JPH0991661A - Magnetic recording medium and its production - Google Patents

Magnetic recording medium and its production

Info

Publication number
JPH0991661A
JPH0991661A JP24904795A JP24904795A JPH0991661A JP H0991661 A JPH0991661 A JP H0991661A JP 24904795 A JP24904795 A JP 24904795A JP 24904795 A JP24904795 A JP 24904795A JP H0991661 A JPH0991661 A JP H0991661A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
amount
film
magnetic
recording medium
magnetic film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP24904795A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Noriyuki Kitaori
典之 北折
Osamu Yoshida
修 吉田
Katsumi Sasaki
克己 佐々木
Junko Ishikawa
准子 石川
Katsumi Endo
克巳 遠藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kao Corp
Original Assignee
Kao Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kao Corp filed Critical Kao Corp
Priority to JP24904795A priority Critical patent/JPH0991661A/en
Publication of JPH0991661A publication Critical patent/JPH0991661A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Thin Magnetic Films (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a magnetic recording medium having high corrosion resistance and high output over the range from a low band to a high band by specifying the amts. of Fe, Co+Ni, C and O in a magnetic film having a prescribed compsn. SOLUTION: A substrate 1 is made of a polymer material such as an olefinic resin like polyethylene terephthalate or vinyl chloride resin and glass, and a magnetic film 3 of Fe-X-C-O (X is Co and/or Ni) is formed on the substrate 1 after an undercoat layer is formed, at need so as to improve the adhesion of the magnetic film. The amts. of Fe, X, C and O in the magnetic film 3 are 30-88at.%, 2-40at.%, 5-35at.% and 5-35at.%, respectively. The objective magnetic recording medium having high corrosion resistance and high output over the range from a low band to a high band is obtd.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体及び
その製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium and its manufacturing method.

【０００２】[0002]

【発明が解決しようとする課題】磁気テープ等の磁気記
録媒体においては、高密度記録化の要請から、非磁性支
持体上に設けられる磁性層として、バインダ樹脂を用い
た塗布型のものではなく、バインダ樹脂を用いない金属
薄膜型のものが提案されている。すなわち、無電解メッ
キ等の湿式メッキ手段、真空蒸着、スパッタリングある
いはイオンプレーティング等の乾式メッキ手段により磁
性層を構成した磁気記録媒体が提案されている。そし
て、この種の磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いこ
とから、高密度記録に適したものである。この種の金属
薄膜型の磁気記録媒体における磁性材料としては、例え
ばＣｏ−Ｃｒ合金やＣｏ−Ｎｉ合金などの磁性金属が用
いられている。しかし、Ｃｏは稀少物質であることか
ら、多量に使用するとコストが高く付く。In a magnetic recording medium such as a magnetic tape, a magnetic layer provided on a non-magnetic support is not a coating type using a binder resin because of a demand for high density recording. , A metal thin film type that does not use a binder resin has been proposed. That is, there has been proposed a magnetic recording medium having a magnetic layer formed by a wet plating means such as electroless plating, or a dry plating means such as vacuum deposition, sputtering or ion plating. This kind of magnetic recording medium is suitable for high-density recording because of its high packing density of magnetic material. As a magnetic material in this kind of metal thin film type magnetic recording medium, a magnetic metal such as a Co—Cr alloy or a Co—Ni alloy is used. However, since Co is a rare substance, the cost increases when used in a large amount.

【０００３】そこで、非Ｃｏ系金属磁性材料としてＦｅ
とＮｉが考えられるものの、Ｆｅは安価であり、かつ、
環境汚染の問題も少なく、更には飽和磁化が大きいこと
から、金属薄膜型の磁気記録媒体の磁性材料としてＦｅ
が注目され始めた。しかし、Ｆｅは錆やすいことから、
化学的に安定なものとする必要が有る。このような観点
から、磁性膜をＦｅx Ｎ（Ｆｅ−Ｎ），Ｆｅ−Ｎｉ−Ｎ
−Ｏ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎ−Ｏで構成することが提案され
た。そして、これらの磁性膜で構成した磁気記録媒体
は、磁気特性が良好であり、かつ、耐蝕性に優れ、高密
度記録に優れたものである。Therefore, Fe is used as a non-Co metallic magnetic material.
Although Ni can be considered, Fe is inexpensive and
Since there are few problems of environmental pollution and the saturation magnetization is large, Fe is used as a magnetic material of a metal thin film type magnetic recording medium.
Started to be noticed. However, since Fe easily rusts,
It needs to be chemically stable. From such a viewpoint, the magnetic film is formed of Fe x N (Fe-N), Fe-Ni-N.
It has been proposed to construct with —O, Fe—Co—N—O. The magnetic recording medium composed of these magnetic films has good magnetic characteristics, excellent corrosion resistance, and high density recording.

【０００４】しかし、最近においては、より厳しい使用
環境下での耐久性が求められ、又、より高い出力が求め
られるようになった。例えば、Ｆｅ−Ｎ膜は酸に弱く、
このような環境下での使用には耐えられない。従って、
本発明の目的は、より耐蝕性に優れ、かつ、再生出力が
より高い磁気記録媒体を提供することである。However, in recent years, durability has been required in more severe operating environments, and higher output has been required. For example, the Fe-N film is weak against acid,
It cannot withstand use in such an environment. Therefore,
An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium which is more excellent in corrosion resistance and has a higher reproduction output.

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】前記本発明の目的は、Ｆ
ｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ系の磁性膜（ＸはＣｏ及びＮｉの群の中
から選ばれる一つ若しくは二つ）を備えてなり、前記磁
性膜におけるＦｅ量、Ｘ量、Ｃ量、及びＯ量は ３０ａｔ．％≦Ｆｅ量≦８８ａｔ．％ ２ａｔ．％≦Ｘ量≦４０ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｃ量≦３５ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｏ量≦３５ａｔ．％ を満たすことを特徴とする磁気記録媒体によって達成さ
れる。The above-mentioned object of the present invention is F
An e—X—C—O system magnetic film (X is one or two selected from the group consisting of Co and Ni) is provided, and the Fe amount, the X amount, the C amount, and the O amount in the magnetic film are provided. The amount is 30 at. % ≦ Fe amount ≦ 88 at. % 2 at. % ≦ X amount ≦ 40 at. % 5 at. % ≦ C amount ≦ 35 at. % 5 at. % ≦ O amount ≦ 35 at. % Of the magnetic recording medium.

【０００６】そして、この磁気記録媒体は、支持体上に
イオンアシスト法により磁性膜を成膜して磁気記録媒体
を製造する方法であって、蒸発源物質としてＦｅ及びＸ
（ＸはＣｏ，Ｎｉ又はＣｏ−Ｎｉ合金）が用いられての
蒸着工程と、炭素イオンを蒸着Ｆｅ−Ｘ膜に衝突させる
衝突工程と、酸素イオンを蒸着Ｆｅ−Ｘ膜に衝突させる
衝突工程とを具備することを特徴とする磁気記録媒体の
製造方法によって得られる。This magnetic recording medium is a method for producing a magnetic recording medium by forming a magnetic film on a support by an ion assist method, and Fe and X are used as evaporation source substances.
(X is Co, Ni, or Co-Ni alloy), a vapor deposition process, a collision process in which carbon ions collide with the vapor deposition Fe-X film, and a collision process in which oxygen ions collide with the vapor deposition Fe-X film. And a magnetic recording medium manufacturing method.

【０００７】又、支持体上にイオンアシスト法により磁
性膜を成膜して磁気記録媒体を製造する方法であって、
蒸発源物質としてＦｅ及びＸ（ＸはＣｏ，Ｎｉ又はＣｏ
−Ｎｉ合金）が用いられての蒸着工程と、炭素イオンを
蒸着Ｆｅ−Ｘ膜に衝突させる衝突工程と、活性酸素を蒸
着Ｆｅ−Ｘ膜に衝突させる衝突工程とを具備することを
特徴とする磁気記録媒体の製造方法によって得られる。A method of manufacturing a magnetic recording medium by forming a magnetic film on a support by an ion assist method,
Fe and X (X is Co, Ni or Co as evaporation source substances
-Ni alloy) is used, a collision process of causing carbon ions to collide with the deposited Fe-X film, and a collision process of causing active oxygen to collide with the deposited Fe-X film. It is obtained by the method of manufacturing a magnetic recording medium.

【０００８】ここで、蒸発源物質としてＦｅ及びＸ（Ｘ
はＣｏ，Ｎｉ又はＣｏ−Ｎｉ合金）が用いられてとは、
Ｆｅ元素とＸ元素が用いられての意味であり、金属Ｆｅ
と金属Ｘとが単体で、あるいはＦｅ−Ｘ合金いずれの形
で用いられても良い。本発明の磁気記録媒体の磁性膜
は、一つであっても複数積層膜であっても良い。磁性膜
が一つしかない場合には、当然、Ｆｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ系の
磁性膜であり、従ってＦｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ系の磁性膜の上
には記録再生に用いられる磁性膜はない。磁性膜が二つ
以上ある場合には、少なくとも一つの磁性膜がＦｅ−Ｘ
−Ｃ−Ｏ系の磁性膜である。そして、Ｆｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ
系の磁性膜以外の磁性膜があっても良いが、Ｆｅ−Ｘ−
Ｃ−Ｏ系の磁性膜の上に他の種類の磁性膜はない方が好
ましい。すなわち、Ｆｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ系の磁性膜が磁性
膜の中では最上層にあるのが好ましい。Here, Fe and X (X
Is a Co, Ni or Co-Ni alloy)
It means that Fe element and X element are used, and metallic Fe
And the metal X may be used alone or in the form of Fe—X alloy. The magnetic film of the magnetic recording medium of the present invention may be a single film or a laminated film. When there is only one magnetic film, it is a Fe-X-C-O-based magnetic film as a matter of course. Therefore, a magnetic film used for recording and reproduction is provided on the Fe-X-C-O-based magnetic film. There is no. When there are two or more magnetic films, at least one magnetic film is Fe-X.
It is a -CO magnetic film. And Fe-X-C-O
There may be a magnetic film other than the system magnetic film, but Fe--X--
It is preferable that no other kind of magnetic film is provided on the C—O based magnetic film. That is, it is preferable that the Fe—X—C—O based magnetic film is the uppermost layer in the magnetic film.

【０００９】本発明の磁気記録媒体の磁性膜は、面内方
向（磁気テープのような長尺状のものの場合には、面内
長手方向）の保磁力が９００Ｏｅ以上（特に、１０００
Ｏｅ以上）あるのが好ましい。尚、上記Ｆｅ−Ｘ−Ｃ−
Ｏ系の磁性膜、すなわちＦｅ−Ｃｏ−Ｃ−Ｏ磁性膜、Ｆ
ｅ−Ｎｉ−Ｃ−Ｏ磁性膜、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ−Ｃ−Ｏ磁
性膜の中でも、電磁変換特性、特に出力、中でも低域で
の出力の面からすればＦｅ−Ｃｏ−Ｃ−Ｏ磁性膜が好ま
しい。このような場合、Ｆｅ量、Ｃｏ量、Ｃ量、及びＯ
量のより好ましい割合は、 ５０ａｔ．％≦Ｆｅ量≦８５ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｃｏ量≦４０ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｃ量≦２５ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｏ量≦２５ａｔ．％ である。The magnetic film of the magnetic recording medium of the present invention has a coercive force of 900 Oe or more (in particular, 1000 Oe in the in-plane direction in the case of a long material such as a magnetic tape).
Oe or more) is preferable. The above Fe-X-C-
O-based magnetic film, that is, Fe—Co—C—O magnetic film, F
Among the e-Ni-C-O magnetic film and the Fe-Ni-Co-C-O magnetic film, the Fe-Co-C-O magnetic film is used in terms of electromagnetic conversion characteristics, particularly output, especially output in the low range. Membranes are preferred. In such a case, Fe content, Co content, C content, and O content
A more preferable ratio of the amount is 50 at. % ≦ Fe amount ≦ 85 at. % 5 at. % ≦ Co amount ≦ 40 at. % 5 at. % ≦ C amount ≦ 25 at. % 5 at. % ≦ O amount ≦ 25 at. %.

【００１０】上記Ｆｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ系の磁性膜の中で
も、耐蝕性、特に酸性雰囲気中での耐蝕性の面からすれ
ばＦｅ−Ｎｉ−Ｃ−Ｏ磁性膜が好ましい。このような場
合、Ｆｅ量、Ｎｉ量、Ｃ量、及びＯ量のより好ましい割
合は、 ３０ａｔ．％≦Ｆｅ量≦７０ａｔ．％ １０ａｔ．％≦Ｎｉ量≦４０ａｔ．％ １０ａｔ．％≦Ｃ量≦３５ａｔ．％ １０ａｔ．％≦Ｏ量≦３５ａｔ．％ である。Among the Fe—X—C—O type magnetic films, the Fe—Ni—C—O magnetic film is preferable from the viewpoint of corrosion resistance, particularly in acid atmosphere. In such a case, a more preferable ratio of the amount of Fe, the amount of Ni, the amount of C, and the amount of O is 30 at. % ≦ Fe amount ≦ 70 at. % 10 at. % ≦ Ni amount ≦ 40 at. % 10 at. % ≦ C amount ≦ 35 at. % 10 at. % ≦ O amount ≦ 35 at. %.

【００１１】上記Ｆｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ系の磁性膜の中で
も、磁気特性、中でも特に保磁力や、電磁変換特性、特
に出力、中でも高域での出力の面からすればＦｅ−Ｎｉ
−Ｃｏ−Ｃ−Ｏ磁性膜が好ましい。このような場合、Ｆ
ｅ量、Ｎｉ量、Ｃｏ量、Ｃ量、及びＯ量のより好ましい
割合は、 ４０ａｔ．％≦Ｆｅ量≦８８ａｔ．％ １ａｔ．％≦Ｎｉ量≦２０ａｔ．％ １ａｔ．％≦Ｃｏ量≦２０ａｔ．％ ２ａｔ．％≦Ｎｉ量＋Ｃｏ量≦４０ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｃ量≦２５ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｏ量≦２５ａｔ．％ である。Among the above Fe—X—C—O type magnetic films, Fe—Ni in terms of magnetic characteristics, especially coercive force, electromagnetic conversion characteristics, particularly output, especially output in a high range.
A -Co-C-O magnetic film is preferable. In such a case, F
A more preferable ratio of the amount of e, the amount of Ni, the amount of Co, the amount of C, and the amount of O is 40 at. % ≦ Fe amount ≦ 88 at. % 1 at. % ≦ Ni amount ≦ 20 at. % 1 at. % ≦ Co amount ≦ 20 at. % 2 at. % ≦ Ni amount + Co amount ≦ 40 at. % 5 at. % ≦ C amount ≦ 25 at. % 5 at. % ≦ O amount ≦ 25 at. %.

【００１２】[0012]

【発明の実施の形態】本発明に係る磁気記録媒体の製造
方法は、支持体上にイオンアシスト法により磁性膜を成
膜して磁気記録媒体を製造する方法であって、蒸発源物
質としてＦｅ及びＸ（ＸはＣｏ，Ｎｉ又はＣｏ−Ｎｉ合
金）が用いられての蒸着工程と、炭素イオンを蒸着Ｆｅ
−Ｘ膜に衝突させる衝突工程と、酸素イオンを蒸着Ｆｅ
−Ｘ膜に衝突させる衝突工程とを具備する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A method for producing a magnetic recording medium according to the present invention is a method for producing a magnetic recording medium by forming a magnetic film on a support by an ion assist method, wherein Fe is used as an evaporation source substance. And X (X is Co, Ni or Co-Ni alloy) are used, and carbon ions are evaporated Fe.
-Collision process of colliding with X film and vapor deposition of oxygen ions Fe
A collision step of colliding with the X film.

【００１３】あるいは、支持体上にイオンアシスト法に
より磁性膜を成膜して磁気記録媒体を製造する方法であ
って、蒸発源物質としてＦｅ及びＸ（ＸはＣｏ，Ｎｉ又
はＣｏ−Ｎｉ合金）が用いられての蒸着工程と、炭素イ
オンを蒸着Ｆｅ−Ｘ膜に衝突させる衝突工程と、活性酸
素（例えば、酸素ガス、あるいはオゾン等）を蒸着Ｆｅ
−Ｘ膜に衝突させる衝突工程とを具備する。Alternatively, it is a method for producing a magnetic recording medium by forming a magnetic film on a support by an ion assist method, wherein Fe and X (X is Co, Ni or Co-Ni alloy) as evaporation source substances. Is used, a collision step of causing carbon ions to collide with the vapor-deposited Fe-X film, and active oxygen (for example, oxygen gas or ozone) is vapor-deposited.
A collision step of colliding with the X film.

【００１４】本発明に係る磁気記録媒体は、Ｆｅ−Ｘ−
Ｃ−Ｏ系の磁性膜（ＸはＣｏ及びＮｉの群の中から選ば
れる一つ若しくは二つ）を備えてなり、前記磁性膜にお
けるＦｅ量、Ｘ量、Ｃ量、及びＯ量は ３０ａｔ．％≦Ｆｅ量≦８８ａｔ．％ ２ａｔ．％≦Ｘ量≦４０ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｃ量≦３５ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｏ量≦３５ａｔ．％ を満たすものである。The magnetic recording medium according to the present invention comprises Fe--X--
A C—O based magnetic film (X is one or two selected from the group consisting of Co and Ni) is provided, and the Fe amount, the X amount, the C amount, and the O amount in the magnetic film are 30 at. % ≦ Fe amount ≦ 88 at. % 2 at. % ≦ X amount ≦ 40 at. % 5 at. % ≦ C amount ≦ 35 at. % 5 at. % ≦ O amount ≦ 35 at. % Is satisfied.

【００１５】特に、磁性膜がＦｅ−Ｃｏ−Ｃ−Ｏ磁性膜
の場合には、 ５０ａｔ．％≦Ｆｅ量≦８５ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｃｏ量≦４０ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｃ量≦２５ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｏ量≦２５ａｔ．％ を満たすものである。Particularly, when the magnetic film is a Fe-Co-C-O magnetic film, 50 at. % ≦ Fe amount ≦ 85 at. % 5 at. % ≦ Co amount ≦ 40 at. % 5 at. % ≦ C amount ≦ 25 at. % 5 at. % ≦ O amount ≦ 25 at. % Is satisfied.

【００１６】磁性膜がＦｅ−Ｎｉ−Ｃ−Ｏ磁性膜の場合
には、 ３０ａｔ．％≦Ｆｅ量≦７０ａｔ．％ １０ａｔ．％≦Ｎｉ量≦４０ａｔ．％ １０ａｔ．％≦Ｃ量≦３５ａｔ．％ １０ａｔ．％≦Ｏ量≦３５ａｔ．％ を満たすものである。When the magnetic film is a Fe-Ni-C-O magnetic film, 30 at. % ≦ Fe amount ≦ 70 at. % 10 at. % ≦ Ni amount ≦ 40 at. % 10 at. % ≦ C amount ≦ 35 at. % 10 at. % ≦ O amount ≦ 35 at. % Is satisfied.

【００１７】磁性膜がＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ−Ｃ−Ｏ磁性膜
の場合には、 ４０ａｔ．％≦Ｆｅ量≦８８ａｔ．％ １ａｔ．％≦Ｎｉ量≦１０ａｔ．％ １ａｔ．％≦Ｃｏ量≦１０ａｔ．％ ２ａｔ．％≦Ｎｉ量＋Ｃｏ量≦２０ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｃ量≦２５ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｏ量≦２５ａｔ．％ を満たすものである。When the magnetic film is a Fe-Ni-Co-C-O magnetic film, 40 at. % ≦ Fe amount ≦ 88 at. % 1 at. % ≦ Ni amount ≦ 10 at. % 1 at. % ≦ Co amount ≦ 10 at. % 2 at. % ≦ Ni amount + Co amount ≦ 20 at. % 5 at. % ≦ C amount ≦ 25 at. % 5 at. % ≦ O amount ≦ 25 at. % Is satisfied.

【００１８】以下、本発明について更に詳しく説明す
る。図１は、本発明になる磁気記録媒体の概略断面図で
ある。図１中、１は支持体である。この支持体１は磁性
を有するものでも非磁性のものでも良いが、一般的に
は、非磁性のものである。例えば、ポリエチレンテレフ
タレート等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、
ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレン等
のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニ
ル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミック等
の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料が用い
られる。The present invention will be described in more detail below. FIG. 1 is a schematic sectional view of a magnetic recording medium according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a support. The support 1 may be magnetic or non-magnetic, but is generally non-magnetic. For example, polyester such as polyethylene terephthalate, polyamide, polyimide,
An olefin resin such as polysulfone, polycarbonate, polypropylene, a cellulose resin, a polymer material such as a vinyl chloride resin, an inorganic material such as glass or ceramic, and a metal material such as an aluminum alloy are used.

【００１９】支持体１面上には磁性膜の密着性を向上さ
せる為のアンダーコート層２が必要に応じて設けられ
る。すなわち、表面の粗さを適度に粗すことにより乾式
メッキで構成される磁性膜の密着性を向上させ、さらに
磁気記録媒体表面の表面粗さを適度なものとして走行性
を改善する為、例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚
さが０．０１〜０．５μｍの塗膜を設けることによって
アンダーコート層２が構成されている。An undercoat layer 2 for improving the adhesion of the magnetic film is provided on the surface of the support 1 as required. That is, to improve the adhesion of the magnetic film formed by dry plating by appropriately roughening the surface roughness, and to further improve the runnability by making the surface roughness of the magnetic recording medium moderate, for example, The undercoat layer 2 is formed by providing a coating film containing particles such as SiO 2 and having a thickness of 0.01 to 0.5 μm.

【００２０】アンダーコート層２の上には、イオンアシ
スト斜め蒸着装置によって金属薄膜型の磁性膜（Ｆｅ−
Ｘ−Ｃ−Ｏ系の磁性膜（ＸはＣｏ及びＮｉの群の中から
選ばれる一つ若しくは二つ））３が設けられる。例え
ば、１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空雰囲気下でＦｅ
−Ｎｉ合金、若しくはＦｅ−Ｃｏ合金、又はＦｅ−Ｎｉ
−Ｃｏ合金を抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱な
どにより蒸発させ、支持体１のアンダーコート層２面上
に堆積（蒸着）させることにより、Ｆｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ系
磁性膜３が０．０４〜１μｍ厚形成される。斜め蒸着の
際の入射角は３０°〜８０°、望ましくは約４５°〜７
０°である。尚、二元蒸着法を採用し、ＦｅとＮｉ（Ｃ
ｏあるいはＮｉ−Ｃｏ）とを各々蒸着源に配置するよう
にしても良い。On the undercoat layer 2, a metal thin film type magnetic film (Fe--
An X—C—O magnetic film (X is one or two selected from the group consisting of Co and Ni) 3 is provided. For example, Fe in a vacuum atmosphere of about 10 −4 to 10 −6 Torr
-Ni alloy, Fe-Co alloy, or Fe-Ni
The Fe—X—C—O-based magnetic film 3 is reduced to 0 by evaporating the —Co alloy by resistance heating, high frequency heating, electron beam heating, etc. and depositing (evaporating) it on the surface of the undercoat layer 2 of the support 1. 0.04 to 1 μm thick is formed. The incident angle in oblique vapor deposition is 30 ° to 80 °, preferably about 45 ° to 7 °.
It is 0 °. A binary vapor deposition method is used, and Fe and Ni (C
o or Ni-Co) may be respectively placed in the vapor deposition source.

【００２１】本発明では、磁性膜３の形成に際して、炭
素イオン及び酸素イオン（又は酸素ガス）が蒸着膜に照
射される。この照射は、Ｆｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ（ＸはＮｉ，
Ｃｏ若しくはＮｉ−Ｃｏ）系磁性膜におけるＦｅ成分が
３０ａｔ．％〜８８ａｔ．％、Ｘ成分が２ａｔ．％〜４
０ａｔ．％、Ｃ成分が５ａｔ．％〜３５ａｔ．％、Ｏ成
分が５ａｔ．％〜３５ａｔ．％の組成割合からなるよう
に制御される。In the present invention, when forming the magnetic film 3, the vapor deposition film is irradiated with carbon ions and oxygen ions (or oxygen gas). This irradiation is performed by Fe-X-C-O (X is Ni,
Fe component in the Co or Ni—Co) based magnetic film is 30 at. % To 88 at. %, X component is 2 at. % To 4
0 at. %, C component is 5 at. % -35 at. %, O component is 5 at. % -35 at. % Composition ratio.

【００２２】ところで、イオンアシスト斜め蒸着装置は
図２に示す構成である。図２中、１１はガイド部材、１
２はＰＥＴフィルム１０の供給側ロール、１３はＰＥＴ
フィルム１０の巻取側ロール、１４は遮蔽板、１５はル
ツボ、１６はＦｅ−Ｎｉ合金（若しくはＦｅ−Ｃｏ合
金、又はＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金）、１７は電子銃、１８
は真空容器、１９はイオン銃であり、このイオン銃１９
にメタン等の炭化水素ガス及び酸素ガスが供給される
と、炭素イオンと酸素イオンとが放出され、これらのイ
オンがＰＥＴフィルム１０上に蒸着したＦｅ−Ｘ（Ｘは
Ｎｉ，Ｃｏ又はＮｉ−Ｃｏ）膜に衝突し、Ｆｅ−ＸがＦ
ｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ系のものに変換する。By the way, the ion assisted oblique vapor deposition apparatus has a structure shown in FIG. In FIG. 2, 11 is a guide member, 1
2 is a PET film 10 supply side roll, 13 is PET
A roll on the take-up side of the film 10, a shield plate, a crucible 15, a Fe-Ni alloy (or Fe-Co alloy or Fe-Ni-Co alloy) 16, an electron gun 17,
Is a vacuum container and 19 is an ion gun.
When a hydrocarbon gas such as methane and oxygen gas are supplied to the carbon dioxide, carbon ions and oxygen ions are released, and these ions are deposited on the PET film 10 by Fe—X (X is Ni, Co or Ni—Co). ) Collide with the film, and Fe-X becomes F
e-X-C-O system.

【００２３】尚、酸素イオンを蒸着したＦｅ−Ｘ膜に照
射するのではなく、酸素ガスを蒸着したＦｅ−Ｘ膜に供
給してＦｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ系の磁性膜を構成することも出
来、このような場合には酸素ガス供給管のノズル口が蒸
着Ｆｅ−Ｘ膜の近傍に配設された装置を用いれば良い。
ここで、磁性膜がＦｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ系の組成、特に、 ５０ａｔ．％≦Ｆｅ量≦８５ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｃｏ量≦４０ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｃ量≦２５ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｏ量≦２５ａｔ．％ を満たすＦｅ−Ｃｏ−Ｃ−Ｏ磁性膜の場合には、面内長
手方向の保磁力Ｈｃが９００Ｏｅ以上、例えば１０００
〜１８００Ｏｅも有り、かつ、飽和磁束密度Ｂｓが４０
００Ｇ以上も有り、出力が高く、特に低域での出力に優
れており、しかも耐蝕性にも優れており、又、 ３０ａｔ．％≦Ｆｅ量≦７０ａｔ．％ １０ａｔ．％≦Ｎｉ量≦４０ａｔ．％ １０ａｔ．％≦Ｃ量≦３５ａｔ．％ １０ａｔ．％≦Ｏ量≦３５ａｔ．％ を満たすＦｅ−Ｎｉ−Ｃ−Ｏ磁性膜の場合には、面内方
向の保磁力Ｈｃが９００Ｏｅ以上、例えば１０００〜１
７００Ｏｅも有り、かつ、飽和磁束密度Ｂｓが４２００
Ｇ以上も有り、出力が高く、しかも耐蝕性にも優れてお
り、特に酸性雰囲気中での耐蝕性（耐酸性）に優れてお
り、又、 ４０ａｔ．％≦Ｆｅ量≦８８ａｔ．％ １ａｔ．％≦Ｎｉ量≦２０ａｔ．％ １ａｔ．％≦Ｃｏ量≦２０ａｔ．％ ２ａｔ．％≦Ｎｉ量＋Ｃｏ量≦４０ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｃ量≦２５ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｏ量≦２５ａｔ．％ を満たすＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ−Ｃ−Ｏ磁性膜の場合には、
面内方向の保磁力Ｈｃが９００Ｏｅ以上、例えば１００
０〜１９００Ｏｅも有り、かつ、飽和磁束密度Ｂｓが４
４００Ｇ以上も有り、出力が高く、特に高域での出力が
高く、高い磁気エネルギーを持っており、しかも耐蝕性
にも優れている。Incidentally, instead of irradiating the vapor-deposited Fe-X film with oxygen ions, oxygen gas may be supplied to the vapor-deposited Fe-X film to form a Fe-X-C-O-based magnetic film. In such a case, a device in which the nozzle port of the oxygen gas supply pipe is arranged in the vicinity of the vapor deposition Fe—X film may be used in such a case.
Here, the magnetic film has an Fe—X—C—O-based composition, particularly 50 at. % ≦ Fe amount ≦ 85 at. % 5 at. % ≦ Co amount ≦ 40 at. % 5 at. % ≦ C amount ≦ 25 at. % 5 at. % ≦ O amount ≦ 25 at. %, The coercive force Hc in the in-plane longitudinal direction is 900 Oe or more, for example, 1000.
~ 1800 Oe and saturation magnetic flux density Bs is 40
The output is high, especially in the low range, and the corrosion resistance is also excellent. % ≦ Fe amount ≦ 70 at. % 10 at. % ≦ Ni amount ≦ 40 at. % 10 at. % ≦ C amount ≦ 35 at. % 10 at. % ≦ O amount ≦ 35 at. %, The coercive force Hc in the in-plane direction is 900 Oe or more, for example, 1000 to 1
There is 700 Oe and the saturation magnetic flux density Bs is 4200.
G or more, high output, excellent corrosion resistance, particularly excellent corrosion resistance (acid resistance) in an acidic atmosphere, and 40 at. % ≦ Fe amount ≦ 88 at. % 1 at. % ≦ Ni amount ≦ 20 at. % 1 at. % ≦ Co amount ≦ 20 at. % 2 at. % ≦ Ni amount + Co amount ≦ 40 at. % 5 at. % ≦ C amount ≦ 25 at. % 5 at. % ≦ O amount ≦ 25 at. %, In the case of the Fe-Ni-Co-C-O magnetic film,
The coercive force Hc in the in-plane direction is 900 Oe or more, for example, 100
0 to 1900 Oe is also present, and the saturation magnetic flux density Bs is 4
It has output of 400 G or more, high output, particularly high output, high magnetic energy, and excellent corrosion resistance.

【００２４】４は、磁性膜３の上に設けられた厚さが１
０〜２００Å程度の保護膜である。この保護膜４は、例
えばダイヤモンドライクカーボン、グラファイト等のカ
ーボン膜、酸化珪素、炭化珪素などの含珪素膜などで構
成される。これらの中でも、ダイヤモンドライクカーボ
ンが好ましい。５は、保護膜４の上に設けられた潤滑剤
層である。すなわち、炭化水素系の潤滑剤やパーフルオ
ロポリエーテル等のフッ素系潤滑剤、特にフッ素系潤滑
剤を含有させた塗料を所定の手段で塗布することによ
り、約２〜５０Å、好ましくは約１０〜３０Å程度の厚
さの潤滑剤層５が設けられる。Reference numeral 4 indicates a thickness of 1 provided on the magnetic film 3.
It is a protective film of about 0 to 200Å. The protective film 4 is formed of, for example, a carbon film such as diamond-like carbon or graphite, a silicon-containing film such as silicon oxide or silicon carbide, or the like. Among these, diamond-like carbon is preferable. Reference numeral 5 is a lubricant layer provided on the protective film 4. That is, about 2 to 50 Å, preferably about 10 to 10 Å, preferably about 10 by applying a coating agent containing a hydrocarbon-based lubricant or a fluorine-based lubricant such as perfluoropolyether, especially a fluorine-based lubricant by a predetermined means. A lubricant layer 5 having a thickness of about 30Å is provided.

【００２５】６は、支持体１の他面に設けられたカーボ
ンブラック等を含有させた厚さが０．１〜１μｍ程度の
バックコート層である。尚、バックコート層６は、Ａｌ
−Ｃｕ合金等の金属を蒸着させて形成したものであって
も良い。Reference numeral 6 is a back coat layer having a thickness of about 0.1 to 1 μm, which is provided on the other surface of the support 1 and contains carbon black or the like. The back coat layer 6 is made of Al
It may be formed by vapor-depositing a metal such as —Cu alloy.

【００２６】[0026]

【実施例１〜１５及び比較例１〜４】図２に示されるイ
オンアシスト斜め蒸着装置に１０μｍ厚のＰＥＴフィル
ム１０を装着し、ＰＥＴフィルム１０が２ｍ／分の走行
速度で走行している。酸化マグネシウム製のルツボ１５
にＦｅ−Ｘ合金（Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合
金あるいはＦｅ−Ｃｏ合金）１６が入っており、３０ｋ
Ｗの電子銃１７を作動させてＦｅ−Ｘ合金を蒸発させ、
ＰＥＴフィルム１０にＦｅ−Ｘを蒸着させると共に、メ
タン及び酸素ガスを出力４００Ｗのイオン銃１９に供給
（メタンガス供給速度は５０ｃｍ3 ／分、酸素ガス供給
速度は１０ｃｍ3 ／分）し、ＰＥＴフィルム１０に向け
て炭素イオン及び酸素イオンを照射する。Examples 1 to 15 and Comparative Examples 1 to 4 A PET film 10 having a thickness of 10 μm is mounted on the ion assisted oblique vapor deposition apparatus shown in FIG. 2, and the PET film 10 is running at a running speed of 2 m / min. Crucible 15 made of magnesium oxide
Fe-X alloy (Fe-Ni-Co alloy, Fe-Ni alloy or Fe-Co alloy) 16 is contained in the
The electron gun 17 of W is operated to evaporate the Fe-X alloy,
Fe-X was vapor-deposited on the PET film 10, and methane and oxygen gas were supplied to the ion gun 19 having an output of 400 W (the methane gas supply rate was 50 cm 3 / min and the oxygen gas supply rate was 10 cm 3 / min). And carbon ions and oxygen ions are irradiated toward.

【００２７】このイオンアシスト斜め蒸着によりＦｅ−
Ｘ−Ｃ−Ｏ系の磁性膜が２０００Å厚設けられ、図１に
示す磁気テープを作製した。尚、保護膜はダイヤモンド
ライクカーボン膜、潤滑剤としてパーフルオロポリエー
テル、バックコート層はカーボンブラック含有塗料の塗
布によるものである。又、メタンガス及び酸素ガスの供
給速度を変えて同様に行い、磁性膜厚が２０００Å厚の
磁気テープを作製した。By this ion-assisted oblique vapor deposition, Fe-
An X—C—O type magnetic film having a thickness of 2000 Å was provided to manufacture the magnetic tape shown in FIG. The protective film is a diamond-like carbon film, the lubricant is perfluoropolyether, and the backcoat layer is a coating containing carbon black. Further, the same operation was carried out by changing the supply rates of methane gas and oxygen gas, and a magnetic tape having a magnetic film thickness of 2000Å was produced.

【００２８】これらの磁気テープの磁性膜の組成を表−
１に示す。 表−１ 磁性膜組成（ａｔ．％） Ｆｅ Ｎｉ Ｃｏ Ｃ Ｏ 実施例１ ６５ ５ ５ １５ １０ 実施例２ ６０ １０ １５ １０ ５ 実施例３ ８８ １ １ ５ ５ 実施例４ ８０ ５ ５ ５ ５ 実施例５ ４０ ２０ ２０ １０ １０ 実施例６ ５０ ５ １５ ２５ ５ 実施例７ ３０ ３０ ０ ５ ３５ 実施例８ ４５ ４０ ０ １０ ５ 実施例９ ５５ ２０ ０ １５ １０ 実施例１０ ６０ １０ ０ ２５ ５ 実施例１１ ６８ ０ ２ ２０ １０ 実施例１２ ３０ ０ ３０ ３５ ５ 実施例１３ ５５ ０ ４０ １０ ５ 実施例１４ ６０ ０ ２０ ５ １５ 実施例１５ ７０ ７ ８ ７ ８ 比較例１ ７０ ０ ０ １５ １５ 比較例２ ６９ ０ １ ２０ １０ 比較例３ ６９ １ ０ １０ ２０ 比較例４ １０ ２５ ２５ ２０ ２０ ＊実施例15は、イオン銃に酸素ガスを供給せず、直接酸素ガスを磁性膜に供給 上記各例で得られた磁気テープについて、面内方向の保磁力、耐蝕性（耐酸性 ）及び出力を調べたので、その結果を表−２に示す。The composition of the magnetic film of these magnetic tapes is shown in the table.
It is shown in FIG. Table-1 Magnetic film composition (at%) Fe Ni Ni Co C0 Example 1 65 5 5 15 10 Example 2 60 10 15 15 10 5 Example 3 88 1 1 5 5 Example 4 80 5 5 5 5 Example 5 40 20 20 10 10 Example 6 50 5 15 15 25 5 Example 7 30 30 0 5 35 Example 8 45 40 0 10 5 Example 9 55 20 0 15 15 10 Example 10 60 10 0 25 5 Example 11 68 0 2 20 10 Example 12 30 0 30 35 5 Example 13 55 0 40 10 5 Example 14 60 0 20 5 15 Example 15 70 7 8 7 8 Comparative Example 1 70 0 0 15 15 15 Comparative Example 2 69 0 1 20 10 Comparative Example 3 69 1 1 0 10 20 Comparative Example 4 10 25 25 20 20 * In Example 15, oxygen gas was not supplied to the ion gun, but oxygen gas was directly supplied to the magnetic film. The magnetic tapes obtained in the examples, the in-plane direction of the coercive force, corrosion resistance were studied (the acid resistance), and an output, the results are shown in Table 2.

【００２９】 表−２ 保磁力(Oe) 耐蝕性（％） 出 力(dB) 1MHz 5MHz 10MHz 15MHz 実施例１ １２５０ −４ +2.1 +2.5 +2.7 +2.7 実施例２ ９７０ −６ +2.5 +1.0 +0.8 +0.3 実施例３ ９１０ −９ +3.1 +0.5 +0.5 +0.3 実施例４ １０１０ −７ +1.5 +1.1 +1.3 +1.1 実施例５ １２９０ −２ +2.2 +2.3 +2.5 +3.1 実施例６ １５２０ −２ +2.1 +2.1 +2.8 +3.4 実施例７ ９８０ −２ +0.2 +0.5 +1.1 +1.7 実施例８ １０３０ −２ +1.5 +1.3 +1.2 +0.9 実施例９ １１２０ −３ +1.6 +1.4 +1.5 +2.1 実施例１０ １２２０ −３ +1.4 +1.5 +2.2 +2.3 実施例１１ １１８０ −８ +1.5 +1.5 +2.1 +2.4 実施例１２ １３２０ −３ +0.5 +0.7 +2.1 +3.1 実施例１３ ９３０ −９ +3.2 +1.9 +0.7 +0.2 実施例１４ １３８０ −４ +2.9 +2.9 +2.4 +2.5 実施例１５ １４２０ −５ +2.8 +2.3 +2.6 +3.1 比較例１ ９００ −１９ ０ ０ ０ ０ 比較例２ １１００ −１４ -1.7 -0.5 ０ +0.2 比較例３ ９２０ −１３ ０ ０ ０ -0.4 比較例４ ７６０ −５ -5.1 -7.1 -8.6 -13.4 ＊耐蝕性：ｐＨ４．５の弱酸性水溶液中に６時間浸漬後、Ｂｓの劣化で表示 ＊出力：Ｈｉ８ＶＴＲを改造した装置に装填し、１〜15MHz での出力を測定 比較例１を基準に表示Table-2 Coercive force (Oe) Corrosion resistance (%) Output (dB) 1MHz 5MHz 10MHz 15MHz Example 1 1250 -4 +2.1 +2.5 +2.7 +2.7 Example 2 970 -6 +2.5 +1.0 + 0.8 +0.3 Example 3 910 -9 +3.1 +0.5 +0.5 +0.3 Example 4 1010 -7 +1.5 +1.1 +1.3 +1.1 Example 5 1290 -2 +2.2 +2.3 +2.5 +3.1 Example 6 1520- 2 +2.1 +2.1 +2.8 +3.4 Example 7 980 -2 +0.2 +0.5 +1.1 +1.7 Example 8 1030 -2 +1.5 +1.3 +1.2 +0.9 Example 9 1120 -3 +1.6 +1.4 +1.5 + 2.1 Example 10 1220 -3 +1.4 +1.5 +2.2 +2.3 Example 11 1180 -8 +1.5 +1.5 +2.1 +2.4 Example 12 1320 -3 +0.5 +0.7 +2.1 +3.1 Example 13 930 -9 + 3.2 +1.9 +0.7 +0.2 Example 14 1380 -4 +2.9 +2.9 +2.4 +2.5 Example 15 1420 -5 +2.8 +2.3 +2.6 +3.1 Comparative Example 1 900 -19 000 0 0 0 Comparative Example 2 1100- 14 -1.7 -0.5 0 +0.2 Comparative Example 3 920-13 0 0 0 -0.4 Comparative Example 4 760 -5 -5.1 -7.1 -8.6 -13.4 * Corrosion resistance: Displayed by deterioration of Bs after soaking in a weakly acidic aqueous solution of pH 4.5 for 6 hours * Output : Loaded into a modified Hi8VTR and measure output at 1 to 15MHz Displayed based on Comparative Example 1

【００３０】[0030]

【発明の効果】耐蝕性に富み、かつ、低域から高域全般
にわたって高い出力が得られる。EFFECTS OF THE INVENTION It has excellent corrosion resistance, and high output can be obtained over a low range to a high range.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】磁気記録媒体の概略断面図FIG. 1 is a schematic sectional view of a magnetic recording medium.

【図２】磁気記録媒体製造装置の概略図FIG. 2 is a schematic diagram of a magnetic recording medium manufacturing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 支持体 ３ 磁性膜（Ｆｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ系磁性膜） ４ 保護膜 ５ 潤滑剤層 1 Support 3 Magnetic Film (Fe—X—C—O Magnetic Film) 4 Protective Film 5 Lubricant Layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｆ 10/16 Ｈ０１Ｆ 10/16 41/20 41/20 (72)発明者 石川 准子 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 (72)発明者 遠藤 克巳 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Reference number within the agency FI Technical indication location H01F 10/16 H01F 10/16 41/20 41/20 (72) Inventor Junko Ishikawa Haga, Tochigi Prefecture Kago Co., Ltd. Kao Co., Ltd. Information Science Research Institute (72) Kato Endo Katsumi Endo Kaiga Co., Ltd. Kaga Co., Ltd. Kago Co., Ltd. Information Science Research Center

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 Ｆｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ系の磁性膜（ＸはＣｏ
及びＮｉの群の中から選ばれる一つ若しくは二つ）を備
えてなり、 前記磁性膜におけるＦｅ量、Ｘ量、Ｃ量、及びＯ量は ３０ａｔ．％≦Ｆｅ量≦８８ａｔ．％ ２ａｔ．％≦Ｘ量≦４０ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｃ量≦３５ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｏ量≦３５ａｔ．％ を満たすことを特徴とする磁気記録媒体。1. An Fe—X—C—O based magnetic film (X is Co.
And Ni), and the amount of Fe, the amount of X, the amount of C, and the amount of O in the magnetic film are 30 at. % ≦ Fe amount ≦ 88 at. % 2 at. % ≦ X amount ≦ 40 at. % 5 at. % ≦ C amount ≦ 35 at. % 5 at. % ≦ O amount ≦ 35 at. %, Which is a magnetic recording medium. 【請求項２】 Ｆｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ系の磁性膜は、面内方
向の保磁力が９００Ｏｅ以上であることを特徴とする請
求項１の磁気記録媒体。2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the Fe—X—C—O based magnetic film has an in-plane coercive force of 900 Oe or more. 【請求項３】 支持体上にイオンアシスト法により磁性
膜を成膜して磁気記録媒体を製造する方法であって、 蒸発源物質としてＦｅ及びＸ（ＸはＣｏ，Ｎｉ又はＣｏ
−Ｎｉ合金）が用いられての蒸着工程と、 炭素イオンを蒸着Ｆｅ−Ｘ膜に衝突させる衝突工程と、 酸素イオンを蒸着Ｆｅ−Ｘ膜に衝突させる衝突工程とを
具備することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。3. A method for producing a magnetic recording medium by forming a magnetic film on a support by an ion assist method, wherein Fe and X (X is Co, Ni or Co) as evaporation source substances.
-Ni alloy) is used, a collision step of causing carbon ions to collide with the deposited Fe-X film, and a collision step of causing oxygen ions to collide with the deposited Fe-X film. Manufacturing method of magnetic recording medium. 【請求項４】 支持体上にイオンアシスト法により磁性
膜を成膜して磁気記録媒体を製造する方法であって、 蒸発源物質としてＦｅ及びＸ（ＸはＣｏ，Ｎｉ又はＣｏ
−Ｎｉ合金）が用いられての蒸着工程と、 炭素イオンを蒸着Ｆｅ−Ｘ膜に衝突させる衝突工程と、 活性酸素を蒸着Ｆｅ−Ｘ膜に衝突させる衝突工程とを具
備することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。4. A method for producing a magnetic recording medium by forming a magnetic film on a support by an ion assist method, wherein Fe and X (X is Co, Ni or Co) as evaporation source substances.
-Ni alloy) is used, a collision step of causing carbon ions to collide with the deposited Fe-X film, and a collision step of causing active oxygen to collide with the deposited Fe-X film. Manufacturing method of magnetic recording medium. 【請求項５】 イオンアシスト法により成膜される磁性
膜がＦｅ−Ｘ−Ｃ−Ｏ系の磁性膜（ＸはＣｏ及びＮｉの
群の中から選ばれる一つ若しくは二つ）であり、この磁
性膜におけるＦｅ量、Ｘ量、Ｃ量、及びＯ量は ３０ａｔ．％≦Ｆｅ量≦８８ａｔ．％ ２ａｔ．％≦Ｘ量≦４０ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｃ量≦３５ａｔ．％ ５ａｔ．％≦Ｏ量≦３５ａｔ．％ を満たすことを特徴とする請求項３又は請求項４の磁気
記録媒体の製造方法。5. The magnetic film formed by the ion assist method is a Fe—X—C—O based magnetic film (X is one or two selected from the group consisting of Co and Ni). The amount of Fe, the amount of X, the amount of C, and the amount of O in the magnetic film were 30 at. % ≦ Fe amount ≦ 88 at. % 2 at. % ≦ X amount ≦ 40 at. % 5 at. % ≦ C amount ≦ 35 at. % 5 at. % ≦ O amount ≦ 35 at. %, The magnetic recording medium manufacturing method according to claim 3 or 4.
JP24904795A 1995-09-27 1995-09-27 Magnetic recording medium and its production Pending JPH0991661A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24904795A JPH0991661A (en) 1995-09-27 1995-09-27 Magnetic recording medium and its production

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24904795A JPH0991661A (en) 1995-09-27 1995-09-27 Magnetic recording medium and its production

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0991661A true JPH0991661A (en) 1997-04-04

Family

ID=17187229

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24904795A Pending JPH0991661A (en) 1995-09-27 1995-09-27 Magnetic recording medium and its production

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0991661A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0765347A (en) Magnetic recording medium
JP2761859B2 (en) Magnetic recording media
JPH0991661A (en) Magnetic recording medium and its production
JPS5841443A (en) Manufacture of magnetic recording medium
JPH06103552A (en) Magnetic recording medium and its production
JP2668313B2 (en) Magnetic recording medium and method of manufacturing the same
JPH06104119A (en) Magnetic recording medium and its production
JPH0987840A (en) Magnetic recording medium and its production
JPH06104115A (en) Magnetic recording medium and its production
JPH0991666A (en) Magnetic recording medium
JPH06104116A (en) Magnetic recording medium and its production
JPH04335206A (en) Magnetic recording medium
JPH06139543A (en) Magnetic recording medium and its production
JPH0991663A (en) Magnetic recording medium and its production
JPH06104117A (en) Magnetic recording medium and its production
JPH0991665A (en) Magnetic recording medium
JPH0963031A (en) Magnetic recording medium
JPH061550B2 (en) Method of manufacturing magnetic recording medium
JPH0381202B2 (en)
JPS6052930A (en) Production of vertical magnetic recording medium
JPH06103572A (en) Device and method for producing magnetic recording medium
JPH0991667A (en) Magnetic recording medium
JPH0765372A (en) Method and device for producing magnetic recording medium
JPH07254127A (en) Magnetic recording medium and its production
JPH044648B2 (en)