JPH10123218A - Method and device for testing logic integrated circuit - Google Patents

Method and device for testing logic integrated circuit

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JPH10123218A
JPH10123218A JP8282301A JP28230196A JPH10123218A JP H10123218 A JPH10123218 A JP H10123218A JP 8282301 A JP8282301 A JP 8282301A JP 28230196 A JP28230196 A JP 28230196A JP H10123218 A JPH10123218 A JP H10123218A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the testing device for a logic integrated circuit, which can avoid the collision of data without adding any circuit, terminal and the like to a device to be measured (DUT). SOLUTION: When test data inputted into a DUT 2 and the output data outputted from the DUT 2 collide, the data collision is detected by a collision detecting part 15. The period, wherein the data collision is detected by the collision detecting part 15, is measured by a test control part 11. When the period, wherein the data collision occurs, is measured, the test control part 11 delays the output timing of a variable capability driver part 13, which outputs the test data to the DUT 2, by the above described measured period, and the data collision is avoided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、双方向性の入出力
バッファを通してデータが入出力される論理集積回路
(例えば、半導体集積回路)が設計された論理的機能を
有しているか否かを試験する論理集積回路の試験方法お
よび試験装置に関するものであり、特に、論理集積回路
の試験装置のドライバ部の出力データと被測定デバイス
である論理集積回路の出力データとの衝突を回避するた
めの論理集積回路の試験方法および試験装置に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a logic integrated circuit (for example, a semiconductor integrated circuit) for inputting and outputting data through a bidirectional input / output buffer. The present invention relates to a test method and a test apparatus for a logic integrated circuit to be tested, and more particularly to a method for avoiding collision between output data of a driver unit of a test apparatus of a logic integrated circuit and output data of a logic integrated circuit which is a device under test. The present invention relates to a method and a device for testing a logic integrated circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体集積回路等の集積回路に何らかの
論理を組んだ論理集積回路では、該論理集積回路が設計
通りの論理的機能を有するか否かを調べるためファンク
ションテストが行われる。
2. Description of the Related Art In a logic integrated circuit in which some logic is formed in an integrated circuit such as a semiconductor integrated circuit, a function test is performed to check whether the logic integrated circuit has a logical function as designed.

【0003】図8に示すように、上記ファンクションテ
ストを行うための試験装置(論理集積回路の試験装置)
51は、被測定デバイス(Device Under Test:以下、D
UTと称する)57にテストデータを入力し、該テスト
データをDUT57が処理して出力した出力データと、
期待値データと比較することによって、DUT57の論
理的機能をテストする。尚、上記期待値データとは、上
記DUT57が所望の論理的機能を有している場合に、
該テストデータに対応して出力されるであろうデータを
示す。
As shown in FIG. 8, a test apparatus for performing the function test (a test apparatus for a logic integrated circuit)
51 is a device under test (hereinafter referred to as D
Test data is input to the DUT 57 and output data obtained by processing the test data by the DUT 57;
The logical function of the DUT 57 is tested by comparing it with expected value data. Note that the expected value data means that when the DUT 57 has a desired logical function,
It shows data that will be output in response to the test data.

【0004】上記試験装置51は、テスト制御部52
と、テストデータと該テストデータに対応する期待値デ
ータとが入っているテストパターン記憶部53と、タイ
ミング発生部54と、DUT57の出力データを検出す
るコンパレータ部55と、DUT57にテストパターン
を入力するドライバ部56とを有している。
The test apparatus 51 includes a test control unit 52
A test pattern storage unit 53 containing test data and expected value data corresponding to the test data, a timing generation unit 54, a comparator unit 55 for detecting output data of the DUT 57, and a test pattern input to the DUT 57. And a driver unit 56 that performs the operation.

【0005】上記DUT57を試験する場合、テストパ
ターン記憶部53に格納されているテストデータを、タ
イミング発生部54からのクロックにより波形整形し、
ドライバ部56からDUT57に与える。
When testing the DUT 57, the test data stored in the test pattern storage unit 53 is shaped by a clock from the timing generation unit 54,
It is given from the driver unit 56 to the DUT 57.

【0006】また、DUT57によって加工され、出力
された出力データは、コンパレータ部55により論理値
に変換され、テストパターン記憶部53に格納された期
待値データとタイミング発生部54からのクロックのタ
イミングで比較判定が行われる。
The output data processed and output by the DUT 57 is converted into a logical value by the comparator unit 55, and the logical value is calculated based on the expected value data stored in the test pattern storage unit 53 and the clock timing from the timing generation unit 54. A comparison determination is made.

【0007】しかし、上記手法でDUT57の測定を行
う場合、入出力端子においてはDUT57内部での入出
力切り替えタイミングと、試験装置51におけるドライ
バ部56とコンパレータ部55の切り替えタイミング、
すなわち試験装置51の入出力切り替えタイミングとが
必ずしも一致しないため、場合によってはDUT57の
出力と試験装置51のドライバ出力との衝突(以下、デ
ータ衝突と称する)が発生する。
However, when the measurement of the DUT 57 is performed by the above method, the input / output switching timing inside the DUT 57, the switching timing between the driver unit 56 and the comparator unit 55 in the test apparatus 51,
That is, since the input / output switching timing of the test device 51 does not always coincide with each other, a collision between the output of the DUT 57 and the driver output of the test device 51 (hereinafter, referred to as a data collision) may occur.

【0008】例えば、図9(c)に示すように、試験装
置51は、時刻t2 のタイミングでコンパレータ部55
がDUT57からデータを入力する状態から、ドライバ
部56がDUT57にデータを出力する状態へと切り替
わる。これに対し、図9(b)に示すように、DUT部
57は、時刻t3 のタイミングまではコンパレータ部5
5へデータを出力する状態であり、時刻t3 のタイミン
グ以降で、はじめてドライバ部56からデータを入力す
る状態に切り替わる。
[0008] For example, as shown in FIG. 9 (c), the test apparatus 51 includes a comparator 55 at time t 2
Switches from a state in which data is input from the DUT 57 to a state in which the driver unit 56 outputs data to the DUT 57. In contrast, as shown in FIG. 9 (b), DUT 57, until the timing of time t 3 the comparator unit 5
5 to a state of outputting the data, the subsequent timing of time t 3, the first switched to a state of inputting the data from the driver unit 56.

【0009】従って、試験装置51と、DUT57との
入出力切り替えタイミングが不一致である期間、すなわ
ち時刻t2 からt3 の間、試験装置51からDUT57
へ入力されるテストデータと、DUT57からの出力デ
ータとが衝突し、図9(a)に示すような波形となる。
Therefore, during the period when the input / output switching timing between the test apparatus 51 and the DUT 57 does not match, that is, between the time t 2 and the time t 3 , the test apparatus 51 and the DUT 57
The test data input to the DUT 57 and the output data from the DUT 57 collide, resulting in a waveform as shown in FIG.

【0010】通常、試験装置51のドライバ部56の電
流供給能力はDUT57のそれに対して十分高いため、
ドライバ部56のレベルが優先される。このような衝突
があると試験装置51やDUT57ヘ異常な電流が流れ
る。これにより、DUT57においては、動作マージン
が悪化したり電源電流の測定が正確におこなえない等の
問題が生じる。また、試験装置51においては、ドライ
バ部56の劣化や破壊の原因になる。
Normally, the current supply capability of the driver unit 56 of the test apparatus 51 is sufficiently higher than that of the DUT 57.
The level of the driver unit 56 has priority. When such a collision occurs, an abnormal current flows to the test apparatus 51 and the DUT 57. As a result, in the DUT 57, there arise problems such as deterioration of the operation margin and inability to accurately measure the power supply current. Further, in the test device 51, the driver unit 56 may be deteriorated or destroyed.

【0011】上記データ衝突を回避する方法としては、
特開昭59−90066号公報に開示されているよう
に、DUT57から入出力切り替え信号を取り出し、こ
れにより試験装置51の入出力切り替えタイミングを制
御しようとする方法がある。
As a method for avoiding the data collision,
As disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-90066, there is a method of extracting an input / output switching signal from the DUT 57 and controlling the input / output switching timing of the test apparatus 51 using the signal.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記特開昭
59−90066号公報のような手法では、DUT57
から予め入出力切り替えタイミングを取り出しておく必
要があり、そのための出力回路及び出力端子をDUT5
7内に新たに設けなくてはならない。したがって、この
ような手法では、入出力切り替えタイミングを取り出す
ための出力回路及び出力端子を有していない従来からの
DUT57に対しては、ファンクションテストを行うこ
とができず、論理集積回路の試験装置としての汎用性が
低い等の問題が生じる。また、DUT57のコスト高に
もつながる。
However, in the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-90066, the DUT 57
It is necessary to take out the input / output switching timing in advance from the DUT5.
7 must be newly provided. Therefore, in such a method, the function test cannot be performed on the conventional DUT 57 which does not have the output circuit and the output terminal for extracting the input / output switching timing, and the test apparatus of the logic integrated circuit is not provided. Problems such as low general versatility arise. In addition, the cost of the DUT 57 is increased.

【0013】本発明は、上記の問題点を解決するために
なされたもので、その目的は、DUT57に対し何ら回
路あるいは端子等の追加を行うことなく、データ衝突を
回避して論理集積回路の試験を実施可能な、論理集積回
路の試験方法、及び試験装置を提供することにある。
The present invention has been made in order to solve the above problems, and has as its object to avoid data collision and add a logic integrated circuit without adding any circuit or terminal to the DUT 57. An object of the present invention is to provide a test method and a test apparatus for a logic integrated circuit that can perform a test.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】請求項1の論理集積回路
の試験方法は、双方向性の入出力バッファを通してデー
タが入出力される論理集積回路(例えば、半導体集積回
路等)を被測定デバイスとし、該論理集積回路にテスト
データを与え、該テストデータに対して論理集積回路が
出力する出力データと、該テストデータに対応する期待
値データとを比較して論理集積回路の試験を行う方法で
あり、上記の課題を解決するために、出力データと期待
値データとを比較して論理集積回路の試験を行う前に、
論理集積回路に入力されるテストデータと論理集積回路
が出力する出力データとの衝突の有無を検出し、衝突が
有る場合にはデータの衝突が生じないようにテストデー
タの出力タイミングを修正することを特徴としている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for testing a logic integrated circuit (such as a semiconductor integrated circuit) to which data is input / output through a bidirectional input / output buffer. Providing test data to the logic integrated circuit, and comparing the output data output by the logic integrated circuit with respect to the test data and expected value data corresponding to the test data to perform a test of the logic integrated circuit In order to solve the above problem, before performing a test of the logic integrated circuit by comparing the output data and expected value data,
Detecting the collision between test data input to the logic integrated circuit and output data output by the logic integrated circuit, and correcting the test data output timing so that data collision does not occur if there is a collision. It is characterized by.

【0015】上記の試験方法では、論理的機能の試験の
前に、論理集積回路に入力されるテストデータと論理集
積回路が出力する出力データとの衝突の有無が検出さ
れ、衝突が有る場合にはデータの衝突が生じないように
テストデータの出力タイミングが修正される。したがっ
て、特開昭59−90066号公報の技術のように、論
理集積回路から入出力切り替え信号を取り出さずとも、
試験装置側の対処にて、試験時におけるデータ衝突を回
避できる。
In the above test method, before the test of the logical function, the presence or absence of a collision between the test data input to the logic integrated circuit and the output data output by the logic integrated circuit is detected. The test data output timing is corrected so that no data collision occurs. Therefore, unlike the technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-90066, the input / output switching signal is not extracted from the logic integrated circuit.
Data collision at the time of the test can be avoided by taking measures on the test apparatus side.

【0016】このように、本発明の試験方法を用いるこ
とで、論理集積回路に対しては、回路あるいは出力端子
の追加等の構成変更を加える必要がない。このため、論
理集積回路の製造コストの増加を招かず、さらに、試験
装置を汎用性の高いものとすることができる。
As described above, by using the test method of the present invention, it is not necessary to change the configuration of the logic integrated circuit, such as adding a circuit or an output terminal. Therefore, the manufacturing cost of the logic integrated circuit does not increase, and the test apparatus can be made more versatile.

【0017】上記データの衝突は、例えば、データの衝
突時の論理集積回路の端子電圧の電圧値を検出すること
で検出できる。
The data collision can be detected, for example, by detecting the voltage value of the terminal voltage of the logic integrated circuit at the time of the data collision.

【0018】請求項2の論理集積回路の試験装置は、双
方向性の入出力バッファを通してデータが入出力される
論理集積回路を被測定デバイスとし、該論理集積回路に
テストデータを与え、該テストデータに対して論理集積
回路が出力する出力データと、該テストデータに対応す
る期待値データとを比較して論理集積回路の試験を行う
ものであり、上記の課題を解決するために、論理集積回
路に対してテストデータを出力する出力手段と、論理集
積回路に入力されるテストデータと論理集積回路が出力
する出力データとが衝突したときの論理集積回路の端子
電圧を基にデータの衝突を検出する衝突検出手段と、上
記衝突検出手段によってデータの衝突が検出されると、
データの衝突が生じないようにテストデータの出力タイ
ミングを修正するタイミング修正手段とを備えているこ
とを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a test apparatus for a logic integrated circuit, wherein a test target device is a logic integrated circuit to which data is input / output through a bidirectional input / output buffer, and test data is supplied to the logic integrated circuit. A test of the logic integrated circuit is performed by comparing output data output from the logic integrated circuit with respect to the data and expected value data corresponding to the test data. Output means for outputting test data to the circuit; and data collision based on the terminal voltage of the logic integrated circuit when the test data input to the logic integrated circuit collides with the output data output by the logic integrated circuit. When a collision of data is detected by the collision detection means for detecting, and the collision detection means,
And timing correction means for correcting the output timing of the test data so that data collision does not occur.

【0019】上記の構成によれば、上記出力手段が論理
集積回路に対して出力するテストデータと、論理集積回
路が出力する出力データとが衝突すると、衝突検出手段
によりデータの衝突が検出される。上記衝突検出手段
は、データの衝突時の論理集積回路の端子電圧の電圧値
を基に、データの衝突を検出するようになっている。デ
ータの衝突が検出されると、タイミング修正手段により
データの衝突が生じないように、テストデータの出力タ
イミングが修正される。
According to the above arrangement, when the test data output from the output unit to the logic integrated circuit collides with the output data output from the logic integrated circuit, the collision detection unit detects the data collision. . The collision detecting means detects a data collision based on a voltage value of a terminal voltage of the logic integrated circuit at the time of a data collision. When the data collision is detected, the output timing of the test data is corrected by the timing correction means so that the data collision does not occur.

【0020】これにより、論理集積回路から入出力切り
替え信号を取り出すことなく、データの衝突を回避する
ことができる。また、データの衝突の検出やテストデー
タの出力タイミングの修正を、本発明の論理集積回路の
試験装置で行える。したがって、論理集積回路に対して
は、回路あるいは出力端子の追加等の構成変更を加える
必要がない。このため、論理集積回路の製造コストの増
加を招かず、さらに、上記論理集積回路の試験装置が汎
用性の高いものとなる。
Thus, data collision can be avoided without extracting the input / output switching signal from the logic integrated circuit. Further, detection of data collision and correction of the output timing of test data can be performed by the test apparatus for a logic integrated circuit of the present invention. Therefore, it is not necessary to change the configuration of the logic integrated circuit, such as adding a circuit or an output terminal. For this reason, the manufacturing cost of the logic integrated circuit does not increase, and the test apparatus for the logic integrated circuit has high versatility.

【0021】請求項3の論理集積回路の試験装置は、請
求項2の構成に加えて、上記出力手段は、能力可変ドラ
イバを含んでおり、論理集積回路に出力するテストデー
タの出力電圧値の変更が可能であることを特徴としてい
る。
According to a third aspect of the present invention, in addition to the configuration of the second aspect, the output means includes a variable-capacity driver, and the output means of the test data to be output to the logic integrated circuit is output. It is characterized in that it can be changed.

【0022】論理集積回路の端子電圧を基にデータの衝
突を検出する場合、データの衝突が発生した場合の電圧
値を基に、一定の電圧範囲が予め設定され、この電圧範
囲の電圧が検出されたとき、データの衝突が検出され
る。しかしながら、データの衝突が発生した場合の電圧
値が電源電圧に近い等で一定の電圧範囲を予め設定でき
ず、データの衝突を正確に検出できないことがある。
When data collision is detected based on the terminal voltage of the logic integrated circuit, a certain voltage range is set in advance based on the voltage value when the data collision occurs, and the voltage in this voltage range is detected. When this occurs, a data collision is detected. However, a constant voltage range cannot be set in advance because the voltage value when a data collision occurs is close to the power supply voltage, and the data collision may not be accurately detected.

【0023】これに対し、上記の構成によれば、出力手
段の能力可変ドライバのドライバ能力を変えることによ
って、出力手段が出力するテストデータの電圧が変更で
きる。したがって、データの衝突が発生したときの論理
集積回路の端子電圧の値を、一定の電圧範囲を設定でき
る程度にまで、下げたり或いは上げたりして調整するこ
とが可能となる。これにより、より確実なデータの衝突
の検出が可能となる。
On the other hand, according to the above configuration, the voltage of the test data output from the output unit can be changed by changing the driver capability of the variable capability driver of the output unit. Therefore, it is possible to adjust the value of the terminal voltage of the logic integrated circuit when data collision occurs by lowering or increasing it to such an extent that a certain voltage range can be set. This enables more reliable data collision detection.

【0024】また、データの衝突が発生した際に、論理
集積回路の端子電圧が上記電圧範囲内とならない場合
に、出力手段の能力可変ドライバのドライバ能力を変え
ることによって、出力手段が出力するテストデータの電
圧を変更すれば、データの衝突発生時の被測定デバイス
の端子電圧を基準電圧範囲内の値とすることができる。
In the case where the terminal voltage of the logic integrated circuit does not fall within the above-mentioned voltage range when a data collision occurs, the output capability of the output device is changed by changing the driver capability of the output device. If the data voltage is changed, the terminal voltage of the device under test at the time of data collision can be set to a value within the reference voltage range.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態について図
1ないし図7に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0026】図1に示すように、本実施の形態に係る試
験装置(論理集積回路の試験装置)1は、DUT2のフ
ァンクションテストを行うため、以下に述べる構成を有
している。上記試験装置1は、テスト制御部11と、テ
ストデータと該テストデータに対応する期待値データと
が入っているテストパターン記憶部12と、出力手段と
してDUT2に上記テスト入力パターンを出力する能力
可変ドライバ部13と、DUT2の出力データを検出す
るコンパレータ部14と、衝突検出部15と、タイミン
グ発生部16とを有している。
As shown in FIG. 1, a test apparatus (test apparatus for a logic integrated circuit) 1 according to the present embodiment has the following configuration for performing a function test of a DUT 2. The test apparatus 1 includes a test control unit 11, a test pattern storage unit 12 storing test data and expected value data corresponding to the test data, and a variable capacity for outputting the test input pattern to the DUT 2 as an output unit. It has a driver section 13, a comparator section 14 for detecting output data of the DUT 2, a collision detection section 15, and a timing generation section 16.

【0027】尚、DUT2の出力と上記能力可変ドライ
バ部13の出力とが衝突した場合にこれを検出する衝突
検出手段は、テスト制御部11と衝突検出部15とで構
成され、テストデータの出力タイミングを修正するタイ
ミング修正手段は、テスト制御部11と能力可変ドライ
バ部13とで構成される。
The collision detecting means for detecting the collision between the output of the DUT 2 and the output of the variable-capacity driver section 13 comprises a test control section 11 and a collision detection section 15, and outputs test data. The timing correction means for correcting the timing includes a test control unit 11 and a variable-capacity driver unit 13.

【0028】上記テスト制御部11は、CPU(Centra
l Procssing Unit) 等によって構成されており、上記各
構成部の動作を制御する。また、能力可変ドライバ部1
3は、テストパターン記憶部12より出力されるテスト
データを、DUT2に出力するものであり、該能力可変
ドライバ部13自身のドライブ能力を変化させることで
上記テストデータの出力電圧を変えることができる。
The test control unit 11 has a CPU (Centra
l Procssing Unit) and controls the operation of each of the above components. In addition, variable capacity driver unit 1
Numeral 3 is for outputting the test data output from the test pattern storage unit 12 to the DUT 2, and by changing the drive capability of the capability variable driver unit 13 itself, the output voltage of the test data can be changed. .

【0029】上記能力可変ドライバ部13は、図2ある
いは図3に示すように、テストパターン記憶部12より
入力したテストデータを、ドライブ波形整形部13aに
おいてタイミング発生部16より発生するクロックによ
って波形整形し、ドライバ用バッファ13bを介してD
UT2へ出力するものである。
As shown in FIG. 2 or FIG. 3, the variable-capacity driver unit 13 forms the test data input from the test pattern storage unit 12 in a drive waveform shaping unit 13a using a clock generated by a timing generation unit 16 in a waveform. And D through the driver buffer 13b.
Output to UT2.

【0030】ここで、図2に示す能力可変ドライバ部1
3は、ドライブ波形整形部13aとドライバ用バッファ
13bとの間にドライブ電流制御部13cを備えてお
り、該ドライブ電流制御部13cによって、ドライバ用
バッファ13bへ供給する電流を変化させることで能力
可変ドライバ部13より出力するテストデータの電圧を
変えることができる。また、図3に示す能力可変ドライ
バ部13は、ドライバ用バッファ13bの後段に抵抗制
御部13dを備えており、該抵抗制御部13dの抵抗値
を変化させることによって、能力可変ドライバ部13よ
り出力するテストデータの電圧を変えることができる。
ドライブ電流制御部13cおよび抵抗制御部13dは、
テスト制御部11より出力される制御信号によって制御
される。これらの構成により、能力可変ドライバ部13
より出力されるテストデータは、各端子毎にハイレベル
およびローレベル時の出力電圧を任意に設定することが
できる。
Here, the variable capacity driver 1 shown in FIG.
3 is provided with a drive current control unit 13c between the drive waveform shaping unit 13a and the driver buffer 13b, and the drive current control unit 13c changes the current supplied to the driver buffer 13b to change the capability. The voltage of the test data output from the driver unit 13 can be changed. The variable-capacity driver unit 13 shown in FIG. 3 includes a resistance control unit 13d at the subsequent stage of the driver buffer 13b, and outputs the variable-capacity driver unit 13d by changing the resistance value of the resistance control unit 13d. The test data voltage can be changed.
The drive current control unit 13c and the resistance control unit 13d
It is controlled by a control signal output from the test control unit 11. With these configurations, the variable capacity driver unit 13
The output test data can set the output voltage at the high level and the low level at each terminal arbitrarily.

【0031】衝突検出部15は、図4に示すように、D
UT端子電圧を比較するためのコンパレータ15a・1
5bと、衝突の有無を検出するためのアンドゲート15
cとで構成される。上記コンパレータ15aのプラス側
端子には、テスト制御部11より、衝突を検出するため
の基準の上限値となる電圧Vref Hが印加される。さら
に、コンパレータ15aのマイナス側端子には、DUT
2からの出力電圧が印加され、該DUT2からの出力電
圧がVref Hより小さければ、コンパレータ15aはハ
イレベルの信号を出力する。
As shown in FIG. 4, the collision detecting section 15
Comparator 15a · 1 for comparing UT terminal voltage
5b and an AND gate 15 for detecting the presence or absence of a collision
c. A voltage VrefH, which is a reference upper limit value for detecting a collision, is applied from the test control unit 11 to the positive terminal of the comparator 15a. Further, the DUT is connected to the negative terminal of the comparator 15a.
When the output voltage from the DUT 2 is applied and the output voltage from the DUT 2 is smaller than Vref H, the comparator 15a outputs a high-level signal.

【0032】また、コンパレータ15bのマイナス側端
子には、テスト制御部11より、衝突を検出するための
基準の下限値となる電圧Vref Lが印加される。さら
に、コンパレータ15bのプラス側端子には、DUT2
からの出力電圧が印加され、該DUT2からの出力電圧
がVref Lより大きければ、コンパレータ15bはハイ
レベルの信号を出力する。
Further, a voltage Vref L, which is a reference lower limit value for detecting a collision, is applied from the test control unit 11 to the minus terminal of the comparator 15b. Further, the DUT2 is connected to the positive terminal of the comparator 15b.
If the output voltage from the DUT 2 is higher than Vref L, the comparator 15b outputs a high-level signal.

【0033】そして、アンドゲート15cは、コンパレ
ータ15a・15bの両方よりハイレベルの信号が入力
された場合、すなわち、DUT2からの出力電圧がVre
f HおよびVref Lの間となる場合に、ハイレベル信号
をテスト制御部11に対して出力する。こうして、上記
衝突検出部15がハイレベルの信号を出力している期間
をテスト制御部11で測定すれば衝突発生期間を知るこ
とができる。ただし、単にDUT2の故障によって、デ
ータ衝突が発生していなくても、DUT2の端子電圧が
基準電圧範囲内の値となる場合も考えられる。しかしな
がら、通常は、このテストを行う前に端子状態のスタテ
ィックテスト(リークおよびショートを検出するための
テスト)が行われており、該スタティックテストによっ
て、このような場合はほぼ排除されると考えられる。
When the high level signal is input from both the comparators 15a and 15b, that is, the output voltage from the DUT 2 becomes Vre.
When it is between fH and VrefL, a high level signal is output to the test control unit 11. In this way, if the test control section 11 measures the period during which the collision detection section 15 outputs a high-level signal, the collision occurrence period can be known. However, the terminal voltage of the DUT 2 may be a value within the reference voltage range even if no data collision occurs simply due to the failure of the DUT 2. However, usually, a static test (test for detecting leak and short circuit) of a terminal state is performed before performing this test, and such a case is considered to be almost eliminated by the static test. .

【0034】また、コンパレータ部14は、DUT2よ
り出力されたデータを論理値に変換し、上記データとテ
ストパターン記憶部12より入力した期待値データと
を、タイミング発生部16より入力されるクロックのタ
イミングで比較判定を行うものである。
The comparator section 14 converts the data output from the DUT 2 into a logical value, and converts the data and the expected value data input from the test pattern storage section 12 into a clock signal input from the timing generation section 16. The comparison determination is performed at a timing.

【0035】続いて、本実施の形態に係る試験装置1の
動作を説明する。ここで、上記試験装置1は、DUT2
が設計された論理的機能を有しているか否かを検査する
ファンクションテストを行う前に試験装置1がDUT2
に対して出力するテストデータの出力タイミングを修正
するための予備テストを行う。上記予備テストは、試験
装置1がDUT2に対して出力するテストデータとDU
T2が試験装置1に対して出力する出力データとの衝突
を回避するために行うものであり、その方法を、主に図
7のフローチャートを用いて以下に説明する。尚、図7
のフローチャートに示される処理フローは、テストパタ
ーン記憶部12に記憶されているある1つのテストデー
タに対するものであり、上記処理フローは、DUT2へ
入力される全てのテストデータについて行われる。
Next, the operation of the test apparatus 1 according to the present embodiment will be described. Here, the test apparatus 1 includes a DUT 2
Before performing a function test for checking whether the DUT 2 has the designed logical function, the test apparatus 1
A preliminary test is performed to correct the output timing of the test data to be output to. The preliminary test includes the test data and the DU output from the test apparatus 1 to the DUT 2.
T2 is performed to avoid collision with output data output to the test apparatus 1, and a method thereof will be described below mainly with reference to the flowchart of FIG. Note that FIG.
The processing flow shown in the flowchart of FIG. 4 is for one test data stored in the test pattern storage unit 12, and the above processing flow is performed for all the test data input to the DUT 2.

【0036】まず、テストパターン記憶部12よりテス
トデータが、能力可変ドライバ部13を介して、DUT
2へ与えられる(S1)。該DUT2は、与えられたテ
ストデータを論理変換して、コンパレータ部14および
衝突検出部15へ出力する(S2)。
First, the test data is stored in the test pattern storage unit 12 via the variable-capacity driver unit 13 by the DUT.
2 (S1). The DUT 2 logically converts the given test data and outputs it to the comparator 14 and the collision detector 15 (S2).

【0037】ただし、この時、能力可変ドライバ部13
が出力するテストデータの出力電圧は、ファンクション
テストの実施時とは異なり、能力可変ドライバ部13に
よって、DUT2の出力電圧と同じくらいのレベルに下
げられている。これにより、データ衝突時のDUT2の
端子電圧は、例えば、VDD/2付近の値となる。
However, at this time, the variable capacity driver unit 13
The output voltage of the test data output by the DUT 2 is lowered to the same level as the output voltage of the DUT 2 by the variable-capacity driver unit 13 unlike when the function test is performed. Thus, the terminal voltage of the DUT 2 at the time of data collision becomes, for example, a value near VDD / 2.

【0038】これは、ファンクションテストの実施時の
ように、能力可変ドライバ部13の出力電圧がDUT2
の出力電圧に比べて大きすぎる場合には、データ衝突時
のDUT2の端子電圧が能力可変ドライバ部13の出力
電圧に近い値となってしまい、データ衝突の検出が困難
になるためである。
This is because the output voltage of the variable-capacity driver unit 13 is lower than that of the DUT 2 as in the execution of the function test.
If the output voltage is too high as compared with the output voltage of DUT2, the terminal voltage of the DUT 2 at the time of data collision becomes a value close to the output voltage of the variable capacity driver unit 13, and it becomes difficult to detect the data collision.

【0039】このとき、能力可変ドライバ部13のテス
トデータの出力は、図5(c)に示すように、時刻t0
において入力モードから出力モードへ切り替わってい
る。ここで、DUT2は、同じく時刻t0 で出力モード
から入力モードへ切り替わらなくてはならないが、実際
には、図5(b)に示すように、時刻t1 まで出力モー
ドの状態が続いている。その結果、図5(a)に示すよ
うに、時刻t0 からt1までの期間で、能力可変ドライ
バ部13の出力とDUT2の出力とが衝突している。こ
の衝突時におけるDUT2の端子電圧は、各端子毎に端
子形態の違いなどによって異なるが、衝突時の端子電圧
が基準電圧Vref H、Vref Lの間にあれば衝突検出部
15による検出が可能となる。通常、上記端子は複数あ
るが、これらの端子のうち少なくとも1つにおいてデー
タ衝突が検出されれば以下の動作は可能である。
[0039] At this time, the output of the test data of variable capacity driver section 13, as shown in FIG. 5 (c), the time t 0
Is switched from the input mode to the output mode. Here, the DUT 2 must also switch from the output mode to the input mode at time t 0 , but in fact, as shown in FIG. 5B, the state of the output mode continues until time t 1 . . As a result, as shown in FIG. 5A, the output of the capability variable driver unit 13 and the output of the DUT 2 collide during the period from time t 0 to t 1 . The terminal voltage of the DUT 2 at the time of the collision differs depending on the terminal form and the like for each terminal. However, if the terminal voltage at the time of the collision is between the reference voltages VrefH and VrefL, it can be detected by the collision detection unit 15. Become. Usually, there are a plurality of the terminals, but the following operation is possible if data collision is detected in at least one of these terminals.

【0040】この衝突は、衝突検出部15により検出さ
れる。衝突検出部15は、上述のようにコンパレータ1
5a・15bとアンドゲート15cとを備えている。上
記衝突検出部15に、図6(a)に示すように、時刻t
0 まではDUT2のロー出力状態、時刻t0 からt1
では衝突により端子電圧が基準範囲内となる状態、時刻
1 からは、能力可変ドライバ部13のハイ出力状態を
示すDUT2の端子電圧が入力されたとする。このと
き、衝突検出部15のハイ側コンパレータとなるコンパ
レータ15aは、図6(b)に示すように、時刻t1
でハイ出力となり、ロー側コンパレータとなるコンパレ
ータ15bは、図6(c)に示すように、時刻t0 より
ハイ出力となる。その結果、図6(d)に示すように、
アンドゲート15cは、時刻t0 からt1 、すなわち、
衝突の発生している期間だけテスト制御部11に対して
ハイ出力を行うことになる。
This collision is detected by the collision detection unit 15. As described above, the collision detection unit 15
5a and 15b and an AND gate 15c are provided. As shown in FIG. 6A, the collision detection unit 15 outputs a time t
Until 0, the low output state of the DUT 2, from time t 0 to t 1, the terminal voltage is within the reference range due to collision, and from time t 1 , the terminal voltage of the DUT 2 indicating the high output state of the variable capacity driver unit 13 Is entered. At this time, the comparator 15a which is a high side comparator collision detection section 15, as shown in FIG. 6 (b), becomes high output until time t 1, the comparator 15b as the low side comparator is in FIG. 6 (c) as shown, a high output from the time t 0. As a result, as shown in FIG.
The AND gate 15c operates from time t 0 to t 1 , that is,
The high output is output to the test control unit 11 only during the period in which the collision occurs.

【0041】このように、上記衝突検出部15によるハ
イ出力を、テスト制御部11が検知することによって、
衝突が検出される(S3)。衝突が検出されれば(S3
でYES)、続いてテスト制御部11により、ハイ出力
を行っている期間が測定され、これによって衝突発生時
間が求められる(S4)。テスト制御部11は、こうし
て求めた衝突発生時間分だけ、能力可変ドライバ部13
の出力タイミングをずらして(S5)、衝突を回避す
る。
As described above, when the test control unit 11 detects the high output from the collision detection unit 15,
A collision is detected (S3). If a collision is detected (S3
Then, the test control section 11 measures the period during which the high output is performed, and thereby determines the collision occurrence time (S4). The test control unit 11 controls the variable-capacity driver unit 13 for the collision occurrence time thus obtained.
Is shifted (S5) to avoid collision.

【0042】但し、衝突時のDUT2の端子電圧は、D
UT2の出力電圧及び電流供給能力と能力可変ドライバ
部13のドライブ電圧及び電流ドライブ能力により決定
されるものであり、常に、基準範囲内になるとは限らな
い。そこで、衝突時のDUT2の端子電圧が、基準範囲
内の値にならない場合、すなわち、テスト制御部11に
おいて衝突が検出されなかった場合(S3でNO)に
は、ドライブ電流制御部13cが能力設定の全範囲で設
定終了したか否かが判断される(S6)。そして、全範
囲で能力設定が行われていなければ(S6でNO)、既
述したように、衝突期間電圧がVrefLとVrefH
の中間電圧付近になるように、能力可変ドライバ部13
の電流ドライブ能力および抵抗値をテスト制御部11に
より制御し、ドライバ出力電圧を変化させる(S7)。
However, the terminal voltage of the DUT 2 at the time of collision is D
It is determined by the output voltage and current supply capability of the UT 2 and the drive voltage and current drive capability of the capability variable driver unit 13, and does not always fall within the reference range. Therefore, when the terminal voltage of the DUT 2 at the time of the collision does not become a value within the reference range, that is, when the test control unit 11 does not detect the collision (NO in S3), the drive current control unit 13c sets the capacity. It is determined whether the setting has been completed in the entire range (S6). If the capacity setting has not been performed in the entire range (NO in S6), as described above, the collision period voltages are VrefL and VrefH.
Of the variable-capacity driver unit 13 so as to be near the intermediate voltage of
Is controlled by the test controller 11 to change the driver output voltage (S7).

【0043】以上のように、本実施の形態に係る試験装
置1は、データ衝突が生じる場合には、衝突検出部15
が衝突発生期間のみハイ信号を出力する。そのハイ信号
の出力期間を測定することで、衝突発生時間が求められ
る。こうして求められた衝突発生時間分だけ、ドライブ
電流制御部13cの出力タイミングをずらすことで、以
後の衝突発生を回避することができる。
As described above, when a data collision occurs, the test apparatus 1 according to the present embodiment
Output a high signal only during the collision occurrence period. By measuring the output period of the high signal, the collision occurrence time is obtained. By shifting the output timing of the drive current control unit 13c by the collision occurrence time determined in this way, it is possible to avoid the occurrence of the subsequent collision.

【0044】これにより、データ衝突の検出や、テスト
データの出力タイミングの修正等、データ衝突の回避を
図るための動作を、全て試験装置1で行うことができ
る。したがって、DUT2に対しては、何ら構成の変更
を加えることなく、データ衝突の回避を図ることができ
る。その結果、DUT2の製造コストの増加を招くこと
なく、また、試験装置1を汎用性の高いものとすること
ができる。
Thus, the test apparatus 1 can perform all operations for avoiding data collision, such as detection of data collision and correction of the output timing of test data. Therefore, it is possible to avoid data collision without changing the configuration of the DUT 2 at all. As a result, the test apparatus 1 can be made highly versatile without increasing the manufacturing cost of the DUT 2.

【0045】尚、本実施の形態では、衝突発生期間を示
すアンドゲートのハイ信号の出力期間、すなわちt0
1 時間をテスト制御部11で測定し、その値分だけ能
力可変ドライバ部13によるテストデータの出力タイミ
ングをまとめて修正することにより、DUT出力と能力
可変ドライバ出力との衝突を回避させる方法を記述して
いるが、衝突期間が無くなるまで能力可変ドライバ部1
3によるテストデータの出力タイミングを逐次変化させ
ることで衝突を回避することも可能である。但し、能力
可変ドライバ部13によりテストデータの出力タイミン
グをまとめて修正すれば、テストデータの出力タイミン
グの修正を迅速に行うことができる。
In this embodiment, the output period of the high signal of the AND gate indicating the collision occurrence period, that is, t 0 to
A method of avoiding a collision between the DUT output and the variable-capacity driver output by measuring the time t 1 by the test control unit 11 and correcting the output timing of the test data by the variable-capacity driver unit 13 by that value at the same time. Although described, the capability variable driver unit 1 until the collision period disappears.
The collision can be avoided by sequentially changing the output timing of the test data according to (3). However, if the output timing of the test data is corrected collectively by the variable capability driver unit 13, the output timing of the test data can be corrected quickly.

【0046】[0046]

【発明の効果】請求項1の発明の論理回路の試験方法
は、以上のように、出力データと期待値データとを比較
して論理集積回路の試験を行う前に、論理集積回路に入
力されるテストデータと論理集積回路が出力する出力デ
ータとの衝突の有無を検出し、衝突が有る場合にはデー
タの衝突が生じないようにテストデータの出力タイミン
グを修正する構成である。
According to the logic circuit test method of the present invention, as described above, the output data is compared with the expected value data to test the logic integrated circuit before the logic integrated circuit is tested. In this configuration, the presence or absence of a collision between the test data and the output data output from the logic integrated circuit is detected, and if there is a collision, the output timing of the test data is corrected so that the data does not collide.

【0047】それゆえ、論理集積回路に入力されるテス
トデータと該論理集積回路が出力する出力データとの衝
突が発生する場合には、出力データと期待値データとを
比較する論理集積回路の試験の前に、データの衝突の有
無を検出し、テストデータの出力タイミングを修正する
ことでデータ衝突の回避が図られる。データの衝突の回
避を図るためのデータの衝突の検出やテストデータの出
力タイミングの修正は、全て試験装置で行えるため、論
理集積回路から入出力切り替え信号を取り出す必要がな
い。
Therefore, when a collision occurs between the test data input to the logic integrated circuit and the output data output from the logic integrated circuit, a test of the logic integrated circuit for comparing the output data with the expected value data is performed. Before the test, the presence or absence of a data collision is detected, and the output timing of the test data is corrected to avoid the data collision. The detection of the data collision and the correction of the output timing of the test data for avoiding the data collision can all be performed by the test apparatus, so that it is not necessary to take out the input / output switching signal from the logic integrated circuit.

【0048】したがって、論理集積回路に対しては、回
路あるいは出力端子の追加等の構成変更を加える必要が
ないため、論理集積回路の製造コストの増加を招かず、
さらに、試験装置を汎用性の高いものとすることができ
るという効果を奏する。
Therefore, it is not necessary to make a configuration change such as addition of a circuit or an output terminal to the logic integrated circuit, so that the manufacturing cost of the logic integrated circuit does not increase.
Further, there is an effect that the test apparatus can be made highly versatile.

【0049】請求項2の発明の論理回路の試験装置は、
以上のように、論理集積回路に対してテストデータを出
力する出力手段と、論理集積回路に入力されるテストデ
ータと論理集積回路が出力する出力データとが衝突した
ときの論理集積回路の端子電圧を基にデータの衝突を検
出する衝突検出手段と、上記衝突検出手段によってデー
タの衝突が検出されると、データの衝突が生じないよう
にテストデータの出力タイミングを修正するタイミング
修正手段とを備えている構成である。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a logic circuit test apparatus comprising:
As described above, the output means for outputting test data to the logic integrated circuit, and the terminal voltage of the logic integrated circuit when the test data input to the logic integrated circuit collides with the output data output by the logic integrated circuit Collision detection means for detecting a data collision based on the data, and timing correction means for correcting the output timing of the test data so that the data collision does not occur when the collision detection means detects the data collision. Configuration.

【0050】それゆえ、データ衝突の検出やテストデー
タの出力タイミングの修正を、全て本発明の論理集積回
路の試験装置で行える。このため、論理集積回路から入
出力切り替え信号を取り出すことなく、データの衝突を
回避することができる。
Therefore, the detection of data collision and the correction of the output timing of the test data can all be performed by the logic integrated circuit test apparatus of the present invention. For this reason, data collision can be avoided without extracting the input / output switching signal from the logic integrated circuit.

【0051】したがって、論理集積回路に対しては、回
路あるいは出力端子の追加等の構成変更を加える必要が
ないため、論理集積回路の製造コストの増加を招かず、
さらに、本発明の論理集積回路の試験装置が汎用性の高
いものとなるという効果を奏する。
Therefore, since it is not necessary to make a configuration change such as addition of a circuit or an output terminal to the logic integrated circuit, the manufacturing cost of the logic integrated circuit does not increase.
Further, there is an effect that the test apparatus for a logic integrated circuit of the present invention has high versatility.

【0052】請求項3の発明の論理回路の試験装置は、
以上のように、請求項2の構成に加えて、上記出力手段
は、能力可変ドライバを含んでおり、論理集積回路に出
力するテストデータの出力電圧値の変更が可能である構
成である。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a logic circuit test apparatus comprising:
As described above, in addition to the configuration of claim 2, the output means includes a variable-capacity driver, and is capable of changing the output voltage value of the test data output to the logic integrated circuit.

【0053】それゆえ、請求項2の構成による効果に加
えて、出力手段の能力可変ドライバのドライバ能力を変
えることによって、データの衝突が発生したときの論理
集積回路の端子電圧の値を、一定の電圧範囲を設定でき
る程度にまで、下げたり或いは上げたりして調整するこ
とが可能となる。これにより、より確実なデータの衝突
の検出が可能となるという効果を奏する。
Therefore, in addition to the effect of the configuration of claim 2, by changing the driver capability of the variable capability driver of the output means, the value of the terminal voltage of the logic integrated circuit when data collision occurs can be kept constant. Can be adjusted by lowering or raising it to such an extent that the voltage range can be set. As a result, there is an effect that it is possible to more reliably detect data collision.

【0054】また、データの衝突が発生した際に、論理
集積回路の端子電圧が上記電圧範囲内とならない場合
に、出力手段の能力可変ドライバのドライバ能力を変え
ることによって、出力手段が出力するテストデータの電
圧が変更すれば、データの衝突発生時の被測定デバイス
の端子電圧を基準電圧範囲内の値とすることができ、さ
らに確実なデータの衝突の検出が可能となるという効果
を併せて奏する。
Further, when the terminal voltage of the logic integrated circuit does not fall within the above-mentioned voltage range when a data collision occurs, the output capability of the output device is changed by changing the driver capability of the driver. If the data voltage is changed, the terminal voltage of the device under test at the time of data collision can be set to a value within the reference voltage range, and the data collision can be more reliably detected. Play.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態を示すものであり、論理集
積回路の試験装置の構造を示すブロック図である。
FIG. 1, showing an embodiment of the present invention, is a block diagram illustrating a structure of a test apparatus for a logic integrated circuit.

【図2】上記論理集積回路の試験装置の能力可変ドライ
バ部の構造の一例を示すブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram showing an example of the structure of a variable-capacity driver unit of the test apparatus for a logic integrated circuit.

【図3】上記能力可変ドライバ部の構造の他の例を示す
ブロック図である。
FIG. 3 is a block diagram showing another example of the structure of the variable-capacity driver unit.

【図4】上記論理集積回路の試験装置の衝突検出部の構
造を示す回路図である。
FIG. 4 is a circuit diagram showing a structure of a collision detection unit of the test apparatus for a logic integrated circuit.

【図5】DUTの端子電圧、DUTの出力電圧、および
能力可変ドライバ部の出力電圧を示す電圧波形図であ
る。
FIG. 5 is a voltage waveform diagram showing a terminal voltage of the DUT, an output voltage of the DUT, and an output voltage of the variable-capacity driver unit.

【図6】衝突検出部に入力されるDUTの端子電圧、衝
突検出部のハイ側コンパレータ出力、ロー側コンパレー
タ出力、およびアンドゲート出力を示す出力波形図であ
る。
FIG. 6 is an output waveform diagram illustrating a terminal voltage of a DUT input to a collision detection unit, a high-side comparator output, a low-side comparator output, and an AND gate output of the collision detection unit.

【図7】本発明の論理集積回路の試験方法の手順を示す
フローチャートである。
FIG. 7 is a flowchart showing a procedure of a test method for a logic integrated circuit according to the present invention.

【図8】従来の論理集積回路の試験装置の構成を示すブ
ロック図である。
FIG. 8 is a block diagram showing a configuration of a conventional logic integrated circuit test apparatus.

【図9】従来のDUTの端子電圧、DUTの出力電圧、
およびドライバの出力電圧を示す電圧波形図である。
FIG. 9 shows a terminal voltage of a conventional DUT, an output voltage of the DUT,
FIG. 4 is a voltage waveform diagram showing output voltages of a driver and a driver.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 論理集積回路の試験装置 2 DUT 11 テスト制御部 13 能力可変ドライバ部 13c ドライブ電流制御部 13d 抵抗制御部 15 衝突検出部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Test apparatus of logic integrated circuit 2 DUT 11 Test control unit 13 Variable capability driver unit 13c Drive current control unit 13d Resistance control unit 15 Collision detection unit

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】双方向性の入出力バッファを通してデータ
が入出力される論理集積回路を被測定デバイスとし、該
論理集積回路にテストデータを与え、該テストデータに
対して論理集積回路が出力する出力データと、該テスト
データに対応する期待値データとを比較して論理集積回
路の試験を行う論理集積回路の試験方法において、 出力データと期待値データとを比較して論理集積回路の
試験を行う前に、論理集積回路に入力されるテストデー
タと論理集積回路が出力する出力データとの衝突の有無
を検出し、衝突が有る場合にはデータの衝突が生じない
ようにテストデータの出力タイミングを修正することを
特徴とする論理集積回路の試験方法。
A logic integrated circuit to which data is input / output through a bidirectional input / output buffer is used as a device under test, test data is supplied to the logic integrated circuit, and the logic integrated circuit outputs the test data. In a logic integrated circuit test method for testing a logic integrated circuit by comparing output data with expected value data corresponding to the test data, a test of the logic integrated circuit is performed by comparing the output data with expected value data. Before performing the test, the presence / absence of a collision between the test data input to the logic integrated circuit and the output data output by the logic integrated circuit is detected. If there is a collision, the output timing of the test data is set so as not to cause the data collision. A method for testing a logic integrated circuit, wherein the method is modified.
【請求項2】双方向性の入出力バッファを通してデータ
が入出力される論理集積回路を被測定デバイスとし、該
論理集積回路にテストデータを与え、該テストデータに
対して論理集積回路が出力する出力データと、該テスト
データに対応する期待値データとを比較して論理集積回
路の試験を行う論理集積回路の試験装置において、 論理集積回路に対してテストデータを出力する出力手段
と、 論理集積回路に入力されるテストデータと論理集積回路
が出力する出力データとが衝突したときの論理集積回路
の端子電圧を基にデータの衝突を検出する衝突検出手段
と、 上記衝突検出手段によってデータの衝突が検出される
と、データの衝突が生じないようにテストデータの出力
タイミングを修正するタイミング修正手段とを備えてい
ることを特徴とする論理集積回路の試験装置。
2. A logic integrated circuit to which data is input / output through a bidirectional input / output buffer is defined as a device under test, test data is supplied to the logic integrated circuit, and the logic integrated circuit outputs the test data. A logic integrated circuit test device for comparing the output data with expected value data corresponding to the test data to test the logic integrated circuit, comprising: output means for outputting test data to the logic integrated circuit; Collision detection means for detecting data collision based on the terminal voltage of the logic integrated circuit when the test data input to the circuit and the output data output by the logic integrated circuit collide with each other; Timing correction means for correcting the output timing of the test data so as to prevent data collision when data is detected. Testing apparatus of logic integrated circuits.
【請求項3】上記出力手段は、能力可変ドライバを含ん
でおり、論理集積回路に出力するテストデータの出力電
圧値の変更が可能であることを特徴とする請求項2記載
の論理集積回路の試験装置。
3. The logic integrated circuit according to claim 2, wherein said output means includes a variable-capacity driver, and is capable of changing an output voltage value of test data output to the logic integrated circuit. Testing equipment.
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WO2009016715A1 (en) * 2007-07-30 2009-02-05 Advantest Corporation Testing apparatus, testing method, and manufacturing method of device

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