JPH10126186A - 水晶振動子の周波数調整装置 - Google Patents
水晶振動子の周波数調整装置Info
- Publication number
- JPH10126186A JPH10126186A JP8273171A JP27317196A JPH10126186A JP H10126186 A JPH10126186 A JP H10126186A JP 8273171 A JP8273171 A JP 8273171A JP 27317196 A JP27317196 A JP 27317196A JP H10126186 A JPH10126186 A JP H10126186A
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- JP
- Japan
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- electrodes
- electrode
- ions
- ion gun
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 周波数の測定を正確に行いながら、高速度で
電極をエッチングでききる水晶振動子の周波数調整装置
を提供することを目的とする。 【解決手段】 水晶振動子１を治具２に保持し、チャン
バ１０の開口部１３に位置決めする。正イオン銃１１か
ら正イオンを射出し、負イオン銃１２から負イオンを射
出し、水晶振動子１の電極１ｂをエッチングする。電極
１ｂがエッチングするのにともない、周波数の分布は高
くなる。周波数の分布が目標周波数に合致すれば、正イ
オンと負イオンの射出を中止する。水晶振動子１には正
イオンと負イオンが吹き付けられるので電極１ｂが帯電
することはなく、したがって周波数を正確に測定しなが
ら高速度でエッチングできる。
電極をエッチングでききる水晶振動子の周波数調整装置
を提供することを目的とする。 【解決手段】 水晶振動子１を治具２に保持し、チャン
バ１０の開口部１３に位置決めする。正イオン銃１１か
ら正イオンを射出し、負イオン銃１２から負イオンを射
出し、水晶振動子１の電極１ｂをエッチングする。電極
１ｂがエッチングするのにともない、周波数の分布は高
くなる。周波数の分布が目標周波数に合致すれば、正イ
オンと負イオンの射出を中止する。水晶振動子１には正
イオンと負イオンが吹き付けられるので電極１ｂが帯電
することはなく、したがって周波数を正確に測定しなが
ら高速度でエッチングできる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水晶振動子の電極
をエッチングして周波数を調整する水晶振動子の周波数
調整装置に関するものである。
をエッチングして周波数を調整する水晶振動子の周波数
調整装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】水晶振動子は、水晶板の主面に電極を形
成して作られる。電極としては、銀などの電極材料を薄
膜状に蒸着したものが一般的である。水晶振動子の周波
数は電極の厚さに左右されるが、電極の厚さはばらつき
やすいので周波数もばらつきやすい。
成して作られる。電極としては、銀などの電極材料を薄
膜状に蒸着したものが一般的である。水晶振動子の周波
数は電極の厚さに左右されるが、電極の厚さはばらつき
やすいので周波数もばらつきやすい。
【０００３】そこで従来は、水晶板に電極を厚目に形成
しておき、周波数測定手段で周波数を測定しながら、電
極に正イオンを射出して電極をエッチングし、周波数が
目標周波数になったならば、正イオンの射出を停止する
ようにしていた。
しておき、周波数測定手段で周波数を測定しながら、電
極に正イオンを射出して電極をエッチングし、周波数が
目標周波数になったならば、正イオンの射出を停止する
ようにしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
方法では、電極に正イオンを吹き付けることにより電極
は正に帯電し、その結果、周波数測定手段による周波数
の測定値に狂いを生じやすく、ひいては目標周波数を有
する水晶振動子を得にくいという問題点があった。
方法では、電極に正イオンを吹き付けることにより電極
は正に帯電し、その結果、周波数測定手段による周波数
の測定値に狂いを生じやすく、ひいては目標周波数を有
する水晶振動子を得にくいという問題点があった。
【０００５】そこで、正イオンに替えて、中性子銃によ
り中性子を電極に射出して電極をエッチングする方法が
知られている。この方法によれば、電極は帯電しないの
で周波数を正確に測定できるという利点がある。しかし
ながら中性子は、荷電粒子と違って電気的に中性なため
射出速度に加速度がつきにくく、また中性子は大量に射
出しにくいのでエッチング力が弱く、長いエッチング時
間を要するという問題点がある。
り中性子を電極に射出して電極をエッチングする方法が
知られている。この方法によれば、電極は帯電しないの
で周波数を正確に測定できるという利点がある。しかし
ながら中性子は、荷電粒子と違って電気的に中性なため
射出速度に加速度がつきにくく、また中性子は大量に射
出しにくいのでエッチング力が弱く、長いエッチング時
間を要するという問題点がある。
【０００６】そこで本発明は、周波数の測定を正確に行
いながら、高速度で電極をエッチングできる水晶振動子
の周波数調整装置を提供することを目的とする。
いながら、高速度で電極をエッチングできる水晶振動子
の周波数調整装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、水晶振動子の
電極に正イオンを射出してこの電極をエッチングする正
イオン銃と、この水晶振動子の電極に負イオンを射出し
てこの電極をエッチングする負イオン銃とを備えた。
電極に正イオンを射出してこの電極をエッチングする正
イオン銃と、この水晶振動子の電極に負イオンを射出し
てこの電極をエッチングする負イオン銃とを備えた。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明は、正イオンと負イオンを
射出して電極をエッチングするので電極の帯電を防止
し、周波数を正確に測定しながら周波数の調整を高速度
で行うことができる。
射出して電極をエッチングするので電極の帯電を防止
し、周波数を正確に測定しながら周波数の調整を高速度
で行うことができる。
【０００９】以下、本発明の一実施の形態を図面を参照
して説明する。図１は、本発明の一実施の形態の水晶振
動子の周波数調整装置の断面図、図２は同水晶振動子の
断面図、図３は同水晶振動子の周波数特性図である。水
晶振動子１は治具２に保持されている。図２に示すよう
に、水晶振動子１は、水晶板１ａの表面に電極１ｂを形
成して作られる。電極１ｂは、一般に銀などの電極材料
を蒸着またはスパッタリングにより形成される。治具２
は載置部３上に載置されている。載置部３は棒状であっ
て、台板４に挿入されており、スプリング５より下方へ
弾発されている。載置部３の下方にはシリンダ６が設け
られている。図示するようにシリンダ６のロッド７が突
出すると、載置部３は押し上げられ、ロッド７が引き込
むと載置部３はスプリング５のばね力により下降する。
して説明する。図１は、本発明の一実施の形態の水晶振
動子の周波数調整装置の断面図、図２は同水晶振動子の
断面図、図３は同水晶振動子の周波数特性図である。水
晶振動子１は治具２に保持されている。図２に示すよう
に、水晶振動子１は、水晶板１ａの表面に電極１ｂを形
成して作られる。電極１ｂは、一般に銀などの電極材料
を蒸着またはスパッタリングにより形成される。治具２
は載置部３上に載置されている。載置部３は棒状であっ
て、台板４に挿入されており、スプリング５より下方へ
弾発されている。載置部３の下方にはシリンダ６が設け
られている。図示するようにシリンダ６のロッド７が突
出すると、載置部３は押し上げられ、ロッド７が引き込
むと載置部３はスプリング５のばね力により下降する。
【００１０】１０はチャンバであり、正イオン銃１１と
負イオン銃１２が備えられている。正イオン銃１１は水
晶振動子１へ向って正イオンを射出し、また負イオン銃
１２は負イオンを射出する。負イオン銃１２としては、
電子銃やＡｒ- を射出する負イオン銃などが用いられ
る。チャンバ１０の下面には開口部１３が形成されてい
る。上述のようにシリンダ６のロッド７に押し上げられ
て載置部３が上昇すると、治具２はこの開口部１３の内
部に位置決めされる。１４はシャッタであり、シリンダ
１５のロッド１６に結合されている。シリンダ１５のロ
ッド１６が突没すると、シャッタ１４はチャンバ１０の
底面上を前進後退し、開口部１３を開閉する。チャンバ
１０の底部には吸引路１７が形成されており、真空ポン
プ１８が駆動することによりチャンバ１０内を真空吸引
する。
負イオン銃１２が備えられている。正イオン銃１１は水
晶振動子１へ向って正イオンを射出し、また負イオン銃
１２は負イオンを射出する。負イオン銃１２としては、
電子銃やＡｒ- を射出する負イオン銃などが用いられ
る。チャンバ１０の下面には開口部１３が形成されてい
る。上述のようにシリンダ６のロッド７に押し上げられ
て載置部３が上昇すると、治具２はこの開口部１３の内
部に位置決めされる。１４はシャッタであり、シリンダ
１５のロッド１６に結合されている。シリンダ１５のロ
ッド１６が突没すると、シャッタ１４はチャンバ１０の
底面上を前進後退し、開口部１３を開閉する。チャンバ
１０の底部には吸引路１７が形成されており、真空ポン
プ１８が駆動することによりチャンバ１０内を真空吸引
する。
【００１１】図３において、ｆｏは目標周波数、ａは周
波数調整前の水晶振動子１の周波数の分布、ｂは周波数
調整後の水晶振動子１の周波数の分布である。水晶振動
子１は、周波数の分布ａが目標周波数ｆｏよりも低くな
るように、電極１ｂを厚目に形成してある。
波数調整前の水晶振動子１の周波数の分布、ｂは周波数
調整後の水晶振動子１の周波数の分布である。水晶振動
子１は、周波数の分布ａが目標周波数ｆｏよりも低くな
るように、電極１ｂを厚目に形成してある。
【００１２】この水晶振動子の周波数調整装置は上記の
ような構成より成り、次に動作を説明する。図１に示す
ように水晶振動子１を開口部１３に位置決めし、正イオ
ン銃１１と負イオン銃１２から正イオンと負イオンを射
出し、水晶振動子１の電極１ｂに吹き付ける。すると電
極１ｂはエッチングされてその厚さは次第に薄くなる。
水晶振動子１の周波数は電極の厚さに反比例するので、
電極の厚さが薄くなるにしたがい、周波数は高くなる。
水晶振動子１の周波数は図示しない周波数測定手段によ
り測定されており、図３に示すように周波数の分布がａ
からｂへ移行し、目標周波数ｆｏに合致すると、正イオ
ンと負イオンの射出を停止する。
ような構成より成り、次に動作を説明する。図１に示す
ように水晶振動子１を開口部１３に位置決めし、正イオ
ン銃１１と負イオン銃１２から正イオンと負イオンを射
出し、水晶振動子１の電極１ｂに吹き付ける。すると電
極１ｂはエッチングされてその厚さは次第に薄くなる。
水晶振動子１の周波数は電極の厚さに反比例するので、
電極の厚さが薄くなるにしたがい、周波数は高くなる。
水晶振動子１の周波数は図示しない周波数測定手段によ
り測定されており、図３に示すように周波数の分布がａ
からｂへ移行し、目標周波数ｆｏに合致すると、正イオ
ンと負イオンの射出を停止する。
【００１３】以上のようにして水晶振動子１の周波数の
調整は終了するが、水晶振動子１には正イオンと負イオ
ンが吹き付けられてエッチングされるので、電極は帯電
せず、したがって水晶振動子１の周波数を正確に測定し
ながらエッチングを行うことができる。なお正イオン銃
１１による正イオンの射出と負イオン銃１２による負イ
オンの射出は同時に併行して行ってもよく、あるいは交
互に行ってもよく、要は水晶振動子１の帯電を防止しな
がらエッチングを行うようにすればよい。
調整は終了するが、水晶振動子１には正イオンと負イオ
ンが吹き付けられてエッチングされるので、電極は帯電
せず、したがって水晶振動子１の周波数を正確に測定し
ながらエッチングを行うことができる。なお正イオン銃
１１による正イオンの射出と負イオン銃１２による負イ
オンの射出は同時に併行して行ってもよく、あるいは交
互に行ってもよく、要は水晶振動子１の帯電を防止しな
がらエッチングを行うようにすればよい。
【００１４】
【発明の効果】本発明は、正イオンと負イオンを射出し
て電極をエッチングするので電極の帯電を防止し、周波
数を正確に測定しながら周波数の調整を高速度で行うこ
とができる。
て電極をエッチングするので電極の帯電を防止し、周波
数を正確に測定しながら周波数の調整を高速度で行うこ
とができる。
【図１】本発明の一実施の形態の水晶振動子の周波数調
整装置の断面図
整装置の断面図
【図２】本発明の一実施の形態の水晶振動子の断面図
【図３】本発明の一実施の形態の水晶振動子の周波数特
性図
性図
１ 水晶振動子 １ａ 水晶板 １ｂ 電極 ２ 治具 ３ 載置部 １０ チャンバ １１ 正イオン銃 １２ 負イオン銃
Claims (1)
- 【請求項１】水晶板の主面に薄膜状の電極を形成した水
晶振動子の周波数調整装置であって、水晶振動子の載置
部と、この水晶振動子の電極に正イオンを射出してこの
電極をエッチングする正イオン銃と、この水晶振動子の
電極に負イオンを射出してこの電極をエッチングする負
イオン銃とを備えたことを特徴とする水晶振動子の周波
数調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8273171A JPH10126186A (ja) | 1996-10-16 | 1996-10-16 | 水晶振動子の周波数調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8273171A JPH10126186A (ja) | 1996-10-16 | 1996-10-16 | 水晶振動子の周波数調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10126186A true JPH10126186A (ja) | 1998-05-15 |
Family
ID=17524096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8273171A Pending JPH10126186A (ja) | 1996-10-16 | 1996-10-16 | 水晶振動子の周波数調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10126186A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030057854A (ko) * | 2001-12-29 | 2003-07-07 | 김형곤 | Ｓｍｄ 수정진동자 조립장치 |
| CN107430244A (zh) * | 2015-03-13 | 2017-12-01 | 狄德罗-巴黎第七大学 | 使用一个或多个谐振器的方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02233009A (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-14 | Miyota Seimitsu Kk | 音叉型圧電振動子の周波数調整方法 |
| JPH04196708A (ja) * | 1990-11-28 | 1992-07-16 | Kinseki Ltd | 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法 |
| JPH06303071A (ja) * | 1992-12-22 | 1994-10-28 | Electron & De Piezo Electricite Cepe:Co | 圧電装置の周波数同調方法とこの方法を実施する装置 |
| JPH0818372A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-19 | Seiko Instr Inc | 圧電素子の周波数調整装置及び圧電周波数調整方法 |
-
1996
- 1996-10-16 JP JP8273171A patent/JPH10126186A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02233009A (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-14 | Miyota Seimitsu Kk | 音叉型圧電振動子の周波数調整方法 |
| JPH04196708A (ja) * | 1990-11-28 | 1992-07-16 | Kinseki Ltd | 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法 |
| JPH06303071A (ja) * | 1992-12-22 | 1994-10-28 | Electron & De Piezo Electricite Cepe:Co | 圧電装置の周波数同調方法とこの方法を実施する装置 |
| JPH0818372A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-19 | Seiko Instr Inc | 圧電素子の周波数調整装置及び圧電周波数調整方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030057854A (ko) * | 2001-12-29 | 2003-07-07 | 김형곤 | Ｓｍｄ 수정진동자 조립장치 |
| CN107430244A (zh) * | 2015-03-13 | 2017-12-01 | 狄德罗-巴黎第七大学 | 使用一个或多个谐振器的方法 |
| CN107430244B (zh) * | 2015-03-13 | 2019-10-22 | 狄德罗-巴黎第七大学 | 使用一个或多个谐振器的方法 |
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