を行った後、特性を測定した。そ
の結果の平均値を処理後として表1に示した。
First, the outputs of the ten manufactured solar cells 10 were measured as characteristics without performing any processing. The measurement was performed under the condition of 100 mW / cm 2 air mass 1.5. The average of the results is shown in Table 1 as an initial value. Next, after the characteristics of the solar cell 10 were restored by the above-described method for removing short-circuit portions, the characteristics were measured. The average of the results is shown in Table 1 as after treatment.

【0038】[0038]

【表1】 [Table 1]

【0039】[0039]

【比較例1】実施例1と同様にして製造された10枚の
太陽電池10について、何らの処理も施さずに特性を測
定し、その平均値を初期値として表1に示した。次に、
従来通りの方法で、室温25℃のクリーンルーム内で逆
方向バイアス電圧を印加する処理による太陽電池の特性
回復を行った。得られた太陽電池について特性を測定
し、その平均値を処理後として表1に併せて示した。
Comparative Example 1 The characteristics of ten solar cells 10 manufactured in the same manner as in Example 1 were measured without any treatment, and the average value is shown in Table 1 as an initial value. next,
By a conventional method, the characteristics of the solar cell were recovered by applying a reverse bias voltage in a clean room at room temperature of 25 ° C. The characteristics of the obtained solar cell were measured, and the average value was shown in Table 1 as after treatment.

【0040】表1からも分かるように、実施例1に示す
太陽電池を冷却して行う短絡部除去方法では、初期値に
対して処理後は出力が約1.33倍に向上していた。こ
れに対して、従来方法では、出力が1.16倍までにし
か特性が回復していなかった。
As can be seen from Table 1, in the method for removing short-circuit portions by cooling the solar cell shown in Example 1, the output was improved about 1.33 times the initial value after the treatment. On the other hand, in the conventional method, the characteristics have been recovered only up to the output of 1.16 times.

【0041】[0041]

【発明の効果】本発明に係る太陽電池の短絡部除去方法
及びその装置は、太陽電池を冷却して短絡部を除去する
ようにしているため、電気抵抗の大きい第1の電極及び
第2の電極における電圧降下を小さくすることができ、
印加電圧の設定と制御が容易且つ安定したものとなり、
短絡部の除去を確実に行うことができる。また、太陽電
池を冷却することにより、ピンホール部の半導体層を飛
散させるとき、同時にその位置にある第2の電極も飛散
させ易くなり、ピンホール部の除去が確実なものとな
る。その結果、この方法を用いることにより、太陽電池
の最大出力が大幅に改善され、太陽電池そのものの歩留
まりを向上させることが可能となる。
According to the method and the apparatus for removing a short-circuit portion of a solar cell according to the present invention, since the short-circuit portion is removed by cooling the solar cell, the first electrode and the second electrode having a large electric resistance are removed. The voltage drop at the electrode can be reduced,
Easy and stable setting and control of applied voltage,
The short-circuit portion can be removed reliably. Further, by cooling the solar cell, when the semiconductor layer in the pinhole portion is scattered, the second electrode at that position is also easily scattered at the same time, and the removal of the pinhole portion is ensured. As a result, by using this method, the maximum output of the solar cell is significantly improved, and the yield of the solar cell itself can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る太陽電池の短絡部除去方法及びそ
の装置の1実施の形態を示す要部拡大斜視説明図であ
る。
FIG. 1 is an enlarged perspective explanatory view of a main part showing one embodiment of a method and an apparatus for removing a short-circuited portion of a solar cell according to the present invention.

【図2】本発明に用いられる太陽電池の1例を示す説明
図であり、同図(a) は要部拡大正面説明図、同図(b) は
平面説明図である。
FIGS. 2A and 2B are explanatory views showing an example of a solar cell used in the present invention, wherein FIG. 2A is an enlarged front view of a main part, and FIG. 2B is a plan view.

【図3】本発明にかかる太陽電池の短絡部除去方法及び
その装置の実施の形態を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory view showing an embodiment of a method and an apparatus for removing a short-circuited portion of a solar cell according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:絶縁基板(ガラス基板) 2:第1の電極層(透明電極) 3:第2の電極層(金属電極) 4:プローブ(印加部材) 5:半導体層 6:太陽電池セル 10:太陽電池 18:短絡部除去装置 20:冷却用ステージ 1: Insulating substrate (glass substrate) 2: First electrode layer (transparent electrode) 3: Second electrode layer (metal electrode) 4: Probe (applying member) 5: Semiconductor layer 6: Solar cell 10: Solar cell 18: Short circuit removal device 20: Cooling stage

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 絶縁基板上に第1の電極層、半導体層、
第2の電極層が順次形成された1又は複数の太陽電池セ
ルから成る太陽電池の短絡部除去方法において、少なく
とも該太陽電池セルの温度を15℃以下にしつつ、太陽
電池セルの隣接する正負の両極に対し逆方向に耐電圧以
下の電圧を印加することを特徴とする太陽電池の短絡部
除去方法。
A first electrode layer, a semiconductor layer,
In the method for removing a short-circuit portion of a solar cell including one or a plurality of solar cells in which a second electrode layer is sequentially formed, at least the temperature of the solar cell is set to 15 ° C. or less, and the positive and negative adjacent cells of the solar cell are removed. A method for removing a short-circuit portion of a solar cell, comprising applying a voltage equal to or lower than a withstand voltage in opposite directions to both electrodes.
【請求項2】 前記請求項1に記載する太陽電池の短絡
部除去方法において、少なくとも該太陽電池セルを乾燥
気体又は除湿気体で覆いつつ冷却することを特徴とする
太陽電池の短絡部除去方法。
2. The method for removing a short-circuit portion of a solar cell according to claim 1, wherein at least the solar cell is cooled while being covered with a dry gas or a dehumidifying gas.
【請求項3】 絶縁基板上に第1の電極層、半導体層、
第2の電極層が順次形成された1又は複数の太陽電池セ
ルから成る太陽電池における該太陽電池セルの隣接する
正負の両極に対し、逆方向に耐電圧以下の電圧を印加
し、短絡部を除去する太陽電池の短絡部除去装置におい
て、該太陽電池セルの温度を所定の温度に保持する温度
制御手段を有することを特徴とする太陽電池の短絡部除
去装置。
3. A semiconductor device comprising: a first electrode layer, a semiconductor layer,
In a solar cell including one or a plurality of solar cells in which a second electrode layer is sequentially formed, a voltage lower than a withstand voltage is applied in the opposite direction to both positive and negative electrodes adjacent to the solar cell, thereby forming a short-circuit portion. What is claimed is: 1. A device for removing a short-circuit portion of a solar cell, comprising: a temperature control unit for maintaining a temperature of the solar cell at a predetermined temperature.
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