JPH10103551A - マニホールド - Google Patents

マニホールド

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JPH10103551A
JPH10103551A JP8257993A JP25799396A JPH10103551A JP H10103551 A JPH10103551 A JP H10103551A JP 8257993 A JP8257993 A JP 8257993A JP 25799396 A JP25799396 A JP 25799396A JP H10103551 A JPH10103551 A JP H10103551A
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JP
Japan
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pilot
pressure
manifold
valve
air
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JP8257993A
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English (en)
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Tomohiko Hibino
智彦 日比野
Yoshihide Kaneko
喜英 金子
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CKD Corp
Original Assignee
CKD Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 各パイロット電磁弁の切換応答を安定させる
ことができ、かつ安価なマニホールドを提供すること。 【解決手段】 内部に共通の給気流路Pと排気流路R及
びパイロット給気流路PAが形成された略直方体をなす
マニホールドベース2と、マニホールドベース2に互い
に隣接して並行に取り付けられ、給気流路P、排気流路
R、及びパイロット給気流路PAが各々連通する2以上
のパイロット形電磁弁3,3…とを備えるマニホールド
1に、給気流路Pに供給される空気圧を所定の圧力に減
圧して、パイロット給気流路PAへ供給する減圧弁7を
マニホールドベース2に有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、多連数のパイロッ
ト形電磁弁により構成されるマニホールドに関するもの
であり、さらに詳細には、パイロット流体の処理に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来より、流体圧機器はローコストで、
省力化、自動化が可能となるために、多方面の産業にお
いて使用されている。また、作動流体として空気を用い
れば、環境を清潔に保てるために、最近半導体の製造ラ
インにおいても使用されている。また、省配管、小型化
を図るために、多連数の電磁弁を一体化してマニホール
ドとして使用されている。一般的に、1ラインで数百個
単位で使用されている。そして、マニホールドは流体圧
作動機器等に接続されて、流体圧作動機器等の動きを制
御している。マニホールドと流体圧作動機器の接続ライ
ンの長さは、できる限り短い方がより精度良く制御でき
るため、マニホールドの多くは流体圧作動機器の近辺に
設置されている。
【0003】また、これらマニホールドに搭載される流
路切換弁は、パイロット空気圧により主弁体を駆動させ
る周知のパイロット形電磁弁が一般的である。このパイ
ロット形電磁弁は、マニホールドベースの給気流路から
主弁に供給される圧力空気を、そのままパイロット空気
圧としてパイロット弁に供給している。
【0004】しかしながら、従来のパイロット形電磁弁
に高圧の圧力空気を供給すると、 (1)主弁に供給される空気圧は、流体圧作動機器等へ
の供給で消費されることにより変動し、同時にパイロッ
ト空気圧も変動するために、主弁の切換応答時間が変化
する。 (2)通常、パイロット弁はコスト低減のために耐圧性
が低く設計されているので、パイロット弁が正常に作動
しない可能性が高い。すなわち、高圧に対してポペット
シールができない、あるいはシール解除ができなくなる
可能性がある。 (3)パイロット弁の耐圧性を高くするためには、ソレ
ノイドが大形かつ高価になる。 という種々の問題があり、これらを解決するためのパイ
ロット形電磁弁についての考案が実開平1−98983
号公報に開示されている。
【0005】そこで、上記公報記載のパイロット形電磁
弁について、図5を用いて説明する。パイロット形電磁
弁51は周知の5ポート電磁弁を基本にして、主弁本体
56、パイロット弁53、及び周知の減圧弁52から構
成されている。主弁本体56には、圧力空気の給気ポー
トp、排気ポートra,rb、及び出力ポートa,bが
形成され、該出力ポートa,bを給気ポートpと排気ポ
ートra,rbに切り替えて、連通させるパイロット空
気駆動の主弁体58が備わっている。また、パイロット
弁53はソレノイドの励磁とその解除により、パイロッ
ト空気圧の流れを制御する周知の3ポート弁として構成
されている。そして、減圧弁52は主弁本体56とパイ
ロット弁53の間に配置されている。以上のように構成
されたパイロット形電磁弁51を多数、マニホールドベ
ース54に搭載してマニホールド化している。
【0006】上記パイロット形電磁弁51は次のように
作用する。すなわち、パイロット形電磁弁51に供給さ
れる圧力空気が、減圧弁52を通りパイロット空気圧と
して、パイロット弁53に供給される。そして、ソレノ
イドの励磁とその解除により、パイロット弁53から主
弁本体56のピストン室55にパイロット空気圧が給排
され主弁体58が摺動する。よって、主弁本体56の各
ポートの連通状態が切り替わる。
【0007】この場合、パイロット弁に供給されるパイ
ロット空気圧は、主弁本体とパイロット弁の間に設けた
減圧弁によって減圧されているため、供給空気圧が変動
していてもパイロット空気圧は変動しない。よって、主
弁体の応答時間は一定となり、切換応答が安定する。ま
た、供給空気圧が高圧であっても、パイロット空気圧は
減圧されているので、耐圧性の低いパイロット弁を使用
できるため、パイロット形電磁弁を安価で小形に製作で
きる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報記載のパイロット形電磁弁を用いてマニホールド構成
するには次のような問題があった。すなわち、各パイロ
ット電磁弁に減圧弁が組み込まれているので、各パイロ
ット電磁弁自体が従来のものと比較して大形かつ高価に
なるため、マニホールドとしての設置スペースを損な
い、しかも非常に高価になるという問題がある。
【0009】また、パイロット電磁弁に減圧弁が組み込
まれているので、減圧後の2次圧力室の容積確保が困難
であり、高頻度作動時にはパイロット電磁弁の切換応答
が不安定になるという問題もある。
【0010】そこで本発明は、上記問題点を解決するた
めになされたものであり、各パイロット電磁弁の切換応
答を安定させることができ、かつ安価なマニホールドを
提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記した問題点を解決す
るために請求項1に記載する発明によれば、内部に共通
の給気流路と排気流路及びパイロット給気流路が形成さ
れた略直方体をなすマニホールドベースと、該マニホー
ルドベースに互いに隣接して並行に取り付けられ、該給
気流路、該排気流路、及び該パイロット給気流路が各々
連通する2以上のパイロット形電磁弁とを備えるマニホ
ールドにおいて、前記給気流路に供給される空気圧を所
定の圧力に減圧して、前記パイロット給気流路へ供給す
る減圧弁を前記マニホールドベースに有することを特徴
とする。
【0012】請求項2に記載する発明によれば、上記問
題点を解決するために、請求項1に記載するマニホール
ドにおいて、前記減圧弁が、一定圧にする定圧レギュレ
ータであることを特徴とする。
【0013】請求項3に記載する発明によれば、上記問
題点を解決するために、請求項1または請求項2に記載
するマニホールドにおいて、前記減圧弁が、前記給気流
路と連通する入力ポートに逆止弁を有することを特徴と
する。
【0014】上記構成を有するマニホールドによれば、
マニホールドベースに減圧弁を設けてメインの供給空気
圧を減圧して、パイロット空気圧として各パイロット弁
に供給しているので、供給空気圧が圧力変動していても
パイロット形電磁弁の切換応答を安定させることができ
る。また、切換応答を安定させるために、減圧弁を各パ
イロット形電磁弁に組み込む必要がなく、従来のパイロ
ット形電磁弁を使用できるので、マニホールドを小形か
つ安価に構成することができる。しかも、使用空気圧が
高圧の場合において、パイロット空気圧は減圧されるた
め既存のパイロット形電磁弁より構成するマニホールド
の使用圧力範囲を広げることができる。
【0015】さらに、減圧後の2次圧力室として機能す
るパイロット給気流路を形成しているので、十分な2次
圧力室の容積を確保できるため、高頻度作動においても
パイロット空気圧が変動しないからパイロット形電磁弁
の切換応答を安定させることができる。
【0016】また、マニホールドに設ける減圧弁を定圧
レギュレータにすることにより、マニホールド使用時に
行なっている減圧弁の調圧作業を行なう必要がなくなり
作業性が向上、かつ減圧弁に調圧部がないので信頼性が
向上する。
【0017】また、マニホールドに設ける減圧弁の入口
ポートに逆止弁を設けることにより、供給空気が大量に
消費されたときに、減圧されたパイロット空気が給気流
路へ逆流することを防ぐことができる。よって、供給空
気が大量に消費される場合においても、パイロット空気
圧が変動しないためパイロット形電磁弁の切換応答を安
定させることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るマニホールド
について、具体化した実施の形態を挙げ、図面に基づい
て詳細に説明する。図1、2に本発明の第1の実施の形
態であるマニホールド1を示す。図1はマニホールド1
の斜視図、図2は減圧弁の断面図である。図1におい
て、マニホールドベース2は周知の一体型マニホールド
ベースであり、直方体形状をなし、長手方向に給気流路
P、排気流路RA,RB、及びパイロット給気流路P
A、並びに出力ポートA,A…、及びB,B…が形成さ
れている。
【0019】また、マニホールドベース2に搭載されて
いるパイロット形電磁弁3,3…は周知の5ポート電磁
弁である。このパイロット形電磁弁3は、主弁本体6、
パイロット弁4、及び弁組立5により構成されている。
主弁本体6には、マニホールドベース2の給気流路P、
排気流路RA,RB、及び出力ポートA,Bにそれぞれ
連通する給気ポート、排気ポート、及び出力ポートが形
成され、該出力ポートを該給気ポートと該排気ポートに
切り換えて、連通させるパイロット空気圧駆動の主弁体
が備わっている。パイロット弁4はソレノイドの励磁と
その解除により、パイロット出力ポートをパイロット給
気ポートあるいはパイロット排気ポートに連通させて、
パイロット空気の給排を制御する周知の3ポート弁とし
て構成されている。弁組立5にはパイロット空気が供給
されるピストン室が形成され、該ピストン室には主弁体
に当接し、パイロット空気により摺動するピストンが備
わっている。
【0020】一方、マニホールドベース2にパイロット
形電磁弁3,3…とともに搭載されている減圧弁7につ
いて、図2を用いて説明する。図2は減圧弁7の断面を
示している。マニホールドベース2のパイロット給気流
路PAに連通する減圧供給ポート10と弁座11aが形
成された弁本体11に、マニホールドベース2の給気流
路Pに連通する入力ポート12が形成されたバルブガイ
ド13と、調圧ピストン室14が形成されたカバー15
とが取り付けられている。そして、入力ポート12と減
圧供給ポート10が連通しており、バルブガイド13の
入力ポート12内に備わる弁体16に、弁本体11に備
わるバルブステム17が連結され、該バルブステム17
の他端はカバー15の調圧ピストン室14に備わる調圧
ピストン18に当接している。
【0021】また、弁体16はバネ19の付勢力により
弁座11aに当接している。一方、カバー15にはバネ
押え20が摺動可能に嵌入されており、このバネ押え2
0と調圧ピストン18の間に調圧バネ21が縮設され、
バネ押え20の他端にはカバー15に螺着された調圧ネ
ジ22の先端が当接している。この調圧ネジ22の回動
によりバネ押え20が摺動し、調圧バネ21の付勢力を
変更させることができる。
【0022】上記構成を有する減圧弁7は次のように作
用する。まず、調圧バネ21の付勢力が調圧ピストン室
14の圧力より大きいときは、調圧ピストン18が図2
において右動してバルブステム17を介して弁体16を
右動させるため、弁体16が弁座11aより離間して入
力ポート12と減圧供給ポート10が連通し、減圧供給
ポート10の圧力が上昇する。そして、減圧供給ポート
10と調圧ピストン室14は連通孔23により連通して
いるので、調圧ピストン室14の圧力が上昇する。一
方、調圧バネ21の付勢力が調圧ピストン室14の圧力
より小さいときは、調圧ピストン18が左動し、バルブ
ステム17の先端が調圧ピストン18から離間するた
め、調圧ピストン18に形成された貫通孔24が開放さ
れる。そして、貫通孔24が開放されると、調圧ピスト
ン室14が外部と連通し、調圧ピストン室14の圧力が
低下する。
【0023】上記した減圧弁7は、図1に示すように、
マニホールドベース2にパイロット形電磁弁5,5…と
同じ方法で取り付けられ、従来より使用している耐圧性
の低いパイロット電磁弁とともにマニホールド1を構成
している。すなわち、従来より使用しているパイロット
形電磁弁を流用して、マニホールドの使用可能圧力範囲
を広げることができる。
【0024】ここで、パイロット空気の供給について、
図2を用いて説明する。まずマニホールドベース2の給
気流路Pに供給されるメインの供給空気が、マニホール
ドベース2の入口ポート12から減圧弁7に供給され
る。そして、減圧弁7により減圧された供給空気がマニ
ホールドベース2のパイロット給気流路PAに供給さ
れ、これがパイロット空気圧として各パイロット弁に供
給される。すなわち、パイロット給気流路が減圧後の2
次圧力室として機能し、十分な容積を確保できるため、
高頻度作動においてもパイロット空気圧が変動しないか
らパイロット形電磁弁の切換応答を安定させることがで
きる。その後、パイロット空気はパイロット弁によりピ
ストン室に給排され、このパイロット空気の給排により
主弁体が駆動され、パイロット形電磁弁の流路切換えが
行なわれる。
【0025】本実施の形態では、マニホールドベースに
減圧弁を設け供給空気圧を減圧しているが、この場合減
圧後のパイロット空気圧は、マニホールド使用者が圧力
計をマニホールドに接続して、使用可能圧力以下に設定
する調圧作業を伴うため、作業性が低下する。そこで、
図3に示す定圧レギュレータ30を減圧弁7の代わりに
使用すれば、調圧作業が不要となり作業性が向上する。
この定圧レギュレータ30は、減圧弁7において調圧設
定部である調圧ネジが22がなく、その他の構成は減圧
弁と同じである。低圧レギュレータ30の設定圧は、も
ちろんパイロット弁4の使用可能圧力範囲に設定されて
いる。
【0026】以上説明したように第1の実施の形態のマ
ニホールドによれば、マニホールドベースに減圧弁を設
けてメインの供給空気圧を減圧して、パイロット空気圧
として各パイロット弁に供給しているので、供給空気圧
が圧力変動していてもパイロット形電磁弁の切換応答を
安定させることができる。また、切換応答を安定させる
ための減圧弁を各パイロット形電磁弁に組み込む必要が
なく、既存のパイロット電磁弁を利用してマニホールド
を構成しているため、、マニホールドを小形かつ安価に
構成することができる。しかも、使用空気圧が高圧の場
合においても、パイロット空気圧は減圧されるため既存
のパイロット形電磁弁より構成するマニホールドの使用
圧力範囲を広げることができる。
【0027】さらに、減圧後の2次圧力室として機能す
るパイロット給気流路を形成しているので、十分な2次
圧力室の容積を確保できるため、高頻度作動においても
パイロット空気圧が変動しないからパイロット形電磁弁
の切換応答を安定させることができる。
【0028】また、マニホールドに設ける減圧弁を定圧
レギュレータにすることにより、マニホールド使用時に
行なっている減圧弁の調圧作業を行なう必要がなくなり
作業性が向上、かつ減圧弁に調圧部がないので信頼性が
向上する。
【0029】続いて、第2の実施の形態のマニホールド
の一部である減圧弁の断面を図4に示す。第1の実施の
形態におけるマニホールドとの違いは、減圧弁40の入
口ポート12に逆止弁41を設けている点である。図4
においては、減圧弁40本体に逆止弁41を設けている
が、もちろんマニホールドベース2内に設けることも可
能である。
【0030】上記構成を有するマニホールドは次のよう
に作用する。すなわち、供給空気が大量に消費されたと
き一時的に給気流路P内の空気圧が低下する。この圧力
低下によって給気流路P内の圧力がパイロット給気流路
PA内の圧力より低くなると、パイロット空気圧が給気
流路Pに逆流するため、パイロット空気圧に変動が起こ
る。しかし、入力ポート12に逆止弁41を設けている
ので、供給空気のパイロット給気流路PAへの流れは、
逆止弁41の自由流れ方向のため流れるが、パイロット
空気の給気流路Pへの流れは、逆止弁41により制御さ
れるため流れない。すなわち、パイロット空気のパイロ
ット給気流路PAから給気流路Pへの逆流は逆止弁41
により防止されている。従って、パイロット空気の逆流
によるパイロット空気圧の変動を防止することができ
る。
【0031】第2の実施の形態のマニホールドによれ
ば、マニホールドに設ける減圧弁の入口ポートに逆止弁
を設けることにより、供給空気が大量に消費されたとき
に、減圧されたパイロット空気がパイロット給気流路か
ら給気流路へ逆流することを防ぐことができる。よっ
て、供給空気が大量に消費される場合においても、パイ
ロット給気流路内におけるパイロット空気圧の変動が起
らないため、パイロット形電磁弁の切換応答を安定させ
ることができる。
【0032】以上本発明の実施の形態について説明した
が、本発明は上記実施の形態に限ることなく、色々な応
用が可能である。例えば、第1の実施の形態では、減圧
弁をマニホールドベースに取り付ける構造であるが、パ
イロット給気流路にポートを設けて外部に減圧弁を設置
することも可能である。
【0033】
【発明の効果】本発明のマニホールドによれば、内部に
共通の給気流路と排気流路及びパイロット給気流路が形
成された略直方体をなすマニホールドベースと、該マニ
ホールドベースに互いに隣接して並行に取り付けられ、
該給気流路、該排気流路、及び該パイロット給気流路が
各々連通する2以上のパイロット形電磁弁とを備えるマ
ニホールドにおいて、耐圧性の低いパイロット弁で前記
パイロット形電磁弁を構成し、前記給気流路に供給され
る空気圧を所定の圧力に減圧して、前記パイロット給気
流路へ供給する減圧弁を前記マニホールドベースに有す
るので、メインの供給空気圧を減圧して、パイロット空
気圧として各パイロット弁に供給しているため、供給空
気圧が圧力変動していてもパイロット空気圧は変動しな
いから、パイロット形電磁弁の切換応答を安定させるこ
とができる。
【0034】また、切換応答を安定させるために、減圧
弁を各パイロット形電磁弁に組み込む必要がなく、従来
のパイロット形電磁弁を使用できるので、マニホールド
を小形かつ安価に構成することができる。しかも、使用
空気圧が高圧の場合において、パイロット空気圧は減圧
されるため既存のパイロット形電磁弁より構成されるマ
ニホールドの使用圧力範囲を広げることができる。
【0035】さらに、減圧後の2次圧力室として機能す
るパイロット給気流路を形成しているので、十分な2次
圧力室の容積を確保できるため、高頻度作動においても
パイロット空気圧が変動しないからパイロット形電磁弁
の切換応答を安定させることができる。
【0036】また、マニホールドに設ける減圧弁を定圧
レギュレータにすることにより、マニホールド使用時に
行なっている減圧弁の調圧作業を行なう必要がなくなり
作業性が向上、かつ減圧弁に調圧部がないので信頼性が
向上する。
【0037】また、マニホールドに設ける減圧弁の入口
ポートに逆止弁を設けることにより、供給空気が大量に
消費されたときに、減圧されたパイロット空気が給気流
路へ逆流することを防ぐことができる。よって、供給空
気が大量に消費される場合においても、パイロット空気
圧が変動しないためパイロット形電磁弁の切換応答を安
定させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態に係るマニホールドの斜視図
である。
【図2】第1の実施の形態に係るマニホールドの一部で
ある減圧弁の断面図である。
【図3】第1の実施の形態に係るマニホールドの一部で
ある定圧レギュレータの断面図である。
【図4】第2の実施の形態に係るマニホールドの一部で
ある減圧弁の断面図である。
【図5】従来のマニホールドの断面図である。
【符号の説明】
1 マニホールド 2 マニホールドベース 3 パイロット形電磁弁 4 パイロット弁 5 弁組立 6 主弁本体 7 減圧弁 10 減圧供給ポート 12 入口ポート P 給気流路 PA パイロット給気流路 RA,RB 排気流路 A,B 出力ポート

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部に共通の給気流路と排気流路及びパ
    イロット給気流路が形成された略直方体をなすマニホー
    ルドベースと、 該マニホールドベースに互いに隣接して並行に取り付け
    られ、該給気流路、該排気流路、及び該パイロット給気
    流路が各々連通する2以上のパイロット形電磁弁とを備
    えるマニホールドにおいて、 前記給気流路に供給される空気圧を所定の圧力に減圧し
    て、前記パイロット給気流路へ供給する減圧弁を前記マ
    ニホールドベースに有することを特徴とするマニホール
    ド。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載するマニホールドにおい
    て、 前記減圧弁が、一定圧にする定圧レギュレータであるこ
    とを特徴とするマニホールド。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載するマニ
    ホールドにおいて、 前記減圧弁が、前記給気流路と連通する入力ポートに逆
    止弁を有することを特徴とするマニホールド。
JP8257993A 1996-09-30 1996-09-30 マニホールド Pending JPH10103551A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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