JPH0980298A - フォーカシング制御方法及びその装置並びに光ディスク原盤記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、対物レンズを光ディスク原盤の面振
れ量に追従して制御系の安定性と追従性とを確保できる
フォーカシング制御を行う。 【解決手段】光ディスク原盤２と対物レンズ３との間隔
をフォーカスセンサ５により計測し、この計測間隔をフ
ィードバックして光ディスク原盤２と対物レンズ３との
間隔をフィードバック制御系１０Ａにより一定に制御す
る場合、フィードフォワード制御系１０Ｂにおいてオン
ラインで対物レンズ３の位置を駆動するボイスコイルモ
ータ４の駆動電流を計測してメモリ１１に記憶し、この
駆動電流を光ディスク原盤２の面振れに対応したフィー
ドフォワード量としてフィードバック制御系１０Ａに加
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば光ディスク
原盤面に情報を露光記録するときに光ディスク原盤面と
対物レンズとの間隔を一定に制御するフォーカシング制
御方法及びその装置、並びにこれらを適用して光ディス
ク原盤面に情報を露光記録する光ディスク原盤記録装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８は光ディスク原盤記録装置の概略構
成図である。

【０００３】ターンテーブル１上には、円盤状の記録媒
体としての光ディスク原盤２が載置されている。

【０００４】この光ディスク原盤２の上方には、対物レ
ンズ３が配置されている。この対物レンズ３は、光ディ
スク原盤２の回転とともに、この光ディスク原盤２の半
径方向にスライド移動するものとなっている。

【０００５】又、この対物レンズ３は、駆動部として対
物レンズアクチュエータ、具体的にはボイスコイルモー
タ４が設けられ、このボイスコイルモータ４の駆動によ
り光ディスク原盤２の面に対して垂直方向に移動するも
のとなっている。

【０００６】この対物レンズ３の光ディスク原盤２の面
に対する垂直方向の移動量は、フォーカスセンサ５によ
り計測され、制御コントローラ６に送られている。

【０００７】この制御コントローラ６は、ターンテーブ
ル１を一定の速度で回転させるとともに対物レンズ３を
光ディスク原盤２の半径方向に移動させ、かつフォーカ
スセンサ５により計測された対物レンズ３と光ディスク
原盤２との間隔を一定に保つようにボイスコイルモータ
４を駆動する機能、すなわちフォーカシング機構を有し
ている。

【０００８】フォーカシング機構では、光ディスク原盤
２の回転に追従して対物レンズ３を高速に位置制御する
必要があるので、この対物レンズ３を駆動するものとし
て応答性に優れたボイスコイルモータ４が適用されてい
る。

【０００９】又、フォーカスセンサ５としては、対物レ
ンズ３と光ディスク原盤２との間隔を非点収差法等によ
り計測するものが用いられ、このフォーカスセンサ５に
より計測された対物レンズ３と光ディスク原盤２との間
隔をフィードバック信号として制御コントローラ６に送
っている。

【００１０】このような構成であれば、光ディスク原盤
２が一定の速度で回転し、この回転に同期して対物レン
ズ３が光ディスク原盤２の半径方向に移動し、対物レン
ズ３を通して露光光（レーザ光）が光ディスク原盤２の
面上に照射される。

【００１１】このような光ディスク原盤２に対する情報
記録中、露光光は、常に対物レンズ３により光ディスク
原盤２の表面上に集光しなければならない。

【００１２】ところが、光ディスク原盤２の表面は、数
十μｍの凹凸がある為に、この光ディスク原盤２の凹凸
に倣って対物レンズ３をフォーカシング機構によりディ
スク面の垂直方向に移動させて集光を保っている。

【００１３】このような露光光の照射により光ディスク
原盤２の表面には、情報がスパイラル状或いは同心円状
に記録される。

【００１４】ところで、今後、光ディスク原盤２に対す
る記録速度の高速化が要求され、これに伴ってボイスコ
イルモータ４に対して追従性向上が要求される。

【００１５】しかしながら、ボイスコイルモータ４は、
ダンピング効果が小さいために、制御系の安定性と追従
性との両立が困難であり、対物レンズ３の駆動部にメカ
ダンパー等を設置している。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】以上のように光ディス
ク原盤２に対する記録速度の高速化が要求されると、ボ
イスコイルモータ４に対して追従性向上が要求される
が、ボイスコイルモータ４では、制御系の安定性と追従
性との両立が困難であり、対物レンズ３の駆動部にメカ
ニカルなダンパー等を設置しなければならない。

【００１７】そこで本発明は、メカニカルなダンパー等
を設置しなくても制御系の安定性と追従性とを確保でき
るフォーカシング制御方法及びその装置を提供すること
を目的とする。

【００１８】又、本発明は、制御系の安定性と追従性と
を確保できるフォーカシング制御を用いて光ディスク原
盤に対する高速な情報記録ができる光ディスク原盤記録
装置を提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】請求項１によれば、対象
面に対して対物レンズを進退駆動してフォーカシングす
るフォーカシング制御方法において、前記対象面と前記
対物レンズとの間隔を計測する間隔計測工程と、前記対
象面の面振れに対応した前記対象面と前記対物レンズと
の間隔を目標間隔として記憶する目標間隔記憶工程と、
前記間隔計測工程において出力された計測間隔信号と前
記目標間隔記憶工程にて出力された目標間隔信号との差
に基づいてフィードバック信号を得るとともに得られた
フィードバック信号に前記目標間隔記憶工程にて出力さ
れた目標間隔信号をフィードフォーワード信号として加
算する間隔制御工程と、を備えたフォーカシング制御方
法である。

【００２０】請求項２によれば、対象面に対して対物レ
ンズを進退駆動してフォーカシングするフォーカシング
手段と、前記対象面と前記対物レンズとの間隔を計測す
る間隔計測手段と、前記対象面の面振れに対応した前記
対象面と前記対物レンズとの間隔が目標間隔として記憶
されている目標間隔記憶手段と、前記間隔計測手段にお
いて計測された前記対象面と前記対物レンズとの間隔を
示す計測間隔信号と前記目標間隔記憶手段から出力され
た目標間隔信号との差に基づくフィードバック信号を前
記フォーカシング手段に印加するフィードバック制御手
段と、前記目標間隔記憶手段から出力された目標間隔信
号をフィードフォワード信号として前記フィードバック
信号に加算するフィードフォワード制御手段と、を具備
したフォーカシング制御装置である。

【００２１】請求項３によれば、請求項２記載のフォー
カシング制御装置において目標間隔記憶手段は、記憶さ
れている目標間隔をフォーカシング手段の駆動電流に基
づきオンラインで得る。

【００２２】請求項４によれば、請求項２記載のフォー
カシング制御装置において目標間隔記憶手段は、記憶さ
れている目標間隔を、変位センサにより得られた前記対
象面の面振れデータに基づきオフラインで得る。

【００２３】請求項５によれば、回転するディスク原盤
面に対物レンズを対向配置し、この対物レンズから光を
前記ディスク原盤に照射して情報記録を行う光ディスク
原盤記録装置において、前記ディスク原盤に対して前記
対物レンズを進退駆動してフォーカシングするフォーカ
シング手段と、前記ディスク原盤面と前記対物レンズと
の間隔を計測する間隔計測手段と、前記ディスク原盤面
の面振れに対応した前記ディスク原盤面と前記対物レン
ズとの間隔が目標間隔として記憶されている目標間隔記
憶手段と、前記間隔計測手段において計測された前記デ
ィスク原盤面と前記対物レンズとの間隔を示す計測間隔
信号と前記目標間隔記憶手段から出力された目標間隔信
号との差に基づくフィードバック信号を前記フォーカシ
ング手段に印加するフィードバック制御手段と、前記目
標間隔記憶手段から出力された目標間隔信号をフィード
フォワード信号として前記フィードバック信号に加算す
るフィードフォワード制御手段と、を備えた光ディスク
原盤記録装置である。

【００２４】請求項６によれば、請求項５記載の光ディ
スク原盤記録装置において目標間隔記憶手段は、ディス
ク原盤の回転に同期してディスク原盤面の面振れに対応
した目標間隔を記憶する。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施の形態
について図面を参照して説明する。

【００２６】本発明のフォーカス制御方法は、光ディス
ク原盤２と対物レンズ３との間隔を計測し、この計測間
隔をフィードバックして光ディスク原盤２と対物レンズ
３との間隔を一定に制御する場合、上記フィードバック
制御系に、光ディスク原盤２の表面の面振れをフィード
フォワード量として加えて光ディスク原盤２と対物レン
ズ３との間隔を一定に制御するものである。

【００２７】図１は光ディスク原盤記録装置の概略構成
図である。

【００２８】ターンテーブル１上には、光ディスク原盤
２が載置され、その上方には対物レンズ３が配置されて
いる。

【００２９】この対物レンズ３は、光ディスク原盤２の
回転とともに、この光ディスク原盤２の半径方向にスラ
イド移動するものとなっている。

【００３０】又、この対物レンズ３は、駆動部として対
物レンズアクチュエータ、具体的にはボイスコイルモー
タ４が設けられ、このボイスコイルモータ４の駆動によ
り光ディスク原盤２の面に対して垂直方向に移動するも
のとなっている。

【００３１】この対物レンズ３と光ディスク原盤２の面
との間隔は、フォーカスセンサ５により計測され、その
計測間隔（位置信号）が制御コントローラ１０に送られ
ている。

【００３２】又、この制御コントローラ１０からボイス
コイルモータ４に供給される駆動電流がメモリ１１に送
られるようになっている。

【００３３】なお、メモリ１１は、光ディスク原盤２の
回転に同期してディスク原盤面の面振れに対応した目標
間隔を記憶する。

【００３４】前記フィードバック制御により、光ディス
ク原盤２と対物レンズ３の間隔が一定に保たれていると
仮定すると、ボイスコイルモータ４の駆動電流は、光デ
ィスク原盤２の面振れ量に比例する。この駆動電流がフ
ィードフォワード量としてメモリ１１に一時蓄えられる
ようになっている。実際にはフィードバック制御では、
外乱等により駆動電流と前記間隔とは一致しないが、フ
ィードフォワードとして利用する場合十分と考えられ
る。

【００３５】制御コントローラ１０は、メモリ１１に蓄
えられた光ディスク原盤２の面振れ量をフィードフォワ
ード量として、フォーカスセンサ５によりフィードバッ
クされた対物レンズ３と光ディスク原盤２の面との間隔
に基づいてボイルコイルモータ４に駆動電流を供給する
クローズドループフィードバック（closed loop feedba
ck）系に入力して、対物レンズ３を光ディスク原盤２の
面振れ量に一致させて駆動制御する機能を有している。

【００３６】図２はかかる制御系のブロック図である。

【００３７】制御コントローラ１０は、フィードバック
制御系１０Ａとフィードフォワード制御系１０Ｂと機能
を有している。

【００３８】フィードバック制御系１０Ａは、フォーカ
スセンサ５により計測された対物レンズ３と光ディスク
原盤２の面との間隔をフィードバック量として入力し、
このフィードバック量とメモリ１１からの目標間隔とし
ての光ディスク原盤２の面振れ量との偏差を偏差器１２
により求め、この偏差をフィードバックゲイン１３を通
して加算器１４に送る機能を有している。

【００３９】フィードフォワード制御系１０Ｂは、メモ
リ１１からの光ディスク原盤２の面振れ量をフィードフ
ォワード量として、フィードフォワードゲイン１５を通
して加算器１４に送る機能を有している。

【００４０】この加算器１４は、フィードバック制御系
１０Ａからの偏差とフィードフォワード制御系１０Ｂか
らのフィードフォワード量とを加算し、ボイルコイルモ
ータ４に駆動電流して供給するものとなっている。

【００４１】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて図３に示すオンライン計測の制御フローチャートに
従って説明する。

【００４２】ターンテーブル１が、ステップ＃１におい
て一定の速度で回転開始することにより、光ディスク原
盤２は一定の速度で回転する。

【００４３】コントローラ１０は、光ディスク原盤２の
回転に同期して、対物レンズ３を光ディスク原盤２の半
径方向に移動させる。

【００４４】又、コントローラ１０は、ボイルコイルモ
ータ４に駆動電流を供給し、対物レンズ３を光ディスク
原盤２の面に対してフォーカス位置に位置移動させる。

【００４５】このとき、ボイルコイルモータ４に供給さ
れた駆動電流ＳＤは、ステップ＃２において、光ディス
ク原盤２の面振れ量に比例する値であるフィードフォワ
ード量としてメモリ１１に一時蓄えられる。

【００４６】なお、この駆動電流ＳＤは、フィードフォ
ーワード信号ＳＰ´とフィードバック信号ΔＳ´とを加
算したものである。

【００４７】このボイルコイルモータ４の駆動電流ＳＤ
をフィードフォワード量としてメモリ１１に記憶する動
作は、光ディスク原盤２に対する情報記録中、オンライ
ンで行われる。

【００４８】すなわち、対物レンズ３は、光ディスク原
盤２が一定の速度で回転している状態に、光ディスク原
盤２の半径方向に移動するが、この移動中におけるボイ
ルコイルモータ４の駆動電流ＳＤが随時フィードフォワ
ード量としてメモリ１１に記憶される。

【００４９】従って、光ディスク原盤２に対して情報を
記憶する場合、制御コントローラ１０のフィードバック
制御系１０Ａは、フォーカスセンサ５により計測された
対物レンズ３と光ディスク原盤２の面との間隔の計測間
隔信号ＳＭをフィードバック量として入力し、このフィ
ードバック量とメモリ１１からの光ディスク原盤２の面
振れ量つまり目標間隔信号ＳＰとの偏差を偏差器１２に
より求める。

【００５０】そして、フィードバック制御系１０Ａは、
偏差器１２により求められた偏差すなわち目標間隔信号
ＳＰから計測間隔信号ＳＭを減算したフィードバック信
号ΔＳをフィードバックゲイン１３を通し、ゲイン変換
されたフィードバック信号ΔＳ´として加算器１４に送
る。

【００５１】一方、フィードフォワード制御系１０Ｂ
は、メモリ１１からの光ディスク原盤２の面振れ量（目
標間隔信号ＳＰ）をフィードフォワード量として、フィ
ードフォワードゲイン１５を通し、フィードフォーワー
ド信号ＳＰ´として加算器１４に送る。

【００５２】この加算器１４は、フィードバック制御系
１０Ａからの偏差とフィードフォワード制御系１０Ｂか
らのフィードフォワード量とを加算し、ボイルコイルモ
ータ４に駆動電流ＳＤして供給する。

【００５３】これにより、対物レンズ３は、ステップ＃
３において、光ディスク原盤３の面振れ量に従って移動
してフォーカシング制御され、対物レンズ３の光ディス
ク原盤３の面に対する追従誤差は小さくなる。

【００５４】図４はフィードフォワード量（光ディスク
原盤３の面振れ量）に対する実際の対物レンズ３と光デ
ィスク原盤３の面との追従誤差を示しており、この追従
誤差がフィードバック量としてフィードバック制御され
る。

【００５５】このような制御により、対物レンズ３は、
光ディスク原盤３の面振れに追従して移動し、この状態
にステップ＃４において、対物レンズ３を通して露光光
（レーザ光）が光ディスク原盤２の面上に照射される。

【００５６】この露光光の照射により光ディスク原盤２
の表面には、情報がスパイラル状或いは同心円状に記録
される。

【００５７】このように上記第１の実施の形態において
は、フィードフォワード制御系１０Ｂにおいてオンライ
ンで対物レンズ３の位置を駆動するボイスコイルモータ
４の駆動電流を計測してメモリ１１に記憶し、この駆動
電流を光ディスク原盤２の面振れに対応したフィードフ
ォワード量としてフィードバック制御系１０Ａに加える
ようにしたので、対物レンズ３を光ディスク原盤２の面
振れ量に追従して駆動でき、対物レンズ３による露光光
の光ディスク原盤２面に対するフォーカシングをオンラ
インで正確に合わせることができる。

【００５８】そのうえ、対物レンズ３の光ディスク原盤
３の面に対する追従誤差を小さくできるので、低フィー
ドバックゲインでも対物レンズ３を光ディスク原盤２面
に追従できる結果、さらに光ディスク原盤への記録動作
時におけるボイスコイルモータ４の追従性と安定性を確
保することができ、高速の記録に対応できる。

【００５９】次に本発明の第２の実施の形態について説
明する。なお、図１及び図２と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。

【００６０】図５は光ディスク原盤記録装置の概略構成
図、図６はその制御系のブロック図である。

【００６１】記憶ディスク２０には、光ディスク原盤２
への記録の前に、差動トランス型変位センサ等により予
め計測された光ディスク原盤２の面振れ量のデータが記
憶されている。

【００６２】この記憶ディスク２０に記憶されている光
ディスク原盤２の面振れ量のデータは、フィードフォワ
ード量として使用できる形態にしてメモリ２１に記憶さ
れるものとなっている。

【００６３】又、このメモリ２１に記憶された光ディス
ク原盤２の面振れ量のデータは、対物レンズ３の光ディ
スク原盤２の半径方向への移動に同期して読み出され、
制御コントローラ１０のフィードバック制御系１０Ａ及
びフィードフォワード制御系１０Ｂに送られている。

【００６４】なお、メモリ２１は、光ディスク原盤２の
回転に同期してディスク原盤面の面振れに対応した目標
間隔を記憶する。

【００６５】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて図７に示すオフライン計測の制御フローチャートに
従って説明する。

【００６６】光ディスク原盤２への記録の前に、ステッ
プ＃１０において、差動トランス型変位センサ等により
光ディスク原盤２の面振れ量が予め計測され、面振れ量
データが記憶ディスク２０に記憶される。

【００６７】光ディスク原盤２への情報記録にあたり、
ステップ＃１１において、記憶ディスク２０に記憶され
た光ディスク原盤２の面振れ量が目標間隔信号ＳＰとし
て読み出され、メモリ２１に移される。

【００６８】光ディスク原盤２への情報記録を開始する
に、ターンテーブル１が、ステップ＃１２において一定
の速度で回転開始することにより、光ディスク原盤２は
一定の速度で回転する。

【００６９】コントローラ１０は、光ディスク原盤２の
回転に同期して、対物レンズ３を光ディスク原盤２の半
径方向に移動させる。

【００７０】又、コントローラ１０は、ボイルコイルモ
ータ４に駆動電流を供給し、対物レンズ３を光ディスク
原盤２の面に対してフォーカス位置に位置移動させる。

【００７１】このとき、メモリ２１に記憶された光ディ
スク原盤２の面振れ量のデータは、ステップ＃１３にお
いて、目標間隔信号ＳＰとして対物レンズ３の光ディス
ク原盤２の半径方向への移動に同期して読み出され、制
御コントローラ１０のフィードバック制御系１０Ａ及び
フィードフォワード制御系１０Ｂに送られる。

【００７２】従って、光ディスク原盤２に対して情報を
記憶する場合、フィードバック制御系１０Ａは、フォー
カスセンサ５により計測された対物レンズ３と光ディス
ク原盤２の面との間隔を示す計測間隔信号ＳＭをフィー
ドバック量として入力し、このフィードバック量とメモ
リ２１からの光ディスク原盤２の面振れ量を示す目標間
隔信号ＳＰとの偏差を偏差器１２により求める。

【００７３】そして、フィードバック制御系１０Ａは、
偏差器１２により求められた偏差ΔＳ（＝ＳＰ−ＳＭ）
をフィードバックゲイン１３を通しゲイン変換されたフ
ィードバック信号ΔＳ´としてて加算器１４に送る。

【００７４】一方、フィードフォワード制御系１０Ｂ
は、メモリ２１からの光ディスク原盤２の面振れ量をフ
ィードフォワード量として、フィードフォワードゲイン
１５を通してフィードフォーワード信号ＳＰ´として加
算器１４に送る。

【００７５】この加算器１４は、フィードバック制御系
１０Ａからの偏差とフィードフォワード制御系１０Ｂか
らのフィードフォワード量とを加算し、ボイルコイルモ
ータ４に駆動電流（ＳＰ´＋ΔＳ´）を供給する。

【００７６】これにより、対物レンズ３は、ステップ＃
１４において、光ディスク原盤３の面振れ量に従って移
動してフォーカシング制御され、対物レンズ３の光ディ
スク原盤３の面に対する追従誤差は小さくなる。

【００７７】このような制御により、対物レンズ３は、
光ディスク原盤３の面振れに追従して移動し、この状態
にステップ＃１５において、対物レンズ３を通して露光
光（レーザ光）が光ディスク原盤２の面上に照射され
る。

【００７８】この露光光の照射により光ディスク原盤２
の表面には、情報がスパイラル状或いは同心円状に記録
される。

【００７９】このように上記第２の実施の形態において
は、予め光ディスク原盤２の面振れ量を計測し、この面
振れ量を記録動作時に読み出して光ディスク原盤２の面
振れ量に対応するフィードフォワード量としてフィード
バック制御系１０Ａに加えるようにしたので、上記第１
の実施の形態と同様の効果を奏することができると共
に、対物レンズ３が光ディスク原盤２の面振れ量に追従
し、正常にフォーカシングが行われていることを確認し
た後、露光を開始、光ディスク原盤２の所定の位置まで
露光ができる。

【００８０】なお、本発明は、上記各実施の形態に限定
されるものでなく次の通り変形してもよい。

【００８１】例えば、光ディスク原盤２の面振れ量に対
物レンズ３を追従させるのに限らず、各種面の形状に対
物レンズ３を追従させるのに適用できる。

【００８２】

【発明の効果】本発明によれば、メカニカルなダンパー
等を設置しなくても制御系の安定性と追従性とを確保で
きるフォーカシング制御方法を提供できる。

【００８３】又、本発明によれば、メカニカルなダンパ
ー等を設置しなくても制御系の安定性と追従性とを確保
できるフォーカシング制御装置を提供できる。

【００８４】又、本発明によれば、オンラインで対象面
の面振れ量を計測して、対物レンズの対象面に対するフ
ォーカス制御の安定性と追従性とを確保できるフォーカ
シング制御装置を提供できる。

【００８５】又、本発明によれば、オフラインで予め対
象面の面振れ量を計測し、対物レンズの対象面に対する
フォーカス制御の安定性と追従性とを確保できるフォー
カシング制御装置を提供できる。

【００８６】又、本発明によれば、制御系の安定性と追
従性とを確保できるフォーカシング制御を用いて光ディ
スク原盤に対する高速な情報記録ができる光ディスク原
盤記録装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるフォーカシング制御装置を光デ
ィスク原盤記録装置に適用した第１の実施の形態を示す
構成図。

【図２】制御系のブロック構成図。

【図３】オンライン計測の制御フローチャート。

【図４】光ディスク原盤の面振れ量に対する実際の対物
レンズと光ディスク原盤面との追従誤差を示す図。

【図５】本発明に係わるフォーカシング制御装置を光デ
ィスク原盤記録装置に適用した第２の実施の形態を示す
構成図。

【図６】制御系のブロック構成図。

【図７】オンライン計測の制御フローチャート。

【図８】従来装置の構成図。

【符号の説明】

１…ターンテーブル、２…光ディスク原盤、３…対物レ
ンズ、４…ボイスコイルモータ、５…フォーカスセン
サ、１０…制御コントローラ、１０Ａ…フィードバック
制御系、１０Ｂ…フィードフォワード制御系、１１，２
１…メモリ、１２…偏差器、１３…フィードバックゲイ
ン、１４…加算器、１５…フィードフォワードゲイン、
２０…記憶ディスク。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対象面に対して対物レンズを進退駆動し
   てフォーカシングするフォーカシング制御方法におい
   て、 前記対象面と前記対物レンズとの間隔を計測する間隔計
   測工程と、 前記対象面の面振れに対応した前記対象面と前記対物レ
   ンズとの間隔を目標間隔として記憶する目標間隔記憶工
   程と、 前記間隔計測工程において出力された計測間隔信号と前
   記目標間隔記憶工程にて出力された目標間隔信号との差
   に基づいてフィードバック信号を得るとともに得られた
   フィードバック信号に前記目標間隔記憶工程にて出力さ
   れた目標間隔信号をフィードフォーワード信号として加
   算する間隔制御工程と、を具備したことを特徴とするフ
   ォーカシング制御方法。
2. 【請求項２】 対象面に対して対物レンズを進退駆動し
   てフォーカシングするフォーカシング手段と、 前記対象面と前記対物レンズとの間隔を計測する間隔計
   測手段と、 前記対象面の面振れに対応した前記対象面と前記対物レ
   ンズとの間隔が目標間隔として記憶されている目標間隔
   記憶手段と、 前記間隔計測手段において計測された前記対象面と前記
   対物レンズとの間隔を示す計測間隔信号と前記目標間隔
   記憶手段から出力された目標間隔信号との差に基づくフ
   ィードバック信号を前記フォーカシング手段に印加する
   フィードバック制御手段と、 前記目標間隔記憶手段から出力された目標間隔信号をフ
   ィードフォワード信号として前記フィードバック信号に
   加算するフィードフォワード制御手段と、を具備したこ
   とを特徴とするフォーカシング制御装置。
3. 【請求項３】 目標間隔記憶手段は、記憶されている目
   標間隔をフォーカシング手段の駆動電流に基づきオンラ
   インで得ることを特徴とする請求項２記載のフォーカシ
   ング制御装置。
4. 【請求項４】 目標間隔記憶手段は、記憶されている目
   標間隔を、変位センサにより得られた前記対象面の面振
   れデータに基づきオフラインで得ることを特徴とする請
   求項２記載のフォーカシング制御装置。
5. 【請求項５】 回転するディスク原盤面に対物レンズを
   対向配置し、この対物レンズから光を前記ディスク原盤
   に照射して情報記録を行う光ディスク原盤記録装置にお
   いて、 前記ディスク原盤に対して前記対物レンズを進退駆動し
   てフォーカシングするフォーカシング手段と、 前記ディスク原盤面と前記対物レンズとの間隔を計測す
   る間隔計測手段と、 前記ディスク原盤面の面振れに対応した前記ディスク原
   盤面と前記対物レンズとの間隔が目標間隔として記憶さ
   れている目標間隔記憶手段と、 前記間隔計測手段において計測された前記ディスク原盤
   面と前記対物レンズとの間隔を示す計測間隔信号と前記
   目標間隔記憶手段から出力された目標間隔信号との差に
   基づくフィードバック信号を前記フォーカシング手段に
   印加するフィードバック制御手段と、 前記目標間隔記憶手段から出力された目標間隔信号をフ
   ィードフォワード信号として前記フィードバック信号に
   加算するフィードフォワード制御手段と、を具備したこ
   とを特徴とする光ディスク原盤記録装置。
6. 【請求項６】 目標間隔記憶手段は、ディスク原盤の回
   転に同期してディスク原盤面の面振れに対応した目標間
   隔を記憶することを特徴とする請求項５記載の光ディス
   ク原盤記録装置。