JPH10125758A - 基板搬送アーム - Google Patents
基板搬送アームInfo
- Publication number
- JPH10125758A JPH10125758A JP8272564A JP27256496A JPH10125758A JP H10125758 A JPH10125758 A JP H10125758A JP 8272564 A JP8272564 A JP 8272564A JP 27256496 A JP27256496 A JP 27256496A JP H10125758 A JPH10125758 A JP H10125758A
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- Japan
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- facing
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- transfer arm
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 マスク、半導体ウエハなどの基板の大きさあ
るいは形状が変わっても、簡易な構成により低コストか
つ容易にこれらを搬送する。 【解決手段】 基板搬送アームの支持部１に異なる大き
さの座繰り部２，３，４を形成し、さらに、座繰り部
２，３，４を水平面に対して傾斜させる。そしてこの座
繰り部２，３，４内にマスク、半導体ウエハなどの基板
を載置する。この際、基板は自重により座繰り部２，
３，４内に位置決めされる。
るいは形状が変わっても、簡易な構成により低コストか
つ容易にこれらを搬送する。 【解決手段】 基板搬送アームの支持部１に異なる大き
さの座繰り部２，３，４を形成し、さらに、座繰り部
２，３，４を水平面に対して傾斜させる。そしてこの座
繰り部２，３，４内にマスク、半導体ウエハなどの基板
を載置する。この際、基板は自重により座繰り部２，
３，４内に位置決めされる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マスクや半導体ウ
エハなどの基板を搬送する基板搬送装置に用いられる基
板搬送アームに関する。
エハなどの基板を搬送する基板搬送装置に用いられる基
板搬送アームに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、マスクパターンが形成されたマス
クや半導体ウエハ（以下基板とする）は、基板搬送装置
により露光装置などに搬送される。このように基板を搬
送する装置としては、例えば基板が載置されている場所
から露光装置まで移動可能に構成された基板搬送アーム
が用いられる。基板搬送アームの先端には、基板の大き
さに応じた位置に吸引孔が形成された支持部が設けられ
ており、この吸引孔を真空引きすることにより基板を吸
着して搬送するものである。
クや半導体ウエハ（以下基板とする）は、基板搬送装置
により露光装置などに搬送される。このように基板を搬
送する装置としては、例えば基板が載置されている場所
から露光装置まで移動可能に構成された基板搬送アーム
が用いられる。基板搬送アームの先端には、基板の大き
さに応じた位置に吸引孔が形成された支持部が設けられ
ており、この吸引孔を真空引きすることにより基板を吸
着して搬送するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、基板に
は円形状あるいは矩形など種々の形状のものがあるた
め、上述した基板搬送アームにより形状が異なる基板を
搬送する場合は、基板の形状に応じた吸引孔が形成され
た複数種類の基板搬送アームを用意する必要があるが、
複数種類の基板搬送アームを用いるとその取り替えが面
倒なものとなる。この場合、基板の形状に適合するよう
に基板搬送アームに複数の吸引孔を形成することも考え
られるが、複数の吸引孔を形成した場合、基板搬送アー
ム内に吸引孔を真空引きするための空気通路を複数形成
する必要があるため、基板搬送アームの構成が複雑なも
のとなり製造コストが上昇する。
は円形状あるいは矩形など種々の形状のものがあるた
め、上述した基板搬送アームにより形状が異なる基板を
搬送する場合は、基板の形状に応じた吸引孔が形成され
た複数種類の基板搬送アームを用意する必要があるが、
複数種類の基板搬送アームを用いるとその取り替えが面
倒なものとなる。この場合、基板の形状に適合するよう
に基板搬送アームに複数の吸引孔を形成することも考え
られるが、複数の吸引孔を形成した場合、基板搬送アー
ム内に吸引孔を真空引きするための空気通路を複数形成
する必要があるため、基板搬送アームの構成が複雑なも
のとなり製造コストが上昇する。
【０００４】本発明の目的は、基板の形状や大きさが変
更されても、簡易な構成により容易に基板を搬送するこ
とができる基板搬送アームを提供することにある。
更されても、簡易な構成により容易に基板を搬送するこ
とができる基板搬送アームを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】一実施の形態を示す図１
および図３を参照して説明すると、請求項１の発明は、
基板７を載置する支持部１を備えた基板搬送アーム２１
に適用され、支持部１が、基板７の周囲を規制可能な規
制部２，３，４を備え、規制部２，３，４が水平面に対
して傾斜していることにより上記目的を達成する。請求
項２の発明は、規制部が、異なる大きさおよび／または
形状の基板７の周囲を規制する。図４を参照して説明す
ると、請求項３の発明は、規制部８が異なる大きさおよ
び／または形状の基板７の隣接する２側面のそれぞれと
接触する２面８Ａ，８Ｂを有し、その２面の境界線に向
かう傾斜が設けられている。
および図３を参照して説明すると、請求項１の発明は、
基板７を載置する支持部１を備えた基板搬送アーム２１
に適用され、支持部１が、基板７の周囲を規制可能な規
制部２，３，４を備え、規制部２，３，４が水平面に対
して傾斜していることにより上記目的を達成する。請求
項２の発明は、規制部が、異なる大きさおよび／または
形状の基板７の周囲を規制する。図４を参照して説明す
ると、請求項３の発明は、規制部８が異なる大きさおよ
び／または形状の基板７の隣接する２側面のそれぞれと
接触する２面８Ａ，８Ｂを有し、その２面の境界線に向
かう傾斜が設けられている。
【０００６】請求項１の発明によれば、基板７は規制部
２，３，４によりその周囲を規制されて支持部１上に載
置される。この際、規制部２，３，４が傾斜しているた
め、基板７は自重により規制部２，３，４に当接して位
置決めがなされる。請求項２の発明によれば、規制部は
大きさおよび／または形状が異なる基板７の周囲を規制
して基板７を載置するため、基板７の大きさおよび／ま
たは形状が異なっても基板７を支持部１に載置すること
ができる。請求項３の発明によれば、規制部８の２面８
Ａ，８Ｂの境界線に向けて傾斜が設けられているため、
基板７は自重により規制部８の２面８Ａ，８Ｂに当接し
て位置決めがなされる。
２，３，４によりその周囲を規制されて支持部１上に載
置される。この際、規制部２，３，４が傾斜しているた
め、基板７は自重により規制部２，３，４に当接して位
置決めがなされる。請求項２の発明によれば、規制部は
大きさおよび／または形状が異なる基板７の周囲を規制
して基板７を載置するため、基板７の大きさおよび／ま
たは形状が異なっても基板７を支持部１に載置すること
ができる。請求項３の発明によれば、規制部８の２面８
Ａ，８Ｂの境界線に向けて傾斜が設けられているため、
基板７は自重により規制部８の２面８Ａ，８Ｂに当接し
て位置決めがなされる。
【０００７】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために発明の実施の形態の図を用いたが、これにより本
発明が実施の形態に限定されるものではない。
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために発明の実施の形態の図を用いたが、これにより本
発明が実施の形態に限定されるものではない。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態について説明する。図１は本発明の実施の形態に
係る基板搬送アームの支持部の構成を示す平面図であ
る。図１に示すように、本実施の形態に係る基板搬送ア
ームの支持部１は、マスクを搬送するものであり、図２
にも示されるように、略中央部に矩形の座繰り部２が形
成され、座繰り部２の周囲には座繰り部２よりも広い面
積を有する座繰り部３が、さらに座繰り部３の周囲には
座繰り部３よりも広い面積を有する座繰り部４が形成さ
れている。さらに、支持部１が水平に保持されたとき座
繰り部２，３，４は水平面に対して傾斜するように形成
されている。
の形態について説明する。図１は本発明の実施の形態に
係る基板搬送アームの支持部の構成を示す平面図であ
る。図１に示すように、本実施の形態に係る基板搬送ア
ームの支持部１は、マスクを搬送するものであり、図２
にも示されるように、略中央部に矩形の座繰り部２が形
成され、座繰り部２の周囲には座繰り部２よりも広い面
積を有する座繰り部３が、さらに座繰り部３の周囲には
座繰り部３よりも広い面積を有する座繰り部４が形成さ
れている。さらに、支持部１が水平に保持されたとき座
繰り部２，３，４は水平面に対して傾斜するように形成
されている。
【０００９】そしてこれにより、座繰り部２，３，４の
形状に適合した３種類の大きさの矩形のマスクの周囲を
規制して支持部１に載置することができるとともに、座
繰り部２，３，４の傾斜により、例えば、図２の仮想線
で示すマスク７はその自重により座繰り部４の当接面４
Ａに当接することとなる。座繰り部２，３に載置される
マスクも同様にして当接面２Ａ，３Ａに当接する。した
がって、マスク７を支持部１に載置するのみで、マスク
７はその周囲を規制されてその位置ずれも制限されて搬
送されるため、従来の基板を吸着するための吸引孔が不
要となり、基板搬送アームの構成を簡易なものとするこ
とができる。さらに、座繰り部２，３，４の形状に適合
した３種類の大きさの円形状のマスクの周囲をも規制し
て支持部１に載置することができる。
形状に適合した３種類の大きさの矩形のマスクの周囲を
規制して支持部１に載置することができるとともに、座
繰り部２，３，４の傾斜により、例えば、図２の仮想線
で示すマスク７はその自重により座繰り部４の当接面４
Ａに当接することとなる。座繰り部２，３に載置される
マスクも同様にして当接面２Ａ，３Ａに当接する。した
がって、マスク７を支持部１に載置するのみで、マスク
７はその周囲を規制されてその位置ずれも制限されて搬
送されるため、従来の基板を吸着するための吸引孔が不
要となり、基板搬送アームの構成を簡易なものとするこ
とができる。さらに、座繰り部２，３，４の形状に適合
した３種類の大きさの円形状のマスクの周囲をも規制し
て支持部１に載置することができる。
【００１０】次いで、本実施の形態に係る基板搬送アー
ムが使用される露光装置のマスクローダについて説明す
る。図３はマスクローダの構成を示す概略図である。図
３に示すように、マスクローダ１０は、基台１１上に設
置された縦スライダ１２を備え、縦スライダ１２に沿っ
て摺動自在にスライダ１３が取り付けられている。縦ス
ライダ１２の近傍には本実施の形態に係るスカラー型ロ
ボットハンドである基板搬送アーム２１が設置される。
基板搬送アーム２１は、ベース１６と、ベース１６上に
おいてＸＹ平面に垂直なＺ方向に伸縮するＺ軸移動部１
７と、Ｚ軸移動部１７の中心を軸として回転するθ軸回
転部１８と、θ軸回転部１８の先端に回転自在に設けら
れたＲ軸回転部１９と、Ｒ軸回転部１９の先端に回転自
在に設けられた支持部１とから構成される。基板搬送ア
ーム２１の近傍には複数のマスク７が保管されたストッ
カ５が設置される。
ムが使用される露光装置のマスクローダについて説明す
る。図３はマスクローダの構成を示す概略図である。図
３に示すように、マスクローダ１０は、基台１１上に設
置された縦スライダ１２を備え、縦スライダ１２に沿っ
て摺動自在にスライダ１３が取り付けられている。縦ス
ライダ１２の近傍には本実施の形態に係るスカラー型ロ
ボットハンドである基板搬送アーム２１が設置される。
基板搬送アーム２１は、ベース１６と、ベース１６上に
おいてＸＹ平面に垂直なＺ方向に伸縮するＺ軸移動部１
７と、Ｚ軸移動部１７の中心を軸として回転するθ軸回
転部１８と、θ軸回転部１８の先端に回転自在に設けら
れたＲ軸回転部１９と、Ｒ軸回転部１９の先端に回転自
在に設けられた支持部１とから構成される。基板搬送ア
ーム２１の近傍には複数のマスク７が保管されたストッ
カ５が設置される。
【００１１】次いで、本実施の形態の動作について説明
する。まず、基板搬送アーム２１を駆動し、その支持部
１にマスク７を載置してマスク７をストッカ５から取り
出す。そしてこのようにして取り出されたマスク７を縦
スライダ１２に設置されたスライダ１３に渡す。その
後、スライダ１３はマスク７を真空吸着により保持した
状態で縦スライダ１２に沿って位置１３Ａから１３Ｂに
移動し、マスクローダ１０に近接して配された露光装置
のマスクホルダにマスク７を設置する。
する。まず、基板搬送アーム２１を駆動し、その支持部
１にマスク７を載置してマスク７をストッカ５から取り
出す。そしてこのようにして取り出されたマスク７を縦
スライダ１２に設置されたスライダ１３に渡す。その
後、スライダ１３はマスク７を真空吸着により保持した
状態で縦スライダ１２に沿って位置１３Ａから１３Ｂに
移動し、マスクローダ１０に近接して配された露光装置
のマスクホルダにマスク７を設置する。
【００１２】一方、マスク７を交換する際は、マスク７
が再度基板搬送アーム２１の支持部１に載置されてスト
ッカ５に戻される。
が再度基板搬送アーム２１の支持部１に載置されてスト
ッカ５に戻される。
【００１３】なお、上記実施の形態においては、基板搬
送アーム２１をマスク７を搬送するものとして説明した
が、本発明に係る基板搬送アームをレチクル、シリコン
ウエハあるいはガラス基板を搬送する際に用いてもよ
い。ここで、ガラス基板を搬送する場合は、表面に導電
性パターンが形成されるため、基板が帯電することがな
く、したがって、支持部１を任意の材料にて構成するこ
とができるが、シリコンウエハを搬送する場合は、帯電
を防止するために導電性を有する材料にて支持部１を構
成することが好ましい。
送アーム２１をマスク７を搬送するものとして説明した
が、本発明に係る基板搬送アームをレチクル、シリコン
ウエハあるいはガラス基板を搬送する際に用いてもよ
い。ここで、ガラス基板を搬送する場合は、表面に導電
性パターンが形成されるため、基板が帯電することがな
く、したがって、支持部１を任意の材料にて構成するこ
とができるが、シリコンウエハを搬送する場合は、帯電
を防止するために導電性を有する材料にて支持部１を構
成することが好ましい。
【００１４】また、上記実施の形態においては、基板搬
送アームの支持部１に３種類の大きさの座繰り部２，
３，４を形成してマスク７の周囲を規制しているが、１
種類あるいは３種類以上の大きさの座繰り部を形成して
もよい。ここで、１種類のみの座繰り部８を形成した実
施の形態を図４に示す。図４に示すように、座繰り部８
は水平面に対して傾斜しているため、上記実施の形態と
同様に、マスク７は自重により当接部８Ａ，８Ｂに当接
して位置決めがなされる。さらに、図４に示す実施の形
態においては、図４の仮想線に示すように、複数の座繰
り部を設けることなく、異なる大きさ、種類の基板を載
置することができる。さらに、座繰り部２，３，４，８
の形状は矩形に限定されるものではなく、円形あるいは
搬送する基板の形状に適合したものであれば、いかなる
形状であってもよい。なお、図４に示す実施の形態にお
いて、座繰り部８の形状を円形とした場合は、異なる大
きさの円形の基板を載置することはできないが、異なる
大きさの矩形の基板を載置することができる。
送アームの支持部１に３種類の大きさの座繰り部２，
３，４を形成してマスク７の周囲を規制しているが、１
種類あるいは３種類以上の大きさの座繰り部を形成して
もよい。ここで、１種類のみの座繰り部８を形成した実
施の形態を図４に示す。図４に示すように、座繰り部８
は水平面に対して傾斜しているため、上記実施の形態と
同様に、マスク７は自重により当接部８Ａ，８Ｂに当接
して位置決めがなされる。さらに、図４に示す実施の形
態においては、図４の仮想線に示すように、複数の座繰
り部を設けることなく、異なる大きさ、種類の基板を載
置することができる。さらに、座繰り部２，３，４，８
の形状は矩形に限定されるものではなく、円形あるいは
搬送する基板の形状に適合したものであれば、いかなる
形状であってもよい。なお、図４に示す実施の形態にお
いて、座繰り部８の形状を円形とした場合は、異なる大
きさの円形の基板を載置することはできないが、異なる
大きさの矩形の基板を載置することができる。
【００１５】以上の実施の形態と請求項との対応におい
て、座繰り部２，３，４，８が規制部を構成する。
て、座繰り部２，３，４，８が規制部を構成する。
【００１６】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項１の
発明によれば、基板は規制部によりその周囲を規制され
てかつ傾斜によりその位置決めがなされて支持部上に載
置されるため、規制部の形状を種々変更することによ
り、複数種類の搬送アームを用意することなく、また複
数の吸引孔を形成することなく種々の形状あるいは大き
さの基板を支持部上に載置して搬送することができる。
したがって、簡易な構成により低コストで様々な形状の
基板を搬送することが可能となる。請求項２の発明によ
れば、複数の規制部は大きさおよび／または形状が異な
る基板の周囲を規制して基板を載置するため、基板の大
きさ、形状が異なっても基板を支持部上に載置すること
ができる。請求項３の発明によれば、規制部８の２面の
境界線に向けて傾斜が設けられているため、基板は自重
により規制部の２面にその２側面を当接させて位置決め
がなされる。したがって、簡易な構成により低コストで
様々な形状の基板を搬送することが可能となる。
発明によれば、基板は規制部によりその周囲を規制され
てかつ傾斜によりその位置決めがなされて支持部上に載
置されるため、規制部の形状を種々変更することによ
り、複数種類の搬送アームを用意することなく、また複
数の吸引孔を形成することなく種々の形状あるいは大き
さの基板を支持部上に載置して搬送することができる。
したがって、簡易な構成により低コストで様々な形状の
基板を搬送することが可能となる。請求項２の発明によ
れば、複数の規制部は大きさおよび／または形状が異な
る基板の周囲を規制して基板を載置するため、基板の大
きさ、形状が異なっても基板を支持部上に載置すること
ができる。請求項３の発明によれば、規制部８の２面の
境界線に向けて傾斜が設けられているため、基板は自重
により規制部の２面にその２側面を当接させて位置決め
がなされる。したがって、簡易な構成により低コストで
様々な形状の基板を搬送することが可能となる。
【図１】本発明に係る基板搬送アームの支持部の構成を
示す平面図
示す平面図
【図２】本発明に係る基板搬送アームの支持部の構成を
示す断面図
示す断面図
【図３】本発明に係る基板搬送アームが用いられる装置
の構成を示す図
の構成を示す図
【図４】本発明に係る基板搬送アームの支持部の他の実
施の形態の構成を示す斜視図
施の形態の構成を示す斜視図
１ 支持部 ２，３，４，８ 座繰り部 ５ ストッカ １０ マスクローダ
Claims (3)
- 【請求項１】 基板を載置する支持部を備えた基板搬送
アームにおいて、 前記支持部が、前記基板の周囲を規制可能な規制部を備
え、該規制部が水平面に対して傾斜していることを特徴
とする基板搬送アーム。 - 【請求項２】 前記規制部が、異なる大きさおよび／ま
たは形状の前記基板の周囲を規制することを特徴とする
請求項１記載の基板搬送アーム。 - 【請求項３】 前記規制部が、異なる大きさおよび／ま
たは形状の基板の隣接する２側面のそれぞれと接触する
２面を有し、該２面の境界線に向かう傾斜が設けられて
いることを特徴とする請求項２記載の基板搬送アーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8272564A JPH10125758A (ja) | 1996-10-15 | 1996-10-15 | 基板搬送アーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8272564A JPH10125758A (ja) | 1996-10-15 | 1996-10-15 | 基板搬送アーム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10125758A true JPH10125758A (ja) | 1998-05-15 |
Family
ID=17515671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8272564A Pending JPH10125758A (ja) | 1996-10-15 | 1996-10-15 | 基板搬送アーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10125758A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100752373B1 (ko) * | 2004-11-29 | 2007-08-27 | 삼성에스디아이 주식회사 | 평판표시장치 제조용 엔드이펙터 |
| KR20210156203A (ko) * | 2020-06-17 | 2021-12-24 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법, 및 기록 매체 |
-
1996
- 1996-10-15 JP JP8272564A patent/JPH10125758A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100752373B1 (ko) * | 2004-11-29 | 2007-08-27 | 삼성에스디아이 주식회사 | 평판표시장치 제조용 엔드이펙터 |
| KR20210156203A (ko) * | 2020-06-17 | 2021-12-24 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법, 및 기록 매체 |
| JP2021197510A (ja) * | 2020-06-17 | 2021-12-27 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、およびプログラム |
| US11891697B2 (en) | 2020-06-17 | 2024-02-06 | Kokusai Electric Corporation | Substrate processing apparatus |
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