JPH10123073A - Thermomechanical analyzer - Google Patents

Thermomechanical analyzer

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JPH10123073A
JPH10123073A JP28079696A JP28079696A JPH10123073A JP H10123073 A JPH10123073 A JP H10123073A JP 28079696 A JP28079696 A JP 28079696A JP 28079696 A JP28079696 A JP 28079696A JP H10123073 A JPH10123073 A JP H10123073A
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sample
gripping
thermomechanical analyzer
opening
main body
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Kiyoshi Akiyama
皖史 秋山
Katsuo Kuwabara
勝男 桑原
Takao Itakura
隆雄 板倉
Kasumi Sugiura
佳澄 杉浦
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Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
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Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
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  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermomechanical analyzer(TMA) by which a sample is replaced automatically and by which a researcher is liberated from a complicated sample replacement operation. SOLUTION: An analyzer is constituted so as to be provided with a sample stage 32 on which many required samples S can be arranged, with a gripping means 40 which groups every sample S and with a conveyance means 30 by which the gripping means 40 is conveyed between a sample arrangement part 5 and the sample stage 32. In this case, every sample S on the sample stage 32 is gripped by the gripping means 40, and the gripping means 40 is arranged automatically to the sample arrangement part 5 in the analyzer.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、物質の力学的特
性が、温度に対してどのように変化するかを知ることが
できる熱機械分析(Thermo mechanical analysis,TMA)
装置に関し、特に測定すべき試料を自動的に交換できる
ようにした熱機械分析装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thermomechanical analysis (TMA) that can be used to determine how the mechanical properties of a substance change with temperature.
More particularly, it relates to a thermomechanical analyzer capable of automatically changing a sample to be measured.

【0002】[0002]

【従来の技術】熱機械分析装置は、試料配置部に配置し
た試料に検出棒と称する変位伝達手段を接触させ、加熱
によって生じた試料の変形をこの検出棒を介して差動ト
ランスなどの検出器(主検出器)に伝達し、試料の温度
に対する膨張,圧縮などの物理的変化を測定する構造を
備えている。
2. Description of the Related Art In a thermomechanical analyzer, a sample disposed in a sample placement section is brought into contact with a displacement transmission means called a detection rod, and deformation of the sample caused by heating is detected by a differential transformer or the like via the detection rod. It is provided with a structure that transmits to the detector (main detector) and measures physical changes such as expansion and compression with respect to the temperature of the sample.

【0003】さて、熱機械分析装置を用いた分析プロセ
スは、試料装着部への試料の装着、測定データの収集及
び解析、試料の取出しに概ね分けられる。このうち、測
定データの収集及び解析はコンピュータ制御をもって自
動的に行なわれているが、試料の装着及び試料の取出し
(すなわち、試料交換作業)は、一般に手作業で行なわ
れており煩わしさがあった。
The analysis process using a thermomechanical analyzer can be roughly divided into mounting a sample on a sample mounting portion, collecting and analyzing measurement data, and taking out a sample. Of these, measurement data collection and analysis are performed automatically by computer control, but mounting and removal of a sample (that is, sample replacement work) is generally performed manually and is cumbersome. Was.

【0004】実開昭64−5153号公報には、熱分析
装置の一つである示差熱分析装置(DTA)を対象とし
て、試料の自動交換を目的とした装置の考案が開示され
ている。同公報の試料自動交換装置は、図9に示すよう
に昇降するロッド(100)の先端に鈎状の交換器(1
01)を備えており、この交換器(101)が上昇して
検出棒(102)の上端(102a)に配置してあった
試料容器(103)を保持し、さらに上昇する。
Japanese Utility Model Laid-Open Publication No. 64-5153 discloses a device for automatic exchange of samples for a differential thermal analyzer (DTA) which is one of thermal analyzers. As shown in FIG. 9, the automatic sample changing apparatus disclosed in the publication has a hook-shaped exchanger (1) at the tip of a rod (100) that moves up and down.
01), the exchanger (101) rises, holds the sample container (103) disposed at the upper end (102a) of the detection rod (102), and further rises.

【0005】そして、試料容器(103)が加熱炉(1
04)の上端開口部より上に来た位置で、交換器(10
1)の上昇が停止する。その後、矢印A方向に回転する
ことによって、交換器(101)の下側に突出した試料
容器(103)の底部が落下板(105)に当たり、試
料容器(103)が交換器(101)から外れて落下す
る。
[0005] Then, the sample container (103) is placed in the heating furnace (1).
04) at a position above the upper end opening of the exchanger (10).
The rise in 1) stops. Then, by rotating in the direction of arrow A, the bottom of the sample container (103) projecting downward from the exchanger (101) hits the drop plate (105), and the sample container (103) comes off the exchanger (101). And fall.

【0006】次に、交換器(101)が矢印B方向に回
転し、所定の試料交換位置で待機していると、ターンテ
ーブル(106)の上昇及び矢印C方向の回転により、
交換器(101)内に新たな試料容器(103)が保持
される。続いて、ターンテーブル(106)が下降し、
さらに交換器(101)が矢印D方向に回転し、検出棒
(102)の上方に試料容器(103)を配置した後、
交換器(101)が下降して保持していた試料容器(1
03)を検出棒(102)の上端(102a)に配置す
る。以上の動作をもって試料容器の自動交換を実現する
構成となっていた。
Next, when the exchanger (101) rotates in the direction of arrow B and stands by at a predetermined sample exchange position, the turntable (106) rises and rotates in the direction of arrow C, and
A new sample container (103) is held in the exchanger (101). Subsequently, the turntable (106) descends,
Further, after the exchanger (101) rotates in the direction of arrow D and places the sample container (103) above the detection rod (102),
The sample container (1) held by the exchanger (101) being lowered.
03) is arranged at the upper end (102a) of the detection rod (102). With the above operation, the sample container is automatically replaced.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上述した実開昭64−
5153号公報の試料自動交換装置は、特に示差熱分析
装置(DTA)に適用して試料の自動交換を実現するこ
とを目的としている。したがって、装置の構造,試料形
状,試料配置部及びその周辺構造がまったく異なる熱機
械分析装置(TMA)に、同公報開示の試料自動交換装
置を適用することは本質的に不可能である。
Problems to be Solved by the Invention
The automatic sample exchange device disclosed in Japanese Patent No. 5153 is intended to be applied to a differential thermal analyzer (DTA) to realize automatic sample exchange. Therefore, it is essentially impossible to apply the automatic sample exchange device disclosed in the publication to a thermomechanical analyzer (TMA) having completely different device structures, sample shapes, sample placement parts, and peripheral structures.

【0008】この発明は上述のような事情に鑑みてなさ
れたもので、熱機械分析装置(TMA)に適用して試料
の自動交換を実現し、研究員を煩雑な試料交換作業から
解放することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and realizes automatic exchange of a sample by applying to a thermomechanical analyzer (TMA) to relieve a researcher from complicated sample exchange work. Aim.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
にこの発明は、支持管の先端部に形成した試料配置部に
所要の試料を配置し、該試料を所定温度に加熱したとき
の物理的変形を測定する熱機械分析装置において、所要
の試料を多数個配置可能な試料ステージと、試料を把持
する把持手段と、この把持手段を試料配置部及び前記試
料ステージの間で搬送する搬送手段と備えたことを特徴
とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention relates to a method for arranging a required sample in a sample arranging portion formed at a distal end portion of a support tube and heating the sample to a predetermined temperature. Stage in which a large number of required samples can be arranged, gripping means for gripping the sample, and transport means for transporting the gripping means between the sample placement unit and the sample stage It is characterized by having.

【0010】このような構成の本発明によれば、把持手
段で試料ステージ上の試料を把持するとともに、搬送手
段によってこの把持手段を熱機械分析装置における試料
配置部へ自動的に配置することが可能となる。
According to the present invention having such a configuration, the sample on the sample stage can be gripped by the gripping means, and the gripping means can be automatically arranged on the sample placement portion in the thermomechanical analyzer by the transporting means. It becomes possible.

【0011】また、測定の終了した熱機械分析装置の試
料装着部に配置してある試料を、把持手段により把持し
て搬送手段の動作により自動的に取り出すことができ
る。ここで、把持手段は、本体と、この本体に開閉自在
に設けられ協同して試料を把持する複数の開閉爪と、こ
れらの開閉爪を開閉駆動する駆動手段と、上記いずれか
の開閉爪と一体に移動する把持確認用検知部材と、本体
の所定位置に設けられた把持確認用センサとを備え、開
閉爪が試料を把持する位置まで移動したときに、把持確
認用センサが把持確認用検知部材を検出するように構成
することができる。
Further, the sample placed on the sample mounting portion of the thermomechanical analyzer after the measurement can be grasped by the grasping means and automatically taken out by the operation of the transport means. Here, the gripping means includes a main body, a plurality of open / close claws which are provided on the main body so as to be openable and closable and cooperate to hold the sample, a driving means for driving these open / close claws to open and close, and any of the above open / close claws. A gripping detection member that moves integrally and a gripping sensor provided at a predetermined position on the main body are provided. When the opening / closing claw moves to a position where the sample is gripped, the gripping detection sensor detects the gripping. It can be configured to detect a member.

【0012】把持手段をこのように構成すれば、駆動手
段によって開閉爪を開放位置から閉じる方向へ駆動し、
それら開閉爪が協同して試料を把持する。開閉爪が試料
を把持する位置まで移動したとき、把持確認用センサは
把持確認用検知部材を検出するが、もし仮に開閉爪が試
料を把持していない場合は、開閉爪が当該把持位置より
もさらに閉じる方向へ移動するため、把持確認用センサ
が把持確認用検知部材を検出しない状態となる。
[0012] With this configuration of the gripping means, the opening / closing claw is driven by the driving means in the closing direction from the open position,
The opening and closing claws cooperate to grip the sample. When the opening / closing claw moves to a position where the sample is gripped, the gripping confirmation sensor detects the gripping confirmation detecting member, but if the opening / closing claw is not gripping the sample, the opening / closing claw is more than the gripping position. Further, since it moves in the closing direction, the gripping confirmation sensor does not detect the gripping confirmation detecting member.

【0013】このように、把持確認用センサによる把持
確認用検知部材の検出,非検出の動作に基づいて、開閉
爪が試料を把持したか否かを確認することがでるので、
搬送ミスを防止して高い信頼性をもって試料の搬送を実
現することができる。
As described above, it is possible to confirm whether or not the opening / closing claw has grasped the sample based on the detection and non-detection operations of the grasping confirmation detecting member by the grasping confirmation sensor.
The transport of the sample can be realized with high reliability by preventing the transport error.

【0014】なお、搬送対象となる試料の寸法に応じて
開閉爪が試料を把持する位置は異なってくるため、該試
料の把持位置に対応して、把持確認用センサの本体上の
固定位置は、任意に調整可能とすることが好ましい。
Since the position where the opening and closing claw grips the sample differs depending on the size of the sample to be transported, the fixed position on the main body of the gripping confirmation sensor corresponds to the gripping position of the sample. It is preferable to be able to adjust arbitrarily.

【0015】また、この発明は、把持手段に、開閉爪又
は本体が外部から圧力を受けたとき、該圧力を伸縮動作
により緩衝するダンパ部材を設けるとともに、該ダンパ
部材の外力作用による所定量の縮みを検出する当接監視
用センサを備えた構成としてもよい。熱機械分析装置に
おける試料の搬送先、すなわち試料配置部は、一般に狭
小空間となっており、その周囲には種々の障害物が存在
している。しかも試料配置部やその周囲の障害物は、硝
子材料などの脆く衝撃に弱い材質の部材で形成されてい
ることもある。
Further, according to the present invention, when the opening / closing claw or the main body receives pressure from the outside, the holding means is provided with a damper member for buffering the pressure by an expansion / contraction operation, and a predetermined amount of the damper member is acted on by an external force. It is good also as composition provided with the sensor for contact monitoring which detects contraction. The transport destination of the sample in the thermomechanical analyzer, that is, the sample disposition portion is generally a narrow space, and various obstacles exist around the narrow space. Moreover, the sample placement part and the obstacles around it may be formed of a brittle, impact-sensitive material such as a glass material.

【0016】このような試料配置部やその周囲の障害物
に開閉爪の先端などが当接した場合に、ダンパ部材が縮
んでその圧力を緩衝するので、試料配置部やその周囲の
障害物、あるいは開閉爪の破損を回避することができ
る。このとき、ダンパ部材は外部から圧力を受けたとき
に縮むが、この縮みを当接監視用センサが検出すること
で、開閉爪又は本体が障害物に当接したことを判断する
ことができ、搬送手段の動作停止等の対応を適確にとる
ことができる。
When the tip of the opening / closing claw comes into contact with such a sample placement portion or an obstacle around the sample placement portion, the damper member shrinks to buffer the pressure. Alternatively, damage to the opening / closing claw can be avoided. At this time, the damper member contracts when pressure is applied from the outside, but by detecting the contraction by the contact monitoring sensor, it can be determined that the opening / closing claw or the main body has contacted an obstacle, It is possible to appropriately take measures such as stopping the operation of the transport means.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して詳細に説明する。図1〜図8は、こ
の発明を横型示差熱機械分析装置に適用した実施形態を
示しており、図1は同装置の原理を示す模式図、図2は
同装置の外観を示す側面図、図3は同じく平面図であ
る。また、図4は支持管の内部及び周辺の構造を拡大し
て示す平面断面図である。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. 1 to 8 show an embodiment in which the present invention is applied to a horizontal differential thermomechanical analyzer, FIG. 1 is a schematic view showing the principle of the apparatus, FIG. 2 is a side view showing the appearance of the apparatus, FIG. 3 is a plan view of the same. FIG. 4 is an enlarged plan sectional view showing the structure inside and around the support tube.

【0018】これらの図面に示すように、この実施形態
に係る熱機械分析装置は、装置本体1、電気炉2、及び
試料自動交換ユニット3を備えている。装置本体1の側
壁からは支持管4が延出しており、この支持管4の先端
部に形成した試料配置部5に試料Sを配置し、電気炉2
によって該試料Sを加熱するとともに、装置本体1に内
蔵した主検出手段としての差動トランス10により試料
Sの変形量を測定する構成となっている。
As shown in these drawings, the thermomechanical analyzer according to this embodiment includes an apparatus main body 1, an electric furnace 2, and an automatic sample exchange unit 3. A support tube 4 extends from a side wall of the apparatus main body 1, and a sample S is placed in a sample placement section 5 formed at the tip of the support tube 4, and an electric furnace 2 is provided.
In addition to heating the sample S, the amount of deformation of the sample S is measured by a differential transformer 10 as main detection means built in the apparatus main body 1.

【0019】支持管4は、石英硝子やセラミック等の熱
的変形の小さな材料で円筒状に形成してあり、図4に示
すように、装置本体1の側壁からほぼ水平に延出してい
る。支持管4の先端近傍には、周壁を上半分ほど切欠い
て試料交換窓4aが形成してあり、また支持管4の先端
面は、隔壁4bによって閉塞してある。そして、支持管
4における先端近傍の内部が試料配置部5となってお
り、試料Sは隔壁4bに一端が接触するような状態でこ
の試料配置部5に配置される。
The support tube 4 is formed of a material having a small thermal deformation such as quartz glass or ceramic and has a cylindrical shape, and extends substantially horizontally from the side wall of the apparatus main body 1 as shown in FIG. In the vicinity of the tip of the support tube 4, a sample exchange window 4a is formed by notching the peripheral wall in the upper half, and the tip surface of the support tube 4 is closed by a partition wall 4b. The inside of the support tube 4 in the vicinity of the distal end is a sample placement section 5, and the sample S is placed in the sample placement section 5 in such a manner that one end thereof comes into contact with the partition wall 4b.

【0020】支持管4の内部には、検出棒11及び基準
検出棒12が、軸方向に延在しかつそれぞれ平行に並べ
て配設してある。図4に示すように、検出棒11の先端
は、試料配置部5に配置された試料Sの端部に接触さ
せ、一方、基準検出棒12の先端は、試料Sの一端を支
持する支持管4の隔壁4bに接触させる。この実施形態
では、これら検出棒11及び基準検出棒12は、石英硝
子等の熱的変形の小さな同一の材料で形成してある。
Inside the support tube 4, a detection rod 11 and a reference detection rod 12 extend in the axial direction and are arranged in parallel with each other. As shown in FIG. 4, the tip of the detection rod 11 is brought into contact with the end of the sample S placed in the sample placement section 5, while the tip of the reference detection rod 12 is placed on a support tube that supports one end of the sample S. 4 is brought into contact with the partition wall 4b. In this embodiment, the detection rod 11 and the reference detection rod 12 are formed of the same material having small thermal deformation such as quartz glass.

【0021】また、これら検出棒11及び基準検出棒1
2の基端は、装置本体1に内蔵した差動トランス10に
連結してある(図1参照)。すなわち、差動トランス1
0のコア10aには検出棒11の基端が連結してあり、
一方、差動トランス10のコイル10bには基準検出棒
12の基端が連結してある。差動トランス10のコア1
0a及びコイル10bはそれぞれ軸方向に移動自在とな
っており、検出棒11及び基準検出棒12の軸方向移動
と一体に同方向へ変位する。差動トランス10のコア1
0aとコイル10bの相対位置が変化すると、それに対
応してコイル10bに流れる電流が変化する。この電流
値の変化を検出することにより、検出棒11と基準検出
棒12との間の相対変位を求めることができる。
The detection rod 11 and the reference detection rod 1
The base end of 2 is connected to a differential transformer 10 built in the apparatus main body 1 (see FIG. 1). That is, the differential transformer 1
The base end of the detection rod 11 is connected to the 0 core 10a,
On the other hand, the base end of the reference detection rod 12 is connected to the coil 10b of the differential transformer 10. Core 1 of differential transformer 10
The coil 0a and the coil 10b are each movable in the axial direction, and are displaced in the same direction integrally with the axial movement of the detection rod 11 and the reference detection rod 12. Core 1 of differential transformer 10
When the relative position between 0a and the coil 10b changes, the current flowing through the coil 10b changes correspondingly. By detecting the change in the current value, the relative displacement between the detection rod 11 and the reference detection rod 12 can be obtained.

【0022】差動トランス10のコア10a及び検出棒
11には、電磁アクチュエータ等の加圧手段13によっ
て、所要の軸方向荷重を作用させることができる。試料
Sに圧縮荷重をかけた状態で試料Sの熱的変形を測定す
る圧縮モードや、試料Sに引張荷重をかけた状態で試料
Sの熱的変形を測定する引張モード等での測定実施に際
して、この加圧手段13によって、試料Sに図1,図4
の左方向へ所要の加重がかけられる。
A required axial load can be applied to the core 10a and the detection rod 11 of the differential transformer 10 by a pressing means 13 such as an electromagnetic actuator. When performing measurements in a compression mode in which the sample S is subjected to a compressive load and the thermal deformation of the sample S is measured, or in a tensile mode in which a tensile load is applied to the sample S to measure the thermal deformation of the sample S. 1 and 4 on the sample S by the pressing means 13.
The required weight is applied to the left of.

【0023】さらに、差動トランス10のコア10a及
び検出棒11は、モータ等からなる検出棒駆動手段14
によって、図1,図4の右方向へ駆動可能となってい
る。この検出棒駆動手段14は、試料交換の実施に際
し、試料配置部5から検出棒11を退避させるとき等に
用いられる。一方、差動トランス10のコイル10b及
び基準検出棒12には、ばね等の付勢手段15により図
1,図4の左方向へ一定の荷重がかけられており、この
荷重によって基準検出棒12の先端が、隔壁4bへの接
触状態を保持している。
Further, the core 10a and the detecting rod 11 of the differential transformer 10 are connected to a detecting rod driving means 14 comprising a motor or the like.
Thereby, it can be driven rightward in FIGS. The detection rod driving means 14 is used when the detection rod 11 is retracted from the sample placement section 5 when performing the sample exchange. On the other hand, a constant load is applied to the coil 10b of the differential transformer 10 and the reference detection rod 12 in the left direction in FIGS. 1 and 4 by an urging means 15 such as a spring. Hold the state of contact with the partition wall 4b.

【0024】電気炉2は筒状をしており、図2,図3に
示すように、装置本体1の基盤1aに形成したガイドレ
ール20に沿って支持管4の軸方向に往復移動可能であ
り、この移動によって支持管4の外周位置に出没する。
すなわち、電気炉2は、同図右方向への移動により、そ
の中心部が支持管4に形成した試料配置部5の外周位置
に置かれる。一方、同図左方向への移動によって、試料
配置部5を露出させる位置(同図の位置)に置かれる。
この電気炉2の駆動は、図1に示すモータ等の電気炉駆
動手段21によって行なわれる。
The electric furnace 2 has a cylindrical shape and can reciprocate in the axial direction of the support tube 4 along a guide rail 20 formed on a base 1a of the apparatus main body 1, as shown in FIGS. This movement causes it to protrude and retract at the outer peripheral position of the support tube 4.
That is, by moving the electric furnace 2 to the right in the figure, the central part is placed at the outer peripheral position of the sample placement part 5 formed on the support tube 4. On the other hand, by moving to the left in the drawing, the sample placement unit 5 is placed at a position where the sample placement unit 5 is exposed (the position in the drawing).
The electric furnace 2 is driven by electric furnace driving means 21 such as a motor shown in FIG.

【0025】電気炉2の内側には円筒状の保護管22が
配設してある。この保護管22は、支持管4の同軸上に
位置決めしてあり、電気炉2と一体に移動して支持管4
の外周を被覆する。この保護管22の先端は閉塞してあ
り、また保護管22の基端部は電気炉2から露出してい
る。
A cylindrical protective tube 22 is disposed inside the electric furnace 2. The protective tube 22 is positioned coaxially with the support tube 4 and moves integrally with the electric furnace 2 to move the support tube 4.
Is covered. The distal end of the protective tube 22 is closed, and the proximal end of the protective tube 22 is exposed from the electric furnace 2.

【0026】さて、熱機械分析においては、必要に応じ
て、所定のガス雰囲気や真空雰囲気下で試料Sの熱的変
位を測定する場合がある。そこで、装置本体1及び支持
管4の内部は、大気から遮断してそれらの雰囲気を形成
できるようにしておくことが好ましい。このため、装置
本体1の内部は気密構造となっており、しかも図示しな
いガス供給源や真空ポンプと連通する配管を接続可能と
なっている。
In the thermomechanical analysis, the thermal displacement of the sample S may be measured in a predetermined gas atmosphere or a vacuum atmosphere as required. Therefore, it is preferable that the inside of the apparatus main body 1 and the support tube 4 be shielded from the atmosphere so that the atmosphere can be formed. For this reason, the inside of the apparatus main body 1 has an airtight structure, and furthermore, a pipe communicating with a gas supply source and a vacuum pump (not shown) can be connected.

【0027】装置本体1の内部と連通する支持管4は、
先端近傍に試料交換窓が開口しているため、この試料交
換窓からの大気の流入を防止する必要がある。この実施
形態の熱機械分析装置では、保護管22により支持管4
の周囲を被覆することにより、試料交換窓からの大気の
流入を防止している。
The support tube 4 communicating with the inside of the apparatus main body 1 is
Since the sample exchange window is open near the tip, it is necessary to prevent the inflow of air from the sample exchange window. In the thermomechanical analyzer of this embodiment, the support tube 4 is provided by the protection tube 22.
To prevent the inflow of air from the sample exchange window.

【0028】保護管22の基端部は、装置本体1におけ
る支持管4の根元部分と密接して気密構造を形成する。
この気密構造を確実に形成するために、支持管4の根元
部分にはVリング23が配設してあり、一方、保護管2
2の基端部にはこのVリングが当接する密閉部材24が
装着してある。
The base end of the protection tube 22 is in close contact with the root of the support tube 4 in the apparatus main body 1 to form an airtight structure.
In order to reliably form this airtight structure, a V-ring 23 is provided at the base of the support tube 4, while the protection tube 2 is provided.
A sealing member 24 with which the V-ring abuts is mounted on the base end portion 2.

【0029】図5は、この密閉部材24及びVリング2
3の構成を拡大して示す平面断面図である。密閉部材2
4の基端には、Vリング23の当接面24aが形成して
あり、Vリング23は可撓性の舌片23aをこの当接面
24aと対向して配置してある。そして、保護管22が
電気炉2とともに移動して、電気炉2の中心部が試料配
置部5の外周に位置決めされたとき、密閉部材24の当
接面24aがVリング23の舌片23aと当接し密閉状
態を形成する。
FIG. 5 shows the sealing member 24 and the V ring 2.
3 is an enlarged plan sectional view showing the configuration of FIG. Sealing member 2
A contact surface 24a of a V-ring 23 is formed at the base end of the V-ring 4. The V-ring 23 has a flexible tongue 23a opposed to the contact surface 24a. Then, when the protective tube 22 moves together with the electric furnace 2 and the center of the electric furnace 2 is positioned on the outer periphery of the sample placement section 5, the contact surface 24 a of the sealing member 24 is in contact with the tongue piece 23 a of the V-ring 23. Abuts to form a closed state.

【0030】従来の熱機械分析装置では、図10又は図
11に示すように、Oリング200を用いて上記支持管
4の根元部分と保護管22の基端部との間の密閉構造が
形成されていた。すなわち、図10の密閉構造は、支持
管4の外周面にOリングを装着し、このOリングを支持
管4の外周面と保護管22の内周面との間に介在させ
て、密閉状態を形成する。また、図11の密閉構造は、
保護管22の基端面と対向するように、支持管4の根元
にOリング200を配設し、このOリング200を保護
管22の基端面と支持管4の根元との間で押し潰すよう
にして密閉状態を形成していた。
In the conventional thermomechanical analyzer, as shown in FIG. 10 or FIG. 11, a sealed structure is formed between the root portion of the support tube 4 and the base end portion of the protection tube 22 by using an O-ring 200. It had been. That is, in the sealed structure shown in FIG. 10, an O-ring is attached to the outer peripheral surface of the support tube 4 and the O-ring is interposed between the outer peripheral surface of the support tube 4 and the inner peripheral surface of the protection tube 22 to form a sealed state. To form In addition, the sealing structure of FIG.
An O-ring 200 is provided at the base of the support tube 4 so as to face the base surface of the protection tube 22, and the O-ring 200 is crushed between the base surface of the protection tube 22 and the base of the support tube 4. To form a closed state.

【0031】しかしながら、図10の密閉構造では、支
持管4と保護管22との間を高精度に芯出しする必要が
あり、電気炉2及び保護管22を支持するガイドレール
の振れ等も防止した高精度な製作が必要となり、製作コ
ストが高価格となる欠点があった。また、図11の密閉
構造では、Oリング200が有効に気密状態を形成する
ために必要とされる潰し量がVリング23に比べて微小
であるため、保護管22の位置決めが困難であった。
However, in the closed structure shown in FIG. 10, it is necessary to center the gap between the support tube 4 and the protection tube 22 with high precision, and also to prevent the guide rail supporting the electric furnace 2 and the protection tube 22 from swaying. However, there has been a drawback that high-precision manufacturing is required, and the manufacturing cost is high. Further, in the sealed structure of FIG. 11, the amount of crushing required for the O-ring 200 to effectively form an airtight state is smaller than that of the V-ring 23, so that it is difficult to position the protection tube 22. .

【0032】Vリング23を対向する密閉部材24の当
接面24aに当接させるこの実施形態の密閉構造は、上
述のようなOリング200を用いた従来の密閉構造に比
べて、支持管4と保護管22との間の芯出しや当接時の
位置決めの許容範囲が広く、したがって製作が容易とな
る利点を有している。
The sealing structure of this embodiment, in which the V-ring 23 is brought into contact with the contact surface 24a of the facing sealing member 24, is different from the conventional sealing structure using the O-ring 200 as described above. There is an advantage that the allowable range of centering and positioning at the time of abutment and contact between the protective tube 22 and the protective tube 22 is wide, and therefore, manufacture is easy.

【0033】上述した支持管4における試料配置部5の
近傍には、図1に示すように、試料Sの温度を検出する
ための試料温度検出器16が設けてある。また、電気炉
2にも発熱温度を検出するための電気炉温度検出器17
が設けてある。この実施形態では、これら試料温度検出
器16及び電気炉温度検出器17として、熱電対を使用
している。さらに、この実施形態に係る熱機械分析装置
では、図2,図3に示すように、電気炉2の一端開口部
近傍に冷却ファン6が配設してある。この冷却ファン6
は、電気炉2内に冷風を送り込み、電気炉2を強制冷却
する機能を有している。
As shown in FIG. 1, a sample temperature detector 16 for detecting the temperature of the sample S is provided near the sample placement section 5 in the support tube 4 described above. Also, the electric furnace 2 has an electric furnace temperature detector 17 for detecting the heat generation temperature.
Is provided. In this embodiment, thermocouples are used as the sample temperature detector 16 and the electric furnace temperature detector 17. Further, in the thermomechanical analyzer according to this embodiment, as shown in FIGS. 2 and 3, a cooling fan 6 is disposed near an opening of one end of the electric furnace 2. This cooling fan 6
Has a function of sending cool air into the electric furnace 2 and forcibly cooling the electric furnace 2.

【0034】なお、電気炉2内には、図示しない金属製
の均熱筒が配設してあり、この均熱筒を介して電気炉2
からの熱を試料へ放射することで、試料を均一に加熱で
きる構成となっている。また、電気炉2の外周にはカバ
ー25が設けてある。
In the electric furnace 2, a metal soaking tube (not shown) is provided.
By radiating heat from the sample to the sample, the sample can be uniformly heated. A cover 25 is provided on the outer periphery of the electric furnace 2.

【0035】上述した電気炉2、差動トランス10のコ
イル10b、検出棒11の加圧手段13、検出棒駆動手
段14、電気炉駆動手段21、試料温度検出器16、及
び電気炉温度検出器17は、図1に示すようにそれぞれ
制御装置7により制御され、自動的に熱機械分析を実行
できるようになっている。すなわち、後述する試料自動
交換ユニット3により試料配置部5へ所要の試料を配置
するときは、検出棒駆動手段14によって検出棒11を
軸方向に移動させ、その先端を試料配置部5から離間さ
せる。
The above-mentioned electric furnace 2, the coil 10b of the differential transformer 10, the pressurizing means 13 of the detecting rod 11, the detecting rod driving means 14, the electric furnace driving means 21, the sample temperature detector 16, and the electric furnace temperature detector 17 are controlled by the control device 7 as shown in FIG. 1 so that thermomechanical analysis can be automatically performed. That is, when a required sample is placed on the sample placement unit 5 by the sample automatic exchange unit 3 described later, the detection rod 11 is moved in the axial direction by the detection rod driving means 14, and its tip is separated from the sample placement unit 5. .

【0036】続いて、試料自動交換ユニット3により試
料配置部5へ所要の試料Sを配置した後、検出棒駆動手
段14による検出棒11への駆動力を解除するととも
に、加圧手段13によって検出棒11に所定の荷重を付
与する。この荷重により検出棒11の先端が試料Sの一
端に当接した状態が保持される。
Subsequently, after the required sample S is placed on the sample placement unit 5 by the automatic sample exchange unit 3, the driving force of the detection rod driving means 14 on the detection rod 11 is released, and the detection force is detected by the pressure means 13. A predetermined load is applied to the rod 11. Due to this load, the state where the tip of the detection rod 11 is in contact with one end of the sample S is maintained.

【0037】次いで、電気炉駆動手段21を作動して、
電気炉2の中心部を試料配置部5の外周位置に配置す
る。このとき保護管22の基端部に装着した密閉部材2
4が、装置本体1における支持管4の根元部分に配設し
てあるVリング23に当接して、保護管22の内部から
装置本体1の内部にかけて密閉構造を形成する。ここ
で、必要に応じて密閉した保護管22の内部から装置本
体1の内部を真空吸引したり、また不活性ガス等を充填
して、所要の測定雰囲気を形成することができる。
Next, the electric furnace driving means 21 is operated,
The central part of the electric furnace 2 is arranged at the outer peripheral position of the sample placing part 5. At this time, the sealing member 2 attached to the base end of the protection tube 22
4 comes into contact with a V-ring 23 provided at the base of the support tube 4 in the apparatus main body 1 to form a sealed structure from inside the protective tube 22 to inside the apparatus main body 1. Here, if necessary, the inside of the apparatus main body 1 can be vacuum-sucked from the inside of the sealed protective tube 22 or filled with an inert gas or the like to form a required measurement atmosphere.

【0038】その後、電気炉2を作動して試料配置部5
に配置した試料Sを加熱するとともに、差動トランス1
0のコイル10bに流れる電流の変化を検出して、試料
Sの軸方向への変形を測定する。すなわち、試料Sが加
熱によって変形すると、その変形量は検出棒11に伝え
られ、検出棒11が軸方向へ移動する。このとき、試料
Sを支持する支持管4が熱により変形した場合には、そ
の変形が支持管4と接触する基準検出棒12に伝えら
れ、基準検出棒12が軸方向に移動する。
Thereafter, the electric furnace 2 is operated to operate the sample placing section 5.
Heats the sample S placed in the
By detecting a change in the current flowing through the zero coil 10b, the deformation of the sample S in the axial direction is measured. That is, when the sample S is deformed by heating, the amount of deformation is transmitted to the detection rod 11, and the detection rod 11 moves in the axial direction. At this time, if the support tube 4 that supports the sample S is deformed by heat, the deformation is transmitted to the reference detection rod 12 that comes into contact with the support tube 4, and the reference detection rod 12 moves in the axial direction.

【0039】この結果、検出棒11が連結した差動トラ
ンス10のコア10aと、基準検出棒12が連結した差
動トランス10のコイル10bとの間の相対変位は、支
持管4の変形成分を差し引いた試料Sの変形のみに対応
することになる。そして、この相対変位に基づいて、差
動トランス10のコイル10bに流れる電流値が変化す
る。これを制御装置7が検出して、所定の演算処理を経
て、試料Sの熱機械分析を実行する。なお、制御装置7
による熱機械分析のための演算処理過程は、従来公知の
熱機械分析装置と同様であるため、ここではその説明を
省略する。
As a result, the relative displacement between the core 10a of the differential transformer 10 to which the detection rod 11 is connected and the coil 10b of the differential transformer 10 to which the reference detection rod 12 is connected, causes the deformation component of the support tube 4 to be reduced. This corresponds to only the deformation of the subtracted sample S. Then, based on the relative displacement, the value of the current flowing through the coil 10b of the differential transformer 10 changes. This is detected by the control device 7, and the thermomechanical analysis of the sample S is executed through a predetermined calculation process. The control device 7
The calculation process for the thermomechanical analysis by the method is the same as that of a conventionally known thermomechanical analyzer, and the description thereof is omitted here.

【0040】試料Sの温度は、試料温度検出器16によ
って検出され、制御装置7はこの試料温度検出器16か
らの温度情報に基づいて電気炉2を制御する。このと
き、併せて電気炉2の加熱温度も電気炉温度検出器17
により測定されており、該電気炉2の温度状況も制御装
置7に入力されている。
The temperature of the sample S is detected by a sample temperature detector 16, and the controller 7 controls the electric furnace 2 based on the temperature information from the sample temperature detector 16. At this time, the heating temperature of the electric furnace 2 is also changed by the electric furnace temperature detector 17.
, And the temperature condition of the electric furnace 2 is also input to the control device 7.

【0041】このようにして試料Sに対する熱機械分析
が終了すると、電気炉2の差動を停止して、所定の温度
まで電気炉2内の温度を自然降下させる。そして、急冷
しても損傷しない温度まで電気炉2内の温度が降下した
とき、冷却ファン6を駆動して強制冷却を実施する。こ
れにより、電気炉2の冷却を速め、次の試料Sに対する
熱機械分析測定のサイクルタイムを短縮化することがで
きる。
When the thermomechanical analysis of the sample S is completed in this way, the differential of the electric furnace 2 is stopped, and the temperature in the electric furnace 2 is naturally lowered to a predetermined temperature. Then, when the temperature in the electric furnace 2 drops to a temperature at which it is not damaged even if it is rapidly cooled, the cooling fan 6 is driven to perform forced cooling. Thereby, the cooling of the electric furnace 2 can be accelerated, and the cycle time of the thermomechanical analysis measurement for the next sample S can be shortened.

【0042】次に、試料自動交換ユニット3について説
明する。図6は、試料自動交換ユニット3の全体構造を
拡大して示す正面図である。同図及び図2,図3に示す
ように、試料自動交換ユニット3は、基台31、試料ス
テージ32、昇降機構33、水平搬送レール34、及び
支持アーム35からなる搬送手段30と、把持手段40
とを備えている。
Next, the automatic sample exchange unit 3 will be described. FIG. 6 is an enlarged front view showing the entire structure of the automatic sample exchange unit 3. As shown in FIG. 2 and FIG. 2 and FIG. 3, the automatic sample exchange unit 3 includes a transport unit 30 including a base 31, a sample stage 32, an elevating mechanism 33, a horizontal transport rail 34, and a support arm 35, and a gripping unit. 40
And

【0043】基台31は、熱機械分析装置の装置本体1
の側方に並べて配設してあり、この基台31の上部平面
に試料ステージ32が設けてある。この試料ステージ3
2には、多数の試料Sを、図3のX,Y方向へマトリク
ス状に並べて配置することができる。ここで、X方向は
支持管4の軸と平行な方向であり、角柱又は円柱状の試
料Sは、長辺をこのX方向に延在して試料配置部5に配
置される。同様に、試料ステージ32上でも、試料Sは
長辺をこのX方向に延在して配置されている。
The base 31 is the main body 1 of the thermomechanical analyzer.
The sample stage 32 is provided on the upper flat surface of the base 31. This sample stage 3
2, a large number of samples S can be arranged in a matrix in the X and Y directions in FIG. Here, the X direction is a direction parallel to the axis of the support tube 4, and the prism or columnar sample S is disposed in the sample disposition section 5 with its long side extending in the X direction. Similarly, also on the sample stage 32, the sample S is disposed with its long side extending in the X direction.

【0044】また試料ステージ32は、基台31に内蔵
した前後移動機構(図示せず)によって、図3のX方向
に移動可能となっている。なお、試料ステージ32は、
試料Sの配置面が熱機械分析装置における支持管4に形
成した試料配置部5と略同じ高さに調整してある。
The sample stage 32 can be moved in the X direction in FIG. 3 by a back and forth moving mechanism (not shown) built in the base 31. The sample stage 32
The arrangement surface of the sample S is adjusted to be substantially the same height as the sample arrangement portion 5 formed on the support tube 4 in the thermomechanical analyzer.

【0045】昇降機構33は、基台31の後部に設けて
あり、基台31に内蔵したモータ等の昇降駆動源(図示
せず)から動力を得て、支柱33aが上下方向(図2の
Z方向)に昇降する構成となっている。支柱33aの上
端には、水平搬送レール34が図3のY方向に延在して
配設してある。この水平搬送レール34には、図3のX
方向に延出する支持アーム35の基端が装着してあり、
内蔵したモータ等の水平駆動源(図示せず)によりこの
支持アーム35をY方向に往復移動する。
The elevating mechanism 33 is provided at the rear of the base 31, and receives power from an elevating drive source (not shown) such as a motor built in the base 31 to move the support 33a in the vertical direction (see FIG. 2). (Z direction). At the upper end of the column 33a, a horizontal transport rail 34 is provided extending in the Y direction in FIG. The horizontal transfer rail 34 has an X in FIG.
The base end of the support arm 35 extending in the direction is mounted,
The support arm 35 is reciprocated in the Y direction by a horizontal drive source (not shown) such as a built-in motor.

【0046】把持手段40は、上述した支持アーム35
の先端に装着してあり、昇降機構33による上下移動と
水平搬送レール34によるY方向への移動により、試料
ステージ32と試料配置部5との間で移動する。把持手
段40は、後述するように把持本体41の底面から下方
へ突き出した一対の開閉爪43,44を有しており、こ
れらの開閉爪43,44が協同して試料Sを把持する。
The holding means 40 is provided with the support arm 35 described above.
And is moved between the sample stage 32 and the sample placement unit 5 by the vertical movement by the elevating mechanism 33 and the movement in the Y direction by the horizontal transfer rail 34. The gripping means 40 has a pair of open / close claws 43 and 44 projecting downward from the bottom surface of the grip body 41 as described later, and these open / close claws 43 and 44 cooperate to grip the sample S.

【0047】上述した試料ステージ32の前後移動機
構、昇降駆動源、及び水平駆動源(いずれも図示せず)
は、コントローラ8により制御されている。すなわち、
試料交換に際して、コントローラ8は、前後移動機構を
作動して試料ステージ32をX方向に移動させ、所要の
試料Sを把持手段40の移動経路上に配置する。
The mechanism for moving the sample stage 32 back and forth, an elevation drive source, and a horizontal drive source (all not shown)
Are controlled by the controller 8. That is,
At the time of sample exchange, the controller 8 operates the forward / backward movement mechanism to move the sample stage 32 in the X direction, and arranges a required sample S on the movement path of the gripping means 40.

【0048】次いで、水平駆動源を作動して、把持手段
40を水平搬送レール34に沿ってY方向に移動させ、
試料ステージ32上の選択された試料Sの上方位置に把
持手段40の開閉爪43,44を位置決めする。この動
作に入るとき、昇降機構33の支柱33aが下降した状
態となっていたら、あらかじめ昇降駆動源を作動して、
把持手段40を上昇位置に配置しておく。
Next, the horizontal drive source is operated to move the gripping means 40 in the Y direction along the horizontal transport rail 34,
The open / close claws 43 and 44 of the gripping means 40 are positioned above the selected sample S on the sample stage 32. When entering this operation, if the support 33a of the elevating mechanism 33 is in a lowered state, the elevating drive source is activated in advance,
The gripping means 40 is arranged at a raised position.

【0049】続いて、昇降駆動源を作動して把持手段4
0を下降させ、把持手段40の開閉爪43,44を試料
ステージ32上の選択された試料Sの把持可能位置へと
位置決めする。そして、該位置で開閉爪43,44が試
料Sを把持した後、再び昇降駆動源を作動して把持手段
40を上昇させるとともに、水平駆動源を作動して把持
手段40をY方向に移動させ、把持している試料Sを試
料配置部5の上方位置に位置決めする。
Subsequently, the lifting drive source is operated to operate the gripper 4.
0 is lowered, and the open / close claws 43 and 44 of the gripping means 40 are positioned to a position where the selected sample S on the sample stage 32 can be gripped. Then, after the opening and closing claws 43 and 44 grip the sample S at this position, the lifting drive source is operated again to raise the gripping means 40, and the horizontal drive source is operated to move the gripping means 40 in the Y direction. Then, the gripped sample S is positioned at a position above the sample placement unit 5.

【0050】該上方位置から昇降駆動源を作動して、把
持手段40を試料配置部5に向けて下降させ、把持して
いた試料Sを試料配置部5に配置する。その後、開閉爪
43,44を開いて試料Sの把持を解除し、昇降駆動源
により把持手段40を上昇させて試料配置部5への試料
Sの配置動作を完了する。
The lifting drive source is actuated from the upper position to lower the gripping means 40 toward the sample placement unit 5, and the held sample S is placed in the sample placement unit 5. Thereafter, the open / close claws 43 and 44 are opened to release the gripping of the sample S, and the gripping means 40 is raised by the elevation drive source to complete the operation of arranging the sample S on the sample mounting unit 5.

【0051】測定済みの試料Sを試料配置部5から取り
出すには、電気炉2を開いた後、水平駆動源及び昇降駆
動源を作動して把持手段40を試料配置部5へと移動さ
せる。そして、開閉爪43,44により試料配置部5上
の試料Sを把持し、再び昇降駆動源及び水平駆動源を作
動して把持した試料Sを試料ステージ32へと搬送す
る。なお、コントローラ8には、制御装置7から装置本
体1や電気炉2側の動作情報が出力されており、試料S
の測定開始,終了や電気炉2の開閉、検出棒駆動手段1
4の作動等と連携して試料Sの交換動作を実行してい
る。
In order to remove the measured sample S from the sample placement unit 5, after opening the electric furnace 2, the horizontal drive source and the elevation drive source are operated to move the gripping means 40 to the sample placement unit 5. Then, the sample S on the sample placement unit 5 is gripped by the opening / closing claws 43 and 44, and the lifting drive source and the horizontal drive source are operated again to transport the gripped sample S to the sample stage 32. It should be noted that operation information of the apparatus main body 1 and the electric furnace 2 side is output from the control device 7 to the controller 8, and the sample S
Start and end of measurement, opening and closing of electric furnace 2, detection rod driving means 1
The operation of exchanging the sample S is executed in cooperation with the operation of Step S4.

【0052】図7は把持手段40の内部構造を示す斜視
図、図8は同じく正面図である。これらの図に示すよう
に、板状の把持本体41の下面には、ガイドレール42
に沿って横方向に移動自在な一対の開閉爪43,44が
支持されている。これら一対の開閉爪43,44は、互
いに協同してその中間部に試料Sを把持する。
FIG. 7 is a perspective view showing the internal structure of the holding means 40, and FIG. 8 is a front view of the same. As shown in these figures, a guide rail 42 is provided on the lower surface of the plate-shaped grip body 41.
A pair of open / close claws 43, 44 that are movable in the lateral direction along are supported. The pair of opening / closing claws 43 and 44 cooperate with each other to grip the sample S at an intermediate portion thereof.

【0053】把持本体41の上面中央部には、駆動モー
タ45が設置してある。この駆動モータ45の回転軸4
5aは、把持本体41を貫通して同把持本体41の下面
側に露出している。この回転軸45aには楕円形状のカ
ム46が取り付けてあり、これら駆動モータ45とカム
46により開閉爪43,44の駆動手段が構成されてい
る。
At the center of the upper surface of the grip body 41, a drive motor 45 is provided. The rotating shaft 4 of the drive motor 45
5a penetrates the grip body 41 and is exposed on the lower surface side of the grip body 41. An elliptical cam 46 is attached to the rotating shaft 45a, and the driving motor 45 and the cam 46 constitute driving means for the opening and closing claws 43 and 44.

【0054】すなわち、一対の開閉爪43,44はコイ
ルばね等の付勢手段47によって、常時互いの間隔を縮
める方向(閉方向)に付勢されており、これら開閉爪4
3,44に挟まれた状態でカム46の周面が各開閉爪4
3,44に当接している。そして、駆動モータ45の回
転に伴ってカム46が回転し、当該カム46の形状に応
じて各開閉爪43,44が互いに対象な開閉動作を行な
うようになっている。開閉爪43,44による試料Sの
把持力は、付勢手段47から与えられる付勢力で規定さ
れる。したがって、付勢手段47は、試料Sの硬さに応
じて開閉爪43,44に与える付勢力を調整可能とする
ことが好ましい。
That is, the pair of opening / closing pawls 43 and 44 are constantly urged by a biasing means 47 such as a coil spring in a direction (close direction) to reduce the distance between them.
3 and 44, the peripheral surface of the cam 46 is
3 and 44. The cam 46 rotates with the rotation of the drive motor 45, and the opening and closing claws 43 and 44 perform symmetrical opening and closing operations according to the shape of the cam 46. The gripping force of the sample S by the opening and closing claws 43 and 44 is defined by the urging force applied from the urging means 47. Therefore, it is preferable that the urging means 47 can adjust the urging force applied to the opening and closing claws 43 and 44 according to the hardness of the sample S.

【0055】また、一方の開閉爪43の上端には、把持
確認用検知部材としての第1シャッタ48が装着してあ
り、他方の開閉爪44の上端には、開放位置確認用の検
知部材としての第2シャッタ49が装着してある。これ
ら各シャッタ48,49は、把持本体41に穿設した長
孔41a,41bを介して同把持本体41の上面側に露
出している。
A first shutter 48 is attached to the upper end of one opening / closing claw 43 as a gripping detection member, and the upper end of the other opening / closing claw 44 is a detection member for opening position confirmation. Is mounted. These shutters 48 and 49 are exposed on the upper surface side of the grip main body 41 via long holes 41a and 41b formed in the grip main body 41.

【0056】さらに、把持本体41の上面には、把持確
認用センサ50及び原点センサ51が設けてある。この
実施形態では、これらのセンサ50,51を光センサで
構成している。すなわち、把持確認用センサ50は投光
部50aと受光部50bからなり、それら各部50a,
50bが開閉爪43の移動に伴う第1シャッタ48の移
動経路を挟み、対向して設けてある。この設置位置は、
各開閉爪43,44が協同して試料Sを把持したとき
に、第1シャッタ48によって投光部50aからの光線
が遮られる位置に調整してある。
Further, on the upper surface of the grip body 41, a grip confirmation sensor 50 and an origin sensor 51 are provided. In this embodiment, these sensors 50 and 51 are constituted by optical sensors. That is, the gripping confirmation sensor 50 includes a light emitting unit 50a and a light receiving unit 50b.
Reference numeral 50b is provided to face the moving path of the first shutter 48 in accordance with the movement of the opening / closing claw 43, and oppose each other. This installation position is
When the opening and closing claws 43 and 44 cooperate to grip the sample S, the first shutter 48 is adjusted to a position where the light beam from the light projecting unit 50a is blocked.

【0057】ところで、搬送対象となる試料Sの寸法に
応じて開閉爪43,44が当該試料Sを把持する位置は
異なってくる。したがって、各開閉爪43,44が協同
して試料Sを把持したとき第1シャッタ48が停止する
位置も異なってくる。このように搬送対象となる試料S
の寸法によって変わる第1シャッタ48の停止位置に対
応して、この把持確認用センサ50の設置位置は、第1
シャッタ48の移動経路に沿って任意に調整できるよう
になっている。
Incidentally, the positions where the open / close claws 43 and 44 grip the sample S differ depending on the size of the sample S to be transported. Therefore, the position where the first shutter 48 stops when the open / close claws 43 and 44 cooperate to grip the sample S also differs. Thus, the sample S to be transported is
In accordance with the stop position of the first shutter 48 that changes depending on the size of the
The shutter 48 can be arbitrarily adjusted along the movement path.

【0058】その調整機構は、公知の各種位置調整機構
を採用できる。例えば、長孔41aに沿ってその前後方
向の両脇にそれぞれ案内レールを設け、これらの案内レ
ール上を投光部50a,受光部50bが摺動できる構成
とするとともに、案内レールの任意位置に締結具によっ
て投光部50a,受光部50bを固定できる構成とすれ
ばよい。
As the adjusting mechanism, various known position adjusting mechanisms can be adopted. For example, guide rails are provided on both sides in the front-rear direction along the long hole 41a, and the light projecting unit 50a and the light receiving unit 50b can slide on these guide rails. What is necessary is just to set it as the structure which can fix the light projection part 50a and the light receiving part 50b with a fastener.

【0059】原点センサ51も投光部51aと受光部5
1bからなり、それら各部51a,51bが開閉爪44
の移動に伴う第2シャッタ49の移動経路を挟み、対向
して設けてある。この実施形態では、開閉爪44の全開
位置を原点とし、開閉爪44がこの全開位置にきたと
き、第2シャッタ49によって投光部51aからの光線
が遮られる位置に、投光部51aと受光部51bを設け
てある。
The origin sensor 51 also includes a light projecting unit 51a and a light receiving unit 5
1b, and the respective parts 51a, 51b
Are provided opposite to each other with the movement path of the second shutter 49 accompanying the movement of. In this embodiment, the fully opened position of the opening / closing claw 44 is set as the origin, and when the opening / closing claw 44 comes to this fully opened position, the light projecting portion 51a and the light receiving portion 51a are located at positions where the light rays from the light projecting portion 51a are blocked by the second shutter 49. A portion 51b is provided.

【0060】上記の把持本体41は、二つのダンパ部材
52,52を介して支持アーム35の先端部35aに装
着してある。この実施形態では、ダンパ部材52,52
として油圧ダンパを用いており、外筒52aに対してピ
ストン棒52bが油圧を受けながら軸方向に伸縮自在と
なっている。そして、これら外筒52aとピストン棒5
2bのうちの一方(図では外筒52a)を、支持アーム
35の先端部35aにそれぞれ装着し、他方(図ではピ
ストン棒52b)を把持本体41の上面にそれぞれ装着
してある。
The grip body 41 is mounted on the distal end 35a of the support arm 35 via two damper members 52,52. In this embodiment, the damper members 52, 52
A hydraulic damper is used, and the piston rod 52b is axially expandable and contractable while receiving hydraulic pressure with respect to the outer cylinder 52a. The outer cylinder 52a and the piston rod 5
One (outer cylinder 52a in the figure) of 2b is mounted on the distal end 35a of the support arm 35, and the other (piston rod 52b in the figure) is mounted on the upper surface of the grip body 41, respectively.

【0061】ダンパ部材52,52は、把持本体41の
下面に設けた開閉爪43,44が、下方から外力を受け
たとき、その外力による衝撃を緩衝するようにピストン
棒52bが縮むようになっている。このピストン棒52
bは、油圧によって常時下向きに付勢されており、外力
を受けないときはこの油圧によって所定の長さだけ突き
出している。
When the open / close claws 43, 44 provided on the lower surface of the grip body 41 receive an external force from below, the damper members 52, 52 contract the piston rod 52b so as to buffer the impact of the external force. I have. This piston rod 52
b is constantly urged downward by a hydraulic pressure, and projects by a predetermined length by the hydraulic pressure when no external force is applied.

【0062】支持アーム35の先端部35aと把持本体
41のうちの一方(図では把持本体41)には、当接監
視用センサ54が設けてあり、他方(図では支持アーム
35の先端部35a)には当接監視用検知部材としての
第3シャッタ55が設けてある。
One of the tip 35a of the support arm 35 and the grip body 41 (the grip body 41 in the figure) is provided with a contact monitoring sensor 54, and the other (the tip 35a of the support arm 35 in the figure). 3) is provided with a third shutter 55 as a contact monitoring detecting member.

【0063】この実施形態では、当接監視用センサ54
を、投光部54aと受光部54bからなる光センサで構
成し、これら投光部54aと受光部54bとを互いに対
向して配置してある。そして、外力の作用によってピス
トン棒52bが所定量縮んだとき、第3シャッタ55が
これら投光部54aと受光部54bの中間位置に介在し
て、投光部54aから発せられる光線を遮るように調整
してある。
In this embodiment, the contact monitoring sensor 54
Is constituted by an optical sensor including a light projecting unit 54a and a light receiving unit 54b, and the light projecting unit 54a and the light receiving unit 54b are arranged to face each other. Then, when the piston rod 52b contracts by a predetermined amount due to the action of the external force, the third shutter 55 is interposed at an intermediate position between the light projecting portion 54a and the light receiving portion 54b so as to block the light beam emitted from the light projecting portion 54a. It has been adjusted.

【0064】次に、上述した構成の把持手段40の動作
を説明する。この把持手段40も図1に示すコントロー
ラ8によって動作が制御されている。すなわち、コント
ローラ8から駆動モータ45に駆動指令が送られると、
該駆動モータ45が作動してカム46を回転駆動する。
カム46の回転に伴い、開閉爪43,44は開閉動作を
行なう。そして、開閉爪44が原点である全開位置まで
開いたとき、原点センサ51を構成する投光部51aと
受光部51bの間に第2シャッタ49が介在し、投光部
51aから発せられた光線を遮る。すると、原点センサ
51から第2シャッタ49の検出信号がコントローラ8
へ出力される。コントローラ8は、原点センサ51から
の検出信号を入力したとき、駆動モータ45に停止指令
を発し、開閉爪43,44の全開状態を保持する。
Next, the operation of the gripping means 40 having the above configuration will be described. The operation of the gripping means 40 is also controlled by the controller 8 shown in FIG. That is, when a drive command is sent from the controller 8 to the drive motor 45,
The drive motor 45 operates to rotate the cam 46.
With the rotation of the cam 46, the opening and closing claws 43 and 44 perform opening and closing operations. When the opening / closing claw 44 is opened to the fully open position which is the origin, the second shutter 49 is interposed between the light projecting unit 51a and the light receiving unit 51b constituting the origin sensor 51, and the light emitted from the light projecting unit 51a is emitted. Block out. Then, a detection signal of the second shutter 49 is transmitted from the origin sensor 51 to the controller 8.
Output to When a detection signal is input from the origin sensor 51, the controller 8 issues a stop command to the drive motor 45, and holds the open / close claws 43, 44 in the fully open state.

【0065】搬送手段30の誤動作などにより、開閉爪
43,44の先端が下がり過ぎて試料ステージや支持管
4などに当接したときは、ダンパ部材52,52のピス
トン棒52bが縮んでその衝撃を吸収し、開閉爪43,
44などの損傷が回避される。さらに、ピストン棒52
bの縮みに伴い当接監視用センサ54と第3シャッタ5
5とが相対移動して、当該センサ54を構成する投光部
54aと受光部54bの間に第3シャッタ55が介在す
る。すると、当接監視用センサ54から第3シャッタ5
5の検出信号がコントローラ8へ出力される。コントロ
ーラ8は、当接監視用センサ54からの検出信号の入力
によって動作異常の発生を確認し、支持アーム35の動
作を即時停止させる。
When the tips of the open / close claws 43, 44 are too low and come into contact with the sample stage, the support tube 4, or the like due to malfunction of the transfer means 30, the piston rods 52b of the damper members 52, 52 are contracted and the impact is caused. Absorbs the opening and closing claw 43,
Damage such as 44 is avoided. Further, the piston rod 52
The contact monitoring sensor 54 and the third shutter 5
5 moves relative to each other, and a third shutter 55 is interposed between the light projecting part 54a and the light receiving part 54b constituting the sensor 54. Then, the contact monitoring sensor 54 outputs the third shutter 5.
5 is output to the controller 8. The controller 8 confirms the occurrence of the operation abnormality by inputting the detection signal from the contact monitoring sensor 54, and immediately stops the operation of the support arm 35.

【0066】次に、開閉爪43,44により試料Sを把
持するときは、コントローラ8が駆動モータ45に駆動
指令を発し、この駆動指令に基づいて該駆動モータ45
が作動してカム46を回転駆動する。カム46の回転に
伴い、開閉爪43,44は原点位置である全開状態から
徐々に閉じていく。このとき、開閉爪43,44と一体
に第1シャッタ48も移動する。そして、把持確認用セ
ンサ50を構成する投光部50aと受光部50bの間ま
で第1シャッタ48が移動したとき、投光部50aから
発せられる光線が第1シャッタ48によって遮られる。
すると、把持確認用センサ50から第1シャッタ48の
検出信号がコントローラ8へ出力される。
Next, when the sample S is gripped by the open / close claws 43, 44, the controller 8 issues a drive command to the drive motor 45, and the drive motor 45 is driven based on the drive command.
Operates to rotationally drive the cam 46. With the rotation of the cam 46, the open / close claws 43, 44 gradually close from the fully opened state, which is the origin position. At this time, the first shutter 48 also moves integrally with the opening / closing claws 43 and 44. Then, when the first shutter 48 moves between the light emitting unit 50a and the light receiving unit 50b that constitute the gripping confirmation sensor 50, the light emitted from the light emitting unit 50a is blocked by the first shutter 48.
Then, a detection signal of the first shutter 48 is output from the gripping confirmation sensor 50 to the controller 8.

【0067】上述したように把持確認用センサ50は、
開閉爪43,44が予め設定された寸法の試料を把持し
たときに、第1シャッタ48によって投光部50aから
の光線が遮られる位置に調整してある。したがって、把
持確認用センサ50から第1シャッタ48の検出信号を
入力した時点で、開閉爪43,44により試料Sが把持
されたことになる。この実施形態では、把持確認用セン
サ50から第1シャッタ48の検出信号を入力した後、
カム46を停止させることなく継続して一定時間の間回
転させている。
As described above, the grip confirmation sensor 50 is
When the opening / closing claws 43 and 44 hold a sample of a predetermined size, the first shutter 48 is adjusted to a position where the light beam from the light projecting unit 50a is blocked. Therefore, when the detection signal of the first shutter 48 is input from the gripping confirmation sensor 50, the sample S is gripped by the open / close claws 43 and 44. In this embodiment, after the detection signal of the first shutter 48 is input from the gripping confirmation sensor 50,
The cam 46 is continuously rotated for a predetermined time without stopping.

【0068】このようにカム46を回転させても、コン
トローラが第1シャッタ48の検出信号を入力した時点
で、開閉爪43,44によって試料Sが把持されていれ
ば、それ以上開閉爪43,44が閉じることはなく、し
たがって第1シャッタ48も投光部50aと受光部50
bの間で停止したままとなり、第1シャッタ48の検出
信号が出力され続ける。コントローラ8は、第1シャッ
タ48の検出信号が継続して出力されることを確認する
ことにより、開閉爪43,44が試料Sを適正に把持し
たと判断する。
Even when the cam 46 is rotated in this way, if the sample S is gripped by the opening / closing claws 43, 44 at the time when the controller inputs the detection signal of the first shutter 48, the opening / closing claw 43, 44 44 does not close, and therefore the first shutter 48 also includes the light projecting unit 50a and the light receiving unit 50.
The signal remains stopped during the period b, and the detection signal of the first shutter 48 continues to be output. The controller 8 determines that the opening / closing claws 43 and 44 properly grip the sample S by confirming that the detection signal of the first shutter 48 is continuously output.

【0069】一方、開閉爪43,44が試料Sを把持し
ていなかったときは、カム46の回転に伴い開閉爪4
3,44がさらに閉じ、それと一体に第1シャッタ48
も移動して投光部50aと受光部50bの間から抜け出
る。すると、受光部50bが投光部50aからの光線を
受光する状態となり、把持確認用センサ50は第1シャ
ッタ48の検出信号の出力を停止する。第1シャッタ4
8の検出信号が、このようなタイミングで入力されなく
なったとき、コントローラは開閉爪43,44が試料S
を把持できなかったと判断し、当該サイクルでの試料搬
送動作を中止する。
On the other hand, when the opening and closing claws 43 and 44 do not grip the sample S, the opening and closing
3 and 44 are further closed, and the first shutter 48 is integrated therewith.
Also moves out of the space between the light projecting unit 50a and the light receiving unit 50b. Then, the light receiving unit 50b enters a state of receiving the light beam from the light projecting unit 50a, and the gripping confirmation sensor 50 stops outputting the detection signal of the first shutter 48. First shutter 4
When the detection signal of No. 8 is no longer input at such a timing, the controller sets the open / close claws 43 and 44 to the sample S.
It is determined that could not be held, and the sample transport operation in the cycle is stopped.

【0070】なお、この発明は上述した実施形態に限定
されるものではない。例えば、上述の実施形態では、基
準検出棒12と検出棒11との間の相対変位を差動トラ
ンス10により検出する示差方式を採用したが、検出棒
のみを使用して試料の変形量を測定するいわゆる全膨張
式の熱機械分析装置にもこの発明は適用することができ
る。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the above-described embodiment, the differential method in which the relative displacement between the reference detection rod 12 and the detection rod 11 is detected by the differential transformer 10 is employed, but the deformation amount of the sample is measured using only the detection rod. The present invention can also be applied to a so-called total expansion type thermomechanical analyzer.

【0071】また、上述の実施形態では、支持管4や電
気炉2などを水平配置した横型構造としたが、これら支
持管4や電気炉2などを垂直配置した縦型構造の熱機械
分析装置にも適用することができる。この場合、熱機械
分析装置は、図2,図3に示した試料自動交換ユニット
3も電気炉2や支持管4等と対応して垂直配置したよう
な構造となる。
In the above embodiment, the horizontal structure in which the support tubes 4 and the electric furnace 2 are arranged horizontally is used. However, the thermomechanical analyzer of the vertical structure in which the support tubes 4 and the electric furnace 2 are arranged vertically is used. Can also be applied. In this case, the thermomechanical analyzer has a structure in which the automatic sample exchange unit 3 shown in FIGS. 2 and 3 is also vertically arranged corresponding to the electric furnace 2, the support tube 4, and the like.

【0072】さらに、把持手段における開閉爪は、試料
の形状,寸法によってその形状及び本数を任意に変更し
てもよい。また、ダンパ部材としては、油圧ダンパに限
らず公知の各種ダンパを適用することができる。把持確
認用センサ,原点センサ,当接監視用センサは、光セン
サ以外にも検知部材を検出可能な近接センサ等、各種の
センサを適用することができる。
Further, the shape and number of the open / close claws of the gripping means may be arbitrarily changed according to the shape and size of the sample. The damper member is not limited to a hydraulic damper, and various known dampers can be applied. Various sensors such as a proximity sensor capable of detecting a detecting member other than the optical sensor can be applied to the gripping confirmation sensor, the origin sensor, and the contact monitoring sensor.

【0073】[0073]

【発明の効果】以上説明したように、この発明の熱機械
分析装置によれば、把持手段で試料ステージ上の試料を
把持するとともに、搬送手段によってこの把持手段を熱
機械分析装置における試料配置部5へ自動的に配置する
ことが可能となるので、試料の自動交換を実現でき、研
究員を煩雑な試料交換作業から解放して作業性の向上を
図ることができる。
As described above, according to the thermomechanical analyzer of the present invention, the sample on the sample stage is grasped by the grasping means, and the grasping means is moved by the transport means to the sample placement section in the thermomechanical analyzer. 5, the sample can be automatically exchanged, and the work efficiency can be improved by relieving the researcher from complicated sample exchange work.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明を実施形態に係る横型示差熱機械分析
装置の原理を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic view showing the principle of a horizontal differential thermomechanical analyzer according to an embodiment of the present invention.

【図2】同装置の外観を示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing the appearance of the apparatus.

【図3】同じく平面図である。FIG. 3 is a plan view of the same.

【図4】支持管の内部及び周辺の構造を拡大して示す平
面断面図である。
FIG. 4 is an enlarged plan sectional view showing the structure inside and around the support tube.

【図5】密閉部材及びVリングの構成を拡大して示す平
面断面図である。
FIG. 5 is an enlarged plan sectional view showing a configuration of a sealing member and a V-ring.

【図6】試料自動交換ユニットの全体構造を拡大して示
す正面図である。
FIG. 6 is an enlarged front view showing the entire structure of the automatic sample exchange unit.

【図7】把持手段の内部構造を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing the internal structure of the gripping means.

【図8】同じく正面図である。FIG. 8 is a front view of the same.

【図9】示差熱分析装置(DTA)に適用された従来の
試料自動交換装置を示す斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view showing a conventional automatic sample exchange device applied to a differential thermal analyzer (DTA).

【図10】Oリングを用いて保護管の基端部と支持管の
根元との間を密閉する従来の密閉構造を示す断面図であ
る。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a conventional sealing structure for sealing between a base end of a protection tube and a root of a support tube using an O-ring.

【図11】Oリングを用いて保護管の基端部と支持管の
根元との間を密閉する従来の他の密閉構造を示す断面図
である。
FIG. 11 is a cross-sectional view showing another conventional sealing structure for sealing the space between the base end of the protection tube and the base of the support tube using an O-ring.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:装置本体 2:電気炉 3:試料自動交換ユニット 4:支持管 5:試料配置部 6:冷却ファン 7:制御装置 8:コントローラ 10:差動トランス 11:検出棒 12:基準検出棒 13:加圧手段 14:検出棒駆動手段 15:付勢手段 16:試料温度検出器 17電気炉温度検出器 20:ガイドレール 21:電気炉駆動手段 22:保護管 23:Vリング 24:密閉部材 25:カバー 30:搬送手段 31:基台 32:試料ステージ 33:昇降機構 34:水平搬送レール 35:支持アーム 40:把持手段 41:把持本体 42:ガイドレール 43,44:開閉爪 45:駆動モータ 46:カム 47:付勢手段 48:第1シャッタ 49:第2シャッタ 50:把持確認用センサ 51:原点センサ 52:ダンパ部材 54:当接監視用センサ 55:第3シャッタ 1: Apparatus main body 2: Electric furnace 3: Automatic sample exchange unit 4: Support tube 5: Sample placement part 6: Cooling fan 7: Control device 8: Controller 10: Differential transformer 11: Detection rod 12: Reference detection rod 13: Pressurizing means 14: detecting rod driving means 15: urging means 16: sample temperature detector 17 electric furnace temperature detector 20: guide rail 21: electric furnace driving means 22: protective tube 23: V ring 24: sealing member 25: Cover 30: transport means 31: base 32: sample stage 33: elevating mechanism 34: horizontal transport rail 35: support arm 40: gripping means 41: gripping body 42: guide rails 43, 44: opening / closing claw 45: drive motor 46: Cam 47: urging means 48: first shutter 49: second shutter 50: gripping confirmation sensor 51: origin sensor 52: damper member 54: contact monitoring cell Sensor 55: Third shutter

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉浦 佳澄 東京都昭島市松原町3−9−12 理学電機 株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Yoshiumi Sugiura 3-9-12 Matsubaracho, Akishima-shi, Tokyo Rigaku Electric Co., Ltd.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 支持管の先端部に形成した試料配置部に
所要の試料を配置し、該試料を所定温度に加熱したとき
の物理的変形を測定する熱機械分析装置において、 所要の試料を多数個配置可能な試料ステージと、試料を
把持する把持手段と、この把持手段を前記試料配置部及
び前記試料ステージの間で搬送する搬送手段とを備えた
ことを特徴とする熱機械分析装置。
1. A thermomechanical analyzer for placing a required sample in a sample placement portion formed at the tip of a support tube and measuring physical deformation when the sample is heated to a predetermined temperature. A thermomechanical analyzer comprising: a sample stage capable of disposing a large number of samples; gripping means for gripping a sample; and transport means for transporting the gripping means between the sample placement section and the sample stage.
【請求項2】 請求項1に記載の熱機械分析装置におい
て、 前記把持手段は、本体と、この本体に開閉自在に設けら
れ協同して試料を把持する複数の開閉爪と、これらの開
閉爪を開閉駆動する駆動手段と、前記いずれかの開閉爪
と一体に移動する把持確認用検知部材と、前記本体の所
定位置に設けられた把持確認用センサとを備え、 前記開閉爪が試料を把持する位置まで移動したときに、
前記把持確認用センサが前記把持確認用検知部材を検出
するようにしたことを特徴とする熱機械分析装置。
2. The thermomechanical analyzer according to claim 1, wherein the gripping means includes a main body, a plurality of open / close claws provided on the main body so as to be openable and closable, and cooperates to hold the sample. A driving unit for driving the opening and closing, a gripping detection member that moves integrally with one of the opening and closing claws, and a gripping sensor provided at a predetermined position of the main body, wherein the opening and closing claws grip the sample. When you move to the position where
A thermomechanical analyzer, wherein the gripping confirmation sensor detects the gripping confirmation detecting member.
【請求項3】 請求項2記載の熱機械分析装置におい
て、 前記把持確認用センサは、前記本体上の固定位置を任意
に調整可能としたことを特徴とする熱機械分析装置。
3. The thermomechanical analyzer according to claim 2, wherein the gripping confirmation sensor is capable of arbitrarily adjusting a fixed position on the main body.
【請求項4】 請求項2又は3記載の熱機械分析装置に
おいて、 前記把持手段に、前記開閉爪又は本体が外部から圧力を
受けたとき、該圧力を伸縮動作により緩衝するダンパ部
材を設けるとともに、該ダンパ部材の外力作用による所
定量の縮みを検出する当接監視用センサを備えることを
特徴とする熱機械分析装置。
4. The thermomechanical analyzer according to claim 2, wherein the gripping means is provided with a damper member for buffering the pressure by an expansion / contraction operation when the opening / closing claw or the main body receives a pressure from the outside. A thermomechanical analyzer comprising a contact monitoring sensor for detecting a predetermined amount of contraction due to an external force acting on the damper member.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105527312A (en) * 2016-01-04 2016-04-27 中国科学院过程工程研究所 Method for analyzing melting characteristics of biomass ash
JP2020056704A (en) * 2018-10-03 2020-04-09 株式会社玉川製作所 Automatic sample exchange device for vibrating sample magnetometer

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