JPH0987049A

JPH0987049A - セラミックス基繊維複合材料の製造方法

Info

Publication number: JPH0987049A
Application number: JP7247973A
Authority: JP
Inventors: Akiko Suyama; 章子須山; Tsuneji Kameda; 常治亀田; Yoshinori Hayakawa; 義則早川
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba Electronic Engineering Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp; Toshiba Development and Engineering Corp
Priority date: 1995-09-26
Filing date: 1995-09-26
Publication date: 1997-03-31

Abstract

(57)【要約】【課題】セラミックス長繊維の繊維束内部まで均質にマ
トリックスを形成させる。これにより耐熱性、耐酸化性
等の耐環境性に優れ、かつ初期破壊強度および破壊エネ
ルギー等の機械的特性にも優れた製品を製造する。【解決手段】細径なセラミックス長繊維でプリフォーム
を形成し、このプリフォームにマトリックス原料を含浸
させ、反応焼結によってセラミックスマトリックスを形
成させる。セラミックス長繊維をヤーン（繊維束）にす
るために用いるサイジング剤とプリフォームを保形する
ために用いる保形剤に、焼成によりセラミックスとなる
有機ポリマーと液状の出発原料を選択的に、または混合
して適用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複合繊維として細
径なセラミックス長繊維の繊維束（ヤーン）を用いると
ともに、反応焼結によって生成するセラミックスマトリ
ックスを繊維束の内部までに亘って緻密に形成させるセ
ラミックス基繊維複合材料の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、セラミックスマトリックス中にセ
ラミックス繊維を複合させたセラミックス基繊維複合材
料（ＣＭＣ）が開発され、特に繊維として長繊維を用い
た場合には短繊維を用いた場合に比較して破壊靭性が大
きく増大するとともに、破壊エネルギーの向上、損傷許
容性の向上等が図られることから、大型，複雑形状構造
部品への応用あるいは高温構造部品への適用等への期待
が高まっている。

【０００３】このようなセラミックス基繊維複合材料を
構成するためのセラミックス長繊維は通常、数百本から
数万本の単位で撚りをかけずに束ねた繊維束の状態をサ
イジング剤によって保持している。

【０００４】そして、製造すべき複合材料の形状に対応
して、予め繊維束を一方向に揃えてシート状に固定した
プリプレグの状態にしたり、２次元または３次元に製織
して２次元織物（クロス）、３次元織物の状態にした
り、これらを積層したり、組み合わせてプリフォームを
形成し、このプリフォームの形状を保形剤によって保持
している。

【０００５】セラミックス基繊維複合材料の製造に際し
ては、繊維束を保持するサイジング剤およびプリフォー
ム形状を保持する保形剤を除去処理した後、そのプリフ
ォームの繊維間にマトリックスを含浸させるようにして
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前述したサイジング剤
や保形剤は、セラミックスマトリックスの形成前に簡便
な方法で完全に除去することを前提としている。このこ
とから従来ではサイジング剤や保形剤にポリビニルある
いはポリエチレン等を適用し、例えば４００℃前後の熱
処理を施したり、または水もしくは湯等への浸漬等によ
って除去するようにしている。

【０００７】ところが実際には、サイジング剤や保形剤
が除去しきれず、プリフォームの繊維束の内部に残渣と
して残存し易い。この状態でマトリックス材料をプリフ
ォームに含浸させた場合には、繊維束の内部およびその
近傍へのマトリックスの形成が阻害される。そのため、
その部分が欠陥となり強度が低下し、もしくは繊維との
界面が形成されず繊維の引き抜き時の界面強度が低くな
り靭性が低下する。

【０００８】特にプリフォームを２次元または３次元の
織物とする場合には、製織が容易な直径が１０μｍ前後
（３〜２０μｍ）の細径なセラミックス繊維を多数束ね
た繊維束が適用されるが、この繊維束の繊維間隔は小さ
いため、前記の繊維束の内部およびその近傍への欠陥が
生じ易い。さらに、セラミックス長繊維を用いて繊維体
積率（Ｖｆ）が高く、異方性が小さい形状の複合材料製
品を作製するためには、かなり多量のサイジング剤や保
形剤が使用されるため、除去しきれない残渣がさらに多
くなり、上記欠陥による影響は無視できないレベルにな
り得る。

【０００９】また、セラミックス長繊維で作製した２次
元または３次元形状のプリフォームにマトリックスを形
成する場合、直径１０μｍ前後の繊維の間隙部分に緻密
なマトリックスを均質に形成することが困難である。特
に粉末スラリーを用いた含浸成形法では、マトリックス
の繊維束の内部およびその近傍への充填効率を高めるこ
とが殆どできず、したがって耐熱性および耐酸化性等の
耐環境性がモノリシック材料に比べて低下した材料，部
品しか得られなかった。

【００１０】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、セラミックス長繊維の繊維束内部の繊維の間隙
に亘って均質にマトリックスを形成させることができ、
これにより耐熱性、耐酸化性等の耐環境性に優れ、かつ
初期破壊強度および破壊エネルギー等の機械的特性にも
優れた材料，部品が製造できるセラミックス基繊維複合
材料の製造方法を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】セラミックスマトリック
スを形成する方法は、前述した粉末法の他、各種の方法
が知られている。その一つとして、焼成によりセラミッ
クスとなる物質、例えば有機ポリマーを繊維プリフォー
ムに含浸させて、焼成により繊維間にセラミックスマト
リックスを形成する方法がある。有機ポリマーとして
は、Ｓｉ，Ｃ，Ｎ等を含むポリシラザン、ポリカルボシ
ラン、ポリシラスチレン等が適用され、これらの焼成に
よりＳｉ，Ｃ，Ｎが合成してＳｉ−Ｃ−Ｏ、またはＳｉ
−Ｎ−Ｏ等が合成される。

【００１２】また、別の方法として反応焼結を用いる方
法がある。例えばマトリックスがＳｉＣの場合、ＣとＳ
ｉとの反応によりＳｉＣマトリックスを合成するもので
ある。

【００１３】発明者においては、このような焼成により
セラミックスとなる有機ポリマーあるいは反応焼結マト
リックスの出発原料として液状のものを用いることで、
直径が１０μｍ前後の細系なセラミックス繊維の繊維束
の内部までマトリックスを均質に形成するこができ、さ
らにセラミックス長繊維の繊維束のサイジング剤または
プリフォームの保形剤として適用することが可能なこと
を見出した。これにより、従来用いられていたセラミッ
クス長繊維のサイジング剤や保形剤は不要となり、従来
行われていたサイジング剤や保形剤の除去工程も省略で
きる。したがって、繊維間隙にサイジング剤や保形剤の
残渣によるマトリックス充填上の欠陥の発生を防止する
ことが可能となる。

【００１４】以上の知見に基づき、本発明は、細径なセ
ラミックス長繊維からなる繊維束でプリフォームを形成
し、このプリフォームにマトリックス原料を含浸させ、
反応焼結によってセラミックスマトリックスを生成させ
るセラミックス基繊維複合材料の製造方法において、反
応焼結前に、セラミックス長繊維を数十〜数万本単位の
ヤーン（繊維束）にするために用いるサイジング剤とプ
リフォームを保形するために用いる保形剤とに、焼成に
よりセラミックスとなる液状の有機ポリマーと反応焼結
マトリックスの出発原料となる物質とを選択的に、また
は混合して適用するものである。

【００１５】本発明において、セラミックス長繊維を用
いるのは、前述したように、セラミックス長繊維がセラ
ミックス基繊維複合材料の強化素材として最も高い破壊
エネルギーを付与できる等の優れた特性を有するもので
あり、一方向に揃えたり、２次元または３次元に製織す
る等により複雑な形状や大型の部品に対応でき広範な分
野での利用が期待できるからである。

【００１６】また、セラミックス長繊維のうち細径なも
のを適用するのは、製織等が行える程度の細い繊維径と
解して差支えないが、望ましくは直径が１０μｍ前後
（３〜２０μｍ）のものである。

【００１７】また、本発明においてプリフォームとは、
繊維束を一方向に配列したプリプレグの状態や交差状に
配列したもの、２次元または３次元に製織もしくは編製
したもの、またはこれらの積層等、組合せたものを広く
含める。

【００１８】また、焼結によりセラミックスとなる液状
の有機ポリマー、反応焼結マトリックスの液状の出発原
料の種類や取扱い手順等については、以下に示す各発明
の毎く、種々の組合せが可能である。

【００１９】即ち、本発明のセラミックス基繊維複合材
料の製造方法は、細径なセラミックス長繊維を、焼成に
よりセラミックスとなる液状の有機ポリマーと反応焼結
マトリックスの液状の出発原料を選択的にまたは混合し
てサイジング剤として適用して繊維束にし、次いで焼成
によりセラミックスとなる液状の有機ポリマーと反応焼
結マトリックスの液状の出発原料を選択的にまたは混合
して保形剤として適用してプリフォームを形成し、この
後プリフォームにマトリックス原料粉末スラリーを含浸
させ反応焼結によってセラミックスマトリックスを生成
させるものである。

【００２０】本発明において望ましくは、焼成によりセ
ラミックスとなる有機ポリマーにポリシラザン、ポリカ
ルボシラン、ポリシラスチレン等を用い、液状の出発原
料高残炭率の樹脂を用いる。

【００２１】この場合、特に望ましい手順は、細径のセ
ラミックス長繊維を、焼成によりセラミックスとなる有
機ポリマーをサイジング剤として適用して繊維束にし、
次いで熱処理により出発原料となる樹脂を保形剤として
適用してプリフォームを形成し、この後プリフォームに
マトリックス原料粉末スラリーを含浸させ反応焼結によ
ってセラミックスマトリックスを生成させる。

【００２２】なお、有機ポリマーとしては、ポリカルボ
シラン、ポリシラザン、ポリシラスチレン、ポリビニル
シラン等のＳｉ系有機ポリマーを適用することができ
る。

【００２３】また、樹脂としては、フェノール樹脂、フ
ラン樹脂等の高残炭率の樹脂を適用することができる。

【００２４】そして本発明では、細径なセラミックス長
繊維の繊維束を有機ポリマーでサイジングし、このサイ
ジングした繊維束をプリフォームとして液状の樹脂で保
形し、得られたプリフォームに熱処理を施して前記繊維
束の内部に充填されている有機ポリマーを無機化するこ
とによりセラミックスとする一方、前記プリフォームを
保形している樹脂を炭化させて出発原料のカーボンとし
た後、プリフォームにマトリックス原料粉末スラリーを
含浸させて反応焼結を行わせることでマトリックスを形
成する。

【００２５】また、本発明によるセラミックス基繊維複
合材料の製造方法は、細径のセラミックス長繊維を数十
〜数万本単位のヤーン（繊維束）にし、この繊維束を一
方向または交差配列、２次元または３次元に製織もしく
は編製、またはこれらの組合せによってプリフォームを
形成し、このプリフォームの繊維束およびその内部近傍
に、焼成によりセラミックスとなる有機ポリマーと液状
の出発原料を選択的にまたは混合して含浸させ、この後
プリフォームの各繊維束間およびその周辺部にマトリッ
クス原料粉末スラリーを含浸させ反応焼結によってセラ
ミックスマトリックスを生成させるものである。

【００２６】さらに、本発明によるセラミックス基繊維
複合材料の製造方法は、細径のセラミックス長繊維を数
十〜数万本単位のヤーン（繊維束）にし、この繊維束を
一方向または交差配列、２次元または３次元に製織もし
くは編製、またはこれらの組合せによってプリフォーム
を形成し、このプリフォームの繊維束の内部およびその
近傍に、焼成によりセラミックスとなるＳｉ系有機ポリ
マーと、反応焼結ＳｉＣの出発原料のＣとなる液状の樹
脂とを選択的にまたは混合して含浸させ、この後プリフ
ォームの各繊維束間およびその周辺部にマトリックス原
料の粉末スラリーを含浸させ反応焼結によってセラミッ
クスマトリックスを生成させるものである。

【００２７】以上の本発明において望ましくは、セラミ
ックス長繊維として主成分がＳｉＣのものを用い、マト
リックスは、反応焼結によって主成分がＳｉＣのセラミ
ックスを生成させる。

【００２８】本発明によれば、セラミックス長繊維を繊
維束にする段階、繊維束でプリフォームを形成する段
階、マトリックス原料含浸前のいずれかの段階におい
て、焼成によりセラミックスとなる液状の有機ポリマー
または液状の出発原料を含浸，成形し、有機合成または
反応焼結により、マトリックスを形成するので、繊維束
内部までマトリックスが緻密に形成できる。

【００２９】さらに、従来タイプのサイジング剤や保形
剤の場合と異なり、除去処理後残渣がマトリックスの形
成を阻害する問題も排除できる。

【００３０】また、緻密なマトリックスが繊維束の内部
まで形成できることで、繊維束の内部の欠陥を排除し、
複合した全繊維の界面が形成され、初期破壊強度が向上
し、かつ繊維の引抜けにより、準安定的な破壊が進行
し、破壊エネルギーが増大する。さらにまた、マトリッ
クスが緻密なため、耐熱性や耐酸化性等の耐環境性の優
れたモノリシック材料と同等レベルまで向上できる。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について説
明する。

【００３２】（実施例１）直径１１μｍのＳｉＣ長繊維
（商品名：チラノ）８００本を揃え、キシレンで希釈し
たポリカルボシランでサイジングし、繊維束とした。こ
の繊維束を用い、３次元織物（Ｘ：Ｙ：Ｚ＝３３：３
７：３０，Ｖｆ＝３５％）を、アルコールで希釈したフ
ラン樹脂で保形しながら製織し、プリフォームとした。

【００３３】このプリフォームを不活性雰囲気中、６０
０〜１１００℃で熱処理した。これにより、繊維束の内
部に充填されたポリカルボシランは無機化してＳｉ−Ｃ
−Ｏのセラミックス骨材とし、フラン樹脂は炭化してカ
ーボンとした。

【００３４】この後、プリフォームを成形型内に配置
し、ＳｉＣのマトリックス原料粉末スラリーを減圧後、
加圧しながら鋳込み成形した。乾燥後、真空または不活
性雰囲気中、１４００〜１６００℃で、溶融Ｓｉを含浸
しながら、反応焼結（Ｓｉ＋Ｃ→ＳｉＣ）した。

【００３５】このようにして形成した焼結体より、幅５
〜１０mm、厚み２〜４mmの試験片を切り出し、３点曲げ
試験、酸化試験を行い、機械的特性を評価した。

【００３６】これらの試験の結果、表１に示すように、
強度および破壊エネルギーが大きく、また酸化試験後も
強度の低下は小さく耐酸化性も優れていることが確認さ
れた。

【００３７】（実施例２）直径１４μｍのＳｉＣ長繊維
（商品名：ハイニカロン）５００本を揃え、アルコール
で希釈したフェノール樹脂でサイジングし、繊維束とし
た。この繊維束を用い、キシレンで希釈したポリシラザ
ンで保形しながら、平織りクロスを製織した。

【００３８】このクロスを不活性雰囲気中、６００〜１
１００℃で熱処理した。これにより、繊維束の内部に充
填されたポリシラザンは無機化してＳｉ−Ｎ−Ｏのセラ
ミックス骨材とし、フェノール樹脂は炭化してカーボン
とした。

【００３９】得られたクロスを積層してプリフォームと
し、成形型内に配置し、マトリックス原料粉末スラリー
を減圧後、加圧しながら鋳込み成形した。乾燥後、真空
または不活性雰囲気中、１４００〜１６００℃で、溶融
Ｓｉを含浸しながら、反応焼結（Ｓｉ＋Ｃ→ＳｉＣ）し
た。

【００４０】このようにして形成した焼結体より、前記
実施例１と同様に幅５〜１０mm、厚み２〜４mmの試験片
を切り出し、３点曲げ試験、酸化試験等を行った。

【００４１】この結果、表１に示すように、前記実施例
１のものと同様に曲げ強度および破壊エネルギーとも高
く、また耐酸化性にも優れていることが確認された。

【００４２】（実施例３）直径１１μｍのＳｉＣ長繊維
（商品名：チラノ）４００本をサイジングせずに繊維束
とし、この繊維束で３次元織物（Ｘ：Ｙ：Ｚ＝３３：３
７：３０，Ｖｆ＝３５％）を製織し、これをアルコール
で希釈したフラン樹脂を含浸し、プリフォームとした。

【００４３】その後、このプリフォームを不活性雰囲気
中、６００〜１１００℃で熱処理した。繊維束の内部に
充填されたフラン樹脂は炭化によりカーボンとなった。

【００４４】プリフォームを成形型内に配置し、マトリ
ックス原料粉末スラリーを減圧および加圧を選択的に行
って含浸させ、成形を行った。乾燥後、真空または不活
性雰囲気中、１４００〜１６００℃で、溶融Ｓｉを含浸
しながら、反応焼結した。

【００４５】このようにして形成した焼結体より、幅５
〜１０mm、厚み２〜４mmの試験片を切り出し、３点曲げ
試験、酸化試験を行なった。

【００４６】この結果、表１に示すように、前記実施例
１のものと同様に強度および破壊エネルギーとも高く、
また耐酸化性にも優れていることが確認された。

【００４７】（実施例４）直径１４μｍのＳｉＣ長繊維
（商品名：ハイニカロン）５００本をサイジングせずに
繊維束とし、この繊維束で平織りクロスを製織した。

【００４８】また、ポリカルボシランとフェノール樹脂
を、キシレンで希釈し、これに前記のクロスを浸漬し、
減圧および加圧含浸を選択的に行った。

【００４９】その後、このクロスを不活性雰囲気中、６
００〜１１００℃で熱処理した。繊維束の内部に充填さ
れたポリカルボシランは無機化してＳｉ−Ｃ−Ｏセラミ
ックス骨材とし、フェノール樹脂は炭化してカーボンと
なった。

【００５０】得られたクロスを積層してプリフォームと
し、成形型内に配置し、マトリックス原料粉末スラリー
を減圧および加圧を選択的に行って含浸させ、成形し
た。乾燥後、真空または不活性雰囲気中、１４００〜１
６００℃で、溶融Ｓｉを含浸しながら、反応焼結した。

【００５１】このようにして形成した焼結体より、幅５
〜１０mm、厚み２〜４mmの試験片を切り出し、３点曲げ
試験、酸化試験を行なった。

【００５２】この結果、表１に示すように、前記実施例
１のものと同様に強度および破壊エネルギーとも高く、
また耐酸化性にも優れていることが確認された。

【００５３】（比較例１）直径１１μｍのＳｉＣ長繊維
（商品名：チラノ）を、ポリエチレンからなるサイジン
グ剤を用いて繊維束とし、この繊維束で３次元織物
（Ｘ：Ｙ：Ｚ＝３３：３７：３０，Ｖｆ＝３５％）をつ
くり、プリフォームとした。保形剤にはエポキシを用い
た。

【００５４】このプリフォームをサイジング剤および保
形剤除去後、成形型内に配置し、マトリックス原料粉末
スラリーを減圧および加圧を選択的に行って含浸させ
た。乾燥後、真空または不活性雰囲気中、１４００〜１
６００℃で、溶融Ｓｉを含浸しながら、反応焼結した。

【００５５】得られた焼結体より、幅５〜１０mm、厚み
２〜４mmの試験片を切り出し、３点曲げ試験、酸化試験
を行った。

【００５６】これらの試験の結果、表１に示すように、
曲げ強度および破壊エネルギーが前記各実施例に比して
低く、耐酸化性も低下していることが認められた。

【００５７】（比較例２）直径１４μｍのＳｉＣ長繊維
（商品名：ハイニカロン）を、ポリビニルアルコールか
らなるサイジング剤を用いて繊維束とし、この繊維束で
平織りクロスを織製した。保形剤にはポリエチレングリ
コールを用いた。

【００５８】積層したクロスをプリフォームとして型内
に配置し、マトリックススラリーを減圧および加圧を選
択的に行って含浸させた。乾燥後、真空または不活性雰
囲気中、１４００〜１６００℃で、溶融Ｓｉを含浸しな
がら、反応焼結した。

【００５９】得られた焼結体より、幅５〜１０mm、厚み
２〜４mmの試験片を切り出し、３点曲げ試験、酸化試験
を行った。

【００６０】これらの試験の結果、表１に示すように、
曲げ強度および破壊エネルギーが前記各実施例に比して
低く、耐酸化性も低下していることが認められた。

【００６１】

【表１】

【００６２】

【発明の効果】本発明によれば、セラミックス長繊維の
繊維束内部まで均質にマトリックスを形成させることが
でき、これにより耐熱性、耐酸化性等の耐環境性に優
れ、かつ初期破壊強度および破壊エネルギー等の機械的
特性にも優れたセラミックス基繊維複合材料が製造でき
る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者早川義則神奈川県川崎市川崎区日進町７番地１東芝電子エンジニアリング株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】細径なセラミックス長繊維からなる繊維
束でプリフォームを形成し、このプリフォームにマトリ
ックス原料を含浸させ、反応焼結によってセラミックス
マトリックスを生成させるセラミックス基繊維複合材料
の製造方法において、反応焼結前に、セラミックス長繊
維を繊維束にするために用いるサイジング剤とプリフォ
ームの形状を保持するために用いる保形剤とに、焼成に
よりセラミックスとなる有機ポリマーと反応焼結マトリ
ックスの出発原料となる物質とを選択的に、または混合
して適用することを特徴とするセラミックス基繊維複合
材料の製造方法。
【請求項２】細径なセラミックス長繊維を、焼成によ
りセラミックスとなる有機ポリマーと反応焼結マトリッ
クスの出発原料となる物質とを選択的にまたは混合して
サイジング剤として適用して繊維束にし、次いで焼成に
よりセラミックスとなる有機ポリマーと反応焼結マトリ
ックスの出発原料となる物質とを選択的にまたは混合し
て保形剤として適用して繊維束よりプリフォームを形成
し、この後プリフォームにマトリックス原料を含浸させ
反応焼結によってセラミックスマトリックスを生成させ
ることを特徴とするセラミックス基繊維複合材料の製造
方法。
【請求項３】細径なセラミックス長繊維を、焼成によ
りセラミックスとなる有機ポリマーと反応焼結マトリッ
クスの出発原料となる液状の物質とを選択的にまたは混
合してサイジング剤として適用して繊維束にし、次いで
焼成によりセラミックスとなる有機ポリマーと反応焼結
マトリックスの出発原料となる液状の物質とを選択的に
または混合して保形剤として適用して繊維束よりプリフ
ォームを形成し、この後プリフォームに粉末スラリー状
のマトリックス原料を含浸させ反応焼結によってセラミ
ックスマトリックスを生成させることを特徴とするセラ
ミックス基繊維複合材料の製造方法。
【請求項４】焼成によりセラミックスとなる有機ポリ
マーにポリカルボシラン、ポリシラザン、ポリスチレン
等のＳｉ系有機ポリマーを用い、反応焼結マトリックス
の出発原料となる物質に高残炭率の樹脂を用いることを
特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のセラミ
ックス基繊維複合材料の製造方法。
【請求項５】細径なセラミックス長繊維を、焼成によ
りセラミックスとなる有機ポリマーをサイジング剤とし
て適用して繊維束にし、次いで反応焼結マトリックスの
出発原料となる樹脂を保形剤として適用して繊維束を用
いた３次元織物または２次元織物からなるプリフォーム
を形成し、この後プリフォームにマトリックス原料を含
浸させ反応焼結によってセラミックスマトリックスを生
成させることを特徴とするセラミックス基繊維複合材料
の製造方法。
【請求項６】細径なセラミックス長繊維の繊維束を有
機ポリマーでサイジングし、この繊維束を用いて３次元
織物または２次元織物からなるプリフォームとして組上
げ液体状態の樹脂で保形し、得られたプリフォームに熱
処理を施して前記繊維束の内部に充填されている有機ポ
リマーを無機化することによりセラミックスとする一
方、前記プリフォームを保形している樹脂を炭化させて
カーボン源とした後、プリフォームにセラミックスマト
リックス材料を含浸させて反応焼結を行わせることでセ
ラミックスマトリックスを生成することを特徴とするセ
ラミックス基繊維複合材料の製造方法。
【請求項７】多数の細径なセラミックス長繊維を予め
各繊維間に介在物がない状態で揃えて繊維束とし、この
繊維束を平行または交差配列、２次元または３次元の製
織もしくは編製、またはこれらの組合せ、その他の手段
によりプリフォームとして形成しておき、このプリフォ
ームを構成する各セラミックス長繊維間および各繊維束
間に、焼成によりセラミックスとなる液体状態の有機ポ
リマーと反応焼結マトリックスの出発原料となる液体状
態の物質とを選択的にまたは混合して含浸させ、この後
繊維束間およびプリフォーム内部にプリフォームにマト
リックス原料を含浸させ反応焼結によってセラミックス
マトリックスを生成させることを特徴とするセラミック
ス基繊維複合材料の製造方法。
【請求項８】多数の細径なセラミックス長繊維を予め
各繊維間に介在物がない状態で揃えて繊維束とし、この
繊維束を平行または交差配列、２次元または３次元の製
織もしくは編製、またはこれらの組合せ、その他の手段
によりプリフォームとして形成しておき、このプリフォ
ームを構成する各セラミックス長繊維間および繊維束内
部に、焼成によりセラミックスとなる液体状態のＳｉ系
有機ポリマーと、反応焼結マトリックスの出発原料とな
る高残炭率の液体状態の樹脂とを選択的にまたは混合し
て含浸させ、この後繊維束間およびプリフォーム内部に
プリフォームにマトリックス原料を含浸させ反応焼結に
よってセラミックスマトリックスを生成させることを特
徴とするセラミックス基繊維複合材料の製造方法。
【請求項９】セラミックス長繊維として主成分がＳｉ
Ｃを主成分としたものを用いる一方、マトリックスとし
て反応焼結ＳｉＣを主成分としたことを特徴とする請求
項１から７までのいずれかに記載のセラミックス基繊維
複合材料の製造方法。
【請求項１０】セラミックス長繊維として直径が３〜
２０μｍのものを用いることを特徴とする請求項１から
９までのいずれかに記載のセラミックス基繊維複合材料
の製造方法。